JP2004214689A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ユニット配置部10は、最下部に、ケミカルキャビネット11を備え、この上側であって装置の4隅には、液処理ユニットとして、基板にレジスト被膜を形成する塗布処理ユニットSC1、SC2と、露光後の基板に現像処理を行う現像処理ユニットSD1、SD2とが配置されており、中央には鉛直軸回りに回転可能な基板搬送手段TR1が配置されている。さらに、これらの液処理ユニットの上側には、基板に熱処理を行う多段熱処理ユニット20が装置の前部及び後部に配置されている。なお、装置の前側であって塗布処理ユニットSC1、SC2の間には、基板処理ユニットとして、基板に純水等の洗浄液を供給して基板を洗浄する洗浄処理ユニットSSが配置されている。
【選択図】図1
Description
20 多段熱処理ユニット
45 Z軸駆動機構
70 伸縮駆動機構
91a、92a プレート
96 第1搬送アーム
97 第2搬送アーム
TR1 搬送ロボット
TR2 移載ロボット
SC1、SC2 塗布処理ユニット
SD1、SD2 現像処理ユニット
SS 洗浄処理ユニット
TU1〜TU8 熱処理ユニット
CP0 クールプレート部
HP0 ホットプレート部
ID インデクサ
IF インターフェス
Claims (5)
- 略四角形の底面領域を有するユニット配置部の4隅の位置にそれぞれ所定の処理液による処理を行う複数の液処理ユニットを配置するとともに、前記ユニット配置部の中心位置に鉛直軸回りに回転可能な基板搬送手段を配置し、前記複数の液処理ユニット間の少なくとも1つ以上の位置に基板に対して所定の処理を行う基板処理ユニットを配置したことを特徴とする基板処理装置。
- 前記基板処理ユニットが、前記基板に被膜を形成するための塗布処理ユニットであることを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
- 前記複数の液処理ユニットが、前記基板に被膜を形成するための塗布処理ユニットと基板に現像処理を行う現像処理ユニットとの少なくともいずれかを含み、前記基板処理ユニットが、洗浄液を供給して基板を洗浄する洗浄処理ユニットであることを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
- 前記複数の液処理ユニットが、基板の裏面に洗浄液を供給して基板裏面を洗浄する裏面洗浄用の洗浄処理ユニットを含み、前記基板処理ユニットが、基板の表面と裏面とを反転させる基板反転ユニットであることを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
- 前記複数の液処理ユニットの上方に、前記基板に熱処理を行う熱処理ユニットを配置したことを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の基板処理装置。
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