JP2004302394A - 棒状又は円筒状円周表面におけるキズ、打痕等を広角度で観る顕微鏡の照明方法とその装置 - Google Patents

棒状又は円筒状円周表面におけるキズ、打痕等を広角度で観る顕微鏡の照明方法とその装置 Download PDF

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興四郎 中井
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Abstract

【課題】丸棒(シャフト等)又は円筒状の表面を広角度の視野で反射像観察はできない。キズ、打痕等の検査が困難である。
【解決手段】丸棒又は円筒状の円周方向の表面反射像視野を、半円の弧を成す照明にすだれ状の明暗を施すことにより視野角約90°を確保した。 この広視野照明方法とその装置で課題を解決した。
【選択図】 図4

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被写体表面の反射像を棒状又は円筒状円周にて広角度で、キズ、打痕および汚れ等を観察できる照明方法とその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の表面観察顕微鏡においては、同軸落射照明を用いた顕微鏡が対応するが何れも平面観察に適し、円形を成す表面観察には狭角度で極限られた一面しか観られず広い角度で円周の表面のキズ等を観ることは出来ない。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
従来の金属顕微鏡のように作動距離の長い対物レンズを用いた顕微鏡に於いても円周の数度以内のキズしか観えない、この観測視野を広げることによる作業性の改善を図るのが課題である。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明は、棒状(シャフト等)又は円筒状の被写体の約半円周に対比する帯状の照明を被写体を中心に照射する構造とし、照射面には被写体の軸と平行に帯状のすだれ格子縞を入れ半弧型の照明器とし、その中央にレンズの観察窓を開けてレンズを取り付け、顕微鏡として観る。
すだれ状の格子縞の明暗の照明により、被写体の円周面の視野角約90°の範囲で被写体のキズ、打痕等の凹凸の影が形成され視野内に於いて均一に像を観ることが出来る。 但し、被写体の軸に平行な明暗の縞模様も像に含まれる。
【0005】
【発明の実態の形態】
本発明は、被写体を中心に、光源を被写体に向け半弧を描くように取り付け、光源から少々離した位置にすだれ状の明暗縞が施された遮光板を固定する。
照明器の中央には、レンズ窓を開けこの窓より顕微鏡等で被写体を観る。
レンズ窓の位置には照明は付けられないので、この中央の照明は、レンズ内部より照射する同軸落射照明を付けた対物レンズを用いる。
【0006】
図1は、光路説明図である。 被写体3は、丸棒の試料を軸方向から表した例である。 図1の波線で囲まれた部分を拡大して図2に示す。 光源1は列に構成されたLED照明a〜iで複数個帯状に配列し、a〜iの矢印で表示した線はその光源の光路を示す。
光源1から照射した光は6の拡散板を通過し7のすだれ格子板を通過し3の試料を照射する。 3に照射した光の反射光でレンズを通過するのは試料の表面の極限られた一部の反射条件が一致した箇所のみであり、それを試料3の表面の光路(矢印で表示)図2に示す。この場合の視野角度は11で示すとおり約90°が得られる。
対物レンズ4の位置は、照明の弧の中心に被写体3があり、この被写体3を観察できる位置に対物レンズ4が配置される。
レンズ直下の反射像は、光源2の光束は、ハーフミラー9により90°で反射し対物レンズ4を通過して被写体の試料3を照らし試料3の直接反射した光線が図2で説明したa〜iの反射光と一緒に対物レンズを通過しカメラ13の撮像素子に結像する。 然るにこの結像は、全て反射像が主体である。
この中で付け足す内容として、光源2のハーフミラー9を反射せず突き抜けた光線は再び反射してハーフミラーへ戻られると、ハーフミラーで90°反射して接眼レンズへ行くと観測での影響があり、これを除去するのに光り吸収体10を儲けてある。
【0007】
【実施例】
実施例について図面を参照して説明すると、図4において、照明の光源1に複数のLEDを用いた例であり、光源1のLEDを17列被写体を照射する様に向けて取り付けた照明配線板12を外枠13に適度な間隔にして固定し、その照射方向に光り拡散板6を取り付け、光むらを軽減し平滑された光源にする。
照射光線に方向性を出すために光源から離して、すだれ状の遮光板6を取り付ける。 遮光板7を平面に展開した図を図3に参考として示す。
すだれ状の遮光板7は、被写体から見て等間隔の明暗の帯を成す配置とし間隔は等間隔に9本刻みにしてある。 遮光板7を被写体に近すぎると明暗の縞が強調され観察しにくくなり、照明に近いと打痕等の像が薄くなる傾向になるので実施例では、被写体より約75%離した点に取り付けてある。
レンズ12は、照明外枠17に固定された照明固定金具21にレンズ固定金具20が取り付けられ、その20にレンズ12が固定されている。
レンズの窓口には、遮光枠8が照明内に挿入されレンズ側への光源の漏れを防止している。 レンズの観察側には、カメラ又は接眼レンズ等でもよいが実施例ではCCDカメラ13を取り付け、照明及びカメラ付きレンズが一体化した顕微鏡本体が構成される。
顕微鏡スタンド24への取り付けは、レンズ固定金具20とスタンド上下移動部22に固定され、ピントの調整はスタンド23のピント調整ツマミで調整する。
同軸落射照明は、中央の詳細観察の必要性により使用の可否にて選択されてもよい。
【0008】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したような形態で実施され、以下に記載されるような効果を奏する。
【0009】
広い範囲の視野で観察ができ、観察が容易になり作業効率が向上する。
【0010】
被写体がシャフトのような丸棒の場合、非常に浅い打痕が観察できる
試料が、無歪みの丸棒であれば、照明のすだれ状の平行な明暗縞に観えるが、
浅い打痕がある場合、すだれ状の光線が打痕の曲面で反射方向が変化し打痕で曲げられた明暗縞とそれによる陰影が凹面として確認できる。
それに丸棒を軸回転することによる動画的要素が加わると、より一層明暗縞の歪みが動いて打痕の認知を広い視野内で容易に観察することができる。
【0011】
また、観察する位置(角度を持つ点)により、キズとか打痕などの深さの見極めが付く。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示す光路説明図である。
【図2】図1の波線枠内の部分拡大図である。
【図3】図1に於ける遮光板7の実施例を示す平面展開図である。
【図4】本発明の実施例を示す構成図である。
【符号の説明】
1 光源(複数個)
2 同軸落射光源
3 被写体(丸棒)
4 対物レンズ
5 撮像素子
6 光拡散板
7 すだれ状遮光板
8 遮光枠
9 ハーフミラー
10 光吸収体(無反射材)
11 視野角度
12 レンズ
13 CCDカメラ
14 遮光面
15 レンズ窓
16 照明配線板
17 外枠
18 支柱
19 照明側面板
20 レンズ固定金具
21 照明固定金具
22 上下移動部
23 ピント調整つまみ
24 顕微鏡スタンド
a〜j 光源LEDと、その矢印は各光路を示す

Claims (10)

  1. 被写体を中心に弧を成す帯状照明体に、弧の方向にすだれ状の明暗を施した照明装置。
  2. 被写体を中心に弧を成す照明で、弧の方向にすだれ状の照明を配列した照明装置。
  3. 請求項1の照明装置を装備した顕微鏡。
  4. 請求項2の照明装置を装備した顕微鏡。
  5. 請求項1の照明装置と同軸落射照明付き顕微鏡を組み合わせた顕微鏡。
  6. 請求項2の照明装置と同軸落射照明付き顕微鏡を組み合わせた顕微鏡。
  7. 請求項3に、カメラ撮像装置又はCCDカメラ及びデジタルカメラを用いた画像表示式の顕微鏡。
  8. 請求項4に、カメラ撮像装置又はCCDカメラ及びデジタルカメラを用いた画像表示式の顕微鏡。
  9. 請求項5に、カメラ撮像装置又はCCDカメラおよびデジタルカメラを用いた画像表示式の顕微鏡。
  10. 請求項6に、カメラ撮像装置又はCCDカメラおよびデジタルカメラを用いた画像表示式の顕微鏡。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006292580A (ja) * 2005-04-12 2006-10-26 Nippon Steel Corp 表面疵検査方法、表面疵検査装置、コンピュータプログラム及び記録媒体
JP2007212283A (ja) * 2006-02-09 2007-08-23 Mitsubishi Nuclear Fuel Co Ltd 外観検査装置及び外観検査方法
JP2009139232A (ja) * 2007-12-06 2009-06-25 Ishikawa Seisakusho Ltd 金属製棒状ワークの外観検査方法及び外観検査装置
JP2015010850A (ja) * 2013-06-26 2015-01-19 日本電信電話株式会社 端面観察装置
CN110208275A (zh) * 2019-06-28 2019-09-06 苏州精濑光电有限公司 一种检测装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006292580A (ja) * 2005-04-12 2006-10-26 Nippon Steel Corp 表面疵検査方法、表面疵検査装置、コンピュータプログラム及び記録媒体
JP2007212283A (ja) * 2006-02-09 2007-08-23 Mitsubishi Nuclear Fuel Co Ltd 外観検査装置及び外観検査方法
JP4739044B2 (ja) * 2006-02-09 2011-08-03 三菱原子燃料株式会社 外観検査装置
JP2009139232A (ja) * 2007-12-06 2009-06-25 Ishikawa Seisakusho Ltd 金属製棒状ワークの外観検査方法及び外観検査装置
JP2015010850A (ja) * 2013-06-26 2015-01-19 日本電信電話株式会社 端面観察装置
CN110208275A (zh) * 2019-06-28 2019-09-06 苏州精濑光电有限公司 一种检测装置

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