JP2003247984A - 有機ハロゲン化物濃度校正装置 - Google Patents
有機ハロゲン化物濃度校正装置Info
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- JP2003247984A JP2003247984A JP2002045801A JP2002045801A JP2003247984A JP 2003247984 A JP2003247984 A JP 2003247984A JP 2002045801 A JP2002045801 A JP 2002045801A JP 2002045801 A JP2002045801 A JP 2002045801A JP 2003247984 A JP2003247984 A JP 2003247984A
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- organic
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 例えばＰＣＢ処理設備の有機ハロゲン化物の
濃度を正確に測定するための有機ハロゲン化物濃度校正
装置を提供することを課題とする。 【解決手段】 内部に所定濃度の有機ハロゲン化物１１
を封入した標準容器１２と、該標準容器１２に上記封入
された有機ハロゲン化物１１を追い出す追出しガス１３
を供給する追い出しガス供給管１４と、該供給されたガ
ス１３により所定濃度の有機ハロゲン化物１１を同伴さ
せた標準ガス１５を質量分析装置５０へ導入する標準ガ
ス導入管１６とを具備する。
濃度を正確に測定するための有機ハロゲン化物濃度校正
装置を提供することを課題とする。 【解決手段】 内部に所定濃度の有機ハロゲン化物１１
を封入した標準容器１２と、該標準容器１２に上記封入
された有機ハロゲン化物１１を追い出す追出しガス１３
を供給する追い出しガス供給管１４と、該供給されたガ
ス１３により所定濃度の有機ハロゲン化物１１を同伴さ
せた標準ガス１５を質量分析装置５０へ導入する標準ガ
ス導入管１６とを具備する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばＰＣＢ処理
設備の有機ハロゲン化物の濃度を正確に測定するための
有機ハロゲン化物濃度校正装置に関する。
設備の有機ハロゲン化物の濃度を正確に測定するための
有機ハロゲン化物濃度校正装置に関する。
【０００２】
【背景技術】近年では、ＰＣＢ（Polychlorinated biph
enyl, ポリ塩化ビフェニル：ビフェニルの塩素化異性体
の総称）が強い毒性を有することから、その製造および
輸入が禁止されている。このＰＣＢは、１９５４年頃か
ら国内で製造開始されたものの、カネミ油症事件をきっ
かけに生体・環境への悪影響が明らかになり、１９７２
年に行政指導により製造中止、回収の指示（保管の義
務）が出された経緯がある。
enyl, ポリ塩化ビフェニル：ビフェニルの塩素化異性体
の総称）が強い毒性を有することから、その製造および
輸入が禁止されている。このＰＣＢは、１９５４年頃か
ら国内で製造開始されたものの、カネミ油症事件をきっ
かけに生体・環境への悪影響が明らかになり、１９７２
年に行政指導により製造中止、回収の指示（保管の義
務）が出された経緯がある。
【０００３】ＰＣＢは、ビフェニル骨格に塩素が１〜１
０個置換したものであり、置換塩素の数や位置によって
理論的に２０９種類の異性体が存在し、現在、市販のＰ
ＣＢ製品において約１００種類以上の異性体が確認され
ている。また、この異性体間の物理・化学的性質や生体
内安定性および環境動体が多様であるため、ＰＣＢの化
学分析や環境汚染の様式を複雑にしているのが現状であ
る。さらに、ＰＣＢは、残留性有機汚染物質のひとつで
あって、環境中で分解されにくく、脂溶性で生物濃縮率
が高く、さらに半揮発性で大気経由の移動が可能である
という性質を持つ。また、水や生物など環境中に広く残
留することが報告されている。この結果、ＰＣＢは体内
で極めて安定であるので、体内に蓄積され慢性中毒（皮
膚障害、肝臓障害等）を引き起し、また発癌性、生殖・
発生毒性が認められている。
０個置換したものであり、置換塩素の数や位置によって
理論的に２０９種類の異性体が存在し、現在、市販のＰ
ＣＢ製品において約１００種類以上の異性体が確認され
ている。また、この異性体間の物理・化学的性質や生体
内安定性および環境動体が多様であるため、ＰＣＢの化
学分析や環境汚染の様式を複雑にしているのが現状であ
る。さらに、ＰＣＢは、残留性有機汚染物質のひとつで
あって、環境中で分解されにくく、脂溶性で生物濃縮率
が高く、さらに半揮発性で大気経由の移動が可能である
という性質を持つ。また、水や生物など環境中に広く残
留することが報告されている。この結果、ＰＣＢは体内
で極めて安定であるので、体内に蓄積され慢性中毒（皮
膚障害、肝臓障害等）を引き起し、また発癌性、生殖・
発生毒性が認められている。
【０００４】ＰＣＢは、従来からトランスやコンデンサ
などの絶縁油として広く使用されてきた経緯があるの
で、ＰＣＢを処理する必要があり、本出願人は先に、Ｐ
ＣＢを無害化処理する水熱分解装置を提案した（特開平
１１−２５３７９６号公報、特開２０００−１２６５８
８号公報他参照）。この水熱分解装置の概要の一例を図
８に示す。
などの絶縁油として広く使用されてきた経緯があるの
で、ＰＣＢを処理する必要があり、本出願人は先に、Ｐ
ＣＢを無害化処理する水熱分解装置を提案した（特開平
１１−２５３７９６号公報、特開２０００−１２６５８
８号公報他参照）。この水熱分解装置の概要の一例を図
８に示す。
【０００５】図８に示すように、水熱分解装置１２０
は、筒形状の一次反応器１２２と、油１２３ａ、ＰＣＢ
１２３ｂ、ＮａＯＨ１２３ｃ、水１２３ｄの各液１２３
を加圧する加圧ポンプ１２４ａ〜ｄと、当該混合液を予
熱する予熱器１２５と、配管を巻いた構成の二次反応器
１２６と、冷却器１２７および減圧弁１２８とを備えて
なるものである。また、減圧弁１２７の下流には、気液
分離器１２９、活性炭槽１３０が配置されており、排ガ
ス（ＣＯ2 ）１３１は煙突１３２から外部へ排出され、
排水（Ｈ2 Ｏ，ＮａＣｌ）１３３は別途、必要に応じて
排水処理される。また、酸素の配管１３５は、一次反応
器１２５に対して直結している。
は、筒形状の一次反応器１２２と、油１２３ａ、ＰＣＢ
１２３ｂ、ＮａＯＨ１２３ｃ、水１２３ｄの各液１２３
を加圧する加圧ポンプ１２４ａ〜ｄと、当該混合液を予
熱する予熱器１２５と、配管を巻いた構成の二次反応器
１２６と、冷却器１２７および減圧弁１２８とを備えて
なるものである。また、減圧弁１２７の下流には、気液
分離器１２９、活性炭槽１３０が配置されており、排ガ
ス（ＣＯ2 ）１３１は煙突１３２から外部へ排出され、
排水（Ｈ2 Ｏ，ＮａＣｌ）１３３は別途、必要に応じて
排水処理される。また、酸素の配管１３５は、一次反応
器１２５に対して直結している。
【０００６】上記装置において、加圧ポンプ１２４によ
る加圧により一次反応器１２２内は、２６ＭＰａまで昇
圧される。また、予熱器１２５は、ＰＣＢ、Ｈ2Ｏおよ
びＮａＯＨの混合処理液１２３を３００℃程度に予熱す
る。また、一次反応器１２２内には酸素が噴出してお
り、内部の反応熱により３８０℃〜４００℃まで昇温す
る。この段階までに、ＰＣＢは、脱塩素反応および酸化
分解反応を起こし、ＮａＣｌ、ＣＯ2およびＨ2Ｏに分解
されている。つぎに、冷却器１２７では、二次反応器１
２６からの流体を１００℃程度に冷却すると共に後段の
減圧弁１２８にて大気圧まで減圧する。そして、気液分
離器１２９によりＣＯ2および水蒸気と処理水とが分離
され、ＣＯ2および水蒸気は、活性炭槽１３０を通過し
て環境中に排出される。
る加圧により一次反応器１２２内は、２６ＭＰａまで昇
圧される。また、予熱器１２５は、ＰＣＢ、Ｈ2Ｏおよ
びＮａＯＨの混合処理液１２３を３００℃程度に予熱す
る。また、一次反応器１２２内には酸素が噴出してお
り、内部の反応熱により３８０℃〜４００℃まで昇温す
る。この段階までに、ＰＣＢは、脱塩素反応および酸化
分解反応を起こし、ＮａＣｌ、ＣＯ2およびＨ2Ｏに分解
されている。つぎに、冷却器１２７では、二次反応器１
２６からの流体を１００℃程度に冷却すると共に後段の
減圧弁１２８にて大気圧まで減圧する。そして、気液分
離器１２９によりＣＯ2および水蒸気と処理水とが分離
され、ＣＯ2および水蒸気は、活性炭槽１３０を通過し
て環境中に排出される。
【０００７】このような処理装置を用いてＰＣＢ含有容
器（例えばトランスやコンデンサ）等を処理すること
で、完全無害化がなされているが、さらにその施設内に
おけるＰＣＢ濃度の迅速監視が重要である。従来、ガス
サンプリングを行いＰＣＢを液体に濃縮させ、その濃縮
液を分析する方法が採用されているが、この計測には数
時間から数十時間を要するため、迅速監視ができなかっ
た。
器（例えばトランスやコンデンサ）等を処理すること
で、完全無害化がなされているが、さらにその施設内に
おけるＰＣＢ濃度の迅速監視が重要である。従来、ガス
サンプリングを行いＰＣＢを液体に濃縮させ、その濃縮
液を分析する方法が採用されているが、この計測には数
時間から数十時間を要するため、迅速監視ができなかっ
た。
【０００８】しかしながら、監視のためのガス中の微量
ＰＣＢの計測方法として、従来では多光子イオン化検出
器と飛行時間型分析器(Time of Flight Mass Spectrosc
opy:TOFMAS) とを組み合わせた質量スペクトル分析装置
が提案されている。この従来の分析装置の概要を図９を
参照して説明する。
ＰＣＢの計測方法として、従来では多光子イオン化検出
器と飛行時間型分析器(Time of Flight Mass Spectrosc
opy:TOFMAS) とを組み合わせた質量スペクトル分析装置
が提案されている。この従来の分析装置の概要を図９を
参照して説明する。
【０００９】図９に示すように、試料ガス１をパルスノ
ズル２から真空チャンバ３内に超音速自由噴流として供
給し、その自由噴流は断熱膨張により冷却される。その
ような冷却により、振動・回転準位が低エネルギー側に
偏って波長選択性が増大したガスは、レーザ４のような
共鳴多光子を効率よく吸収したそのイオン化効率が増大
する。イオン化されたガス中の分子は、加速電極５によ
り加速され、質量に反比例する加速度を与えられてフラ
イトチューブ６内で飛行し、リフレクトン７で反射し
て、検出器８に入射する。該フライトチューブ６の中で
の飛行時間を計測することによりその分子又は原子であ
る粒子の質量が計算により求められ、検出器８の信号強
度の比較から測定対象のＰＣＢ濃度を求めることができ
る。
ズル２から真空チャンバ３内に超音速自由噴流として供
給し、その自由噴流は断熱膨張により冷却される。その
ような冷却により、振動・回転準位が低エネルギー側に
偏って波長選択性が増大したガスは、レーザ４のような
共鳴多光子を効率よく吸収したそのイオン化効率が増大
する。イオン化されたガス中の分子は、加速電極５によ
り加速され、質量に反比例する加速度を与えられてフラ
イトチューブ６内で飛行し、リフレクトン７で反射し
て、検出器８に入射する。該フライトチューブ６の中で
の飛行時間を計測することによりその分子又は原子であ
る粒子の質量が計算により求められ、検出器８の信号強
度の比較から測定対象のＰＣＢ濃度を求めることができ
る。
【００１０】このような装置では、微量物質の検出を行
うことができる点で原理的にはすぐれているが、レーザ
パルス時間幅がナノ秒レーザを用いているので、検出感
度が低いという問題がある。
うことができる点で原理的にはすぐれているが、レーザ
パルス時間幅がナノ秒レーザを用いているので、検出感
度が低いという問題がある。
【００１１】また、上記有機ハロゲン化物の分解装置で
は、作業環境等中のＰＣＢ濃度が常に所定値以下である
ことを確認する必要があるので、上記ＰＣＢの分析は極
微量であるので所定時間毎に測定装置が正常であること
を確認するための校正が必要となる。
は、作業環境等中のＰＣＢ濃度が常に所定値以下である
ことを確認する必要があるので、上記ＰＣＢの分析は極
微量であるので所定時間毎に測定装置が正常であること
を確認するための校正が必要となる。
【００１２】本発明は、上記問題に鑑み、例えばＰＣＢ
等の微量成分濃度を監視するに際し、迅速且つ高感度な
分析が可能な有機ハロゲン化物濃度校正装置を提供する
ことを課題とする。
等の微量成分濃度を監視するに際し、迅速且つ高感度な
分析が可能な有機ハロゲン化物濃度校正装置を提供する
ことを課題とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決する本発
明の第１の発明は、内部に所定濃度の有機ハロゲン化物
を封入した標準容器と、該標準容器に上記有機ハロゲン
化物を追い出す追出しガスを供給し、所定濃度の有機ハ
ロゲン化物を同伴させ、質量分析装置へ導入する標準ガ
ス導入管と、を具備することを特徴とする有機ハロゲン
化物濃度校正装置にある。
明の第１の発明は、内部に所定濃度の有機ハロゲン化物
を封入した標準容器と、該標準容器に上記有機ハロゲン
化物を追い出す追出しガスを供給し、所定濃度の有機ハ
ロゲン化物を同伴させ、質量分析装置へ導入する標準ガ
ス導入管と、を具備することを特徴とする有機ハロゲン
化物濃度校正装置にある。
【００１４】第２の発明は、第１の発明において、上記
標準容器を雰囲気温度＋５〜１０℃に保持する保温手段
を具備することを特徴とする有機ハロゲン化物濃度校正
装置にある。
標準容器を雰囲気温度＋５〜１０℃に保持する保温手段
を具備することを特徴とする有機ハロゲン化物濃度校正
装置にある。
【００１５】第３の発明は、第１の発明において、上記
標準ガス導入管を１５０℃±２０℃に保持する保温手段
を具備することを特徴とする有機ハロゲン化物濃度校正
装置にある。
標準ガス導入管を１５０℃±２０℃に保持する保温手段
を具備することを特徴とする有機ハロゲン化物濃度校正
装置にある。
【００１６】第４の発明は、第１の発明において、上記
標準容器内に複数の細孔を有するディスクが内装されて
いることを特徴とする有機ハロゲン化物濃度校正装置に
ある。
標準容器内に複数の細孔を有するディスクが内装されて
いることを特徴とする有機ハロゲン化物濃度校正装置に
ある。
【００１７】第５の発明は、第１の発明において、上記
標準容器内にグラスファイバー又はビーズが充填されて
いることを特徴とする有機ハロゲン化物濃度校正装置に
ある。
標準容器内にグラスファイバー又はビーズが充填されて
いることを特徴とする有機ハロゲン化物濃度校正装置に
ある。
【００１８】第６の発明は、第４又は５の発明におい
て、上記標準容器内の底部に追出しガスを供給する供給
管の供給口が臨むように挿入され、供給されたガスを容
器上部から排出することを特徴とする有機ハロゲン化物
濃度校正装置にある。
て、上記標準容器内の底部に追出しガスを供給する供給
管の供給口が臨むように挿入され、供給されたガスを容
器上部から排出することを特徴とする有機ハロゲン化物
濃度校正装置にある。
【００１９】第７の発明は、第１の発明において、上記
標準容器内面がポリテトラフルオロエチレン又は酸化ケ
イ素のコーティング層が形成されていることを特徴とす
る有機ハロゲン化物濃度校正装置にある。
標準容器内面がポリテトラフルオロエチレン又は酸化ケ
イ素のコーティング層が形成されていることを特徴とす
る有機ハロゲン化物濃度校正装置にある。
【００２０】第８の発明は、第１の発明において、上記
標準容器が着脱自在であることを特徴とする有機ハロゲ
ン化物濃度校正装置にある。
標準容器が着脱自在であることを特徴とする有機ハロゲ
ン化物濃度校正装置にある。
【００２１】第９の発明は、第８の発明において、上記
着脱自在の標準容器が密閉容器に内装されていることを
特徴とする有機ハロゲン化物濃度校正装置にある。
着脱自在の標準容器が密閉容器に内装されていることを
特徴とする有機ハロゲン化物濃度校正装置にある。
【００２２】第１０の発明は、第９の発明において、上
記標準容器内に検知物質を供給すると共に、上記密閉容
器内に該検知物質を検出するセンサを設けたことを特徴
とする有機ハロゲン化物濃度校正装置にある。
記標準容器内に検知物質を供給すると共に、上記密閉容
器内に該検知物質を検出するセンサを設けたことを特徴
とする有機ハロゲン化物濃度校正装置にある。
【００２３】第１１の発明は、第１０の発明において、
上記検知物質が水素であることを特徴とする有機ハロゲ
ン化物濃度校正装置にある。
上記検知物質が水素であることを特徴とする有機ハロゲ
ン化物濃度校正装置にある。
【００２４】第１２の発明は、第１の発明において、上
記測定試料がＰＣＢであることを特徴とする有機ハロゲ
ン化物濃度校正装置にある。
記測定試料がＰＣＢであることを特徴とする有機ハロゲ
ン化物濃度校正装置にある。
【００２５】第１３の発明は、第１乃至１２のいずれか
一項の有機ハロゲン化物濃度校正装置と、測定ラインか
らの試料を真空チャンバー内へ連続的に導入する試料導
入手段と、導入された試料にレーザを照射し、レーザイ
オン化させるレーザ照射手段と、レーザイオン化した分
子を収束させる収束部と、該収束された分子を選択濃縮
するイオントラップと、一定周期で放出されたイオンを
検出するイオン検出器を備えた飛行時間型質量分析装置
とを具備してなることを特徴とする有機微量成分の検出
装置にある。
一項の有機ハロゲン化物濃度校正装置と、測定ラインか
らの試料を真空チャンバー内へ連続的に導入する試料導
入手段と、導入された試料にレーザを照射し、レーザイ
オン化させるレーザ照射手段と、レーザイオン化した分
子を収束させる収束部と、該収束された分子を選択濃縮
するイオントラップと、一定周期で放出されたイオンを
検出するイオン検出器を備えた飛行時間型質量分析装置
とを具備してなることを特徴とする有機微量成分の検出
装置にある。
【００２６】第１４の発明は、第１３の有機微量成分の
検出装置の発明において、上記試料導入手段がキャピラ
リカラムであり、その先端がイオン収束部に臨んでいる
ことを特徴とする有機微量成分の検出装置にある。
検出装置の発明において、上記試料導入手段がキャピラ
リカラムであり、その先端がイオン収束部に臨んでいる
ことを特徴とする有機微量成分の検出装置にある。
【００２７】第１５の発明は、第１３の有機微量成分の
検出装置の発明において、上記レーザのパルス波長が２
８０ｎｍ以下であることを特徴とする有機微量成分の検
出装置にある。
検出装置の発明において、上記レーザのパルス波長が２
８０ｎｍ以下であることを特徴とする有機微量成分の検
出装置にある。
【００２８】第１６の発明は、第１３の有機微量成分の
検出装置の発明において、上記レーザのパルス時間幅が
５００ピコ秒以下であることを特徴とする有機微量成分
の検出装置にある。
検出装置の発明において、上記レーザのパルス時間幅が
５００ピコ秒以下であることを特徴とする有機微量成分
の検出装置にある。
【００２９】第１７の発明は、第１３の有機微量成分の
検出装置を用い、所定測定回数毎に有機ハロゲン化物濃
度校正装置で有機ハロゲン化物の濃度を校正しつつ有機
ハロゲン化物を計測することを特徴とする有機微量成分
の検出方法にある。
検出装置を用い、所定測定回数毎に有機ハロゲン化物濃
度校正装置で有機ハロゲン化物の濃度を校正しつつ有機
ハロゲン化物を計測することを特徴とする有機微量成分
の検出方法にある。
【００３０】第１８の発明は、第１７の発明において、
上記測定試料がＰＣＢであることを特徴とする有機微量
成分の検出方法にある。
上記測定試料がＰＣＢであることを特徴とする有機微量
成分の検出方法にある。
【００３１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を説明す
るが、本発明はこれに限定されるものではない。
るが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００３２】［第１の実施の形態］図１は本実施の形態
にかかる有機ハロゲン化物濃度校正装置の概略図であ
る。図１に示すように本実施の形態にかかる有機ハロゲ
ン化物濃度校正装置１０は、内部に所定濃度の有機ハロ
ゲン化物１１を封入した標準容器１２と、該標準容器１
２に上記封入された有機ハロゲン化物１１を追い出す追
出しガス１３を供給する追い出しガス供給管１４と、該
供給されたガス１３により所定濃度の有機ハロゲン化物
１１を同伴させた標準ガス１５を質量分析装置５０へ導
入する標準ガス導入管１６とを具備するものである。
にかかる有機ハロゲン化物濃度校正装置の概略図であ
る。図１に示すように本実施の形態にかかる有機ハロゲ
ン化物濃度校正装置１０は、内部に所定濃度の有機ハロ
ゲン化物１１を封入した標準容器１２と、該標準容器１
２に上記封入された有機ハロゲン化物１１を追い出す追
出しガス１３を供給する追い出しガス供給管１４と、該
供給されたガス１３により所定濃度の有機ハロゲン化物
１１を同伴させた標準ガス１５を質量分析装置５０へ導
入する標準ガス導入管１６とを具備するものである。
【００３３】また、追い出しガス供給管１４から分枝さ
れ、標準容器にガスを供給する供給ライン２１とガス排
出ライン２２には各々バルブ２３、２４が介装されてい
る。また、追い出しガス供給管１４と標準ガス導入管１
６との流路を開閉するバルブ２５が介装されている。
れ、標準容器にガスを供給する供給ライン２１とガス排
出ライン２２には各々バルブ２３、２４が介装されてい
る。また、追い出しガス供給管１４と標準ガス導入管１
６との流路を開閉するバルブ２５が介装されている。
【００３４】上記標準容器１２は図示しない恒温保持手
段により内部の雰囲気温度を容器外部の温度より＋５〜
３０℃に保持するようにしている。これは、内部に封入
された有機ハロゲン化物１１の飽和濃度を一定に保持す
るためである。
段により内部の雰囲気温度を容器外部の温度より＋５〜
３０℃に保持するようにしている。これは、内部に封入
された有機ハロゲン化物１１の飽和濃度を一定に保持す
るためである。
【００３５】ここで、上記有機ハロゲン化物１１がＰＣ
Ｂの場合における飽和蒸気圧とＰＣＢの濃度との関係を
下記「表１」に示す。なお、ＰＣＢにおいては塩素数が
２〜４の場合には、恒温槽による温度制御を３５℃（室
温（＝２５℃）＋１０℃）とするのが好ましい。また、
ＰＣＢにおいては塩素数が５〜７の場合には、恒温槽に
よる温度制御を５０℃（室温（＝２５℃）＋２５℃）と
するのが好ましい。
Ｂの場合における飽和蒸気圧とＰＣＢの濃度との関係を
下記「表１」に示す。なお、ＰＣＢにおいては塩素数が
２〜４の場合には、恒温槽による温度制御を３５℃（室
温（＝２５℃）＋１０℃）とするのが好ましい。また、
ＰＣＢにおいては塩素数が５〜７の場合には、恒温槽に
よる温度制御を５０℃（室温（＝２５℃）＋２５℃）と
するのが好ましい。
【００３６】
【表１】
【００３７】上記ＰＣＢの市販物質であるカネクロール
ＫＣ３００（商品名：鐘が淵化学社製）には、２塩素Ｐ
ＣＢ、３塩素ＰＣＢ、４塩素ＰＣＢが混在している。カ
ネクロールＫＣ４００（商品名：鐘が淵化学社製）に
は、３塩素ＰＣＢ、４塩素ＰＣＢ、５塩素ＰＣＢが混在
している。カネクロールＫ６０（商品名：鐘が淵化学社
製）には、５塩素ＰＣＢ、６塩素ＰＣＢ、７塩素ＰＣＢ
が混在している。
ＫＣ３００（商品名：鐘が淵化学社製）には、２塩素Ｐ
ＣＢ、３塩素ＰＣＢ、４塩素ＰＣＢが混在している。カ
ネクロールＫＣ４００（商品名：鐘が淵化学社製）に
は、３塩素ＰＣＢ、４塩素ＰＣＢ、５塩素ＰＣＢが混在
している。カネクロールＫ６０（商品名：鐘が淵化学社
製）には、５塩素ＰＣＢ、６塩素ＰＣＢ、７塩素ＰＣＢ
が混在している。
【００３８】上記ＰＣＢを所定の飽和状態とするには、
標準容器内に標準溶液（例えばｎヘキサン）に溶かした
ＰＣＢ液を供給し、真空状態にして１時間脱気し、ｎヘ
キサンを除去し、その後密閉状態として１００℃で１時
間保持し、内部を均一化して飽和状態とする。
標準容器内に標準溶液（例えばｎヘキサン）に溶かした
ＰＣＢ液を供給し、真空状態にして１時間脱気し、ｎヘ
キサンを除去し、その後密閉状態として１００℃で１時
間保持し、内部を均一化して飽和状態とする。
【００３９】上記標準ガス導入管１６には、管内を１５
０℃±２０℃に保持する保温手段（例えばヒータ）２６
が設けられており、管の内部に有機ハロゲン化物が付着
するのを防止するようにしている。
０℃±２０℃に保持する保温手段（例えばヒータ）２６
が設けられており、管の内部に有機ハロゲン化物が付着
するのを防止するようにしている。
【００４０】また、上記標準ガス導入管１６から標準容
器１２までの距離Ｄを上記標準ガス導入管１６の管径
（φ）の１０倍程度とするのが好ましい。これは、上記
距離が短い場合には、バルブ２４を開放した際に加熱さ
れたガスが標準容器内に入り込むのを防ぐためである。
器１２までの距離Ｄを上記標準ガス導入管１６の管径
（φ）の１０倍程度とするのが好ましい。これは、上記
距離が短い場合には、バルブ２４を開放した際に加熱さ
れたガスが標準容器内に入り込むのを防ぐためである。
【００４１】上記ＰＣＢ処理設備における排ガスの規制
値は現在０．１５ｍｇ／Ｎｍ3 （＝１５ｐｐｂ／Ｖ）で
あるので、その１／５量をＰＣＢ標準として質量分析装
置での校正ガスとして用いるとよい。よって、図２に示
すように、標準ガス導入管１６には希釈ガス（空気又は
窒素等）２７を供給する希釈ガス供給管２８が接続さ
れ、所定濃度に希釈して標準ガス１５としている。
値は現在０．１５ｍｇ／Ｎｍ3 （＝１５ｐｐｂ／Ｖ）で
あるので、その１／５量をＰＣＢ標準として質量分析装
置での校正ガスとして用いるとよい。よって、図２に示
すように、標準ガス導入管１６には希釈ガス（空気又は
窒素等）２７を供給する希釈ガス供給管２８が接続さ
れ、所定濃度に希釈して標準ガス１５としている。
【００４２】また、図３に示すように、上記標準容器１
２内には複数の細孔を有する複数のディスク３１が積層
されて内装されていると共に、上記標準容器１２内の底
部に追出しガス１３を供給する供給管の供給口２１ａが
臨むように挿入されている。そして、追い出しガス１３
を一度底部まで導入した後に、複数に積層されたディス
ク３１の無数の細孔を介してガスを通過させ、飽和ＰＣ
Ｂを外部へ同伴するようにしている。これにより、濃度
が均一なＰＣＢの標準品を質量分析装置へ導入すること
ができる。なお、図３中符号３２は温度計を図示する。
２内には複数の細孔を有する複数のディスク３１が積層
されて内装されていると共に、上記標準容器１２内の底
部に追出しガス１３を供給する供給管の供給口２１ａが
臨むように挿入されている。そして、追い出しガス１３
を一度底部まで導入した後に、複数に積層されたディス
ク３１の無数の細孔を介してガスを通過させ、飽和ＰＣ
Ｂを外部へ同伴するようにしている。これにより、濃度
が均一なＰＣＢの標準品を質量分析装置へ導入すること
ができる。なお、図３中符号３２は温度計を図示する。
【００４３】また、図４に示すように、上記ディスク３
１の代わりに、標準容器内にグラスファイバー又はビー
ズ３３を充填するようにしてもよい。
１の代わりに、標準容器内にグラスファイバー又はビー
ズ３３を充填するようにしてもよい。
【００４４】上記標準容器１２の内面には、例えばポリ
テトラフルオロエチレン又は酸化ケイ素等のコーティン
グ層を形成するようにしてもよい。これは、ＰＣＢが容
器の壁内に浸透しないようにするためである。
テトラフルオロエチレン又は酸化ケイ素等のコーティン
グ層を形成するようにしてもよい。これは、ＰＣＢが容
器の壁内に浸透しないようにするためである。
【００４５】また、図５に示すように、上記標準容器１
２を脱着部材４１を介しての着脱自在のカートリッジ式
とすることもできる。これにより、標準容器１２装着が
容易となり、複数の種類の標準品を装着が可能となる。
２を脱着部材４１を介しての着脱自在のカートリッジ式
とすることもできる。これにより、標準容器１２装着が
容易となり、複数の種類の標準品を装着が可能となる。
【００４６】また、図５に示すように、この着脱式の容
器とする際に、該標準容器１２を密閉容器４２内で覆う
ようにしてもよい。このような密閉容器４２で覆うよう
にすることで、着脱の際におけるＰＣＢの漏れ等があっ
た場合に、外部への漏洩を防止することができる。
器とする際に、該標準容器１２を密閉容器４２内で覆う
ようにしてもよい。このような密閉容器４２で覆うよう
にすることで、着脱の際におけるＰＣＢの漏れ等があっ
た場合に、外部への漏洩を防止することができる。
【００４７】また、上記標準容器１２内には検知物質を
供給し、密閉容器４２の内部に該検知物質を検知するセ
ンサを設けることで、装着の不良を早期に発見すること
もできる。
供給し、密閉容器４２の内部に該検知物質を検知するセ
ンサを設けることで、装着の不良を早期に発見すること
もできる。
【００４８】上記検知物質としては例えば水素等が好ま
しく、供給する追出しガス１３に数％程度を混合し、公
知の検知手段をカートリッジを覆う密閉容器４２内壁に
装着しておくことで、迅速な漏れの検知が可能となる。
この結果、検知物質の検知により、装着不良が発見でき
ることになる。なお、混合する水素は１００％でもよい
が、漏洩時の問題を考慮すると、好ましくは水素の爆発
限界の４％以下とするのがよい。
しく、供給する追出しガス１３に数％程度を混合し、公
知の検知手段をカートリッジを覆う密閉容器４２内壁に
装着しておくことで、迅速な漏れの検知が可能となる。
この結果、検知物質の検知により、装着不良が発見でき
ることになる。なお、混合する水素は１００％でもよい
が、漏洩時の問題を考慮すると、好ましくは水素の爆発
限界の４％以下とするのがよい。
【００４９】なお、カートリッジ式の標準容器１２を覆
う密閉容器内に有機ハロゲン化物の測定ライン１００の
採取口を別途設けることで、後述する質量分析装置６０
にてオンラインで測定する事も可能である。
う密閉容器内に有機ハロゲン化物の測定ライン１００の
採取口を別途設けることで、後述する質量分析装置６０
にてオンラインで測定する事も可能である。
【００５０】［第２の実施の形態］図１は本実施の形態
にかかる有機微量成分の検出装置の概略図である。図４
に示すように、本実施の形態にかかる有機微量成分の検
出装置５０は、有機微量成分の濃度を検出する検出装置
であって、図１に示す有機ハロゲン化物濃度校正装置１
０と、通常の試料導入管５１からの測定試料１００を真
空チャンバー５２内へ連続的に洩れだし分子線５３とし
て導入する試料導入手段であるキャピラリカラム５４
と、上記洩れだし分子線５３にレーザ光５５を照射し、
レーザイオン化させるレーザ照射手段５４と、レーザイ
オン化した分子を収束させる複数のイオン電極からなる
収束部５６と、該収束された分子を選択濃縮するイオン
トラップ５７と、一定周期で放出されたイオンをリフレ
クトロン５８で反射させ、反射されたイオンを検出する
イオン検出器５９を備えた飛行時間型質量分析装置６０
とを具備してなるものである。なお、試料導入管には真
空ポンプ６１が設けられており、試料の一部のみを上記
キャピラリカラム５４へ導入している。そして、この検
出器５９により検出された信号強度の比較から測定対象
のＰＣＢ濃度を求めることができる。計測されたＰＣＢ
濃度は、監視司令室へ送ると共に、例えばモニタ装置
（図示せず）等により外部へ公表するようにしてもよ
い。
にかかる有機微量成分の検出装置の概略図である。図４
に示すように、本実施の形態にかかる有機微量成分の検
出装置５０は、有機微量成分の濃度を検出する検出装置
であって、図１に示す有機ハロゲン化物濃度校正装置１
０と、通常の試料導入管５１からの測定試料１００を真
空チャンバー５２内へ連続的に洩れだし分子線５３とし
て導入する試料導入手段であるキャピラリカラム５４
と、上記洩れだし分子線５３にレーザ光５５を照射し、
レーザイオン化させるレーザ照射手段５４と、レーザイ
オン化した分子を収束させる複数のイオン電極からなる
収束部５６と、該収束された分子を選択濃縮するイオン
トラップ５７と、一定周期で放出されたイオンをリフレ
クトロン５８で反射させ、反射されたイオンを検出する
イオン検出器５９を備えた飛行時間型質量分析装置６０
とを具備してなるものである。なお、試料導入管には真
空ポンプ６１が設けられており、試料の一部のみを上記
キャピラリカラム５４へ導入している。そして、この検
出器５９により検出された信号強度の比較から測定対象
のＰＣＢ濃度を求めることができる。計測されたＰＣＢ
濃度は、監視司令室へ送ると共に、例えばモニタ装置
（図示せず）等により外部へ公表するようにしてもよ
い。
【００５１】上記ハロゲン化物濃度校正装置１０を設け
ることにより、ＰＣＢ処理施設内におけるＰＣＢ濃度を
連続して測定するに際し、飛行時間型質量分析装置６０
の測定変動があった場合でも迅速に校正することができ
る。
ることにより、ＰＣＢ処理施設内におけるＰＣＢ濃度を
連続して測定するに際し、飛行時間型質量分析装置６０
の測定変動があった場合でも迅速に校正することができ
る。
【００５２】また、試料導入管５１と追い出しガス供給
管１４の各々にはモニタリング用の所定濃度の内部標準
ガス（例えばモノクロルベンゼン）３５が供給され、該
モニタリング用ガスを監視することで、測定の変動を検
知することができる。
管１４の各々にはモニタリング用の所定濃度の内部標準
ガス（例えばモノクロルベンゼン）３５が供給され、該
モニタリング用ガスを監視することで、測定の変動を検
知することができる。
【００５３】すなわち、通常の測定では、ＰＣＢの濃度
はほぼ零であるので、実際に零なのか若しくは装置に異
常又は配管に詰まり等があって零を示しているか等の適
正か否かを判断するできない。しかし、上記モニタリン
グガスを供給することで常に一定濃度のピークとして検
知されるので、その変動により装置や配管等の異常を迅
速に検知することができる。
はほぼ零であるので、実際に零なのか若しくは装置に異
常又は配管に詰まり等があって零を示しているか等の適
正か否かを判断するできない。しかし、上記モニタリン
グガスを供給することで常に一定濃度のピークとして検
知されるので、その変動により装置や配管等の異常を迅
速に検知することができる。
【００５４】また、標準ガス１５として校正する場合に
おいても、上記モニタリングガス３５を供給すること
で、そのピークと標準ガスのピークとの比率が常に一定
であれば、標準ガスも適正であることを確認することが
できる。この、両者の測定した標準校正の測定チャート
の一例を図６に示す。
おいても、上記モニタリングガス３５を供給すること
で、そのピークと標準ガスのピークとの比率が常に一定
であれば、標準ガスも適正であることを確認することが
できる。この、両者の測定した標準校正の測定チャート
の一例を図６に示す。
【００５５】以下、測定装置の概要について説明する
が、本発明の校正装置に適用できる測定装置は以下の装
置に限定されるものではない。
が、本発明の校正装置に適用できる測定装置は以下の装
置に限定されるものではない。
【００５６】上記ガス置換された採取試料５１を導入す
る上記キャピラリカラム５４は、イオン収束部５６にそ
の先端が臨んでいるのが好ましく、具体的には、イオン
収束部５６を構成する電極の内の最もキャピラリカラム
側の電極と面一又は電極よりもイオントラップ側へ突き
出しているようにするとよい。
る上記キャピラリカラム５４は、イオン収束部５６にそ
の先端が臨んでいるのが好ましく、具体的には、イオン
収束部５６を構成する電極の内の最もキャピラリカラム
側の電極と面一又は電極よりもイオントラップ側へ突き
出しているようにするとよい。
【００５７】また、上記キャピラリカラムの材質は、石
英又はステンレスであることが好ましい。また、ステン
レス製とした場合には、イオン収束部５６により電場を
かけることにより、制御が可能となる。
英又はステンレスであることが好ましい。また、ステン
レス製とした場合には、イオン収束部５６により電場を
かけることにより、制御が可能となる。
【００５８】上記キャピラリカラムの孔径は１ｍｍ以
下、好適にはレーザ３ｍｍ程度とするのがよい。また、
キャピラリカラムの吹き出し口からレーザ照射位置まで
の距離は近ければ近いほどよいが、あまり近すぎてもレ
ーザ光により先端が破損するので、破損しない程度まで
近づけて（例えば１〜２ｍｍ程度）イオン化効率を向上
させることが好ましい。
下、好適にはレーザ３ｍｍ程度とするのがよい。また、
キャピラリカラムの吹き出し口からレーザ照射位置まで
の距離は近ければ近いほどよいが、あまり近すぎてもレ
ーザ光により先端が破損するので、破損しない程度まで
近づけて（例えば１〜２ｍｍ程度）イオン化効率を向上
させることが好ましい。
【００５９】上記レーザ照射手段５６から照射されるレ
ーザ光５５のパルス波長は、後述すつ実施例に示すよう
に、３００ｎｍ以下、好ましくは２８０ｎｍ以下、より
好ましくは２６６±１０ｎｍ程度とするのがよい。これ
は３００ｎｍを超えると測定対象である有機微量成分の
イオン化が良好に行われないからである。
ーザ光５５のパルス波長は、後述すつ実施例に示すよう
に、３００ｎｍ以下、好ましくは２８０ｎｍ以下、より
好ましくは２６６±１０ｎｍ程度とするのがよい。これ
は３００ｎｍを超えると測定対象である有機微量成分の
イオン化が良好に行われないからである。
【００６０】上記レーザ照射手段５６から照射されるレ
ーザ光５６のパルス時間幅は５００ピコ（１０-12 ）秒
以下、より好ましくは２００ピコ秒以下のパルスレーザ
であることが好ましい。これはパルス時間幅がナノ秒
（１０-9）のレーザでは検出感度が低く好ましくないか
らである。
ーザ光５６のパルス時間幅は５００ピコ（１０-12 ）秒
以下、より好ましくは２００ピコ秒以下のパルスレーザ
であることが好ましい。これはパルス時間幅がナノ秒
（１０-9）のレーザでは検出感度が低く好ましくないか
らである。
【００６１】上記レーザ照射手段５６から照射されるレ
ーザ光のパルス繰り返し周波数は１０ＭＨｚ以上、特に
好適には７６ＭＨｚであることが好ましい。これはパル
ス繰り返し周波数を向上させることで連続的にイオン化
効率が向上するからである。
ーザ光のパルス繰り返し周波数は１０ＭＨｚ以上、特に
好適には７６ＭＨｚであることが好ましい。これはパル
ス繰り返し周波数を向上させることで連続的にイオン化
効率が向上するからである。
【００６２】このように、レーザ光のパルス時間幅を５
００ピコ秒（１０-12 ）以下と短くすることにより、レ
ーザ光によるＰＣＢの分解を抑制し、検出感度を向上す
ることができる。
００ピコ秒（１０-12 ）以下と短くすることにより、レ
ーザ光によるＰＣＢの分解を抑制し、検出感度を向上す
ることができる。
【００６３】上記計測装置を用い、所定測定回数又は時
間が経過した場合に、有機ハロゲン化物濃度校正装置１
０からの標準ガス１５で装置の校正をすることで、例え
ばＰＣＢ分解処理設備内のＰＣＢ濃度を迅速且つ的確に
長期間に亙って測定することができる。
間が経過した場合に、有機ハロゲン化物濃度校正装置１
０からの標準ガス１５で装置の校正をすることで、例え
ばＰＣＢ分解処理設備内のＰＣＢ濃度を迅速且つ的確に
長期間に亙って測定することができる。
【００６４】［第３の実施の形態］図７に上記計測装置
を用いたＰＣＢ無害化処理設備におけるガス中の監視シ
ステムについて説明する。図１に示すように、本実施の
形態にかかるシステムは、有害物質である有機ハロゲン
化物（例えばＰＣＢ）が付着又は含有又は保存されてい
る被処理物を無害化する有害物質処理システムであっ
て、被処理物1001である有害物質( 例えばＰＣＢ)1002
を保存する容器1003から有害物質1002を抜き出す抜出し
手段1004と、被処理物1001を構成する構成材1001ａ，
ｂ，…を解体する解体手段1005のいずれか一方又は両方
を有する前処理手段1006と、前処理手段1006において処
理された被処理物を構成する構成材であるコア1001ａを
コイル1001ｂと鉄心1001ｃとに分離するコア分離手段10
07と、分離されたコイル1001ｂを銅線1001ｄと紙・木10
01ｅとに分離するコイル分離手段1008と、上記コア分離
手段1008で分離された鉄心1001ｃと解体手段1005で分離
された金属製の容器 (容器本体及び蓋等)1003 とコイル
分離手段1008で分離された銅線1001ｄとを洗浄液1010で
洗浄する洗浄手段1011と、洗浄後の洗浄廃液1012及び前
処理手段で分離した有害物質1002のいずれか一方又は両
方を分解処理する有害物質分解処理手段1013と、ＰＣＢ
処理設備である有害物質分解処理手段1013から排出する
排水133 中のＰＣＢ濃度を計測する排水モニタリング手
段1100と、ＰＣＢ処理物を解体する前処理手段1006内の
ＰＣＢ濃度及び有害物質分解処理手段1013から排出する
排ガス１３１等のＰＣＢ濃度を計測する排気ガスモニタ
リング手段1200とを備えてなるものである。
を用いたＰＣＢ無害化処理設備におけるガス中の監視シ
ステムについて説明する。図１に示すように、本実施の
形態にかかるシステムは、有害物質である有機ハロゲン
化物（例えばＰＣＢ）が付着又は含有又は保存されてい
る被処理物を無害化する有害物質処理システムであっ
て、被処理物1001である有害物質( 例えばＰＣＢ)1002
を保存する容器1003から有害物質1002を抜き出す抜出し
手段1004と、被処理物1001を構成する構成材1001ａ，
ｂ，…を解体する解体手段1005のいずれか一方又は両方
を有する前処理手段1006と、前処理手段1006において処
理された被処理物を構成する構成材であるコア1001ａを
コイル1001ｂと鉄心1001ｃとに分離するコア分離手段10
07と、分離されたコイル1001ｂを銅線1001ｄと紙・木10
01ｅとに分離するコイル分離手段1008と、上記コア分離
手段1008で分離された鉄心1001ｃと解体手段1005で分離
された金属製の容器 (容器本体及び蓋等)1003 とコイル
分離手段1008で分離された銅線1001ｄとを洗浄液1010で
洗浄する洗浄手段1011と、洗浄後の洗浄廃液1012及び前
処理手段で分離した有害物質1002のいずれか一方又は両
方を分解処理する有害物質分解処理手段1013と、ＰＣＢ
処理設備である有害物質分解処理手段1013から排出する
排水133 中のＰＣＢ濃度を計測する排水モニタリング手
段1100と、ＰＣＢ処理物を解体する前処理手段1006内の
ＰＣＢ濃度及び有害物質分解処理手段1013から排出する
排ガス１３１等のＰＣＢ濃度を計測する排気ガスモニタ
リング手段1200とを備えてなるものである。
【００６５】また、上記有害物質が液体等の場合には、
有害物質分解処理手段1013に直接投入することで無害化
処理がなされ、その保管した容器は構成材の無害化処理
により、処理することができる。
有害物質分解処理手段1013に直接投入することで無害化
処理がなされ、その保管した容器は構成材の無害化処理
により、処理することができる。
【００６６】ここで、処理設備から排出される排気ガス
については、活性炭フィルタを通過した後の排ガス中の
ＰＣＢの濃度を排気ガスモニタリング手段1200を用い
て、ＰＣＢの排出基準以下であることを確認するように
している。さらに、設備内にとどまらず、設備外の環境
中のＰＣＢ濃度を排気ガスモニタリング手段1200を用い
て監視するようにしてもよい。
については、活性炭フィルタを通過した後の排ガス中の
ＰＣＢの濃度を排気ガスモニタリング手段1200を用い
て、ＰＣＢの排出基準以下であることを確認するように
している。さらに、設備内にとどまらず、設備外の環境
中のＰＣＢ濃度を排気ガスモニタリング手段1200を用い
て監視するようにしてもよい。
【００６７】上記有害物質処理手段1013としては、図８
に示した水熱酸化分解処理する水熱酸化分解処理手段の
他に、例えば超臨界水酸化処理する超臨界水酸化処理手
段又はバッチ式の水熱酸化分解手段としてもよい。
に示した水熱酸化分解処理する水熱酸化分解処理手段の
他に、例えば超臨界水酸化処理する超臨界水酸化処理手
段又はバッチ式の水熱酸化分解手段としてもよい。
【００６８】本発明で被処理物としては、例えば絶縁油
としてＰＣＢを用いてなるトランスやコンデンサ、有害
物質である塗料等を保存している保存容器を例示するこ
とができるが、これらに限定されるものではない。
としてＰＣＢを用いてなるトランスやコンデンサ、有害
物質である塗料等を保存している保存容器を例示するこ
とができるが、これらに限定されるものではない。
【００６９】また、蛍光灯用の安定器においても従来は
ＰＣＢが用いられていたので無害化処理する必要があ
り、この場合には、容量が小さいので前処理することな
く、分離手段1009に直接投入することで無害化処理する
ことができる。
ＰＣＢが用いられていたので無害化処理する必要があ
り、この場合には、容量が小さいので前処理することな
く、分離手段1009に直接投入することで無害化処理する
ことができる。
【００７０】よって、本計測装置を用いて、所定時間毎
にＰＣＢの濃度の有無を分析している際に、所定時間経
過（例えば１週間又は１０日等）する度に、校正装置か
ら校正ガスを投入することで、常に測定装置が健全であ
ることを実証することができる。
にＰＣＢの濃度の有無を分析している際に、所定時間経
過（例えば１週間又は１０日等）する度に、校正装置か
ら校正ガスを投入することで、常に測定装置が健全であ
ることを実証することができる。
【００７１】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
上記計測装置を用い、所定測定回数又は時間が経過した
場合に、有機ハロゲン化物濃度校正装置からの標準品で
校正をすることで、例えばＰＣＢ分解処理設備内のＰＣ
Ｂ濃度を迅速且つ的確に長期間に亙って測定することが
できる。
上記計測装置を用い、所定測定回数又は時間が経過した
場合に、有機ハロゲン化物濃度校正装置からの標準品で
校正をすることで、例えばＰＣＢ分解処理設備内のＰＣ
Ｂ濃度を迅速且つ的確に長期間に亙って測定することが
できる。
【図１】第１の実施の形態にかかる有機ハロゲン化物濃
度校正装置の概略図である。
度校正装置の概略図である。
【図２】有機ハロゲン化物濃度校正装置の要部概略図で
ある。
ある。
【図３】標準容器の概略図である。
【図４】他の標準容器の概略図である。
【図５】他の標準容器の概略図である。
【図６】標準校正の測定チャート図である。
【図７】ＰＣＢ無害化処理システムの概略図である。
【図８】水熱分解装置の概要図である。
【図９】従来技術にかかるレーザ計測装置の概略図であ
る。
る。
１０ 有機ハロゲン化物濃度校正装置
１１ 所定濃度の有機ハロゲン化物
１２ 標準容器
１３ 追出しガス
１４ 追い出しガス供給管
１５ 標準ガス
１６ 標準ガス導入管
５０ 有機ハロゲン化物の検出装置
５１ 採取試料
５２ 真空チャンバー
５３ 洩れだし分子線
５４ キャピラリカラム
５５ レーザ光
５６ 収束部
５７ イオントラップ
５８ リフレクトロン
５９ イオン検出器
６０ 飛行時間型質量分析装置
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 土橋 晋作
長崎県長崎市深堀町五丁目717番１号 三
菱重工業株式会社長崎研究所内
Claims (18)
- 【請求項１】 内部に所定濃度の有機ハロゲン化物を封
入した標準容器と、 該標準容器に上記有機ハロゲン化物を追い出す追出しガ
スを供給し、所定濃度の有機ハロゲン化物を同伴させ、
質量分析装置へ導入する標準ガス導入管と、を具備する
ことを特徴とする有機ハロゲン化物濃度校正装置。 - 【請求項２】 請求項１において、 上記標準容器を雰囲気温度＋５〜１００℃に保持する保
温手段を具備することを特徴とする有機ハロゲン化物濃
度校正装置。 - 【請求項３】 請求項１において、 上記標準ガス導入管を１５０℃以上に保持する保温手段
を具備することを特徴とする有機ハロゲン化物濃度校正
装置。 - 【請求項４】 請求項１において、 上記標準容器内に複数の細孔を有するディスクが内装さ
れていることを特徴とする有機ハロゲン化物濃度校正装
置。 - 【請求項５】 請求項１において、 上記標準容器内にグラスファイバー又はビーズが充填さ
れていることを特徴とする有機ハロゲン化物濃度校正装
置。 - 【請求項６】 請求項４又は５において、 上記標準容器内の底部に追出しガスを供給する供給管の
供給口が臨むように挿入され、供給されたガスを容器上
部から排出することを特徴とする有機ハロゲン化物濃度
校正装置。 - 【請求項７】 請求項１において、 上記標準容器内面がポリテトラフルオロエチレン又は酸
化ケイ素のコーティング層が形成されていることを特徴
とする有機ハロゲン化物濃度校正装置。 - 【請求項８】 請求項１において、 上記標準容器が着脱自在であることを特徴とする有機ハ
ロゲン化物濃度校正装置。 - 【請求項９】 請求項８において、 上記着脱自在の標準容器が密閉容器に内装されているこ
とを特徴とする有機ハロゲン化物濃度校正装置。 - 【請求項１０】 請求項９において、 上記標準容器内に検知物質を供給すると共に、上記密閉
容器内に該検知物質を検出するセンサを設けたことを特
徴とする有機ハロゲン化物濃度校正装置。 - 【請求項１１】 請求項１０において、 上記検知物質が水素であることを特徴とする有機ハロゲ
ン化物濃度校正装置。 - 【請求項１２】 請求項１において、 上記測定試料がＰＣＢであることを特徴とする有機ハロ
ゲン化物濃度校正装置。 - 【請求項１３】 請求項１乃至１２のいずれか一項の有
機ハロゲン化物濃度校正装置と、 測定ラインからの試料を真空チャンバー内へ連続的に導
入する試料導入手段と、 導入された試料にレーザを照射し、レーザイオン化させ
るレーザ照射手段と、レーザイオン化した分子を収束さ
せる収束部と、 該収束された分子を選択濃縮するイオントラップと、 一定周期で放出されたイオンを検出するイオン検出器を
備えた飛行時間型質量分析装置とを具備してなることを
特徴とする有機微量成分の検出装置。 - 【請求項１４】 請求項１３の有機微量成分の検出装置
において、 上記試料導入手段がキャピラリカラムであり、その先端
がイオン収束部に臨んでいることを特徴とする有機微量
成分の検出装置。 - 【請求項１５】 請求項１３の有機微量成分の検出装置
において、 上記レーザのパルス波長が２８０ｎｍ以下であることを
特徴とする有機微量成分の検出装置。 - 【請求項１６】 請求項１３の有機微量成分の検出装置
において、 上記レーザのパルス時間幅が５００ピコ秒以下であるこ
とを特徴とする有機微量成分の検出装置。 - 【請求項１７】 請求項１３の有機微量成分の検出装置
を用い、所定測定回数毎に有機ハロゲン化物濃度校正装
置で有機ハロゲン化物の濃度を校正しつつ有機ハロゲン
化物を計測することを特徴とする有機微量成分の検出方
法。 - 【請求項１８】 請求項１７において、 上記測定試料がＰＣＢであることを特徴とする有機微量
成分の検出方法。
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Cited By (12)
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|---|---|---|---|---|
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| JP2007192692A (ja) * | 2006-01-20 | 2007-08-02 | Toshiba Corp | イオン化法ガス検出装置およびイオン化法ガス検出方法 |
| JP4719012B2 (ja) * | 2006-01-20 | 2011-07-06 | 株式会社東芝 | イオン化法ガス検出装置およびイオン化法ガス検出方法 |
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