JP2003517717A - 基板搬送装置 - Google Patents
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
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- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
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Abstract
(57)【要約】
駆動部（２７）とロボット搬送アーム（２５）から成る基板搬送装置（１０）。前記ロボット搬送アーム（２５）は前記駆動部（２７）に搭載される。前記ロボット搬送アーム（２５）は基板を保持するためのリスト部（４２）と末端作動体（４４）とを有する。前記末端作動体（４４）は前記リスト部（４２）に対して回転をするよう前記手首部（４２）に回転可能に搭載される。前記リスト部（４２）に対する前記末端作動体（４４）の回転は前記ロボット搬送アーム（２５）に従属する。前記ロボット搬送アーム（２５）は、ほぼ並んで配置された２つの基板保持エリア（２６Ｌ、２６Ｒ）と２つの前記基板保持エリア（２６Ｌ、２６Ｒ）に連係した唯一の位置に位置する前記駆動部（２７）に対する前記基板の持込及び持出搬送をなすために設置される。
Description
【０００１】
本発明は基板搬送装置、特に基板搬送装置のロボット搬送アームに関する。
【０００２】
従来の技術において、種々のタイプの基板搬送装置が知られている。基板搬送
装置の例は、米国特許第５，４０４，８９４号、第５，４３１，５２９号、第５
，７６５，９８３号に開示されている。
装置の例は、米国特許第５，４０４，８９４号、第５，４３１，５２９号、第５
，７６５，９８３号に開示されている。
【０００３】
本発明の第１の実施例による基板搬送装置は駆動部とロボット搬送アームとか
ら成る。ロボット搬送アームは駆動部に搭載される。ロボット搬送アームはリス
ト部と基板を保持する末端作動体とを有する。末端作動体はリスト部の回りに回
転するようにリスト部に回転可能に搭載される。リスト部に対する末端作動体の
回転はロボット搬送アームに従属する。ロボット搬送アームは、２つのほぼ並ん
で方向付けられている基板保持エリアに対する基板の持込及び持出搬送をなすよ
うに設置されている。駆動部は保持エリアに対して唯一の位置に位置決めされて
いる。
ら成る。ロボット搬送アームは駆動部に搭載される。ロボット搬送アームはリス
ト部と基板を保持する末端作動体とを有する。末端作動体はリスト部の回りに回
転するようにリスト部に回転可能に搭載される。リスト部に対する末端作動体の
回転はロボット搬送アームに従属する。ロボット搬送アームは、２つのほぼ並ん
で方向付けられている基板保持エリアに対する基板の持込及び持出搬送をなすよ
うに設置されている。駆動部は保持エリアに対して唯一の位置に位置決めされて
いる。
【０００４】
本発明の第２の実施例による基板処理装置は多数の並んだ基板貯蔵エリアを有
するフレームと、該フレーム上に旋回可能に搭載されたロボット搬送アームと、
から成る。ロボット搬送アームは、基板貯蔵エリアと基板保持エリアとの間で基
板を搬送する。ロボット搬送アームは末端作動体とリスト部を有する。末端作動
体はロボット搬送アームのリスト部に旋回可能に搭載されている。ロボット搬送
アームは、２つの基板貯蔵エリアのそれぞれに対応する搬送軸に沿って並置され
た基板貯蔵エリアの少なくとも２つに対して基板を実質的に直線的な往復移動を
なすように設置されている。ロボット搬送アームが２つの基板貯蔵エリアのそれ
ぞれに対する基板の往復移動をなす際、フレームに対してロボット搬送アームが
旋回する軸は、フレームに対して１つの位置にとどまる。ロボット搬送アームの
末端作動体はロボット搬送アームに従属し、ロボット搬送アームが基板貯蔵エリ
アのそれぞれに対する基板の往復移動をなす際、リスト部の回りに自動的に回転
する。
するフレームと、該フレーム上に旋回可能に搭載されたロボット搬送アームと、
から成る。ロボット搬送アームは、基板貯蔵エリアと基板保持エリアとの間で基
板を搬送する。ロボット搬送アームは末端作動体とリスト部を有する。末端作動
体はロボット搬送アームのリスト部に旋回可能に搭載されている。ロボット搬送
アームは、２つの基板貯蔵エリアのそれぞれに対応する搬送軸に沿って並置され
た基板貯蔵エリアの少なくとも２つに対して基板を実質的に直線的な往復移動を
なすように設置されている。ロボット搬送アームが２つの基板貯蔵エリアのそれ
ぞれに対する基板の往復移動をなす際、フレームに対してロボット搬送アームが
旋回する軸は、フレームに対して１つの位置にとどまる。ロボット搬送アームの
末端作動体はロボット搬送アームに従属し、ロボット搬送アームが基板貯蔵エリ
アのそれぞれに対する基板の往復移動をなす際、リスト部の回りに自動的に回転
する。
【０００５】
本発明の第１の方法によれば、基板処理装置上の基板保持エリアに対する基板
の持込及び持出搬送をなす方法が提供される。この方法は、搬送アームの末端作
動体上への基板の提供ステップと、搬送アームの回転ステップと、搬送アームの
移動ステップの各ステップから成る。搬送アームは、回転軸の回りにリスト部を
回転する為に搬送アームの肩部における回転軸の回りに回転される。上記搬送は
、搬送アームの肩部における回転軸に対して搬送アームのリスト部を半径方向に
移すためになされる。搬送アームを移動するステップは、リスト部の回りに末端
作動体を回転し、搬送アームの肩部における回転軸回りのリスト部の回転に呼応
して、搬送アームの肩部における回転軸の回りに基板を回転する。
の持込及び持出搬送をなす方法が提供される。この方法は、搬送アームの末端作
動体上への基板の提供ステップと、搬送アームの回転ステップと、搬送アームの
移動ステップの各ステップから成る。搬送アームは、回転軸の回りにリスト部を
回転する為に搬送アームの肩部における回転軸の回りに回転される。上記搬送は
、搬送アームの肩部における回転軸に対して搬送アームのリスト部を半径方向に
移すためになされる。搬送アームを移動するステップは、リスト部の回りに末端
作動体を回転し、搬送アームの肩部における回転軸回りのリスト部の回転に呼応
して、搬送アームの肩部における回転軸の回りに基板を回転する。
【０００６】
本発明の第３の実施例によれば、基板搬送装置が提供される。この基板搬送装
置はロボット搬送アームと、該ロボット搬送アームを回転させる手段と、該ロボ
ット搬送アームの末端作動体を直線的に移動する手段と、コントローラと、から
成る。ロボット搬送アームは基板を保持するための末端作動体を有する。ロボッ
ト搬送アームを回転させるための手段は、第１回転軸の回りにアームを回転させ
る。上記ロボットアームを回転させるための上記手段は、上記ロボット搬送アー
ムに接続している第１の駆動メカニズムから成り、回転軸の回りに単体としてロ
ボット搬送アームを回転させる。末端作動体を移動するための手段はロボット搬
送アームに接続している第２の駆動メカニズムから成り、回転軸に対して実質的
に半径方向に末端作動体を移動する。コントローラは、ロボット搬送アームを回
転させるための手段および末端作動体を移動するための手段を制御し、回転軸に
対して末端作動体の半径方向の移動を伴う、回転軸の回りのロボット搬送アーム
の、複合回転を提供する。ロボット搬送アームの複合回転、および末端作動体の
半径方向の移動は、基板保持チャンバに対する基板のほぼ直線の往復移動を招来
する。
置はロボット搬送アームと、該ロボット搬送アームを回転させる手段と、該ロボ
ット搬送アームの末端作動体を直線的に移動する手段と、コントローラと、から
成る。ロボット搬送アームは基板を保持するための末端作動体を有する。ロボッ
ト搬送アームを回転させるための手段は、第１回転軸の回りにアームを回転させ
る。上記ロボットアームを回転させるための上記手段は、上記ロボット搬送アー
ムに接続している第１の駆動メカニズムから成り、回転軸の回りに単体としてロ
ボット搬送アームを回転させる。末端作動体を移動するための手段はロボット搬
送アームに接続している第２の駆動メカニズムから成り、回転軸に対して実質的
に半径方向に末端作動体を移動する。コントローラは、ロボット搬送アームを回
転させるための手段および末端作動体を移動するための手段を制御し、回転軸に
対して末端作動体の半径方向の移動を伴う、回転軸の回りのロボット搬送アーム
の、複合回転を提供する。ロボット搬送アームの複合回転、および末端作動体の
半径方向の移動は、基板保持チャンバに対する基板のほぼ直線の往復移動を招来
する。
【０００７】
本発明の第２の方法によれば、基板保持エリアに対する基板の持込及び持出搬
送をなす方法が提供される。この方法は搬送アームの末端作動体上への基板の提
供ステップと、回転軸の回りの装置としての搬送アームの回転ステップと、搬送
アームの末端作動体の移動ステップの各ステップから成る。末端作動体は、回転
軸に対して半径方向に末端作動体を移動させられる。末端作動体を移動するステ
ップは回転軸に対して搬送アームを回転させるステップを補償し、基板保持エリ
アに対して基板の持込及び持出搬送を招来する。
送をなす方法が提供される。この方法は搬送アームの末端作動体上への基板の提
供ステップと、回転軸の回りの装置としての搬送アームの回転ステップと、搬送
アームの末端作動体の移動ステップの各ステップから成る。末端作動体は、回転
軸に対して半径方向に末端作動体を移動させられる。末端作動体を移動するステ
ップは回転軸に対して搬送アームを回転させるステップを補償し、基板保持エリ
アに対して基板の持込及び持出搬送を招来する。
【０００８】
本発明の第３の方法に従う、基板保持チャンバに対する基板の持込及び持出搬
送をなす方法は、末端作動体を第１の位置の搬送アームへの配置ステップ、第１
の位置と第２の位置の間への末端作動体の移動ステップ、第２の位置から第１の
位置への末端作動体の帰還ステップ、の各ステップから成る。末端作動体は、第
１の経路に沿って第１の位置及び第２の位置の間で移動され、そして基板保持チ
ャンバの開口部を通して末端作動体上の基板を軸方向に移動する。基板は、第１
の経路に沿って軸方向に移動される。末端作動体は、第２の経路に沿って基板保
持チャンバの開口部を通しての第２の位置から第１の位置まで戻される。基板保
持チャンバの開口部を通って延在する第２の経路の一部は、基板保持チャンバの
開口部を通って延在する第１の経路の一部と比較して異なっている。
送をなす方法は、末端作動体を第１の位置の搬送アームへの配置ステップ、第１
の位置と第２の位置の間への末端作動体の移動ステップ、第２の位置から第１の
位置への末端作動体の帰還ステップ、の各ステップから成る。末端作動体は、第
１の経路に沿って第１の位置及び第２の位置の間で移動され、そして基板保持チ
ャンバの開口部を通して末端作動体上の基板を軸方向に移動する。基板は、第１
の経路に沿って軸方向に移動される。末端作動体は、第２の経路に沿って基板保
持チャンバの開口部を通しての第２の位置から第１の位置まで戻される。基板保
持チャンバの開口部を通って延在する第２の経路の一部は、基板保持チャンバの
開口部を通って延在する第１の経路の一部と比較して異なっている。
【０００９】
本発明の上述した特徴は、添付の図面を伴ってなされる以下の説明において説
明される。 図１の参照により、本発明の特徴を取り入れている装置１０の概略平面図が示
される。本発明が図面に示される一つの実施例に関して記載されているにもかか
わらず、本発明が実施例の多くの代替の様態において実施されることができると
理解されなければならない。加えて、いかなる適切な要素または材料のサイズ、
形またはタイプが使用され得る。
明される。 図１の参照により、本発明の特徴を取り入れている装置１０の概略平面図が示
される。本発明が図面に示される一つの実施例に関して記載されているにもかか
わらず、本発明が実施例の多くの代替の様態において実施されることができると
理解されなければならない。加えて、いかなる適切な要素または材料のサイズ、
形またはタイプが使用され得る。
【００１０】
装置１０は、基板処理装置１４のロードロック１２に接続していることが示さ
れている。処理装置１４は、周知のように半導体ウェーハのような基板の処理を
なす。基板処理装置の例は、米国特許第４，７１５，９２１号および第５，５１
２，３２０号に記載されている。別の実施例において、装置１０はいかなる適切
なタイプの基板処理装置についての作業をもなすように構成され得る。装置１０
は、全体としてフレーム２０、カー２２、ロボット２４、コントローラ５２およ
び基板カセット２６から成る。装置１０は、カセット２６とロードロック１２と
の間で半導体ウェーハまたはフラットパネルディスプレイ基板等の基板を移動す
るために設置される。装置１０は、カセット２６から基板を個々に移動し、かつ
ロードロック１２に基板を挿入するために、ロボット２４を使用する。処理装置
１４が基板を処理し終わったときに、装置１０はロードロック１２からカセット
２６まで基板を戻すために用いられる。装置１０は大気圧下で稼働するが、真空
を含む他の圧力状況下においても使用され得る。装置１０は多くのカセット２６
を保持するようになっている。
れている。処理装置１４は、周知のように半導体ウェーハのような基板の処理を
なす。基板処理装置の例は、米国特許第４，７１５，９２１号および第５，５１
２，３２０号に記載されている。別の実施例において、装置１０はいかなる適切
なタイプの基板処理装置についての作業をもなすように構成され得る。装置１０
は、全体としてフレーム２０、カー２２、ロボット２４、コントローラ５２およ
び基板カセット２６から成る。装置１０は、カセット２６とロードロック１２と
の間で半導体ウェーハまたはフラットパネルディスプレイ基板等の基板を移動す
るために設置される。装置１０は、カセット２６から基板を個々に移動し、かつ
ロードロック１２に基板を挿入するために、ロボット２４を使用する。処理装置
１４が基板を処理し終わったときに、装置１０はロードロック１２からカセット
２６まで基板を戻すために用いられる。装置１０は大気圧下で稼働するが、真空
を含む他の圧力状況下においても使用され得る。装置１０は多くのカセット２６
を保持するようになっている。
【００１１】
フレーム２０は、ロードロック１２に固着している。フレーム２０の背面部１
３はロードロック１２の前面に対向している。フレーム２０は、着脱自在にカセ
ット２６を支持出来るようになっている。図１は、２００ｍｍの半導体ウェーハ
を保持するために使用されるカセット２６を支持しているフレーム２０を示して
いる。また図５に示されているように、装置１０のフレーム２０は３００ｍｍの
半導体ウェーハを保持するために、「開放した」カセット２２６のような第２の
タイプのカセットを支持することも可能である。２００ｍｍウェーハ用のカセッ
ト２６は、１３枚か２６枚の半導体ウェーハを保持することが可能である。図１
に示すように、カセット２６の各々は、カセット２６の正面の基板アクセス開口
部１２６を有する。基板は、カセット２６の側面１２７と実質的に平行に方向付
けられた軸Ｘに沿って、正面アクセス開口部を通ってカセット２６の中へかつそ
こから外へ搬送される。カセットはフレーム２０の正面１１の近くにほぼ並んで
配置される。カセット２６の基板アクセス開口部１２６は、フレーム２０の背面
部１３の方と同じ方向に面する。よって、それぞれのカセット２６の中へかつそ
こから外へ基板がそれに沿って搬送される軸Ｘは、互いに実質的に平行に整列配
置される。フレーム２０の背面部１３で、軌道エリア２１はフレーム２０の長さ
を延長する。カー２２は移動できるようにフレームの軌道エリア２１に載置され
、経路Ａに沿って位置ＢからＣの間を移動するかまたは転動する。カー駆動機構
２３は、カーをフレーム２０に駆動自在に接続する。駆動機構２３はコントロー
ラ５２によって制御され、軌道エリア２１に沿って異なる位置に制御可能にカー
２２を移動する。そのようなカー駆動機構は、本願明細書に全体として引用した
ものとする「ロボットアーム移動システム」と題して１９９７年７月１１日に出
願された米国特許出願第０８／８９１，５２３号に記載されている。別の実施例
においては、他のタイプのロボットアーム移動システムが使用され得る。例えば
、ロボットアームは回転可能に単一の回転軸に搭載され得る。
３はロードロック１２の前面に対向している。フレーム２０は、着脱自在にカセ
ット２６を支持出来るようになっている。図１は、２００ｍｍの半導体ウェーハ
を保持するために使用されるカセット２６を支持しているフレーム２０を示して
いる。また図５に示されているように、装置１０のフレーム２０は３００ｍｍの
半導体ウェーハを保持するために、「開放した」カセット２２６のような第２の
タイプのカセットを支持することも可能である。２００ｍｍウェーハ用のカセッ
ト２６は、１３枚か２６枚の半導体ウェーハを保持することが可能である。図１
に示すように、カセット２６の各々は、カセット２６の正面の基板アクセス開口
部１２６を有する。基板は、カセット２６の側面１２７と実質的に平行に方向付
けられた軸Ｘに沿って、正面アクセス開口部を通ってカセット２６の中へかつそ
こから外へ搬送される。カセットはフレーム２０の正面１１の近くにほぼ並んで
配置される。カセット２６の基板アクセス開口部１２６は、フレーム２０の背面
部１３の方と同じ方向に面する。よって、それぞれのカセット２６の中へかつそ
こから外へ基板がそれに沿って搬送される軸Ｘは、互いに実質的に平行に整列配
置される。フレーム２０の背面部１３で、軌道エリア２１はフレーム２０の長さ
を延長する。カー２２は移動できるようにフレームの軌道エリア２１に載置され
、経路Ａに沿って位置ＢからＣの間を移動するかまたは転動する。カー駆動機構
２３は、カーをフレーム２０に駆動自在に接続する。駆動機構２３はコントロー
ラ５２によって制御され、軌道エリア２１に沿って異なる位置に制御可能にカー
２２を移動する。そのようなカー駆動機構は、本願明細書に全体として引用した
ものとする「ロボットアーム移動システム」と題して１９９７年７月１１日に出
願された米国特許出願第０８／８９１，５２３号に記載されている。別の実施例
においては、他のタイプのロボットアーム移動システムが使用され得る。例えば
、ロボットアームは回転可能に単一の回転軸に搭載され得る。
【００１２】
ロボット２４はカー２２に搭載される。よって、ロボット２４はカー２２と共
に移動する。ロボット２４は全体として可動アームアセンブリ２５および駆動部
２７から成る。好適な実施例において、駆動部２７は可動アームアセンブリ２５
をカー２２に接続する。別の実施例においては、アームアセンブリがカーに直接
搭載され得る一方、アームアセンブリに従属している駆動部を有する。駆動部２
７は、可動アームアセンブリ２５に接続することで、単一の回転軸の回りに独自
に単体としてアームアセンブリを回転し、更にアームアセンブリ２５の伸展及び
格納をせしめる。さらに、駆動部２７は必要に応じて垂直にアームアセンブリを
配置するためにフレーム２０と関連して上下にアームアセンブリ２５を移動する
ことが可能である。アームアセンブリ２５は図１において収納状態にある。アー
ムアセンブリ２５が伸展される際、その末端作動体を、基板を持ち上げるかまた
は降ろすロードロック１２あるいはカセット２６の内部に置かれることが可能で
ある（図２Ａ及び３Ａ参照）。
に移動する。ロボット２４は全体として可動アームアセンブリ２５および駆動部
２７から成る。好適な実施例において、駆動部２７は可動アームアセンブリ２５
をカー２２に接続する。別の実施例においては、アームアセンブリがカーに直接
搭載され得る一方、アームアセンブリに従属している駆動部を有する。駆動部２
７は、可動アームアセンブリ２５に接続することで、単一の回転軸の回りに独自
に単体としてアームアセンブリを回転し、更にアームアセンブリ２５の伸展及び
格納をせしめる。さらに、駆動部２７は必要に応じて垂直にアームアセンブリを
配置するためにフレーム２０と関連して上下にアームアセンブリ２５を移動する
ことが可能である。アームアセンブリ２５は図１において収納状態にある。アー
ムアセンブリ２５が伸展される際、その末端作動体を、基板を持ち上げるかまた
は降ろすロードロック１２あるいはカセット２６の内部に置かれることが可能で
ある（図２Ａ及び３Ａ参照）。
【００１３】
図４は、可動アームアセンブリ２５の概略斜視図を示している。この示された
実施例において、アームアセンブリは、例えば本願明細書に全体として引用した
ものとする米国特許第５，４３１，５２９号又は米国特許第５，７６５，９８３
号において開示されるようなアームアセンブリである。アームアセンブリ２５は
、全体として、上部アーム３１、前方アーム部３２およびリスト延長部３４を含
む順に接続した３つのアーム部を有する。上部アーム３１は駆動部２７からアー
ムアセンブリ２５を支持する。リスト延長部３４は前方アーム部３２を介して上
部アーム３１に接続していて、その末端で末端作動体部４４を含む。可動アーム
アセンブリ２５の上部アーム３１は駆動部２７に搭載され、アームアセンブリの
肩部４０において垂直回転軸Ｙ１の回りに回転する。前方アーム部３２は上部ア
ーム３１に回動可能に搭載され、アームアセンブリ２５の肘部４１を形成する。
前腕３２は可動アームアセンブリ２５の肘部４１において、垂直回転軸Ｙ２の回
りに上部アーム３１と連動して回転する。肘部４１の反対側に前方アーム部３２
は回動可能にリスト延長部３４に接続しており、アームアセンブリのリスト部４
２を形成する。リスト延長部３４はリスト部４２において、前方アーム部３２と
連動して垂直回転軸Ｙ３の回りに回転する。好適な実施例において、末端作動体
部４４はリスト延長部３４に置かれ、基板Ｓをその中心が半径方向軸ｒにほぼ合
う様に保持する。半径方向軸ｒは、肩部４０およびリスト部４２における回転軸
Ｙ１、Ｙ３を通って延在する（図４参照）。別の実施例においては、末端作動体
によって保持される基板の中心が肩部およびリスト部における回転軸との半径方
向の接続と相殺されるので、末端作動体は位置することができる。
実施例において、アームアセンブリは、例えば本願明細書に全体として引用した
ものとする米国特許第５，４３１，５２９号又は米国特許第５，７６５，９８３
号において開示されるようなアームアセンブリである。アームアセンブリ２５は
、全体として、上部アーム３１、前方アーム部３２およびリスト延長部３４を含
む順に接続した３つのアーム部を有する。上部アーム３１は駆動部２７からアー
ムアセンブリ２５を支持する。リスト延長部３４は前方アーム部３２を介して上
部アーム３１に接続していて、その末端で末端作動体部４４を含む。可動アーム
アセンブリ２５の上部アーム３１は駆動部２７に搭載され、アームアセンブリの
肩部４０において垂直回転軸Ｙ１の回りに回転する。前方アーム部３２は上部ア
ーム３１に回動可能に搭載され、アームアセンブリ２５の肘部４１を形成する。
前腕３２は可動アームアセンブリ２５の肘部４１において、垂直回転軸Ｙ２の回
りに上部アーム３１と連動して回転する。肘部４１の反対側に前方アーム部３２
は回動可能にリスト延長部３４に接続しており、アームアセンブリのリスト部４
２を形成する。リスト延長部３４はリスト部４２において、前方アーム部３２と
連動して垂直回転軸Ｙ３の回りに回転する。好適な実施例において、末端作動体
部４４はリスト延長部３４に置かれ、基板Ｓをその中心が半径方向軸ｒにほぼ合
う様に保持する。半径方向軸ｒは、肩部４０およびリスト部４２における回転軸
Ｙ１、Ｙ３を通って延在する（図４参照）。別の実施例においては、末端作動体
によって保持される基板の中心が肩部およびリスト部における回転軸との半径方
向の接続と相殺されるので、末端作動体は位置することができる。
【００１４】
関節アームを動かすための駆動部は周知である。好適な実施例において、駆動
部２７は同軸的に取り付けられた駆動軸４６、４８を含むタイプであり得る。な
お、他のいかなる適切な駆動システムも使用され得る。同軸駆動軸４６、４８は
可動アームアセンブリ２５の肩部４０において、回転軸Ｙ１の回りをスピンする
ように位置する。上部アーム３１は、肩部４０における軸Ｙ１の回りにシャフト
４６と同調して向きを変えるために第１の駆動軸４６に固定的に搭載される。第
２の駆動軸４８は前方アーム部３２に搬送システム１４０によって操作可能な状
態で接続され、アームアセンブリ２５の肘部４１において回転軸Ｙ２の回りに前
方アーム部を回転させる。好適な実施例において、搬送システムは上部アーム４
０内に位置する。前方アーム伝送部１４０に対する駆動軸は、リンクおよびクラ
ンクを含み得、さもなくば肘部４１の回りに前方アーム部３２を回転させるため
に第２の駆動軸４８の回転を伝えるベルトおよび滑車システムを含み得る。別の
実施例においては、搬送システムは上部アームの外側に位置し得る。更なる実施
例においては、肘部に対して前方アーム部を回転させるための駆動軸は、直接前
方アーム部の回転をなすように位置し得る。（例えば、第２の駆動軸は第２の駆
動軸に直接搭載される前方アーム部を有する肘部において、上部アームに搭載さ
れ得る。）肘部４１の回りの前腕の回転に応答してリスト部４２で回転軸Ｙ３の
回りにリスト延長部３４を同期して逆回転するリスト部伝送システム１４２に、
リスト延長部３４は、肘部によって前方アーム部３２に接続している。好適な実
施例において、リスト部搬送システム１４２に対する肘部は一般に前方アーム部
３１の内に位置する。リスト部伝送システムに対する肘部は、リンクおよびオフ
セットのクランク、または前方アーム部３２をリスト延長部３４に接続している
ベルトおよび滑車システムから成ることができ、その結果肘部４１に対して前方
アーム部の回転はリスト部４２に対する反対の一方向へリスト延長部３４を回転
させる。例えば、肘部４１に対して前方アーム部３１の時計回りの回転はリスト
部４２に対して半時計回りに回転しているリスト延長部３２に帰結する。そして
、逆に肘部４１の回りの前方アーム部３１の半時計回りの回転は、リスト部４２
の回りで時計回りにリスト延長部を駆動する。よって、リスト部４１の回りのリ
スト延長部３４の回転は、肘部４１の回りの前方アーム部３１の回転に従属する
。
部２７は同軸的に取り付けられた駆動軸４６、４８を含むタイプであり得る。な
お、他のいかなる適切な駆動システムも使用され得る。同軸駆動軸４６、４８は
可動アームアセンブリ２５の肩部４０において、回転軸Ｙ１の回りをスピンする
ように位置する。上部アーム３１は、肩部４０における軸Ｙ１の回りにシャフト
４６と同調して向きを変えるために第１の駆動軸４６に固定的に搭載される。第
２の駆動軸４８は前方アーム部３２に搬送システム１４０によって操作可能な状
態で接続され、アームアセンブリ２５の肘部４１において回転軸Ｙ２の回りに前
方アーム部を回転させる。好適な実施例において、搬送システムは上部アーム４
０内に位置する。前方アーム伝送部１４０に対する駆動軸は、リンクおよびクラ
ンクを含み得、さもなくば肘部４１の回りに前方アーム部３２を回転させるため
に第２の駆動軸４８の回転を伝えるベルトおよび滑車システムを含み得る。別の
実施例においては、搬送システムは上部アームの外側に位置し得る。更なる実施
例においては、肘部に対して前方アーム部を回転させるための駆動軸は、直接前
方アーム部の回転をなすように位置し得る。（例えば、第２の駆動軸は第２の駆
動軸に直接搭載される前方アーム部を有する肘部において、上部アームに搭載さ
れ得る。）肘部４１の回りの前腕の回転に応答してリスト部４２で回転軸Ｙ３の
回りにリスト延長部３４を同期して逆回転するリスト部伝送システム１４２に、
リスト延長部３４は、肘部によって前方アーム部３２に接続している。好適な実
施例において、リスト部搬送システム１４２に対する肘部は一般に前方アーム部
３１の内に位置する。リスト部伝送システムに対する肘部は、リンクおよびオフ
セットのクランク、または前方アーム部３２をリスト延長部３４に接続している
ベルトおよび滑車システムから成ることができ、その結果肘部４１に対して前方
アーム部の回転はリスト部４２に対する反対の一方向へリスト延長部３４を回転
させる。例えば、肘部４１に対して前方アーム部３１の時計回りの回転はリスト
部４２に対して半時計回りに回転しているリスト延長部３２に帰結する。そして
、逆に肘部４１の回りの前方アーム部３１の半時計回りの回転は、リスト部４２
の回りで時計回りにリスト延長部を駆動する。よって、リスト部４１の回りのリ
スト延長部３４の回転は、肘部４１の回りの前方アーム部３１の回転に従属する
。
【００１５】
駆動部２７は、様々な回転速度でいずれの方向へも駆動軸４６、４８を独立し
て回転させることが可能である。コントローラ５２は、２本の駆動軸４６、４８
の方向及び回転速度を制御し、可動アームアセンブリ２５を操作する。肩部４０
において可動アームアセンブリ２５を回転軸Ｙ１の回りに単体として回転させる
ために、駆動軸４６、４８は共に同調して回転する。（例えば肩部４０に対して
時計回りにアーム２５を回転させるために、軸４６、４８は共に同調して時計回
りに回転する。）上部アーム３１と前方アーム部３２の間の回転は相関していな
いので、同調した両軸４６、４８の回転はアームアセンブリ２５を肩部４０の回
りに単体として回転させる。図４上の矢印Ｔで示される単体としての可動アーム
アセンブリ２５の肩部４０の回りのこの回転は、一方では可動アームアセンブリ
２５の「Ｔ」移動とされる。実質的に半径方向の軸に沿って肩部４１に対してリ
スト部４２を移動する可動アームアセンブリ２５の伸展および格納（一方ではア
ームアセンブリの「Ｒ」移動とされる運動）は駆動軸４６、４８を逆回転するこ
とによって達成される。駆動軸４６、４８の逆回転は上部アーム３１と前方アー
ム部３２との間の相対的な回転を生じ、それゆえに肩部４０に対するリスト部４
２の移動を生じる。（例えばこの実施例において、伸展位置の可動アームアセン
ブリ２５については、軸４６の時計回りの回転は肩部４０の回りに時計回りに上
部アーム３１を回転させ、そして軸４８の半時計回りの回転は、肘部４１の回り
に半時計回りに前方アーム部３２を回転させ、それにより肩部へ向かってリスト
部４２を移動する。）同速度での駆動軸４６、４８の逆回転は、図４の矢印Ｒに
よって示されるように、肩部４０に対して単一の半径方向の軸にほぼ沿ってリス
ト部４２を移動させる。上述したように、肘部４１回りの前方アーム部３２の回
転は、リスト部４２の回りにリスト延長部３４を自動的に逆回転する。肘部から
リスト部への搬送は前方アーム部３２に対してリスト延長部３４を同時に逆回転
し、その基板はリスト部４２が可動アームアセンブリ２５の伸展または格納（す
なわち「Ｒ」型運動）の間移動されている半径方向の軸上のリスト部４２に、末
端作動体部４４によって保持されている基板の中心を維持する。
て回転させることが可能である。コントローラ５２は、２本の駆動軸４６、４８
の方向及び回転速度を制御し、可動アームアセンブリ２５を操作する。肩部４０
において可動アームアセンブリ２５を回転軸Ｙ１の回りに単体として回転させる
ために、駆動軸４６、４８は共に同調して回転する。（例えば肩部４０に対して
時計回りにアーム２５を回転させるために、軸４６、４８は共に同調して時計回
りに回転する。）上部アーム３１と前方アーム部３２の間の回転は相関していな
いので、同調した両軸４６、４８の回転はアームアセンブリ２５を肩部４０の回
りに単体として回転させる。図４上の矢印Ｔで示される単体としての可動アーム
アセンブリ２５の肩部４０の回りのこの回転は、一方では可動アームアセンブリ
２５の「Ｔ」移動とされる。実質的に半径方向の軸に沿って肩部４１に対してリ
スト部４２を移動する可動アームアセンブリ２５の伸展および格納（一方ではア
ームアセンブリの「Ｒ」移動とされる運動）は駆動軸４６、４８を逆回転するこ
とによって達成される。駆動軸４６、４８の逆回転は上部アーム３１と前方アー
ム部３２との間の相対的な回転を生じ、それゆえに肩部４０に対するリスト部４
２の移動を生じる。（例えばこの実施例において、伸展位置の可動アームアセン
ブリ２５については、軸４６の時計回りの回転は肩部４０の回りに時計回りに上
部アーム３１を回転させ、そして軸４８の半時計回りの回転は、肘部４１の回り
に半時計回りに前方アーム部３２を回転させ、それにより肩部へ向かってリスト
部４２を移動する。）同速度での駆動軸４６、４８の逆回転は、図４の矢印Ｒに
よって示されるように、肩部４０に対して単一の半径方向の軸にほぼ沿ってリス
ト部４２を移動させる。上述したように、肘部４１回りの前方アーム部３２の回
転は、リスト部４２の回りにリスト延長部３４を自動的に逆回転する。肘部から
リスト部への搬送は前方アーム部３２に対してリスト延長部３４を同時に逆回転
し、その基板はリスト部４２が可動アームアセンブリ２５の伸展または格納（す
なわち「Ｒ」型運動）の間移動されている半径方向の軸上のリスト部４２に、末
端作動体部４４によって保持されている基板の中心を維持する。
【００１６】
コントローラ５２もまたアームアセンブリの「Ｒ」および「Ｔ」の複合移動に
おいて、駆動部を実質的に同時に可動アームアセンブリ２５を回転し、伸展また
は格納するために制御する。可動アームアセンブリ２５の「Ｒ」および「Ｔ」の
複合移動を成し遂げるために、駆動軸４６、４８は異なる速度で回転する。駆動
軸の異なる回転速度は、上部アーム３１および前方アーム部３２の異なる速度に
帰結し、それはアームアセンブリの伸展／格納（すなわち「Ｒ」運動）と合成さ
れる肩部４０の回りの可動アームアセンブリ２５の回転（すなわち「Ｔ」運動）
をもたらす。前方アーム部３２の回転に対してリスト延長部３４を自動的に逆回
転するリスト部肘部搬送システムは、リスト部４２と末端作動体部４４上の基板
の中心とを、肩部４０で回転軸Ｙ１を横切っている軸にほぼ整列するように維持
する。換言すれば、リスト部４２が可動アームアセンブリ２５の「Ｒ」および「
Ｔ」の複合移動によって肩部４０の回りに回転するにつれて、末端作動体４４上
の基板Ｓの中心がリスト部４２と実質的に同一速度で肩部４０の回りに回転する
ためにリスト延長部３４はリスト部４２に対して自動的に回転し、それゆえに肩
部４０の中心、リスト部４２の中心および末端作動体４４上の基板Ｓの中心はほ
ぼ同一直線上のままの位置にある。例えば、アームアセンブリ２５が図３Ａに示
されるように伸展されるときに、リスト部４２および末端作動体によって保持し
た基板Ｓの中心は肩部４０を通って延びる半径方向の軸Ｒ３によって全体として
整列する。アームアセンブリ２５が図３Ｂに示されるように格納されるときに、
リスト部４２および基板Ｓの中心は再び肩部４０を通って延びる半径方向の軸Ｒ
４によってほぼ整列する。
おいて、駆動部を実質的に同時に可動アームアセンブリ２５を回転し、伸展また
は格納するために制御する。可動アームアセンブリ２５の「Ｒ」および「Ｔ」の
複合移動を成し遂げるために、駆動軸４６、４８は異なる速度で回転する。駆動
軸の異なる回転速度は、上部アーム３１および前方アーム部３２の異なる速度に
帰結し、それはアームアセンブリの伸展／格納（すなわち「Ｒ」運動）と合成さ
れる肩部４０の回りの可動アームアセンブリ２５の回転（すなわち「Ｔ」運動）
をもたらす。前方アーム部３２の回転に対してリスト延長部３４を自動的に逆回
転するリスト部肘部搬送システムは、リスト部４２と末端作動体部４４上の基板
の中心とを、肩部４０で回転軸Ｙ１を横切っている軸にほぼ整列するように維持
する。換言すれば、リスト部４２が可動アームアセンブリ２５の「Ｒ」および「
Ｔ」の複合移動によって肩部４０の回りに回転するにつれて、末端作動体４４上
の基板Ｓの中心がリスト部４２と実質的に同一速度で肩部４０の回りに回転する
ためにリスト延長部３４はリスト部４２に対して自動的に回転し、それゆえに肩
部４０の中心、リスト部４２の中心および末端作動体４４上の基板Ｓの中心はほ
ぼ同一直線上のままの位置にある。例えば、アームアセンブリ２５が図３Ａに示
されるように伸展されるときに、リスト部４２および末端作動体によって保持し
た基板Ｓの中心は肩部４０を通って延びる半径方向の軸Ｒ３によって全体として
整列する。アームアセンブリ２５が図３Ｂに示されるように格納されるときに、
リスト部４２および基板Ｓの中心は再び肩部４０を通って延びる半径方向の軸Ｒ
４によってほぼ整列する。
【００１７】
カセット２６とロードロック１２との間での基板の移動手順は、実質的に以下
の通りである。図２Ａ−２Ｃおよび３Ａ−３Ｃからも明らかなように、当該手順
の第１のステップはカー２２を動かして肩部４０を位置決めして、それゆえに位
置Ｄで可動アームアセンブリ２５が回転する回転軸Ｙ１を位置決めすることであ
る。位置Ｄはカセット２６Ｌと２６Ｒの間に位置する。アームアセンブリ２５の
肩４０が位置Ｄに位置すると、それに沿って基板が２つの横に並んだカセット２
６Ｌ、２６Ｒの中へ及びそこから外へ移動する軸Ｘ１、Ｘ２は肩４０の両側に延
伸する。その肩部４０を位置Ｄに位置決めするように可動アームアセンブリ２５
を移動した後、アームアセンブリ２５は作動せしめられ、並置されたカセット２
６Ｌと２６Ｒとのどちらか一方に末端作動体４４を挿入して基板を捕捉する。肩
部４０が位置Ｄにある故、可動アームアセンブリ２５は、末端作動体４４を、カ
セットに対して肩部４０の再配置することなしに２つのカセット２６Ｌ、２６Ｒ
のどちらにでも嵌入出来るように作動せしめられ得る。好適な実施例において、
末端作動体４４をカセット２６Ｌ、２６Ｒに挿入するために、コントローラ５２
はカセット２６Ｌ、２６Ｒの開口部と共にリスト部４２を半径方向に整列させる
ために肩部４０の回りに最初に単体としてのアームアセンブリ２５全体を回転さ
せ（「Ｔ」運動）、「Ｔ」運動の終了後、カセット２６Ｌ、２６Ｒに末端作動体
４４を挿入するために半径方向に沿って、実質的にアームアセンブリ２５を伸展
する（「Ｒ」運動）。本実施例において、位置Ｄにおける肩部４０に対するカセ
ット２６Ｌ、２６Ｒの内側部１２７Ｌ、１２７Ｒ（図２参照）の位置は、側部１
２７Ｌ、１２７Ｒがカセット２６Ｌ、２６Ｒ内に実質的に単一の半径方向に沿っ
て末端作動体４４を並進させることを妨げないようなものである。別の実施例に
おいては、カセットの内側の位置がアームアセンブリ２５の「Ｒ」移動を妨げる
ところでは、末端作動体４４はカセットに対応する基板除去／挿入軸Ｘ１、Ｘ２
に対して小さい角度の軸に沿って、カセットに対して末端作動体を並進させるこ
とによりカセットに挿入される。このことは、末端作動体４４の中心のまっすぐ
なＸ軸運動を提供する、「Ｒ」及び「Ｔ」の複合運動をなすようにアームアセン
ブリ２５を動かすコントローラ５２によって達成される。カセット２６Ｌ、２６
Ｒ中に末端作動体４４が存在する状態において、末端作動体４４は基板Ｓを捕ら
える。一旦、基板Ｓが末端作動体４４によって捕えられると、可動アームアセン
ブリ２５はカセット２６Ｌ、２６Ｒへ基板Ｓを移動するために作動せしめられる
。末端作動体４４によって保持される基板Ｓは対応する基板除去軸Ｘ１、Ｘ２に
実質的に沿ってカセット２６Ｌ、２６Ｒから移動される。よって、基板Ｓの除去
はカセット２６Ｌ、２６Ｒへの末端作動体４４の挿入経路とは異なる経路に沿う
（図２Ｂ−２Ｃ及び３Ｂ−３Ｃ参照）。軸Ｘ１、Ｘ２に実質的に沿って末端作動
体４４上の基板Ｓを移動するために、可動アームアセンブリ２５は、「Ｒ」及び
「Ｔ」の複合運動において移動される（図２Ａ−２Ｂ及び３Ａ−３Ｂ参照）。コ
ントローラ５２は２本の駆動軸４６、４８の旋回速度および方向を制御し、実質
的に軸Ｘ１、Ｘ２に沿ってカセット２６Ｌ、２６Ｒからの基板Ｓの移動を招来す
る「Ｒ」および「Ｔ」の複合運動でのアームアセンブリ２５の移動をなす。基板
Ｓがカセット２６Ｌ、２６Ｒの外に出た後、可動アームアセンブリ２５はロード
ロック１２に基板Ｓを搬送する。図２Ｂ及び３Ｂに示すように、肩部４０の位置
Ｄが実質的にロードロック１２の前にあるならば、肩部４０は位置Ｄの場所にと
どまり、そしてアームアセンブリ２５は一連の「Ｔ」運動および「Ｒ」運動を経
ることによって基板Ｓを移動する。もし肩部４０の位置Ｄが実質的にロードロッ
ク１２の正面でなくむしろ隣接しているならば、可動アームアセンブリ２５は肩
部４０の位置Ｄにとどまっているままで「Ｒ」及び「Ｔ」の複合運動を経ること
によって、ロードロックに基板Ｓを移動する。さもなければ、ロードロック１２
に基板Ｓを搬送するために、カー２２は位置Ｄから異なる位置まで可動アームア
センブリ２５の肩部４０を移動することで、アームアセンブリが基板をロードロ
ック１２に挿入することができる。ロードロック１２における基板Ｓの解放に続
き、可動アームアセンブリ２５は末端作動体４４を上記の通りにカセット２６Ｌ
、２６Ｒに戻す。カセット２６Ｌ、２６Ｒが空になるまで、上記の一連のステッ
プは必要に応じて繰り返される。加えて、カセット２６Ｌ、２６Ｒとロードロッ
ク１２との間における基板の転送は、一度に１つのカセットになされる必要はな
い。それは、既述したように、位置Ｄから可動アームアセンブリ２５は左上のカ
セット２６Ｌと右上のカセット２６Ｒのいずれに対する基板の出し入れをするこ
とも可能であるからである。よって、カセットから基板を取り出す間、基板は、
位置Ｄから肩部４０を再配置することなく、順番に左右のカセット２６Ｌ、２６
Ｒ双方から移動され得る。あるいは、基板はアームアセンブリ２５の搬送サイク
ルの前半において１つのカセット２６Ｌ、２６Ｒから移動され得る。そして異な
る（すなわち既処理の）基板はアームアセンブリ２５の肩部４０が位置Ｄにとど
まっている間、搬送サイクルの戻りまたは後半において隣接しているカセット２
６Ｒ、２６Ｌに戻され得る。
の通りである。図２Ａ−２Ｃおよび３Ａ−３Ｃからも明らかなように、当該手順
の第１のステップはカー２２を動かして肩部４０を位置決めして、それゆえに位
置Ｄで可動アームアセンブリ２５が回転する回転軸Ｙ１を位置決めすることであ
る。位置Ｄはカセット２６Ｌと２６Ｒの間に位置する。アームアセンブリ２５の
肩４０が位置Ｄに位置すると、それに沿って基板が２つの横に並んだカセット２
６Ｌ、２６Ｒの中へ及びそこから外へ移動する軸Ｘ１、Ｘ２は肩４０の両側に延
伸する。その肩部４０を位置Ｄに位置決めするように可動アームアセンブリ２５
を移動した後、アームアセンブリ２５は作動せしめられ、並置されたカセット２
６Ｌと２６Ｒとのどちらか一方に末端作動体４４を挿入して基板を捕捉する。肩
部４０が位置Ｄにある故、可動アームアセンブリ２５は、末端作動体４４を、カ
セットに対して肩部４０の再配置することなしに２つのカセット２６Ｌ、２６Ｒ
のどちらにでも嵌入出来るように作動せしめられ得る。好適な実施例において、
末端作動体４４をカセット２６Ｌ、２６Ｒに挿入するために、コントローラ５２
はカセット２６Ｌ、２６Ｒの開口部と共にリスト部４２を半径方向に整列させる
ために肩部４０の回りに最初に単体としてのアームアセンブリ２５全体を回転さ
せ（「Ｔ」運動）、「Ｔ」運動の終了後、カセット２６Ｌ、２６Ｒに末端作動体
４４を挿入するために半径方向に沿って、実質的にアームアセンブリ２５を伸展
する（「Ｒ」運動）。本実施例において、位置Ｄにおける肩部４０に対するカセ
ット２６Ｌ、２６Ｒの内側部１２７Ｌ、１２７Ｒ（図２参照）の位置は、側部１
２７Ｌ、１２７Ｒがカセット２６Ｌ、２６Ｒ内に実質的に単一の半径方向に沿っ
て末端作動体４４を並進させることを妨げないようなものである。別の実施例に
おいては、カセットの内側の位置がアームアセンブリ２５の「Ｒ」移動を妨げる
ところでは、末端作動体４４はカセットに対応する基板除去／挿入軸Ｘ１、Ｘ２
に対して小さい角度の軸に沿って、カセットに対して末端作動体を並進させるこ
とによりカセットに挿入される。このことは、末端作動体４４の中心のまっすぐ
なＸ軸運動を提供する、「Ｒ」及び「Ｔ」の複合運動をなすようにアームアセン
ブリ２５を動かすコントローラ５２によって達成される。カセット２６Ｌ、２６
Ｒ中に末端作動体４４が存在する状態において、末端作動体４４は基板Ｓを捕ら
える。一旦、基板Ｓが末端作動体４４によって捕えられると、可動アームアセン
ブリ２５はカセット２６Ｌ、２６Ｒへ基板Ｓを移動するために作動せしめられる
。末端作動体４４によって保持される基板Ｓは対応する基板除去軸Ｘ１、Ｘ２に
実質的に沿ってカセット２６Ｌ、２６Ｒから移動される。よって、基板Ｓの除去
はカセット２６Ｌ、２６Ｒへの末端作動体４４の挿入経路とは異なる経路に沿う
（図２Ｂ−２Ｃ及び３Ｂ−３Ｃ参照）。軸Ｘ１、Ｘ２に実質的に沿って末端作動
体４４上の基板Ｓを移動するために、可動アームアセンブリ２５は、「Ｒ」及び
「Ｔ」の複合運動において移動される（図２Ａ−２Ｂ及び３Ａ−３Ｂ参照）。コ
ントローラ５２は２本の駆動軸４６、４８の旋回速度および方向を制御し、実質
的に軸Ｘ１、Ｘ２に沿ってカセット２６Ｌ、２６Ｒからの基板Ｓの移動を招来す
る「Ｒ」および「Ｔ」の複合運動でのアームアセンブリ２５の移動をなす。基板
Ｓがカセット２６Ｌ、２６Ｒの外に出た後、可動アームアセンブリ２５はロード
ロック１２に基板Ｓを搬送する。図２Ｂ及び３Ｂに示すように、肩部４０の位置
Ｄが実質的にロードロック１２の前にあるならば、肩部４０は位置Ｄの場所にと
どまり、そしてアームアセンブリ２５は一連の「Ｔ」運動および「Ｒ」運動を経
ることによって基板Ｓを移動する。もし肩部４０の位置Ｄが実質的にロードロッ
ク１２の正面でなくむしろ隣接しているならば、可動アームアセンブリ２５は肩
部４０の位置Ｄにとどまっているままで「Ｒ」及び「Ｔ」の複合運動を経ること
によって、ロードロックに基板Ｓを移動する。さもなければ、ロードロック１２
に基板Ｓを搬送するために、カー２２は位置Ｄから異なる位置まで可動アームア
センブリ２５の肩部４０を移動することで、アームアセンブリが基板をロードロ
ック１２に挿入することができる。ロードロック１２における基板Ｓの解放に続
き、可動アームアセンブリ２５は末端作動体４４を上記の通りにカセット２６Ｌ
、２６Ｒに戻す。カセット２６Ｌ、２６Ｒが空になるまで、上記の一連のステッ
プは必要に応じて繰り返される。加えて、カセット２６Ｌ、２６Ｒとロードロッ
ク１２との間における基板の転送は、一度に１つのカセットになされる必要はな
い。それは、既述したように、位置Ｄから可動アームアセンブリ２５は左上のカ
セット２６Ｌと右上のカセット２６Ｒのいずれに対する基板の出し入れをするこ
とも可能であるからである。よって、カセットから基板を取り出す間、基板は、
位置Ｄから肩部４０を再配置することなく、順番に左右のカセット２６Ｌ、２６
Ｒ双方から移動され得る。あるいは、基板はアームアセンブリ２５の搬送サイク
ルの前半において１つのカセット２６Ｌ、２６Ｒから移動され得る。そして異な
る（すなわち既処理の）基板はアームアセンブリ２５の肩部４０が位置Ｄにとど
まっている間、搬送サイクルの戻りまたは後半において隣接しているカセット２
６Ｒ、２６Ｌに戻され得る。
【００１８】
アームアセンブリ２５の肩部４０が位置Ｄに設置されたカセット２６Ｌ、２６
Ｒそれぞれに基板を戻す際に、アームアセンブリ２５の末端作動体４４に保持さ
れる基板Ｓはまた、実質的に軸Ｘ１、Ｘ２に沿ってカセット２６Ｌ、２６Ｒに挿
入される。実質的に軸Ｘ１、Ｘ２に沿ってカセット２６Ｌ、２６Ｒに基板Ｓを移
動するために、アームアセンブリ２５は再び「Ｒ」及び「Ｔ」の複合運動を、逆
に、軸Ｘ１、Ｘ２に沿ってカセットから基板を移動するために実行される「Ｒ」
及び「Ｔ」の複合運動を、実行する（図２Ａ−２Ｂ及び３Ａ−３Ｂ参照）。基板
Ｓがカセット２６Ｌ、２６Ｒにおける末端作動体４４によって解放された後、末
端作動体４４はアームアセンブリを格納するだけ（「Ｒ」運動のみ）でカセット
から取り戻される。よって、基板解放後の末端作動体４４の取下げは、カセット
２６Ｌ、２６Ｒへの基板の挿入経路とは異なる経路に沿ってなされる（図２Ｂ−
２Ｃ及び３Ｂ−３Ｃ参照）。図２Ａ−２Ｃ及び３Ａ−３Ｃは装置のフレーム２０
の側面に設置される２つのカセット２６Ｌ、２６Ｒの中そして外へ基板を移動す
る可動アームアセンブリ２５を示しており、並んだカセット２６のいずれかの２
つの中そして外へ基板を移動する際のアームアセンブリ２５の手順及び運動は、
本質的に図２Ａ−２Ｃと３Ａ−３Ｃに示された、かつ上述されたものと同じであ
る。
Ｒそれぞれに基板を戻す際に、アームアセンブリ２５の末端作動体４４に保持さ
れる基板Ｓはまた、実質的に軸Ｘ１、Ｘ２に沿ってカセット２６Ｌ、２６Ｒに挿
入される。実質的に軸Ｘ１、Ｘ２に沿ってカセット２６Ｌ、２６Ｒに基板Ｓを移
動するために、アームアセンブリ２５は再び「Ｒ」及び「Ｔ」の複合運動を、逆
に、軸Ｘ１、Ｘ２に沿ってカセットから基板を移動するために実行される「Ｒ」
及び「Ｔ」の複合運動を、実行する（図２Ａ−２Ｂ及び３Ａ−３Ｂ参照）。基板
Ｓがカセット２６Ｌ、２６Ｒにおける末端作動体４４によって解放された後、末
端作動体４４はアームアセンブリを格納するだけ（「Ｒ」運動のみ）でカセット
から取り戻される。よって、基板解放後の末端作動体４４の取下げは、カセット
２６Ｌ、２６Ｒへの基板の挿入経路とは異なる経路に沿ってなされる（図２Ｂ−
２Ｃ及び３Ｂ−３Ｃ参照）。図２Ａ−２Ｃ及び３Ａ−３Ｃは装置のフレーム２０
の側面に設置される２つのカセット２６Ｌ、２６Ｒの中そして外へ基板を移動す
る可動アームアセンブリ２５を示しており、並んだカセット２６のいずれかの２
つの中そして外へ基板を移動する際のアームアセンブリ２５の手順及び運動は、
本質的に図２Ａ−２Ｃと３Ａ−３Ｃに示された、かつ上述されたものと同じであ
る。
【００１９】
次に、図５から明らかなように、アームアセンブリ２５が位置Ｄにおけるその
肩部４０（即ち回転軸Ｙ１）によって位置決めされる際に、可動アームアセンブ
リ２５はまた、３つの並んだ「開放」カセット２２６とロードロック１２との間
の基板移動のために使用され得る。先に示されたように、「開放」カセット２２
６は一般に３００ｍｍの半導体ウェーハを保持するために使用される。位置Ｄに
おける可動アームアセンブリ２５の肩部４０は、ほぼロードロック１２の前にあ
る２つのカセット２２６の間に設置される。例えば、図５は肩部４０（すなわち
位置Ｄ）が中心のカセット２２６Ｃと右外側のカセット２２６ＥＲとの間に設置
されることを示す。図５は３つのカセット２２６ＥＬ、２２６Ｃ、２２６ＥＲ各
々に設置される末端作動体４４を伴う３つの異なる位置へ伸展される可動アーム
アセンブリ２５を示す。３つのカセット２２６ＥＬ、２２６Ｃ、２２６ＥＲとロ
ードロック１２との間における基板移動のための手順は、図２Ａ−２Ｃ及び３Ａ
−３Ｃで示されるような並んだ２つのカセット２６Ｌ、２６Ｒから基板を移動す
るための先に記載されている手順と実質的に同様である。一旦、可動アームアセ
ンブリ２５が肩部４０が位置Ｄにある状態で位置決めされると、可動アームアセ
ンブリは「Ｒ」及び「Ｔ」の複合運動において作動せしめられ、実質的に対応す
る撤去／挿入軸Ｘ３、Ｘ４、Ｘ５に沿ってその対応するカセット２２６ＥＬ、２
２６Ｃ、２２６Ｒの中そして外へ基板を移動する。カセット２２６ＥＬ、２２６
Ｃ、２２６ＥＲそれぞれからの末端作動体４４の挿入および撤去は、対応するカ
セット２２６ＥＬ、２２６Ｃ、２２６ＥＲとアームアセンブリ２５の肩部４０と
の間で伸びている半径方向の軸に沿って、或いはカセットの撤去／挿入軸Ｘ３、
Ｘ４、Ｘ５と小さい角度をなす軸に沿ってされ得る。
肩部４０（即ち回転軸Ｙ１）によって位置決めされる際に、可動アームアセンブ
リ２５はまた、３つの並んだ「開放」カセット２２６とロードロック１２との間
の基板移動のために使用され得る。先に示されたように、「開放」カセット２２
６は一般に３００ｍｍの半導体ウェーハを保持するために使用される。位置Ｄに
おける可動アームアセンブリ２５の肩部４０は、ほぼロードロック１２の前にあ
る２つのカセット２２６の間に設置される。例えば、図５は肩部４０（すなわち
位置Ｄ）が中心のカセット２２６Ｃと右外側のカセット２２６ＥＲとの間に設置
されることを示す。図５は３つのカセット２２６ＥＬ、２２６Ｃ、２２６ＥＲ各
々に設置される末端作動体４４を伴う３つの異なる位置へ伸展される可動アーム
アセンブリ２５を示す。３つのカセット２２６ＥＬ、２２６Ｃ、２２６ＥＲとロ
ードロック１２との間における基板移動のための手順は、図２Ａ−２Ｃ及び３Ａ
−３Ｃで示されるような並んだ２つのカセット２６Ｌ、２６Ｒから基板を移動す
るための先に記載されている手順と実質的に同様である。一旦、可動アームアセ
ンブリ２５が肩部４０が位置Ｄにある状態で位置決めされると、可動アームアセ
ンブリは「Ｒ」及び「Ｔ」の複合運動において作動せしめられ、実質的に対応す
る撤去／挿入軸Ｘ３、Ｘ４、Ｘ５に沿ってその対応するカセット２２６ＥＬ、２
２６Ｃ、２２６Ｒの中そして外へ基板を移動する。カセット２２６ＥＬ、２２６
Ｃ、２２６ＥＲそれぞれからの末端作動体４４の挿入および撤去は、対応するカ
セット２２６ＥＬ、２２６Ｃ、２２６ＥＲとアームアセンブリ２５の肩部４０と
の間で伸びている半径方向の軸に沿って、或いはカセットの撤去／挿入軸Ｘ３、
Ｘ４、Ｘ５と小さい角度をなす軸に沿ってされ得る。
【００２０】
従来技術において、基板搬送装置のロボットはカセットの前に直接可動アーム
アセンブリの肩部を設置することによりカセットの中へ及びそこから外へ基板を
移動し、そしてアームアセンブリの単なる伸展または格納（即ちアームアセンブ
リの「Ｒ」移動のみ）により基板を移動してきた。このことは、基板がその特定
のカセットの中へ及びそこから外へ移動されるべき際にロボットが各々のカセッ
トの正面へ再配置されることを必要とした。アームアセンブリを再配置するため
に必要とされた追加の時間は、従来技術の装置のスループットを減少させた。別
な方法では、従来技術のロボット可動アームアセンブリは、リスト部に対して独
立して可動アームアセンブリのリスト延長部を回転させるために別々に独立した
駆動システムを備えていて、そのリスト部はこれらの型のアームアセンブリがカ
セットの前に直接アームの肩部を配置することなしに、カセットの中へ及びそこ
から外へ基板を移動するのを可能にした。しかしながら追加された駆動システム
は、アームアセンブリのリスト延長部に対して従来技術の搬送装置の複雑さとコ
ストの増加を必要とした。本発明は、可動アームアセンブリ２５が、各々のカセ
ットの正面へ可動アームアセンブリ２５を再配置することなしにカセット２６の
中へ及びそこから外へ基板を移動することが可能になったことで従来技術の課題
を解決し、基板はそのカセットに対して、リスト部に対して独立してリスト延長
部を回転することに専従している追加の独立駆動システムなしで往復移動される
。
アセンブリの肩部を設置することによりカセットの中へ及びそこから外へ基板を
移動し、そしてアームアセンブリの単なる伸展または格納（即ちアームアセンブ
リの「Ｒ」移動のみ）により基板を移動してきた。このことは、基板がその特定
のカセットの中へ及びそこから外へ移動されるべき際にロボットが各々のカセッ
トの正面へ再配置されることを必要とした。アームアセンブリを再配置するため
に必要とされた追加の時間は、従来技術の装置のスループットを減少させた。別
な方法では、従来技術のロボット可動アームアセンブリは、リスト部に対して独
立して可動アームアセンブリのリスト延長部を回転させるために別々に独立した
駆動システムを備えていて、そのリスト部はこれらの型のアームアセンブリがカ
セットの前に直接アームの肩部を配置することなしに、カセットの中へ及びそこ
から外へ基板を移動するのを可能にした。しかしながら追加された駆動システム
は、アームアセンブリのリスト延長部に対して従来技術の搬送装置の複雑さとコ
ストの増加を必要とした。本発明は、可動アームアセンブリ２５が、各々のカセ
ットの正面へ可動アームアセンブリ２５を再配置することなしにカセット２６の
中へ及びそこから外へ基板を移動することが可能になったことで従来技術の課題
を解決し、基板はそのカセットに対して、リスト部に対して独立してリスト延長
部を回転することに専従している追加の独立駆動システムなしで往復移動される
。
【００２１】
前述の説明は発明を説明するためだけであることが理解されなければならない
。様々な代替物および変更態様は、発明から逸脱することなく当業者によって考
案され得る。したがって、本発明は添付された請求の範囲内にある代替、修正及
び変形の全てを包含することを企図する。
。様々な代替物および変更態様は、発明から逸脱することなく当業者によって考
案され得る。したがって、本発明は添付された請求の範囲内にある代替、修正及
び変形の全てを包含することを企図する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の特徴を持った処理装置に対する基板の持込及び持出搬送をな
すための装置の概略平面図である。
すための装置の概略平面図である。
【図２Ａ】アームアセンブリが第１の基板貯蔵エリアの中へ及びそこから外へ
アームアセンブリに保持された基板を移動する際のある１つの位置の可動アーム
アセンブリを示す、図１に示される装置の部分的な概略平面図の第１の組である
。
アームアセンブリに保持された基板を移動する際のある１つの位置の可動アーム
アセンブリを示す、図１に示される装置の部分的な概略平面図の第１の組である
。
【図２Ｂ】アームアセンブリが第１の基板貯蔵エリアの中へ及びそこから外へ
アームアセンブリに保持された基板を移動する際のもう１つの位置の可動アーム
アセンブリを示す、図１に示される装置の部分的な概略平面図の第１の組である
。
アームアセンブリに保持された基板を移動する際のもう１つの位置の可動アーム
アセンブリを示す、図１に示される装置の部分的な概略平面図の第１の組である
。
【図２Ｃ】基板の保持なしに第１の基板貯蔵エリアに対するアームの往復移動
する際の第３の位置の可動アームアセンブリを示す、図１に示される装置のもう
１つの部分的な概略平面図である。
する際の第３の位置の可動アームアセンブリを示す、図１に示される装置のもう
１つの部分的な概略平面図である。
【図３Ａ】アームアセンブリが第２の基板貯蔵エリアの中へ及びそこから外へ
アームアセンブリに保持された基板を移動する際のある１つの位置の可動アーム
アセンブリを示す、図１に示される装置の部分的な概略平面図の第２の組である
。
アームアセンブリに保持された基板を移動する際のある１つの位置の可動アーム
アセンブリを示す、図１に示される装置の部分的な概略平面図の第２の組である
。
【図３Ｂ】アームアセンブリが第２の基板貯蔵エリアの中へ及びそこから外へ
アームアセンブリに保持された基板を移動する際のもう１つの位置の可動アーム
アセンブリを示す、図１に示される装置の部分的な概略平面図の第２の組である
。
アームアセンブリに保持された基板を移動する際のもう１つの位置の可動アーム
アセンブリを示す、図１に示される装置の部分的な概略平面図の第２の組である
。
【図３Ｃ】基板の保持なしに第２の基板貯蔵エリアに対するアームの往復移動
する際の第３の位置の可動アームアセンブリを示す、図１に示される装置のもう
１つの部分的な概略平面図である。
する際の第３の位置の可動アームアセンブリを示す、図１に示される装置のもう
１つの部分的な概略平面図である。
【図４】図１に示される装置の可動アームアセンブリの概略斜視図である。そ
して
して
【図５】３つの異なる基板記憶域に対応する３つの異なる位置において延長さ
れる可動アームアセンブリを示す、図１に示される装置の部分的な概略平面図で
ある。
れる可動アームアセンブリを示す、図１に示される装置の部分的な概略平面図で
ある。
【手続補正書】
【提出日】平成１３年８月８日（２００１．８．８）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ，
ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ
Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ
，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ，
ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ
Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＵＧ，ＺＷ)，Ｅ
Ａ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ
，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ
，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ，
ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，Ｇ
Ｅ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ
，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，
ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，Ｍ
Ｎ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ
，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，
ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，Ｚ
Ｗ
Ｆターム(参考） 3C007 AS03 AS24 BS15 CS03 CV07
CW07 ES17 LV04 NS09 NS13
5F031 CA02 CA05 FA01 FA02 FA07
FA11 FA17 GA02 GA45 GA47
GA48 GA50 MA03 MA06 MA13
NA05 PA02
Claims (23)
- 【請求項１】 基板処理装置の基板保持エリアに対する基板の持込及び持出搬
送をなす方法であって、 搬送アームのリスト部に回転可能に搭載されている末端作動体上に前記基板を
提供する提供ステップと、 前記搬送アームの肩部において回転軸の回りに前記搬送アームを回転させるこ
とにより、 前記回転軸の回りに前記リスト部を回転せしめる回転ステップと、 前記搬送アームを移動することにより、前記搬送アームの前記肩部において前
記回転軸に対して前記搬送アームの前記リスト部を半径方向に移動せしめる移動
ステップとからなり、 前記搬送アームを移動せしめる移動ステップが前記リスト部の回りに前記末端
作動体を回転させることで、前記搬送アームの前記肩部における前記回転回りの
前記リスト部の回転と共に前記搬送アームの前記肩部において前記回転軸の回り
に前記基板を回転させることを特徴とする方法。 - 【請求項２】 移動と回転のステップが相互に調和し、それにより前記末端作
動体上にある前記基板が前記基板保持エリアの基板搬送路を通って延伸している
並進軸に沿って、前記基板保持エリアに対して実質的に直線的に並進することを
特徴とする請求項１記載の方法。 - 【請求項３】 前記基板処理装置は、相互に並んで設置される前記基板保持エ
リアのうちの少なくとも２つを有し、前記搬送アームは前記基板保持エリアの各
々の２つに対する基板の持込及び持出搬送をなし、前記搬送アームが前記基板保
持エリアの各々の２つに対する基板の持込及び持出搬送をなす際に、前記搬送ア
ームの前記肩部における前記回転軸は前記２つの基板保持エリアの１つの位置に
とどまることを特徴とする請求項１記載の方法。 - 【請求項４】 前記搬送アームは上部アームリンク及び下部アームリンクから
成る関節でつながれたアームであることと、前記移動ステップは前記上部アーム
リンクに対して前記下部アームリンクを独自に回転せしめるステップから成るこ
とを特徴とする請求項１記載の方法。 - 【請求項５】 基板保持エリアに対する基板の持込及び持出搬送をなす方法で
あって、 搬送アームの末端作動体上に前記基板を提供する提供ステップと、 回転軸の回りに前記搬送アームを単体として回転させる回転ステップと、 前記回転軸に対して半径方向に前記末端作動体を移動するために前記搬送アー
ムの前記末端作動体を移動させる移動ステップから成る方法であり、 前記末端作動体を移動させる前記移動ステップは、前記回転軸の回りに前記搬
送アームを回転させる前記回転ステップを補償し、これにより前記基板が前記基
板保持エリアに対する実質的な直線の並進運動をなすことを特徴とする方法。 - 【請求項６】 基板保持チャンバに対する基板の持込及び持出搬送をなす方法
であって、 第１の位置へ搬送アームの末端作動体を配置する配置ステップと、 第１の経路に沿って前記第１の位置と第２の位置との間において前記末端作動
体を移動することにより、前記基板保持チャンバの開口部を通しての前記末端作
動体上の基板を軸方向に並進させる移動ステップとからなり、その際前記基板は
前記第１の経路に沿って軸方向に並進せしめることを特徴とし、 前記末端作動体を第２の位置から前記基板保持チャンバの前記開口部を通して
第２の経路に沿って前記第１の位置へ返還する返還ステップからなり、その際、
前記基板保持チャンバの前記開口部を通って延びている前記第２の経路の１部分
は前記基板保持チャンバの前記開口部を通って延びている前記第１の経路の相当
する１部分とは異なっていることを特徴とする方法。 - 【請求項７】 前記基板保持チャンバの前記開口部を通って延びている前記第
２の経路の前記１部分が、前記基板保持チャンバに前記搬送アームの肩部におけ
る前記搬送アームの旋回軸を接続している軸の１部によってその軌道がほぼ描か
れることを特徴とする請求項６記載の方法。 - 【請求項８】 基板搬送装置であって、 駆動部と、 前記駆動部に搭載されたロボット搬送アームとからなり、前記ロボット搬送ア
ームは、リスト部及びその上に基板を保持するため末端作動体を有し、前記末端
作動体は前記リスト部の回りを回転するよう前記リスト部に回転可能に搭載され
ており、前記リスト部の回りの前記末端作動体の回転は、前記ロボット搬送アー
ムに従属し、 前記ロボット搬送アームは、２つのほぼ並んで方向付けられた基板保持エリア
内にそしてそこから外へ基板を搬送し、前記駆動部は前記２つの保持エリアに対
して唯一の位置に設置されていることを特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項９】 前記末端作動体は前記ロボット搬送アームに従属し、これによ
り前記末端作動体が前記ロボット搬送アームに対して前記リスト部の回りに回転
する際、前記末端作動体及び前記リスト部上の前記基板が前記駆動部の回りに実
質的に等しい速度で回転することを特徴とする請求項８記載の基板搬送装置。 - 【請求項１０】 前記ロボット搬送アームは前記駆動部の駆動軸に搭載され、
前記末端作動体は前記ロボット搬送アームに従属することで、前記ロボット搬送
アームが前記駆動軸に対して前記末端作動体を半径方向に並進させる際に、前記
末端作動体が前記リスト部の回りに自動的に回転させられることを特徴とする請
求項８記載の基板搬送装置。 - 【請求項１１】 前記末端作動体が前記リスト部の回りに回転することで前記
基板を前記リスト部の回りに回転させ、これにより前記基板が前記リスト部の回
りに回転する際に、前記基板、前記リスト部、及び前記駆動軸がほぼ整列してい
ることを特徴とする請求項１０記載の基板搬送装置。 - 【請求項１２】 前記ロボット搬送アームは上部アームリンク及び下部アーム
リンクを含む間接アームであり、前記上部アームリンクは前記ロボット搬送の肩
部から前記ロボット搬送アームの肘部まで伸びており、前記下部アームリンクは
前記肘部から前記ロボット搬送アームの前記リスト部まで伸びており、前記ロボ
ット搬送アームは前記駆動部の前記駆動軸の肩部に搭載されていることを特徴と
する請求項８記載の基板搬送装置。 - 【請求項１３】 前記上部アームリンクは前記駆動軸に搭載されて前記駆動軸
と調和して回転し、前記下部アームリンクは前記上部アームリンクに回転可能に
搭載されて前記上部アームリンクに対して回転することを特徴とする請求項１２
記載の基板搬送装置。 - 【請求項１４】 前記ロボット搬送アームは前記末端作動体を前記リスト部の
回りに自動的に回転する手段を備えており、前記末端作動体を自動的に回転する
前記手段は前記下部アームリンクを前記末端作動体に統合させて、前記リスト部
の回りの前記末端作動体の回転を前記肘部の回りの前記下部アームリンクの回転
に従属させていることを特徴とする請求項１２記載の基板搬送装置。 - 【請求項１５】 前記上部アームリンク及び前記下部アームリンクが互いに独
立して回転させられ、前記ロボット搬送アームが２つの前記基板保持エリアに対
する基板の持込及び持出搬送をなすことを特徴とする請求項１２に記載の基板搬
送装置。 - 【請求項１６】 前記ロボット搬送アームは各々の保持エリアに対応する並進
軸に沿って各々の２つの前記基板保持エリアに対する実質的な直線的な基板の持
込及び持出搬送をなすことを特徴とする請求項８に記載の基板搬送装置。 - 【請求項１７】 ２つの前記基板保持エリアの前記並進軸は実質的に互いに平
行であることを特徴とする請求項１６記載の基板搬送装置。 - 【請求項１８】 前記ロボット搬送アームが２つの前記基板保持エリアに対す
る基板の持込及び持出搬送をなす際、前記駆動部が２つの前記基板保持エリアに
おける並進軸の間に位置決めされることを特徴とする請求項１７記載の基板搬送
装置。 - 【請求項１９】 多数の並んだ基板貯蔵エリアを有するフレームと、前記基板
貯蔵エリアと基板保持エリアとの間の基板搬送に前記フレームに回動可能に搭載
されるロボット搬送アームと、から成り、基板処理装置において前記ロボット搬
送アームは、末端作動体及びリスト部を有し、前記末端作動体は、前記ロボット
搬送アームの前記リスト部に回動可能に搭載されており、 前記ロボット搬送アームは前記基板貯蔵エリアの２つの各々に対応する並進軸
に沿って多数並んだ前記基板貯蔵エリアの少なくとも２つに対する基板の実質的
に直線的な往復移動をなし、前記ロボット搬送アームが２つの前記基板貯蔵エリ
ア各々に対する基板の実質的に直線的な往復移動をなす際、前記ロボット搬送ア
ームが前記フレームに対して旋回する軸は前記フレームに対して１つの位置にと
どまり、そして前記ロボット搬送アームが基板貯蔵エリア各々に対する基板の実
質的に直線的な往復移動をなす際に、前記末端作動体は前記ロボット搬送アーム
に従属して前記リスト部に対して自動的に回転することを特徴とする装置。 - 【請求項２０】 前記ロボット搬送アームが２つの前記基板記憶エリア各々に
対する基板の実質的に直線的な往復移動をなす際、前記ロボット搬送アームが旋
回する前記軸は、２つの前記基板貯蔵エリアにおける前記並進軸の間に位置決め
されることを特徴とする請求項１９記載の基板搬送装置。 - 【請求項２１】 ２つの前記基板貯蔵エリアにおける２本の前記並進軸が実質
的に互いに平行であることを特徴とする請求項１９記載の基板搬送装置。 - 【請求項２２】 前記ロボット搬送アームが上部アーム及び下部アームから成
る関節アームであり、前記上部アームは前記ロボット搬送アームが旋回する前記
軸に対して独自に回転可能であり、前記下部アームは前記上部アームと連係して
独自に回転可能であることを特徴とする請求項１９記載の基板搬送装置。 - 【請求項２３】 基板搬送装置であって、 その上に基板を保持する末端作動体を有するロボット搬送アームと、 第１の回転軸の回りに前記ロボット搬送アームを回転させるための手段であっ
て、前記回転軸の回りに単体で前記ロボット搬送アームが回転するよう前記ロボ
ット搬送アームに駆動するように接続している第１の駆動メカニズムから成る前
記ロボット搬送アームを回転させるための手段と、 前記ロボット搬送アームの前記末端作動体を直線的に移動するための手段であ
って、前記回転軸に対して実質的に半径方向に前記末端作動体を移動するために
前記ロボット搬送アームに駆動するように接続している第２の駆動メカニズムか
ら成る前記末端作動体を移動するための手段と、 前記ロボット搬送アームを回転させる手段及び末端作動体を移動する手段を制
御して、前記回転軸に対して前記末端作動体の半径方向の移動を伴う前記回転軸
回りの前記ロボット搬送アームの複合回転を提供して、基板保持チャンバに対す
る基板のほぼ直線である往復の並進を招来する、コントローラと、 から成る基板搬送装置。
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|---|---|---|---|
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|---|---|
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Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002166376A (ja) * | 2000-11-30 | 2002-06-11 | Hirata Corp | 基板搬送用ロボット |
| JP2009503811A (ja) * | 2005-07-11 | 2009-01-29 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 不等長リンクスカラアーム |
| JP2011161629A (ja) * | 2011-06-03 | 2011-08-25 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 基板搬送ロボット |
| JP2012035408A (ja) * | 2011-11-09 | 2012-02-23 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 基板搬送ロボット |
| KR20180126606A (ko) * | 2016-04-12 | 2018-11-27 | 반알엑스 파마시스템즈 인크. | 동결건조 시스템을 적재하기 위한 방법 및 장치 |
| WO2020138017A1 (ja) * | 2018-12-28 | 2020-07-02 | 川崎重工業株式会社 | ロボット制御装置、ロボットシステム及びロボット制御方法 |
| JP2021525960A (ja) * | 2018-05-31 | 2021-09-27 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 基板搬送装置 |
| WO2023140259A1 (ja) * | 2022-01-21 | 2023-07-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置および搬送方法 |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20050019445A (ko) * | 2003-08-19 | 2005-03-03 | 삼성전자주식회사 | 맵핑 장치 및 그 제어 방법 |
| US10086511B2 (en) | 2003-11-10 | 2018-10-02 | Brooks Automation, Inc. | Semiconductor manufacturing systems |
| US20050111956A1 (en) | 2003-11-10 | 2005-05-26 | Blueshift Technologies, Inc. | Methods and systems for reducing the effect of vibration in a vacuum-based semiconductor handling system |
| US20070269297A1 (en) | 2003-11-10 | 2007-11-22 | Meulen Peter V D | Semiconductor wafer handling and transport |
| US7458763B2 (en) | 2003-11-10 | 2008-12-02 | Blueshift Technologies, Inc. | Mid-entry load lock for semiconductor handling system |
| US9122272B2 (en) | 2006-10-06 | 2015-09-01 | Dynamic Micro Systems | Redundantable robot assembly for workpiece transfer |
| US8182198B2 (en) * | 2006-10-06 | 2012-05-22 | Dynamic Micro Systems Semiconductor Equipment Gmbh | Redundantable robot assembly for workpiece transfer |
| KR20150038360A (ko) * | 2007-05-18 | 2015-04-08 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 빠른 교환 로봇을 가진 컴팩트 기판 운송 시스템 |
| US8777547B2 (en) * | 2009-01-11 | 2014-07-15 | Applied Materials, Inc. | Systems, apparatus and methods for transporting substrates |
| US9076830B2 (en) | 2011-11-03 | 2015-07-07 | Applied Materials, Inc. | Robot systems and apparatus adapted to transport dual substrates in electronic device manufacturing with wrist drive motors mounted to upper arm |
| US10224232B2 (en) | 2013-01-18 | 2019-03-05 | Persimmon Technologies Corporation | Robot having two arms with unequal link lengths |
| WO2014113364A1 (en) * | 2013-01-18 | 2014-07-24 | Persimmon Technologies, Corp. | Robot having arm with unequal link lengths |
| US9149936B2 (en) | 2013-01-18 | 2015-10-06 | Persimmon Technologies, Corp. | Robot having arm with unequal link lengths |
| US11691268B2 (en) | 2015-03-12 | 2023-07-04 | Persimmon Technologies Corporation | Robot having a variable transmission ratio |
| US10629472B2 (en) | 2017-08-17 | 2020-04-21 | Persimmon Technologies Corporation | Material handling robot |
| US11031269B2 (en) * | 2019-08-22 | 2021-06-08 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Substrate transport robot, substrate transport system, and substrate transport method |
| WO2021048957A1 (ja) * | 2019-09-11 | 2021-03-18 | 株式会社Ｆｕｊｉ | 多関節ロボット、多関節ロボットの制御方法及び多関節ロボットの制御プログラム |
| US11413744B2 (en) | 2020-03-03 | 2022-08-16 | Applied Materials, Inc. | Multi-turn drive assembly and systems and methods of use thereof |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0728962U (ja) * | 1993-10-29 | 1995-05-30 | 日新電機株式会社 | 基板処理装置用のエンドステーション |
| JPH08172034A (ja) * | 1993-11-30 | 1996-07-02 | Tokyo Electron Ltd | 真空処理装置 |
| JPH08306761A (ja) * | 1995-04-27 | 1996-11-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板交換方法 |
| JPH09162263A (ja) * | 1995-10-05 | 1997-06-20 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置及びこれに用いる基板搬送装置 |
| JPH09168985A (ja) * | 1995-12-18 | 1997-06-30 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 水平多関節ロボット |
| WO1997024760A1 (fr) * | 1995-12-28 | 1997-07-10 | Nippon Sanso Corporation | Procede et dispositif de transfert de substrats en plaques minces |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4702668A (en) * | 1985-01-24 | 1987-10-27 | Adept Technology, Inc. | Direct drive robotic system |
| JPH0616977B2 (ja) * | 1985-12-06 | 1994-03-09 | 豊田工機株式会社 | パレツト搬入搬出装置 |
| US4715921A (en) | 1986-10-24 | 1987-12-29 | General Signal Corporation | Quad processor |
| US5513946A (en) * | 1991-08-27 | 1996-05-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Clean robot |
| US5404894A (en) | 1992-05-20 | 1995-04-11 | Tokyo Electron Kabushiki Kaisha | Conveyor apparatus |
| US5431529A (en) | 1992-12-28 | 1995-07-11 | Brooks Automation, Inc. | Articulated arm transfer device |
| DE69304038T2 (de) | 1993-01-28 | 1996-12-19 | Applied Materials Inc | Vorrichtung für ein Vakuumverfahren mit verbessertem Durchsatz |
| KR100267617B1 (ko) * | 1993-04-23 | 2000-10-16 | 히가시 데쓰로 | 진공처리장치 및 진공처리방법 |
| US5741113A (en) * | 1995-07-10 | 1998-04-21 | Kensington Laboratories, Inc. | Continuously rotatable multiple link robot arm mechanism |
| US5789890A (en) * | 1996-03-22 | 1998-08-04 | Genmark Automation | Robot having multiple degrees of freedom |
| US5765983A (en) | 1996-05-30 | 1998-06-16 | Brooks Automation, Inc. | Robot handling apparatus |
-
1998
- 1998-09-30 US US09/163,844 patent/US6960057B1/en not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-08-18 JP JP2000572055A patent/JP4959053B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1999-08-18 KR KR1020017004014A patent/KR101244008B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1999-08-18 AU AU56847/99A patent/AU5684799A/en not_active Abandoned
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- 1999-08-18 WO PCT/US1999/019097 patent/WO2000018547A1/en active Application Filing
- 1999-08-24 TW TW088114455A patent/TW442367B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0728962U (ja) * | 1993-10-29 | 1995-05-30 | 日新電機株式会社 | 基板処理装置用のエンドステーション |
| JPH08172034A (ja) * | 1993-11-30 | 1996-07-02 | Tokyo Electron Ltd | 真空処理装置 |
| JPH08306761A (ja) * | 1995-04-27 | 1996-11-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板交換方法 |
| JPH09162263A (ja) * | 1995-10-05 | 1997-06-20 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置及びこれに用いる基板搬送装置 |
| JPH09168985A (ja) * | 1995-12-18 | 1997-06-30 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 水平多関節ロボット |
| WO1997024760A1 (fr) * | 1995-12-28 | 1997-07-10 | Nippon Sanso Corporation | Procede et dispositif de transfert de substrats en plaques minces |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002166376A (ja) * | 2000-11-30 | 2002-06-11 | Hirata Corp | 基板搬送用ロボット |
| US10406679B2 (en) | 2005-07-11 | 2019-09-10 | Brooks Automation, Inc | Unequal link SCARA arm |
| JP2009503811A (ja) * | 2005-07-11 | 2009-01-29 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 不等長リンクスカラアーム |
| KR101519642B1 (ko) | 2005-07-11 | 2015-05-12 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 불균등 링크 스카라 아암 |
| US9248568B2 (en) | 2005-07-11 | 2016-02-02 | Brooks Automation, Inc. | Unequal link SCARA arm |
| JP2011161629A (ja) * | 2011-06-03 | 2011-08-25 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 基板搬送ロボット |
| JP2012035408A (ja) * | 2011-11-09 | 2012-02-23 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 基板搬送ロボット |
| KR102123998B1 (ko) * | 2016-04-12 | 2020-06-24 | 반알엑스 파마시스템즈 인크. | 동결건조 시스템을 적재하기 위한 방법 및 장치 |
| KR20180126606A (ko) * | 2016-04-12 | 2018-11-27 | 반알엑스 파마시스템즈 인크. | 동결건조 시스템을 적재하기 위한 방법 및 장치 |
| US11047622B2 (en) | 2016-04-12 | 2021-06-29 | Vanrx Pharmasystems Inc. | Method and apparatus for loading a lyophilization system |
| US11821687B2 (en) | 2016-04-12 | 2023-11-21 | Vanrx Pharmasystems Inc. | Method and apparatus for loading a lyophilization system |
| JP2021525960A (ja) * | 2018-05-31 | 2021-09-27 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 基板搬送装置 |
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| JPWO2020138017A1 (ja) * | 2018-12-28 | 2021-10-14 | 川崎重工業株式会社 | ロボット制御装置、ロボットシステム及びロボット制御方法 |
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