JP2004282707A - 弾性表面波フィルタ、通信機 - Google Patents
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- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 246
- 238000004891 communication Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 130
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 111
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 111
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 80
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 8
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 abstract description 50
- 230000001629 suppression Effects 0.000 abstract description 25
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 24
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 22
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 22
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 21
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 20
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 20
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 19
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 17
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 17
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 16
- 239000010408 film Substances 0.000 description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 description 15
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 9
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 9
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 8
- 238000013461 design Methods 0.000 description 7
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 5
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 4
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 2
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 1
- 229910004541 SiN Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
- H01P1/00—Auxiliary devices
- H01P1/20—Frequency-selective devices, e.g. filters
- H01P1/201—Filters for transverse electromagnetic waves
- H01P1/203—Strip line filters
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/0023—Balance-unbalance or balance-balance networks
- H03H9/0028—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices
- H03H9/0047—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having two acoustic tracks
- H03H9/0066—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having two acoustic tracks being electrically parallel
- H03H9/0071—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having two acoustic tracks being electrically parallel the balanced terminals being on the same side of the tracks
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/0023—Balance-unbalance or balance-balance networks
- H03H9/0028—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices
- H03H9/0033—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having one acoustic track only
- H03H9/0038—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having one acoustic track only the balanced terminals being on the same side of the track
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/0023—Balance-unbalance or balance-balance networks
- H03H9/0028—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices
- H03H9/0085—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having four acoustic tracks
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/0023—Balance-unbalance or balance-balance networks
- H03H9/0028—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices
- H03H9/0085—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having four acoustic tracks
- H03H9/009—Lattice filters
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/14576—Transducers whereby only the last fingers have different characteristics with respect to the other fingers, e.g. different shape, thickness or material, split finger
- H03H9/14582—Transducers whereby only the last fingers have different characteristics with respect to the other fingers, e.g. different shape, thickness or material, split finger the last fingers having a different pitch
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/14588—Horizontally-split transducers
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/6483—Ladder SAW filters
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Abstract
【解決手段】 圧電基板100上に、圧電基板100より誘電率が小さい樹脂パターン2と、各導体パターン31〜46、51〜63とをそれぞれ形成する。各導体パターン31〜46により各一端子対弾性表面波共振子11、12及び各縦結合共振子型弾性表面波フィルタ13、14をそれぞれ形成する。互いに異なる電位を有する各導体パターン58、59である各配線パターン、及び各導体パターン60、61である各配線パターン同士が平面方向視で対向する部分を樹脂パターン2上に形成する。
【選択図】 図1
Description
図1及び図2に示すように、実施の第一形態に係る弾性表面波フィルタ200では、圧電基板100の上に、第1の導体パターン1、樹脂パターン(絶縁パターン)2、第2の導体パターン3が形成されている。図1の紙面に対する垂直方向の位置関係は、圧電基板100を最も下とすると、下から順に、圧電基板100、第1の導体パターン1、樹脂パターン2、第2の導体パターン3となっている。圧電基板100はLiTaO3単結晶で、表面波伝搬方向はX軸方向、基板カット角はY軸回転38.5°である。
実施の第二形態に係る弾性表面波フィルタ300を図8に示す。図8におけるY−Y’線での矢視断面図を図9に示す。弾性表面波フィルタ300を示した図8において図1と同じ番号を付した箇所は、弾性表面波フィルタ200と同じ機能を有する箇所である。弾性表面波フィルタ300と弾性表面波フィルタ200の間で異なるのは、樹脂パターン2の形状と、配線パターンのみであるため、その違いの部分についてのみ説明をする。
実施の第三形態に係る弾性表面波フィルタ400を図10に示す。図10のZ−Z’線における矢視断面図を図11に示す。弾性表面波フィルタ400は、3つの一端子対弾性表面波共振子401〜403を梯子状(ラダー状)に互いに接続してバンドパスフィルタを形成するラダー型フィルタである。ラダー型フィルタの詳細な動作原理については周知であるためここでは割愛する。
本発明の弾性表面波フィルタにおける、実施の第四形態に係る別のラダー型の弾性表面波フィルタ700を図14に示す。各一端子対弾性表面波共振子701a、701b、702a、702b、702c、各配線パターン720〜722、724、726、728〜730、入力パッド710、出力パッド711、及びアースパッド712〜715は全て、圧電基板100の上に形成された、同一の第一の導体パターンによってそれぞれ形成されている。
本発明の実施の第五形態に係る弾性表面波フィルタ800を図15に示す。弾性表面波フィルタ800は、4つの一端子対弾性表面波共振子801a、801b、802a、802bをラチス状に互いに接続して、平衡入力−平衡出力のバンドパスフィルタを形成するラチス型フィルタである。ラチス型フィルタの詳細な動作原理については周知であるためここでは割愛する。
本発明の弾性表面波フィルタに係る実施の第六形態を図16(a)に基づき説明する。また、図16(a)における矢視断面線a−bでの断面図を図16(b)に示す。
図23(a)及び図23(b)に示すように、本発明の実施の第七形態であるところの弾性表面波フィルタ301を示す。本実施の形態の説明では、W−CDMA用の受信用フィルタを例にとって説明を行っていく。図23(a)における矢視断面線X−Xでの断面図を図23(b)に示す。
交叉幅:29.8λI1
IDT本数(208、209、210の順):36(4)/(4)46(4)/(4)36本(カッコ内はピッチを狭くした電極指の本数)
IDT波長λI1:2.88μm、λI2:2.72μm
(λI1はピッチを狭くしていない部分、λI2はピッチを狭くした部分)
反射器波長λR:2.89μm
反射器本数:220本
IDT−IDT間隔:
波長λI1とλI2の電極指に挟まれた箇所:0.25λI1+0.25λI2
波長λI2の電極指に挟まれた箇所:0.50λI2
IDT−反射器間隔:0.55λR
IDTduty:0.60
反射器duty:0.60
図23(a)においては、電極指本数が実際よりも少なく描かれている。
交叉幅:32.4λI
IDT本数:240
IDT波長及び反射器波長λI:2.85μm
反射器本数:30本
IDT−反射器間隔:0.50λR
第2の導体パターンによって、第1の入力パッド220、第2の入力パッド221、第2の出力パッド222、第2の出力パッド223、各配線パターン224〜227が形成されている。
38〜41 IDT(くし型電極部、配線パターン、導体パターン)
58〜61 配線パターン(導体パターン)
100 圧電基板
Claims (21)
- 圧電基板と、
該圧電基板上に形成された、該圧電基板よりも小さな誘電率を備える絶縁パターンと、
前記圧電基板上及び絶縁パターンの少なくとも一方の上に形成された導体パターンとを少なくとも備え、
前記導体パターンの一部がくし型電極部を、残余の部分の一部が配線パターンをそれぞれ構成し、且つ互いに異なる電位を有する配線パターン同士が平面方向視で対向する部分において、
前記絶縁パターン上に、少なくとも一方の配線パターンの少なくとも一部が形成されていることを特徴とする、弾性表面波フィルタ。 - 前記導体パターンは、
前記圧電基板上に形成され、一部がくし型電極部を形成する第1の導体パターン、及び、前記1の導体パターンと導通し、一部が前記絶縁パターン上に形成されている第2の導体パターンを含んでいることを特徴とする、請求項1に記載の弾性表面波フィルタ。 - 圧電基板と、
該圧電基板上に形成され、一部がくし型電極部を形成し、残余の部分の内、少なくとも一部が第一の配線パターンを形成している第一の導体パターンと、
前記圧電基板上、及び前記第一の配線パターン上に形成された絶縁パターンと、
前記圧電基板上及び前記絶縁パターン上に形成され、少なくとも一部が第二の配線パターンを形成し、且つ前記第一の導体パターンと導通している、第二の導体パターンとを備え、
第一の配線パターンと第二の配線パターンで、互いに異なる電位を有する配線パターン同士が平面方向視で対向する部分において、
前記絶縁パターン上に、少なくとも一方の配線パターンの少なくとも一部が形成されていると共に、
前記第一の配線パターンと第二の配線パターンとが前記絶縁パターンを介して交差している部分を少なくとも1箇所有することを特徴とする、弾性表面波フィルタ。 - 前記互いに電位の異なる配線パターンの内、一方は入力信号が印加される配線パターンであり、他方は出力信号が印加される配線パターンであることを特徴とする、請求項1ないし3のいずれか1項に記載の弾性表面波フィルタ。
- 圧電基板上に形成した直列腕共振子及び並列腕共振子を有するラダー型回路構成の弾性表面波フィルタであって、
前記圧電基板と、該圧電基板上に形成された、該圧電基板よりも小さな誘電率を備える絶縁パターンと、
前記圧電基板上及び絶縁パターンの少なくとも一方の上に形成された導体パターンとを少なくとも備え、
前記導体パターンの一部がくし型電極部を、残余の部分の一部が配線パターンをそれぞれ構成し、
前記絶縁パターン上に、配線パターンの少なくとも一部が形成されていることを特徴とする、弾性表面波フィルタ。 - 圧電基板上に形成した直列腕共振子及び並列腕共振子を有するラダー型回路構成の弾性表面波フィルタであって、
前記圧電基板と、該圧電基板上に形成され、一部がくし型電極部を形成し、残余の部分の内、少なくとも一部が第一の配線パターンを形成している第一の導体パターンと、
前記圧電基板上、及び前記第一の配線パターン上に形成された絶縁パターンと、
前記圧電基板上及び前記絶縁パターン上に形成され、少なくとも一部が第二の配線パターンを形成し、且つ前記第一の導体パターンと導通している、第二の導体パターンとを備え、
前記絶縁パターン上に、少なくとも一方の配線パターンの少なくとも一部が形成されていると共に、
前記第一の配線パターンと第二の配線パターンとが前記絶縁パターンを介して交差している部分を少なくとも1箇所有することを特徴とする、弾性表面波フィルタ。 - 前記第二の配線パターンの一部はアースパッド同士を直接導通する配線パターンであり、
前記配線パターンは前記絶縁パターンを介して前記第一の配線パターンと交差していることを特徴とする、請求項6記載の弾性表面波フィルタ。 - 前記配線パターンは、アースパッドと並列腕共振子の間を導通する配線パターン以外の部分において、該配線パターンの少なくとも一部が絶縁パターン上に形成されていることを特徴とする、請求項5ないし7の何れか1項に記載の弾性表面波フィルタ。
- 一つの圧電基板上に複数のフィルタ要素が形成されたマルチプルフィルタであることを特徴とする、請求項5ないし8の何れか1項に記載の弾性表面波フィルタ。
- 圧電基板上に形成した直列腕共振子及び格子腕共振子を有するラチス型回路構成の弾性表面波フィルタであって、
前記圧電基板と、該圧電基板上に形成された、該圧電基板よりも小さな誘電率を備える絶縁パターンと、
前記圧電基板上及び絶縁パターンの少なくとも一方の上に形成された導体パターンとを少なくとも備え、
前記導体パターンの一部がくし型電極部を、残余の部分の一部が配線パターンをそれぞれ構成し、
前記絶縁パターン上に、配線パターンの少なくとも一部が形成されていることを特徴とする、弾性表面波フィルタ。 - 圧電基板上に形成した直列腕共振子及び格子腕共振子を有するラチス型回路構成の弾性表面波フィルタであって、
前記圧電基板と、該圧電基板上に形成され、一部がくし型電極部を形成し、残余の部分の内、少なくとも一部が第一の配線パターンを形成している第一の導体パターンと、
前記圧電基板上、及び前記第一の配線パターン上に形成された絶縁パターンと、
前記圧電基板上及び前記絶縁パターン上に形成され、少なくとも一部が第二の配線パターンを形成し、かつ前記第一の導体パターンと導通している、第二の導体パターンとを備え、
前記絶縁パターン上に、少なくとも一方の配線パターンの少なくとも一部が形成されていると共に、
前記第一の配線パターンと第二の配線パターンとが前記絶縁パターンを介して交差している部分を少なくとも1箇所有することを特徴とする、弾性表面波フィルタ。 - 前記絶縁パターンの比誘電率が4未満であることを特徴とする、請求項1ないし11のいずれか1項に記載の弾性表面波フィルタ。
- 前記絶縁パターンは樹脂からなることを特徴とする、請求項1ないし12のいずれか1項に記載の弾性表面波フィルタ。
- 前記絶縁パターンの厚みが0.5μm以上であることを特徴とする、請求項1ないし13のいずれか1項に記載の弾性表面波フィルタ。
- 前記圧電基板の比誘電率は20以上であることを特徴とする、請求項1ないし14のいずれか1項に記載の弾性表面波フィルタ。
- 前記圧電基板は、LiTaO3、LiNbO3、及びLi2B4O7のいずれかからなることを特徴とする、請求項15に記載の弾性表面波フィルタ。
- 通過帯域の中心周波数が500MHz以上であることを特徴とする、請求項1ないし16のいずれか1項に記載の弾性表面波フィルタ。
- 通過帯域の中心周波数が1GHz以上であることを特徴とする、請求項1ないし16のいずれか1項に記載の弾性表面波フィルタ。
- 前記弾性表面波フィルタが平衡−不平衡変換機能を有すると共に、平衡信号端子と不平衡信号端子とを有することを特徴とする、請求項1ないし4のいずれか1項に記載の弾性表面波フィルタ。
- 前記平衡信号端子に接続されている配線パターンと、前記不平衡信号端子に接続されている配線パターンの内、少なくとも一方の配線パターンが、前記絶縁パターン上に形成されていることを特徴とする、請求項19に記載の弾性表面波フィルタ。
- 請求項1ないし20のいずれか1項に記載の弾性表面波フィルタを搭載したことを特徴とする、通信機。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003406255A JP4222197B2 (ja) | 2003-02-24 | 2003-12-04 | 弾性表面波フィルタ、通信機 |
US10/773,818 US7295089B2 (en) | 2003-02-24 | 2004-02-06 | Surface acoustic wave filter and communication apparatus |
CNB2004100055833A CN100372230C (zh) | 2003-02-24 | 2004-02-18 | 表面声波滤波器和通信设备 |
KR10-2004-0012253A KR100538484B1 (ko) | 2003-02-24 | 2004-02-24 | 탄성 표면파 필터, 통신기 |
EP10158450.6A EP2197107B1 (en) | 2003-02-24 | 2004-02-24 | Surface acoustic wave filter and communication apparatus |
EP04290489A EP1453198B1 (en) | 2003-02-24 | 2004-02-24 | Surface acoustic wave filter and communication apparatus |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003046269 | 2003-02-24 | ||
JP2003406255A JP4222197B2 (ja) | 2003-02-24 | 2003-12-04 | 弾性表面波フィルタ、通信機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2004282707A true JP2004282707A (ja) | 2004-10-07 |
JP4222197B2 JP4222197B2 (ja) | 2009-02-12 |
Family
ID=32775225
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2003406255A Expired - Lifetime JP4222197B2 (ja) | 2003-02-24 | 2003-12-04 | 弾性表面波フィルタ、通信機 |
Country Status (5)
Country | Link |
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US (1) | US7295089B2 (ja) |
EP (2) | EP2197107B1 (ja) |
JP (1) | JP4222197B2 (ja) |
KR (1) | KR100538484B1 (ja) |
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JPWO2018225621A1 (ja) * | 2017-06-05 | 2020-02-27 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置 |
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WO2023149398A1 (ja) * | 2022-02-02 | 2023-08-10 | 東レ株式会社 | 積層体、積層体の製造方法、中空構造体および電子部品 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1453198A2 (en) | 2004-09-01 |
EP2197107A2 (en) | 2010-06-16 |
EP2197107A3 (en) | 2010-06-23 |
US20040196119A1 (en) | 2004-10-07 |
EP1453198B1 (en) | 2013-01-30 |
US7295089B2 (en) | 2007-11-13 |
KR100538484B1 (ko) | 2005-12-23 |
CN1525640A (zh) | 2004-09-01 |
KR20040076222A (ko) | 2004-08-31 |
EP2197107B1 (en) | 2013-06-26 |
CN100372230C (zh) | 2008-02-27 |
JP4222197B2 (ja) | 2009-02-12 |
EP1453198A3 (en) | 2006-03-01 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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