JP2003199365A - 電歪ポリマーアクチュエータとその製造方法 - Google Patents

電歪ポリマーアクチュエータとその製造方法

Info

Publication number
JP2003199365A
JP2003199365A JP2001392700A JP2001392700A JP2003199365A JP 2003199365 A JP2003199365 A JP 2003199365A JP 2001392700 A JP2001392700 A JP 2001392700A JP 2001392700 A JP2001392700 A JP 2001392700A JP 2003199365 A JP2003199365 A JP 2003199365A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrodes
polymer actuator
electrostrictive polymer
stretchable
laminated
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2001392700A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3832338B2 (ja
Inventor
Yoji Urano
洋二 浦野
Harutomo Kitahara
治倫 北原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Works Ltd filed Critical Matsushita Electric Works Ltd
Priority to JP2001392700A priority Critical patent/JP3832338B2/ja
Priority to US10/287,500 priority patent/US6960864B2/en
Priority to SG200206681A priority patent/SG103368A1/en
Priority to KR10-2002-0069404A priority patent/KR100510224B1/ko
Priority to DE2002610736 priority patent/DE60210736T2/de
Priority to DE2002621586 priority patent/DE60221586T2/de
Priority to EP20020025416 priority patent/EP1323925B1/en
Priority to EP20060005400 priority patent/EP1683968B1/en
Priority to CNB021506701A priority patent/CN1272899C/zh
Priority to CNA2006101086927A priority patent/CN1901350A/zh
Priority to CN2006101086931A priority patent/CN1901351B/zh
Publication of JP2003199365A publication Critical patent/JP2003199365A/ja
Priority to HK03106758.6A priority patent/HK1054420B/zh
Application granted granted Critical
Publication of JP3832338B2 publication Critical patent/JP3832338B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J3/00—Diaphragms; Bellows; Bellows pistons
    • F16J3/02—Diaphragms
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
    • H02N1/002—Electrostatic motors
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/0009—Special features
    • F04B43/0054—Special features particularities of the flexible members
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04—Pumps having electric drive
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
    • H10N30/2047—Membrane type

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 実用性を有する動きを行わせることができる
ものとする。 【解決手段】 絶縁性伸縮材料からなる伸縮部２の両面
に導電性伸縮材料からなる電極３，３を配した電歪ポリ
マーアクチュエータ１である。リング状の伸縮部２の外
周側と内周側とに電極３，３を配しているとともに径方
向において電極３を介して伸縮部２を積層している。電
圧印加時に径方向において縮み、軸方向において伸びる
ものを得ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は電歪ポリマーを用い
たアクチュエータとその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】超小型機器に用いるアクチュエータとし
て、圧電素子を用いたものと電歪ポリマーを用いたもの
とが知られている。前者は厚み方向に分極処理を行った
シート状の圧電材料の両面に導電性伸縮材料からなる電
極を配して、圧電逆効果により伸縮させるものであり、
分極方向と同極性の電圧の印加によって分極方向に伸
び、直交方向に縮む性質を有している。後者はシリコン
ゴムやアクリル等のシート状の絶縁性伸縮材料からなる
伸縮部の両面に導電性伸縮材料からなる電極を配して、
誘電分極によって延伸させるもので、電圧の印加時、電
極間方向に縮み、直交する方向に伸びる性質を有してい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】圧電素子を用いたアク
チュエータは、特開昭５９−２０００８１号公報などに
示されているように、ダイヤフラムポンプのダイヤフラ
ム駆動用等として実用化されているが、後者は電圧印加
時の動きの管理が困難である上に、電圧印加時の伸縮量
が小さかったり発生力が小さいことなどから、未だ実用
化されるに至っていない。
【０００４】本発明はこのような点に鑑みなされたもの
であって、その目的とするところは実用性を有する動き
を行わせることができる電歪ポリマーアクチュエータと
その製造方法を提供するにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】しかして本発明は、絶縁
性伸縮材料からなる伸縮部の両面に導電性伸縮材料から
なる電極を配した電歪ポリマーアクチュエータにおい
て、リング状の伸縮部の外周側と内周側とに電極を配し
ているとともに径方向において電極を介して伸縮部を積
層していることに特徴を有している。電圧印加時に径方
向において縮み、軸方向において伸びるものを得ること
ができる。
【０００６】この時、リング状伸縮部の中心を最外周面
の中心に合わせて積層するほか、各リング状伸縮部の中
心を最外周面の中心からずらして積層してもよく、この
場合、屈曲動作を得ることができる。
【０００７】また、中心に近いほど電極間距離を長くす
るとともに、各電極間に印加する電圧を同一としたり、
各電極間距離を同一とするとともに、中心に近いほど電
極間に印加する電圧を低くすることによって、軸方向へ
の均一な延伸機能を得ることができる。
【０００８】また本発明は、絶縁性伸縮材料からなる伸
縮部の両面に導電性伸縮材料からなる電極を配した電歪
ポリマーアクチュエータにおいて、電極間方向と平行す
る方向の一方の側面に可撓性を有する金属薄板を貼り合
わせていることに特徴を有する。ユニモルフ型のアクチ
ュエータを得ることができる。
【０００９】金属薄板の両面に夫々アクチュエータを貼
り合わせてもよく、この場合はバイモルフ型のアクチュ
エータとすることができる。
【００１０】電極間方向に電極を介して複数の伸縮部を
積層したものを用いてもよい。
【００１１】また、リング状の伸縮部の外周側と内周側
とに電極を配しているとともに径方向において電極を介
して伸縮部を積層しているものを用いてもよい。
【００１２】さらには三角形状に積層したものを複数個
略円形に並べてもよい。
【００１３】また、電極及び伸縮部を渦巻き状としても
よい。
【００１４】そして本発明に係る電歪ポリマーアクチュ
エータの製造方法は、円筒状またはシート状の伸縮部を
電極を介して積層して円柱状もしくは角柱状の積層体を
形成し、次いで該積層体を積層方向と平行する方向にス
ライスすることに特徴を有している。これにより、単一
の積層体から複数のアクチュエータを得ることができ
る。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下本発明を実施の形態の一例に
基づいて詳述すると、図１及び図２において、図中２は
シリコンゴムやアクリル等の絶縁性伸縮材料からなる伸
縮部、３は導電性伸縮材料からなる電極であり、伸縮部
２はリング状に形成しているとともに、多数の径の異な
るリング状伸縮部２を同心円状に形成しており、これら
伸縮部２の間には夫々リング状の電極３を介在させると
ともに、最外周面と最内周面にもリング状の電極３を配
して、各伸縮部２の内周側と外周側とに夫々電極３が位
置するようにしてある。そして図１に示すように、一つ
おきの電極３を直流電源のプラス側に、残る電極３を直
流電源のマイナス側に接続している。
【００１６】このように形成したアクチュエータ１にお
いて、電極３，３間に電圧を印加すれば、図１(b)及び
図２(b)に示すように、電極３，３間方向である径方向
Ｘにおいて縮むとともに、直交する方向である軸方向Ｙ
に伸びる。
【００１７】シート状の伸縮部２の両面に電極３を配し
ていた従来のものに比して、伸縮動作を確実に利用する
ことができるものであり、また同心円状に積層している
ために発生する力も大きい。また、印加する電圧値に応
じて変位量が変化するために、変位量の調整も容易であ
る。
【００１８】図３に他例を示す。これは同心円状に積層
するにあたり、中心が偏心した位置にくるように積層し
たもので、この場合、電圧を印加した時、周方向におい
て縮む量が異なってくるために、アクチュエータ１は屈
曲することになる。
【００１９】図４は同心円状に積層するにあたり、中心
軸に近いほど電極３，３間の距離が長くなるようにする
とともに、各電極に印加する電圧を同一にしたもので、
径が異なる各リング状伸縮部２の伸縮量をほぼ等しくす
ることができ、軸方向への均一な延伸機能を得ることが
できる。
【００２０】図５に示すように、各電極３，３間距離は
同じにするものの、各電極間３，３に印加する電圧は中
心軸に近いほど低くなるようにしても、軸方向への均一
な延伸機能を得ることができる。
【００２１】なお、各電極３，３間に同じ電圧を印加す
る場合は、図１４に示すように、アクチュエータ１の一
面における一つおきの電極３の縁に絶縁性柔軟材料７を
塗布するとともに、アクチュエータ１の他面において他
の電極の縁に絶縁性柔軟材料７を塗布し、その後、図１
５に示すようにアクチュエータ１の軸方向両面に導電性
伸縮材料８を塗布して外部電極とするとよく、各電極
３，３間に異なる電圧を印加する場合は、図１４に示す
処理を行った後、図１６に示すように、アクチュエータ
１の一面では先に塗布した絶縁性柔軟材料７間のリング
状部分に導電性伸縮材料８を塗布して夫々を外部電極と
し、他面では全面に導電性伸縮材料８を塗布して接地用
外部電極とすればよい。なお、シェンケル昇圧回路を用
いれば、複数の電圧を単一電源より得ることができる。
【００２２】図６に他の実施形態の一例を示す。ここで
は伸縮部２を電極３を介して積層することは行っていな
いが、一対の電極３，３を両端に設けた伸縮部２の側面
を金属薄板４に貼り合わせてユニモルフ構造としてい
る。この場合、電極３，３間に電圧を印加した時、伸縮
部２は電極３，３間の方向において縮もうとするのに対
して、金属薄板４は縮まないために、図に示すように、
アクチュエータ１は金属薄板４を撓ませる（屈曲させ
る）ものであり、また印加電圧値に応じて屈曲変位量を
変えることができる。
【００２３】図７に示すように、金属薄板４の両面に夫
々アクチュエータ１，１を貼り合わせてバイモルフ構造
とすれば、いずれのアクチュエータ１に電圧を印加する
かによって、屈曲方向を変えることができるものであ
り、結果的に屈曲運動の可動範囲を大きくすることがで
きる。
【００２４】もちろん、アクチュエータ１として、前述
のような同心円状の積層構造のものを用いて図８に示す
形態のものとしてもよいものであり、この場合、低印加
電圧で高出力を得ることができる。また、このような構
造とする場合、金属薄板４を含めたアクチュエータ１
は、自駆動型のダイヤフラムとして用いることができ
る。
【００２５】なお、積層型とする場合、図９に示すよう
に、複数個の三角形状のアクチュエータ１を並べて略円
形となるようにしてもよい。この場合も低印加電圧で高
出力を得ることができるとともに、金属薄板４を含めた
アクチュエータ１は、自駆動型のダイヤフラムとして用
いることができる。
【００２６】この他、図１０に示すように、伸縮部２及
び電極３を渦巻き状にしたものを用いてもよい。なお、
電極３が重なる部分については図１７に示すように絶縁
性柔軟材料７を介在させて絶縁を行っておく。
【００２７】また、図１１に示すように、伸縮部２と電
極部３とを交互に並べた短冊状のアクチュエータ１を金
属薄板４に貼り合わせたものであってもよく、この場合
も図に矢印で示すような屈曲動作を行わせることがで
き、また図１８に示すように、絶縁性柔軟材料７と導電
性柔軟材料８とによって各電極３に電源を接続すること
ができる。
【００２８】なお、上記のような積層型のアクチュエー
タ１は、図１２に示すように、円筒状またはシート状の
伸縮部２と電極３とを交互に積層した積層体１’を形成
し、その後、該積層体１’を積層方向と平行する方向で
スライスすることによって、同一特性の多数のアクチュ
エータ１を効率良く製造することができる。
【００２９】図１３は同心円状に積層したアクチュエー
タ１を金属薄板４の片面に貼り合わせたものをダイヤフ
ラムとしているダイヤフラムポンプの一例を示してお
り、吸気口５１と排気口５２とを備えるとともにこれら
吸気口５１及び排気口５２に逆止弁５３，５４を組み付
けたベース５に、固着手段５５によって上記ダイヤフラ
ムの周縁を固定することで、ダイヤフラムとベース５と
で囲まれたポンプ室５６を形成しており、アクチュエー
タ１に電圧を印加すれば、ポンプ室５６の内容積が小さ
くなって吐出口５２から流体の吐出がなされ、アクチュ
エータ１への電圧を遮断すれば、アクチュエータ１及び
金属薄板４の復帰により、吸気口５１からポンプ室５６
への吸入がなされる。
【００３０】
【発明の効果】以上のように本発明においては、絶縁性
伸縮材料からなる伸縮部の両面に導電性伸縮材料からな
る電極を配した電歪ポリマーアクチュエータにおいて、
リング状の伸縮部の外周側と内周側とに電極を配してい
るとともに径方向において電極を介して伸縮部を積層し
ているものであり、電圧印加時に径方向において縮み、
軸方向において伸びるものを得ることができるととも
に、シート状の伸縮部の両面に電極を配していた従来の
ものに比して、伸縮動作を確実に利用することができる
ものであり、また同心円状に積層しているために低印加
電圧で高出力を得ることができ、さらには印加する電圧
値に応じて変位量が変化するために、変位量の調整も容
易なものである。
【００３１】この時、リング状伸縮部の中心を最外周面
の中心に合わせて積層しておけば、軸方向への直線状延
伸機能を得ることができ、各リング状伸縮部の中心を最
外周面の中心からずらして積層しておけば、屈曲動作を
得ることができる。
【００３２】また、中心に近いほど電極間距離を長くす
るとともに、各電極間に印加する電圧を同一としたり、
各電極間距離を同一とするとともに、中心に近いほど電
極間に印加する電圧を低くしておけば、軸方向への均一
な延伸機能を得ることができる。
【００３３】また、絶縁性伸縮材料からなる伸縮部の両
面に導電性伸縮材料からなる電極を配した電歪ポリマー
アクチュエータにおいて、電極間方向と平行する方向の
一方の側面に可撓性を有する金属薄板を貼り合わせたも
のにおいては、金属薄板が伸縮しないことから、ユニモ
ルフ型で屈曲動作を得ることができるアクチュエータを
得ることができるものであり、また金属薄板の存在で微
小変位の拡大効果が得られるために、アクチュエータと
して実用性のあるものを得ることができる。
【００３４】金属薄板の両面に夫々アクチュエータを貼
り合わせてもよく、この場合はバイモルフ型のアクチュ
エータとすることができ、屈曲動作の可動範囲を拡大す
ることができる。
【００３５】電極間方向に電極を介して複数の伸縮部を
積層したものを用いてもよく、積層していることによっ
て低印加電圧で高出力を得ることができる。
【００３６】また、リング状の伸縮部の外周側と内周側
とに電極を配しているとともに径方向において電極を介
して伸縮部を積層しているものを用いてもよい。低印加
電圧で高出力を得ることができるほか、自駆動型のダイ
ヤフラムとして好適に利用することができる。
【００３７】さらには三角形状に積層したものを複数個
略円形に並べたり、電極及び伸縮部を渦巻き状として
も、低印加電圧で高出力を得ることができ、自駆動型の
ダイヤフラムとして好適に利用することができる。
【００３８】そして本発明に係る電歪ポリマーアクチュ
エータの製造方法は、円筒状またはシート状の伸縮部を
電極を介して積層して円柱状もしくは角柱状の積層体を
形成し、次いで該積層体を積層方向と平行する方向にス
ライスするものであり、単一の積層体から複数のアクチ
ュエータを得ることができて製作効率が向上する上に、
同一の特性を有するアクチュエータを簡便に多数得るこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の一例を示すもので、(a)
(b)は断面図である。
【図２】(a)(b)は同上の斜視図である。
【図３】(a)(b)は同上の他例の斜視図である。
【図４】更に他例の斜視図である。
【図５】別の例の斜視図である。
【図６】他の実施の形態の一例を示すもので、(a)(b)は
断面図である。
【図７】(a)(b)は同上の他例の断面図である。
【図８】同上の更に他例の斜視図である。
【図９】同上の別の例の斜視図である。
【図１０】同上の更に別の例の斜視図である。
【図１１】同上の他の例の斜視図である。
【図１２】(a)(b)は同上のアクチュエータの製造法を示
す斜視図である。
【図１３】(a)(b)は同上のアクチュエータを用いたダイ
ヤフラムポンプの断面図である。
【図１４】外部電極の形成手順を示すもので、(a)は斜
視図、(b)は断面図である。
【図１５】外部電極の形成手順を示すもので、(a)は斜
視図、(b)は断面図である。
【図１６】外部電極の形成手順を示すもので、(a)は斜
視図、(b)は断面図である。
【図１７】外部電極の構成を示す斜視図である。
【図１８】外部電極の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
１ アクチュエータ ２ 伸縮部 ３ 電極 ４ 金属薄板

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 絶縁性伸縮材料からなる伸縮部の両面に
    導電性伸縮材料からなる電極を配した電歪ポリマーアク
    チュエータであって、リング状の伸縮部の外周側と内周
    側とに電極を配しているとともに径方向において電極を
    介して伸縮部を積層していることを特徴とする電歪ポリ
    マーアクチュエータ。
  2. 【請求項２】 各リング状伸縮部の中心を最外周面の中
    心に合わせて積層していることを特徴とする請求項１記
    載の電歪ポリマーアクチュエータ。
  3. 【請求項３】 各リング状伸縮部の中心を最外周面の中
    心からずらして積層していることを特徴とする請求項１
    記載の電歪ポリマーアクチュエータ。
  4. 【請求項４】 中心に近いほど電極間距離を長くすると
    ともに、各電極間に印加する電圧を同一としていること
    を特徴とする請求項１〜３のいずれかの項に記載の電歪
    ポリマーアクチュエータ。
  5. 【請求項５】 各電極間距離を同一とするとともに、中
    心に近いほど電極間に印加する電圧を低くしていること
    を特徴とする請求項１〜３のいずれかの項に記載の電歪
    ポリマーアクチュエータ。
  6. 【請求項６】 絶縁性伸縮材料からなる伸縮部の両面に
    導電性伸縮材料からなる電極を配した電歪ポリマーアク
    チュエータであって、電極間方向と平行する方向の一方
    の側面に可撓性を有する金属薄板を貼り合わせているこ
    とを特徴とする電歪ポリマーアクチュエータ。
  7. 【請求項７】 金属薄板の両面に夫々アクチュエータを
    貼り合わせていることを特徴とする請求項６記載の電歪
    ポリマーアクチュエータ。
  8. 【請求項８】 電極間方向に電極を介して複数の伸縮部
    を積層していることを特徴とする請求項６または７記載
    の電歪ポリマーアクチュエータ。
  9. 【請求項９】 リング状の伸縮部の外周側と内周側とに
    電極を配しているとともに径方向において電極を介して
    伸縮部を積層していることを特徴とする請求項６または
    ７記載の電歪ポリマーアクチュエータ。
  10. 【請求項１０】 三角形状に積層したものを複数個略円
    形に並べていることを特徴とする請求項８記載の電歪ポ
    リマーアクチュエータ。
  11. 【請求項１１】 電極及び伸縮部を渦巻き状としている
    ことを特徴とする請求項６または７記載の電歪ポリマー
    アクチュエータ。
  12. 【請求項１２】 絶縁性伸縮材料からなる伸縮部の両
    面に導電性伸縮材料からなる電極を配した電歪ポリマー
    アクチュエータの製造方法であって、円筒状またはシー
    ト状の伸縮部を電極を介して積層して円柱状もしくは角
    柱状の積層体を形成し、次いで該積層体を積層方向と平
    行する方向にスライスすることを特徴とする電歪ポリマ
    ーアクチュエータの製造方法。
JP2001392700A 2001-12-25 2001-12-25 電歪ポリマーアクチュエータ Expired - Fee Related JP3832338B2 (ja)

Priority Applications (12)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001392700A JP3832338B2 (ja) 2001-12-25 2001-12-25 電歪ポリマーアクチュエータ
US10/287,500 US6960864B2 (en) 2001-12-25 2002-11-05 Electroactive polymer actuator and diaphragm pump using the same
SG200206681A SG103368A1 (en) 2001-12-25 2002-11-06 Electroactive polymer actuator and diaphragm pump using the same
KR10-2002-0069404A KR100510224B1 (ko) 2001-12-25 2002-11-09 전기 활성 폴리머 액츄에이터 및 이를 이용한 다이아프램펌프
DE2002621586 DE60221586T2 (de) 2001-12-25 2002-11-14 Elektrisch aktivierbarer Antrieb aus Polymer und Diaphragmapumpe mit diesem Antrieb
EP20020025416 EP1323925B1 (en) 2001-12-25 2002-11-14 Electroactive polymer actuator and diaphragm pump using the same
DE2002610736 DE60210736T2 (de) 2001-12-25 2002-11-14 Elektrisch aktivierbarer Antrieb aus polymer und Diaphragmapumpe mit diesem Antrieb
EP20060005400 EP1683968B1 (en) 2001-12-25 2002-11-14 Electroactive polymer actuator and diaphragm pump using the same
CNB021506701A CN1272899C (zh) 2001-12-25 2002-11-18 电活化聚合体激励器和包含它的隔膜泵
CNA2006101086927A CN1901350A (zh) 2001-12-25 2002-11-18 电活化聚合体激励器和包含它的隔膜泵
CN2006101086931A CN1901351B (zh) 2001-12-25 2002-11-18 电活化聚合体激励器和包含它的隔膜泵
HK03106758.6A HK1054420B (zh) 2001-12-25 2003-09-20 導電聚合物致動器及用此的隔膜泵

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001392700A JP3832338B2 (ja) 2001-12-25 2001-12-25 電歪ポリマーアクチュエータ

Related Child Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006119738A Division JP4063300B2 (ja) 2006-04-24 2006-04-24 電歪ポリマーアクチュエータ
JP2006119739A Division JP4063301B2 (ja) 2006-04-24 2006-04-24 電歪ポリマーアクチュエータの製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003199365A true JP2003199365A (ja) 2003-07-11
JP3832338B2 JP3832338B2 (ja) 2006-10-11

Family

ID=19188676

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001392700A Expired - Fee Related JP3832338B2 (ja) 2001-12-25 2001-12-25 電歪ポリマーアクチュエータ

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6960864B2 (ja)
EP (2) EP1323925B1 (ja)
JP (1) JP3832338B2 (ja)
KR (1) KR100510224B1 (ja)
CN (3) CN1901350A (ja)
DE (2) DE60210736T2 (ja)
HK (1) HK1054420B (ja)
SG (1) SG103368A1 (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006154390A (ja) * 2004-11-30 2006-06-15 Seiko Precision Inc レンズ駆動装置及び、撮像装置
KR100617616B1 (ko) 2005-04-08 2006-09-01 한국생산기술연구원 나노 단위의 유전탄성체 박막이 구비된 적층형 폴리머액추에이터의 제조 방법
KR100664395B1 (ko) 2005-04-08 2007-01-03 한국생산기술연구원 수축 변위를 정밀 제어하기 위한 폴리머 액추에이터 및 그제어 방법
JP2008251833A (ja) * 2007-03-30 2008-10-16 Tokai Rubber Ind Ltd アクチュエータおよびアクチュエータ集束体
JP2009257580A (ja) * 2008-03-25 2009-11-05 Tokai Rubber Ind Ltd 機械的インピーダンスの調節装置とその制御方法、該機械的インピーダンスの調節装置を用いた立ち上がり補助椅子および揺動アーム
WO2013027696A1 (ja) * 2011-08-24 2013-02-28 株式会社村田製作所 アクチュエータ素子及び該アクチュエータ素子の製造方法
WO2013027617A1 (ja) * 2011-08-24 2013-02-28 株式会社村田製作所 アクチュエータ素子及び該アクチュエータ素子の製造方法
WO2020255977A1 (ja) * 2019-06-18 2020-12-24 ストローブ株式会社 静電アクチュエータ

Families Citing this family (63)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040147803A1 (en) * 2002-10-07 2004-07-29 Hegde Anant V. Vascular assist device and methods
US20040230090A1 (en) * 2002-10-07 2004-11-18 Hegde Anant V. Vascular assist device and methods
US20050113892A1 (en) * 2003-11-26 2005-05-26 Sproul Michael E. Surgical tool with an electroactive polymer for use in a body
JP2008510590A (ja) * 2004-08-25 2008-04-10 パヴァド・メディカル・インコーポレーテッド 人工括約筋
JP2006090189A (ja) * 2004-09-22 2006-04-06 Omron Healthcare Co Ltd エアーポンプ、ポンプシステム、電子血圧計及びマッサージ機
US7544260B2 (en) * 2004-10-20 2009-06-09 Mark Banister Micro thruster, micro thruster array and polymer gas generator
WO2006065884A2 (en) * 2004-12-14 2006-06-22 Mark Banister Actuator pump system
EP1841966B1 (en) * 2005-01-26 2010-04-28 Panasonic Electric Works Co., Ltd. Piezoelectric-driven diaphragm pump
US7352111B2 (en) * 2005-12-01 2008-04-01 Schlumberger Technology Corporation Electroactive polymer pumping system
WO2007072357A2 (en) * 2005-12-20 2007-06-28 Koninklijke Philips Electronics, N.V. Blended sensor system and method
JP2009520457A (ja) * 2005-12-20 2009-05-21 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 誘電体高分子アクチュエータを用いたカメラダイアフラムおよびレンズ位置決めシステム
DE102005062479A1 (de) * 2005-12-27 2007-07-05 BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH Dosiervorrichtung für die Zugabe eines Zuschlagmittels in einen Behandlungsraum und Geschirrspülmaschine mit einer Dosiervorrichtung
KR100791378B1 (ko) 2005-12-29 2008-01-07 삼성전자주식회사 다양한 입력 모드를 지원하는 사용자 명령 입력 장치 및이를 이용한 기기
DE102006015493B4 (de) * 2006-04-03 2010-12-23 Atlas Elektronik Gmbh Elektroakustischer Wandler
US7951186B2 (en) * 2006-04-25 2011-05-31 Boston Scientific Scimed, Inc. Embedded electroactive polymer structures for use in medical devices
CA2657435A1 (en) 2006-07-10 2008-07-03 Medipacs, Inc. Super elastic epoxy hydrogel
US20080122589A1 (en) * 2006-11-28 2008-05-29 Ivanov Yuri A Tactile Output Device
JP4873075B2 (ja) * 2007-03-12 2012-02-08 株式会社村田製作所 流体移送装置
US7719167B2 (en) * 2007-05-14 2010-05-18 Samsung Electronics Co., Ltd. Electroactive polymer actuator and manufacturing method thereof
JP5602626B2 (ja) 2007-06-29 2014-10-08 アーティフィシャル マッスル，インク． 感覚性フィードバック用途のための電気活性ポリマートランスデューサー
GB2452047A (en) * 2007-08-21 2009-02-25 Joseph Anthony Griffiths Diaphragm for use in a fluid pump comprising a disc of resilient material whose curvature is formed from a plurality of steps
FR2920591B1 (fr) 2007-09-04 2009-12-18 Renault Sas Dispositif d'actionneur a membrane electroactive
JP2011505520A (ja) 2007-12-03 2011-02-24 メディパックス インコーポレイテッド 流体計量供給装置
DE102008006832A1 (de) * 2008-01-30 2009-08-13 Eads Deutschland Gmbh Elektromagnetischer Membran-Mikroaktor
EP2282789B1 (en) 2008-03-26 2015-09-09 Heart Biotech Limited Heart assist device
US20090259093A1 (en) * 2008-04-14 2009-10-15 Bhat Nikhil D Artificial sphincter with piezoelectric actuator
US20110189027A1 (en) * 2008-04-30 2011-08-04 Morten Kjaer Hansen Pump powered by a polymer transducer
CN101814577B (zh) * 2009-02-24 2013-06-05 清华大学 电致伸缩材料及其制备方法以及电热式致动器
GR20090100384A (el) 2009-07-08 2011-02-18 Αχιλλεας Τσουκαλης Αντλια ινσουλινης
US9238102B2 (en) 2009-09-10 2016-01-19 Medipacs, Inc. Low profile actuator and improved method of caregiver controlled administration of therapeutics
KR101113897B1 (ko) 2009-12-07 2012-02-29 한국과학기술원 나선형의 투명전극을 이용한 전자기력발생 시스템, 이를 이용한 햅틱제공장치, 이를 이용한 터치패드 및 그 제어방법
JP5733964B2 (ja) * 2009-12-24 2015-06-10 キヤノン株式会社 高分子アクチュエータ
US9500186B2 (en) 2010-02-01 2016-11-22 Medipacs, Inc. High surface area polymer actuator with gas mitigating components
KR101229211B1 (ko) * 2010-04-21 2013-02-01 성균관대학교산학협력단 유체분사추진시스템
DE102011075127B4 (de) * 2010-05-04 2014-10-30 Electronics And Telecommunications Research Institute Mikroventilstruktur mit einem Polymeraktor und Lab-on-a-chip Modul
KR20140008416A (ko) 2011-03-01 2014-01-21 바이엘 인텔렉쳐 프로퍼티 게엠베하 변형가능한 중합체 장치 및 필름을 제조하기 위한 자동화 제조 방법
CN102330663A (zh) * 2011-06-21 2012-01-25 无锡长辉机电科技有限公司 一种双曲螺线流管无阀压电泵
CN102261325A (zh) * 2011-06-21 2011-11-30 南京航空航天大学 一种对数螺线流管无阀压电泵
CN102330662A (zh) * 2011-06-21 2012-01-25 无锡长辉机电科技有限公司 一种费马螺线流管无阀压电泵
DE102011080128A1 (de) * 2011-07-29 2013-01-31 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung biegbarer EAP-Generatoren
US8891222B2 (en) 2012-02-14 2014-11-18 Danfoss A/S Capacitive transducer and a method for manufacturing a transducer
US8692442B2 (en) 2012-02-14 2014-04-08 Danfoss Polypower A/S Polymer transducer and a connector for a transducer
CN104302689A (zh) 2012-03-14 2015-01-21 麦德医像公司 含有过量活性分子的智能聚合物材料
WO2013142552A1 (en) 2012-03-21 2013-09-26 Bayer Materialscience Ag Roll-to-roll manufacturing processes for producing self-healing electroactive polymer devices
WO2013192143A1 (en) 2012-06-18 2013-12-27 Bayer Intellectual Property Gmbh Stretch frame for stretching process
WO2014066576A1 (en) 2012-10-24 2014-05-01 Bayer Intellectual Property Gmbh Polymer diode
WO2014097119A2 (en) * 2012-12-18 2014-06-26 Koninklijke Philips N.V. Eap-driven airpump for patient interfaces
EP2971794A2 (en) * 2013-03-15 2016-01-20 Covestro Deutschland AG Electroactive polymer actuated air flow thermal management module
GB2516845A (en) * 2013-07-31 2015-02-11 Ingegneria Ceramica S R L An Improved Actuator and Method of Driving Thereof
US9166242B2 (en) * 2013-08-13 2015-10-20 The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy Multi-modal energy harvester
US10125758B2 (en) * 2013-08-30 2018-11-13 Novasentis, Inc. Electromechanical polymer pumps
DE102014205117A1 (de) * 2014-03-19 2015-09-24 Gemü Gebr. Müller Apparatebau Gmbh & Co. Kommanditgesellschaft Membran und Verfahren zu deren Herstellung
US10744295B2 (en) * 2015-01-13 2020-08-18 ResMed Pty Ltd Respiratory therapy apparatus
US10119532B2 (en) * 2015-02-16 2018-11-06 Hamilton Sundstrand Corporation System and method for cooling electrical components using an electroactive polymer actuator
CN108140723B (zh) 2015-12-02 2021-08-06 株式会社村田制作所 压电元件、压电传声器、压电谐振子以及压电元件的制造方法
DE102016004673B4 (de) 2016-04-18 2020-01-02 Kastriot Merlaku Antriebssystem für eine frei drehbare Kamera
EP3278728A1 (en) * 2016-08-01 2018-02-07 Nokia Technologies Oy An apparatus, system and method for detecting analytes from a user's skin
US10586913B2 (en) 2016-08-11 2020-03-10 Postech Academy-Industry Foundation Electroactive actuator, mechanical device including the same, and polymer electrolyte
WO2018163700A1 (ja) * 2017-03-07 2018-09-13 ソニー株式会社 コンテンツ提示システム、コンテンツ提示装置及び風提示装置
CN109011132B (zh) * 2018-08-28 2022-03-22 京东方科技集团股份有限公司 微针***的驱动结构及微针***
CN109372729A (zh) * 2018-11-29 2019-02-22 西安理工大学 一种基于介电弹性体驱动的软体泵
DE102020117221A1 (de) * 2020-06-30 2021-12-30 Fresenius Medical Care Deutschland Gmbh Pumpe mit elektroaktiven Polymeren und Rückstellelement
DE102020211553A1 (de) * 2020-09-15 2022-03-17 B.Braun Avitum Ag Medizinisches Fluidpumpsystem

Family Cites Families (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3215078A (en) 1964-08-31 1965-11-02 Charles L Stec Controlled volume piezoelectric pumps
US3314103A (en) * 1965-07-01 1967-04-18 Schluderberg Kurdle Co Inc Method of electrically stunning animals
US3598506A (en) 1969-04-23 1971-08-10 Physics Int Co Electrostrictive actuator
US3781955A (en) * 1970-12-21 1974-01-01 V Lavrinenko Method of making a piezoelectric element
US3858065A (en) * 1970-12-31 1974-12-31 Becton Dickinson Co Annular 3m class piezoelectric crystal transducer
US3805097A (en) * 1972-08-07 1974-04-16 B Kravtsov Piezoelectric accelerometer
US4398116A (en) * 1981-04-30 1983-08-09 Siemens Gammasonics, Inc. Transducer for electronic focal scanning in an ultrasound imaging device
US4435667A (en) * 1982-04-28 1984-03-06 Peizo Electric Products, Inc. Spiral piezoelectric rotary actuator
JPS6211910A (ja) * 1985-07-01 1987-01-20 Hitachi Electronics Eng Co Ltd 位置調整装置
JPS63242183A (ja) * 1987-03-27 1988-10-07 Hitachi Maxell Ltd 円筒型超音波四極モ−タ
JPS6455081A (en) * 1987-08-20 1989-03-02 Komatsu Mfg Co Ltd Piezo-electric motor
JP2690907B2 (ja) * 1987-09-25 1997-12-17 株式会社日立製作所 複合型圧電モータ
DE3839057A1 (de) * 1988-11-18 1990-05-23 Fraunhofer Ges Forschung Gruppenstrahler
JPH0722578B2 (ja) * 1988-12-09 1995-03-15 松下電器産業株式会社 超音波探触子
JPH03270943A (ja) * 1990-03-20 1991-12-03 Fujitsu Ltd 積層型圧電アクチュエータ
US5210455A (en) * 1990-07-26 1993-05-11 Ngk Insulators, Ltd. Piezoelectric/electrostrictive actuator having ceramic substrate having recess defining thin-walled portion
US5262696A (en) 1991-07-05 1993-11-16 Rockwell International Corporation Biaxial transducer
DE4127860A1 (de) 1991-08-22 1993-02-25 Deutsche Aerospace Pumpensystem zur foerderung von fluessigen oder gasfoermigen medien
JP3218702B2 (ja) * 1992-06-22 2001-10-15 株式会社村田製作所 振動ジャイロ
US5460181A (en) * 1994-10-06 1995-10-24 Hewlett Packard Co. Ultrasonic transducer for three dimensional imaging
DE4333871C2 (de) 1993-10-05 1997-02-20 Daimler Benz Aerospace Ag Elektro-hydraulischer Aktuator
US5559387A (en) * 1994-05-13 1996-09-24 Beurrier; Henry R. Piezoelectric actuators
US5825386A (en) * 1995-03-09 1998-10-20 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Piezoelectric ink-jet device and process for manufacturing the same
JP3267151B2 (ja) * 1996-04-12 2002-03-18 ミノルタ株式会社 圧電振動部材およびその製造方法
RU2161364C2 (ru) * 1996-06-05 2000-12-27 Окатов Юрий Владимирович Пьезоэлектрический шаговый двигатель
US5961298A (en) * 1996-06-25 1999-10-05 California Institute Of Technology Traveling wave pump employing electroactive actuators
GB9618052D0 (en) 1996-08-29 1996-10-09 Univ Birmingham Piezoelectric elements and devices incorporating same
US6891317B2 (en) * 2001-05-22 2005-05-10 Sri International Rolled electroactive polymers
GB9713872D0 (en) * 1997-07-02 1997-09-03 Xaar Ltd Droplet deposition apparatus
AUPP307398A0 (en) 1998-04-21 1998-05-14 Mitchell, William Richard Fluid pump and actuating system incorporating piezoceramic elements
JP3206551B2 (ja) * 1998-06-12 2001-09-10 株式会社村田製作所 振動子およびそれを用いた振動ジャイロ
US6362559B1 (en) * 1999-02-12 2002-03-26 Face International Corp. Piezoelectric transformer with segmented electrodes
DE19938239B4 (de) 1999-08-12 2004-11-25 Hirschmann, Karl-Heinz, Prof.Dr. Mikropumpe zum Fördern, Dosieren und Plazieren von Flüssigkeiten
US6362946B1 (en) 1999-11-02 2002-03-26 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Electrostatic wafer clamp having electrostatic seal for retaining gas
JP3893841B2 (ja) 2000-03-22 2007-03-14 松下電工株式会社 ダイヤフラム及びダイヤフラムポンプ並びにダイヤフラムの製造方法
US6411014B1 (en) * 2000-05-09 2002-06-25 Measurement Specialties, Inc. Cylindrical transducer apparatus
US6439556B1 (en) * 2001-02-15 2002-08-27 Delphi Technologies, Inc. Active decoupler hydraulic mount
SG103371A1 (en) * 2001-12-28 2004-04-29 Matsushita Electric Works Ltd Wearable human motion applicator

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006154390A (ja) * 2004-11-30 2006-06-15 Seiko Precision Inc レンズ駆動装置及び、撮像装置
KR100617616B1 (ko) 2005-04-08 2006-09-01 한국생산기술연구원 나노 단위의 유전탄성체 박막이 구비된 적층형 폴리머액추에이터의 제조 방법
KR100664395B1 (ko) 2005-04-08 2007-01-03 한국생산기술연구원 수축 변위를 정밀 제어하기 위한 폴리머 액추에이터 및 그제어 방법
JP2008251833A (ja) * 2007-03-30 2008-10-16 Tokai Rubber Ind Ltd アクチュエータおよびアクチュエータ集束体
JP2009257580A (ja) * 2008-03-25 2009-11-05 Tokai Rubber Ind Ltd 機械的インピーダンスの調節装置とその制御方法、該機械的インピーダンスの調節装置を用いた立ち上がり補助椅子および揺動アーム
WO2013027696A1 (ja) * 2011-08-24 2013-02-28 株式会社村田製作所 アクチュエータ素子及び該アクチュエータ素子の製造方法
WO2013027617A1 (ja) * 2011-08-24 2013-02-28 株式会社村田製作所 アクチュエータ素子及び該アクチュエータ素子の製造方法
JP5541419B2 (ja) * 2011-08-24 2014-07-09 株式会社村田製作所 アクチュエータ素子及び該アクチュエータ素子の製造方法
JPWO2013027696A1 (ja) * 2011-08-24 2015-03-19 株式会社村田製作所 アクチュエータ素子及び該アクチュエータ素子の製造方法
US9543498B2 (en) 2011-08-24 2017-01-10 Murata Manufacturing Co., Ltd. Actuator device and method for manufacturing the actuator device
US9673372B2 (en) 2011-08-24 2017-06-06 Murata Manufacturing Co., Ltd. Actuator device and manufacturing method for actuator device
WO2020255977A1 (ja) * 2019-06-18 2020-12-24 ストローブ株式会社 静電アクチュエータ
US11848625B2 (en) 2019-06-18 2023-12-19 Strawb Inc. Electrostatic actuator

Also Published As

Publication number Publication date
KR20030055104A (ko) 2003-07-02
EP1683968A2 (en) 2006-07-26
CN1428926A (zh) 2003-07-09
EP1323925B1 (en) 2006-04-19
DE60210736D1 (de) 2006-05-24
SG103368A1 (en) 2004-04-29
CN1901351A (zh) 2007-01-24
EP1683968A3 (en) 2006-08-16
DE60210736T2 (de) 2007-03-29
DE60221586D1 (de) 2007-09-13
US6960864B2 (en) 2005-11-01
HK1054420A1 (en) 2003-11-28
DE60221586T2 (de) 2008-04-17
HK1054420B (zh) 2006-08-18
EP1323925A3 (en) 2004-07-07
CN1901350A (zh) 2007-01-24
CN1272899C (zh) 2006-08-30
CN1901351B (zh) 2010-09-29
KR100510224B1 (ko) 2005-08-30
US20030117044A1 (en) 2003-06-26
EP1683968B1 (en) 2007-08-01
JP3832338B2 (ja) 2006-10-11
EP1323925A2 (en) 2003-07-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2003199365A (ja) 電歪ポリマーアクチュエータとその製造方法
TWI729189B (zh) 觸覺回饋產生裝置
JP4220901B2 (ja) 圧電デバイス
US7915788B2 (en) Piezoelectric vibrator, manufacturing method thereof and linear actuator having the same
KR20040049309A (ko) 압전기 디바이스
CN1120874A (zh) 单片预应力陶瓷器件及其制法
KR20030007429A (ko) 복합 압전변압기
US7233096B2 (en) Multilayer piezoelectric element and vibration-wave drive device
JP4954784B2 (ja) 駆動装置
US7161279B2 (en) Curved electro-active actuators
JP4063301B2 (ja) 電歪ポリマーアクチュエータの製造方法
JP4063300B2 (ja) 電歪ポリマーアクチュエータ
JP2005507323A5 (ja)
JP4954783B2 (ja) 圧電素子及び振動型アクチュエータ
US7336022B2 (en) Piezoelectrical bending converter
JP2003324223A (ja) 積層型圧電体素子
JP5618013B2 (ja) 積層型アクチュエータ
JPS62104182A (ja) 積層圧電体の製造方法
JPS61283180A (ja) 積層圧電体
JP2002305331A (ja) 積層セラミック素子及びそれを用いた圧電ファン
JP2004259947A (ja) 圧電トランス素子
JPH05129676A (ja) 圧電積層体の製造方法
JPH0316798B2 (ja)
JPH0469826B2 (ja)
KR20210009976A (ko) 적층형 압전 세라믹층을 갖는 초음파 센서

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20031219

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060131

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060221

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060424

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060627

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060710

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060424

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090728

Year of fee payment: 3

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090728

Year of fee payment: 3

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090728

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100728

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100728

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110728

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120728

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120728

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130728

Year of fee payment: 7

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees