KR100523350B1 - 백-사이드 마스크 정렬이 가능한 노광장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (3)
- 마스크 척 스테이지에 고정된 마스크(M)와 웨이퍼 척 스테이지에 고정된 작업기판(W)의 위치를 정렬시킨 후, 마스크(M) 패턴을 작업기판(W)상에 투영하여 노광을 행하는 노광장치에 있어서,상기 작업기판(W)의 하부 소정위치에 배치되어 상기 마스크(M)에 표시된 마스크 정렬마크(MAM)와 상기 작업기판(W)에 표시된 작업기판 정렬마크(WAM)의 상을 수광하는 백-사이드 정렬용 CCD 카메라;상기 백-사이드 정렬용 CCD 카메라의 하단에 배치되어 상기 백-사이드 정렬용 CCD 카메라를 X,Y,Z축 방향으로 이송시키는 백-사이드 CCD 카메라 이송용 모터;상기 백-사이드 정렬용 CCD 카메라에 수광된 마스크 정렬마크(MAM)와 작업기판 정렬마크(WAM)의 상을 화상으로 캡쳐하여 상기 작업기판 정렬마크(WAM)와 마스크 정렬마크(MAM)의 이미지가 일치하도록 상기 웨이퍼 척 스테이지를 이동 제어하는 컨트롤러; 및상기 컨트롤러로부터 출력되는 제어신호를 입력받아 상기 웨이퍼 척 스테이지를 이동시키는 웨이퍼 척 방향 조절 마이크로미터;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 백-사이드 마스크 정렬이 가능한 노광장치.
- 제 1항에 있어서,상기 백-사이드 정렬용 CCD 카메라는 상기 작업기판(W)의 뒷면에 표시된 작업기판 정렬마크(WAM)의 백-사이드 정렬을 위한 마이크로스코프 CCD 카메라인 것을 특징으로 하는 백-사이드 마스크 정렬이 가능한 노광장치.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 컨트롤러는 상기 마스크 정렬마크(MAM)와 작업기판 정렬마크(WAM)의 위치좌표를 인식하여 위치좌표의 차를 구하고, 상기 마스크 정렬마크(MAM)와 작업기판 정렬마크(WAM)의 위치좌표가 일치하도록 상기 웨이퍼 척 스테이지를 X,Y,Z,θ축 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 백-사이드 마스크 정렬이 가능한 노광장치.
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