JP2004177202A - 搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】トレイとテストヘッドの構成を簡略化し、消耗部品を排除した搬送装置を実現する。
【解決手段】検査対象デバイスをトレイに収納し、このトレイをソケットがある位置まで搬送し、検査対象デバイスをソケットと接続される位置に位置決めする搬送装置において、トレイとソケットにアライメントマークをそれぞれ付け、これらのアライメントマークの位置を撮像手段で画像認識することによって非接触でトレイとテストヘッド間の位置決めを行う。
【選択図】 図１
【解決手段】検査対象デバイスをトレイに収納し、このトレイをソケットがある位置まで搬送し、検査対象デバイスをソケットと接続される位置に位置決めする搬送装置において、トレイとソケットにアライメントマークをそれぞれ付け、これらのアライメントマークの位置を撮像手段で画像認識することによって非接触でトレイとテストヘッド間の位置決めを行う。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、検査対象デバイスをトレイに収納し、このトレイをソケットがある位置まで搬送し、検査対象デバイスをソケットと接続される位置に位置決めする搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図３は従来における搬送装置の構成例を示した図である。
図３で、トレイ１０にはデバイスポケット１１がマトリクス状に配列されている。デバイスポケット１１に検査対象デバイス１２が収納される。
トレイ１０は検査対象デバイス１２をテストヘッドへ搬送するための専用トレイである。トレイ１０の四隅にはピン１３が立てられている。未検査デバイスを収納するトレイ（図示せず）から搬送ロボットで取り出された検査対象デバイス１１はトレイ１０に収納される。
【０００３】
デバイスポケット１１と検査対象デバイス１２の構成をＡ部分に示す。検査対象デバイス１２はデバイスポケット１１に収納されている。デバイスポケット１１の四隅にはピン１４が立てられている。
テストヘッド２０上にはソケットボード２１が取り付けられている。ソケットボード２１にはソケット２２がマトリクス状に配列されている。ソケットボード２１の四隅にはブッシュ２３が形成されている。
【０００４】
ソケット２２の構成をＢ部分に示す。ソケット２２にはコンタクト電極２４が配列されている。ソケット２２の四隅にはブッシュ２５が形成されている。
【０００５】
図４は図３の装置の縦方向の断面図である。
図４に示すように、トレイ１０にはデバイスポケット１１が設けられていて、デバイスポケット１１には検査対象デバイス１２が収納されている。各デバイスポケット１１にはピン１４が設けられている。
ソケットボード２１上にはソケット２２が配列されている。トレイ１０がソケットボード２１上に載せられると、検査対象デバイス１２の接続ピン１２１はソケット２２のコンタクト電極２４と接続される。これによって、検査対象デバイス１２はテストヘッド２０と接続される。検査対象デバイス１２を保持する機構（図示せず）が設けられていることにより、検査対象デバイス１２がソケット２２と接続されるときに浮き上がることが防止される。
【０００６】
トレイ１０のピン１３がソケットボード２１のブッシュ２３に挿入されることによりラフな位置決めが行われ、デバイスポケット１１のピン１４がソケット２２のブッシュ２５に挿入されることにより精密な位置決めが行われる。
【０００７】
【特許文献１】
特開平７−２９７２４１号公報
【０００８】
【特許文献２】
特開平８−３３５６１２号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、図３及び図４に示す従来例では、トレイとテストヘッド間でのデバイスの位置決めをピンとブッシュを用いて機械的に行っているため、次の問題点があった。
（ａ）トレイの構成が複雑になる。
（ｂ）テストヘッド側にも位置決めするためのブッシュが必要になる。
（ｃ）位置決め用部品の消耗が生じる。
【００１０】
本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであり、撮像手段を用いて非接触でトレイとテストヘッド間の位置決めを行うことによって、トレイとテストヘッドの構成を簡略化し、消耗部品を排除した搬送装置を実現することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は次のとおりの構成になった搬送装置である。
【００１２】
（１）検査対象デバイスをトレイに収納し、このトレイをソケットがある位置まで搬送し、検査対象デバイスをソケットと接続される位置に位置決めする搬送装置において、
前記トレイに付けられた第１のアライメントマークと、
前記ソケットに付けられた第２のアライメントマークと、
前記第１のアライメントマークの位置を画像認識する第１の撮像手段と、
前記第１の撮像手段に対して既知の位置関係にあり、第２のアライメントマークの位置を画像認識する第２の撮像手段と、
前記第１及び第２の撮像手段でそれぞれ認識したアライメントマークの位置をもとに検査対象デバイスとソケットの位置関係を求め、求めた位置関係に基づいて検査対象デバイスをソケットに接続される位置に位置決めする位置決め手段と、
を備えたことを特徴とする搬送装置。
【００１３】
（２）前記第１のアライメントマークはトレイの少なくとも二隅に付けられていることを特徴とする（１）に記載の搬送装置。
【００１４】
（３）前記第２のアライメントマークはソケットの両端に付けられていることを特徴とする（１）または（２）に記載の搬送装置。
【００１５】
（４）前記トレイには検査対象デバイスを収納する凹形状のデバイスポケットが形成されていることを特徴とする（１）乃至（３）のいずれかに記載の搬送装置。
【００１６】
（５）前記デバイスポケットはマトリクス状に配列されていることを特徴とする（４）に記載の搬送装置。
【００１７】
（６）前記第１の撮像手段には前記第１のアライメントマークとデバイスポケットの位置関係を示す情報が与えられていることを特徴とする（５）に記載の搬送装置。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明を詳しく説明する。
図１は本発明の一実施例を示す構成図である。図１で前出の図と同一のものは同一符号を付ける。
図１で、トレイ３０にはデバイスポケット３１がマトリクス状に配列されている。デバイスポケット３１に検査対象デバイス１２が収納される。トレイ３０は図３のトレイ１０と同様に検査対象デバイス１２をテストヘッドへ搬送するための専用トレイである。トレイ３０の四隅にはアライメントマーク３２が付けられている。なお、アライメントマーク３２はトレイ３０の少なくとも二隅に付けられていればよい。
デバイスポケット３１の構成をＣ部分に示す。デバイスポケット３１は凹形状に形成されていて、この部分に検査対象デバイス１２が収納される。
【００１９】
テストヘッド２０にはソケットボード４０が取り付けられている。ソケットボード４０にはソケット４１がマトリクス状に配列されている。ソケット４１の構成をＤ部分に示す。ソケット４１にはコンタクト電極４２が配列されている。ソケット４１の両端にはアライメントマーク４３が付けられている。
【００２０】
撮像手段５０はアライメントマーク３２の位置を画像認識する。撮像手段５１は撮像手段５０に対して既知の位置関係にあり、アライメントマーク４３の位置を画像認識する。撮像手段５０、５１は例えばＣＣＤカメラと光学系により構成される。
位置決め手段５２は、撮像手段５０、５１でそれぞれ認識したアライメントマークの位置をもとに検査対象デバイス１２とソケット４１の位置関係を求め、求めた位置関係に基づいて検査対象デバイス１２をソケット４１に接続される位置に位置決めする。
【００２１】
図２は図１の装置の縦方向の断面図である。
図２に示すように、トレイ３０にはデバイスポケット３１が設けられていて、デバイスポケット３１には検査対象デバイス１２が収納されている。
ソケットボード４０上にはソケット４１が配列されている。ソケットボード４０がトレイ３０上に載せられると、検査対象デバイス１２の接続ピン１２１はソケット４１のコンタクト電極４２と接続される。これによって、検査対象デバイス１２はテストヘッド２０と接続される。検査対象デバイス１２をデバイスポケット３１内に保持する機構がないため、実施例ではテストヘッド２０は上側に、トレイ３０は下側に配置した構成になっている。
【００２２】
図１及び図２に示す搬送装置で、トレイ３０の位置を検出するために撮像手段５０を設け、ソケット４１の位置を検出するために撮像手段５１を設けている。撮像手段５０と５１の位置関係は既知である。トレイ３０に収納される検査対象デバイス１２は、トレイ３０との位置関係はデバイスポケット３１への落とし込みにて確定される。撮像手段５１にはアライメントマーク３２とデバイスポケット３１の位置関係を示す情報が与えられている。マトリクス状に配列されたデバイスポケット３１のそれぞれについて位置関係を示す情報が与えられている。
【００２３】
撮像手段５０はアライメントマーク３２を画像認識することにより、トレイ３０の２次元位置（Ｘ、Ｙ方向位置）とθ軸まわり（θ軸はＸ軸とＹ軸に直交する軸）の回転ずれを算出する。撮像手段５１はアライメントマーク４３を画像認識することにより、各ソケット４１の２次元位置（Ｘ、Ｙ方向位置）とθ軸まわりの回転ずれを算出する。撮像手段５０と５１の位置関係は既知であることから、トレイ３０とソケット４１の位置関係が求められる。求めた位置関係から、検査対象デバイス１２とソケット４１の位置決めを行なう。これによって、検査対象デバイス１２をソケット４１に接続できる。
【００２４】
【発明の効果】
本発明によれば次の効果が得られる。
【００２５】
請求項１及び請求項４に記載の発明では、トレイとソケットにアライメントマークをそれぞれ付け、これらのアライメントマークの位置を撮像手段で画像認識することによって非接触でトレイとテストヘッド間の位置決めを行なっている。これによって、次の効果が得られる。
（ａ）トレイは位置決め用ピンが不要であるため、構成を簡略化できる。
（ｂ）テストヘッド側も位置決め用ブッシュが不要になるため、構成が簡単になる。
（ｃ）非接触により位置決めしているため、部品の消耗が発生しない。また、部品劣化による位置ずれも生じない。
【００２６】
請求項２記載の発明では、アライメントマークはトレイの少なくとも二隅に付けられているため、トレイの２次元位置だけでなく回転ずれも検出できる。
【００２７】
請求項３記載の発明では、アライメントマークはソケットの両端に付けられているため、ソケットの２次元位置だけでなく回転ずれも検出できる。
【００２８】
請求項５記載の発明では、デバイスポケットはトレイ上でマトリクス状に配列されている複数のデバイスを一度に搬送して検査することができる。
【００２９】
請求項６記載の発明では、第１の撮像手段には前記第１のアライメントマークとデバイスポケットの位置関係を示す情報が与えられているため、検査対象デバイスがどのデバイスポケットに収納されていてもソケットに対して位置決めできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図２】図１の装置の縦方向の断面図である。
【図３】従来における搬送装置の構成例を示した図である。
【図４】図３の装置の縦方向の断面図である。
【符号の説明】
１２ 検査対象デバイス
３０ トレイ
３１ デバイスポケット
３２，４３ アライメントマーク
４１ ソケット
５０，５１ 撮像手段
５２ 位置決め手段
【発明の属する技術分野】
本発明は、検査対象デバイスをトレイに収納し、このトレイをソケットがある位置まで搬送し、検査対象デバイスをソケットと接続される位置に位置決めする搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図３は従来における搬送装置の構成例を示した図である。
図３で、トレイ１０にはデバイスポケット１１がマトリクス状に配列されている。デバイスポケット１１に検査対象デバイス１２が収納される。
トレイ１０は検査対象デバイス１２をテストヘッドへ搬送するための専用トレイである。トレイ１０の四隅にはピン１３が立てられている。未検査デバイスを収納するトレイ（図示せず）から搬送ロボットで取り出された検査対象デバイス１１はトレイ１０に収納される。
【０００３】
デバイスポケット１１と検査対象デバイス１２の構成をＡ部分に示す。検査対象デバイス１２はデバイスポケット１１に収納されている。デバイスポケット１１の四隅にはピン１４が立てられている。
テストヘッド２０上にはソケットボード２１が取り付けられている。ソケットボード２１にはソケット２２がマトリクス状に配列されている。ソケットボード２１の四隅にはブッシュ２３が形成されている。
【０００４】
ソケット２２の構成をＢ部分に示す。ソケット２２にはコンタクト電極２４が配列されている。ソケット２２の四隅にはブッシュ２５が形成されている。
【０００５】
図４は図３の装置の縦方向の断面図である。
図４に示すように、トレイ１０にはデバイスポケット１１が設けられていて、デバイスポケット１１には検査対象デバイス１２が収納されている。各デバイスポケット１１にはピン１４が設けられている。
ソケットボード２１上にはソケット２２が配列されている。トレイ１０がソケットボード２１上に載せられると、検査対象デバイス１２の接続ピン１２１はソケット２２のコンタクト電極２４と接続される。これによって、検査対象デバイス１２はテストヘッド２０と接続される。検査対象デバイス１２を保持する機構（図示せず）が設けられていることにより、検査対象デバイス１２がソケット２２と接続されるときに浮き上がることが防止される。
【０００６】
トレイ１０のピン１３がソケットボード２１のブッシュ２３に挿入されることによりラフな位置決めが行われ、デバイスポケット１１のピン１４がソケット２２のブッシュ２５に挿入されることにより精密な位置決めが行われる。
【０００７】
【特許文献１】
特開平７−２９７２４１号公報
【０００８】
【特許文献２】
特開平８−３３５６１２号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、図３及び図４に示す従来例では、トレイとテストヘッド間でのデバイスの位置決めをピンとブッシュを用いて機械的に行っているため、次の問題点があった。
（ａ）トレイの構成が複雑になる。
（ｂ）テストヘッド側にも位置決めするためのブッシュが必要になる。
（ｃ）位置決め用部品の消耗が生じる。
【００１０】
本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであり、撮像手段を用いて非接触でトレイとテストヘッド間の位置決めを行うことによって、トレイとテストヘッドの構成を簡略化し、消耗部品を排除した搬送装置を実現することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は次のとおりの構成になった搬送装置である。
【００１２】
（１）検査対象デバイスをトレイに収納し、このトレイをソケットがある位置まで搬送し、検査対象デバイスをソケットと接続される位置に位置決めする搬送装置において、
前記トレイに付けられた第１のアライメントマークと、
前記ソケットに付けられた第２のアライメントマークと、
前記第１のアライメントマークの位置を画像認識する第１の撮像手段と、
前記第１の撮像手段に対して既知の位置関係にあり、第２のアライメントマークの位置を画像認識する第２の撮像手段と、
前記第１及び第２の撮像手段でそれぞれ認識したアライメントマークの位置をもとに検査対象デバイスとソケットの位置関係を求め、求めた位置関係に基づいて検査対象デバイスをソケットに接続される位置に位置決めする位置決め手段と、
を備えたことを特徴とする搬送装置。
【００１３】
（２）前記第１のアライメントマークはトレイの少なくとも二隅に付けられていることを特徴とする（１）に記載の搬送装置。
【００１４】
（３）前記第２のアライメントマークはソケットの両端に付けられていることを特徴とする（１）または（２）に記載の搬送装置。
【００１５】
（４）前記トレイには検査対象デバイスを収納する凹形状のデバイスポケットが形成されていることを特徴とする（１）乃至（３）のいずれかに記載の搬送装置。
【００１６】
（５）前記デバイスポケットはマトリクス状に配列されていることを特徴とする（４）に記載の搬送装置。
【００１７】
（６）前記第１の撮像手段には前記第１のアライメントマークとデバイスポケットの位置関係を示す情報が与えられていることを特徴とする（５）に記載の搬送装置。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明を詳しく説明する。
図１は本発明の一実施例を示す構成図である。図１で前出の図と同一のものは同一符号を付ける。
図１で、トレイ３０にはデバイスポケット３１がマトリクス状に配列されている。デバイスポケット３１に検査対象デバイス１２が収納される。トレイ３０は図３のトレイ１０と同様に検査対象デバイス１２をテストヘッドへ搬送するための専用トレイである。トレイ３０の四隅にはアライメントマーク３２が付けられている。なお、アライメントマーク３２はトレイ３０の少なくとも二隅に付けられていればよい。
デバイスポケット３１の構成をＣ部分に示す。デバイスポケット３１は凹形状に形成されていて、この部分に検査対象デバイス１２が収納される。
【００１９】
テストヘッド２０にはソケットボード４０が取り付けられている。ソケットボード４０にはソケット４１がマトリクス状に配列されている。ソケット４１の構成をＤ部分に示す。ソケット４１にはコンタクト電極４２が配列されている。ソケット４１の両端にはアライメントマーク４３が付けられている。
【００２０】
撮像手段５０はアライメントマーク３２の位置を画像認識する。撮像手段５１は撮像手段５０に対して既知の位置関係にあり、アライメントマーク４３の位置を画像認識する。撮像手段５０、５１は例えばＣＣＤカメラと光学系により構成される。
位置決め手段５２は、撮像手段５０、５１でそれぞれ認識したアライメントマークの位置をもとに検査対象デバイス１２とソケット４１の位置関係を求め、求めた位置関係に基づいて検査対象デバイス１２をソケット４１に接続される位置に位置決めする。
【００２１】
図２は図１の装置の縦方向の断面図である。
図２に示すように、トレイ３０にはデバイスポケット３１が設けられていて、デバイスポケット３１には検査対象デバイス１２が収納されている。
ソケットボード４０上にはソケット４１が配列されている。ソケットボード４０がトレイ３０上に載せられると、検査対象デバイス１２の接続ピン１２１はソケット４１のコンタクト電極４２と接続される。これによって、検査対象デバイス１２はテストヘッド２０と接続される。検査対象デバイス１２をデバイスポケット３１内に保持する機構がないため、実施例ではテストヘッド２０は上側に、トレイ３０は下側に配置した構成になっている。
【００２２】
図１及び図２に示す搬送装置で、トレイ３０の位置を検出するために撮像手段５０を設け、ソケット４１の位置を検出するために撮像手段５１を設けている。撮像手段５０と５１の位置関係は既知である。トレイ３０に収納される検査対象デバイス１２は、トレイ３０との位置関係はデバイスポケット３１への落とし込みにて確定される。撮像手段５１にはアライメントマーク３２とデバイスポケット３１の位置関係を示す情報が与えられている。マトリクス状に配列されたデバイスポケット３１のそれぞれについて位置関係を示す情報が与えられている。
【００２３】
撮像手段５０はアライメントマーク３２を画像認識することにより、トレイ３０の２次元位置（Ｘ、Ｙ方向位置）とθ軸まわり（θ軸はＸ軸とＹ軸に直交する軸）の回転ずれを算出する。撮像手段５１はアライメントマーク４３を画像認識することにより、各ソケット４１の２次元位置（Ｘ、Ｙ方向位置）とθ軸まわりの回転ずれを算出する。撮像手段５０と５１の位置関係は既知であることから、トレイ３０とソケット４１の位置関係が求められる。求めた位置関係から、検査対象デバイス１２とソケット４１の位置決めを行なう。これによって、検査対象デバイス１２をソケット４１に接続できる。
【００２４】
【発明の効果】
本発明によれば次の効果が得られる。
【００２５】
請求項１及び請求項４に記載の発明では、トレイとソケットにアライメントマークをそれぞれ付け、これらのアライメントマークの位置を撮像手段で画像認識することによって非接触でトレイとテストヘッド間の位置決めを行なっている。これによって、次の効果が得られる。
（ａ）トレイは位置決め用ピンが不要であるため、構成を簡略化できる。
（ｂ）テストヘッド側も位置決め用ブッシュが不要になるため、構成が簡単になる。
（ｃ）非接触により位置決めしているため、部品の消耗が発生しない。また、部品劣化による位置ずれも生じない。
【００２６】
請求項２記載の発明では、アライメントマークはトレイの少なくとも二隅に付けられているため、トレイの２次元位置だけでなく回転ずれも検出できる。
【００２７】
請求項３記載の発明では、アライメントマークはソケットの両端に付けられているため、ソケットの２次元位置だけでなく回転ずれも検出できる。
【００２８】
請求項５記載の発明では、デバイスポケットはトレイ上でマトリクス状に配列されている複数のデバイスを一度に搬送して検査することができる。
【００２９】
請求項６記載の発明では、第１の撮像手段には前記第１のアライメントマークとデバイスポケットの位置関係を示す情報が与えられているため、検査対象デバイスがどのデバイスポケットに収納されていてもソケットに対して位置決めできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図２】図１の装置の縦方向の断面図である。
【図３】従来における搬送装置の構成例を示した図である。
【図４】図３の装置の縦方向の断面図である。
【符号の説明】
１２ 検査対象デバイス
３０ トレイ
３１ デバイスポケット
３２，４３ アライメントマーク
４１ ソケット
５０，５１ 撮像手段
５２ 位置決め手段
Claims (6)
- 検査対象デバイスをトレイに収納し、このトレイをソケットがある位置まで搬送し、検査対象デバイスをソケットと接続される位置に位置決めする搬送装置において、
前記トレイに付けられた第１のアライメントマークと、
前記ソケットに付けられた第２のアライメントマークと、
前記第１のアライメントマークの位置を画像認識する第１の撮像手段と、
前記第１の撮像手段に対して既知の位置関係にあり、第２のアライメントマークの位置を画像認識する第２の撮像手段と、
前記第１及び第２の撮像手段でそれぞれ認識したアライメントマークの位置をもとに検査対象デバイスとソケットの位置関係を求め、求めた位置関係に基づいて検査対象デバイスをソケットに接続される位置に位置決めする位置決め手段と、
を備えたことを特徴とする搬送装置。 - 前記第１のアライメントマークはトレイの少なくとも二隅に付けられていることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
- 前記第２のアライメントマークはソケットの両端に付けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の搬送装置。
- 前記トレイには検査対象デバイスを収納する凹形状のデバイスポケットが形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の搬送装置。
- 前記デバイスポケットはマトリクス状に配列されていることを特徴とする請求項４に記載の搬送装置。
- 前記第１の撮像手段には前記第１のアライメントマークとデバイスポケットの位置関係を示す情報が与えられていることを特徴とする請求項５に記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002342045A JP2004177202A (ja) | 2002-11-26 | 2002-11-26 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002342045A JP2004177202A (ja) | 2002-11-26 | 2002-11-26 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004177202A true JP2004177202A (ja) | 2004-06-24 |
Family
ID=32704212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002342045A Pending JP2004177202A (ja) | 2002-11-26 | 2002-11-26 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2004177202A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008039666A (ja) * | 2006-08-09 | 2008-02-21 | Fujitsu Ltd | プローバ装置用搬送トレイ |
| WO2008050442A1 (fr) * | 2006-10-27 | 2008-05-02 | Advantest Corporation | Appareil de test de composants électroniques |
| KR100857603B1 (ko) * | 2007-03-29 | 2008-09-09 | 삼성전자주식회사 | 전자부품 검사 시스템 및 그 제어방법 |
| JP2010216944A (ja) * | 2009-03-16 | 2010-09-30 | Tesetsuku:Kk | ハンドラ |
| JP2022539304A (ja) * | 2019-11-29 | 2022-09-08 | エイエムティ カンパニー リミテッド | 微細ピッチを有するデバイスのテスト装置 |
-
2002
- 2002-11-26 JP JP2002342045A patent/JP2004177202A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008039666A (ja) * | 2006-08-09 | 2008-02-21 | Fujitsu Ltd | プローバ装置用搬送トレイ |
| US8022719B2 (en) | 2006-08-09 | 2011-09-20 | Fujitsu Semiconductor Limited | Carrier tray for use with prober |
| WO2008050442A1 (fr) * | 2006-10-27 | 2008-05-02 | Advantest Corporation | Appareil de test de composants électroniques |
| JP5243037B2 (ja) * | 2006-10-27 | 2013-07-24 | 株式会社アドバンテスト | 電子部品試験装置 |
| KR100857603B1 (ko) * | 2007-03-29 | 2008-09-09 | 삼성전자주식회사 | 전자부품 검사 시스템 및 그 제어방법 |
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| JP2022539304A (ja) * | 2019-11-29 | 2022-09-08 | エイエムティ カンパニー リミテッド | 微細ピッチを有するデバイスのテスト装置 |
| JP7315987B2 (ja) | 2019-11-29 | 2023-07-27 | エイエムティ カンパニー リミテッド | 微細ピッチを有するデバイスのテスト装置 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070412 |