JP2004177202A - 搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査対象デバイスをトレイに収納し、このトレイをソケットがある位置まで搬送し、検査対象デバイスをソケットと接続される位置に位置決めする搬送装置において、トレイとソケットにアライメントマークをそれぞれ付け、これらのアライメントマークの位置を撮像手段で画像認識することによって非接触でトレイとテストヘッド間の位置決めを行う。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、検査対象デバイスをトレイに収納し、このトレイをソケットがある位置まで搬送し、検査対象デバイスをソケットと接続される位置に位置決めする搬送装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図3は従来における搬送装置の構成例を示した図である。
図3で、トレイ10にはデバイスポケット11がマトリクス状に配列されている。デバイスポケット11に検査対象デバイス12が収納される。
トレイ10は検査対象デバイス12をテストヘッドへ搬送するための専用トレイである。トレイ10の四隅にはピン13が立てられている。未検査デバイスを収納するトレイ(図示せず)から搬送ロボットで取り出された検査対象デバイス11はトレイ10に収納される。
【0003】
デバイスポケット11と検査対象デバイス12の構成をA部分に示す。検査対象デバイス12はデバイスポケット11に収納されている。デバイスポケット11の四隅にはピン14が立てられている。
テストヘッド20上にはソケットボード21が取り付けられている。ソケットボード21にはソケット22がマトリクス状に配列されている。ソケットボード21の四隅にはブッシュ23が形成されている。
【0004】
ソケット22の構成をB部分に示す。ソケット22にはコンタクト電極24が配列されている。ソケット22の四隅にはブッシュ25が形成されている。
【0005】
図4は図3の装置の縦方向の断面図である。
図4に示すように、トレイ10にはデバイスポケット11が設けられていて、デバイスポケット11には検査対象デバイス12が収納されている。各デバイスポケット11にはピン14が設けられている。
ソケットボード21上にはソケット22が配列されている。トレイ10がソケットボード21上に載せられると、検査対象デバイス12の接続ピン121はソケット22のコンタクト電極24と接続される。これによって、検査対象デバイス12はテストヘッド20と接続される。検査対象デバイス12を保持する機構(図示せず)が設けられていることにより、検査対象デバイス12がソケット22と接続されるときに浮き上がることが防止される。
【0006】
トレイ10のピン13がソケットボード21のブッシュ23に挿入されることによりラフな位置決めが行われ、デバイスポケット11のピン14がソケット22のブッシュ25に挿入されることにより精密な位置決めが行われる。
【0007】
【特許文献1】
特開平7−297241号公報
【0008】
【特許文献2】
特開平8−335612号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、図3及び図4に示す従来例では、トレイとテストヘッド間でのデバイスの位置決めをピンとブッシュを用いて機械的に行っているため、次の問題点があった。
(a)トレイの構成が複雑になる。
(b)テストヘッド側にも位置決めするためのブッシュが必要になる。
(c)位置決め用部品の消耗が生じる。
【0010】
本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであり、撮像手段を用いて非接触でトレイとテストヘッド間の位置決めを行うことによって、トレイとテストヘッドの構成を簡略化し、消耗部品を排除した搬送装置を実現することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は次のとおりの構成になった搬送装置である。
【0012】
(1)検査対象デバイスをトレイに収納し、このトレイをソケットがある位置まで搬送し、検査対象デバイスをソケットと接続される位置に位置決めする搬送装置において、
前記トレイに付けられた第1のアライメントマークと、
前記ソケットに付けられた第2のアライメントマークと、
前記第1のアライメントマークの位置を画像認識する第1の撮像手段と、
前記第1の撮像手段に対して既知の位置関係にあり、第2のアライメントマークの位置を画像認識する第2の撮像手段と、
前記第1及び第2の撮像手段でそれぞれ認識したアライメントマークの位置をもとに検査対象デバイスとソケットの位置関係を求め、求めた位置関係に基づいて検査対象デバイスをソケットに接続される位置に位置決めする位置決め手段と、
を備えたことを特徴とする搬送装置。
【0013】
(2)前記第1のアライメントマークはトレイの少なくとも二隅に付けられていることを特徴とする(1)に記載の搬送装置。
【0014】
(3)前記第2のアライメントマークはソケットの両端に付けられていることを特徴とする(1)または(2)に記載の搬送装置。
【0015】
(4)前記トレイには検査対象デバイスを収納する凹形状のデバイスポケットが形成されていることを特徴とする(1)乃至(3)のいずれかに記載の搬送装置。
【0016】
(5)前記デバイスポケットはマトリクス状に配列されていることを特徴とする(4)に記載の搬送装置。
【0017】
(6)前記第1の撮像手段には前記第1のアライメントマークとデバイスポケットの位置関係を示す情報が与えられていることを特徴とする(5)に記載の搬送装置。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明を詳しく説明する。
図1は本発明の一実施例を示す構成図である。図1で前出の図と同一のものは同一符号を付ける。
図1で、トレイ30にはデバイスポケット31がマトリクス状に配列されている。デバイスポケット31に検査対象デバイス12が収納される。トレイ30は図3のトレイ10と同様に検査対象デバイス12をテストヘッドへ搬送するための専用トレイである。トレイ30の四隅にはアライメントマーク32が付けられている。なお、アライメントマーク32はトレイ30の少なくとも二隅に付けられていればよい。
デバイスポケット31の構成をC部分に示す。デバイスポケット31は凹形状に形成されていて、この部分に検査対象デバイス12が収納される。
【0019】
テストヘッド20にはソケットボード40が取り付けられている。ソケットボード40にはソケット41がマトリクス状に配列されている。ソケット41の構成をD部分に示す。ソケット41にはコンタクト電極42が配列されている。ソケット41の両端にはアライメントマーク43が付けられている。
【0020】
撮像手段50はアライメントマーク32の位置を画像認識する。撮像手段51は撮像手段50に対して既知の位置関係にあり、アライメントマーク43の位置を画像認識する。撮像手段50、51は例えばCCDカメラと光学系により構成される。
位置決め手段52は、撮像手段50、51でそれぞれ認識したアライメントマークの位置をもとに検査対象デバイス12とソケット41の位置関係を求め、求めた位置関係に基づいて検査対象デバイス12をソケット41に接続される位置に位置決めする。
【0021】
図2は図1の装置の縦方向の断面図である。
図2に示すように、トレイ30にはデバイスポケット31が設けられていて、デバイスポケット31には検査対象デバイス12が収納されている。
ソケットボード40上にはソケット41が配列されている。ソケットボード40がトレイ30上に載せられると、検査対象デバイス12の接続ピン121はソケット41のコンタクト電極42と接続される。これによって、検査対象デバイス12はテストヘッド20と接続される。検査対象デバイス12をデバイスポケット31内に保持する機構がないため、実施例ではテストヘッド20は上側に、トレイ30は下側に配置した構成になっている。
【0022】
図1及び図2に示す搬送装置で、トレイ30の位置を検出するために撮像手段50を設け、ソケット41の位置を検出するために撮像手段51を設けている。撮像手段50と51の位置関係は既知である。トレイ30に収納される検査対象デバイス12は、トレイ30との位置関係はデバイスポケット31への落とし込みにて確定される。撮像手段51にはアライメントマーク32とデバイスポケット31の位置関係を示す情報が与えられている。マトリクス状に配列されたデバイスポケット31のそれぞれについて位置関係を示す情報が与えられている。
【0023】
撮像手段50はアライメントマーク32を画像認識することにより、トレイ30の2次元位置(X、Y方向位置)とθ軸まわり(θ軸はX軸とY軸に直交する軸)の回転ずれを算出する。撮像手段51はアライメントマーク43を画像認識することにより、各ソケット41の2次元位置(X、Y方向位置)とθ軸まわりの回転ずれを算出する。撮像手段50と51の位置関係は既知であることから、トレイ30とソケット41の位置関係が求められる。求めた位置関係から、検査対象デバイス12とソケット41の位置決めを行なう。これによって、検査対象デバイス12をソケット41に接続できる。
【0024】
【発明の効果】
本発明によれば次の効果が得られる。
【0025】
請求項1及び請求項4に記載の発明では、トレイとソケットにアライメントマークをそれぞれ付け、これらのアライメントマークの位置を撮像手段で画像認識することによって非接触でトレイとテストヘッド間の位置決めを行なっている。これによって、次の効果が得られる。
(a)トレイは位置決め用ピンが不要であるため、構成を簡略化できる。
(b)テストヘッド側も位置決め用ブッシュが不要になるため、構成が簡単になる。
(c)非接触により位置決めしているため、部品の消耗が発生しない。また、部品劣化による位置ずれも生じない。
【0026】
請求項2記載の発明では、アライメントマークはトレイの少なくとも二隅に付けられているため、トレイの2次元位置だけでなく回転ずれも検出できる。
【0027】
請求項3記載の発明では、アライメントマークはソケットの両端に付けられているため、ソケットの2次元位置だけでなく回転ずれも検出できる。
【0028】
請求項5記載の発明では、デバイスポケットはトレイ上でマトリクス状に配列されている複数のデバイスを一度に搬送して検査することができる。
【0029】
請求項6記載の発明では、第1の撮像手段には前記第1のアライメントマークとデバイスポケットの位置関係を示す情報が与えられているため、検査対象デバイスがどのデバイスポケットに収納されていてもソケットに対して位置決めできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図2】図1の装置の縦方向の断面図である。
【図3】従来における搬送装置の構成例を示した図である。
【図4】図3の装置の縦方向の断面図である。
【符号の説明】
12 検査対象デバイス
30 トレイ
31 デバイスポケット
32,43 アライメントマーク
41 ソケット
50,51 撮像手段
52 位置決め手段
Claims (6)
- 検査対象デバイスをトレイに収納し、このトレイをソケットがある位置まで搬送し、検査対象デバイスをソケットと接続される位置に位置決めする搬送装置において、
前記トレイに付けられた第1のアライメントマークと、
前記ソケットに付けられた第2のアライメントマークと、
前記第1のアライメントマークの位置を画像認識する第1の撮像手段と、
前記第1の撮像手段に対して既知の位置関係にあり、第2のアライメントマークの位置を画像認識する第2の撮像手段と、
前記第1及び第2の撮像手段でそれぞれ認識したアライメントマークの位置をもとに検査対象デバイスとソケットの位置関係を求め、求めた位置関係に基づいて検査対象デバイスをソケットに接続される位置に位置決めする位置決め手段と、
を備えたことを特徴とする搬送装置。 - 前記第1のアライメントマークはトレイの少なくとも二隅に付けられていることを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
- 前記第2のアライメントマークはソケットの両端に付けられていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の搬送装置。
- 前記トレイには検査対象デバイスを収納する凹形状のデバイスポケットが形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の搬送装置。
- 前記デバイスポケットはマトリクス状に配列されていることを特徴とする請求項4に記載の搬送装置。
- 前記第1の撮像手段には前記第1のアライメントマークとデバイスポケットの位置関係を示す情報が与えられていることを特徴とする請求項5に記載の搬送装置。
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2002
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