JP2000240717A - 能動的除振装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 振動検出手段への電気配線を介して除振台へ
振動が伝達するのを防止する。 【解決手段】 除振台に駆動力を付与するアクチュエー
タと、除振台の振動を検出するための振動検出手段と、
振動検出手段の出力をフィードバックしてアクチュエー
タを駆動する制御手段を備える能動的除振装置におい
て、振動検出手段は除振台の振動を検出する振動検出ヘ
ッドＡＣおよびこの振動検出ヘッドの出力を電磁波の信
号に変換して送信する送信手段ＴＲと、この送信信号を
受信する受信手段ＲＣとを備え、振動検出ヘッドおよび
送信手段は除振台に取り付けられ、受信手段は除振台以
外の部分に取り付けられる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は能動的除振装置に関
する。特に、半導体露光用のＸＹステージを搭載してな
る半導体露光装置の一構成ユニットとして好適に使用さ
れる能動的除振装置であって、除振台へと伝達する振
動、特に微振動の抑制を図った能動的除振装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】除振装置の役割は、床振動の除振台への
伝達を抑制することにある。近年、除振台上に搭載する
精密機器の高精度・高速化要求に応えるため、アクチュ
エータを積極的に動作させることによって除振台上の振
動抑制を図る能動的除振装置が用いられる傾向にある。
能動的除振装置は受動的除振装置に比較して優れた特性
を有するが、同装置が設置されている床の振動の除振台
への伝達を完全に遮断できるわけではない。振動の伝達
経路としては、除振台を支持する機構、具体的には機械
スプリングや機構の粘性要素が挙げられる。能動的除振
装置において、除振台を支持する支持機構を経由して伝
達する振動は、床の振動を適切な振動検出手段でピック
アップし、それを支持機構の伝達モデルを介してフィー
ドフォワードする制御技術によって抑制できる。所謂、
床振動フィードフォワードあるいは地動フィードフォワ
ードと呼ばれている技術である。このフィードフォワー
ドの適用によって、床の振動の除振台への伝達をある程
度抑制できる。例えば、除振台の固有振動数近傍で最大
１５［ｄＢ］程度の抑圧効果が得られる。

【０００３】しかしながら、除振台に対する支持機構の
ように、床の振動が伝達する経路としての素性と方位が
明らかなものの他にも床振動の伝達経路は存在する。例
えば除振台に搭載される精密機器あるいは振動検出手段
などへのケーブル類である。これは、電気配線や空気あ
るいは冷却用媒体の配管を総称している。これらのケー
ブル類は、床あるいは床と剛に接続する物体から除振台
上の精密機器などに接続されているため、除振台への振
動伝達経路となり得、実際に除振率（床の振動が除振台
へと伝達する割合を周波数特性で示したもの）を悪化さ
せる。例えば、ケーブル類が振動源（例えば、回転機械
など）に接していた場合、その振動はケーブル類を伝わ
り、除振台も振動させる。除振台に伝達したこのような
持続振動は、フィードバックのパラメータをいくら調整
しても、能動的除振装置固有の除振率の周波数特性が示
す抑圧比でしか減衰させることができない。しかも、こ
のような振動は、先に述べた床振動フィードフォワード
の如き制御技術を適用して相殺することは困難である。
もちろん、ケーブル類が柔らかい場合、除振台への振動
の伝達は顕著なものとはならない。しかし、現実にはケ
ーブル類は太い束を形成し、機械的には十分な大きさの
剛性を持つに至るのである。したがって、振動を伝達さ
せる機構部材の如き振る舞いをする。

【０００４】さて、特開平１０−２２３５２７号公報
（露光装置）には、ケーブル類によって半導体露光装置
内のＸＹステージの位置決め特性（位置決め時間および
位置精度）が影響することのないようにとの観点から、
ケーブル類中継部を設けて、これがＸＹステージに追従
して移動する手段を設けている。ＸＹステージの移動に
よって引き回されるケーブル類によるばね力が、同ステ
−ジの移動場所に関わらず一定になるようにとの工夫が
ある。しかし、同上の公開公報のものは、ＸＹステージ
の移動によって引き回されるケーブル類のばね性による
引っ張り力もしくは反発力を発生させないようにするた
めに案出されたものである。したがって、ケーブル類を
伝達経路として精密なＸＹステージヘと侵入してくる振
動を遮断ないし軽減するという着眼は無いと言えるので
ある。本発明は、ケーブル類のばね性による引っ張り力
もしくは反発力を発生させないようにすることを狙いと
したものではなく、ケーブル類が振動伝達の経路となっ
て精密機器に影響することに注意を向け、これを防止す
るものである。

【０００５】さて、能動的除振装置においては、振動検
出手段としての加速度センサや、位置検出手段としての
位置センサを多数個使用する。まず、後者のセンサは、
床とは剛な構造部材に定めた基準から除振台が定位する
位置を計測して制御のためのフィードバック信号として
使用する。したがって床側に位置センサを装着して除振
台の変位を測定すればよいので、位置センサの電気配線
は床側に実装できる。つまり、位置センサの電気配線は
除振台へと伝達する床の振動の伝達経路とはならないよ
うに実装できる。また、アクチュエータに対する電気配
線も床側に設けることができる。空気ばねアクチュエー
タヘの動作流体を給排気するサーボバルブは床側に実装
して、それに対する電気配線および配管を設けることが
できる。また、電磁モータの代表であるリニアモータを
空気ばねアクチュエータとともに併用する場合である
が、電気配線が必要な巻線コイルは床側に、永久磁石は
除振台側に装着できる。

【０００６】しかしながら、加速度センサについては、
どうしても除振対象の除振台側に設置せねばならない。
したがって、同センサの電気配線は振動伝達の経路とな
り得る。もちろん、同センサ１個だけではたいした振動
伝達の経路とはならない。しかし、除振台の６自由度の
運動姿勢を制御する大規模な能動的除振装置の場合、電
気配線がそれ本来の役割とは異なる様相をみせる。なん
となれば、６自由度の運動姿勢を制御するためには少な
くとも６個の加速度センサが必要であり、しかも除振台
の制御のための制御基板へのコンパクトな電気的接続が
必要という実装上の都合から、複数の加速度センサの電
気配線は束線することが行なわれる。同センサの電気配
線とともに他の配管もまとめてケーブル類として束線さ
れる場合もある。このとき、束線されたケーブル類は適
度な剛性をもつ。つまり、不幸なことに振動を除振台へ
と伝達させてしまう経路として働くのである。もちろ
ん、個々の加速度センサの電気配線に弛みを設け、その
配線を個別に除振台側から制御基板へと導けばよいこと
ははっきりしている。この場合、個々の電気配線は十分
に柔らかくしかも除振台の動きを少しでも拘束すること
がないように弛ませるので、除振台へと伝達する振動は
ある程度減らせる。しかし、このような電気配線の実装
は、空間利用に余裕がある場合に限られる。半導体露光
装置においては空間は密に利用されており、電気配線に
弛みをつけておくことは現実問題として許されない。何
故ならば、除振台の近傍に設置される可動機構などに絡
まる事故などを招くからである。

【０００７】再度、電気配線が除振台への振動伝達経路
となることを具体例な図面を参照して説明する。図２は
能動的除振装置の電気実装の一例である。同図におい
て、１は除振台、２Ｒ，２Ｌは振動検出手段の代表とし
ての鉛直方向の加速度センサ、３Ｒ，３Ｌは振動検出手
段の代表としての水平方向の加速度センサ、４Ｒ，４Ｌ
は鉛直方向の空気ばねアクチュエータ（水平方向の空気
ばねアクチュエータは不図示）、５は床である。ここ
で、ＲとＬは、除振台１を支持する空気ばねアクチュエ
ータ４などからなる能動的支持脚の装着部位を示す。図
示のように、部位ＲとＬに鉛直と水平の加速度センサ
２，３がそれぞれ設置されており、これらの電気配線は
束線６となって除振台１より床５の方に延ばされてい
る。そして、床側の束線６は不図示の制御基板へと接続
される。したがって、床５に存在する振動は束線６を伝
達経路として除振台１へと伝達する。なお、図２の場合
は床の振動が除振台１へと伝達することになるが、束線
６が不図示の中継部材へと実装されている場合、この中
継部材の振動は束線６を介して除振台１へと伝達する。
何れにしても、束線６が除振台１へと振動を伝達させる
経路となる事実に変わりはない。実際、マイクロＧのオ
ーダの振動を計測している場合、加速度センサの電気配
線の引き回しあるいは束線を変更すると計測値が変動す
るという現象は容易に観察でき、したがって加速度セン
サの電気配線を伝達経路とする振動があることは確かで
ある。このような振動の伝達は、除振台を能動的に制御
するために備えた加速度センサそれ自身によってもたら
されてしまうことに注意すべきである。

【０００８】除振台への振動伝達を抑制するためには、
振動伝達の経路となる加速度センサの電気配線を排除す
ることが必要となる。もちろん、電源を給電して加速度
出力を取り出さねばならないので、そのための電気配線
は必要不可欠である。しかし近年の電子技術の進歩は電
源の給電と信号の授受とをワイヤレスで行なう振動検出
手段の出現をもたらした。本発明は、特に能動的な制御
のために必要不可欠な振動検出手段としての加速度セン
サの電気配線をワイヤレス化して、除振台への振動の伝
達を極力排除した能動的除振装置を提供することを目的
とする。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】従来、能動的除振装置
においては、除振台に設置した振動検出手段の出力に基
づいてアクチュエータを駆動するという閉ループ系が構
成されている。振動検出手段の出力を適切にフィードバ
ックすることによって、床の振動の除振台への伝達を抑
制することができる。しかるに、高精度な位置決め機器
あるいは測定機器が除振台に搭載されるに従って、除振
台へと伝達する微振動にも注意を払ってこれを除去せね
ばならなくなった。除振台へと伝達する微振動の１つと
して、配線類を経路とするものが挙げられる。皮肉にも
除振台の振動を抑制するために必須の振動検出手段それ
自身の電気配線から振動が伝達するのである。

【００１０】そこで、本発明の目的は、振動検出手段な
どの電気配線をワイヤレス化して振動の伝達経路を遮断
した能動的除振装置を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに、本発明では、除振台に駆動力を付与するアクチュ
エータと、前記除振台の振動を検出するための振動検出
手段と、前記振動検出手段の出力をフィードバックして
前記アクチュエータを駆動する制御手段を備える能動的
除振装置において、前記振動検出手段は前記除振台の振
動を検出する振動検出ヘッドおよびこの振動検出ヘッド
の出力を電磁波の信号に変換して送信する送信手段と、
この送信信号を受信する受信手段とを備え、前記振動検
出ヘッドおよび送信手段は前記除振台に取り付けられ、
前記受信手段は前記除振台以外の部分に取り付けられて
いることを特徴とする。

【００１２】なお、振動検出手段の出力に基づくフィー
ドバックに加えて、例えば位置検出手段の出力に基づく
フィードバックなどを備えていてもよい。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施形態におい
ては、前記振動検出手段は、前記振動検出ヘッドおよび
送信手段に前記除振台以外の部分からワイヤレスで電力
を供給する誘導電源を備える。また、前記電磁波は電波
もしくは光である。以下、実施例を通じて本発明の実施
形態をより具体的に説明する。

【００１４】

【実施例】本実施例の能動的除振装置を詳細に説明する
前準備として、回転体・移動体の温度、応力、圧力、振
動（加速度あるいは速度）、トルク、電圧などを無線遠
隔計測するシステムとしての工業用無線計測装置（テレ
メトリシステム）の説明を行なう。

【００１５】図３は測定対象７の振動（より具体的には
加速度）を、ワイヤレスで検出する振動検出手段の装置
構成を示す。同図において、８は計測対象７に取り付け
られた振動検出ヘッドであり、この出力はトランスミッ
タ９に導かれている。ここでは、信号変換部と送信変調
部を通ってアンテナ１０から電波が送信される。この電
波はアンテナ１１で受信され、レシーバ１２で復調され
て電気信号を出力する。ここでは、レシーバ１２内の受
信復調部と信号変換部とを介して端子１３にアナログ出
力を得る。ここで、振動検出ヘッド８およびトランスミ
ッタ９への電源の供給は誘導電源方式が採用される。す
なわち、電源オシレータ１４で交流を発生させ、これが
固定１次コイル１５に入り、交流磁界が作られる。この
磁界をピックアップコイル１６が拾い、レギュレータ１
７で直流電源に整流し、振動検出ヘッド８およびトラン
スミッタ９に電源を供給する。このように、上述の加速
度に関するテレメトリシステムでは、電源供給および信
号の授受に電気配線を使用しないワイヤレスであること
が特徴となっている。

【００１６】本実施例では、後で詳細に説明するが、上
述の振動検出手段を除振台の複数箇所で水平および鉛直
方向の振動を計測するために備える。従来、加速度セン
サの電気配線が経路となって不要な振動を除振台へと伝
達させていたが、図３の振動検出手段の採用によって電
気配線は不要となり、したがって電気配線を経路とする
振動の伝達は遮断できる。

【００１７】なお、誘導電源方式による電源供給は振動
検出ヘッドごとに設けても構わないが、除振台に搭載の
複数個の振動検出ヘッドに対して少なくとも１個備えて
いればよい。また、振動検出ヘッドからの信号を電波で
受信するレシーバも除振台に搭載の振動検出ヘッドの個
数分備える必要性は必ずしもない。各振動検出ヘッドご
とのトランスミッタからの信号を１台のレシーバで時分
割で受信し、そして再生することができる。さらには、
トランスミッタも除振台に搭載の振動検出ヘッドの個数
分備える必要性は必ずしもない。複数の振動検出ヘッド
の信号を１台のトランスミッタで時分割で送信すること
ができる。

【００１８】まず、図４に本実施例の能動的除振装置の
機械構成の一例を示す。図中、４０は除振台４１に搭載
されたＸＹステージ、４２−１，４２−２，４３−３は
除振台４１を支える能動的支持脚である。１脚の能動的
支持脚４２の中には、鉛直方向と水平方向の２軸を制御
するために必要な個数の振動検出ヘッドＡＣ、位置セン
サＰＯ、圧力センサＰＲ、サーボバルブＳＶ、空気ばね
アクチュエータＡＳが内蔵されている。ここで、ＡＣ、
ＰＯなどの次に付けた記号は図中の座標系に従う方位と
能動的支持脚４２の配置場所を示す。例えば、Ｙ２とは
Ｙ軸方向であって左側に配置した能動的支持脚４２−２
の中にあるものを指す。

【００１９】次に、ワイヤレスな振動検出手段を能動的
支持脚３台で除振台４１を支持する本実施例の能動的除
振装置に適用したときの構成を図１に示す。同図の制御
構成の骨格そのものは特開平９−６８９９５号公報に開
示したものと同様である。振動抑制のための加速度フィ
ードバックループと位置定位のための位置フィードバッ
クループに加えて、空気ばねアクチュエータの内圧を計
測してこれをフィードバックする圧力フィードバックル
ープが備えられている。ここで、ＰＯ−Ｚ１，ＰＯ−Ｚ
２，ＰＯ−Ｚ３，ＰＯ−Ｘ１，ＰＯ−Ｙ２，ＰＯ−Ｙ３
は位置検出手段であり、その出力は位置目標値出力部２
１の出力である（Ｚ₁₀，Ｚ₂₀，Ｚ₃₀，Ｘ ₁₀，Ｙ₂₀，
Ｙ₃₀）と比較されて、各軸の位置偏差信号（ｅ_Z1，
ｅ_Z2，ｅ_Z3，ｅ_x1，ｅ_y2，ｅ_y3）となる。これらの偏差
信号は、除振台４１の並進運動と各軸回りの回転運動の
合計６自由度の運動モード位置偏差信号（ｅ_x，ｅ_y，ｅ
_z，ｅθ_x，ｅθ_y，ｅθ_z）を演算出力する位置信号に関
する運動モード抽出演算手段２２に導かれる。これらの
出力信号は、運動モードごとにほぼ非干渉で位置の特性
を調整する位置に関するゲイン補償器２３に導かれる。
このループを位置フィードバックループと称する。

【００２０】次に、振動検出ヘッドＡＣ−Ｚ１，ＡＣ−
Ｚ２，ＡＣ−Ｚ３，ＡＣ−Ｘ１，ＡＣ−Ｙ２，ＡＣ−Ｙ
３の出力に基づくフィードバックループを説明する。こ
れら振動検出ヘッドでは、加速度もしくは速度が検出さ
れる。ここでは、加速度が検出されると考えよう。振動
検出ヘッドＡＣで検出された信号は、既に説明したトラ
ンスミッタＴＲにおいて電波の形に変換される。各トラ
ンスミッタＴＲと振動検出ヘッドＡＣにはレギュレータ
１７から電源が供給されている。レギュレータ１７で
は、電源オシレータ１４の交流磁界を固定１次コイル１
５から発生させてピックアップコイル１６で検出するこ
とによって電力を得ている。

【００２１】ここで、再度、振動検出手段を構成するユ
ニットの実装部位を明らかにしておく。振動検出ヘッド
ＡＣ、トランスミッタＴＲ、レギュレータ１７は除振台
４１上に設置されている。一方、レシーバＲＣ、電源オ
シレータ１４は除振台４１以外の部材に、例えば電装ラ
ック等に取り付けられる。すなわち、振動検出ヘッドＡ
Ｃでピックアップした除振台４１の振動を表す信号は、
ワイヤレスで除振台４１以外の場所に伝送しているので
ある。つまり、従来は、除振台４１の振動を検出するた
めの振動検出ヘッドＡＣ自身の電気配線を介して伝達し
てくる振動が遮断されるように、トランスミッタＴＲ、
レシーバＲＣ、レギュレータ１７、電源オシレータ１４
が除振台４１を含めた露光装置本体３４に設置される。
そうしてレシーバＲＣから得られる除振台４１各部の加
速度信号は必要に応じて高周波ノイズを除去する等の適
切なフィルタリング処理が施されて、即座に加速度に関
する運動モード抽出演算手段２４への入力となる。その
出力は運動モード加速度信号（ａ_x，ａ_y，ａ_z，ａθ_x，
ａθ_y，ａθ_z）となる。ここで、運動モードごとに最適
なダンピングを設定すべく、運動モード加速度信号（ａ
_x，ａ_y，ａ_z，ａθ_x，ａθ_y，ａθ_z）は、次段の加速度
信号に関するゲイン補償器２５に導かれる。このゲイン
を調整することによって運動モードごとに最適なダンピ
ング特性が得られる。そうして、加速度に関するＰＩ補
償器２６の前段にフィードバックする。このフィードバ
ックループを加速度フィードバックループと呼ぶことに
する。

【００２２】さらに、先に述べたゲイン補償器２３の出
力に加速度フィードバックループの負帰還信号を加算し
た信号はＰＩ補償器２６を通って運動モード駆動信号
（ｄ_x，ｄ_y，ｄ_z，ｄθ_x，ｄθ_y，ｄθ_z）となり、各軸
のアクチュエータが発生すべき駆動力を得るために、運
動モード分配演算手段２７に導かれて、その出力は各軸
の駆動信号（ｄ_z1，ｄ_z2，ｄ_z3，ｄ_x1，ｄ_y2，ｄ_y3）と
なる。この駆動信号をもって、各軸に施されている加圧
力フィードバックループヘの入力となす。加圧力フィー
ドバックループの原理については特開平９−６８９９５
号公報に開示されている。再度、簡単に構成を説明する
と、空気ばねの内圧を計測するための加圧力計測手段Ｐ
Ｒの出力を適切な増幅と高周波ノイズ除去のためのフィ
ルタリングを施す圧力検出手段３０に導き、この出力を
圧力に関するＰＩ補償器３１の前段にフィードバックし
ている。このＰＩ補償器の零点は、サーボバルブＳＶの
弁開閉を行なう電圧電流変換器（図中、ＶＩ変換と略
記）３２の入力から空気ばねの内圧までの伝達特性にお
いて、低周波域の極を相殺するように選ばれる。このと
き、各軸の駆動信号（ｄ_z1，ｄ_z2，ｄ_z3，ｄ_x1，ｄ_y2，
ｄ_y3）から各空気ばねの内圧までの特性は１次遅れ特性
となる。すなわち、定位系となる。なお、圧力に関する
ＰＩ補償器３１の前段には、空気ばねアクチュエータの
中立圧力を定めるためのバイアス電圧が圧力目標値出力
部３３から印加されている。なお、上記説明の加圧力フ
ィードバックループでは、空気ばねアクチュエータの内
圧を圧力センサに代表される加圧力計測手段ＰＲによっ
て検出してこれをフィードバックしているが、空気ばね
アクチュエータが発生する荷重をロードセンサに代表さ
れる荷重計測手段によって検出してこの出力を負帰還し
てなる荷重フィードバックを構成したときにも上述の圧
力フィードバックループと同様の機能が実現できる。本
実施例では、加圧力フィードバックループの中の圧力フ
ィードバックループを使って技術内容を説明した。

【００２３】以上説明した能動的除振装置によって、除
振台４１の振動を計測する振動検出ヘッドヘの電気配線
をワイヤレス化しているので、従来、この電気配線を経
路として除振台４１へと伝達してくる振動を遮断するこ
とができるのである。

【００２４】なお、上述の実施例では、除振台４１に装
着する振動検出ヘッドの電気配線をワイヤレス化するた
めに電波を用いた。もちろん、ワイヤレス化の手段とし
ては電波に限るものではなく光伝送もワイヤレス化の他
の手段となり得る。光伝送は電波による遠隔計測に比較
して、光を使用するため、外来ノイズの影響を受けにく
く、同時に他の機器に電波障害を与えることもないとい
う特徴がある。したがって、精度と安定性に優れる。装
置構成は、図３におけるトランスミッタの送信変調部が
光送信部に、レシーバの受信復調部が受光部に置き替わ
る。振動検出ヘッドによって得られる信号の電波による
伝送と同様に、電源の供給は非接触の誘導電源方式のユ
ニットであり、その台数は除振台４１に搭載の振動検出
ヘッドの個数分備えるという必然性はなく、少なくとも
１台備えていればよい。

【００２５】なお、図１の実施例では、ワイヤレス化し
た箇所が振動検出手段のみであったが、これは、振動検
出手段だけが除振台あるいは除振台と剛に結合する部材
に装着されねばならないという必然性があるからに他な
らない。つまり、位置検出手段としての位置センサは除
振台側に装着する必然性は本来ない、という理由によ
る。しかしながら除振台側に装着せねばならない場合、
もちろんこの信号授受および電源の供給を上述の振動検
出手段のようにワイヤレス化することは妨げられない。
他のセンサ類も同様である。

【００２６】また、上述実施例では、能動的除振装置に
おいて使用する振動検出手段としての加速度センサの電
気配線が、除振台への振動伝達の経路となるという事実
に着眼して、この経路を遮断するための装置構成を示し
た。しかし、除振台上には、能動的除振装置における振
動検出ヘッドの他にも種々の運動機構や計測装置が設置
されている。これらを精密機器と総称する。当然、これ
ら精密機器への電気配線を束ねると相当の重量と太さに
なる。したがって、振動検出手段としての加速度センサ
の電気配線が振動の伝達経路となると同様に、精密機器
への電気配線も振動の伝達経路となる。したがって、実
施例で示したように、精密機器の電気配線も電波もしく
は光によってワイヤレス化することができ、このとき除
振台への振動の伝達が遮断される。これも本発明に属す
ることは言うまでもない。

【００２７】最後に、本発明の効果を示しておく。図５
に能動的除振装置の除振率の周波数特性を示そう。図
中、Ａで指し示す曲線は、能動的除振装置における振動
検出手段の電気配線が伝達経路となっている場合であ
る。一方、図中のＢは、振動検出手段をワイヤレス化し
た本発明に従った能動的除振装置の除振率を示す。斜線
の部分が、電気配線を媒体として除振台に伝達していた
振動成分であり、本発明に従ったワイヤレスな振動検出
手段の使用によって振動の伝達が遮断されたことが分か
る。

【００２８】

【発明の効果】本発明の効果は以下の通りである。 （１）除振台の能動的制御のためには振動検出手段の使
用が不可欠である。しかし、従来、振動検出手段そのも
のの電気配線が振動伝達経路になっていた。しかるに、
本発明では振動検出手段への電気配線を不要としている
ので、電気配線を経路とする除振台への振動伝達を遮断
することができる。もって、除振台に搭載される精密機
器の精度を確保できる、という効果がある。 （２）電気配線を無くせるので、これらの実装のための
空間が不要となるとともに、実装組立も不要となる。し
たがって、能動的除振装置を含めた半導体露光装置その
ものをコンパクトに設計でき、装置組立工程を短縮でき
るという効果がある。 （３）もって、半導体露光装置の生産性に寄与するとこ
ろ大という効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例に係る能動的除振装置を示
すブロック図である。

【図２】 図１の装置における電気実装の一例を示す斜
視図である。

【図３】 図１の装置における振動検出手段の装置構成
を示す側面図である。

【図４】 図１の能動的除振装置の機械構成の一例を示
す斜視図である。

【図５】 本発明に従った能動的除振装置の効果を示
す、除振率の周波数特性のグラフである。

【符号の説明】

１：除振台、２Ｒ，２Ｌ：振動検出手段の代表としての
鉛直方向の加速度センサ、３Ｒ，３Ｌ：振動検出手段の
代表としての水平方向の加速度センサ、４Ｒ，４Ｌ：鉛
直方向の空気ばねアクチュエータ、５：床、６：束線、
７：計測対象、８：振動検出ヘッド、９：トランスミッ
タ、１０：アンテナ、１１：アンテナ、１２：レシー
バ、１３：端子、１４：電源オシレータ、１５：固定１
次コイル、１６：ピックアップコイル、１７：レギュレ
ータ、１８：誘導電源、２１：位置目標値出力部、２
２：運動モード抽出演算手段、２３：ゲイン補償器、２
４：加速度に関する運動モード抽出演算手段、２５：加
速度信号に関するゲイン補償器、２６：加速度に関する
ＰＩ補償器、２７：運動モード分配演算手段、３０：圧
力検出手段、３１：圧力に関するＰＩ補償器、３２：電
圧電流変換器、３３：圧力目標値出力部、３４：露光装
置本体、４０：ＸＹステージ、４１：除振台、４２：能
動的支持脚、ＡＣ：振動検出ヘッド、ＡＳ：空気ばねア
クチュエータ、ＰＯ：位置検出手段、ＰＲ：圧力セン
サ、ＲＣ：レシーバ、ＳＶ：サーボバルブ、ＴＲ：トラ
ンスミッタ。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 除振台に駆動力を付与するアクチュエー
   タと、前記除振台の振動を検出するための振動検出手段
   と、前記振動検出手段の出力をフィードバックして前記
   アクチュエータを駆動する制御手段を備える能動的除振
   装置であって、前記振動検出手段は前記除振台の振動を
   検出する振動検出ヘッドおよびこの振動検出ヘッドの出
   力を電磁波の信号に変換して送信する送信手段と、この
   送信信号を受信する受信手段とを備え、前記振動検出ヘ
   ッドおよび送信手段は前記除振台に取り付けられ、前記
   受信手段は前記除振台以外の部分に取り付けられている
   ことを特徴とする能動的除振装置。
2. 【請求項２】 前記振動検出手段は、前記振動検出ヘッ
   ドおよび送信手段に前記除振台以外の部分からワイヤレ
   スで電力を供給する誘導電源を備えることを特徴とする
   請求項１に記載の能動的除振装置。
3. 【請求項３】 前記電磁波は電波もしくは光であること
   を特徴とする請求項１または２に記載の能動的除振装
   置。