JP2003262672A - 放射線検出装置及びその製造方法 - Google Patents

放射線検出装置及びその製造方法

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Tomoyuki Tamura
知之 田村
Satoshi Okada
岡田  聡
Kazumi Nagano
和美 長野
Katsuro Takenaka
克郎 竹中
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高感度で、安価な放射線検出装置を得る。 【解決手段】 少なくとも、放射線を光に変換する蛍光
体層と、前記蛍光体層から発光した光を吸収し異なる波
長の光を放出する蛍光染料もしくは蛍光顔料を含有する
接着層と、波長変換された光を電気信号に変換する複数
の光電変換素子からなる光検出器とから構成されている
放射線検出装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、放射線検出装置と
その製造方法、および放射線検出システムに関し、特
に、X線撮影などに用いられる放射線検出装置とその製
造方法に関する。
【0002】なお、本明細書では、放射線は紫外光,可
視光,赤外光等の光、X線,α線,β線,γ線などの放
射線等を含むものである。
【0003】
【従来の技術】従来、X線を光に変換する蛍光体層を有
する放射線増感紙と感光層を有する放射線フィルムから
なる放射線検出装置が一般的にX線写真撮影に使用され
てきた。しかし、最近、蛍光体層からなるシンチレータ
と光電変換素子からなる2次元光検出器とを有するデジ
タル放射線検出装置が開発されている。このデジタル放
射線検出装置は、得られるデータがデジタルデータであ
るため画像処理が容易であり、ネットワーク化したコン
ピュータシステムに取り込むことによってデータの共有
化が図れ、画像デジタルデータを光磁気ディスク等に保
存すればフィルムを保存する場合に比べ保存スペースを
著しく減少でき、過去の画像の検索が容易にできる利点
がある。この際に患者の被爆線量を低減させるために
は、高感度で高鮮鋭な特性を有するデジタル放射線検出
装置が必要とされる。
【0004】例えば、特開平7−27865号公報にお
いては、2枚のシンチレータの間に光検出器を設けるこ
とによりデジタル放射線検出装置の感度を向上させてい
る。
【0005】また、例えば、特開平11−344599
号公報においては、蛍光体の発光光の500nm以下の
波長の光を吸収して、490〜600nmの波長の光に
変換し再発光する蛍光染料を含有する増感紙が開示され
ている。この増感紙を接着剤により2次元光検出器に貼
り合わせることで高感度なデジタル放射線検出装置が得
られることが考えられる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
7−27865号公報においては、感度を向上すること
はできるが、十分な画像鮮鋭度が得られない。その理由
は、光検出器の支持基板が十分な強度を得るためには、
数100μm以上の厚さを有する必要があり、光検出器
の裏面側のシンチレータから得られる蛍光は前記支持基
板を通過し光検出器に到達するため、その蛍光は拡散し
ぼけてしまい画像鮮鋭度が大きく劣化するためである。
【0007】また、特開平11−344599号公報に
おいては、蛍光染料が増感紙の蛍光体層または蛍光体層
の保護層に含有されているが、増感紙の蛍光体層に含有
されている場合、蛍光体層の保護層近傍の蛍光体から発
せられる蛍光は蛍光染料に十分捕獲されずに500nm
以下の波長の蛍光のまま保護層に入射するために、蛍光
体からの発光を完全に波長変換にさせることができず、
感度を最大限まで向上させることができなかった。また
蛍光体層の保護層に含有されている場合には、蛍光体か
らの光を完全に捕獲し波長変換し光検出器に入射するこ
とができるため、感度は最大限まで向上させることがで
きるが、この場合の構成としては、保護層と光検出器の
間に接着層を配置しなければ放射線検出装置としてなり
たたないため、その接着層の厚みにより鮮鋭度の低下が
生じていた。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の放射線検出装置
は、少なくとも、放射線を光に変換する蛍光体層と、前
記蛍光体層から発光した光を吸収し異なる波長の光を放
出する蛍光染料もしくは蛍光顔料を含有する接着層と、
波長変換された光を電気信号に変換する複数の光電変換
素子からなる光検出器とから構成されていることを特徴
とする。
【0009】また、上記光検出器がアモルファスシリコ
ンを用いた光電変換素子からなることを特徴とする。
【0010】また、上記蛍光染料もしくは蛍光顔料が5
00nm未満の波長の光を吸収して500〜600nm
の波長の光を再発光することを特徴とする。
【0011】また、前記接着層が、蛍光染料もしくは蛍
光顔料と接着剤もしくは粘着剤から構成されいることを
特徴とする。
【0012】さらに、本発明の放射線検出装置の製造方
法は、放射線を光に変換する蛍光体層と、上記蛍光体層
で変換された光を電気信号に変換する複数の光電変換素
子からなる光検出器と、上記蛍光体層と光検出器とを接
合し、蛍光染料もしくは蛍光顔料を含有する接着剤もし
くは粘着剤から構成されている接着層からなる放射線検
出装置の製造方法において、上記蛍光体層、接着層、及
び光検出器をロールによる一括で加圧成形で積層される
工程からなることを特徴とする。
【0013】すなわち、本発明は、アモルファスシリコ
ンからなる光電変換素子の光吸収スペクトルが500〜
600nmの波長で感度が高いことが判明したため、光
電変換素子と蛍光体層の間に蛍光体層から発光する光の
波長の中で500nmより短い波長を吸収し500〜6
00nmの波長の光に変換する光波長変換機能を持つ接
着層により接合することにより、光電変換素子の光吸収
感度の高い波長領域に一致させることができるため光波
長変換効率を十分必要な値で得ることができ、かつ、蛍
光体層と光検出器との接合を行う接着層に光波長変換機
能を持たせることができるため蛍光体層と光検出器の間
隔を非常に狭くでき、鮮鋭度を低下させずに感度を大幅
に向上させることができる。
【0014】さらに、本発明の放射線検出装置の製造方
法として、上記蛍光体層、接着層、及び光検出器を加圧
ロールによる一括で加圧成形することにより積層される
工程からなることにより非常に安価に製造することがで
きる。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態につい
て、図面に基づいて説明する。
【0016】図1は、本発明の実施形態の放射線検出装
置の断面図である。図1は、1〜4からなる光検出器5
と7〜9からなるシンチレータ10を光波長変換機能を
持つ接着層6を介して接合されている図である。図2
は、図1のシンチレータの製造方法を示す図である。
【0017】図1において、1はガラス基板などの絶縁
性を有する光検出器用基板、2はアモルファスシリコン
よりなる半導体薄膜を用いた光電変換素子であり、この
光電変換素子間隙3には光電変換素子からの電荷の読み
出しを制御するTFT等の半導体素子及び配線が配置さ
れ、4は光検出器内部の半導体素子を保護する光検出器
保護層であり、これらによって光検出器5を構成してい
る。
【0018】この際、光電変換素子2は、それぞれ10
0〜200μm角の大きさで20〜60μm程度の間隙
で配置している。
【0019】また、7は放射線を光に変換する蛍光体粒
子を含む蛍光体層であり、8は必要に応じて設けられ、
高感度が必要な場合には光反射層、高解像度が必要な場
合には光吸収層が設けられる。さらに9は蛍光体層と光
反射層の蛍光体支持基板であり、これらによってシンチ
レータ10を構成している。
【0020】接着層6には、蛍光体層から発光した光を
吸収し異なる波長の光を放出する光波長変換を行う蛍光
染料もしくは蛍光顔料と接着剤もしくは粘着剤から構成
され、上記蛍光染料または蛍光顔料としては、吸収スペ
クトルのピークが350〜500nmの範囲にあり、発
光スペクトルのピークはアモルファスシリコンからなる
光電変換素子の吸収波長である500〜600nmに一
致させることが必要である。
【0021】このよう材料としては、公知の染料または
顔料、例えば「染料便覧」(有機合成協会編、1970
年刊)、や「色材工学ハンドブック」(色材協会編、1
989年刊)に記載されている染料又は顔料が使用で
き、特に上記波長範囲に最も適合する材料としては、カ
ルボシアニン色素、キサンテン色素、トリアリーリルメ
タン色素、クマリン色素、フタルイミドまたはナフタル
イミド化合物が望ましい。
【0022】また、上記接着剤としては、公知の透明接
着剤が使用でき、例えば酢酸ビニル、エチレン、アクリ
ル酸、アクリルアミド等のビニルモノマーの重合体及び
/又は共重合体、ポリアミド、ポリエステル、エポキシ
等の熱可塑性接着剤、アミノ樹脂(ウレア樹脂、メラミ
ン樹脂)、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹
脂、熱硬化性ビニル樹脂等の熱硬化性接着剤、天然ゴ
ム、ニトリルゴム、クロロゴム、シリコーンゴム等のゴ
ム系接着剤が挙げられる。特にホットメルト型接着剤、
例えばエチレン−酢酸ビニル共重合体やエチレン−アク
リル酸共重合体、または粘着剤、例えばアクリル系、ス
チレン系、エポキシ系、シリコーン系粘着剤は製造工程
が簡略化でき好ましい。上記蛍光染料または蛍光顔料を
上記接着剤に必要に応じて熱を加え混合し本発明の接着
層の材料ができる。上記接着剤材料をダイコーター等の
シート成形装置により離型紙の上に5〜20μmの厚さ
でシート状に塗布し固化させ本発明の接着層を形成する
ための接着層シートが形成される。また、シート成形装
置により光検出器またはシンチレータに直接本接着層を
形成しても良い。使用する蛍光染料または蛍光顔料によ
り異なるが、上記蛍光染料または蛍光顔料の蛍光体に対
する添加量としては、概略0.001wt%以上が好ま
しく、混合される接着剤樹脂に対しては、0.5wt%
以下であることが好ましい。蛍光体に対し0.001w
t%以下では十分な波長変換量が得られず、また接着剤
樹脂に対して0.5wt%以上では樹脂との相溶性が悪
くかつ光透過が阻害されるため好ましくないためであ
る。
【0023】蛍光体層7は、例えばCaWO、Gd
S:Tb、BaSO:Pb等の蛍光体材料からな
る1〜20μm粒径の蛍光体粒子に透明樹脂を結合材と
して構成され、厚みは、蛍光体の材料により異なるが、
放射線を効率よく吸収するために概略50〜500μm
が設定されている。
【0024】光反射層8は、金属薄膜をスパッタ、蒸着
等の成膜方法により形成でき、または、高屈折率な金属
からなる微粒子、酸化珪素、酸化チタン、酸化アルミニ
ウム等の金属酸化物微粒子にバインダーとして透明樹脂
材料に混合した材料を蛍光体支持基板上にコーティング
し形成される。または上記微粒子を透明樹脂中に混合し
シート成形することにより光反射層を兼ねた蛍光体支持
基板が得られる。
【0025】蛍光体支持基板9は蛍光体層7の保護がで
きX線吸収が小さければどのような材料、形体でもよい
が、製造の容易性を考慮すると、樹脂フィルムが好まし
い、さらに光反射層8を兼ねていてもよい。
【0026】シンチレータは、例えば以下のように作製
される。まず、蛍光体材料からなる1〜20μm粒径の
蛍光体粒子に透明樹脂、溶剤及び必要に応じて分散剤、
消泡剤等の添加剤を加え混合し、蛍光体塗布液を作製す
る。この塗布液を光反射層8を予め形成した蛍光体支持
基板9上に、ドクターブレード法等のコーティング手法
を用いてシート成形することにより所定厚みの蛍光体層
7を形成し、シンチレータ10が作製できる。
【0027】さらに、蛍光体層の上に透明樹脂フィルム
を接着、透明樹脂薄膜を真空成膜等で形成し蛍光体保護
層を設けても良い。
【0028】光検出器の作製は、公知の方法、例えば、
特開平9−145845号公報等に開示されている方法
により作成できる。
【0029】図2に示されるように、上記光検出器5を
積層ステージ11の上に配置し、上記シンチレータ10
を吸着テーブル12に吸着し上記接着剤6を介して加圧
ロール13により一括で加圧成形することにより積層さ
れる工程からなることにより非常に安価に製造すること
ができる。
【0030】
【実施例】以下、本発明の実施例について、図面に基づ
いて説明する。
【0031】(実施例1)図1に示す放射線検出装置の
作製方法を以下に述べる。
【0032】厚さ1.0mmの光検出器用基板1である
無アルカリガラス基板上に、アモルファスシリコン光電
変換素子2とTFT等の電気素子からなる光電変換間隙
3を形成し、その上にSiNxよりなる半導体保護膜4
を形成して光検出器5を作製した。
【0033】蛍光体層の塗布溶液として平均粒径8μm
のGdS:Tbを100重量部、エチルセルロー
ス3重量部、テルピネオール20重量部、キシレン10
重量部をサンドミルで混合、分散し塗布溶液を作製し
た。
【0034】次に厚さ250μmの酸化チタンが練り込
まれた光反射性の蛍光体支持基板9上にドクターブレー
ドコータを使用して上記塗布溶液を用いて、乾燥後の重
量が80mg/cmとなるように塗布し、70℃、5
分の乾燥条件で乾燥を行い、シンチレータ10を作製し
た。
【0035】次に、エチレン−アクリル酸共重合体から
なるホットメルト型接着剤、100重量部に有機蛍光染
料(アルドリッチ社製:クマリン−6)を0.01重量
部加え150℃、30分間混練した後、ダイコーターに
より離型紙であるシリコーン樹脂離型剤がコートされた
ポリエチレンテレフタレートフィルム上に厚さ10μm
で塗布し蛍光染料含有接着層シートを作製した。
【0036】次に、上記光検出器5とシンチレータ10
を図2に示すロールラミネータにより接着層シートの離
型紙を剥離しながら、130℃で熱ラミネートして放射
線検出装置を作製した。
【0037】(実施例2)図1に示す他の放射線検出装
置の作製方法を以下に述べる。
【0038】光検出器5とシンチレータ10は実施例1
と同様に作製した。
【0039】次に、スチレン系ホットメルト粘着剤、1
00重量部に有機蛍光染料(アルドリッチ社製:クマリ
ン−6)を0.01重量部加え120℃、30分間混練
した後、ダイコーターにより光検出器5上に厚さ10μ
mで塗布し形成した。
【0040】次に、上記光検出器5とシンチレータ10
を図2に示すロールラミネータにより常温で貼り合わせ
放射線検出装置を作製した。
【0041】(比較例1)光検出器5とシンチレータ1
0は実施例1と同様に作製した。
【0042】次に、エチレン−アクリル酸共重合体から
なるホットメルト型接着剤だけでダイコーターにより離
型紙であるシリコーン樹脂離型剤がコートされたポリエ
チレンテレフタレートフィルム上に厚さ10μmで塗布
し接着層シートを作製した。
【0043】次に、上記光検出器5とシンチレータ10
を図2に示すロールラミネータにより接着層シートの離
型紙を剥離しながら、130℃で熱ラミネートして放射
線検出装置を作製した。
【0044】(比較例2)光検出器5は実施例1と同様
に作製した。
【0045】蛍光体層の塗布溶液として平均粒径8μm
のGdS:Tbを100重量部、エチルセルロー
ス3重量部、テルピネオール20重量部、キシレン10
重量部、有機蛍光染料(アルドリッチ社製:クマリン−
6)を0.003重量部をサンドミルで混合、分散し塗
布溶液を作製した。
【0046】次に厚さ250μmの酸化チタンが練り込
まれた光反射性の蛍光体支持基板9上にドクターブレー
ドコータを使用して上記塗布溶液を用いて、乾燥後の重
量が80mg/cmとなるように塗布し、70℃、5
分の乾燥条件で乾燥を行った。
【0047】次に、片面に5μm厚さのアクリル系ホッ
トメルト接着剤付きの厚さ6μmのポリエチレンテレフ
タレ−トフィルムを貼り合わせシンチレータ10を作製
した。
【0048】次に、エチレン−アクリル酸共重合体から
なるホットメルト型接着剤でダイコーターにより離型紙
であるシリコーン樹脂離型剤がコートされたポリエチレ
ンテレフタレートフィルム上に厚さ10μmで塗布し接
着層シートを作製した。
【0049】次に、上記光検出器5とシンチレータ10
を図2に示すロールラミネータにより接着層シートの離
型紙を剥離しながら、130℃で熱ラミネートして放射
線検出装置を作製した。
【0050】以上のように作製した放射線検出装置の特
性を測定した結果を表1に示す。感度、鮮鋭度は、水フ
ァントム10cmを通し、管電圧80kvpのX線で撮
影した。
【0051】鮮鋭度は、CTF(極光社製 テストチャ
ートtype7による2lp/mmでの値)であり、比
較例1を100とした。
【0052】
【表1】
【0053】表1より、比較例1に比べ、比較例2は蛍
光体層に蛍光染料を混合したために感度は向上したが、
実施例1,2に比べ十分な感度は得られず、実施例1,
2は鮮鋭度の低下が無く、感度の大幅な向上が得られ
た。
【0054】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の放射線検
出装置は、光電変換素子の光吸収感度の高い波長領域に
一致させることができるため光波長変換効率を十分必要
な値で得ることができ、かつ、蛍光体層と光検出器との
接合を行う接着層に光波長変換機能を持たせることがで
きるため蛍光体層と光検出器の間隔を非常に狭くでき、
鮮鋭度を低下させずに感度を大幅に向上させることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態の放射線検出装置の断面図で
ある。
【図2】本発明の実施形態の放射線検出装置の製造方法
の模式図である。
【符号の説明】
1 光検出器用基板 2 光電変換素子 3 光電変換素子間隙 4 光検出器保護層 5 光検出器 6 接着層 7 蛍光体層 8 光反射層 9 蛍光体層支持基板 10 シンチレータ 11 積層ステージ 12 吸着テーブル 13 加圧ロール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長野 和美 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 竹中 克郎 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 Fターム(参考) 2G088 FF02 FF04 FF05 FF06 GG16 GG19 JJ05 JJ37 5F088 AB05 BB03 BB07 EA04 EA08 HA15 LA08

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも、放射線を光に変換する蛍光
    体層と、前記蛍光体層から発光した光を吸収し異なる波
    長の光を放出する蛍光染料もしくは蛍光顔料を含有する
    接着層と、波長変換された光を電気信号に変換する複数
    の光電変換素子からなる光検出器とから構成されている
    ことを特徴とする放射線検出装置。
  2. 【請求項2】上記光検出器がアモルファスシリコンを用
    いた光電変換素子からなることを特徴とする請求項1に
    記載の放射線検出装置。
  3. 【請求項3】 上記蛍光染料もしくは蛍光顔料が500
    nm未満の波長の光を吸収して500〜600nmの波
    長の光を再発光することを特徴とする請求項1に記載の
    放射線検出装置。
  4. 【請求項4】 上記接着層が、蛍光染料もしくは蛍光顔
    料と接着剤もしくは粘着剤から構成されいることを特徴
    とする請求項1に記載の放射線検出装置。
  5. 【請求項5】 放射線を光に変換する蛍光体層と、前記
    蛍光体層で変換された光を電気信号に変換する複数の光
    電変換素子からなる光検出器と、前記蛍光体層と光検出
    器とを接合し、蛍光染料もしくは蛍光顔料を含有する接
    着剤もしくは粘着剤から構成されている接着層からなる
    放射線検出装置の製造方法において、上記蛍光体層、接
    着層、及び光検出器をロールによる一括で加圧成形する
    ことにより積層される工程からなることを特徴とする放
    射線検出装置の製造方法。
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