JP2017125805A - シートのキズ欠点検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】フィルムなどの連続走行するシート表面に発生する全ての方向のキズ欠点を一定基準で検出するキズ欠点検査装置を提供する。【解決手段】複数のライン状照明３，４，５を備えたキズ欠点検査装置であり、連続走行するシート１の幅方向の垂直な平面に対して、照射光が一方の面側から他方の面側へ向かうように照射光軸が傾いた配列体を複数備える第一のライン状照明３と、第一のライン状照明３を挟んでシート１の走行方向の前後に設置した長手方向の光量分布が一様な第二、第三のライン状照明４，５とを備え、それぞれの照射光軸がシート１の面で交差するように配設することにより、連続搬送されるシート１に発生する全ての角度のキズ欠点を一定基準で検出することができる。【選択図】図１

Description

本発明は、フィルムなどのシートに発生する全ての方向のキズ欠点を検出するための検査装置に関する。

フィルムなどのシートを連続的に製造する工程において、シートにキズ欠点が発生する場合があり問題となっている。

このキズ欠点の発生メカニズムとして、搬送ロールに異物が付着し、フィルム表面に異物が押し付けられることによりキズ欠点が発生する場合と、フィルムにかかる張力やフィルムの走行速度が一定ではなく、フィルムと搬送ロールが擦れることによりキズ欠点が発生する場合が考えられる。

そのため、キズ欠点の形状として、前者の場合は、点状あるいはフィルム走行方向に長い形状であるのに対し、後者の場合は、フィルムと搬送ロールが擦れる方向により、フィルムの走行方向に対して、あらゆる方向に長い形状のキズ欠点が発生する。

このように、キズ欠点はフィルムの走行状態により、あらゆる角度に発生することが知られている。

このキズ欠点はユーザーの加工工程で問題となるために、キズ欠点を持つフィルムが製品として出荷されることを避けなければならない。

従来、このようなキズ欠点の検査を行う場合、走行しているフィルムに対して、照明装置で光を照射し、フィルムにキズ欠点が存在する場合には、キズ欠点によって乱反射される散乱光をＣＣＤカメラ等で撮像し、撮像された画像を画像処理することによって、キズ欠点を検出していた。

ここで、特許文献１にはフィルムに発生するキズ欠点をＣＣＤカメラにて自動で検査する装置が開示されている。

特許文献１の欠点検査装置は、図２に示すように、フィルム２１の表面に照明光Ｌ１を照射する照明光源２４と、前記フィルム２１の表面に照射された照明光Ｌ１による反射光を検出するＣＣＤカメラ２５とから構成されており、前記照明光源２４の照明光Ｌ１は前記フィルム２１の表面に対して入射角度１５°〜４５°で照射され、前記ＣＣＤカメラ２５は前記フィルム２１での反射光Ｌ２のうち、前記フィルム２１に対して垂直方向に反射する反射光Ｌ３のみを検出することによって、前記フィルム２１に発生するキズ欠点２２を高感度に検出することができる。

特許文献２には、連続的に走行するシートに発生する前記シートに平行な角度のキズ欠点を高精度に検査できる検査装置が開示されている。

特許文献２の欠点検査装置は、図３および図４に示すように、ライン状光源装置３２として複数の発光ダイオードを光軸が互いに平行になるように直線状に配列してなる発光ダイオード配列体を複数段に配設し、異なる角度にした前記発光ダイオード配列体から検査対象物３１の走行方向に平行なキズ欠点に対して光を照射することで、キズ欠点の長手方向の側面部で光が散乱することで前記キズ欠点を高感度に検出することができる。

さらに、特許文献３の欠点検査装置は、ライン状光源装置とライン状受光センサーを組合せることにより、シートに発生する前記シートの長手方向に平行な角度のキズ欠点をさらに高感度に検査できる検査装置が開示されている。

ライン状光照射手段から照射される光の光軸とライン状受光センサーであるライン状撮像手段の撮像軸とがなす角度によって、キズ欠点の検出感度は変化する。そのため、前記角度を最適な角度とすることで検出感度は大きく変化する。

特許文献３の欠点検査装置は、図５に示すように、複数の点光源が一列に並んだライン状光照射手段４３からシート４１の幅方向に傾いた光が照射され、前記シート４１に発生したキズ欠点により散乱した光をライン状撮像手段４４で受光することにより、キズ欠点を検出することができる。ここで、撮像手段として、一般的なラインセンサカメラではなくライン状受光センサーを用いることで、ライン状光照射手段４３から照射される光の光軸と前記ライン状受光センサーであるライン状撮像手段４４の撮像軸とがなす角度を全幅に亘り一定とすることが可能となる。そのため、シート４１の全幅に亘り、前記シート４１に発生する前記シートの長手方向に平行なキズ欠点を高感度に検出することが可能となる。

特開２００８−８８１９号公報 特開２００９−１３９２７５号公報 特開２０１５−６８６７０号公報

しかしながら、特許文献１の技術は照明光源２４の長手方向に対して平行な方向に発生したキズ欠点に対しては高感度な検出が可能だが、それ以外の方向のキズ欠点に関しては、検出感度が低下する。

つまり、キズ欠点における照明光源２４から照射させた光の散乱光は、フィルム２１表面のキズ欠点の角度によって異なり、フィルム２１表面においてキズ欠点の長手方向に垂直な方向に散乱光が最も発生する。

すなわち、特許文献１の方法では、ＣＣＤカメラ２５が受光する散乱光は、キズ欠点の角度によって異なり、キズ欠点の角度が照明光源２４の長手方向と直角の方向に近づくほど少なくなる。

また、特許文献２の技術は、ライン状光源装置３２の長手方向と直角な方向のキズ欠点に対しては高感度な検出が可能だが、それ以外の方向のキズ欠点に関しては検出感度が低下する。

ライン状光源装置３２は図４に示すように、発光ダイオードの配列体３Ａ、３Ｂから光が発せられ、検査対象物３１の幅方向に対して、斜めから、光軸がクロスするように照射される。そのため、前記キズ欠点の長手方向の削れた斜面に光が照射されることにより、散乱光が発生し、前記キズ欠点を検出することができる。

しかし一方で、ライン状光源装置３２の長手方向と平行な方向のキズ欠点に関しては、前記発光ダイオード３Ａ、３Ｂから照射された光軸に対しては散乱光の発生が少なく、前記キズ欠点を検出することができない。

また、特許文献３の技術は、図５に示すように、受光装置としてライン状光撮像手段４４を用いることにより、特許文献２での課題である検査対象物であるシート４１の中央と端部の感度差を無くすことができている。

しかし、ライン状光照射手段４３から発せられる斜光照明では、ライン状照射手段４３の長手方向に直角な方向のキズ欠点に対しては高感度に検出可能であるが、それ以外の方向のキズ欠点に関しては検出感度が低下する。

このように、フィルムなどのシートに発生するキズ欠点を検出するための従来の検査装置では、キズ欠点の角度によって検出感度が変化し、一定基準で検査ができない。

本発明は、前記従来の課題を解決するもので、連続走行するシート表面に発生する全ての方向のキズ欠点を一定基準で検出するためのキズ欠点検査装置を提供する。

上記課題を解決する本発明のキズ欠点検査装置は、連続搬送されるシートのキズ欠点を検査するシートのキズ欠点検査装置であって、
前記シートの一方の面側から光を照射する長尺の光照射手段と、
前記シートの前記光照射手段が設置された面側に設置され、光照射手段から照射されて前記シートで反射された照射光を受光する受光手段、もしくは前記シートの前記光照射手段が設置された面側とは反対の面側に設置され、光照射手段から照射されて前記シートを透過した照射光を受光する受光手段と、
前記受光手段が受光した照射光の強度に応じた信号値から前記シートの表面に発生したキズ欠点部分を検出する画像処理手段と、を備え、
前記光照射手段は、第一のライン状照明と、第一のライン状照明を挟んで、第一のライン状照明の長手方向と平行に配置された第二および第三のライン状照明とで構成されており、
前記第一のライン状照明は、複数の点光源が直線状に配列された配列体が複数平行に並んで構成され、１つの配列体を構成する複数の点光源は、それぞれの照射光軸が互いに平行になるように配列されており、
前記複数の配列体には、前記第一のライン状照明の長手方向に垂直な平面に対し、照射光がこの平面の一方の面側から他方の面側へ向かうように照射光軸が傾いた第一の配列体と、照射光が前記平面の前記他方の面側から前記一方の面側へ向かうように照射光軸が傾いた第二の配列体の２つが少なくとも有り、
前記第二のライン状照明は、その長手方向の光量分布が均一な直線状の照射光を照射し、
前記第三のライン状照明は、その長手方向の光量分布が均一な直線状の照射光を照射し、
前記光照射手段の長手方向から見て、前記第一の配列体、第二の配列体、第二のライン状照明および前記第三のライン状照明のそれぞれの照射光軸は、前記シート面で交差している。

本発明の検査装置では、連続走行するシート表面に発生する全ての方向のキズ欠点を一定基準で検出することができる。

図１は、本発明の実施形態の一例を示す概略図である。 図２は、特許文献１の技術を説明する概略図である。 図３は、特許文献２の技術を説明する概略図である。 図４は、特許文献２のライン状光源装置の詳細を説明する概略図である。 図５は、特許文献３の技術を説明する概略図である。 図６は、本発明の実施形態の上面図である。 図７は、本発明の実施形態の側面図である。 図８は、シートの長手方向に平行なキズ欠点の散乱光の説明図である。 図９は、シートの長手方向に垂直なキズ欠点の散乱光の説明図である。 図１０は、キズ欠点の角度による検出感度の違いを説明する概略図である。 図１１は、本発明のシートの長手方向に平行なキズ欠点の検出説明図である。 図１２は、本発明のシートの長手方向に垂直なキズ欠点の検出説明図である。 図１３は、本発明のシートの長手方向に対して斜めのキズ欠点の検出説明図である。 図１４は、実施例と比較例のそれぞれについて、検出したキズ欠点の角度による検出感度差を示す図である。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、本発明はこの実施の形態によって限定はされない。

図１は本発明の実施の形態を示す図である。図１において、１は被検査体である連続的に搬送されるシート、２は光照射手段、３は前記光照射手段２内の第一のライン状照明、４は前記光照射手段２内の第二のライン状照明、５は前記光照射手段２内の第三のライン状照明、６は受光手段、７は画像処理手段である。

シート１としては、連続的に搬送され、光を透過もしくは反射するフィルム等であれば特に限定されない。例えばポリエチレンテレフタレートフィルム等のポリエステルフィルムなどのような無色透明なフィルムが好適に用いられる。

光照射手段２はシート１の一方の面側に配設され、シート１に対して光を照射する。光照射手段は、図６に示すように、第一のライン状照明３、第二のライン状照明４、第三のライン状照明５の３つのライン状照明から構成されている。

第一のライン状照明３は、光ファイバの出射端をライン状に配列して、その出射角度を幅方向に一定に調整したもので、斜め方向への照射が可能となっている。また、このライン状に配列された光ファイバの配列体が少なくとも２列ある。そして、配列体の１つは、第一のライン状照明の長手方向に垂直な平面に対し、照射光がこの平面の一方の面側から他方の面側へ向かうように照射光軸が傾いた第一の配列体８であり、配列体のもう１つは、第一のライン状照明の長手方向に垂直な同じ平面に対し、照射光がこの平面の前記他方の面側から前記一方の面側へ向かうように照射光軸が傾いた第二の配列体９である。第一のライン状照明３としては、例えば、発光部から発光した光を各配列体に光ファイバで導くことで実現可能である。また、各配列体に発光ダイオードを設置すること、ライン状ＬＥＤ照明の前方に遮光部材を配設することでも実現可能である。

第二のライン状照明４は、前記シート１の走行方向に対して第一のライン状照明３の下流側に設置されており、前記シート１の幅方向に平行な線状の照明であり、幅方向に均一な指向性の高い光を前記シート１の幅に対して照射する。

第三のライン状照明５は、前記シート１の走行方向に対して第一のライン状照明３の上流側に設置されており、前記第二のライン状照明４と同様に、前記シート１の幅方向に平行な線状の照明であり、幅方向に均一な指向性の高い光を前記シート１の幅に対して照射する。

第二のライン状照明４および第三のライン状照明５としては、ＬＥＤや蛍光灯、ハロゲンやメタルハライド照明を伝送ロッドや光ファイバから照射するものなどを用いることができる。

また、図７に示すように、第一のライン状照明３の第一の配列体８、第二の配列体９、第二のライン状照明４および第三のライン状照明５のそれぞれの照射光軸は、前記シート１面上で交差する必要がある。

さらに、前記光照射手段２の長手方向に垂直かつ前記シート１面に平行な方向から見た、前記第一のライン状照明３の第一の配列体８の各点光源の照射光軸と前記シート１面の垂線とのなす角度（鋭角）θ１１、および前記第二の配列体９の各点光源の照射光軸と前記シート１面の垂線とのなす角度（鋭角）θ１２、ならびに、前記光照射手段２の長手方向から見た、前記第二のライン状照明４の照射光軸と前記シート１面の垂線とのなす角度（鋭角）θ２、および前記第三のライン状照明５の照射光軸と前記シート１面の垂線とのなす角度（鋭角）θ３が、θ１１＝θ１２＝θ２＝θ３を満たすことが好ましい。

受光手段６は、シート１に発生したキズ欠点による散乱光を受光するように配設されることが好ましいのであり、光照射手段２から照射されシート１で直接透過もしくは正反射された光を受光することは好ましくない。ここで、シート１に発生したキズ欠点によって散乱された光を受光するためには、光照射手段２と受光手段６の位置関係が重要である。

この位置関係について図８、図９を用いて説明する。図８はシート１の走行方向側から見た概略図を示しており、図９はシート１の幅方向側から見た概略図を示している。また、図８、図９はそれぞれ、（Ａ）にキズ欠点が発生していない場合の光軸の概略図を示しており、（Ｂ）にキズ欠点が発生した場合の散乱光の概略図を示している。

図８（Ａ）に示すように、受光手段６は第一のライン状照明３から照射され、シート１を透過した光を受光しないように配設することが重要であり、第一のライン状照明３からの光軸の角度θ１１、θ１２より受光手段６の画角の半値角の値を小さくすることで実現できる。また同様に、図９（Ａ）に示すように、受光手段６は第二のライン状照明４の光軸の角度θ２、第三のライン状照明５の光軸の角度θ３より受光手段６の画角の半値角の値を小さくすることで実現できる。

前記シート１にキズ欠点が発生した場合は、図８（Ｂ）、図９（Ｂ）に示すように、前記キズ欠点に光照射手段２から光を照射した場合、散乱光が発生し、受光手段６で散乱光を受光することにより、キズ欠点を明欠点として検出することができる。

また、反射光学系の場合は、図９において受光手段６をシート１面において光照射手段２と同じ面側に設置し、第一のライン状照明３と第二のライン状照明４の間で第一のライン状照明３の近傍に配設、もしくは第一のライン状照明３と第三のライン状照明５の間で第一のライン状照明３の近傍に配設することで実現することができる。

受光手段６として、連続走行するシート１を検査する場合、ラインセンサカメラを用いることが好ましいが、受光素子を二次元に配列したエリアセンサカメラや光電子増倍管などを用いてもよい。しかし、ラインセンサカメラやエリアセンサカメラを用いる場合は、検査視野の中央と端部での受光軸の角度が異なるために、視野位置によって、キズ欠点の検出感度が異なるという問題が発生する。そのため、これらカメラを用いる場合は、視野中央部のみを検査範囲として用いることが必要である。また、全視野範囲の検出感度を同じとするために、受光手段６として、複数の受光素子と結合用のレンズとが等間隔に連続的に並べられており、結合用のレンズが、等倍で受光手段の受光素子に結合を行うレンズを持つライン状のイメージセンサ（密着イメージセンサや近接イメージセンサとも呼ばれる）を用いることが好ましい。

画像処理手段７は、受光手段６の出力信号を受信し、受光手段６が受光した光量の変化を検出することで、シート１表面のキズ欠点の有無を検査する。受光手段６からは、受光手段６が受光した光量に応じたアナログまたはデジタル信号が出力される。アナログ信号が出力される場合は、画像処理手段７内でデジタル信号に変換される。画像処理手段７はデジタル信号を検出して平均化処理、微分処理などの画像処理を実行し、所定のしきい値を超えるものをシート１の表面のキズ欠点として抽出する。このキズ欠点の抽出は画像処理ボードなどのハードで実行するものと、パソコンなどのソフトで実行するものがあるが、ハードでの処理のほうが高速で処理できるため、好ましい。

次に、本発明によってシート１の同じ幅方向位置に周期的に発生するキズ欠点を検出する原理について説明する。

光照射手段２が照射する光をシート１に照射させ、シート１を透過もしくは反射した光のうち、受光手段６は直接透過光もしくは正反射光を受光せず、キズ欠点による散乱光のみを受光することにより、キズ欠点部の光量は正常部より多くなり、画像処理手段７では明部となる。そして、この明部を２値化することにより、明欠点として検出される。

また、キズ欠点は、その発生原因のほとんどが搬送ロールであるため、搬送ロールの一部に異物が付着した際に、搬送ロールに付着した異物の幅方向位置と、同じ位置にキズ欠点が発生し、搬送ロールが回転していることにより、搬送ロール周期で継続的に発生するという特徴がある。また、シート１が延伸される工程やシート１の走行の蛇行によって、様々な角度のキズ欠点が発生するという特徴がある。

ここで、キズ欠点の角度による検出感度の違いについて図１０を用いて説明する。

図１０はシート１の走行方向に対するキズ欠点１０の角度が０°と９０°の時に第二のライン状照明に相当する光照射手段４を用いてシート１に光を照射し、その透過光のうち受光手段６に受光される散乱光量の違いを示す図である。

キズ欠点１０による散乱光は、シート１面において、キズ欠点１０の長手方向に対して垂直な方向に散乱光が多く発生する。

そのため、図１０（Ａ）に示すシート１の走行方向に対するキズ欠点１０の角度が０°の場合、受光手段６の受光軸はキズ欠点１０による散乱光と直角の角度となるため、受光手段６で受光される光量は最も小さくなる。

また、図１０（Ｂ）に示すシート１の走行方向に対するキズ欠点１０の角度が９０°の場合、受光手段６の受光軸はキズ欠点１０による散乱光と平行の角度となるため、受光手段６で受光される光量は最も大きくなる。

このように、シート１の走行方向に対するキズ欠点１０の角度によって、検出感度は大きく異なる。

そのため、本装置では、前記のように、光照射手段２の構成として、第一のライン状照明と第二のライン状照明、第三のライン状照明を組み合わせることによって、キズ欠点の角度によらず一定の基準で検出することができる。

この方法について図１１、図１２、図１３を用いて説明する。ここで、シート１の走行方向に対するキズ欠点の角度をθ、第一のライン状照明３、第二のライン状照明４および第三のライン状照明５のそれぞれにおいてキズ欠点で発生した散乱光量の合計をxとする。

図１１は、シート１の走行方向に平行な方向に発生したキズ欠点に対して、第一のライン状照明３、第二のライン状照明４および第三のライン状照明５のそれぞれから光を照射した場合に発生する散乱光と、それらを足し合わせた光を受光する受光手段６の受光量を示している。

シート１の走行方向に平行な方向に発生したキズ欠点に対して、第一のライン状照明３の光を照射した場合、キズ欠点の長手方向の削れた斜面に対して光が照射されるため、多くの散乱光が発生する。しかし、一方で、第二のライン状照明４と第三のライン状照明５から光を照射した場合は、キズ欠点の長手方向の斜面に対して照射される光が少ないため、散乱光は少なくなる。受光手段６で受光される散乱光は、前記第一のライン状照明３によるキズ欠点での散乱光と、前記第二のライン状照明４と前記第三のライン状照明５によるキズ欠点での散乱光とが足し合わされた光量となる。

また、図１２は、シート１の走行方向に垂直な方向に発生したキズ欠点に対して、第一のライン状照明３、第二のライン状照明４および第三のライン状照明５のそれぞれから光を照射した場合に発生する散乱光と、それらを足し合わせた光を受光する受光手段６の受光量を示している。
シート１の走行方向に垂直な方向に発生したキズ欠点に対して、第一のライン状照明３の光を照射した場合、キズ欠点の長手方向の削れた斜面に対して照射される光が少ないため、散乱光は少なくなる。しかし、一方で、第二のライン状照明４と第三のライン状照明５から光を照射した場合は、キズ欠点の長手方向の斜面に対して、光が照射されるため多くの散乱光が発生する。前記の通り、受光手段６で受光される散乱光は、前記第一のライン状照明３によるキズ欠点での散乱光と、前記第二のライン状照明４と前記第三のライン状照明５によるキズ欠点での散乱光とが足し合わされた光量となる。

さらに、図１３は、シート１の走行方向に対して斜め方向に発生したキズ欠点に対して、第一のライン状照明３、第二のライン状照明４および第三のライン状照明５のそれぞれから光を照射した場合に発生する散乱光と、それらを足し合わせた光を受光する受光手段６の受光量を示している。

シート１の走行方向に対して斜め方向に発生したキズ欠点に対して、第一のライン状照明３の光を照射した場合、キズ欠点の長手方向の削れた斜面に対して光が照射されるため、散乱光が発生する。しかし、図１１に示すシート１の走行方向に平行な方向に発生したキズ欠点と比較すると、キズ欠点の長手方向の削れた斜面に対して照射される光は少ないため、発生する散乱光はx(cos²θ)となる。また、第二のライン状照明４と第三のライン状照明５から光を照射した場合も、キズ欠点の長手方向の削れた斜面に対して光が照射されるため、散乱光が発生する。しかし、図１２に示すシート１の走行方向に対して垂直な方向に発生したキズ欠点と比較すると、キズ欠点の長手方向の削れた斜面に対して照射される光は少ないため、発生する散乱光はx(sin²θ)となる。そのため、受光手段６で受光される散乱光は、前記第一のライン状照明３によるキズ欠点での散乱光と前記第二のライン状照明４と前記第三のライン状照明５によるキズ欠点での散乱光とが足し合わされた光量xとなり、これらは図１１と図１２の場合とほぼ同じ量の散乱光となる。

上記のように、本発明のキズ欠点検査装置では、シート１に発生するキズ欠点１０の角度によらず、ほぼ同じ量の散乱光が受光手段６で受光され、キズ欠点の角度によらず一定の基準で検出することができる。

［実施例］
図１の配置に従った装置を用いてキズ欠点の検査を実施した。フィルムとして、幅１０００ｍｍ、厚み５０μｍのＰＥＴフィルムを用い、同じ周期で発生したキズ欠点を１５度ずつ回転させ、ＰＥＴフィルムに貼り付け、フィルム搬送装置を用いて、１０ｍ／ｍｉｎでフィルムを走行させた。さらに光照射手段として、第一のライン状照明には光の出射角度θ１１が３０°の光ファイバを並べた配列体１と第一のライン状照明の長手方向に垂直な面に対して対称な角度となるように配設した配列体２を持つクロス斜光照明を用い、第二のライン状照明、第三のライン状照明として、白色の光を照射する直線型ＬＥＤ照明を用い、それぞれの光軸の角度θ２、θ３を３０°となるように設置した。また、第一のライン状照明の光軸と第二、第三のライン状照明の光軸は、フィルム面で交差するように設置し、フィルム面と光照射手段との距離を１５０ｍｍに設置した。

撮像手段として、密着イメージセンサを用い、フィルムを挟んで、光照射手段の反対面に配設した。このとき、フィルム面と密着イメージセンサの受光軸のなす角度を９０°とし、フィルム面と密着イメージセンサの距離を１５ｍｍに設置した。

［比較例］
光照射手段として第一のライン状照明のみを用いた以外は実施例と同じ構成の装置でキズ欠点の検査を実施した。

［実施例と比較例の対比］
図１４に、キズ欠点の角度による密着イメージセンサの受光量を示すレーダーチャートを示す。
第一のライン状照明、第二のライン状照明および第三のライン状照明を組み合わせた光照射手段を用いた実施例では、密着イメージセンサの受光量は、キズ欠点の角度によらずほぼ一定であることが確認できた。このように、実施例では連続走行するフィルムに発生する全ての方向のキズ欠点を一定基準で検出することができることが確認できた。

クロス斜光照明のみの光照射手段を用いた比較例では、フィルムの走行方向に平行なキズ欠点の受光量は多いが、フィルムの走行方向に垂直なキズ欠点の受光量は少なくなっており、同じキズ欠点であっても発生する角度によって検出感度に差があることが確認できた。

１ ：連続的走行するシート
２ ：光照射手段
３ ：第一のライン状照明
４ ：第二のライン状照明
５ ：第三のライン状照明
６ ：受光手段
７ ：画像処理手段
８ ：光ファイバの第一の配列体
９ ：光ファイバの第二の配列体
１０：キズ欠点
１１：受光手段の視野範囲
θ１１：第一のライン状照明の第一の配列体の光軸の出射角度
θ１２：第一のライン状照明の第二の配列体の光軸の出射角度
θ２：第二のライン状照明の光軸の出射角度
θ３：第三のライン状照明の光軸の出射角度
θ ：シートの走行方向に対するキズ欠点の角度
x ：キズ欠点で発生する散乱光量
２１：フィルム
２２：キズ欠点
２３：検査台
２４：照明光源
２５：ＣＣＤカメラ
Ｌ１：照明光
Ｌ２：反射光
Ｌ３：垂直反射光
３１：検査対象物
３２：ライン状光源装置
３３：発光ダイオード駆動装置
３４：モニタカメラ
３５：パーソナルコンピュータ
３Ａ、３Ｂ：発光ダイオードの配列体
３Ｃ：発光ダイオードの光軸
４１：シート
４２：直流電源
４３：ライン状光照射手段
４４：ライン状光撮像手段
４５：パーソナルコンピュータ

Claims (3)

1. 連続搬送されるシートのキズ欠点を検査するシートのキズ欠点検査装置であって、
   前記シートの一方の面側から光を照射する長尺の光照射手段と、
   前記シートの前記光照射手段が設置された面側に設置され、光照射手段から照射されて前記シートで反射された照射光を受光する受光手段、もしくは前記シートの前記光照射手段が設置された面側とは反対の面側に設置され、光照射手段から照射されて前記シートを透過した照射光を受光する受光手段と、
   前記受光手段が受光した照射光の強度に応じた信号値から前記シートの表面に発生したキズ欠点部分を検出する画像処理手段と、を備え、
   前記光照射手段は、第一のライン状照明と、第一のライン状照明を挟んで、第一のライン状照明の長手方向と平行に配置された第二および第三のライン状照明とで構成されており、
   前記第一のライン状照明は、複数の点光源が直線状に配列された配列体が複数平行に並んで構成され、１つの配列体を構成する複数の点光源は、それぞれの照射光軸が互いに平行になるように配列されており、
   前記複数の配列体には、前記第一のライン状照明の長手方向に垂直な平面に対し、照射光がこの平面の一方の面側から他方の面側へ向かうように照射光軸が傾いた第一の配列体と、照射光が前記平面の前記他方の面側から前記一方の面側へ向かうように照射光軸が傾いた第二の配列体の２つが少なくとも有り、
   前記第二のライン状照明は、その長手方向の光量分布が均一な直線状の照射光を照射し、
   前記第三のライン状照明は、その長手方向の光量分布が均一な直線状の照射光を照射し、
   前記光照射手段の長手方向から見て、前記第一の配列体、第二の配列体、第二のライン状照明および前記第三のライン状照明のそれぞれの照射光軸は、前記シート面で交差する、シートのキズ欠点検査装置。
2. 前記受光手段は、複数の受光素子と結合用のレンズとが等間隔に連続的に並べられており、前記結合用のレンズが、等倍で前記受光手段の受光素子に結合を行うレンズである、請求項１のシートのキズ欠点検査装置。
3. 前記光照射手段の長手方向に垂直かつ前記シート面に平行な方向から見た、前記第一の配列体の各点光源の照射光軸と前記シート面の垂線とのなす角度（鋭角）θ１１、および前記第二の配列体の各点光源の照射光軸と前記シート面の垂線とのなす角度（鋭角）θ１２、
   ならびに、前記光照射手段の長手方向から見た、前記第二のライン状照明の照射光軸と前記シート面の垂線とのなす角度（鋭角）θ２、および前記第三のライン状照明の照射光軸と前記シート面の垂線とのなす角度（鋭角）θ３が、
   θ１１＝θ１２＝θ２＝θ３を満たす、請求項１または２のシートのキズ欠点検査装置。