JP2009092472A - 外観検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】外観検査装置は、検査対象物100の被検査面110を撮像する撮像手段3と、撮像手段3で撮像する被検査面110に光を照射する光照射手段4との組を複数有した撮像部1を備えるとともに、撮像部1の撮像手段3より得られた濃淡画像から濃度差が所定の閾値以上の画素を抽出する画素抽出手段7と、画素抽出手段7で抽出した画素同士を当該特徴画素の隣接画素内で連結して連結領域を作成する連結領域作成手段8と、連結領域のサイズが所定値以上であれば当該連結領域を被検査面110の欠陥によるものと判別する欠陥判別手段9とを有した検査部2を備え、各撮像手段3は、それぞれの撮像範囲が互いに重ならない位置に配置され、各光照射手段4は、それぞれの光照射方向が被検査面110に平行する面内において互いに交差する位置に配置されている。
【選択図】図1
Description
本実施形態の外観検査装置は、可撓性を有するシート状(帯状)のフレキシブル基板の両面に銅箔を形成してなる銅張積層板を検査対象物100とするものである。つまり、検査対象物100は被検査面110が金属製のものである。
本実施形態の外観検査装置は、撮像部1における撮像手段3と光照射手段4との位置関係が実施形態1と異なっており、その他の構成は実施形態1と同様であるから、同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
本実施形態の外観検査装置は、検査部2における画素抽出手段7の動作が実施形態1と異なっており、その他の構成は実施形態1と同様であるから、同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
2 検査部
3,3A,3B 撮像手段
4,4A,4B 光照射手段
7 画素抽出手段
8 画素連結手段
9 欠陥判別手段
100 検査対象物
110 被検査面
120 欠陥
O,O1,O2 光軸
P,P1,P2 主光線
Claims (6)
- 検査対象物の被検査面の一部を撮像する撮像手段および当該撮像手段で撮像する被検査面の一部に光を照射する光照射手段を有し、検査対象物に対して相対的に移動することで撮像手段により被検査面の全部を撮像する撮像部と、当該撮像部の撮像手段より得られた濃淡画像に基づいて被検査面の欠陥を検出する検査部とを備え、
検査部は、濃淡画像から濃度差が所定の閾値以上の画素を抽出する画素抽出手段と、画素抽出手段で抽出された画素同士を当該画素の隣接画素内で連結して連結領域を作成する画素連結手段と、画素連結手段で作成された連結領域のサイズが所定値以上であれば当該連結領域を欠陥によるものと判別する欠陥判別手段とを有し、
撮像部は、撮像手段と光照射手段との組を複数組備え、
各撮像手段は、それぞれの撮像範囲が互いに重ならない位置に配置され、
各光照射手段は、それぞれの光照射方向が被検査面に平行する面内において互いに交差する位置に配置されていることを特徴とする外観検査装置。 - 上記検査対象物は所定の移動方向に移動されるものであって、
上記撮像部は、上記被検査面に平行する面内において光照射方向が上記移動方向に平行する形に配置された上記光照射手段と、上記被検査面に平行する面内において光照射方向が上記移動方向に平行する方向と45度の角度をなす形に配置された上記光照射手段とを少なくとも1つずつ備えていることを特徴とする請求項1記載の外観検査装置。 - 上記検査対象物は被検査面が金属製のものであって、
上記光照射手段の主光線と上記被検査面との角度と、上記撮像手段の光軸と上記被検査面との角度とは異なる角度であり、
上記光照射手段の主光線と上記被検査面との交点と、上記撮像手段の光軸と上記被検査面との交点とは異なる位置であることを特徴とする請求項1または2記載の外観検査装置。 - 上記画素抽出手段は、上記濃淡画像の画素の濃度差を算出するにあたっては、所定方向における画素の濃度差を強調するフィルタを用いて上記濃淡画像をフィルタ処理することにより濃度差を算出することを特徴とする請求項1〜3のうちいずれか1項記載の外観検査装置。
- 上記撮像手段は、濃淡画像における垂直方向が上記被検査面に平行する面内において当該撮像手段に対応する上記光照射手段の光照射方向に沿った方向となる形に配置され、
上記画素抽出手段は、上記フィルタとして、上記濃淡画像の水平方向における画素の濃度差を強調する3行3列のフィルタを用いることを特徴とする請求項4記載の外観検査装置。 - 上記撮像手段は、濃淡画像における垂直方向が上記被検査面に平行する面内において当該撮像手段に対応する上記光照射手段の光照射方向に沿った方向となる形に配置され、
上記画素抽出手段は、上記フィルタとして、上記濃淡画像の垂直方向における画素の濃度差を強調する3行3列の第1のフィルタと、上記濃淡画像の水平方向における画素の濃度差を強調する3行3列の第2のフィルタとを用い、フィルタ処理を行うにあたっては、上記第1のフィルタによるフィルタ処理と上記第2のフィルタによるフィルタ処理とを順次行うことを特徴とする請求項4または5記載の外観検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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