JP2003236746A - ワーク研削装置 - Google Patents
ワーク研削装置Info
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- JP2003236746A JP2003236746A JP2002037285A JP2002037285A JP2003236746A JP 2003236746 A JP2003236746 A JP 2003236746A JP 2002037285 A JP2002037285 A JP 2002037285A JP 2002037285 A JP2002037285 A JP 2002037285A JP 2003236746 A JP2003236746 A JP 2003236746A
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- work
- static pressure
- work grinding
- fluid
- grinding device
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- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワークの両側に配置される流体静圧手段を簡
易な構成で位置決めできるようにしたワーク研削装置を
提供する。 【解決手段】 平板状ワークの両側に該ワークの表面に
対向するようにそれぞれ配設した流体静圧手段により、
非接触状態で前記ワークを支持しながら両面研削する装
置であって、ワーク装填基準位置を中央とし、前記ワー
クの表面に垂直な方向で互いに同じ移動量となるように
前記流体静圧手段を移動させる静圧手段移動機構を備え
たワーク研削装置である。
易な構成で位置決めできるようにしたワーク研削装置を
提供する。 【解決手段】 平板状ワークの両側に該ワークの表面に
対向するようにそれぞれ配設した流体静圧手段により、
非接触状態で前記ワークを支持しながら両面研削する装
置であって、ワーク装填基準位置を中央とし、前記ワー
クの表面に垂直な方向で互いに同じ移動量となるように
前記流体静圧手段を移動させる静圧手段移動機構を備え
たワーク研削装置である。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウエハ或
いはガラスディスク等の平板状のワーク(以下、単にワ
ークと称す)の表面を研削する装置に関する。特にワー
ク回転軸方向での支持精度を向上させたワーク研削装置
に関する。
いはガラスディスク等の平板状のワーク(以下、単にワ
ークと称す)の表面を研削する装置に関する。特にワー
ク回転軸方向での支持精度を向上させたワーク研削装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、ワークの両面を研削するワーク研
削装置として、例えば図1に示すようなワーク自転式の
両頭研削装置が知られている。このようなワーク研削装
置では、ワークWを回転駆動させる方式としては、例え
ばワークW周面をローラ102によって摩擦駆動する方
式(図1(A))或いはワークWのノッチ部WNなどに
キャリア105を引っ掛けて駆動する方式(図1
(B))などが知られている。
削装置として、例えば図1に示すようなワーク自転式の
両頭研削装置が知られている。このようなワーク研削装
置では、ワークWを回転駆動させる方式としては、例え
ばワークW周面をローラ102によって摩擦駆動する方
式(図1(A))或いはワークWのノッチ部WNなどに
キャリア105を引っ掛けて駆動する方式(図1
(B))などが知られている。
【0003】また、ワークWの半径方向の支持は、ワー
クW周面をローラ102で狭持(クランプ)する場合に
はローラ102(図1(A))が、また、駆動方式にキ
ャリア105を用いるときにはこのキャリア105が半
径方向の支持手段となる(図1(B))。
クW周面をローラ102で狭持(クランプ)する場合に
はローラ102(図1(A))が、また、駆動方式にキ
ャリア105を用いるときにはこのキャリア105が半
径方向の支持手段となる(図1(B))。
【0004】そして、上記のようなワーク研削装置で
は、ワーク回転軸方向でのワークの支持に、ワーク両面
に向けて水やエア等の流体を噴射して流体静圧で非接触
に支持する方式が広く採用されている。このようにワー
ク回転軸方向での支持に流体静圧を用いる研削装置は、
図1にも良く示されるように、所定の圧力をもった流体
を生成する静圧パッド103がワークW表面の一部に対
向するように配置されている。上記流体静圧は、静圧パ
ッド103とワークW表面との隙間において形成され
る。
は、ワーク回転軸方向でのワークの支持に、ワーク両面
に向けて水やエア等の流体を噴射して流体静圧で非接触
に支持する方式が広く採用されている。このようにワー
ク回転軸方向での支持に流体静圧を用いる研削装置は、
図1にも良く示されるように、所定の圧力をもった流体
を生成する静圧パッド103がワークW表面の一部に対
向するように配置されている。上記流体静圧は、静圧パ
ッド103とワークW表面との隙間において形成され
る。
【0005】上記ワーク研削装置では、静圧パッド10
3によりワークWをワーク回転軸方向で支持すると共
に、前述したように半径方向もローラ等で支持しながら
ワークWを回転させる。そして、対となっているカップ
状の砥石101を回転させながらワークWの両表面に接
触させて研削が行われる。上記のようにワークWを保
持、回転させる構成部分はワーク保持器と称する。
3によりワークWをワーク回転軸方向で支持すると共
に、前述したように半径方向もローラ等で支持しながら
ワークWを回転させる。そして、対となっているカップ
状の砥石101を回転させながらワークWの両表面に接
触させて研削が行われる。上記のようにワークWを保
持、回転させる構成部分はワーク保持器と称する。
【0006】なお、図1は片面側から示しているので静
圧パッド103及び砥石101は1つずつであるが、ワ
ークWの背面側にも同様に静圧パッド103及び砥石1
01が配設されて対となっている。
圧パッド103及び砥石101は1つずつであるが、ワ
ークWの背面側にも同様に静圧パッド103及び砥石1
01が配設されて対となっている。
【0007】上記のようなワーク研削装置では、2つの
砥石間にワークを挟んで研削を実行するため、ワーク保
持器が常にワークを砥石間の中央に位置するように保持
している必要がある。この位置関係が崩れると研削が終
了したワークWに反りが生じたり、平坦度の悪いワーク
Wとなる。さらに、この位置関係が大きく崩れると研削
加工中にワークが破損する場合もある。
砥石間にワークを挟んで研削を実行するため、ワーク保
持器が常にワークを砥石間の中央に位置するように保持
している必要がある。この位置関係が崩れると研削が終
了したワークWに反りが生じたり、平坦度の悪いワーク
Wとなる。さらに、この位置関係が大きく崩れると研削
加工中にワークが破損する場合もある。
【0008】特に、前述したように静圧パッドを用いワ
ークWの表面に流体を噴射する場合には、ワークWの両
側に配設された静圧パッドとワークWの両表面との間に
流体静圧が形成される。この流体静圧のバランスにより
ワークの位置が定まるので、静圧パッドの移動を正確に
行うことが重要である。
ークWの表面に流体を噴射する場合には、ワークWの両
側に配設された静圧パッドとワークWの両表面との間に
流体静圧が形成される。この流体静圧のバランスにより
ワークの位置が定まるので、静圧パッドの移動を正確に
行うことが重要である。
【0009】一般にワーク研削装置においては、砥石は
装置本体上をスライドするテーブル上に固定されている
ので、その切込み量(移動量)は比較的精度よく制御で
きる。ここで、砥石の研削によりワークWの厚みが減少
するので静圧パッドの位置が固定であると、静圧パッド
とワークWとの隙間が拡大してしまい所要の静圧状態を
維持できなくなる。
装置本体上をスライドするテーブル上に固定されている
ので、その切込み量(移動量)は比較的精度よく制御で
きる。ここで、砥石の研削によりワークWの厚みが減少
するので静圧パッドの位置が固定であると、静圧パッド
とワークWとの隙間が拡大してしまい所要の静圧状態を
維持できなくなる。
【0010】そこで、従来から静圧パッドの位置をワー
クWの厚み減少に対応して移動させるようにしたワーク
研削装置が提案されている。例えば、砥石の切込み量と
同じだけ静圧パッドを移動させるように制御する両頭研
削装置や、前記流体静圧が所定圧を維持するように静圧
パッドの位置を制御した両頭研削装置等の提案がある。
クWの厚み減少に対応して移動させるようにしたワーク
研削装置が提案されている。例えば、砥石の切込み量と
同じだけ静圧パッドを移動させるように制御する両頭研
削装置や、前記流体静圧が所定圧を維持するように静圧
パッドの位置を制御した両頭研削装置等の提案がある。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】前者の砥石の移動量と
同じだけ静圧パッドを移動させるように制御した両頭研
削装置では、ワークWをワーク装填基準位置に固定して
静圧状態を保つことができる。しかし、このワーク研削
装置は構造が複雑であり、また高精度に静圧パッドの移
動を制御する必要があるので高価な装置となってしま
う。
同じだけ静圧パッドを移動させるように制御した両頭研
削装置では、ワークWをワーク装填基準位置に固定して
静圧状態を保つことができる。しかし、このワーク研削
装置は構造が複雑であり、また高精度に静圧パッドの移
動を制御する必要があるので高価な装置となってしま
う。
【0012】よって、後者の流体静圧が所定圧となるよ
うに静圧パッドの移動を制御するワーク研削装置を採用
することが望ましい。しかし、この装置の場合はシリン
ダ圧やバネ圧が流体静圧と均衡するように構成されてお
り、シリンダやバネ或いはガイド等に生じる摩擦力によ
り各静圧パッドを確実に移動させることが困難である。
うに静圧パッドの移動を制御するワーク研削装置を採用
することが望ましい。しかし、この装置の場合はシリン
ダ圧やバネ圧が流体静圧と均衡するように構成されてお
り、シリンダやバネ或いはガイド等に生じる摩擦力によ
り各静圧パッドを確実に移動させることが困難である。
【0013】そして、この後者のタイプの一般的な研削
装置は以下に説明するように、ワーク両側に配設された
静圧パッドがそれぞれ独立駆動される構成であるため、
その位置を制御することをさらに困難としている。
装置は以下に説明するように、ワーク両側に配設された
静圧パッドがそれぞれ独立駆動される構成であるため、
その位置を制御することをさらに困難としている。
【0014】図2は静圧パッドがそれぞれ独立駆動に駆
動される従来のワーク研削装置の主要部概略を示した図
である。この図2に示すワーク研削装置は、先に説明し
た図1(A)のワークWがローラで保持され、回転され
るタイプであり、図1(A)と対応する部位には同一の
符号を付している。
動される従来のワーク研削装置の主要部概略を示した図
である。この図2に示すワーク研削装置は、先に説明し
た図1(A)のワークWがローラで保持され、回転され
るタイプであり、図1(A)と対応する部位には同一の
符号を付している。
【0015】図2で、ワークWはローラ102によって
保持されながら回転力が供給されるようになっている。
ワーク回転軸方向において、ワークWは左右で対の静圧
パッド103からの流体静圧により支持されている。静
圧パッド103は静圧パッド位置調整機構となるシリン
ダ装置106に接続されている。具体的には、静圧パッ
ド103は図示せぬベースに固定されたシリンダ本体か
ら延びる可動なピストンロッド107に締結されてい
る。また、静圧パッド103はベアリングで水平方向に
移動するガイドバー108にも連結されている。よっ
て、静圧パッド103はピストンロッド107及びガイ
ドバー108に案内されてワークWの厚さ変化に合わせ
てその位置を変化する。なお、静圧パッド位置調整機構
としては、上記シリンダのみの他、バネのみ、シリンダ
とバネの組合せ等がある。
保持されながら回転力が供給されるようになっている。
ワーク回転軸方向において、ワークWは左右で対の静圧
パッド103からの流体静圧により支持されている。静
圧パッド103は静圧パッド位置調整機構となるシリン
ダ装置106に接続されている。具体的には、静圧パッ
ド103は図示せぬベースに固定されたシリンダ本体か
ら延びる可動なピストンロッド107に締結されてい
る。また、静圧パッド103はベアリングで水平方向に
移動するガイドバー108にも連結されている。よっ
て、静圧パッド103はピストンロッド107及びガイ
ドバー108に案内されてワークWの厚さ変化に合わせ
てその位置を変化する。なお、静圧パッド位置調整機構
としては、上記シリンダのみの他、バネのみ、シリンダ
とバネの組合せ等がある。
【0016】上記のような従来の研削装置では、左右の
シリンダに同じ圧力を加圧した場合でも、ピストンとシ
リンダの間、ガイドバーの抵抗が同じとは限らないの
で、静圧パッドは左右で移動量が異なる事態が発生す
る。
シリンダに同じ圧力を加圧した場合でも、ピストンとシ
リンダの間、ガイドバーの抵抗が同じとは限らないの
で、静圧パッドは左右で移動量が異なる事態が発生す
る。
【0017】このような事態が発生すると、ワークWの
両表面の静圧状態が崩れ、ワークWに反りが生じたり、
平坦度の悪くなり、最悪の場合にはワークWが破損して
しまう。
両表面の静圧状態が崩れ、ワークWに反りが生じたり、
平坦度の悪くなり、最悪の場合にはワークWが破損して
しまう。
【0018】したがって、本発明の目的はワークの両側
に配置される流体静圧手段を簡易な構成で精度良く位置
決めできるようにしたワーク研削装置を提供することで
ある。
に配置される流体静圧手段を簡易な構成で精度良く位置
決めできるようにしたワーク研削装置を提供することで
ある。
【0019】
【課題を解決するための手段】上記目的は請求項1に記
載の如く、平板状ワークの両側に該ワークの表面に対向
するようにそれぞれ配設した流体静圧手段により、非接
触状態で前記ワークを支持しながら両面研削する装置で
あって、ワーク装填基準位置を中央とし、前記ワークの
表面に垂直な方向で互いに同じ移動量となるように前記
流体静圧手段を移動させる静圧手段移動機構を備えたワ
ーク研削装置により達成される。
載の如く、平板状ワークの両側に該ワークの表面に対向
するようにそれぞれ配設した流体静圧手段により、非接
触状態で前記ワークを支持しながら両面研削する装置で
あって、ワーク装填基準位置を中央とし、前記ワークの
表面に垂直な方向で互いに同じ移動量となるように前記
流体静圧手段を移動させる静圧手段移動機構を備えたワ
ーク研削装置により達成される。
【0020】そして、請求項2に記載の如く、請求項1
に記載のワーク研削装置において、前記流体静圧手段の
それぞれから前記ワーク表面に向け、ほぼ同圧の流体が
噴射されるように設定されている構成としてもよい。
に記載のワーク研削装置において、前記流体静圧手段の
それぞれから前記ワーク表面に向け、ほぼ同圧の流体が
噴射されるように設定されている構成としてもよい。
【0021】また、請求項3に記載の如く、請求項1又
は2に記載のワーク研削装置において、前記静圧手段移
動機構は、前記流体静圧手段の各々から延在し互いに対
向するように設けられた対の板状部材と、該対の板状部
材が前記垂直方向で互いに逆向きかつ同じ移動量となる
ように規制する案内部材と、前記対の板状部材を前記案
内部材側に付勢する加圧部材とを含んで形成することが
できる。
は2に記載のワーク研削装置において、前記静圧手段移
動機構は、前記流体静圧手段の各々から延在し互いに対
向するように設けられた対の板状部材と、該対の板状部
材が前記垂直方向で互いに逆向きかつ同じ移動量となる
ように規制する案内部材と、前記対の板状部材を前記案
内部材側に付勢する加圧部材とを含んで形成することが
できる。
【0022】また、請求項4に記載の如く、請求項3に
記載のワーク研削装置において、前記板状部材と前記案
内部材は所定の摩擦力を発生させることが可能なガイド
プレートと摩擦ガイドローラであり、前記加圧部材は加
圧ローラである構成を採用できる。
記載のワーク研削装置において、前記板状部材と前記案
内部材は所定の摩擦力を発生させることが可能なガイド
プレートと摩擦ガイドローラであり、前記加圧部材は加
圧ローラである構成を採用できる。
【0023】また、請求項5に記載の如く、請求項3に
記載のワーク研削装置において、前記板状部材と前記案
内部材はラックギアとピニオンギアであり、前記加圧部
材は加圧ローラである構成を採用することもできる。
記載のワーク研削装置において、前記板状部材と前記案
内部材はラックギアとピニオンギアであり、前記加圧部
材は加圧ローラである構成を採用することもできる。
【0024】そして、請求項6に記載の如く、請求項5
に記載のワーク研削装置において、前記ピニオンギアは
バックラッシ調整機構が付加されたピニオンギアとする
ことが望ましい。
に記載のワーク研削装置において、前記ピニオンギアは
バックラッシ調整機構が付加されたピニオンギアとする
ことが望ましい。
【0025】本発明によれば、簡易な構成で流体静圧手
段をワーク装填基準位置に対して正確に位置決めでき
る。よって、高精度なワーク研削が可能となる。
段をワーク装填基準位置に対して正確に位置決めでき
る。よって、高精度なワーク研削が可能となる。
【0026】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施例を説明する。 (第1実施例)図3は第1実施例のワーク研削装置の概
要構成を示した図である。
施例を説明する。 (第1実施例)図3は第1実施例のワーク研削装置の概
要構成を示した図である。
【0027】図3で、ローラ2により支持され回転され
るワークWの両面に、対向するように一対の静圧パッド
3R、3Lが配設されている。各静圧パッド3R、3L
にはポンプ25で所定圧とされた空気、水等の流体が供
給され、その表面からワークWヘ向け噴射されるように
なっている。
るワークWの両面に、対向するように一対の静圧パッド
3R、3Lが配設されている。各静圧パッド3R、3L
にはポンプ25で所定圧とされた空気、水等の流体が供
給され、その表面からワークWヘ向け噴射されるように
なっている。
【0028】上記各静圧パッド3R、3Lの下端部には
下方に延在した支持柱13R、13Lが固定されてい
る。この支持柱13R、13Lの下端には、ワーク回転
軸方向で互いに内側に向けて延材するガイドプレート1
4R、14Lが固定されている。なお、静圧パッド3
R、3Lの各々には、ワーク回転軸方向での動きを安定
化させるため、従来装置と同様にガイドバー8が設けら
れている。
下方に延在した支持柱13R、13Lが固定されてい
る。この支持柱13R、13Lの下端には、ワーク回転
軸方向で互いに内側に向けて延材するガイドプレート1
4R、14Lが固定されている。なお、静圧パッド3
R、3Lの各々には、ワーク回転軸方向での動きを安定
化させるため、従来装置と同様にガイドバー8が設けら
れている。
【0029】図3から明らかなように、上記支持柱13
R、13Lは長さが異なり、ガイドプレート14Rと1
4Lとは所定間隔を持って対向するように配置されてい
る。これらガイドプレート14R、14Lの間には、固
定位置でこれらに接して摩擦ガイドローラ17が配置さ
れている。さらに、ガイドプレート14Rの上側に設け
た加圧ローラ15Uとガイドプレート14Lの下側に設
けた加圧ローラ15Dとが、ガイドプレート14R、1
4Lを摩擦ガイドローラ17側に加圧する状態で配設さ
れている。
R、13Lは長さが異なり、ガイドプレート14Rと1
4Lとは所定間隔を持って対向するように配置されてい
る。これらガイドプレート14R、14Lの間には、固
定位置でこれらに接して摩擦ガイドローラ17が配置さ
れている。さらに、ガイドプレート14Rの上側に設け
た加圧ローラ15Uとガイドプレート14Lの下側に設
けた加圧ローラ15Dとが、ガイドプレート14R、1
4Lを摩擦ガイドローラ17側に加圧する状態で配設さ
れている。
【0030】上記ガイドプレート14R、14L及び摩
擦ガイドローラ17は、加圧ローラ15U、15Dによ
る加圧を受けた状態で、互いにスリップしない程度の摩
擦力が得られる部材で形成されている。よって、摩擦ガ
イドローラ17は、ガイドプレート14R、14Lの移
動が逆向きかつ同じ移動量となるように規制する。その
結果、ガイドプレート14R又はガイドプレート14L
の一方が移動すると、他方がこれとは逆向きに同じ量、
移動するようになる。
擦ガイドローラ17は、加圧ローラ15U、15Dによ
る加圧を受けた状態で、互いにスリップしない程度の摩
擦力が得られる部材で形成されている。よって、摩擦ガ
イドローラ17は、ガイドプレート14R、14Lの移
動が逆向きかつ同じ移動量となるように規制する。その
結果、ガイドプレート14R又はガイドプレート14L
の一方が移動すると、他方がこれとは逆向きに同じ量、
移動するようになる。
【0031】上記のようにガイドプレート14R、14
Lは、支持柱13R、13Lを介して静圧パッド3R、
3Lに固定されている。よって、左右の静圧パッド3
R、3Lは互いに摩擦力で連結され、ワーク回転軸方向
で逆向きで、同じ量移動する静圧手段移動機構が形成さ
れる。
Lは、支持柱13R、13Lを介して静圧パッド3R、
3Lに固定されている。よって、左右の静圧パッド3
R、3Lは互いに摩擦力で連結され、ワーク回転軸方向
で逆向きで、同じ量移動する静圧手段移動機構が形成さ
れる。
【0032】さらに、本実施例装置では、静圧パッド3
R側にシリンダ装置6が設けられ、このシリンダ装置6
のピストンロッド7が静圧パッド3Rの背部に固定され
ている。ピストンロッド7が所定の流体圧を受け、静圧
パッド3RをワークW側に移動させると、上記機構を介
して静圧パッド3LがワークW側に同じ量、移動される
ことになる。
R側にシリンダ装置6が設けられ、このシリンダ装置6
のピストンロッド7が静圧パッド3Rの背部に固定され
ている。ピストンロッド7が所定の流体圧を受け、静圧
パッド3RをワークW側に移動させると、上記機構を介
して静圧パッド3LがワークW側に同じ量、移動される
ことになる。
【0033】本実施例装置の場合には、圧力計21が静
圧パッド3RとワークW間の流体静圧を検出すると共
に、シリンダ装置6に供給される流体の圧力も検出し、
この検出データはコントローラ20に供給されている。
コントローラ20は検出データ参照し、所定のプログラ
ムに基づいて上記流体静圧が一定となるように調圧弁2
2の開度を調整する。これにより、コントローラ20は
ポンプ23から供給される流体を調整して、ピストンロ
ッド7の動きを制御する。
圧パッド3RとワークW間の流体静圧を検出すると共
に、シリンダ装置6に供給される流体の圧力も検出し、
この検出データはコントローラ20に供給されている。
コントローラ20は検出データ参照し、所定のプログラ
ムに基づいて上記流体静圧が一定となるように調圧弁2
2の開度を調整する。これにより、コントローラ20は
ポンプ23から供給される流体を調整して、ピストンロ
ッド7の動きを制御する。
【0034】以上で説明した本実施例のワーク研削装置
であれば、簡単な構成で左右の静圧パッド3R、3Lが
連結され、その移動量が均一化されている。すなわち、
本装置では、静圧パッド3R、3Lを左右対称に移動さ
せることができる。これによりワークW両側の静圧パッ
ドのとの隙間を常に一定に保つことができる。よって、
ワークWは初期に設定した位置に留まり、両側から砥石
が同じ状態で接近するので精度良く研削を行える。
であれば、簡単な構成で左右の静圧パッド3R、3Lが
連結され、その移動量が均一化されている。すなわち、
本装置では、静圧パッド3R、3Lを左右対称に移動さ
せることができる。これによりワークW両側の静圧パッ
ドのとの隙間を常に一定に保つことができる。よって、
ワークWは初期に設定した位置に留まり、両側から砥石
が同じ状態で接近するので精度良く研削を行える。
【0035】本ワーク研削装置によると、ワークWをワ
ーク装填基準位置に確実に装填するだけで、この位置を
中央にして静圧パッド3R、3Lが両側から同じ移動量
でワークWに近付く状態を形成できる。よって、砥石と
ワークWとの関係を維持でき、ワークWを無理に撓ませ
て加工される事態が発生しないので、ワークWの両面を
精密に加工できる。
ーク装填基準位置に確実に装填するだけで、この位置を
中央にして静圧パッド3R、3Lが両側から同じ移動量
でワークWに近付く状態を形成できる。よって、砥石と
ワークWとの関係を維持でき、ワークWを無理に撓ませ
て加工される事態が発生しないので、ワークWの両面を
精密に加工できる。
【0036】さらに、本ワーク研削装置では、静圧パッ
ドを移動させるシリンダ装置は少なくとも一方に設定さ
れていればよいので、低コスト化を図ることもできる。
なお、シリンダ装置に用いる流体には限定はなく、油、
水等の液体でもよいし、空気等の気体でもよい。
ドを移動させるシリンダ装置は少なくとも一方に設定さ
れていればよいので、低コスト化を図ることもできる。
なお、シリンダ装置に用いる流体には限定はなく、油、
水等の液体でもよいし、空気等の気体でもよい。
【0037】また、図3では、静圧パッド3Rを移動さ
せるためにシリンダ装置6を用いたが、バネを用いて静
圧パッド3Rを移動させるようにしてもよい。
せるためにシリンダ装置6を用いたが、バネを用いて静
圧パッド3Rを移動させるようにしてもよい。
【0038】また、図3では摩擦力を利用するため所望
の摩擦力が得られるガイドプレート14R、14L及び
摩擦ガイドローラ17を用いている。しかし、これに限
らずガイドプレート14R、14Lに替えてラックギ
ア、摩擦ガイドローラ17に替えてピニオンギアを用い
てもよい。ただし、ラックギアとピニオンギアを用いた
場合はバックラッシを無視できないので、バックラッシ
調整機構を付加しておくことが望ましい。バックラッシ
調整機構としては、ピニオンギアを2枚重ねにしてこの
両者をバネで連結するなど構成を採用すればよい。
の摩擦力が得られるガイドプレート14R、14L及び
摩擦ガイドローラ17を用いている。しかし、これに限
らずガイドプレート14R、14Lに替えてラックギ
ア、摩擦ガイドローラ17に替えてピニオンギアを用い
てもよい。ただし、ラックギアとピニオンギアを用いた
場合はバックラッシを無視できないので、バックラッシ
調整機構を付加しておくことが望ましい。バックラッシ
調整機構としては、ピニオンギアを2枚重ねにしてこの
両者をバネで連結するなど構成を採用すればよい。
【0039】上記第1実施例では例示的に一対の静圧パ
ッドを示したが、必要により複数設定しもよいことは言
うまでもない。また、静圧パッドの各々にシリンダ装置
を設けてもよい。
ッドを示したが、必要により複数設定しもよいことは言
うまでもない。また、静圧パッドの各々にシリンダ装置
を設けてもよい。
【0040】ところで、本実施例のワーク研削装置は、
装填されるワークWを位置ずれ無く、ワーク装填基準位
置に位置決めできるという優れた効果も発揮する。この
点について図4及び図5を用いて説明する。
装填されるワークWを位置ずれ無く、ワーク装填基準位
置に位置決めできるという優れた効果も発揮する。この
点について図4及び図5を用いて説明する。
【0041】図4はワーク保持器としてのローラ2間に
未加工ワークWが装填される様子を示した図であり、図
5はローラ2に装填された未加工ワークWに位置ずれが
ある状態を示した図である。なお、図3と比較して図5
ではワークWの周辺のみを示している。
未加工ワークWが装填される様子を示した図であり、図
5はローラ2に装填された未加工ワークWに位置ずれが
ある状態を示した図である。なお、図3と比較して図5
ではワークWの周辺のみを示している。
【0042】図4で示すように、ローラ2の一部を移動
させ開放(アンクランプ)した状態で、ワークWが図示
せぬロボット等の搬送装置により装填される。なお、こ
のときには静圧パッド3もワークWの装填に障害となら
ない位置に退避している。
させ開放(アンクランプ)した状態で、ワークWが図示
せぬロボット等の搬送装置により装填される。なお、こ
のときには静圧パッド3もワークWの装填に障害となら
ない位置に退避している。
【0043】ここで図5で示したようにワークWの中心
WSがローラの中心RS(ワーク装填基準位置に相当)
からズレた状態でワークWがローラ間に装填されてしま
う場合もある。
WSがローラの中心RS(ワーク装填基準位置に相当)
からズレた状態でワークWがローラ間に装填されてしま
う場合もある。
【0044】このような場合には、従来の装置では左右
の静圧パッドの移動を正確に制御できないので、ローラ
102でワークWをクランプする前にワークWの位置を
修正することはできない。このように、ワークWの中心
WSがワーク装填基準位置からずれていると、砥石中心
からずれた状態でワークWが研削されるので、ワークW
を撓ませながら研削することになってしまう。よって、
加工されたワークWの精度が劣化する。最悪の場合には
ワークWが破損する等の前述した問題が発生する。ま
た、ローラ2としてV溝ローラを用いた場合も同様の問
題が発生する。
の静圧パッドの移動を正確に制御できないので、ローラ
102でワークWをクランプする前にワークWの位置を
修正することはできない。このように、ワークWの中心
WSがワーク装填基準位置からずれていると、砥石中心
からずれた状態でワークWが研削されるので、ワークW
を撓ませながら研削することになってしまう。よって、
加工されたワークWの精度が劣化する。最悪の場合には
ワークWが破損する等の前述した問題が発生する。ま
た、ローラ2としてV溝ローラを用いた場合も同様の問
題が発生する。
【0045】ところが、本実施例のワーク研削装置で
は、前述したように左右の静圧パッド3R、3Lがワー
ク装填基準位置に対して精度よく対称的に移動する構成
を有している。よって、仮に図5のようにワークWが位
置ずれを持って装填されたとしも、ローラ2によりワー
クWをクランプする前に同圧の流体を噴射する静圧パッ
ド3R、3LをワークWに接近させることで、ワークW
がワーク装填基準位置に移動することになる。すなわ
ち、本実施例のワーク研削装置では図5のような状態で
ワークWがローラ2にクランプされることはなく、常に
ワーク中心WSとローラ中心RSが一致した状態とな
る。
は、前述したように左右の静圧パッド3R、3Lがワー
ク装填基準位置に対して精度よく対称的に移動する構成
を有している。よって、仮に図5のようにワークWが位
置ずれを持って装填されたとしも、ローラ2によりワー
クWをクランプする前に同圧の流体を噴射する静圧パッ
ド3R、3LをワークWに接近させることで、ワークW
がワーク装填基準位置に移動することになる。すなわ
ち、本実施例のワーク研削装置では図5のような状態で
ワークWがローラ2にクランプされることはなく、常に
ワーク中心WSとローラ中心RSが一致した状態とな
る。
【0046】また、仮にワークWが位置ずれを持ってロ
ーラ2にクランプされたときには、ローラ2をアンクラ
ンプして静圧パッド3R、3LをワークWに接近させる
動作を行うことで位置ずれを修正できる。 (第2実施例)図6は、第2実施例のワーク研削装置の
概要構成を示した図である。本第2実施例のワーク研削
装置の基本構成は同様であるので、図3で示した第1実
施例の構成と同様の部位には同一符号を付して重複する
説明は省略する。なお、図6では、左右の静圧パッド3
R、3Lへ流体を供給するポンプ等は図示を省略してい
る。
ーラ2にクランプされたときには、ローラ2をアンクラ
ンプして静圧パッド3R、3LをワークWに接近させる
動作を行うことで位置ずれを修正できる。 (第2実施例)図6は、第2実施例のワーク研削装置の
概要構成を示した図である。本第2実施例のワーク研削
装置の基本構成は同様であるので、図3で示した第1実
施例の構成と同様の部位には同一符号を付して重複する
説明は省略する。なお、図6では、左右の静圧パッド3
R、3Lへ流体を供給するポンプ等は図示を省略してい
る。
【0047】本第2実施例では、静圧パッド3R、3L
を移動させる駆動源としてモータ30を用いている点が
第1実施例とは異なっている。このモータ30の回転軸
は摩擦ガイドローラ17の軸に接続されている。よっ
て、モータ30を正転或いは逆回することで、第1実施
例と同様に静圧パッド3R、3Lを左右対称に移動させ
ることができる。
を移動させる駆動源としてモータ30を用いている点が
第1実施例とは異なっている。このモータ30の回転軸
は摩擦ガイドローラ17の軸に接続されている。よっ
て、モータ30を正転或いは逆回することで、第1実施
例と同様に静圧パッド3R、3Lを左右対称に移動させ
ることができる。
【0048】本実施例では静圧パッド3R、3Lの移動
にシリンダ装置を用いないので、設備を簡素化できる。
また、モータの駆動力がガイドプレート14R、14L
に対称的に伝播するのでより精度良く静圧パッド3R、
3Lの移動が行える。
にシリンダ装置を用いないので、設備を簡素化できる。
また、モータの駆動力がガイドプレート14R、14L
に対称的に伝播するのでより精度良く静圧パッド3R、
3Lの移動が行える。
【0049】なお、本実施例の場合も、ガイドプレート
14R、14L及び摩擦ガイドローラ17に替えて、ラ
ックギア及びピニオンギアを用いてもよい。
14R、14L及び摩擦ガイドローラ17に替えて、ラ
ックギア及びピニオンギアを用いてもよい。
【0050】以上本発明の好ましい実施例について詳述
したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるもの
ではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の
範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるもの
ではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の
範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【0051】
【発明の効果】以上詳述したところから明らかなよう
に、本発明によれば、簡易な構成で流体静圧手段をワー
ク装填基準位置に対して正確に位置決めできる。よっ
て、高精度なワーク研削が可能となる。
に、本発明によれば、簡易な構成で流体静圧手段をワー
ク装填基準位置に対して正確に位置決めできる。よっ
て、高精度なワーク研削が可能となる。
【図1】従来のワーク自転式研削装置を例示した図であ
る。
る。
【図2】静圧パッドがそれぞれ独立駆動に駆動される従
来のワーク研削装置の主要部概略を示した図である。
来のワーク研削装置の主要部概略を示した図である。
【図3】第1実施例のワーク研削装置の概要構成を示し
た図である。
た図である。
【図4】ワーク保持器としてのローラ間に未加工ワーク
Wが装填される様子を示した図である。
Wが装填される様子を示した図である。
【図5】ローラに装填された未加工ワークWに位置ずれ
がある状態を示した図である。
がある状態を示した図である。
【図6】第2実施例のワーク研削装置の概要構成を示し
た図である。
た図である。
W ワーク
RS ローラ中央(ワーク装填基準位
置) 2 ローラ 3R、3L 静圧パッド(流体静圧手段) 13R、13L 支持柱 14R、14L ガイドプレート(板状部材) 15U、15D 加圧ローラ(加圧部材) 17 摩擦ガイドローラ(案内部材)
置) 2 ローラ 3R、3L 静圧パッド(流体静圧手段) 13R、13L 支持柱 14R、14L ガイドプレート(板状部材) 15U、15D 加圧ローラ(加圧部材) 17 摩擦ガイドローラ(案内部材)
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 冨田 良幸
神奈川県横須賀市夏島町19番地 住友重機
械工業株式会社横須賀製造所内
(72)発明者 原 一敬
神奈川県横須賀市夏島町19番地 住友重機
械工業株式会社横須賀製造所内
(72)発明者 永田 浩
愛媛県新居浜市土橋1丁目3番30号 有限
会社永田研究所内
(72)発明者 塚原 真一郎
神奈川県横須賀市夏島町19番地 住友重機
械工業株式会社横須賀製造所内
Fターム(参考) 3C034 AA08 AA13 BB79
3C043 BC06 CC01 DD05
Claims (6)
- 【請求項1】 平板状ワークの両側に該ワークの表面に
対向するようにそれぞれ配設した流体静圧手段により、
非接触状態で前記ワークを支持しながら両面研削する装
置であって、 ワーク装填基準位置を中央とし、前記ワークの表面に垂
直な方向で互いに同じ移動量となるように前記流体静圧
手段を移動させる静圧手段移動機構を備えた、ことを特
徴とするワーク研削装置。 - 【請求項2】 請求項1に記載のワーク研削装置におい
て、 前記流体静圧手段のそれぞれから前記ワーク表面に向
け、ほぼ同圧の流体が噴射されるように設定されてい
る、ことを特徴とするワーク研削装置。 - 【請求項3】 請求項1又は2に記載のワーク研削装置
において、 前記静圧手段移動機構は、前記流体静圧手段の各々から
延在し互いに対向するように設けられた対の板状部材
と、該対の板状部材が前記垂直方向で互いに逆向きかつ
同じ移動量となるように規制する案内部材と、前記対の
板状部材を前記案内部材側に付勢する加圧部材とを含ん
で形成されている、ことを特徴とするワーク研削装置。 - 【請求項4】 請求項3に記載のワーク研削装置におい
て、 前記板状部材と前記案内部材は所定の摩擦力を発生させ
ることが可能なガイドプレートと摩擦ガイドローラであ
り、前記加圧部材は加圧ローラである、ことを特徴とす
るワーク研削装置。 - 【請求項5】 請求項3に記載のワーク研削装置におい
て、 前記板状部材と前記案内部材はラックギアとピニオンギ
アであり、前記加圧部材は加圧ローラである、ことを特
徴とするワーク研削装置。 - 【請求項6】 請求項5に記載のワーク研削装置におい
て、 前記ピニオンギアはバックラッシ調整機構が付加された
ピニオンギアである、ことを特徴とするワーク研削装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002037285A JP2003236746A (ja) | 2002-02-14 | 2002-02-14 | ワーク研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002037285A JP2003236746A (ja) | 2002-02-14 | 2002-02-14 | ワーク研削装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003236746A true JP2003236746A (ja) | 2003-08-26 |
Family
ID=27778930
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002037285A Pending JP2003236746A (ja) | 2002-02-14 | 2002-02-14 | ワーク研削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003236746A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007274338A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Nikon Corp | カメラおよびカメラシステム |
DE102013207013A1 (de) | 2012-04-24 | 2013-10-24 | Koyo Machine Industries Co., Ltd. | Doppelseiten-Flächenschleifverfahren und Doppelseiten-Flächenschleifer |
KR20160120237A (ko) | 2015-04-07 | 2016-10-17 | 고요 기카이 고교 가부시키가이샤 | 박판형상 워크의 제조방법 및 양두 평면 연삭장치 |
DE112009000334B4 (de) | 2008-02-14 | 2021-08-19 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Doppelscheibenschleifvorrichtung für Werkstücke und Doppelscheibenschleifverfahren für Werkstücke |
CN113681376A (zh) * | 2021-08-31 | 2021-11-23 | 上饶市信诺科技有限公司 | 一种阴极板双面打磨机 |
-
2002
- 2002-02-14 JP JP2002037285A patent/JP2003236746A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007274338A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Nikon Corp | カメラおよびカメラシステム |
DE112009000334B4 (de) | 2008-02-14 | 2021-08-19 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Doppelscheibenschleifvorrichtung für Werkstücke und Doppelscheibenschleifverfahren für Werkstücke |
DE102013207013A1 (de) | 2012-04-24 | 2013-10-24 | Koyo Machine Industries Co., Ltd. | Doppelseiten-Flächenschleifverfahren und Doppelseiten-Flächenschleifer |
KR20130119861A (ko) | 2012-04-24 | 2013-11-01 | 고요 기카이 고교 가부시키가이샤 | 양두 평면 연삭법 및 양두 평면 연삭반 |
KR20160120237A (ko) | 2015-04-07 | 2016-10-17 | 고요 기카이 고교 가부시키가이샤 | 박판형상 워크의 제조방법 및 양두 평면 연삭장치 |
CN106041728A (zh) * | 2015-04-07 | 2016-10-26 | 光洋机械工业株式会社 | 薄板状工件的制造方法以及双头平面磨削装置 |
CN106041728B (zh) * | 2015-04-07 | 2020-02-07 | 光洋机械工业株式会社 | 薄板状工件的制造方法以及双头平面磨削装置 |
CN113681376A (zh) * | 2021-08-31 | 2021-11-23 | 上饶市信诺科技有限公司 | 一种阴极板双面打磨机 |
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A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20040510 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061024 |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070306 |