JP2004221488A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】主搬送制御MTは処理ブロックPM1,PM2,PM3全体を1つの仮想的な処理ブロックとみなし、その仮想処理ブロックに備わった1台の仮想的な搬送ロボットである仮想搬送ロボットVRに対して、仮想処理ブロックにおいて搬送動作を行うよう指令を出す。副搬送制御STはその指令をもとに、搬送ロボットTR1,TR2,TR3それぞれを個別に制御して、上記指令に係る基板搬送を実際に実行する。その際、副搬送制御STは、いずれかの搬送ロボットが基板を保持しているときには、他の搬送ロボットによる基板保持を禁止するように制御する。基板搬送中に搬送ロボット相互の干渉がなくなるため、複数の搬送ロボットを使用した複数の処理ユニットに対する搬送フローを自由に設定できる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等(以下、単に「基板」と称する)に対して処理を行う処理ユニットを複数備えるとともに、それら複数の処理ユニットに基板を搬送する搬送ロボットを複数備えた基板処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体や液晶ディスプレイなどの製品は、基板に対して洗浄、レジスト塗布、露光、現像、エッチング、層間絶縁膜の形成、熱処理などの一連の諸処理を施すことにより製造されている。従来より、これらの諸処理は複数の処理ユニットを組み込んだ基板処理装置において行われている。基板処理装置に設けられた搬送ロボットが各処理ユニットに基板を順次搬送し、各処理ユニットが基板に所定の処理を行うことによって該基板に一連の処理が施されるのである。
【0003】
このような基板処理装置における各プロセスは、異なる処理では互いに処理時間が異なることが多いため、処理時間差によるユニット間の稼働率の違いを減らす目的で、処理時間の長いプロセスに対する処理ユニット数を多くして、そのような処理ユニットでの処理を複数の基板に対して並行して行う並行処理という技術がある。
【0004】
このような基板処理装置において、処理時間の特に長いプロセス(例えばポリマー除去処理)を含む場合、スループット向上のため当該プロセスについての並行処理数をさらに増やしたいという要求がある。
【0005】
しかしながら、処理ユニットの集まりの単位である1ブロックに含まれる処理ユニットの数を増やしてそれらに1台の搬送ロボットで搬送するようにすると、搬送ロボットの移動範囲が大きくなり、搬送ロボットのアクセス動作の信頼性が低下してしまう。そこで、搬送ロボットのアクセス動作の信頼性を高めるために、高精度で移動できる搬送ロボットが必要になり、製造コストが飛躍的に増大してしまうという問題があった。
【0006】
一方、少数の処理ユニットと1台の搬送ロボットを搭載したブロックを複数組み合わせて一連の基板処理を行う技術があり(例えば、特許文献1参照)、各ブロックの処理ユニットを同種のものとすることにより並行処理数を増やすことが考えられる。
【0007】
【特許文献1】
特開平4−305914号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このような装置構成を採用する場合に、各ブロックの搬送ロボットの搬送動作が相互に干渉して複数ブロックにまたがる各ユニットに自由に搬送することができなくなり、その結果、かえって並行処理が困難になるといった問題があった。
【0009】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、複数の処理ユニットに対する複数の搬送ロボットによる高い自由度の基板搬送を実現することができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項1の発明は、基板に処理を行う複数の処理ユニットおよびそれら複数の処理ユニットに対して基板の受け渡しを行う搬送ロボットをそれぞれが有する複数の処理ブロックと、前記複数の処理ブロックに対して未処理の基板を払い出すとともに前記複数の処理ブロックから処理済基板を受け取るインデクサ部と、前記複数の処理ブロックのうちの隣り合う2つの処理ブロックの間で基板の授受を行うインターフェイス部と、を備える基板処理装置において、前記複数の処理ブロックのうちのいずれかに設けられた搬送ロボットが基板を保持しているときには、他の処理ブロックに設けられた搬送ロボットによる基板保持を禁止するように、前記複数の処理ブロックのそれぞれに設けられた搬送ロボットを制御する搬送制御手段を備える。
【0011】
また、請求項2の発明は、基板に処理を行う複数の処理ユニットおよびそれら複数の処理ユニットに対して基板の受け渡しを行う搬送ロボットをそれぞれが有する複数の処理ブロックと、前記複数の処理ブロックに対して未処理の基板を払い出すとともに前記複数の処理ブロックから処理済基板を受け取るインデクサ部と、前記複数の処理ブロックのうちの隣り合う2つの処理ブロックの間で基板の授受を行うインターフェイス部と、を備える基板処理装置において、前記複数の処理ブロック、前記インデクサ部および前記インターフェイス部によって構成される基板搬送可能領域の全体において同時に2枚以上の基板を搬送することを禁止するように前記複数の処理ブロックのそれぞれに設けられた搬送ロボットを制御する搬送制御手段を備える。
【0012】
また、請求項3の発明は、基板に処理を行う複数の処理ユニットおよびそれら複数の処理ユニットに対して基板の受け渡しを行う搬送ロボットをそれぞれが有する複数の処理ブロックと、前記複数の処理ブロックに対して未処理の基板を払い出すとともに前記複数の処理ブロックから処理済基板を受け取るインデクサ部と、前記複数の処理ブロックのうちの隣り合う2つの処理ブロックの間で基板の授受を行うインターフェイス部と、を備える基板処理装置において、前記複数の処理ブロックのそれぞれに設けられた搬送ロボットを制御する搬送制御手段を備え、前記搬送制御手段に、前記複数の処理ブロックの全てを1つの仮想処理ブロックとみなさせるとともに、前記複数の処理ブロックのそれぞれに設けられた搬送ロボットの全てを仮想的に1つの搬送ロボットとみなした仮想搬送ロボットを設定させ、当該仮想搬送ロボットが前記仮想処理ブロックに対して搬送動作を行うように前記複数の処理ブロックのそれぞれに設けられた搬送ロボットを制御させる。
【0013】
また、請求項4の発明は、それぞれが基板に同一内容の特定処理を行う複数の処理ユニットおよびそれら複数の処理ユニットに対して基板の受け渡しを行う第1搬送ロボットを有する第1処理ブロックと、それぞれが前記特定処理を行う複数の処理ユニットおよびそれら複数の処理ユニットに対して基板の受け渡しを行う第2搬送ロボットを有する第2処理ブロックと、前記第1および第2処理ブロックに対して未処理の基板を払い出すとともに前記第1および第2処理ブロックから処理済基板を受け取るインデクサ部と、前記第1および第2処理ブロックの間で基板の授受を行うインターフェイス部と、を備える基板処理装置において、前記第1および第2搬送ロボットのうち一方が基板を保持しているときには、他方による基板保持を禁止するように、前記第1および第2搬送ロボットを制御する搬送制御手段を備える。
【0014】
また、請求項5の発明は、それぞれが基板に同一内容の特定処理を行う複数の処理ユニットおよびそれら複数の処理ユニットに対して基板の受け渡しを行う第1搬送ロボットを有する第1処理ブロックと、それぞれが前記特定処理を行う複数の処理ユニットおよびそれら複数の処理ユニットに対して基板の受け渡しを行う第2搬送ロボットを有する第2処理ブロックと、前記第1および第2処理ブロックに対して未処理の基板を払い出すとともに前記第1および第2処理ブロックから処理済基板を受け取るインデクサ部と、前記第1および第2処理ブロックの間で基板の授受を行うインターフェイス部と、を備える基板処理装置において、前記第1および第2処理ブロック、前記インデクサ部並びに前記インターフェイス部によって構成される基板搬送可能領域の全体において同時に2枚以上の基板を搬送することを禁止するように前記第1および第2搬送ロボットを制御する搬送制御手段を備える。
【0015】
また、請求項6の発明は、それぞれが基板に同一内容の特定処理を行う複数の処理ユニットおよびそれら複数の処理ユニットに対して基板の受け渡しを行う第1搬送ロボットを有する第1処理ブロックと、それぞれが前記特定処理を行う複数の処理ユニットおよびそれら複数の処理ユニットに対して基板の受け渡しを行う第2搬送ロボットを有する第2処理ブロックと、前記第1および第2処理ブロックに対して未処理の基板を払い出すとともに前記第1および第2処理ブロックから処理済基板を受け取るインデクサ部と、前記第1および第2処理ブロックの間で基板の授受を行うインターフェイス部と、を備える基板処理装置において、前記第1および第2搬送ロボットを制御する搬送制御手段を備え、前記搬送制御手段に、前記第1および第2処理ブロックを1つの仮想処理ブロックとみなさせるとともに、前記第1および第2搬送ロボットを仮想的に1つの搬送ロボットとみなした仮想搬送ロボットを設定させ、当該仮想搬送ロボットが前記仮想処理ブロックにおいて搬送動作を行うように前記第1および第2搬送ロボットを制御させる。
【0016】
また、請求項7の発明は、基板に処理を行う複数の処理ユニットと、それら複数の処理ユニットに対して基板を搬送する複数の搬送ロボットとを備える基板処理装置において、前記複数の搬送ロボットのうちのいずれかが基板を保持しているときには、他の搬送ロボットによる基板保持を禁止するように、前記複数の搬送ロボットを制御する搬送制御手段を備える。
【0017】
また、請求項8の発明は、基板に処理を行う複数の処理ユニットと、それら複数の処理ユニットに対して基板を搬送する複数の搬送ロボットとを備える基板処理装置において、前記複数の搬送ロボットが同時に2枚以上の基板を搬送することを禁止するように前記複数の搬送ロボットを制御する搬送制御手段を備える。
【0018】
また、請求項9の発明は、基板に処理を行う複数の処理ユニットと、それら複数の処理ユニットに対して基板を搬送する複数の搬送ロボットとを備える基板処理装置において、前記複数の搬送ロボットを制御する搬送制御手段を備え、前記搬送制御手段に、前記複数の搬送ロボットの全てを仮想的に1つの搬送ロボットとみなした仮想搬送ロボットを設定させ、当該仮想搬送ロボットが前記複数の処理ユニットに対して搬送動作を行うように前記複数の搬送ロボットのそれぞれを制御させる。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【0020】
<1.発明の原理>
本発明は、複数の処理ユニットと、それらに対して基板を搬送する複数の搬送ロボットとを備える基板処理装置において、複数の搬送ロボットを仮想的に1台の搬送ロボットとみなすことによって、ある搬送ロボットが基板を搬送しているときには、他の搬送ロボットが基板搬送を行わないようにするというものである。これにより、基板搬送中に搬送ロボット間の干渉(例えば、基板の受け渡し台に対して両側の搬送ロボットが基板を渡しに行く等)がなくなるため、複数の搬送ロボットを使用した複数の処理ユニットに対する搬送フローを自由に設定することができる。換言すると、この基板処理装置は、複数の処理ユニットに対する複数の搬送ロボットによる高い自由度の基板搬送を容易に実現することができる基板処理装置となっている。
【0021】
図1は、本発明の原理を説明するための一実施の形態に係る基板処理装置1の装置構成図である。基板処理装置1は、搬入搬出部IDと、3ブロックの処理ブロックPM1〜PM3とを並べて配列した状態で有する。
【0022】
搬入搬出部IDは、未処理の基板Wと、処理済みの基板Wとが搬入され、図示しない搬入搬出機構や受け渡し台19を通じて処理ブロックPM1との間で基板Wの受け渡しを行う部分である。
【0023】
処理ブロックPM1は、搬入搬出部IDに隣接して設けられ、さらに処理ブロックPM1の搬入搬出部IDとは反対側に隣接して処理ブロックPM2,PM3が順に整列して設けられている。なお、この例では、処理ブロックの数を3つにしているが、処理ブロックの数を2つまたは4つ以上としてもよい。
【0024】
処理ブロックPM1,PM2,PM3は、それぞれ基板Wを収容して、例えば、洗浄、レジスト塗布、露光、現像、エッチング、層間絶縁膜の形成、熱処理や後述するポリマー除去処理等の各種基板処理を施す複数台の枚葉式の処理ユニット(この例では処理ユニットPU1〜PU4,PU5〜PU8,PU9〜PU12)を備え、各処理ブロックPM1,PM2,PM3において、処理ユニットは2つ並ぶことで処理ユニットの列を形成し、この処理ユニットの列が間隔を開けて合計2列、並んでいる。そして、処理ブロックPM1,PM2,PM3は、処理ユニットの列と列との間に挟み込まれた搬送路TP1,TP2,TP3の中央に搬送ロボットTR1,TR2,TR3をそれぞれ備えている。なお、この例では1つの処理ブロックに4つの処理ユニットを備えるものとしたが、複数の処理ユニットを備えれば4つでなくともよい。また、各処理ユニットにおける処理は同種のものであっても、異種のものであってもよい。
【0025】
詳細は図示しないが、搬送ロボットTR1,TR2,TR3は、それぞれ基板Wを保持して進退可能な複数の搬送アームを備えており、搬送ロボットTR1は処理ブロックPM1内の4つの処理ユニットおよび処理ブロックPM1に隣接して設けられた受け渡し台19,IF1に対して、搬送ロボットTR2は処理ブロックPM2内の4つの処理ユニットおよび処理ブロックPM2に隣接して設けられた受け渡し台IF1,IF2に対して、搬送ロボットTR3は処理ブロックPM3内の4つの処理ユニットおよび処理ブロックPM3に隣接して設けられた受け渡し台IF2に対して、それぞれ基板Wを授受する。なお、処理ブロックPM1,PM2,PM3、搬入搬出部IDおよび受け渡し台IF1,IF2によって本発明の基板搬送可能領域が構成されている。
【0026】
一部図1に示すように、制御部CMは基板処理装置1の各部、すなわち、搬入搬出部ID、複数の搬送ロボット、複数の処理ユニットのそれぞれと電気的に接続されており、それら各部の動作を制御する。特に制御部CMは搬送ロボットTR1,TR2,TR3を制御する搬送制御のソフトウェア上、メインルーチンとサブルーチンの関係にある主搬送制御MTと副搬送制御STに分かれている。主搬送制御MTは複数の処理ブロック(図1では処理ブロックPM1,PM2,PM3)全体を1つの仮想的な処理ブロックとみなし、その仮想処理ブロックに備わった1台の仮想的な搬送ロボットである仮想搬送ロボットVRに対して、仮想処理ブロックにおいて搬送動作を行うように指令を出すことにより、仮想搬送ロボットVRを制御する。仮想搬送ロボットVRへの指令は実際には副搬送制御STに送られ、副搬送制御STは主搬送制御MTによる仮想搬送ロボットVRへの指令をもとに、複数の搬送ロボット(図1の例では搬送ロボットTR1,TR2,TR3)それぞれを個別に制御して、上記指令に係る基板搬送を実際に実行する。その際、副搬送制御STは複数の搬送ロボットに対して、どの時点においても同時に基板を保持、搬送しないような制御、すなわち、複数の搬送ロボットのうちのいずれかが基板を保持しているときには、他の搬送ロボットによる基板保持を禁止するように、複数の搬送ロボットを制御する。換言すると、複数の搬送ロボットが同時に2枚以上の基板を搬送することを禁止する、いわば複数の搬送ロボットの排他保持制御を行う。
【0027】
以下、本発明における基板Wの搬送制御について説明する。搬送制御において、主搬送制御MTは、搬送の出発点と到達点を指定した搬送動作の指令を仮想搬送ロボットVR(副搬送制御ST)に行う。なお、搬送の到達点の処理ユニットに処理済みの基板が収納されている場合には、その基板と搬送してきた基板との交換も指示する。
【0028】
これに対し、副搬送制御STはその搬送指令に対応して、予め作成、記憶されていた制御ルーチンに従って、各搬送ロボット(図1の例では搬送ロボットTR1,TR2,TR3)を制御して、実際に搬送を行わせる。その際、処理ブロック(図1の例では処理ブロックPM1,PM2,PM3)の境界を越える場合には、受け渡し台(図1の例では受け渡し台IF1,IF2)を介して一方の処理ブロックの搬送ロボットから他方の処理ブロックの搬送ロボットへ基板Wを受け渡しつつ、到達点へ基板Wを搬送させる。ただし、その際、一方の搬送ロボットが基板Wを保持しているときには、他方の搬送ロボットによる基板保持を禁止する。なお、主搬送制御MTの指令に、到達点の処理ユニットにおける基板の交換が含まれていた場合は、副搬送制御STは実際にその処理ユニットに基板を搬送させた搬送ロボットに基板の交換動作も行わせる。
【0029】
以下、主搬送制御MTの仮想搬送ロボットVRへの指令に対する副搬送制御STによる搬送ロボットの制御について図1の例に基づいて説明する。主搬送制御MTの搬送指令が、搬入搬出部IDから処理ユニットPU1〜PU4のいずれか(以下、主搬送制御MTの指令における到達点の処理ユニットを「対象処理ユニットPU」という)への場合には、副搬送制御STは搬送ロボットTR1を制御して搬入搬出部IDの受け渡し台19に基板Wを取りに行かせ、その基板を対象処理ユニットPUに搬送させる。逆に、主搬送制御MTの搬送指令が、その逆方向の搬送指令である場合には、副搬送制御STは搬送ロボットTR1に対してこれと逆の手順の制御を行う。
【0030】
また、主搬送制御MTの搬送指令が、搬入搬出部IDから処理ユニットPU5〜PU8のいずれか(対象処理ユニットPU)への基板搬送の場合には、副搬送制御STは搬送ロボットTR1を制御して搬入搬出部IDの受け渡し台に基板Wを取りに行かせ、それを受け渡し台IF1に搬送させ、次に、搬送ロボットTR2を制御して受け渡し台に基板Wを取りに行かせ、それを対象処理ユニットPUに搬送させる。逆に、主搬送制御MTの搬送指令が、その逆方向の搬送指令である場合には、副搬送制御STは順に搬送ロボットTR2,TR1に対してこれと逆の手順の制御を行う。
【0031】
また、主搬送制御MTの搬送指令が、搬入搬出部IDから処理ユニットPU9〜PU12のいずれか(対象処理ユニットPU)への基板搬送の場合には、副搬送制御STは搬送ロボットTR1を制御して搬入搬出部IDの受け渡し台19に基板Wを取りに行かせ、それを受け渡し台IF1に搬送させ、次に、搬送ロボットTR2を制御して受け渡し台IF1に基板Wを取りに行かせ、それを受け渡し台IF2に搬送させ、次に、搬送ロボットTR3を制御して受け渡し台IF2に基板Wを取りに行かせ、それを対象処理ユニットPUに搬送させる。逆に、主搬送制御MTの搬送指令が、その逆方向の搬送指令である場合には、副搬送制御STは順に搬送ロボットTR3,TR2,TR1に対してこれと逆の手順の制御を行う。
【0032】
また、主搬送制御MTの搬送指令が、処理ユニットPU1〜PU4(以下、主搬送制御MTの指令における出発点の処理ユニットを「取り出し処理ユニット」という)から処理ユニットPU5〜PU8のいずれか(対象処理ユニットPU)への基板搬送の場合には、副搬送制御STは搬送ロボットTR1を制御して取り出し処理ユニットに基板Wを取りに行かせ、それを受け渡し台IF1に搬送させ、次に、搬送ロボットTR2を制御して受け渡し台IF1に基板Wを取りに行かせ、それを対象処理ユニットPUに搬送させる。逆に、主搬送制御MTの搬送指令が、その逆方向の搬送指令である場合には、副搬送制御STは順に搬送ロボットTR2,TR1に対してこれと逆の手順の制御を行う。
【0033】
また、主搬送制御MTの搬送指令が、処理ユニットPU5〜PU8のいずれか(取り出し処理ユニット)から処理ユニットPU9〜PU12のいずれか(対象処理ユニットPU)への基板搬送の場合には、副搬送制御STは搬送ロボットTR2を制御して取り出し処理ユニットに基板Wを取りに行かせ、それを受け渡し台IF2に搬送させ、次に、搬送ロボットTR3を制御して受け渡し台IF2に基板Wを取りに行かせ、それを対象処理ユニットPUに搬送させる。逆に、主搬送制御MTの搬送指令が、その逆方向の搬送指令である場合には、副搬送制御STは順に搬送ロボットTR3,TR2に対してこれと逆の手順の制御を行う。
【0034】
また、主搬送制御MTの搬送指令が、処理ユニットPU1〜PU4のいずれか(取り出し処理ユニット)から処理ユニットPU9〜PU12のいずれか(対象処理ユニットPU)への基板搬送の場合には、副搬送制御STは搬送ロボットTR1を制御して取り出し処理ユニットに基板Wを取りに行かせ、それを受け渡し台IF1に搬送させ、次に、搬送ロボットTR2を制御して受け渡し台IF1に基板Wを取りに行かせ、それを受け渡し台IF2に搬送させ、次に、搬送ロボットTR3を制御して受け渡し台IF2に基板Wを取りに行かせ、それを対象処理ユニットPUに搬送させる。逆に、主搬送制御MTの搬送指令が、その逆方向の搬送指令である場合には、副搬送制御STは順に搬送ロボットTR3,TR2,TR1に対してこれと逆の手順の制御を行う。
【0035】
なお、ここでは基板Wの搬送制御のみについて説明したが、実際の基板処理においては、対象処理ユニットPUに未処理基板Wが収納されると、制御部CMは対象処理ユニットPUを制御してその基板Wに対する基板処理を実行するのは従来装置と同様である。
【0036】
次に、基板処理装置1による基板搬送制御の具体例を示す。すなわち、1枚の基板を処理ユニットPU1,PU5,PU10,PU4の順に搬送、処理した後、搬入搬出部IDに戻る場合について説明する。
【0037】
まず、主搬送制御MTが、搬入搬出部IDから処理ユニットPU1へ搬送するよう仮想搬送ロボットVRに指令を出す。すると、この指令を受けて副搬送制御STは搬送ロボットTR1を制御して搬入搬出部IDの受け渡し台19に基板Wを取りに行かせ、その基板Wを処理ユニットPU1に搬送させる。そして、制御部CMは処理ユニットPU1により基板処理を実行させる。
【0038】
次に、処理ユニットPU1による基板処理が終了すると、主搬送制御MTは処理ユニットPU1から処理ユニットPU5へ搬送するよう仮想搬送ロボットVRに指令を出す。すると、副搬送制御STは搬送ロボットTR1を制御して処理ユニットPU1の基板Wを受け渡し台IF1に搬送させた後、搬送ロボットTR2を制御して受け渡し台IF1の基板Wを処理ユニットPU5に搬送させる。そして、制御部CMは処理ユニットPU5により基板処理を実行させる。
【0039】
次に、処理ユニットPU5による基板処理が終了すると、主搬送制御MTは処理ユニットPU5から処理ユニットPU8へ搬送するよう仮想搬送ロボットVRに指令を出す。すると、副搬送制御STは搬送ロボットTR2を制御して処理ユニットPU5の基板Wを受け渡し台IF2に搬送させた後、搬送ロボットTR3を制御して受け渡し台IF2の基板Wを処理ユニットPU10に搬送させる。そして、制御部CMは処理ユニットPU10により基板処理を実行させる。
【0040】
次に、処理ユニットPU10による基板処理が終了すると、主搬送制御MTは処理ユニットPU10から処理ユニットPU4へ搬送するよう仮想搬送ロボットVRに指令を出す。すると、副搬送制御STは搬送ロボットTR3を制御して処理ユニットPU10の基板Wを受け渡し台IF2に搬送させた後、搬送ロボットTR2を制御して受け渡し台IF2の基板Wを受け渡し台IF1に搬送させ、さらにその後、搬送ロボットTR1を制御して受け渡し台IF1の基板Wを処理ユニットPU4に搬送させる。そして、制御部CMは処理ユニットPU4により基板処理を実行させる。
【0041】
最後に、処理ユニットPU4による基板処理が終了すると、主搬送制御MTは処理ユニットPU4から搬入搬出部IDへ搬送するよう仮想搬送ロボットVRに指令を出す。すると、副搬送制御STは搬送ロボットTR1を制御して処理ユニットPU4の基板Wを搬入搬出部IDの受け渡し台19に搬送させる。
【0042】
以上のような搬送制御を行うことにより、本発明の基板処理装置においては、基板搬送中に搬送ロボット相互の干渉がなくなるため、複数の搬送ロボットを使用した複数の処理ユニットに対する搬送フローを自由に設定することができる。
具体的には主搬送制御MTによる副搬送制御STへの搬送指令を搬送ロボット間の干渉を考慮することなく制限なく自由に決めることができ、その制御ルーチンの作成が容易となる。
【0043】
さらに、同種の処理を行う処理ユニットを搭載した処理ブロックを増設して並行処理数を増やす場合にも、主搬送制御MTにおける新たな主搬送制御のルーチンは、1台の仮想搬送ロボットVRへの指令を追加するだけでよく、副搬送制御STには仮想搬送ロボットVRの動作に一対一に対応した各搬送ロボットの排他保持制御のルーチンを追加するだけでよく、搬送ロボット間の干渉を考慮した複雑な制御ルーチンを作成する必要がないので、ブロック増設の際の搬送ロボットの制御ソフトウェアの作成が容易となる。
【0044】
<2.実施例>
次に、以上のような原理に基づいた基板処理装置の一例について図2以下を参照しつつ説明する。本実施例における基板処理装置3は、基板からポリマーを除去するポリマー除去洗浄処理を複数枚の基板に対して同時並行に行う(並行処理する)装置である。半導体装置等の製造工程においては、基板上に形成されたアルミニウムや銅等の金属膜およびシリコン酸化膜や低誘電率層間絶縁膜(Low−k膜)等の絶縁膜をパターン化されたレジスト膜をマスクとして気相中にてエッチングするドライエッチングが用いられている。ドライエッチングは、微細なパターンであっても確実に垂直方向の腐食を行える点で優れており、回路パターンの微細化が進展している今日においては重要なプロセスである。
【0045】
しかしながら、例えばRIE(Reactive Ion Etching/反応性イオンエッチング)装置で使用する反応性イオンのパワーは極めて強いことから、エッチング対象の薄膜が十分に腐食される時点では、マスクであるレジストも半分以上消失しており、その一部が変質してポリマーとして基板に付着するのである。このポリマーは後続するレジスト除去工程では除去されないことから、レジスト除去工程を実行する前または後に、ポリマーを除去する洗浄処理が必要となるのである。
基板処理装置3は、上記の如きドライエッチング時にレジストや薄膜に由来して生成された反応生成物であるポリマーの除去処理を行う装置である。
【0046】
図2は、基板処理装置3の平面図である。基板処理装置3は、搬入搬出部IDと、除去処理ブロックRM1,RM2とを並べて配列した状態で有する。
【0047】
搬入搬出部IDは、未処理の基板Wを複数収容したキャリア(カセット)Cが載置される搬入部31と、処理済みの基板Wを複数収容したキャリアCが載置される搬出部33と、受渡し部35とを有する。
【0048】
搬入部31はテーブル状の載置台を有し、装置外の例えばAGV(Automatic Guided Vehicle)等の搬送機構によって2個のキャリアCが当該載置台上に搬入される。キャリアCは例えば25枚の基板Wを水平姿勢にて互いに間隔を隔てて鉛直方向に積層配置した状態で保持する。搬出部33もテーブル状の載置台を有し、該載置台に2個のキャリアCが載置され、該2個のキャリアCは装置外の搬送機構によって搬出される。
【0049】
受渡し部35は、搬入部31、搬出部33のキャリアCの並び方向に沿って移動し、かつキャリアCに対して基板Wを搬入、搬出する搬入搬出機構37と、受け渡し台39とを有する。搬入搬出機構37は、図示を省略する搬入搬出用アームを備え、水平方向に沿った移動の他に鉛直方向を軸とする回転動作や鉛直方向に沿った昇降動作や該搬入搬出用アームの進退動作を行うことができる。これにより、搬入搬出機構37はキャリアCに対して基板Wの搬出入を行うとともに、受け渡し台39に対して基板Wを授受する。
【0050】
除去処理ブロックRM1は、搬入搬出部IDに隣接して設けられ、除去処理ブロックRM1の搬入搬出部IDに対して反対側には除去処理ブロックRM2が設けられている。除去処理ブロックRM1は基板Wを収容してポリマー等の反応生成物の除去処理を施す4つの枚葉式の除去処理ユニットSR1〜SR4と、受け渡し台39,IFに対して基板Wを授受するとともに除去処理ユニットSR1〜SR4に対して基板Wを授受する搬送ロボットTR1とを有している。同様に、除去処理ブロックRM2も除去処理ユニットSR1〜SR4と同様の構造を有するの除去処理ユニットSR5〜SR8と、受け渡し台IFに対して基板Wを授受するとともに除去処理ユニットSR1〜SR4に対して基板Wを授受する搬送ロボットTR2とを有している。
【0051】
除去処理ユニットSR1〜SR4およびSR5〜SR8は、除去処理ブロックRM1,RM2それぞれにおいて、搬入搬出部IDのキャリアCの並び方向と直交する方向において2つ並ぶことで除去処理ユニットの列を形成し、この除去処理ユニットの列が間隔を開けて合計4列、キャリアCの並び方向に沿って並んでいる。そして、除去処理ブロックRM1において、前記除去処理ユニットの列と列との間に挟み込まれた搬送路TP1に搬送ロボットTR1が配置され、同様に除去処理ブロックRM2において、搬送路TP1と同様の搬送路TP2に搬送ロボットTR2が配置されている。
【0052】
搬送ロボットTR1は、基板Wを保持して進退可能な2つの搬送アーム53a,53bを備えており、除去処理ブロックRM1内の4つの除去処理ユニットのそれぞれに対して基板Wを授受するとともに、受け渡し台39,IFに対して基板Wを授受する。搬送ロボットTR2も搬送ロボットTR1と同様の構造を有しており、除去処理ブロックRM2内の4つの除去処理ユニットのそれぞれに対して基板Wを授受するとともに、受け渡し台IFに対して基板Wを授受する。
【0053】
図3は除去処理ユニットSR1〜SR8の構成を示す図である。除去処理ユニットSR1〜SR8は、1枚の基板Wを水平状態に保持して回転する基板保持部61と、保持された基板Wの周囲を取り囲むカップ62と、保持された基板Wに除去液を供給する除去液供給部63と、保持された基板Wに純水を供給する純水供給部64と、基板保持部61に保持された状態の基板Wを収容するチャンバ65とを有する。
【0054】
チャンバ65にはシャッタ59(図1参照)が設けられており、該シャッタ59は、搬送ロボットTR1,TR2がチャンバ65内に基板Wを搬入または搬出する場合には図示を省略する開閉機構によって開放され、それ以外のときは閉鎖されている。なお、チャンバ65内は常に常圧の状態である。また、チャンバ65内の雰囲気は不図示の排気機構によって、装置外の排気ダクトへ排出されている。このため、処理液のミストや蒸気などを含んだ雰囲気がチャンバ65から漏出することが防止されている。
【0055】
基板保持部61は、チャンバ65外に設けられたモータ66と、モータ66によって回転駆動されることで、鉛直方向に沿って配された軸を中心に回転するチャック67とを有する。また、モータ66には、モータ66の回転速度を検出するモータ速度センサ30aと回転のトルクを検出するモータトルクセンサ30bとが付設されている。モータ速度センサ30aとしては例えばエンコーダを適用することができ、モータトルクセンサ30bとしては公知の種々のトルク計を適用することができる。
【0056】
チャック67は、真空吸着によって基板Wを略水平姿勢にて保持することができるいわゆるバキュームチャックである。チャック67が基板Wを保持した状態にてモータ66がチャック67を回転させることにより、その基板Wも鉛直方向に沿った軸を中心にして水平面内にて回転する。そして、基板Wを回転させているときのモータ66の回転速度およびトルクがモータ速度センサ30aおよびモータトルクセンサ30bによってそれぞれ検出される。なお、チャック67はいわゆるバキュームチャックに限定されるものではなく、端縁部を機械的に把持して基板Wを保持するいわゆるメカチャックであっても良い。
【0057】
カップ62は上面視略ドーナツ型で中央部にチャック67が通過可能な開口を有している。また、カップ62は回転する基板Wから飛散する液体(例えば除去液や純水)を捕集するとともに下部に設けられている排液口68から捕集した液体を排出する。排液口68にはドレン70へ通ずるドレン配管69が設けられ、該ドレン配管69の途中にはドレン配管69の管路を開閉するドレン弁72が設けられている。なお、カップ62は不図示の機構によって昇降する。
【0058】
除去液供給部63は、チャンバ65外に設けられたモータ73と、モータ73の回動動作によって回動するアーム74とアーム74の先端に設けられ除去液を下方に向けて吐出する除去液ノズル75と、例えば除去液を貯留する瓶にて構成される除去液供給源76と、除去液供給源76から除去液ノズル75に向けて除去液を送給するポンプ77とを備える。また、除去液ノズル75と除去液源76との間には管路が連通接続され、該管路には除去液バルブ176および除去液を浄化するフィルタ177が介挿されている。さらに、該管路の経路途中には流量計30cおよび温度計30dが介挿されている。流量計30cおよび温度計30dは、該管路を通過する除去液の流量および温度をそれぞれ検出する。
【0059】
なお、モータ73を昇降させることで除去液ノズル75を昇降させる不図示の昇降手段が設けられている。また、このモータ73を駆動することによって、除去液ノズル75は基板Wの回転中心の上方の吐出位置とカップ62外の待機位置との間で往復移動する。
【0060】
ポンプ77を作動させるとともに除去液バルブ176を開放することにより、除去液供給源76から除去液ノズル75に向けて除去液が送給され、除去液ノズル75から除去液が吐出される。ここでの除去液はポリマーのみを選択的に除去するポリマー除去液であり、例えばジメチルスルホキシド、ジメチルホルムアミド等、有機アミンを含む有機アミン系除去液、フッ化アンモンを含むフッ化アンモン系除去液、無機系の除去液が使用される。そして、除去液ノズル75に向けて送給される除去液の流量および温度が流量計30cおよび温度計30dによってそれぞれ検出される。
【0061】
純水供給部64は、チャンバ65外に設けられたモータ78と、モータ78の回動によって回動するアーム79と、アーム79の先端に設けられ純水を下方に向けて吐出する純水ノズル81と、純水ノズル81に純水を供給する純水源82と、純水源82から純水ノズル81に向けて純水を送給するポンプ83とを備える。また、純水ノズル81と純水源82との間には管路が連通接続され、該管路には純水バルブ84が介挿されている。さらに、該管路の経路途中には流量計30eが介挿されている。流量計30eは、該管路を通過する純水の流量を検出する。
【0062】
なお、モータ78を昇降させることで純水ノズル81を昇降させる不図示の昇降手段が設けられている。また、このモータ78を駆動することによって、純水ノズル81は基板Wの回転中心の上方の吐出位置とカップ62外の待機位置との間で往復移動する。
【0063】
ポンプ83を作動させるとともに純水バルブ84を開放することにより、純水源82から純水ノズル81に向けて純水が送給され、純水ノズル81から純水が吐出される。そして、純水ノズル81に向けて送給される純水の流量が流量計30eによって検出される。
【0064】
以上のような構成により、除去処理ユニットSR1〜SR8は、基板Wを回転させつつ該基板Wに除去液を供給し、その後純水を供給して除去液を洗い流すことによって該基板Wに付着したポリマー等の反応生成物を除去することができる。
【0065】
図4は基板処理装置3の制御機構を説明する構成図である。図示のように、制御部CMはこの基板処理装置3の各部、すなわち、搬入搬出部ID、搬送ロボットTR1,TR2、除去処理ユニットSR1〜SR8と電気的に接続されており、それら各部の動作を制御する。特に制御部CMは搬送ロボットTR1およびTR2の制御ソフトウェア上、仮想的な主搬送制御MTおよび副搬送制御STに分かれている。主搬送制御MTは一台の仮想的な搬送ロボットである仮想搬送ロボットVRに対して順次指令を出すことによりそれを制御する。仮想搬送ロボットVRへの指令は実際には副搬送制御STに送られ、副搬送制御STは主搬送制御MTによる仮想搬送ロボットVRへの指令をもとに、搬送ロボットTR1およびTR2それぞれを個別に制御して、上記指令を実際に実行する。その際、副搬送制御STは搬送ロボットTR1およびTR2をどの時点においても同時に基板を保持、搬送しないような制御、すなわち、排他保持制御を行う。
【0066】
図5〜図21は基板処理装置3における基板の搬送手順を示す概念図であり、図22〜図26は基板搬送を中心とした基板処理のタイミングチャートである。
以下、これらの図を用いて、制御部CMによる基板処理の制御、とりわけ、基板搬送制御の詳細を説明する。なお、図5〜図21において、破線の基板Wは受け渡し台39,IFに一時的に載置された搬送経過を表し、実線の基板Wが各図の搬送サイクル実行直後の基板の配置を表す。また、図22〜図26においては、実線矢印が実際の基板搬送を表している。また、図22〜図26および以下の説明において、基板W1〜基板W17の各除去処理ユニットへの搬入、およびそれに伴う各除去処理ユニットからの処理済み基板Wの搬出の期間をそれぞれ第1〜第17サイクルと称する。
【0067】
図5および図22に示すように、第1サイクルにおいて、搬入搬出部IDに基板W1が搬入されると、主搬送制御MTから基板W1を除去処理ユニットSR1に搬送すべき旨の指令が仮想搬送ロボットVR(副搬送制御ST)に送られる。
副搬送制御STでは搬送ロボットTR1を制御して搬入搬出部IDに基板W1を取りに行き、除去処理ユニットSR1に搬送させる。なお、この時点ではまだ除去処理ユニットSR1には処理済みの基板は収納されていないので、主搬送制御MTによる処理済み基板の搬出指令は行われず、それに応じた搬送ロボットTR1による処理済み基板の除去処理ユニットSR1からの取り出しおよび搬入搬出部IDへの搬送は行われない。以下、第2〜第8サイクルにおいても同様の理由により、処理済み基板の搬出指令、搬出動作および搬送動作は行われない。
【0068】
除去処理ユニットSR1に基板W1が収納されると、制御部CMは除去処理ユニットSR1を制御して基板W1に対する除去処理を開始する。
【0069】
次に、図6〜図8および図24に示すように、第2〜第4サイクルにおいて、搬入搬出部IDに基板W2〜基板W4が搬入されると、それぞれ第1サイクルと同様に主搬送制御MTからその搬入された未処理基板(以下、そのサイクルにおける処理開始対象の未処理基板を「対象基板」という)を対応する除去処理ユニットに搬送すべき旨の指令が仮想搬送ロボットVR(副搬送制御ST)に送られる。ここで「対応する除去処理ユニット」とは、基板W2、基板W3、基板W4に対してそれぞれ除去処理ユニットSR2,SR3,SR4である。すると副搬送制御STは搬送ロボットTR1を制御して、対象基板を搬入搬出部IDから対応する除去処理ユニットに搬送させる。
【0070】
対象基板が対応する除去処理ユニットに収納されると、制御部CMはその除去処理ユニットを制御して対象基板に対する除去処理を開始する。
【0071】
図9および図23に示すように、第5サイクルにおいて、搬入搬出部IDに基板W5が搬入されると、主搬送制御MTから基板W5を除去処理ユニットSR5に搬送すべき旨の指令が仮想搬送ロボットVR(副搬送制御ST)に送られる。すると副搬送制御STは搬送ロボットTR1を制御して、基板W5を搬入搬出部IDから受け渡し台IFに搬送させる。次に、副搬送制御STは搬送ロボットTR2を制御して、基板W5を受け渡し台IFから除去処理ユニットSR5に搬送させる。
【0072】
除去処理ユニットSR5に基板W5が収納されると、制御部CMは除去処理ユニットSR5を制御して基板W5に対する除去処理を開始する。
【0073】
図10および図23に示すように、第6サイクルにおいて、搬入搬出部IDに基板W6が搬入されると、主搬送制御MTから基板W6を除去処理ユニットSR6に搬送すべき旨の指令が仮想搬送ロボットVR(副搬送制御ST)に送られる。すると副搬送制御STは搬送ロボットTR1を制御して、基板W6を搬入搬出部IDから受け渡し台IFに搬送させる。次に、副搬送制御STは搬送ロボットTR2を制御して、基板W6を受け渡し台IFから除去処理ユニットSR6に搬送させる。
【0074】
除去処理ユニットSR6に基板W6が収納されると、制御部CMは除去処理ユニットSR6を制御して基板W6に対する除去処理を開始する。
【0075】
図11および図24に示すように、第7サイクルにおいて、搬入搬出部IDに基板W7が搬入されると、主搬送制御MTから基板W7を除去処理ユニットSR7に搬送すべき旨の指令が仮想搬送ロボットVR(副搬送制御ST)に送られる。すると副搬送制御STは搬送ロボットTR1を制御して、基板W7を搬入搬出部IDから受け渡し台IFに搬送させる。次に、副搬送制御STは搬送ロボットTR2を制御して、基板W7を受け渡し台IFから除去処理ユニットSR7に搬送させる。
【0076】
除去処理ユニットSR7に基板W7が収納されると、制御部CMは除去処理ユニットSR7を制御して基板W7に対する除去処理を開始する。
【0077】
図12および図24に示すように、第8サイクルにおいて、搬入搬出部IDに基板W8が搬入されると、主搬送制御MTから基板W8を除去処理ユニットSR8に搬送すべき旨の指令が仮想搬送ロボットVR(副搬送制御ST)に送られる。すると副搬送制御STは搬送ロボットTR1を制御して、基板W8を搬入搬出部IDから受け渡し台IFに搬送させる。次に、副搬送制御STは搬送ロボットTR2を制御して、基板W8を受け渡し台IFから除去処理ユニットSR8に搬送させる。
【0078】
除去処理ユニットSR8に基板W8が収納されると、制御部CMは除去処理ユニットSR8を制御して基板W8に対する除去処理を開始する。
【0079】
図13および図24に示すように、第9サイクルにおいて、搬入搬出部IDに基板W9が搬入されるタイミングでは、本実施例の並行処理では基板W1の除去処理が終了しているようになっている。そのため、搬入搬出部IDに基板W9が搬入されると、主搬送制御MTから、基板W9を搬入搬出部IDから除去処理ユニットSR1に搬送し、基板W9を除去処理ユニットSR1内の処理済みの基板W1と交換し、基板W1を搬入搬出部IDに搬送すべき旨の指令が仮想搬送ロボットVR(副搬送制御ST)に送られる。
【0080】
すると副搬送制御STは搬送ロボットTR1を制御して、搬入搬出部IDの受け渡し台39に載置されている基板W9を除去処理ユニットSR1に搬送させ、除去処理ユニットSR1で基板W9と処理済みの基板W1とを交換させ、基板W1を除去処理ユニットSR1から搬入搬出部IDの受け渡し台39に搬送させる。
【0081】
除去処理ユニットSR1に基板W9が収納されると、制御部CMは除去処理ユニットSR1を制御して基板W9に対する除去処理を開始する。
【0082】
図14〜図16および図24、図25に示すように、第10〜第12サイクルにおいて、搬入搬出部IDに基板W10〜基板W12が搬入されると、それぞれ第9サイクルと同様に、主搬送制御MTから、その搬入された未処理基板(対象基板)を、搬入搬出部IDから処理を受ける対象となる除去処理ユニット(以下「対象除去処理ユニット」という)に搬送し、対象基板を対象除去処理ユニット内の処理済み基板Wと交換し、処理済み基板Wを搬入搬出部IDに搬送すべき旨の指令が仮想搬送ロボットVR(副搬送制御ST)に送られる。ここで「対象除去処理ユニット」とは、具体的には基板W10、基板W11および基板W12に対してそれぞれ除去処理ユニットSR2,SR3およびSR4である。
【0083】
すると副搬送制御STは搬送ロボットTR1を制御して、処理済み基板Wを対象除去処理ユニットから搬入搬出部IDに搬送させ、代わりに、搬入搬出部IDの対象基板を対象除去処理ユニットに搬送させる。
【0084】
搬入搬出部IDの受け渡し台39に載置されている対象基板Wを対象除去処理ユニットに搬送させ、対象除去処理ユニットで対象基板Wと処理済み基板Wとを交換させ、処理済み基板Wを対象除去処理ユニットから搬入搬出部IDの受け渡し台39に搬送させる。
【0085】
対象除去処理ユニットに対象基板が収納されると、制御部CMは対象除去処理ユニットを制御して対象基板に対する除去処理を開始する。
【0086】
図17および図25に示すように、第13サイクルにおいて、搬入搬出部IDに第13基板W13が搬入されると、主搬送制御MTからの、基板W13を搬入搬出部IDから除去処理ユニットSR5に搬送し、基板W13を除去処理ユニットSR5内の処理済みの基板W5と交換し、基板W5を搬入搬出部IDに搬送すべき旨の指令が仮想搬送ロボットVR(副搬送制御ST)に送られる。
【0087】
すると副搬送制御STは、搬送ロボットTR1を制御して搬入搬出部IDの受け渡し台39に載置されている基板W13を受け渡し台IFに搬送させた後、搬送ロボットTR2を制御して受け渡し台IFから除去処理ユニットSR5に基板W13を搬送させ、除去処理ユニットSR5で基板W13と処理済みの基板W5とを交換させ、基板W5を除去処理ユニットSR5から受け渡し台IFに搬送させ、さらにその後、搬送ロボットTR1を制御して受け渡し台IFから搬入搬出部IDの受け渡し台39に基板W5を搬送させる。
【0088】
除去処理ユニットSR5に基板W13が収納されると、制御部CMは除去処理ユニットSR5を制御して基板W13に対する除去処理を開始する。
【0089】
図18および図25に示すように、第14サイクルにおいて、搬入搬出部IDに基板W14が搬入されると、主搬送制御MTからの、基板W14を搬入搬出部IDから除去処理ユニットSR6に搬送し、基板W14を除去処理ユニットSR6内の処理済みの基板W6と交換し、基板W6を搬入搬出部IDに搬送すべき旨の指令が仮想搬送ロボットVR(副搬送制御ST)に送られる。
【0090】
すると副搬送制御STは、搬送ロボットTR1を制御して搬入搬出部IDの受け渡し台39に載置されている基板W14を受け渡し台IFに搬送させた後、搬送ロボットTR2を制御して受け渡し台IFから除去処理ユニットSR6に基板W14を搬送させ、除去処理ユニットSR6で基板W14と処理済みの基板W6とを交換させ、基板W6を除去処理ユニットSR6から受け渡し台IFに搬送させ、さらにその後、搬送ロボットTR1を制御して受け渡し台IFから搬入搬出部IDの受け渡し台39に基板W6を搬送させる。
【0091】
除去処理ユニットSR6に基板W14が収納されると、制御部CMは除去処理ユニットSR6を制御して基板W14に対する除去処理を開始する。
【0092】
図19および図25に示すように、第15サイクルにおいて、搬入搬出部IDに基板W15が搬入されると、主搬送制御MTからの、基板W15を搬入搬出部IDから除去処理ユニットSR7に搬送し、基板W15を除去処理ユニットSR7内の処理済みの基板W7と交換し、基板W7を搬入搬出部IDに搬送すべき旨の指令が仮想搬送ロボットVR(副搬送制御ST)に送られる。
【0093】
すると副搬送制御STは、搬送ロボットTR1を制御して搬入搬出部IDの受け渡し台39に載置されている基板W15を受け渡し台IFに搬送させた後、搬送ロボットTR2を制御して受け渡し台IFから除去処理ユニットSR7に基板W15を搬送させ、除去処理ユニットSR7で基板W15と処理済みの基板W7とを交換させ、基板W7を除去処理ユニットSR7から受け渡し台IFに搬送させ、さらにその後、搬送ロボットTR1を制御して受け渡し台IFから搬入搬出部IDの受け渡し台39に基板W7を搬送させる。
【0094】
除去処理ユニットSR7に基板W15が収納されると、制御部CMは除去処理ユニットSR7を制御して基板W15に対する除去処理を開始する。
【0095】
図20および図26に示すように、第16サイクルにおいて、搬入搬出部IDに基板W16が搬入されると、主搬送制御MTからの、基板W16を搬入搬出部IDから除去処理ユニットSR8に搬送し、基板W16を除去処理ユニットSR8内の処理済みの基板W8と交換し、基板W8を搬入搬出部IDに搬送すべき旨の指令が仮想搬送ロボットVR(副搬送制御ST)に送られる。
【0096】
すると副搬送制御STは、搬送ロボットTR1を制御して搬入搬出部IDの受け渡し台39に載置されている基板W16を受け渡し台IFに搬送させた後、搬送ロボットTR2を制御して受け渡し台IFから除去処理ユニットSR8に基板W16を搬送させ、除去処理ユニットSR8で基板W16と処理済みの基板W8とを交換させ、基板W8を除去処理ユニットSR8から受け渡し台IFに搬送させ、さらにその後、搬送ロボットTR1を制御して受け渡し台IFから搬入搬出部IDの受け渡し台39に基板W8を搬送させる。
【0097】
除去処理ユニットSR8に基板W16が収納されると、制御部CMは除去処理ユニットSR8を制御して基板W16に対する除去処理を開始する。
【0098】
以下、図21および図26に示す第17サイクル以降、未処理基板が搬入搬出部IDに順次搬入されると、第9サイクル〜第16サイクルと同様の仮想搬送ロボットVRを通じた搬送ロボットTR1およびTR2の制御により除去処理ユニットSR1〜SR8の処理済みの基板と搬入搬出部IDに搬入された未処理基板(対象基板)とを交換し、除去処理を施す処理が順次繰り返される。
【0099】
以上のように、本実施例の基板処理装置3によれば、基板Wの搬送制御において、主搬送制御MTが一台の仮想搬送ロボットVRを制御することを通じて、副搬送制御STが搬送ロボットTR1およびTR2をどの時点においても同時に基板を保持、搬送しないような制御、すなわち、排他保持制御を行っている。(図22〜図26参照)これにより、基板搬送中に搬送ロボットTR1,TR2間の干渉がなくなり、搬送ロボットTR1,TR2を使用した複数の除去処理ユニットSR1〜SR8に対する搬送フローを自由に設定できる装置となっている。すなわち、装置製造の段階において、除去処理ブロックを増設して並行処理数を増やす場合にも、主搬送制御MTにおける新たな主搬送制御のルーチンは、仮想の1台の搬送ロボットへの指令を追加するだけでよく、副搬送制御STには仮想の搬送ロボットの動作に一対一対応した各搬送ロボットTR1,TR2の排他保持制御のルーチンを追加するだけでよいので、ブロック増設の際の搬送ロボットの制御ソフトウェアの作成が容易となる。そのため、複数の除去処理ユニットに対する複数の搬送ロボットTR1およびTR2による高い自由度の基板搬送を容易に実現することができる基板処理装置となっている。
【0100】
上記実施の形態の基板処理装置に係る基板Wの搬送制御において、1台の搬送ロボットが基板Wを保持している段階では、他の搬送ロボットは動作しないものとしたが、同時に基板Wを保持しなければ、基板保持のための準備動作、例えば、基板Wを保持していない搬送ロボットが搬送アームを次に受け取るべき位置の直前位置に移動させ、待機するといった制御を行うものとしてもよい。
【0101】
【発明の効果】
以上、説明したように、請求項1の発明によれば、複数の処理ブロックのうちのいずれかに設けられた搬送ロボットが基板を保持しているときには、他の処理ブロックに設けられた搬送ロボットによる基板保持を禁止するため、基板搬送中に異なる処理ブロックの搬送ロボット相互の干渉がなくなるため、複数の処理ブロックのそれぞれに設けられた搬送ロボットを使用した複数の処理ユニットに対する搬送フローを自由に設定することができ、高い自由度の基板搬送を容易に実現することができる。
【0102】
また、請求項2の発明によれば、複数の処理ブロック、インデクサ部およびインターフェイス部によって構成される基板搬送可能領域の全体において同時に2枚以上の基板を搬送することを禁止するため、請求項1と同様の効果を奏する。
【0103】
また、請求項3の発明によれば、複数の処理ブロックの全てを1つの仮想処理ブロックとみなすとともに、複数の処理ブロックのそれぞれに設けられた搬送ロボットの全てを仮想的に1つの搬送ロボットとみなした仮想搬送ロボットを設定し、当該仮想搬送ロボットが仮想処理ブロックに対して搬送動作を行うように複数の処理ブロックのそれぞれに設けられた搬送ロボットを制御するため、請求項1および請求項2のような搬送制御が容易に実現できる。
【0104】
また、請求項4の発明によれば、第1処理ブロックにおける第1搬送ロボットおよび第2処理ブロックにおける第2搬送ロボットのうち一方が基板を保持しているときには、他方による基板保持を禁止するため、第1および第2搬送ロボットを使用した複数の処理ユニットに対する搬送フローを自由に設定することができ、高い自由度の基板搬送を容易に実現することができる。
【0105】
また、請求項5の発明によれば、第1および第2処理ブロック、インデクサ部並びにインターフェイス部によって構成される基板搬送可能領域の全体において同時に2枚以上の基板を搬送することを禁止するように第1および第2搬送ロボットを制御するため、請求項4と同様の効果を奏する。
【0106】
また、請求項6の発明によれば、第1および第2処理ブロックを1つの仮想処理ブロックとみなすとともに、第1および第2搬送ロボットを仮想的に1つの搬送ロボットとみなした仮想搬送ロボットを設定し、当該仮想搬送ロボットが仮想処理ブロックにおいて搬送動作を行うように第1および第2搬送ロボットを制御するため、請求項4および請求項5のような搬送制御が容易に実現できる。
【0107】
また、請求項7の発明によれば、複数の搬送ロボットのうちのいずれかが基板を保持しているときには、他の搬送ロボットによる基板保持を禁止することにより、基板搬送中に搬送ロボット相互の干渉がなくなるため、複数の搬送ロボットを使用した複数の処理ユニットに対する搬送フローを自由に設定することができ、高い自由度の基板搬送を容易に実現することができる。
【0108】
また、請求項8の発明によれば、複数の搬送ロボットが同時に2枚以上の基板を搬送することを禁止するため、請求項7と同様の効果を奏する。
【0109】
また、請求項9の発明によれば、複数の搬送ロボットの全てを仮想的に1つの搬送ロボットとみなした仮想搬送ロボットを設定し、当該仮想搬送ロボットが複数の処理ユニットに対して搬送動作を行うように複数の搬送ロボットのそれぞれを制御するため、請求項7および請求項8のような搬送制御が容易に実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理に基づく一実施の形態に係る基板処理装置1の装置構成図である。
【図2】基板処理装置の平面図である。
【図3】除去処理ユニットの構成を示す図である。
【図4】基板処理装置の制御機構を説明する構成図である。
【図5】基板処理装置における基板の搬送手順を示す概念図である。
【図6】基板処理装置における基板の搬送手順を示す概念図である。
【図7】基板処理装置における基板の搬送手順を示す概念図である。
【図8】基板処理装置における基板の搬送手順を示す概念図である。
【図9】基板処理装置における基板の搬送手順を示す概念図である。
【図10】基板処理装置における基板の搬送手順を示す概念図である。
【図11】基板処理装置における基板の搬送手順を示す概念図である。
【図12】基板処理装置における基板の搬送手順を示す概念図である。
【図13】基板処理装置における基板の搬送手順を示す概念図である。
【図14】基板処理装置における基板の搬送手順を示す概念図である。
【図15】基板処理装置における基板の搬送手順を示す概念図である。
【図16】基板処理装置における基板の搬送手順を示す概念図である。
【図17】基板処理装置における基板の搬送手順を示す概念図である。
【図18】基板処理装置における基板の搬送手順を示す概念図である。
【図19】基板処理装置における基板の搬送手順を示す概念図である。
【図20】基板処理装置における基板の搬送手順を示す概念図である。
【図21】基板処理装置における基板の搬送手順を示す概念図である。
【図22】基板搬送を中心とした基板処理のタイミングチャートである。
【図23】基板搬送を中心とした基板処理のタイミングチャートである。
【図24】基板搬送を中心とした基板処理のタイミングチャートである。
【図25】基板搬送を中心とした基板処理のタイミングチャートである。
【図26】基板搬送を中心とした基板処理のタイミングチャートである。
【符号の説明】
1,3 基板処理装置
CM 制御部
ID 搬入搬出部(インデクサ部)
IF,IF1,IF2 受け渡し台(インターフェイス部)
MT 主搬送制御
PM1,PM2,PM3 各処理ブロック(処理ブロック)
PU1〜PU12 処理ユニット
RM1,RM2 除去処理ブロック(処理ブロック)
SR1〜SR8 除去処理ユニット
ST 副搬送制御
TR1,TR2,TR3 搬送ロボット
VR 仮想搬送ロボット
W,W1〜W17 基板
Claims (9)
- 基板に処理を行う複数の処理ユニットおよびそれら複数の処理ユニットに対して基板の受け渡しを行う搬送ロボットをそれぞれが有する複数の処理ブロックと、前記複数の処理ブロックに対して未処理の基板を払い出すとともに前記複数の処理ブロックから処理済基板を受け取るインデクサ部と、前記複数の処理ブロックのうちの隣り合う2つの処理ブロックの間で基板の授受を行うインターフェイス部と、を備える基板処理装置であって、
前記複数の処理ブロックのうちのいずれかに設けられた搬送ロボットが基板を保持しているときには、他の処理ブロックに設けられた搬送ロボットによる基板保持を禁止するように、前記複数の処理ブロックのそれぞれに設けられた搬送ロボットを制御する搬送制御手段を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を行う複数の処理ユニットおよびそれら複数の処理ユニットに対して基板の受け渡しを行う搬送ロボットをそれぞれが有する複数の処理ブロックと、前記複数の処理ブロックに対して未処理の基板を払い出すとともに前記複数の処理ブロックから処理済基板を受け取るインデクサ部と、前記複数の処理ブロックのうちの隣り合う2つの処理ブロックの間で基板の授受を行うインターフェイス部と、を備える基板処理装置であって、
前記複数の処理ブロック、前記インデクサ部および前記インターフェイス部によって構成される基板搬送可能領域の全体において同時に2枚以上の基板を搬送することを禁止するように前記複数の処理ブロックのそれぞれに設けられた搬送ロボットを制御する搬送制御手段を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を行う複数の処理ユニットおよびそれら複数の処理ユニットに対して基板の受け渡しを行う搬送ロボットをそれぞれが有する複数の処理ブロックと、前記複数の処理ブロックに対して未処理の基板を払い出すとともに前記複数の処理ブロックから処理済基板を受け取るインデクサ部と、前記複数の処理ブロックのうちの隣り合う2つの処理ブロックの間で基板の授受を行うインターフェイス部と、を備える基板処理装置であって、
前記複数の処理ブロックのそれぞれに設けられた搬送ロボットを制御する搬送制御手段を備え、
前記搬送制御手段は、前記複数の処理ブロックの全てを1つの仮想処理ブロックとみなすとともに、前記複数の処理ブロックのそれぞれに設けられた搬送ロボットの全てを仮想的に1つの搬送ロボットとみなした仮想搬送ロボットを設定し、当該仮想搬送ロボットが前記仮想処理ブロックに対して搬送動作を行うように前記複数の処理ブロックのそれぞれに設けられた搬送ロボットを制御することを特徴とする基板処理装置。 - それぞれが基板に同一内容の特定処理を行う複数の処理ユニットおよびそれら複数の処理ユニットに対して基板の受け渡しを行う第1搬送ロボットを有する第1処理ブロックと、それぞれが前記特定処理を行う複数の処理ユニットおよびそれら複数の処理ユニットに対して基板の受け渡しを行う第2搬送ロボットを有する第2処理ブロックと、前記第1および第2処理ブロックに対して未処理の基板を払い出すとともに前記第1および第2処理ブロックから処理済基板を受け取るインデクサ部と、前記第1および第2処理ブロックの間で基板の授受を行うインターフェイス部と、を備える基板処理装置であって、
前記第1および第2搬送ロボットのうち一方が基板を保持しているときには、他方による基板保持を禁止するように、前記第1および第2搬送ロボットを制御する搬送制御手段を備えることを特徴とする基板処理装置。 - それぞれが基板に同一内容の特定処理を行う複数の処理ユニットおよびそれら複数の処理ユニットに対して基板の受け渡しを行う第1搬送ロボットを有する第1処理ブロックと、それぞれが前記特定処理を行う複数の処理ユニットおよびそれら複数の処理ユニットに対して基板の受け渡しを行う第2搬送ロボットを有する第2処理ブロックと、前記第1および第2処理ブロックに対して未処理の基板を払い出すとともに前記第1および第2処理ブロックから処理済基板を受け取るインデクサ部と、前記第1および第2処理ブロックの間で基板の授受を行うインターフェイス部と、を備える基板処理装置であって、
前記第1および第2処理ブロック、前記インデクサ部並びに前記インターフェイス部によって構成される基板搬送可能領域の全体において同時に2枚以上の基板を搬送することを禁止するように前記第1および第2搬送ロボットを制御する搬送制御手段を備えることを特徴とする基板処理装置。 - それぞれが基板に同一内容の特定処理を行う複数の処理ユニットおよびそれら複数の処理ユニットに対して基板の受け渡しを行う第1搬送ロボットを有する第1処理ブロックと、それぞれが前記特定処理を行う複数の処理ユニットおよびそれら複数の処理ユニットに対して基板の受け渡しを行う第2搬送ロボットを有する第2処理ブロックと、前記第1および第2処理ブロックに対して未処理の基板を払い出すとともに前記第1および第2処理ブロックから処理済基板を受け取るインデクサ部と、前記第1および第2処理ブロックの間で基板の授受を行うインターフェイス部と、を備える基板処理装置であって、
前記第1および第2搬送ロボットを制御する搬送制御手段を備え、
前記搬送制御手段は、前記第1および第2処理ブロックを1つの仮想処理ブロックとみなすとともに、前記第1および第2搬送ロボットを仮想的に1つの搬送ロボットとみなした仮想搬送ロボットを設定し、当該仮想搬送ロボットが前記仮想処理ブロックにおいて搬送動作を行うように前記第1および第2搬送ロボットを制御することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を行う複数の処理ユニットと、それら複数の処理ユニットに対して基板を搬送する複数の搬送ロボットとを備える基板処理装置であって、
前記複数の搬送ロボットのうちのいずれかが基板を保持しているときには、他の搬送ロボットによる基板保持を禁止するように、前記複数の搬送ロボットを制御する搬送制御手段を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を行う複数の処理ユニットと、それら複数の処理ユニットに対して基板を搬送する複数の搬送ロボットとを備える基板処理装置であって、
前記複数の搬送ロボットが同時に2枚以上の基板を搬送することを禁止するように前記複数の搬送ロボットを制御する搬送制御手段を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理を行う複数の処理ユニットと、それら複数の処理ユニットに対して基板を搬送する複数の搬送ロボットとを備える基板処理装置であって、
前記複数の搬送ロボットを制御する搬送制御手段を備え、
前記搬送制御手段は、前記複数の搬送ロボットの全てを仮想的に1つの搬送ロボットとみなした仮想搬送ロボットを設定し、当該仮想搬送ロボットが前記複数の処理ユニットに対して搬送動作を行うように前記複数の搬送ロボットのそれぞれを制御することを特徴とする基板処理装置。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2003009958A JP2004221488A (ja) | 2003-01-17 | 2003-01-17 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2006287178A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-10-19 | Tokyo Electron Ltd | 塗布、現像装置 |
CN110880461A (zh) * | 2018-09-06 | 2020-03-13 | 细美事有限公司 | 基板处理装置 |
CN112234011A (zh) * | 2020-09-03 | 2021-01-15 | 北京烁科精微电子装备有限公司 | 位置检测装置及位置检测方法 |
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2003
- 2003-01-17 JP JP2003009958A patent/JP2004221488A/ja active Pending
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JP4685584B2 (ja) * | 2005-03-11 | 2011-05-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布、現像装置 |
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