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TECHNISCHES GEBIET
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Die vorliegende Erfindung betrifft ein Doppelseiten-Flächenschleifverfahren und ein Doppelseiten-Flächenschleifer.
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STAND DER TECHNIK
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Wenn beide Seitenflächen eines dünnen scheibenförmigen Werkstücks, wie beispielsweise eines Siliziumwafers, mittels eines horizontalen Doppelseiten-Flächenschleifers in einem Zustand geschliffen werden, in dem ein Werkstück mittels statischen Drucks von beiden Seiten in einer Scheibendickenrichtung mittels eines Paars von rechten und linken Ruhedruckkissen bzw. Pads des statischen Drucks gehalten wird, werden die beiden Flächen des Werkstücks auf eine bestimmte Dicke mittels eines Paars von rechten und linken Schleifrädern geschliffen, während das Werkstück von einem Träger gedreht wird (Patentdokument 1).
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Bei einem solchen horizontalen Doppelseiten-Flächenschleifer ist es zur Verbesserung der Schleifpräzision sehr wichtig, dass ein Werkstück an der mittleren Position zwischen den Pads des statischen Drucks zum Schleifen gehalten wird. Verschiedene herkömmliche Maßnahmen wurden in Betracht gezogen, beispielsweise Bewegen beider Pads des statischen Drucks rechts und links um denselben Betrag durch Anwenden eines Bewegungsmechanismus während des Schleifens eines Werkstücks (Patentdokument 1).
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Der horizontale Doppelseiten-Flächenschleifer im Patentdokument 1 enthält einen Bewegungsmechanismus, der beide Pads des statischen Drucks rechts und links synchron während des Schleifens bewegt, und wobei eine Werkstückanbringbezugsposition auf die Mitte festgelegt ist, und wobei die beiden Pads des statischen Drucks synchron mit derselben Geschwindigkeit und um denselben Betrag während des Schleifens des Werkstücks mit Bezug auf diese Position bewegt werden.
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Zusätzlich zu einem solchen horizontalen Doppelseiten-Flächenschleifer, der einen Bewegungsmechanismus enthält, wurde ein horizontaler Doppelseiten-Flächenschleifer in Betracht gezogen, der das folgende Einstellungsverfahren durchführt. Zunächst wird ein Werkstück in einen Träger eingebracht, und das Werkstück wird durch statischen Druck auf eine kontaktfreie Weise über Wasser des statischen Drucks mittels beider Pads des statischen Drucks rechts und links gehalten. Danach wird der Träger betätigt, um sich um sein Zentrum zu drehen, um das Werkstück zu drehen, wodurch das Werkstück zwischen beiden Pads des statischen Drucks stabilisiert wird. Anschließend, wenn sich das Werkstück in einem stabilen Zustand befindet, wird die Position des Werkstücks zu dieser Zeit von Luftsensoren gemessen, die in den beiden Pads des statischen Drucks enthalten sind, um einen Nullabgleich mit der als Null dienenden gemessenen Position durchzuführen, und die auf Nullposition wird gespeichert. Als nächstes, nachdem die Drehung des Trägers gestoppt ist, werden beide Schleifräder rechts und links nach vorn geschoben, um das Werkstück, das weiterhin durch statischen Druck von den beiden Pads des statischen Drucks gehalten wird, von beiden Seiten rechts und links von den beiden Schleifrädern sandwichartig einzufassen, und die Positionen der beiden Schleifräder werden so eingestellt, dass eine Entsprechung mit der gespeicherten Nullposition vorliegt, und eine Dicke des sandwichartig eingefassten Werkstücks wird eingegeben, um eine Ausrichtung einer Schleifposition durchzuführen.
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Ferner wurde in Betracht gezogen, dass die Positionen beider Pads des statischen Drucks und die Positionen beider Oberflächen des Werkstücks rechts und links unter Verwendung eines Paars einer rechten und linken Messeinrichtung der Kontaktart vermessen werden, die Zugang hat zu einem Pad des statischen Drucks und einem Werkstück, um die mittlere Position zwischen den Pads des statischen Drucks zu berechnen.
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STAND DER TECHNIK
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PATENTDOKUMENT
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- Patentdokument 1: japanische veröffentlichte ungeprüfte Patentanmeldung Nr. 2003-236746
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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VON DER ERFINDUNG ZU LÖSENDES PROBLEM
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Der herkömmliche horizontale Doppelseiten-Flächenschleifer, der einen Bewegungsmechanismus aufweist, weist ein Problem darin auf, dass dieser mechanisch kompliziert wird, und selbst wenn eine Werkstückanbringbezugsposition auf das Zentrum festgelegt ist und die beiden Pads des statischen Drucks synchron mit derselben Geschwindigkeit und um denselben Betrag mit Bezug auf die Position während des Schleifens eines Werkstücks bewegt werden, nicht garantiert werden kann, dass die Anbringbezugsposition sich an der mittleren Position zwischen den beiden Schleifrädern befindet.
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Ferner weist der erstere horizontale Doppelseiten-Flächenschleifer, der ein Einstellungsverfahren anwendet, ein Problem darin auf, dass dieser Zeit zum Wiederbeginn des Schleifens und ein Probeschleifen von Werkstücken in einem Fall einer Änderung der Einstellungen bzw. des Setups erfordert. Da die Werkformen nicht notwendigerweise konstant sind, sind die Formen in Abhängigkeit jedes Werkstücks uneinheitlich. Ferner, in Abhängigkeit eines Status der Einstellungen ist eine Rechtwinkligkeit zwischen den Schleifradwellen beider Schleifräder und der Werkstückunterstützungsflächen der beiden Pads des statischen Drucks oder dergleichen nicht notwendigerweise auf Null eingestellt. Folglich, selbst wenn ein Werkstück durch den statischen Druck über Wasser des statischen Drucks durch die beiden Pads des statischen Drucks gehalten wird, wird das Werkstück mit einer Neigung gedreht, in Abhängigkeit einer Werkstückform oder eines Status der Einstellungen oder dergleichen, das heißt, es ist schwierig, das Werkstück an der mittleren Position zwischen beiden Pads des statischen Drucks stabil zu drehen, und die Nullposition kann stark von der mittleren Position zwischen beiden Pads des statischen Drucks abweichen. Folglich bestehen in einem solchen Fall Probleme darin, dass viel Zeit zum Wiederbeginn des Schleifens erforderlich ist und viele Werkstücke durch das Probeschleifen verschwendet werden.
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Ferner ist es bei dem letzteren horizontalen Doppelseiten-Flächenschleifer, der die Messeinrichtung der Kontaktart verwendet, möglich, die mittlere Position zwischen den beiden Pads des statischen Drucks sicherer bzw. genauer zu berechnen. Es bestehen dennoch Probleme darin, dass die Berechnung Zeit und Aufwand kostet, eine hoch qualifizierte Bedienperson erforderlich ist und dergleichen.
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Die vorliegende Erfindung wurde im Hinblick auf diese herkömmlichen Probleme getätigt, und eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Doppelseiten-Flächenschleifverfahren und einen Doppelseiten-Flächenschleifer bereitzustellen, mit denen einfach und sicher eine Ausrichtung einer Schleifposition eines dünnen scheiben- bzw. plattenförmigen Werkstücks an einer mittleren Position zwischen den beiden Pads des statischen Drucks durchgeführt werden kann, und das Schleifen mit einer bestimmten Schleifpräzision bezüglich eines ursprünglichen Produkts unmittelbar nach dem Setup bzw. der Einstellung durchgeführt werden kann.
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MITTEL ZUM LÖSEN DES PROBLEMS
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Ein Doppelseiten-Flächenschleifverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung enthält, wenn beide Flächen des Werkstücks mittels eines Paars von Schleifrädern geschliffen werden, während ein dünnes plattenförmiges bzw. scheibenförmiges Werkstück gedreht wird, das mittels eines statischen Drucks von einem Paar von Pads des statischen Drucks unterstützt wird, Detektieren einer Position des Werkstücks mittels eines Werkstückpositionsdetektionsmittels, während das Werkstück zu einer Zentrumsseite zwischen den beiden Pads des statischen Drucks an Unterstützungspositionen des statischen Drucks durch die Schleifräder bewegt wird, vorläufiges (tentatively) Bestimmen von Positionen der Schleifräder, wenn das Werkstückpositionsdetektionsmittel detektiert, dass das Werkstück um einen bestimmten Abstand von den entsprechenden Pads des statischen Drucks getrennt ist, als Schleifvorschubendpositionen, und Vorschieben der beiden Schleifräder mit derselben Geschwindigkeit von den Schleifvorschubendpositionen, um das Werkstück zu schleifen.
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Bevorzugt ist ein Ablauf, bei dem, nachdem das Werkstück gegen eines der Pads des statischen Drucks an den Unterstützungspositionen des statischen Drucks gepresst bzw. gedrückt wurde, das Werkstück um einen bestimmten Weg bzw. Betrag von dem einen Pad des statischen Drucks von dem Schleifrad, dessen Drehung gestoppt wird, in Schwebe gehalten bzw. abgehoben wird (leviated), während das Schleifrad auf der Seite des einen Pads des statischen Drucks vorgeschoben wird, und eine vorläufige Bestimmung der Position des Schleifrads, wenn das Werkstück um den bestimmten Betrag in Schwebe gehalten wird, als Schleifvorschubendposition auf jeder Seite ausgeführt wird, und anschließend wird das Werkstück durch statischen Druck durch die beiden Pads des statischen Drucks unterstützt.
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Ein Fluid des statischen Drucks kann von dem anderen Pad des statischen Drucks zugeführt werden, um das Werkstück gegen die Seite des einen Pads des statischen Drucks zu drücken. Vorzugsweise wird ein Verschiebungsbetrag beider Schleifräder im Voraus bestimmt, und die beiden Schleifräder werden so eingestellt, dass diese während des Schleifens des Werkstücks nicht um den Verschiebungsweg vorgeschoben werden.
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Ein Doppelseiten-Flächenschleifer gemäß der vorliegenden Erfindung, der beide Flächen des Werkstücks mittels eines Paars von Schleifrädern schleift, während ein dünnes plattenförmiges bzw. scheibenförmiges Werkstück gedreht wird, das mittels statischen Drucks durch ein Paar von Pads des statischen Drucks unterstützt wird, wobei der Doppelseiten-Flächenschleifer enthält: ein Paar von Werkstückpositionsdetektionsmitteln zum Detektieren einer Position, an der das Werkstück um einen bestimmten Abstand von beiden Pads des statischen Drucks an Unterstützungspositionen des statischen Drucks getrennt ist, ein Schleifvorschubendpositions-Bestimmungsmittel zum vorläufigen Bestimmen von Positionen der Schleifräder, wenn die entsprechenden Werkstückpositionsdetektionsmittel die Positionen, bei der eine Trennung um den bestimmten Abstand vorliegt, als Schleifvorschubendpositionen detektieren, und ein Schleifzyklussteuermittel zum Vorschieben der beiden Schleifräder mit derselben Geschwindigkeit von den Schleifvorschubendpositionen, die vorläufig von den Schleifvorschubendpositions-Bestimmungsmitteln bestimmt werden, um einen Schleifzyklus bzw. Schleifarbeitsgang auszuführen.
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WIRKUNG DER ERFINDUNG
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Gemäß der vorliegenden Erfindung bestehen Vorteile darin, dass es möglich ist, eine Ausrichtung einer Schleifposition eines dünnen scheibenförmigen bzw. plattenförmigen Werkstücks an einer mittleren Position zwischen beiden Pads des statischen Drucks einfach und sicher auszuführen und einen Schleifvorgang mit einer bestimmten Schleifpräzision bezüglich eines ursprünglichen Produkts unmittelbar nach der Einstellung auszuführen.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 ist eine schematische Querschnittsansicht eines horizontalen Doppelseiten-Flächenschleifers, die eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
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2 ist eine Seitenansicht desselbigen.
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3 ist ein Blockdiagramm eines Steuersystems desselbigen.
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4 ist ein erklärendes Diagramm desselbigen.
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5 ist ein erklärendes Diagramm der Funktionsweise desselbigen.
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6 ist ein erklärendes Diagramm der Funktionsweise desselbigen.
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7 ist ein erklärendes Diagramm der Funktionsweise desselbigen.
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8 ist ein erklärendes Diagramm der Funktionsweise desselbigen.
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9 ist ein Flussdiagramm desselbigen.
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10 ist ein erklärendes Diagramm eines Schwebezustands eines Werkstücks desselbigen.
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BESTER WEG ZUM AUSFÜHREN DER ERFINDUNG
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Im Folgenden werden Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung im Detail basierend auf den Zeichnungen beschrieben. Die Zeichnungen stellen einen horizontalen Doppelseiten-Flächenschleifer dar, der die vorliegende Erfindung anwendet. Der horizontale Doppelseiten-Flächenschleifer enthält, wie es in 1 und 2 gezeigt ist, ein Paar von rechten und linken Pads des statischen Drucks 1 und 2, die so auf der rechten und linken Seite angeordnet sind, dass diese einander gegenüberliegen, welche ein dünnes plattenförmiges bzw. scheibenförmiges Werkstück W, wie beispielsweise einen Siliziumwafer, mittels statischen Drucks halten, ein Paar von rechten und linken Schleifrädern 3 und 4, die drehbar um das Zentrum der horizontalen Achse vorgesehen sind, so dass diese ausgesparten Abschnitte 1a und 2a der entsprechenden Pads des statischen Drucks 1 und 2 entsprechen, welche beide rechte und linke Seitenflächen des Werkstücks W, das von den Pads des statischen Drucks 1 und 2 gehalten wird, schleifen, und einen Träger 5, der das Werkstück W dreht, das von den Pads des statischen Drucks 1 und 2 gehalten wird, um im Wesentlichen das Zentrum davon. Der Träger 5 wird betätigt, um sich im Wesentlichen um das Zentrum des Werkstücks W zu drehen, mittels eines Betätigungsmittels bzw. Antriebsmittels außerhalb der Zeichnung.
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Die Pads des statischen Drucks 1 und 2 sind horizontal zwischen Unterstützungspositionen des statischen Drucks H1 und H2 (vergleiche 1) in der Umgebung des Werkstücks W und zurückgezogenen Positionen (nicht gezeigt) bewegbar, die von den Unterstützungspositionen des statischen Drucks H1 und H2 zurückgezogen sind, und wenn ein Fluid des statischen Drucks, wie beispielsweise Wasser mit statischem Druck (im Folgenden als Wasser des statischen Drucks bezeichnet) den Werkstückunterstützungsflächen 1b und 2b von den beiden Pads des statischen Drucks 1 und 2 an den Unterstützungspositionen des statischen Drucks H1 und H2 zugeführt wird, wird das Werkstück W durch den statischen Druck auf eine kontaktfreie Weise an der mittleren Position zwischen beiden Pads des statischen Drucks 1 und 2 über das Wasser des statischen Drucks unterstützt, und ferner, wenn das Wasser des statischen Drucks von einem der Pads des statischen Drucks 1 und 2 zugeführt wird, wird das Werkstück W gegen das andere Pad des statischen Drucks 1 und 2 über das Wasser des statischen Drucks gedrückt bzw. gepresst.
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Auf den Seiten der Werkstückunterstützungsflächen 1b und 2b der Pads des statischen Drucks 1 und 2, zusätzlich zu mehreren Taschen (nicht gezeigt), denen Wasser des statischen Drucks zugeführt wird, und Abflussnuten (nicht gezeigt), durch die das Wasser des statischen Drucks von den entsprechenden Taschen nach draußen abgeführt wird, sind mehrere (beispielsweise in Umfangsrichtung drei) Luftsensoren 6 und 7 in bestimmten Abständen in der Umfangsrichtung in der Umgebung der ausgesparten Abschnitte 1a und 2a angeordnet. Die Luftsensoren 6 und 7 bauen ein Werkstückpositionsdetektionsmittel auf, das eine Position des Werkstücks W detektiert, die Luft zum Werkstück W von deren Luftdüsen ausstoßen, um Abstände bzw. Zwischenräume zwischen dem Werkstück W und den Werkstückunterstützungsflächen 1b und 2b der Pads des statischen Drucks 1 und 2 gemäß einer Änderung des Rückdrucks zu dieser Zeit zu messen.
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Ferner sind die Luftsensoren 6 und 7 lediglich Beispiele für ein Werkstückpositionsdetektionsmittel, und andere Mittel, die eine Position des Werkstücks W detektieren können, können verwendet werden. Ferner gibt es Werkstückpositionsdetektionsmittel der Kontaktart und der kontaktfreien Art, und ein beliebiges derselben kann verwendet werden.
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Die Schleifräder 3 und 4 sind schalenförmig, usw. und sind an den Vorderenden von horizontalen Schleifradwellen 8 und 9 fixiert und sind horizontal zwischen Vorschubendpositionen und Rückzugsendpositionen gemäß der Bewegung der Schleifradwellen 8 und 9 bewegbar und drehen sich um die Schleifradwellen 8 und 9, um beide Flächen des Werkstücks W rechts und links zu schleifen.
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Der Träger 5 enthält eine Trägeröffnung 10, in welche das Werkstück W entfernbar eingebracht wird, auf eine im Wesentlichen konzentrische Weise, und der Träger 5 ist drehbar um im Wesentlichen das Zentrum des Werkstücks W von mehreren Unterstützungsrollen 11 unterstützt, die auf der Außenumfangsseite in Umfangsrichtung angeordnet sind, wobei diese von einem Antriebsmittel (nicht gezeigt) angetrieben werden, um sich im Wesentlichen um das Zentrum des Werkstücks W zu drehen. Der Träger 5 weist einen Eingriffsbereich 13 auf, der in die Trägeröffnung 10 hervorsteht, um mit einem Kerbbereich 12 des Werkstücks W einzugreifen.
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3 zeigt eine Steuereinrichtung, welche den horizontalen Flächenschleifer steuert. Diese Steuereinrichtung enthält ein Steuermittel für die Pads des statischen Drucks 15, das Zufuhr/Stopp des Wassers des statischen Drucks der Pads des statischen Drucks 1 und 2 und die Bewegung der Pads des statischen Drucks 1 und 2 steuert, ein Schleifradwellen-Steuermittel 16, das den Vorschub/Rückzug, Drehung/Stopp und dergleichen der Schleifradwellen 8 und 9 steuert, ein Paar von rechten und linken Luftsensoren (Werkstückpositionsdetektionsmittel) 6 und 7, welche Schwebebeträge bzw. Schwebewege C1 und C2 des Werkstücks W von den Pads des statischen Drucks 1 und 2 an den Haltepositionen des statischen Drucks H1 und H2 (Abstände zwischen den Pads des statischen Drucks 1 und 2 und des Werkstücks W) (vergleiche 5 und 7) detektieren, ein Schwebebetrageinstellmittel 17, das einen bestimmten Schwebebetrag C des Werkstücks W von den Pads des statischen Drucks 1 und 2 einstellt, ein Schleifvorschubendpositions-Bestimmungsmittel 18, das die Positionen beider Schleifräder 8 und 9 als Schleifvorschubendpositionen F1 und F2 (vergleiche 5 und 7) vorläufig bestimmt, wenn Schwebebeträge C1 und C2, die von den entsprechenden Luftsensoren 6 und 7 detektiert werden, den bestimmten Schwebebetrag C erreichen, der von dem Schwebebetrageinstellmittel 17 festgelegt wurde, ein Zwischenraumeinstellmittel 19, das einen Zwischenraum A zwischen den Pads des statischen Drucks 1 und 2 an den Haltepositionen des statischen Drucks H1 und H2 (vergleiche 1) einstellt, ein Einstellmittel der endgültigen Dicke 20, das eine endgültige Dicke B des Werkstücks W einstellt, und ein Schleifzyklussteuermittel 21, das einen Vorschubbetrag F beider Schleifradwellen 8 und 9 auf der Basis des Zwischenraums A zwischen beiden Pads des statischen Drucks 1 und 2, der von dem Zwischenraumeinstellmittel 19 festgelegt wird, und der endgültige Dicke B des Werkstücks W, die von dem Einstellmittel der endgültigen Dicke 20 eingestellt wird, berechnet und beide Schleifräder 3 und 4 mit im Wesentlichen derselben Geschwindigkeit und um denselben Weg bzw. Betrag von den Schleifvorschubendpositionen F1 und F2 vorschiebt, die von dem Schleifvorschubendpositions-Bestimmungsmittel 18 vorläufig bestimmt werden, um einen Schleifzyklus bzw. Schleifvorgang zum Schleifen des Werkstücks W durch die beiden Schleifräder 3 und 4 an den vorderen Enden davon auszuführen.
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Ferner sind die Vorschubgeschwindigkeiten in dem Fall, in dem beide Schleifräder 3 und 4 von den Schleifvorschubendpositionen F1 und F2 vorgeschoben werden, vorzugsweise dieselbe Geschwindigkeit auf der rechten und linken Seite, und die Vorschubbeträge sind vorzugsweise auf der rechten und linken Seite gleich. Allerdings können die Vorschubgeschwindigkeiten und die Vorschubbeträge in einem erlaubten Bereich der Schleifgenauigkeit bzw. Schleifpräzision des Werkstücks W im Wesentlichen gleich sein. Ferner, in dem Fall, in dem die Vorschubgeschwindigkeiten der entsprechenden Schleifräder 3 und 4 in mehreren Stufen erhöht oder verringert werden, können die Schleifräder rechts und links beschleunigt oder verzögert werden, um im Wesentlichen synchronisiert zu werden (im Wesentlichen synchronisiert). Folglich besteht keine Notwendigkeit, die entsprechenden Schleifräder 3 und 4 stets mit einer konstanten Geschwindigkeit vorzuschieben.
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Das Steuermittel für die Pads des statischen Drucks 15 ist im Stande, die Zufuhr/den Stopp des Wassers des statischen Drucks bezüglich der Pads des statischen Drucks 1 und 2 individuell zu steuern, und ist im Stande, das Werkstück W durch statischen Druck in dem Träger 5 durch Zuführen von Wasser des statischen Drucks gleichzeitig von beiden Pads des statischen Drucks 1 und 2 durch die Steuerung zu halten, und ist im Stande, Wasser des statischen Drucks von einem der Pads des statischen Drucks 1 und 2 zuzuführen, um das Werkstück W in dem Träger 5 gegen das andere Pad des statischen Drucks 1 und 2 zu drücken. Ferner kann Wasser des statischen Drucks je nach Erfordernis zur Zeit des Einbringens und Herausnehmens des Werkstücks W zugeführt werden.
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Das Schleifvorschubendpositions-Bestimmungsmittel 18 führt eine Funktion des Drückens des Werkstücks W gegen eines der Pads des statischen Drucks 1 und 2 an den Unterstützungspositionen des statischen Drucks H1 und H2 und danach eine Funktion des Vorschubs einer Schleifradwelle 8 oder 9 auf der gleichen Seite des einen Pads des statischen Drucks 1 oder 2 aus, um das Werkstück W bezüglich der Pads des statischen Drucks 1 und 2 in Schwebe zu halten, entsprechend durch die Schleifräder 3 und 4 an den Vorderenden der entsprechenden Schleifradwellen 8 und 9 auf der rechten und linken Seite, durch das Steuermittel für die Pads des statischen Drucks 15, das Schleifradwellensteuermittel 19 und dergleichen, um die Positionen der Schleifräder 3 und 4, wenn die Schwebebeträge C1 und C2 des Werkstücks W auf den Seiten rechts und links den bestimmten Schwebebetrag C erreichen, als die rechten und linken Schleifvorschubendpositionen F1 und F2 vorläufig zu bestimmen.
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Zur Zeit des Bestimmens einer Schleifposition des Werkstücks W wird das Werkstück W zunächst gegen eines der Pads des statischen Drucks 1 und 2 gedrückt. Als nächstes wird in diesem Zustand die eine Schleifradwelle 8 oder 9 vorgeschoben, um das eine Schleifrad 3 oder 4 mit dem Werkstück W in Kontakt zu bringen. Danach wird das Werkstück W durch das Schleifrad 3 oder 4, dessen Drehung gestoppt wurde, gepresst bzw. gedrückt, um das Werkstück W von dem einen Pad des statischen Drucks 1 oder 2 abzuheben bzw. in Schwebe zu bringen. Anschließend wird die Position, wenn der Schwebebetrag C1 oder C2 des Werkstücks W den bestimmten Schwebebetrag C erreicht, als die Schleifvorschubendposition F1 und F2 der einen Schleifradwelle 8 oder 9 bestimmt. Diese Funktion wird entsprechend auf der rechten und linken Seite auf diese Weise ausgeführt.
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Damit liegt die mittlere Position zwischen dem rechten und linken Schleifrad 3 und 4 im Wesentlichen in der Mitte zwischen beiden Pads des statischen Drucks 1 und 2. Folglich ist es möglich, vorausgesetzt, dass beide Flächen des Werkstücks W in diesem Zustand durch die beiden Schleifräder 3 und 4 geschliffen werden, das Werkstück W an im Wesentlichen der mittleren Position zwischen beiden Pads des statischen Drucks 1 und 2 zu schleifen. Folglich liegen Vorteile darin, dass es möglich ist, eine Schleifposition des dünnen plattenförmigen bzw. scheibenförmigen Werkstücks W an einer im Wesentlichen mittleren Position zwischen beiden Pads des statischen Drucks 1 und 2 einfach und sicher auszurichten und ein Schleifen mit einer bestimmten Schleifgenauigkeit bezüglich eines ursprünglichen Produkts unmittelbar nach der Einstellung bzw. nach dem Setup auszuführen.
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Ferner ist die mittlere Position zwischen den beiden Schleifrädern 3 und 4 vorzugsweise die mittlere Position zwischen den beiden Pads des statischen Drucks 1 und 2. Allerdings, solange sich die Wirkung der Schleifgenauigkeit des Werkstücks W in einem zulässigen Bereich befindet, kann eine kleine Abweichung bzw. Dezentrierung zwischen der mittleren Position zwischen den beiden Schleifrädern 3 und 4 und der mittleren Position zwischen beiden Pads des statischen Drucks 1 und 2 vorliegen. Folglich kann die mittlere Position zwischen den beiden Schleifrädern 3 und 4 im Wesentlichen in der Mitte zwischen beiden Pads des statischen Drucks 1 und 2 innerhalb des zulässigen Bereichs der Schleifgenauigkeit des Werkstücks W liegen.
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Dieser horizontale Flächenschleifer wird im Voraus so eingestellt, dass die rechten und linken Schleifradwellen 8 und 9 koaxial positioniert sind, die Werkstückunterstützungsflächen 1b und 2b beider Pads des statischen Drucks 1 und 2 rechts und links sich in einem rechten Winkel zu beiden Schleifradwellen 8 und 9 befinden und die Werkstückunterstützungsflächen 1b und 2b beider Pads des statischen Drucks 1 und 2 parallel zueinander liegen. Ferner wird der Zwischenraum A zwischen beiden Pads des statischen Drucks 1 und 2 gemäß einer Dicke des Werkstücks W, Schleifbedingungen dafür und dergleichen bestimmt.
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Als nächstes wird eine Beschreibung mit Bezug auf ein Flussdiagramm der 9 gegeben. Als nächstes wird das Werkstück W in den Träger 5 (Schritt S1) eingebracht. Die Einbringung des Werkstücks W kann direkt manuell ausgeführt werden, und in dem Fall, in dem ein Ein-/Ausbringmittel vorgesehen ist, kann die Einbringung automatisch mittels des Ein-/Ausbringmittels ausgeführt werden.
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Beispielsweise, in dem Fall, in dem das Werkstück W automatisch in den Träger 5 mittels des Ein-/Ausbringmittels eingebracht wird, befindet sich das rechte Pad des statischen Drucks 2 im Voraus an der Unterstützungsposition des statischen Drucks H2 in der Umgebung des Trägers 5, und das Werkstück W wird von der linken Seite mittels des Ein-/Ausbringmittels in diesen Zustand in den Träger 5 eingebracht, um das Werkstück W mittels des Ein-/Ausbringmittels und des rechten Pads des statischen Drucks 2 sandwichartig aufzunehmen, und danach wird das Werkstück W mittels Vakuum auf die Seite des rechten Pads des statischen Drucks 2 angesaugt. Anschließend, nachdem das Ein-/Ausbringmittel nach draußen zurückgezogen ist, wird das linke Pad des statischen Drucks 1 zur Unterstützungsposition des statischen Drucks H1 bewegt, um das Werkstück W von beiden Seiten einzuklemmen, damit das Werkstück W nicht aus dem Träger 5 herausfällt. Ferner entsprechen die Unterstützungspositionen des statischen Drucks H1 und H2 der beiden Pads des statischen Drucks 1 und 2 dem Zwischenraum A, der von dem Zwischenraumeinstellmittel 19 eingestellt wird.
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Als nächstes wird das Wasser des statischen Drucks 2c beispielsweise in der Richtung der Pfeile in 4 von dem rechten Pad des statischen Drucks 2 beider Pads des statischen Drucks 1 und 2 rechts und links, die an den Unterstützungspositionen des statischen Drucks H1 und H2 positioniert sind, zugeführt (Schritt S3), und wie es in 4 gezeigt ist, wird das Werkstück W gegen die Werkstückunterstützungsfläche 1b des linken Pads des statischen Drucks 1, das an der Unterstützungsposition des statischen Drucks H1 positioniert ist, mittels des Wassers des statischen Drucks 2c gedrückt (Schritt S4).
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Danach wird die linke Schleifradwelle 8 in der Richtung des Pfeils X in 5 mit einer konstanten Geschwindigkeit in einem Zustand nach vorn geschoben, in dem die Drehung des Schleifrads 3 gestoppt ist (Schritt S5). Danach, nachdem das linke Schleifrad 3 mit der Werkstückunterstützungsfläche 1b des linken Pads des statischen Drucks 1 in Übereinstimmung gebracht wurde, um mit dem Werkstück W in Kontakt zu geraten, wird das Werkstück W in der Richtung nach rechts (Richtung des Pfeils X) in den Einflussbereich (in the teeth) der Zufuhr des Wassers des statischen Drucks 2c gedrückt, um das Werkstück W von der Werkstückunterstützungsfläche 1b des linken Pads des statischen Drucks 1 abzuheben bzw. in Schwebe zu bringen, wie es in 5 gezeigt ist (Schritt S6). Anschließend wird der Schwebebetrag C1 des Werkstücks W zu dieser Zeit mittels des Luftsensors 7 des rechten Pads des statischen Drucks 2 gemessen (Schritt S7).
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Wenn der Luftsensor 7 den Schwebebetrag C1 des Werkstücks W misst, werden in dem Schleifvorschubendpositions-Bestimmungsmittel 18 ein Ausgabewert des Schwebebetrags C1 durch den Luftsensor 7 und ein Einstellwert des bestimmten Schwebebetrags C, der von dem Schwebebetrageinstellmittel 17 eingestellt wird, verglichen, um zu beurteilen, ob oder ob nicht das Werkstück W um den bestimmten Schwebebetrag C von dem linken Pad des statischen Drucks abgehoben ist (Schritt S8). Anschließend, wenn das Werkstücks W um den bestimmten Schwebebetrag C abgehoben ist, wird der Ausgabewert von dem Luftsensor 7 mit dem Einstellwert des bestimmten Schwebebetrags C in Übereinstimmung gebracht, und folglich wird der Vorschub der linken Schleifradwelle 8 gleichzeitig mit der Beurteilung bzw. Feststellung des bestimmten Schwebebetrags C gestoppt (Schritt S9), und wie es in 5 gezeigt ist, wird die Position der linken Schleifradwelle 8 zu diesem Zeitpunkt vorläufig als die linke Schleifvorschubendposition F1 bestimmt (Schritt S10).
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Ferner kann der bestimmte Schwebebetrag C des Werkstücks W beliebig eingestellt werden. Allerdings muss gelten C < (A – D)/2, wobei A der Zwischenraum zwischen beiden Pads des statischen Drucks 1 und 2 ist und D eine Dicke des Werkstücks W vor dem Schleifen ist.
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Wenn das Werkstück W um den bestimmten Schwebebetrag C von dem linken Pad des statischen Drucks 1 abgehoben ist, wird die linke Schleifradwelle 8 um einen bestimmten Betrag an die Rückzugsposition zurückgezogen (Schritt S11), und die Zufuhr des Wassers des statischen Drucks 2c von dem rechten Pad des statischen Drucks 2 wird gestoppt (Schritt S12).
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Als nächstes, wie es in 6 gezeigt ist, nachdem das Wasser des statischen Drucks 1c in der Richtung der Pfeile von dem linken Pad des statischen Drucks 1 zugeführt wird, um das Werkstück W gegen das rechte Pad des statischen Drucks 2 zu drücken, das an der Unterstützungsposition des statischen Drucks H2 positioniert ist, mittels des Wassers des statischen Drucks 1c (Schritte S13 und S14), wie es in 7 gezeigt ist, durch Ausführen einer Funktion des Vorschiebens der rechten Schleifradwelle 9, deren Drehung in der Richtung des Pfeils Y in 7 gestoppt ist, mit einer konstanten Geschwindigkeit, und dergleichen, wird die Schleifvorschubendposition F2 der rechten Schleifradwelle 9 vorläufig mit demselben Verfahren bestimmt (Schritte S15 bis S20). Danach wird die rechte Schleifradwelle 9 um denselben Betrag wie die linke Schleifradwelle 8 zurückgezogen (Schritt S21). Ferner, um die Bewegungswege zu vergleichmäßigen, bis die entsprechenden Schleifradwellen 8 und 9 gestoppt werden, nachdem die Luftsensoren 6 und 7 den bestimmten Schwebebetrag C detektiert haben, werden die Vorschubgeschwindigkeiten beider Schleifradwellen 8 und 9 auf dieselbe Geschwindigkeit eingestellt.
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Als nächstes, wie es in 8 gezeigt ist, wird das Wasser des statischen Drucks 2c von dem rechten Pad des statischen Drucks 2 zugeführt (Schritt S22), wird das Werkstück W von dem statischen Druck über das Wasser des statischen Drucks 1c und 2c durch die beiden Pads des statischen Drucks 1 und 2 an den Unterstützungspositionen des statischen Drucks H1 und H2 unterstützt und werden die beiden Schleifräder 3 und 4 in einem Drehzustand von den Drehvorschubendpositionen F1 und F2 zur Seite des Werkstücks W nach vorn geschoben, um einen Schleifzyklus zum Schleifen des Werkstücks W durch die beiden Schleifräder 3 und 4 auszuführen (Schritt S23). Die Vorschubgeschwindigkeiten der beiden Schleifradwellen 8 und 9 und die Drehgeschwindigkeiten der beiden Schleifräder 3 und 4 sind gleich.
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Da der Zwischenraum A zwischen den beiden Pads des statischen Drucks 1 und 2 rechts und links gemäß der Einstellung durch das Zwischenraumeinstellmittel 19 bestimmt wird und die endgültige Dicke B des Werkstücks W gemäß einer Einstellung durch das Einstellmittel der endgültigen Dicke 20 bestimmt wird, während das Schleifzyklussteuermittel 21 den Vorschubbetrag F der Schleifradwellen 8 und 9 auf der Basis des Zwischenraums A zwischen den Pads des statischen Drucks 1 und 2 und der endgültigen Dicke B des Werkstücks W im Voraus berechnet, werden die beiden Schleifradwellen 8 und 9 mit derselben Geschwindigkeit von den rechten und linken Schleifvorschubendpositionen F1 und F2 nach vorn geschoben, um das Werkstück W durch die beiden Schleifräder 3 und 4 an den Vorderenden davon zu schleifen.
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Zu der Zeit, unter der Annahme, dass der Vorschubbetrag S beim Vorschub der Schleifradwellen 8 und 9 von den rechten und linken Schleifvorschubendpositionen F1 und F2 gleich (A – B)/2 ist, ist der Zwischenraum zwischen den rechten und linken Schleifvorschubendpositionen F1 und F2, die vorläufig bestimmt werden, um einen Betrag, der dem rechten oder linken Schwebebetrag C1 oder C2 entspricht, kleiner als der Zwischenraum A zwischen den beiden Pads des statischen Drucks 1 und 2 rechts und links. Folglich schleifen die beiden Schleifräder 3 und 4 das Werkstück W zu stark, was zu einer Herstellung von fehlerhaften Produkten führt, die dünner als die bestimmte endgültige Dicke B sind.
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Um die Erzeugung solcher fehlerhaften Produkte zu unterbinden, wird ein Versetzungsbetrag bzw. ein Verschiebungsweg G in das Schleifzyklussteuermittel 21 eingegeben, werden beide Schleifradwellen 8 und 9 mit einer konstanten Geschwindigkeit vorgeschoben, während der Vorschubbetrag S, wenn die rechten und linken Schleifradwellen 8 und 9 von den Schleifvorschubendpositionen F1 und F2 vorgeschoben werden, durch S = (A – B – G)/2 berechnet wird, damit die beiden Schleifradwellen 8 und 9 nicht um den Verschiebungsweg G vorgeschoben werden.
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Dieser Verschiebungsweg G ist vorzugsweise gleich dem vorbestimmten Schwebebetrag C des Werkstücks W. Allerdings, da der bestimmte Schwebebetrag C des Werkstücks W gemäß den Vorschubgeschwindigkeiten der Schleifradwellen 8 und 9, der Verwendung der Luftsensoren 6 und 7 und dergleichen variiert, wird der Verschiebungsbetrag G in Wirklichkeit festgelegt, um zur Sicherheit größer als der bestimmte Schwebebetrag C des Werkstücks W zu sein. Ferner, vorausgesetzt, dass der bestimmte Schwebebetrag C des Werkstücks W gemäß der Vorschubgeschwindigkeit der Schleifradwellen 8 und 9 und jede Bedingung der Luftsensoren 6 und 7 und dergleichen in eine Datenbank eingepflegt werden und der Verschiebungsbetrag G auf der Basis der Datenbank bestimmt wird, ist es möglich, einen präziseren Verschiebungsbetrag G zu bestimmen.
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Nach dem Schleifen des Werkstücks W durch einen solchen Schleifzyklus bzw. Schleifarbeitsgang wird beurteilt, ob oder ob nicht das geschliffene Werkstück W mit der bestimmten Schleifgenauigkeit (Schritt S24) fertiggestellt ist und wenn dieses mit der bestimmten Schleifgenauigkeit fertiggestellt ist, wird das Schleifen kontinuierlich fortgeführt (Schritt S25). Ferner, wenn die Schleifgenauigkeit gering ist, wird ein bestimmter Einstellbetrieb, wie beispielsweise ein Einstellen der Schleifposition durch abermaliges Berechnen der Schleifvorschubendpositionen F1 und F2 der Schleifradwellen 8 und 9 oder eine Kippeinstellung der Schleifradwellen 8 und 9 ausgeführt (Schritt S26), um die bestimmte Schleifgenauigkeit zu erhalten.
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Vorausgesetzt, dass die Schleifposition des Werkstücks W auf diese Weise bestimmt wird, wird eine Funktion, bei der, nachdem das Werkstück W in den Träger 5 eingebracht ist, das Werkstück W gegen eines der Pads des statischen Drucks 1 und 2 gedrückt wird, eine Schleifradwelle 8 oder 9 auf derselben Seite nach vorn geschoben, um das Werkstück W von dem Pad des statischen Drucks 1 oder 2 durch eines der Schleifräder 3 und 4 abzuheben bzw. in Schwebe zu bringen, auf der rechten und linken Seite entsprechend ausgeführt, wodurch es möglich wird, das Werkstück W an der mittleren Position zwischen den rechten und linken Pads des statischen Drucks 1 und 2 auszurichten. Folglich ist es möglich, eine Ausrichtung unabhängig von der Fähigkeit der Bedienperson einfach und genau auszuführen, und es ist möglich, im Wesentlichen die gleiche Schleifposition jedes Mal zu reproduzieren, wodurch es möglich wird, die Erzeugung fehlerhafter Produkte so weit wie möglich zu reduzieren.
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Ferner, da es möglich ist, das Werkstück W durch die beiden Schleifräder 3 und 4 an der mittleren Position zwischen beiden Pads des statischen Drucks 1 und 2 zu schleifen, besteht ein Vorteil darin, dass kein Probeschleifen erforderlich ist, wodurch es möglich wird, die Menge von Probeschleifwerkstücken W zu verringern. Folglich, da eine Ausrichtung des Werkstücks W ohne Drehung der Schleifräder 3 und 4 ausgeführt wird, wird das Werkstück W nicht beschädigt, und die Werkstücke W können direkt als Produkte verwendet werden.
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Ferner, selbst wenn das Werkstück W sich verzieht oder wellig wird, da das Wasser des statischen Drucks 1c oder 2c von einem Pad des statischen Drucks 1 oder 2 zugeführt wird, um die gesamte Fläche des Werkstücks W gegen das andere Pad des statischen Drucks 1 oder 2 zu drücken, ist es möglich, eine genaue Ausrichtung ohne Einfluss durch die Form des Werkstücks W auszuführen. Selbst wenn die Dicke des Werkstücks W nicht gefunden wird, ist es möglich, das Werkstück W an dem mittleren Punkt zwischen beiden Pads des statischen Drucks 1 und 2 auszurichten. Da eine vorhandene Ausstattung, die für die Unterstützung des statischen Drucks verwendet wird, für die Zufuhr des Wassers des statischen Drucks 1c und 2c von den Pads des statischen Drucks 1 und 2 genutzt werden kann, bestehen keine Probleme hinsichtlich einer Erhöhung der Produktionskosten für einen kompletten horizontalen Flächenschleifer.
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Ferner, in dem Fall, in dem die Schleifräder 3 und 4 vorgeschoben werden, um das Werkstück W abzuheben bzw. in Schwebe zu bringen, wenn die Schleifräder 3 und 4 sich in einem drehenden Zustand befinden, kann der Winddruck oder dergleichen aufgrund der Drehung störend werden, und zusätzlich können die Schleifräder 3 und 4 das Werkstücks W schleifen, wodurch bzw. wenn die Schleifradwellen 8 und 9 zu stark nach vorn geschoben werden, und dergleichen. Allerdings ist es durch nach vorn Schieben der Schleifradwellen 8 und 9 in einem Zustand, in dem die Drehung der Schleifräder 3 und 4 gestoppt ist, während die Probleme, wie beispielsweise eine Störung aufgrund der Drehung der Schleifräder 3 und 4 gelöst werden, und ein Schleifen des Werkstücks W stattfindet, möglich, das Werkstück W von den Pads des statischen Drucks 1 und 2 abzuheben, durch Nutzen der Schleifräder 3 und 4.
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Mehrere Luftsensoren 6 und 7 sind beispielsweise an drei Orten in der Umfangsrichtung in der Umgebung des ausgesparten Abschnitts 2a angeordnet, wodurch es möglich ist, den Schwebebetrag C1 oder C2 des Werkstücks W unter Verwendung einer Summe oder eines Durchschnitts von Ausgabewerten der drei Luftsensoren 6 und 7, einer Ausgabe der Luftsensoren 6 und 7, der zuerst einen festgelegten Wert erreicht, Ausgabewerte von einem oder zwei oder den drei Luftsensoren 7 zu detektieren. Allerdings, da einer der Luftsensoren 6 und 7, der auf der Endseite in der Umfangsrichtung angeordnet ist, in dieser Ausführungsform verwendet wird, besteht ein Vorteil darin, dass es möglich ist, den Schwebebetrag C1 oder C2 des Werkstücks W einfach zu messen.
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Das heißt, in dem Fall, in dem das eine Schleifrad 3 nach vorn geschoben wird, um das Werkstück W zu drücken, wird das Werkstück W durch das Wasser des statischen Drucks 2c, das von dem anderen Pad des statischen Drucks 2 zugeführt wird, gegengedrückt. Inzwischen empfängt das Werkstück W das Wasser des statischen Drucks 2c im Wesentlichen auf dessen gesamter Oberfläche und auf der anderen Seite befindet sich das Schleifrad 3 in dem ausgesparten Abschnitt 1a des Pads des statischen Drucks 1, um die untere Hälfte des Werkstücks W zu pressen bzw. zu drücken. Folglich, wie es in 10 gezeigt ist, wird das Werkstück W, das von dem Schleifrad 3 gedrückt bzw. gepresst wird, von dem Pad des statischen Drucks 1 abgehoben, während die obere Seite davon sich um einen Drehpunkt P neigt und die Abhebung der unteren Seite des Werkstücks W, die sich von dem Drehpunkt P am weitesten entfernt befindet, maximiert wird. Folglich besteht ein Vorteil darin, dass es einfach ist, eine Änderung des Hubbetrags bzw. Schwebebetrags C1 oder C2 des Werkstücks W zu finden, um diesen einfach durch Messen mittels des einen Luftsensors 7 auf der Endseite des Werkstücks W, die so angeordnet ist, um der unteren Seite zu entsprechen, deren Abhebung groß ist, zu messen.
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Ferner kann in dem Fall, in dem der Schwebebetrag C1 oder C2 des Werkstücks W von dem Luftsensor 6 oder 7 gemessen wird, der Luftsensor 6 oder 7, der an dem Pad des statischen Drucks 1 oder 2 auf derselben Seite des Schleifrads 3 oder 4, das das Werkstück W abhebt, vorgesehen ist, verwendet werden, oder der Luftsensor 6 oder 7, der an dem Pad des statischen Drucks 1 oder 2 auf der gegenüberliegenden Seite vorgesehen ist, kann verwendet werden.
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In diesem Fall, vorausgesetzt, dass der Luftsensor 6 oder 7 auf der gegenüberliegenden Seite verwendet wird, besteht ein Vorteil darin, dass selbst ein Sensor verwendet werden kann, in dessen Messbereich keine Werte von ungefähr Null liegen. Beispielsweise, wenn der bestimmte Schwebebetrag C ein kleiner Betrag von ungefähr Null ist, der sich außerhalb des Messbereichs befindet, ist es möglich, in dem Fall, in dem der Luftsensor 6 oder 7 des Pads des statischen Drucks 1 oder 2 auf derselben Seite verwendet wird, selbst wenn der Schwebebetrag C1 oder C2 des Werkstücks W den bestimmten Schwebebetrag C erreicht, diesen zu messen, da der Betrag sich außerhalb des Messbereichs befindet. Allerdings, in dem Fall, in dem der Betrag von dem Luftsensor 6 oder 7 des Pads des statischen Drucks 1 oder 2 auf der gegenüberliegenden Seite des Schleifrads 3 oder 4 gemessen wird, selbst wenn ein Sensor verwendet wird, bei dem sich Werte von ungefähr Null außerhalb des Messbereichs befinden, befindet sich ein Zwischenraum zwischen dem Pad des statischen Drucks 1 oder 2 auf der gegenüberliegenden Seite und dem Werkstück W innerhalb des Messbereichs, im Unterschied zu Werten, die ungefähr bei Null liegen. Folglich ist es möglich, den kleinen Schwebebetrag C1 oder C2 des Werkstücks W durch die Luftsensoren 6 oder 7 zu messen.
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Die Ausführungsformen der vorliegenden Erfindungen wurden oben im Detail beschrieben, allerdings ist die vorliegende Erfindung nicht auf diese Ausführungsformen begrenzt und kann verschiedentlich innerhalb des Gegenstands, der nicht von der Idee der vorliegenden Erfindung abweicht, modifiziert werden. Beispielsweise werden in der Ausführungsform die Schleifräder 3 und 4 in einem gestoppten Zustand nach vorn geschoben, um das Werkstück W zu drücken bzw. zu pressen. Allerdings können die Schleifräder 3 und 4 mit Drehgeschwindigkeiten, die einem Maß entsprechen, in dem das Werkstück W nicht geschliffen wird, gedreht werden. Folglich drücken die Schleifräder 3 und 4 das Werkstück W vorzugsweise in einem gestoppten Zustand, aber befinden sich nicht notwendigerweise in einem Zustand, in dem die Drehungen vollständig gestoppt sind.
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Ferner, in dem Fall, in dem ein vorhandener horizontaler Flächenschleifer angewendet wird, vorausgesetzt, dass ein Programm eines Ausrichtungsverfahrens wie in dieser Ausführungsform in die Steuereinrichtung eingegeben wird, ist es nach einer Schleifradersetzungsarbeit, die in dem Herstellungsprozess periodisch auftritt, möglich, eine Arbeit des Einbringens des Werkstücks W bis zum Herausnehmen des Werkstücks W nach Beendigung des Schleifens durch Kombinieren des Ein-/Ausbringmittels des Werkstücks W automatisch auszuführen, und es ist für eine Bedienperson möglich, während dieser Zeit eine andere Arbeit entfernt von der Maschine auszuführen.
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Ferner kann ein Werkstück W normaler Abmessungen verwendet werden, bevor der Schleifvorgang beginnt und beide Schleifradwellen 8 und 9 rechts und links können um denselben Weg nach vorn geschoben werden und eine Ausrichtung beider Schleifräder 3 und 4 und des Werkstücks W kann manuell ausgeführt werden, um den Schleifzyklus danach zu beginnen. Vorausgesetzt, dass ein Schleifzyklus, der eine prozessinterne Kalibriereinrichtung verwendet, als Schleifzyklus genutzt wird, ist es möglich, Arbeitsabläufe des Einstellens eines Verschiebungswegs und dergleichen wegzulassen, wodurch es möglich wird, das Werkstück W einfacher in normale Abmessungen zu schleifen.
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In dem Schleifzyklus, der eine prozessinterne Kalibriereinrichtung verwendet, selbst wenn kein Zwischenraum zwischen beiden Pads des statischen Drucks 1 und 2 rechts und links gefunden wird, ist es möglich, die mittlere Position zwischen den beiden Pads des statischen Drucks 1 und 2 zu bestimmen, und es ist möglich, die normalen Abmessungen des Werkstücks W zu erhalten. Ferner wird die mittlere Position zwischen beiden Pads des statischen Drucks 1 und 2 rechts und links nicht durch den Zwischenraum A zwischen den beiden Pads des statischen Drucks 1 und 2 rechts und links beeinflusst, da die Positionen der beiden Schleifräder 3 und 4 mit Bezug auf die Werkstückunterstützungsflächen 1b und 2b der beiden Pads des statischen Drucks 1 und 2 bestimmt werden.
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Es ist möglich, die Schleifposition vor der Einstellung zu reproduzieren, durch gleichzeitiges Verwenden einer Technologie, bei der, zur gleichen Zeit wenn ein Nullpunktsignal zu dem Zeitpunkt, wenn das Werkstück W die endgültigen Abmessungen erreicht, von der prozessinternen Kalibriereinrichtung empfangen wird, Ausgabewerte von den Luftsensoren 6 und 7 der Pads des statischen Drucks 1 und 2 erhalten werden und überwacht wird, ob oder ob nicht ein Unterschied bezüglich der rechten und linken Seiten in den Ausgabewerten der Luftsensoren 6 und 7 vorhanden ist, um eine Schleifposition zu korrigieren, die von einer Abtragungsdifferenz zwischen den beiden Schleifrädern 3 und 4 herrührt, vorausgesetzt, dass die Ausgabewerte von den Luftsensoren 6 und 7 zur Zeit des Probeschleifens und die Ausgabewerte von den Luftsensoren 6 und 7 vor der Einstellung (vor dem Ersetzen der Schleifräder und dergleichen) verglichen werden, um korrigiert zu werden, dass diese die Ausgabewerte von den Luftsensoren 6 und 7 vor der Einstellung bzw. dem Setup sind. Folglich ist es möglich, die Produktion ohne Herstellung fehlerhafter Produkte erneut zu starten, wodurch es möglich wird, die Schleifpräzision über eine lange Zeitdauer zu stabilisieren.
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Ferner ist es unter Verwendung einer Technologie des Korrigierens einer fehlerhaften Ausrichtung der Schleifpositionen vor dem Probeschleifen möglich, die Schleifgenauigkeit bis zum nächsten Setup durch Vergleich mit den Ausgabewerten von den Luftsensoren 6 und 7 vor dem Setup in Echtzeit während des Probeschleifens zu stabilisieren, um die fehlerhafte Ausrichtung zu korrigieren.
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In der vorliegenden Ausführungsform werden die Luftsensoren 6 und 7, die in den Pads des statischen Drucks 1 und 2 enthalten sind, als Werkstückpositionsdetektionsmittel verwendet. Vorausgesetzt, dass eine prozessinterne Kalibriereinrichtung angewendet wird, die während des Schleifens des Werkstücks W verwendet wird, ist es möglich, die mittlere Position zwischen den beiden Pads des statischen Drucks 1 und 2 rechts und links zu erhalten. Ein beliebiges Positionsdetektionsmittel, das im Stande ist, Abstände zwischen den Pads des statischen Drucks 1 und 2 und des Werkstücks W zu messen (Schwebebeträge C1 und C2), kann verwendet werden.
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Der Schleifer ist vorzugsweise ein horizontaler Doppelseiten-Flächenschleifer, in dem beide Pads des statischen Drucks 1 und 2 und beide Schleifräder 3 und 4 rechts und links angeordnet sind. Allerdings, da Wasser des statischen Drucks von beiden Pads des statischen Drucks 1 und 2 zugeführt wird, um das Werkstück W zu drücken, so dass das Werkstück W von den Schleifrädern 3 und 4 abhebt (leviate), kann die vorliegende Erfindung gleichermaßen mittels eines vertikalen Doppelseiten-Flächenschleifers erzielt werden, bei dem die beiden Pads des statischen Drucks 1 und 2 und die beiden Schleifräder 3 und 4 oben und unten angeordnet sind.
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Bezugszeichenliste
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- W
- Werkstück
- 1, 2
- Pad des statischen Drucks
- 3, 4
- Schleifrad
- 7
- Träger
- 8, 9
- Schleifradwelle
- 17
- Schwebebetrageinstellmittel (Leviation amount setting means)
- 18
- Schleifvorschubendpositions-Bestimmungsmittel
- 19
- Zwischenraumeinstellmittel
- 20
- Einstellmittel der endgültigen Dicke
- 21
- Schleifzyklussteuermittel
- C
- Bestimmter Schwebebetrag (Predetermined leviation amount)
- F1, F2
- Schleifvorschubendposition
- S
- Vorschubbetrag
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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