JP2004511093A - 取り付けおよび取り外し可能なセンサ - Google Patents
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Abstract
ステージアセンブリ上に取り付け、ステージアセンブリ上から取り外すことが可能なセンサ装置。上記センサ装置は、基板(402)および上記基板に接続された一つ以上のセンサ(104)を含む。上記センサ装置はまた、上記基板に接続し、上記センサ装置をステージアセンブリの表面(502)上に取り付けることを可能にする少なくとも一つのステージアセンブリコネクタ(414)、および上記基板に接続された少なくとも一つのマニピュレータコネクタ(420)を含み得る。上記マニピュレータコネクタ(420)は、上記センサ装置を上記ステージアセンブリ上に取り付け、上記センサ装置を上記ステージアセンブリから取り外す操作を可能にする。
【選択図】図6
【選択図】図6
Description
【0001】
(発明の背景)
(発明の分野)
本発明は、概して、フォトリソグラフィシステムに関する。具体的には、本発明は、フォトリソグラフィプロセスに用いられるセンサに関する。
【0002】
(関連技術)
リソグラフィは、基板表面上にフィーチャを生成するために用いられるプロセスである。基板の例は、フラットパネルディスプレイ、回路基板、種々の集積回路などの製造の際に用いられる基板を含む。例えば、半導体ウェハが集積回路を製造する基板として用いられ得る。
【0003】
リソグラフィの間、レチクルを用いて、基板上に所望のパターンが転写される。レチクルは、用いられるリソグラフィック波長に透過な材料(単数または複数)(例えば、可視光の場合にはガラス)から形成され得る。さらに、レチクルは、用いられるリソグラフィック波長を反射する材料(単数または複数)からも形成され得る。レチクルはそのレチクル自体のプリントされた画像を有する。レチクルのサイズは、レチクルが用いられる特定のシステムに対して選択される。リソグラフィの間、照射源は、レチクルステージ上に配置されたレチクルを照射する。この照射は、基板チャックによって基板ステージ上に配置された基板上に画像を露光する。基板上に露光された画像は、レチクル上にプリントされた画像に対応する。
【0004】
投影された画像は、層の特徴(例えば、基板表面上に堆積されたフォトレジスト)を変化させる。これらの変化は、露光中に基板上に投影されたフィーチャに対応する。露光に続いて、この層はエッチングが施されてパターン化された層が生成され得る。パターンは、露光中に基板上に投影されたフィーチャに対応する。次いで、このパターン化された層を用いて、導電層、半導体層または絶縁層などの、基板内の基底構造層の露光された部分を除去し得る。次いで、基板表面上に所望のフィーチャが形成されるまで、このプロセスが他の工程と共に繰り返される。
【0005】
リソグラフィシステムは、定期的なテストおよび較正を必要とする。通常、このようなテストおよび較正は、基板ステージ上にセンサを配置することを必要とする。従来のセンサは永久的に基板ステージに固定される。高度なリソグラフィシステムは、複数のテストセンサおよび較正センサを必要とすることが多い。ステージに固定された各センサは、センサ自体、およびセンサを支持するのに必要な表面エリアが増加した結果として、質量を増加させる。ステージ質量を減少させるには、特定のこれらのセンサを使用の直前にステージに取り付け、使用の直後に取り外す。このようなセンサを用いるには、リソグラフィシステムの動作を中断する必要があり、技術者はセンサを手動で取り付け、および取り外す必要がある。この中断はコストがかかるものである。なぜならば、中断により労力がかかり速度が落ちるため、このツールを用いてリソグラフィを実行し得る時間が制限されるからである。
【0006】
したがって、必要なのは、センサの効率的な利用を可能にするセンサ装置である。
【0007】
(発明の要旨)
本発明は、取り付けおよび取り外しが可能なセンサ装置用のシステムおよび方法を提供する。本発明の一実施形態によって、上記センサ装置は、基板および上記基板に接続されたセンサを含む。さらなる実施形態において、上記センサ装置は、上記基板に接続し、上記センサ装置をステージアセンブリ上に取り付けることを可能にする少なくとも一つのステージアセンブリコネクタ、および上記基板に接続された少なくとも一つのマニピュレータコネクタを含む。上記基板は、マニピュレータが、上記センサ装置を上記ステージアセンブリ上に取り付け、上記センサ装置を上記ステージアセンブリから取り外すことを可能にする。
【0008】
本発明の実施形態において、上記センサ装置は、上記センサと光学系との物理的位置合わせを可能にする一つ以上の位置合わせマーキングを有する。
【0009】
本発明の一実施形態において、上記センサ装置は上記センサに接続された通信インターフェースを含む。上記通信インターフェースは、上記センサ装置が上記ステージアセンブリ上に取り付けられた場合に上記センサがデータインターフェースと通信することを可能にする。
【0010】
本発明のさらなる実施形態において、上記センサ装置は電力を上記センサに供給するバッテリを含む。
【0011】
本発明は、ステージアセンブリ上にセンサ装置を取り付ける方法、およびステージアセンブリからセンサ装置を取り外す方法も含む。これらの方法は、マニピュレータと上記センサ装置との係合を含む。
【0012】
フォトリソグラフィなどの用途において、本発明は、特定の工具(tooling)または機構の中断時間なく、半導体フォトリソグラフィ機構の定期的な較正および診断を行う際に用いられるセンサを自動的に配置および取り外すことが可能であることが有利である。
【0013】
本発明はさらに、必要になるまで上記ステージから検出器および電子機器を外しておくことによって、ステージ質量を減少させることが利点である。
【0014】
さらに、本発明は、動作時間を実質的に節減することを可能にすることが利点である。例えば、センサおよび検出器の取り換えが、フォトリソグラフィシステムを外す必要なく実行され得る。
【0015】
さらに、本発明により、較正標準などのセンサおよび/または検出器を複数のシステム(例えば、半導体製造設備内の複数のフォトリソグラフィ機構)間で共有することが可能になる。
【0016】
(好適な実施形態の詳細な説明)
本明細書に組み込まれ、本明細書の一部を形成する添付の図面は、本発明を示し、説明と共に本発明の原理を説明し、かつ、当業者が本発明を製造および使用することを可能にすることにさらに役立つ。
【0017】
ここで、本発明を添付の図面を参照しながら説明する。図面においては、同様の参照符号は同一または機能的に類似の要素を示す。さらに、参照符号の左端の桁(単数または複数)は、参照符号が初出した図面の番号と同一である。
【0018】
(概略)
図1は、本発明の一実施形態によるセンサ装置102のブロック図である。センサ装置102は、センサ104と、センサ104に接続された通信インターフェース106と、ステージアセンブリインターフェース108と、マニピュレータインターフェース110とを含む。本発明の一実施形態によって、センサ装置102を、マニピュレータ114によってステージアセンブリ112の取り付けインターフェース118上に取り付け、および取り付けインターフェース118から取り外すことが可能である。
【0019】
センサ104は、入力信号(単数または複数)を受信して応答するデバイスである。本発明の一実施形態において、センサ104は、出力信号(単数または複数)を生成することによって、入力信号および/または入力刺激に応答する。これらの出力信号は、センサ装置102がステージアセンブリ112上に取り付けられた場合にデータインターフェース116に伝送される。表1は、センサ104内に設けられ得る例示のセンサのリストを提供する。表1は、これらの例示のセンサそれぞれの簡単な説明も提供する。これらの例示のセンサは例示として提供され、本発明の範囲を限定するものとしては提供されない。
【0020】
【表1】
センサ104は、通信インターフェース106を介してデータインターフェース116に出力信号を伝送する。本発明の一実施形態において、情報は、ステージアセンブリ112によって備えられたチャネル(図示せず)を介して、通信インターフェース106とデータインターフェース116との間で転送される。このようなチャネルの例は、ワイヤー、コンピュータシステムバス、ローカルエリアネットワーク(LAN)、および/または本明細書の教示から当業者に明らかとなる他のチャネルなどのコンダクタによって提供された電気接続(単数または複数)を含む。当業者に明らかであるように、本発明のさらなる実施形態において、情報は、無線周波数(RF)、赤外線(IR)光通信、および/または他の技術などの技術を介して、通信インターフェース106とデータインターフェース116との間で直接転送される。
【0021】
データインターフェース116は、通信インターフェース106を介してセンサ104から受信した情報を格納および/または処理する。本発明の一実施形態において、データインターフェース116はまた、センサ104から収集したデータをユーザに分析用に出力し得る。データインターフェース116は、ハードウェア、ソフトウェア、ファームウェア、またはこれらの任意の組み合わせを用いて実現され得る。
【0022】
ステージアセンブリインターフェース108は、センサ装置102をステージアセンブリ112上に取り付けることを可能にする。本発明の一実施形態において、ステージアセンブリ112は、半導体フォトリソグラフィプロセスにおいて用いられるウェハステージである。しかし、本発明のさらなる実施形態において、ステージアセンブリ112は、他の種類のフォトリソグラフィに関するプロセスにおいて用いられるステージまたは類似の構造であり得る。さらに、ステージアセンブリ112は、レチクル書き込みプロセスにおいて用いられるステージであり得る。さらに、ステージアセンブリ112は、例えば、光学顕微鏡および/または電子顕微鏡を用いる検査システム内のステージであり得る。さらに、ステージアセンブリ112は、当業者に明らかであり、本明細書の教示から明らかとなる他の技術において用いられるステージであり得る。
【0023】
マニピュレータインターフェース110は、センサ装置102をマニピュレータ114に接続することを可能にする。センサ装置102がマニピュレータ114に接続された場合、マニピュレータ114はセンサ装置102の位置を制御し得る。さらに、マニピュレータ114はステージアセンブリ112上にセンサ装置102を取り付け得、ステージアセンブリ112からセンサ装置102を取り外し得る。本発明の一実施形態において、マニピュレータ114はロボットエンドエフェクターである。しかし、当業者に明らかであるように、さらなる実施形態において、マニピュレータ114は他のデバイスであり得る。
【0024】
フォトリソグラフィの用途において、超紫外線(EUV)または157ナノメータの波長を含む大気条件など、特定の大気条件が、関連付けられたフォトリソグラフィチャンバ内で維持される必要がある。例えば、EUV用途には真空が必要であり、157ナノメータの用途には無酸素の環境が必要である。このような環境を維持するには、外部環境との材料の移動を可能にしながら、ロードロックとして公知の中間チャンバが用いられる。これらのロードロックは、材料を移動させながら、このような環境間の隔離を維持する。したがって、特定の半導体フォトリソグラフィの用途において、ロボットエンドエフェクター114は、ウェハロードロック(図示せず)とステージアセンブリ112との間でセンサ装置104を運搬する。
【0025】
図2A〜図2Dは、センサ装置102をステージアセンブリ112上に取り付けることに関する動作の順序を示す。この取り付け動作はマニピュレータ114によって制御される。図2Aはこの順序の第一の工程を示す。図2Aにおいて、マニピュレータ114およびセンサ装置102を、マニピュレータインターフェース110を介して接続する。この工程において、マニピュレータ114は、センサ装置102をステージアセンブリ112の方に(「変換」とラベリングされた矢印が示す方向に)移動させる。マニピュレータ114は、図2Bに示すようにステージアセンブリ112と位置が合うまで、この方向にセンサ装置102を移動させる。フォトリソグラフィに関する一実施形態において、この工程は、ウェハロードロック(図示せず)を介して、センサ装置102をフォトリソグラフィチャンバ(図示せず)内に移動させる工程、および/またはステージアセンブリ112を位置決めする工程を含む。このステージアセンブリ112を位置決めする工程は、6つの自由度でのステージアセンブリ112の回転および変換を含み得る。フォトリソグラフィなどの用途におけるステージアセンブリが非常に正確な動きを可能にするため、ステージアセンブリ112を位置決めすると、センサ装置102とステージアセンブリ112との間で高い正確さの位置合わせが可能になり得る。
【0026】
図2Bは、ステージアセンブリ112と位置が合ったセンサ装置102を示す。位置合わせが行われた後、マニピュレータ114はセンサ装置102を、ステージアセンブリ112の方に(「変換」とラベリングされた矢印が示す方向に)移動させる。マニピュレータ114は、ステージアセンブリ112上に取り付けられるまで、この方向にセンサ装置102を移動させる。
【0027】
図2Cにおいて、マニピュレータ114は、図2Bを参照して上述した動きを完了している。この時点で、センサ装置102をステージアセンブリインターフェース108および取り付けインターフェース118を介してステージアセンブリ112上に取り付ける。さらに、この時点で、通信インターフェース106をデータインターフェース116に接続する。この取り付け位置において、マニピュレータ114はセンサ装置102から自身を分離し得る。
【0028】
図2Dは、センサ装置102から自身を分離するマニピュレータ114を示す。マニピュレータ114は、センサ装置102およびステージアセンブリ112から離れるように(「変換」とラベリングされた矢印が示す方向に)移動することによって、この分離の動作を実行する。マニピュレータ114がセンサ装置102から外された後、センサ装置102は動作し得る。
【0029】
この時点で、センサ装置102をステージアセンブリ112に接続する。これにより、ここで、ステージアセンブリ112は、自身の位置決めを行って、センサ装置102と光学系(例えば、フォトリソグラフィ投影光学系)との位置合わせを行い得る。一実施形態において、センサ装置102は、位置合わせマーキングの使用を介して光学系と位置が合わせれる。このようなマーキングを図4Aおよび図7を参照して本明細書において説明する。これらの位置合わせマーキングは、光学系を介して読み取られて、制御器(図示せず)によって処理され得る。この制御器は、光基準(例えば、レチクル)に対するステージアセンブリ112の位置および位置合わせを制御して、センサ装置102を適切に位置決めする。
【0030】
図3A〜図3Dは、ステージアセンブリ112からのセンサ装置102の取り外しに関する動作の順序を示す。図2A〜図2Dを参照して上述した取り付け動作と同様、この動作はマニピュレータ114によって制御される。
【0031】
図3Aは、この順序における第一の工程を示す。図3Aにおいて、マニピュレータ114は、センサ装置102に(「変換」とラベリングされた矢印が示す方向に)接近する。図3Bに示すように、マニピュレータ114は、マニピュレータインターフェース110を介してセンサ装置102と接続するまで、センサ装置102に接近し続ける。
【0032】
マニピュレータ114がセンサ装置102と接続した後、マニピュレータ114は、図3Cに示すように、ステージアセンブリ112と接触している状態からセンサ装置102を取り外す。この取り外しは、マニピュレータ114がセンサ装置102を「変換」とラベリングされた方向に移動させることによって達成される。リソグラフィに関する一実施形態において、この工程は、ウェハロードロック(図示せず)を介して、センサ装置106をリソグラフィチャンバから格納エリア(図示せず)に移動させるマニピュレータ114を含む。
【0033】
次に、図3Dに示すように、マニピュレータ114は、ステージアセンブリ112の近傍からセンサ装置102を取り外す。この取り外しの方向は、「変換」とラベリングされた矢印によって示される。
【0034】
(センサ装置)
図4Aおよび図4Bはそれぞれ、本発明の一実施形態によって実現したセンサ装置102の概観図を提供する。センサ装置102は、第一の表面404、第二の表面406、および第三の表面(縁)408を有する基板402を含む。表面404および406は、実質的に平行であり、縁408まで延びる。
【0035】
基板402は、センサコンポーネントの取り付けを可能にするプラットフォームを提供する。本発明の実施形態において、基板402は、シリコン、アルミニウム、および/または低膨張ガラスなどの固体材料から構成される。さらに、当業者に明らかであるように、基板402は、センサ装置102の使用に適した物理特性を有する他の材料から構成されてもよい。
【0036】
本発明のさらなる実施形態において、基板402は、第一の表面404および第二の表面406などの構造板を支持するフレームを用いて実現される。この実施形態において、縁408はフレームを包囲する支持リングとして実現される。さらに、フレームを蜂巣状の構造または類似の構造で固定して、基板402の安定性を強化させ得る。このフレーム構造の利点は、これによりセンサ装置102の重量が減少することである。さらに、このようなフレーム構造により、センサ装置102のコンポーネントを基板402の内部に、より容易に挿入することが可能になる。
【0037】
センサ104は第一の表面404上に配置される。さらに、第一の表面404上に配置されるのは、支持電子機器410および複数の位置合わせマーキング412a〜412dである。センサ104ははんだ付けおよび/またはボンディングなどの技術によって基板402の第一の表面404に取り付けられ得る。当業者に明らかであるように、このボンディングはエポキシ接着剤および/または他の接着剤などの接着剤(単数または複数)を用いて実行され得る。
【0038】
センサ104は支持電子機器410に接続される。本発明の一実施形態において、支持電子機器410は、センサ104とデータインターフェース116との間での情報交換を可能にする通信機能を含む。当業者に明らかであるように、支持電子機器410の例は、連続して、且つ、平行なデジタルインターフェース論理を含む。支持電子機器410は、ハードウェア、ソフトウェア、ファームウェアまたはこれらの任意の組み合わせで実現され得る。
【0039】
位置合わせマーキング412a〜412dは、光学系を用いてセンサ装置102の物理的な位置合わせを可能にする。すなわち、位置合わせマーキング412は、基準フレームを提供して、ステージアセンブリ112が所望の位置合わせ、およびフォトリソグラフィシステムの光学系から、取り付けられたセンサ装置102までの距離を設定することを可能にする。図4Aおよび図4Bに示すように、位置合わせマーキング412は、表面404上にプリントされ、異なる所定の角度で方向付けられた、対のハッシュマークを含む。本発明のさらなる実施形態において、位置合わせマーキング412は、表面404上にプリントされた他の種類のマーキングを含み得る。当業者に明らかであるように、このようなマーキングの例は山形および他のパターンを含む。さらに、当業者に明らかであるように、位置合わせマーキング412は凸または凹の移動止めによって実現され得る。
【0040】
ステージアセンブリインターフェース108は第二の表面406上に配置される。図4Aおよび図4Bに示す実施形態において、ステージアセンブリインターフェース108は複数のステージアセンブリコネクタ414a〜414cを含む。
【0041】
図4Aおよび図4Bに示すように、ステージアセンブリコネクタ414a〜414cはボールマウント(ball mount)である。センサ装置102がステージアセンブリ112上に取り付けられた場合、これらのボールマウントはステージアセンブリ112に取り付けられたクレードル内に嵌合するため、センサ装置102はステージアセンブリ112の動きに制限される。これらのクレードルを図5および図6を参照してより詳細に以下に説明する。本発明のさらなる実施形態において、ステージアセンブリインターフェース108は他の技術を用いて実現され、センサ装置112の取り付けを可能にし得る。当業者に明らかであるように、このような技術の例は、ステージアセンブリ112、フックメカニズム、および/または他の技術との磁気結合の使用を含む。
【0042】
第三の表面408はマニピュレータインターフェース110を規定する。図4Aおよび図4Bに示すように、マニピュレータインターフェース110は、基板402内に空洞を規定する第三の表面408上に形成される開口420である。マニピュレータ114は、マニピュレータ114の端部が開口420内に挿入された場合にセンサ装置102と接続される。
【0043】
バッテリ416は、センサ104に接続されて、表面406上に配置され得る。バッテリ416は電力をセンサ104に供給する。必要に応じて、表面406上に配置され得る他の要素は、通信インターフェース106およびさらなる回路部418を含む。さらなる実施形態において、バッテリ416は、電力を他のコンポーネント(支持電子機器410、さらなる回路部418、および通信インターフェース106など)に供給する。しかし、本発明のさらなる実施形態において、センサ装置102がステージアセンブリ112上に取り付けられた場合、通信インターフェース106は、センサ104への電力の伝達を可能にするセンサ104に接続された電力インターフェース、支持電子機器410、および/またはさらなる回路部418を含む。
【0044】
通信インターフェース106はセンサ104に接続される。通信インターフェース106はさらに、支持電子機器410およびさらなる回路部418に接続され得る。本発明の一実施形態において、通信インターフェース106は、ステージアセンブリ112上に配置された電気コネクタに接続するスプリングコンタクトリードを用いて実現される。このような電気コネクタを図5を参照して以下により詳細に説明する。当業者に明らかであるように、本発明のさらなる実施形態において、通信インターフェース106は、一つ以上のアセンブリへの容量結合および/または誘導結合(例えば、ステージアセンブリ112、および/または他の近似構造)、RF通信リンク、および/またはIR通信リンクなどの他の技術を用いて実現される。実施形態において、これらのRF通信リンクおよび/またはIR通信リンクはまた、電力をセンサ104、支持電子機器410、および/またはさらなる回路部418に移動させ得る。
【0045】
支持電子機器410と同様、さらなる回路部418は、センサ104に接続されて、信号調節および/またはセンサ104とデータインターフェース116との間での情報交換を可能にするデータバッファリング機能などの機能を提供し得る。当業者に明らかであるように、さらなる回路部418は、ハードウェア、ソフトウェア、ファームウェアまたはこれらの任意の組み合わせを用いて実現され得る。
【0046】
図5は、本発明の一実施形態による、ステージアセンブリ112を実現する概観図である。図5に示すように、ステージアセンブリ112は、表面502、表面502上に配置された複数のセンサ装置マウント504a〜504c、および表面502上に配置されたコネクタモジュール506を含む。
【0047】
センサ装置マウント504a〜504cは取り付けインターフェース118の要素である。センサ装置マウント504はそれぞれ、ステージアセンブリコネクタ414のうちの一つに対応するクレードル508を含む。センサ装置マウント504により、センサ装置102がステージアセンブリ112の動きに制限される。
【0048】
コネクタモジュール506は、通信インターフェース106とデータインターフェース116との間に接続を提供する。コネクタモジュール506はまた、通信インターフェース106を介して、センサ装置102に電力を供給し得る。本発明の一実施形態において、コネクタモジュール506は、通信インターフェース106のスプリングコンタクトリードに対応する複数のコンダクタを含む。これらのコンダクタは、ポゴコンタクトであってもよいし、当業者に明らかである他のコンダクタであってもよい。
【0049】
図6は、図4および図5を参照して上述した実現による、センサ装置102およびステージアセンブリ112の位置合わせを示す概観図である。図6に示すように、ステージアセンブリコネクタ414a〜414cは、対応するクレードル508a〜508cと位置合わせされている。
【0050】
(チャックが取り付け可能なウェハセンサ装置)
特定のセンサおよび検出器は、動作するために実質的に平坦な表面を必要とする。例えば、空中像センサは、個別の焦点工程において空中像を適切に測定するために、実質的に平坦な開口を必要とする。残念ながら、特定のセンサおよび/または検出器(例えば、空中像センサ)を製造するために必要な処理は、センサが配置される基板を湾曲させる傾向がある。
【0051】
本発明の一実施形態によって、適切な動作のためにこのように湾曲したセンサおよび/または検出器を平坦にする機能は、ウェハチャックによって実行される。
【0052】
フォトリソグラフィの用途において、ウェハチャックは、ステージアセンブリ112に取り付けられて、露光の間、半導体ウェハなどのウェハを平坦に保持する。同様に、ウェハチャックを用いて、センサ装置102を保持し、かつ、平坦にし得る。さらに、ウェハチャックは、マニピュレータ114などのデバイスによって、ステージアセンブリ112に取り付けられ、および、取り外され得る。したがって、本発明の実施形態によって、センサ装置102はウェハ基板上に実現され、取り付けインターフェース118はステージアセンブリ112に接続されたウェハチャックを用いて実現される。
【0053】
図7は、本発明の一実施形態による、センサ装置102’のチャックが取り付け可能なウェハ実現の概観図である。センサ装置102’は、支持電子機器410’および基板としてのウェハ702上に配置された位置合わせマーキング412a’〜412d’を含む。さらに、センサ装置102’は、センサ装置102を参照して、本明細書において記載した特徴および要素を含み得る。
【0054】
しかし、ステージアセンブリインターフェース108を含むセンサ装置102とは異なり、実施形態において、センサ装置102’はこの要素を含まない。むしろ、ウェハチャック(図示せず)に、ステージアセンブリインターフェース108が含まれる。このため、ウェハチャックは、センサ装置102’に接続して、そして、センサ装置102’を平坦に保持することに加え、ステージアセンブリ112に接続する。
【0055】
一実施形態において、センサ装置102’は、ステージアセンブリ112上に配置されて、図2A〜図3Dを参照して本明細書において説明した動作の順序によって、ステージアセンブリ112から取り外される。このような配置および取り外しは、センサ装置102’および取り付けられたウェハチャックを共に移動させるマニピュレータ114を含み得る。しかし、このような配置および取り外しは、センサ装置102’を取り外して、ステージアセンブリ112にすでに接続されているウェハチャックに取り付けるマニピュレータ114を含み得る。
【0056】
支持電子機器410’は、データ格納および伝送回路部704、信号増幅回路部706、信号調節回路部708、ならびに通信および送電回路部710を含み得る(但し、これらに限定されない)。さらに、支持電子機器410’は、接地(ground)回路部(図示せず)を含み得る。一実施形態において、支持電子機器410’は、支持電子機器410を参照して本明細書において説明したように実行する。
【0057】
一つ以上のセンサ104’はウェハ702上に配置される。図7に示すように、これらのセンサ(単数または複数)は空中像センサである。一実施形態において、これらの空中像センサは、ポリシリコン、クロムおよび/または化学線波長を透過しない他の材料の層を有する感光性材料から構成され、照射源からのエネルギーの収集を可能にする開口を有する。しかし、本明細書において説明し、本明細書の教示から当業者に明らかであるように、本発明のさらなる実施形態において、センサ(単数または複数)104’は他の種類のセンサであってもよい。
【0058】
センサ(単数または複数)104’は、通信および電力伝送回路部710から電力を受け取る、データ格納および伝送回路部704に接続される。データ格納および伝送回路部704は、センサ(単数または複数)104’から出力信号を受信し、これらの信号を信号増幅回路部706に伝送する。
【0059】
信号増幅回路部706は、データ格納および伝送回路部704から受信した信号を増幅し、これらの信号を信号調節回路部708に転送する。信号増幅回路部706は、通信および電力伝送回路部710から電力を受け取る。
【0060】
信号調節回路部708は、増幅した信号を受信して、これらの信号を処理する。これにより、これらの信号は、通信および電力伝送回路部710によって、データインターフェース116に伝送される準備ができたフォーマットになる。一実施形態において、このフォーマットはデジタル信号を含む。しかし、さらなる実施形態において、このフォーマットはアナログ信号を含む。信号調節回路部708は、通信および電力伝送回路部710から電力を受け取る。
【0061】
通信および電力伝送回路部710は、センサ装置102’の他の要素に電力を供給する。さらに、通信および電力伝送回路部710は、信号をデータインターフェース116に伝送する。一実施形態において、通信および電力伝送回路部710は、バッテリ(図示せず)を含んで電力を供給する。しかし、さらなる実施形態において、通信および電力伝送回路部710は、一つ以上のアセンブリ(例えば、ステージアセンブリ112、投影光学系(図示せず)、および/または他の近似構造)への誘導結合および/または容量結合を介して電力を受け取り得る。さらに、通信および電力伝送回路部710は、ウェハチャック(図示せず)に接触するウェハ702の表面上に配置された電気コンタクト(図示せず)を介して電力を受け取り得る。これらのコンタクトは、ウェハチャックと接触を可能にするように、センサ装置102’の任意の表面上に配置され得る。
【0062】
本発明の実施形態において、通信および電力伝送回路部710は、容量結合および/または誘導結合などの技術を介して、データインターフェース116と情報を交換する。この結合は、ステージアセンブリ112および/または投影光学系と行われ得る。さらに、当業者に明らかであるように、通信および電力伝送回路部710は、無線周波数(RF)リンク、光(例えば、赤外線(IR))通信、および/または他のリンクを介して、情報を通信しおよび/または電力を受け取り得る。
【0063】
(結論)
本発明の種々の実施形態を上述してきたが、これらは例示のみを目的として提示され、本発明を限定しないことが理解されるべきである。形態および詳細における種々の変更が、本発明の意図および範囲から逸脱せずになされ得ることが当業者に明らかである。当業者に明らかであるように、例えば、本発明は、センサおよび検出器に限定されず、アクチュエータおよび他の種類のデバイスを含み得る。したがって、本発明の幅および範囲は、上述の例示の実施形態のいずれによっても限定されるべきではなく、上掲の特許請求の範囲およびその均等物によってのみ規定されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【図1】
図1は、本発明の一実施形態による、機能ブロック図を示す。
【図2A】
図2Aは、本発明の一実施形態による、ステージアセンブリ上へのセンサ装置の取り付けに関する動作の順序を示す。
【図2B】
図2Bは、本発明の一実施形態による、ステージアセンブリ上へのセンサ装置の取り付けに関する動作の順序を示す。
【図2C】
図2Cは、本発明の一実施形態による、ステージアセンブリ上へのセンサ装置の取り付けに関する動作の順序を示す。
【図2D】
図2Dは、本発明の一実施形態による、ステージアセンブリ上へのセンサ装置の取り付けに関する動作の順序を示す。
【図3A】
図3Aは、本発明の一実施形態による、ステージアセンブリからのセンサ装置のステージの取り外しに関する動作の順序を示す。
【図3B】
図3Bは、本発明の一実施形態による、ステージアセンブリからのセンサ装置のステージの取り外しに関する動作の順序を示す。
【図3C】
図3Cは、本発明の一実施形態による、ステージアセンブリからのセンサ装置のステージの取り外しに関する動作の順序を示す。
【図3D】
図3Dは、本発明の一実施形態による、ステージアセンブリからのセンサ装置のステージの取り外しに関する動作の順序を示す。
【図4A】
図4Aは、本発明の一実施形態による、センサ装置の概観図を提供する。
【図4B】
図4Bは、本発明の一実施形態による、センサ装置の概観図を提供する。
【図5】
図5は、本発明の一実施形態による、ステージアセンブリを実現する概観図である。
【図6】
図6は、本発明の一実施形態による、取り付けるために位置が合わせられたセンサ装置およびステージアセンブリの概観図である。
【図7】
図7は、本発明の一実施形態による、チャックが取り付け可能なウェハセンサ装置の概観図である。
(発明の背景)
(発明の分野)
本発明は、概して、フォトリソグラフィシステムに関する。具体的には、本発明は、フォトリソグラフィプロセスに用いられるセンサに関する。
【0002】
(関連技術)
リソグラフィは、基板表面上にフィーチャを生成するために用いられるプロセスである。基板の例は、フラットパネルディスプレイ、回路基板、種々の集積回路などの製造の際に用いられる基板を含む。例えば、半導体ウェハが集積回路を製造する基板として用いられ得る。
【0003】
リソグラフィの間、レチクルを用いて、基板上に所望のパターンが転写される。レチクルは、用いられるリソグラフィック波長に透過な材料(単数または複数)(例えば、可視光の場合にはガラス)から形成され得る。さらに、レチクルは、用いられるリソグラフィック波長を反射する材料(単数または複数)からも形成され得る。レチクルはそのレチクル自体のプリントされた画像を有する。レチクルのサイズは、レチクルが用いられる特定のシステムに対して選択される。リソグラフィの間、照射源は、レチクルステージ上に配置されたレチクルを照射する。この照射は、基板チャックによって基板ステージ上に配置された基板上に画像を露光する。基板上に露光された画像は、レチクル上にプリントされた画像に対応する。
【0004】
投影された画像は、層の特徴(例えば、基板表面上に堆積されたフォトレジスト)を変化させる。これらの変化は、露光中に基板上に投影されたフィーチャに対応する。露光に続いて、この層はエッチングが施されてパターン化された層が生成され得る。パターンは、露光中に基板上に投影されたフィーチャに対応する。次いで、このパターン化された層を用いて、導電層、半導体層または絶縁層などの、基板内の基底構造層の露光された部分を除去し得る。次いで、基板表面上に所望のフィーチャが形成されるまで、このプロセスが他の工程と共に繰り返される。
【0005】
リソグラフィシステムは、定期的なテストおよび較正を必要とする。通常、このようなテストおよび較正は、基板ステージ上にセンサを配置することを必要とする。従来のセンサは永久的に基板ステージに固定される。高度なリソグラフィシステムは、複数のテストセンサおよび較正センサを必要とすることが多い。ステージに固定された各センサは、センサ自体、およびセンサを支持するのに必要な表面エリアが増加した結果として、質量を増加させる。ステージ質量を減少させるには、特定のこれらのセンサを使用の直前にステージに取り付け、使用の直後に取り外す。このようなセンサを用いるには、リソグラフィシステムの動作を中断する必要があり、技術者はセンサを手動で取り付け、および取り外す必要がある。この中断はコストがかかるものである。なぜならば、中断により労力がかかり速度が落ちるため、このツールを用いてリソグラフィを実行し得る時間が制限されるからである。
【0006】
したがって、必要なのは、センサの効率的な利用を可能にするセンサ装置である。
【0007】
(発明の要旨)
本発明は、取り付けおよび取り外しが可能なセンサ装置用のシステムおよび方法を提供する。本発明の一実施形態によって、上記センサ装置は、基板および上記基板に接続されたセンサを含む。さらなる実施形態において、上記センサ装置は、上記基板に接続し、上記センサ装置をステージアセンブリ上に取り付けることを可能にする少なくとも一つのステージアセンブリコネクタ、および上記基板に接続された少なくとも一つのマニピュレータコネクタを含む。上記基板は、マニピュレータが、上記センサ装置を上記ステージアセンブリ上に取り付け、上記センサ装置を上記ステージアセンブリから取り外すことを可能にする。
【0008】
本発明の実施形態において、上記センサ装置は、上記センサと光学系との物理的位置合わせを可能にする一つ以上の位置合わせマーキングを有する。
【0009】
本発明の一実施形態において、上記センサ装置は上記センサに接続された通信インターフェースを含む。上記通信インターフェースは、上記センサ装置が上記ステージアセンブリ上に取り付けられた場合に上記センサがデータインターフェースと通信することを可能にする。
【0010】
本発明のさらなる実施形態において、上記センサ装置は電力を上記センサに供給するバッテリを含む。
【0011】
本発明は、ステージアセンブリ上にセンサ装置を取り付ける方法、およびステージアセンブリからセンサ装置を取り外す方法も含む。これらの方法は、マニピュレータと上記センサ装置との係合を含む。
【0012】
フォトリソグラフィなどの用途において、本発明は、特定の工具(tooling)または機構の中断時間なく、半導体フォトリソグラフィ機構の定期的な較正および診断を行う際に用いられるセンサを自動的に配置および取り外すことが可能であることが有利である。
【0013】
本発明はさらに、必要になるまで上記ステージから検出器および電子機器を外しておくことによって、ステージ質量を減少させることが利点である。
【0014】
さらに、本発明は、動作時間を実質的に節減することを可能にすることが利点である。例えば、センサおよび検出器の取り換えが、フォトリソグラフィシステムを外す必要なく実行され得る。
【0015】
さらに、本発明により、較正標準などのセンサおよび/または検出器を複数のシステム(例えば、半導体製造設備内の複数のフォトリソグラフィ機構)間で共有することが可能になる。
【0016】
(好適な実施形態の詳細な説明)
本明細書に組み込まれ、本明細書の一部を形成する添付の図面は、本発明を示し、説明と共に本発明の原理を説明し、かつ、当業者が本発明を製造および使用することを可能にすることにさらに役立つ。
【0017】
ここで、本発明を添付の図面を参照しながら説明する。図面においては、同様の参照符号は同一または機能的に類似の要素を示す。さらに、参照符号の左端の桁(単数または複数)は、参照符号が初出した図面の番号と同一である。
【0018】
(概略)
図1は、本発明の一実施形態によるセンサ装置102のブロック図である。センサ装置102は、センサ104と、センサ104に接続された通信インターフェース106と、ステージアセンブリインターフェース108と、マニピュレータインターフェース110とを含む。本発明の一実施形態によって、センサ装置102を、マニピュレータ114によってステージアセンブリ112の取り付けインターフェース118上に取り付け、および取り付けインターフェース118から取り外すことが可能である。
【0019】
センサ104は、入力信号(単数または複数)を受信して応答するデバイスである。本発明の一実施形態において、センサ104は、出力信号(単数または複数)を生成することによって、入力信号および/または入力刺激に応答する。これらの出力信号は、センサ装置102がステージアセンブリ112上に取り付けられた場合にデータインターフェース116に伝送される。表1は、センサ104内に設けられ得る例示のセンサのリストを提供する。表1は、これらの例示のセンサそれぞれの簡単な説明も提供する。これらの例示のセンサは例示として提供され、本発明の範囲を限定するものとしては提供されない。
【0020】
【表1】
センサ104は、通信インターフェース106を介してデータインターフェース116に出力信号を伝送する。本発明の一実施形態において、情報は、ステージアセンブリ112によって備えられたチャネル(図示せず)を介して、通信インターフェース106とデータインターフェース116との間で転送される。このようなチャネルの例は、ワイヤー、コンピュータシステムバス、ローカルエリアネットワーク(LAN)、および/または本明細書の教示から当業者に明らかとなる他のチャネルなどのコンダクタによって提供された電気接続(単数または複数)を含む。当業者に明らかであるように、本発明のさらなる実施形態において、情報は、無線周波数(RF)、赤外線(IR)光通信、および/または他の技術などの技術を介して、通信インターフェース106とデータインターフェース116との間で直接転送される。
【0021】
データインターフェース116は、通信インターフェース106を介してセンサ104から受信した情報を格納および/または処理する。本発明の一実施形態において、データインターフェース116はまた、センサ104から収集したデータをユーザに分析用に出力し得る。データインターフェース116は、ハードウェア、ソフトウェア、ファームウェア、またはこれらの任意の組み合わせを用いて実現され得る。
【0022】
ステージアセンブリインターフェース108は、センサ装置102をステージアセンブリ112上に取り付けることを可能にする。本発明の一実施形態において、ステージアセンブリ112は、半導体フォトリソグラフィプロセスにおいて用いられるウェハステージである。しかし、本発明のさらなる実施形態において、ステージアセンブリ112は、他の種類のフォトリソグラフィに関するプロセスにおいて用いられるステージまたは類似の構造であり得る。さらに、ステージアセンブリ112は、レチクル書き込みプロセスにおいて用いられるステージであり得る。さらに、ステージアセンブリ112は、例えば、光学顕微鏡および/または電子顕微鏡を用いる検査システム内のステージであり得る。さらに、ステージアセンブリ112は、当業者に明らかであり、本明細書の教示から明らかとなる他の技術において用いられるステージであり得る。
【0023】
マニピュレータインターフェース110は、センサ装置102をマニピュレータ114に接続することを可能にする。センサ装置102がマニピュレータ114に接続された場合、マニピュレータ114はセンサ装置102の位置を制御し得る。さらに、マニピュレータ114はステージアセンブリ112上にセンサ装置102を取り付け得、ステージアセンブリ112からセンサ装置102を取り外し得る。本発明の一実施形態において、マニピュレータ114はロボットエンドエフェクターである。しかし、当業者に明らかであるように、さらなる実施形態において、マニピュレータ114は他のデバイスであり得る。
【0024】
フォトリソグラフィの用途において、超紫外線(EUV)または157ナノメータの波長を含む大気条件など、特定の大気条件が、関連付けられたフォトリソグラフィチャンバ内で維持される必要がある。例えば、EUV用途には真空が必要であり、157ナノメータの用途には無酸素の環境が必要である。このような環境を維持するには、外部環境との材料の移動を可能にしながら、ロードロックとして公知の中間チャンバが用いられる。これらのロードロックは、材料を移動させながら、このような環境間の隔離を維持する。したがって、特定の半導体フォトリソグラフィの用途において、ロボットエンドエフェクター114は、ウェハロードロック(図示せず)とステージアセンブリ112との間でセンサ装置104を運搬する。
【0025】
図2A〜図2Dは、センサ装置102をステージアセンブリ112上に取り付けることに関する動作の順序を示す。この取り付け動作はマニピュレータ114によって制御される。図2Aはこの順序の第一の工程を示す。図2Aにおいて、マニピュレータ114およびセンサ装置102を、マニピュレータインターフェース110を介して接続する。この工程において、マニピュレータ114は、センサ装置102をステージアセンブリ112の方に(「変換」とラベリングされた矢印が示す方向に)移動させる。マニピュレータ114は、図2Bに示すようにステージアセンブリ112と位置が合うまで、この方向にセンサ装置102を移動させる。フォトリソグラフィに関する一実施形態において、この工程は、ウェハロードロック(図示せず)を介して、センサ装置102をフォトリソグラフィチャンバ(図示せず)内に移動させる工程、および/またはステージアセンブリ112を位置決めする工程を含む。このステージアセンブリ112を位置決めする工程は、6つの自由度でのステージアセンブリ112の回転および変換を含み得る。フォトリソグラフィなどの用途におけるステージアセンブリが非常に正確な動きを可能にするため、ステージアセンブリ112を位置決めすると、センサ装置102とステージアセンブリ112との間で高い正確さの位置合わせが可能になり得る。
【0026】
図2Bは、ステージアセンブリ112と位置が合ったセンサ装置102を示す。位置合わせが行われた後、マニピュレータ114はセンサ装置102を、ステージアセンブリ112の方に(「変換」とラベリングされた矢印が示す方向に)移動させる。マニピュレータ114は、ステージアセンブリ112上に取り付けられるまで、この方向にセンサ装置102を移動させる。
【0027】
図2Cにおいて、マニピュレータ114は、図2Bを参照して上述した動きを完了している。この時点で、センサ装置102をステージアセンブリインターフェース108および取り付けインターフェース118を介してステージアセンブリ112上に取り付ける。さらに、この時点で、通信インターフェース106をデータインターフェース116に接続する。この取り付け位置において、マニピュレータ114はセンサ装置102から自身を分離し得る。
【0028】
図2Dは、センサ装置102から自身を分離するマニピュレータ114を示す。マニピュレータ114は、センサ装置102およびステージアセンブリ112から離れるように(「変換」とラベリングされた矢印が示す方向に)移動することによって、この分離の動作を実行する。マニピュレータ114がセンサ装置102から外された後、センサ装置102は動作し得る。
【0029】
この時点で、センサ装置102をステージアセンブリ112に接続する。これにより、ここで、ステージアセンブリ112は、自身の位置決めを行って、センサ装置102と光学系(例えば、フォトリソグラフィ投影光学系)との位置合わせを行い得る。一実施形態において、センサ装置102は、位置合わせマーキングの使用を介して光学系と位置が合わせれる。このようなマーキングを図4Aおよび図7を参照して本明細書において説明する。これらの位置合わせマーキングは、光学系を介して読み取られて、制御器(図示せず)によって処理され得る。この制御器は、光基準(例えば、レチクル)に対するステージアセンブリ112の位置および位置合わせを制御して、センサ装置102を適切に位置決めする。
【0030】
図3A〜図3Dは、ステージアセンブリ112からのセンサ装置102の取り外しに関する動作の順序を示す。図2A〜図2Dを参照して上述した取り付け動作と同様、この動作はマニピュレータ114によって制御される。
【0031】
図3Aは、この順序における第一の工程を示す。図3Aにおいて、マニピュレータ114は、センサ装置102に(「変換」とラベリングされた矢印が示す方向に)接近する。図3Bに示すように、マニピュレータ114は、マニピュレータインターフェース110を介してセンサ装置102と接続するまで、センサ装置102に接近し続ける。
【0032】
マニピュレータ114がセンサ装置102と接続した後、マニピュレータ114は、図3Cに示すように、ステージアセンブリ112と接触している状態からセンサ装置102を取り外す。この取り外しは、マニピュレータ114がセンサ装置102を「変換」とラベリングされた方向に移動させることによって達成される。リソグラフィに関する一実施形態において、この工程は、ウェハロードロック(図示せず)を介して、センサ装置106をリソグラフィチャンバから格納エリア(図示せず)に移動させるマニピュレータ114を含む。
【0033】
次に、図3Dに示すように、マニピュレータ114は、ステージアセンブリ112の近傍からセンサ装置102を取り外す。この取り外しの方向は、「変換」とラベリングされた矢印によって示される。
【0034】
(センサ装置)
図4Aおよび図4Bはそれぞれ、本発明の一実施形態によって実現したセンサ装置102の概観図を提供する。センサ装置102は、第一の表面404、第二の表面406、および第三の表面(縁)408を有する基板402を含む。表面404および406は、実質的に平行であり、縁408まで延びる。
【0035】
基板402は、センサコンポーネントの取り付けを可能にするプラットフォームを提供する。本発明の実施形態において、基板402は、シリコン、アルミニウム、および/または低膨張ガラスなどの固体材料から構成される。さらに、当業者に明らかであるように、基板402は、センサ装置102の使用に適した物理特性を有する他の材料から構成されてもよい。
【0036】
本発明のさらなる実施形態において、基板402は、第一の表面404および第二の表面406などの構造板を支持するフレームを用いて実現される。この実施形態において、縁408はフレームを包囲する支持リングとして実現される。さらに、フレームを蜂巣状の構造または類似の構造で固定して、基板402の安定性を強化させ得る。このフレーム構造の利点は、これによりセンサ装置102の重量が減少することである。さらに、このようなフレーム構造により、センサ装置102のコンポーネントを基板402の内部に、より容易に挿入することが可能になる。
【0037】
センサ104は第一の表面404上に配置される。さらに、第一の表面404上に配置されるのは、支持電子機器410および複数の位置合わせマーキング412a〜412dである。センサ104ははんだ付けおよび/またはボンディングなどの技術によって基板402の第一の表面404に取り付けられ得る。当業者に明らかであるように、このボンディングはエポキシ接着剤および/または他の接着剤などの接着剤(単数または複数)を用いて実行され得る。
【0038】
センサ104は支持電子機器410に接続される。本発明の一実施形態において、支持電子機器410は、センサ104とデータインターフェース116との間での情報交換を可能にする通信機能を含む。当業者に明らかであるように、支持電子機器410の例は、連続して、且つ、平行なデジタルインターフェース論理を含む。支持電子機器410は、ハードウェア、ソフトウェア、ファームウェアまたはこれらの任意の組み合わせで実現され得る。
【0039】
位置合わせマーキング412a〜412dは、光学系を用いてセンサ装置102の物理的な位置合わせを可能にする。すなわち、位置合わせマーキング412は、基準フレームを提供して、ステージアセンブリ112が所望の位置合わせ、およびフォトリソグラフィシステムの光学系から、取り付けられたセンサ装置102までの距離を設定することを可能にする。図4Aおよび図4Bに示すように、位置合わせマーキング412は、表面404上にプリントされ、異なる所定の角度で方向付けられた、対のハッシュマークを含む。本発明のさらなる実施形態において、位置合わせマーキング412は、表面404上にプリントされた他の種類のマーキングを含み得る。当業者に明らかであるように、このようなマーキングの例は山形および他のパターンを含む。さらに、当業者に明らかであるように、位置合わせマーキング412は凸または凹の移動止めによって実現され得る。
【0040】
ステージアセンブリインターフェース108は第二の表面406上に配置される。図4Aおよび図4Bに示す実施形態において、ステージアセンブリインターフェース108は複数のステージアセンブリコネクタ414a〜414cを含む。
【0041】
図4Aおよび図4Bに示すように、ステージアセンブリコネクタ414a〜414cはボールマウント(ball mount)である。センサ装置102がステージアセンブリ112上に取り付けられた場合、これらのボールマウントはステージアセンブリ112に取り付けられたクレードル内に嵌合するため、センサ装置102はステージアセンブリ112の動きに制限される。これらのクレードルを図5および図6を参照してより詳細に以下に説明する。本発明のさらなる実施形態において、ステージアセンブリインターフェース108は他の技術を用いて実現され、センサ装置112の取り付けを可能にし得る。当業者に明らかであるように、このような技術の例は、ステージアセンブリ112、フックメカニズム、および/または他の技術との磁気結合の使用を含む。
【0042】
第三の表面408はマニピュレータインターフェース110を規定する。図4Aおよび図4Bに示すように、マニピュレータインターフェース110は、基板402内に空洞を規定する第三の表面408上に形成される開口420である。マニピュレータ114は、マニピュレータ114の端部が開口420内に挿入された場合にセンサ装置102と接続される。
【0043】
バッテリ416は、センサ104に接続されて、表面406上に配置され得る。バッテリ416は電力をセンサ104に供給する。必要に応じて、表面406上に配置され得る他の要素は、通信インターフェース106およびさらなる回路部418を含む。さらなる実施形態において、バッテリ416は、電力を他のコンポーネント(支持電子機器410、さらなる回路部418、および通信インターフェース106など)に供給する。しかし、本発明のさらなる実施形態において、センサ装置102がステージアセンブリ112上に取り付けられた場合、通信インターフェース106は、センサ104への電力の伝達を可能にするセンサ104に接続された電力インターフェース、支持電子機器410、および/またはさらなる回路部418を含む。
【0044】
通信インターフェース106はセンサ104に接続される。通信インターフェース106はさらに、支持電子機器410およびさらなる回路部418に接続され得る。本発明の一実施形態において、通信インターフェース106は、ステージアセンブリ112上に配置された電気コネクタに接続するスプリングコンタクトリードを用いて実現される。このような電気コネクタを図5を参照して以下により詳細に説明する。当業者に明らかであるように、本発明のさらなる実施形態において、通信インターフェース106は、一つ以上のアセンブリへの容量結合および/または誘導結合(例えば、ステージアセンブリ112、および/または他の近似構造)、RF通信リンク、および/またはIR通信リンクなどの他の技術を用いて実現される。実施形態において、これらのRF通信リンクおよび/またはIR通信リンクはまた、電力をセンサ104、支持電子機器410、および/またはさらなる回路部418に移動させ得る。
【0045】
支持電子機器410と同様、さらなる回路部418は、センサ104に接続されて、信号調節および/またはセンサ104とデータインターフェース116との間での情報交換を可能にするデータバッファリング機能などの機能を提供し得る。当業者に明らかであるように、さらなる回路部418は、ハードウェア、ソフトウェア、ファームウェアまたはこれらの任意の組み合わせを用いて実現され得る。
【0046】
図5は、本発明の一実施形態による、ステージアセンブリ112を実現する概観図である。図5に示すように、ステージアセンブリ112は、表面502、表面502上に配置された複数のセンサ装置マウント504a〜504c、および表面502上に配置されたコネクタモジュール506を含む。
【0047】
センサ装置マウント504a〜504cは取り付けインターフェース118の要素である。センサ装置マウント504はそれぞれ、ステージアセンブリコネクタ414のうちの一つに対応するクレードル508を含む。センサ装置マウント504により、センサ装置102がステージアセンブリ112の動きに制限される。
【0048】
コネクタモジュール506は、通信インターフェース106とデータインターフェース116との間に接続を提供する。コネクタモジュール506はまた、通信インターフェース106を介して、センサ装置102に電力を供給し得る。本発明の一実施形態において、コネクタモジュール506は、通信インターフェース106のスプリングコンタクトリードに対応する複数のコンダクタを含む。これらのコンダクタは、ポゴコンタクトであってもよいし、当業者に明らかである他のコンダクタであってもよい。
【0049】
図6は、図4および図5を参照して上述した実現による、センサ装置102およびステージアセンブリ112の位置合わせを示す概観図である。図6に示すように、ステージアセンブリコネクタ414a〜414cは、対応するクレードル508a〜508cと位置合わせされている。
【0050】
(チャックが取り付け可能なウェハセンサ装置)
特定のセンサおよび検出器は、動作するために実質的に平坦な表面を必要とする。例えば、空中像センサは、個別の焦点工程において空中像を適切に測定するために、実質的に平坦な開口を必要とする。残念ながら、特定のセンサおよび/または検出器(例えば、空中像センサ)を製造するために必要な処理は、センサが配置される基板を湾曲させる傾向がある。
【0051】
本発明の一実施形態によって、適切な動作のためにこのように湾曲したセンサおよび/または検出器を平坦にする機能は、ウェハチャックによって実行される。
【0052】
フォトリソグラフィの用途において、ウェハチャックは、ステージアセンブリ112に取り付けられて、露光の間、半導体ウェハなどのウェハを平坦に保持する。同様に、ウェハチャックを用いて、センサ装置102を保持し、かつ、平坦にし得る。さらに、ウェハチャックは、マニピュレータ114などのデバイスによって、ステージアセンブリ112に取り付けられ、および、取り外され得る。したがって、本発明の実施形態によって、センサ装置102はウェハ基板上に実現され、取り付けインターフェース118はステージアセンブリ112に接続されたウェハチャックを用いて実現される。
【0053】
図7は、本発明の一実施形態による、センサ装置102’のチャックが取り付け可能なウェハ実現の概観図である。センサ装置102’は、支持電子機器410’および基板としてのウェハ702上に配置された位置合わせマーキング412a’〜412d’を含む。さらに、センサ装置102’は、センサ装置102を参照して、本明細書において記載した特徴および要素を含み得る。
【0054】
しかし、ステージアセンブリインターフェース108を含むセンサ装置102とは異なり、実施形態において、センサ装置102’はこの要素を含まない。むしろ、ウェハチャック(図示せず)に、ステージアセンブリインターフェース108が含まれる。このため、ウェハチャックは、センサ装置102’に接続して、そして、センサ装置102’を平坦に保持することに加え、ステージアセンブリ112に接続する。
【0055】
一実施形態において、センサ装置102’は、ステージアセンブリ112上に配置されて、図2A〜図3Dを参照して本明細書において説明した動作の順序によって、ステージアセンブリ112から取り外される。このような配置および取り外しは、センサ装置102’および取り付けられたウェハチャックを共に移動させるマニピュレータ114を含み得る。しかし、このような配置および取り外しは、センサ装置102’を取り外して、ステージアセンブリ112にすでに接続されているウェハチャックに取り付けるマニピュレータ114を含み得る。
【0056】
支持電子機器410’は、データ格納および伝送回路部704、信号増幅回路部706、信号調節回路部708、ならびに通信および送電回路部710を含み得る(但し、これらに限定されない)。さらに、支持電子機器410’は、接地(ground)回路部(図示せず)を含み得る。一実施形態において、支持電子機器410’は、支持電子機器410を参照して本明細書において説明したように実行する。
【0057】
一つ以上のセンサ104’はウェハ702上に配置される。図7に示すように、これらのセンサ(単数または複数)は空中像センサである。一実施形態において、これらの空中像センサは、ポリシリコン、クロムおよび/または化学線波長を透過しない他の材料の層を有する感光性材料から構成され、照射源からのエネルギーの収集を可能にする開口を有する。しかし、本明細書において説明し、本明細書の教示から当業者に明らかであるように、本発明のさらなる実施形態において、センサ(単数または複数)104’は他の種類のセンサであってもよい。
【0058】
センサ(単数または複数)104’は、通信および電力伝送回路部710から電力を受け取る、データ格納および伝送回路部704に接続される。データ格納および伝送回路部704は、センサ(単数または複数)104’から出力信号を受信し、これらの信号を信号増幅回路部706に伝送する。
【0059】
信号増幅回路部706は、データ格納および伝送回路部704から受信した信号を増幅し、これらの信号を信号調節回路部708に転送する。信号増幅回路部706は、通信および電力伝送回路部710から電力を受け取る。
【0060】
信号調節回路部708は、増幅した信号を受信して、これらの信号を処理する。これにより、これらの信号は、通信および電力伝送回路部710によって、データインターフェース116に伝送される準備ができたフォーマットになる。一実施形態において、このフォーマットはデジタル信号を含む。しかし、さらなる実施形態において、このフォーマットはアナログ信号を含む。信号調節回路部708は、通信および電力伝送回路部710から電力を受け取る。
【0061】
通信および電力伝送回路部710は、センサ装置102’の他の要素に電力を供給する。さらに、通信および電力伝送回路部710は、信号をデータインターフェース116に伝送する。一実施形態において、通信および電力伝送回路部710は、バッテリ(図示せず)を含んで電力を供給する。しかし、さらなる実施形態において、通信および電力伝送回路部710は、一つ以上のアセンブリ(例えば、ステージアセンブリ112、投影光学系(図示せず)、および/または他の近似構造)への誘導結合および/または容量結合を介して電力を受け取り得る。さらに、通信および電力伝送回路部710は、ウェハチャック(図示せず)に接触するウェハ702の表面上に配置された電気コンタクト(図示せず)を介して電力を受け取り得る。これらのコンタクトは、ウェハチャックと接触を可能にするように、センサ装置102’の任意の表面上に配置され得る。
【0062】
本発明の実施形態において、通信および電力伝送回路部710は、容量結合および/または誘導結合などの技術を介して、データインターフェース116と情報を交換する。この結合は、ステージアセンブリ112および/または投影光学系と行われ得る。さらに、当業者に明らかであるように、通信および電力伝送回路部710は、無線周波数(RF)リンク、光(例えば、赤外線(IR))通信、および/または他のリンクを介して、情報を通信しおよび/または電力を受け取り得る。
【0063】
(結論)
本発明の種々の実施形態を上述してきたが、これらは例示のみを目的として提示され、本発明を限定しないことが理解されるべきである。形態および詳細における種々の変更が、本発明の意図および範囲から逸脱せずになされ得ることが当業者に明らかである。当業者に明らかであるように、例えば、本発明は、センサおよび検出器に限定されず、アクチュエータおよび他の種類のデバイスを含み得る。したがって、本発明の幅および範囲は、上述の例示の実施形態のいずれによっても限定されるべきではなく、上掲の特許請求の範囲およびその均等物によってのみ規定されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【図1】
図1は、本発明の一実施形態による、機能ブロック図を示す。
【図2A】
図2Aは、本発明の一実施形態による、ステージアセンブリ上へのセンサ装置の取り付けに関する動作の順序を示す。
【図2B】
図2Bは、本発明の一実施形態による、ステージアセンブリ上へのセンサ装置の取り付けに関する動作の順序を示す。
【図2C】
図2Cは、本発明の一実施形態による、ステージアセンブリ上へのセンサ装置の取り付けに関する動作の順序を示す。
【図2D】
図2Dは、本発明の一実施形態による、ステージアセンブリ上へのセンサ装置の取り付けに関する動作の順序を示す。
【図3A】
図3Aは、本発明の一実施形態による、ステージアセンブリからのセンサ装置のステージの取り外しに関する動作の順序を示す。
【図3B】
図3Bは、本発明の一実施形態による、ステージアセンブリからのセンサ装置のステージの取り外しに関する動作の順序を示す。
【図3C】
図3Cは、本発明の一実施形態による、ステージアセンブリからのセンサ装置のステージの取り外しに関する動作の順序を示す。
【図3D】
図3Dは、本発明の一実施形態による、ステージアセンブリからのセンサ装置のステージの取り外しに関する動作の順序を示す。
【図4A】
図4Aは、本発明の一実施形態による、センサ装置の概観図を提供する。
【図4B】
図4Bは、本発明の一実施形態による、センサ装置の概観図を提供する。
【図5】
図5は、本発明の一実施形態による、ステージアセンブリを実現する概観図である。
【図6】
図6は、本発明の一実施形態による、取り付けるために位置が合わせられたセンサ装置およびステージアセンブリの概観図である。
【図7】
図7は、本発明の一実施形態による、チャックが取り付け可能なウェハセンサ装置の概観図である。
Claims (31)
- ステージアセンブリ上への取り付けおよび該ステージアセンブリからの取り外しが可能なセンサ装置であって、該センサ装置は、
基板と、
該基板に接続された一つ以上のセンサと
を含むセンサ装置。 - 前記基板に接続された少なくとも一つのステージアセンブリコネクタであって、前記センサ装置がステージアセンブリ上に取り付けられることを可能にする、少なくとも一つのステージアセンブリと、
マニピュレータが該センサ装置に接続することを可能にすることによって、該マニピュレータが該センサアセンブリ上に該センサ装置を取り付けること、および該センサアセンブリから該センサ装置を取り外すことを可能にする、少なくとも一つのマニピュレータインターフェースと
をさらに含む、請求項1に記載のセンサ装置。 - 前記少なくとも一つのステージアセンブリコネクタのそれぞれは、該ステージアセンブリ上に配置された取り付けインターフェースと係合する、請求項2に記載のセンサ装置。
- 前記基板は前記センサと光学系との物理的位置合わせを可能にする一つ以上の位置合わせマーキングを有する、請求項1に記載のセンサ装置。
- 前記一つ以上のセンサに接続された通信インターフェースをさらに含み、該通信インターフェースは、前記センサ装置が前記ステージアセンブリ上に取り付けられた場合に、該一つ以上のセンサがデータインターフェースと通信することを可能にする、請求項1に記載のセンサ装置。
- 前記通信インターフェースは、前記ステージアセンブリ上に配置された電気コネクタに接続するスプリングコンタクトリードを含む、請求項5に記載のセンサ装置。
- 前記通信インターフェースは前記ステージアセンブリとの容量結合を含む、請求項5に記載のセンサ装置。
- 前記通信インターフェースは前記ステージアセンブリとの誘導結合を含む、請求項5に記載のセンサ装置。
- 前記通信インターフェースは光通信リンクを含む、請求項5に記載のセンサ装置。
- 前記通信インターフェースは無線周波数(RF)通信リンクを含む、請求項5に記載のセンサ装置。
- 前記センサに接続され、該センサに電力を供給するバッテリをさらに含む、請求項1に記載のセンサ装置。
- 前記一つ以上のセンサに接続され、前記センサ装置が前記ステージアセンブリ上に取り付けられた場合に、該一つ以上のセンサへの電力の伝達を可能にする電力インターフェースをさらに含む、請求項1に記載のセンサ装置。
- 前記電力インターフェースは、無線周波数(RF)通信リンクを介して前記一つ以上のセンサへの電力の伝達を可能にする、請求項12に記載のセンサ装置。
- 前記電力インターフェースは、光通信リンクを介して前記一つ以上のセンサへの電力の伝達を可能にする、請求項12に記載のセンサ装置。
- 前記センサのうちの一つは波面感知検出器を含む、請求項1に記載のセンサ装置。
- 前記センサのうちの一つは干渉計を含む、請求項1に記載のセンサ装置。
- 前記センサのうちの一つは線量較正標準を含む、請求項1に記載のセンサ装置。
- 前記センサのうちの一つはレチクル位置合わせセンサを含む、請求項1に記載のセンサ装置。
- 前記センサのうちの一つは線量均一度検出器を含む、請求項1に記載のセンサ装置。
- 前記センサのうちの一つは空中像センサを含む、請求項1に記載のセンサ装置。
- 前記センサのうちの一つは線量検出器を含む、請求項1に記載のセンサ装置。
- ステージアセンブリ上にセンサ装置を取り付ける方法であって、該センサ装置は、基板および該基板に接続された一つ以上のセンサを含み、該方法は、
マニピュレータを該センサ装置に係合させる工程と、
該センサ装置を該ステージアセンブリ上に配置する工程と、
該センサ装置から該マニピュレータを外す工程と
を包含する方法。 - 前記基板に接続され、前記センサ装置がステージアセンブリ上に取り付けられることを可能にする、該少なくとも一つのステージアセンブリコネクタを提供する工程をさらに包含する、請求項22に記載の方法。
- 前記配置されたセンサ装置と光学系との位置合わせを行う工程をさらに包含する、請求項22に記載の方法。
- 前記位置合わせを行う工程は前記ステージアセンブリの位置決めを行う工程を包含する、請求項24に記載の方法。
- 前記センサ装置と前記ステージアセンブリとの位置合わせを行う工程をさらに包含する、請求項22に記載の方法。
- 前記位置合わせを行う工程は前記ステージアセンブリの位置決めを行う工程を包含する、請求項26に記載の方法。
- ウェハロードロックを介して、前記センサ装置をフォトリソグラフィチャンバ内に移動させる工程をさらに包含する、請求項22に記載の方法。
- ステージアセンブリからセンサ装置を取り外す方法であって、該センサ装置は、基板および該基板に接続された一つ以上のセンサを含み、該方法は、
マニピュレータを該センサ装置に係合させる工程と、
該ステージアセンブリから該センサ装置を持ち上げる工程と、
該センサ装置を該ステージアセンブリからセンサ装置格納エリアに移動させる工程と
を包含する方法。 - 前記基板に接続され、前記センサ装置がステージアセンブリ上に取り付けられることを可能にする、少なくとも一つのステージアセンブリコネクタを提供する工程をさらに包含する、請求項29に記載の方法。
- ウェハロードロックを介して、前記センサ装置をリソグラフィチャンバから格納エリアに移動させる工程をさらに包含する、請求項29に記載の方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007129212A (ja) * | 2005-10-11 | 2007-05-24 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置 |
WO2021246331A1 (ja) * | 2020-06-04 | 2021-12-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査基板、その再生方法、および基板処理装置 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6828542B2 (en) * | 2002-06-07 | 2004-12-07 | Brion Technologies, Inc. | System and method for lithography process monitoring and control |
JP2004055933A (ja) * | 2002-07-22 | 2004-02-19 | Advantest Corp | 電子ビーム露光装置、及び電子ビーム計測モジュール |
EP1457831A1 (en) * | 2003-03-11 | 2004-09-15 | ASML Netherlands B.V. | Method and apparatus for maintaining a machine part |
SG115631A1 (en) | 2003-03-11 | 2005-10-28 | Asml Netherlands Bv | Lithographic projection assembly, load lock and method for transferring objects |
US7053355B2 (en) | 2003-03-18 | 2006-05-30 | Brion Technologies, Inc. | System and method for lithography process monitoring and control |
US7171334B2 (en) | 2004-06-01 | 2007-01-30 | Brion Technologies, Inc. | Method and apparatus for synchronizing data acquisition of a monitored IC fabrication process |
US8547522B2 (en) | 2005-03-03 | 2013-10-01 | Asml Netherlands B.V. | Dedicated metrology stage for lithography applications |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6115328A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-23 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | リソグラフィー装置のモニタ装置 |
JPH1092722A (ja) * | 1996-09-18 | 1998-04-10 | Nikon Corp | 露光装置 |
WO1999060361A1 (fr) * | 1998-05-19 | 1999-11-25 | Nikon Corporation | Instrument et procede de mesure d'aberrations, appareil et procede de sensibilisation par projection incorporant cet instrument, et procede de fabrication de dispositifs associe |
JP2000240717A (ja) * | 1999-02-19 | 2000-09-05 | Canon Inc | 能動的除振装置 |
WO2000055890A1 (fr) * | 1999-03-18 | 2000-09-21 | Nikon Corporation | Systeme d'exposition et procede de mesure d'aberration pour son systeme optique de projection, et procede de production pour ce dispositif |
JP2001338868A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-12-07 | Nikon Corp | 照度計測装置及び露光装置 |
-
2001
- 2001-10-05 WO PCT/US2001/031332 patent/WO2002029495A1/en active Application Filing
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- 2001-10-05 JP JP2002533005A patent/JP2004511093A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6115328A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-23 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | リソグラフィー装置のモニタ装置 |
JPH1092722A (ja) * | 1996-09-18 | 1998-04-10 | Nikon Corp | 露光装置 |
WO1999060361A1 (fr) * | 1998-05-19 | 1999-11-25 | Nikon Corporation | Instrument et procede de mesure d'aberrations, appareil et procede de sensibilisation par projection incorporant cet instrument, et procede de fabrication de dispositifs associe |
JP2000240717A (ja) * | 1999-02-19 | 2000-09-05 | Canon Inc | 能動的除振装置 |
WO2000055890A1 (fr) * | 1999-03-18 | 2000-09-21 | Nikon Corporation | Systeme d'exposition et procede de mesure d'aberration pour son systeme optique de projection, et procede de production pour ce dispositif |
JP2001338868A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-12-07 | Nikon Corp | 照度計測装置及び露光装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007129212A (ja) * | 2005-10-11 | 2007-05-24 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置 |
JP4541338B2 (ja) * | 2005-10-11 | 2010-09-08 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置 |
WO2021246331A1 (ja) * | 2020-06-04 | 2021-12-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査基板、その再生方法、および基板処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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WO2002029495A1 (en) | 2002-04-11 |
KR100691570B1 (ko) | 2007-03-12 |
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