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Die
vorliegende Erfindung betrifft einen elektromagnetischen Mikroaktor,
der auf einem Trägerkörper aufgebaut
ist und wenigstens eine Spule und eine Membran aufweist, die durch
Bestromung der Spule auslenkbar ist.
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Elektromagnetische
Mikroaktoren sind bekannt im Einsatzbereich von Mikropumpen, miniaturisierten
Stellgliedern oder finden Anwendung im Bereich der aktiven Strömungsbeeinflussung
der Luftströmung
an Luftfahrzeug-Tragflächen.
Die Mikroaktoren sind nach dem Prinzip eines elektromagnetischen
Stellgliedes aufgebaut, das eine Spule aufweist, die bei Bestromung
eine Membran auslenken kann. An der Membran kann ein metallischer
Körper angeordnet
sein, auf den das elektromagnetische Feld, das durch die Bestromung
der Spule erzeugt wird, einwirkt. Je stärker die Spule bestromt wird, desto
größer wird
die Auslenkung der Membran. Wird an die Spule eine Wechselspannung
angelegt, so kann die Membran mit der Wechselspannungsfrequenz in
Schwingung versetzt werden. Der einfachste Aufbau, den der Stand
der Technik zeigt, kann in einem Lautsprecher gesehen werden, wobei
gewöhnlich
die Spule den bewegten Teil der Lautsprecheranordnung bildet. Folglich
besteht auch bei elektromagnetischen Mikroaktoren die Möglichkeit,
die Spule auf die auszulenkende Membran aufzubringen, um die dynamisch
bewegte Masse zu reduzieren. Ferner sind elektromagnetische Mikroaktoren bekannt,
welche sowohl auf dem Trägerkörper als auch
auf der Membran eine jeweilige Spule aufweisen, so dass sich eine
gegenseitige elektromagnetische Beeinflussung bilden kann, um auch
auf diese Weise bei Anlegen einer Wechselspannung an die Spulen
eine Schwingung in der Membran zu erzeugen, ohne einen metallischen
Körper
als Kern zu benötigen.
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In
den letzten Jahren werden zunehmend miniaturisierte Aktoren gefordert,
bei denen jedoch die Frequenz sowie die erzielbaren Amplituden der Membranauslenkung
begrenzt sind. Im statischen Betrieb der Mikroaktoren können zwar
Auslenkungen von bis zu 200 μm
erzielt werden, jedoch können
geforderte Frequenzbereiche im kHz-Bereich bei den Auslenkungen
nicht umgesetzt werden. Zur Miniaturisierung der Aktoren sind zwar
planare Spulen bekannt, welche flächig auf dem Trägerkörper oder
auf der Innenseite der Membran aufgebracht werden, jedoch können große Auslenkungen
bei höheren
Frequenzen durch derartige Anordnungen aufgrund der begrenzten Leistungsdichte
nicht erzielt werden. Folglich sind stark miniaturisierte planare
Spulen mit Dimensionen von weniger als 2 qmm zwar bekannt, jedoch
sind die erzielbaren Auslenkungen der Membran nicht umsetzbar.
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Es
ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen elektromagnetischen
Mikroaktor bereit zu stellen, welcher auch bei hohen Frequenzen im
kHz-Bereich große
Auslenkungen ermöglicht.
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Diese
Aufgabe wird ausgehend von einem elektromagnetischen Mikroaktor
gemäß dem Oberbegriff
des Anspruches 1 in Verbindung mit den kennzeichnenden Merkmalen
gelöst.
Ferner wird ein Verfahren gemäß des Anspruchs
11 vorgeschlagen, dass auf den Betrieb eines elektromagnetischen
Mikroaktors gemäß des Anspruchs
1 gerichtet ist, und die Schaffung einer großen Amplitude der Membranauslenkung
bei hohen Frequenzen ermöglicht.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.
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Die
Erfindung schließt
die technische Lehre ein, dass die Membran aus einem bestrombaren
dielektrischen Elastomeraktor gebildet ist, der einen Elastomerfilm
mit einer beidseitigen Elektrodenbeschichtung aufweist.
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Die
Erfindung geht von dem Gedanken aus, einen vorzugsweise elektromagnetischen
Mikroaktor bekannter Bauart mit einer Membran auszuführen, welche
in ihren elastischen Eigenschaften mittels einer Bestromung beeinflussbar
ist. Hierzu ist vorgesehen, die Membran als dielektrischen Elastomeraktor auszuführen, der
aus einem Elastomerfilm besteht, der an seinen beiden Grenzflächen jeweilige
Elektrodenbeschichtungen aufweist. Dielektrische Elastomeraktoren
sind adaptive Materialsysteme, welche hohe Dehnungen bis zu 300%
erreichen können.
Sie gehören
zur Gruppe der elektroaktiven Polymere, welche auf dem Funktionsprinzip
beruhen, die elektrische Energie, die durch die Kontaktierung der
Elektrodenbeschichtungen in das Materialsystem eingebracht wird,
direkt in mechanische Arbeit umzuwandeln. Werden die Elektrodenbeschichtungen
in einen elektrischen Schaltkreis integriert, so stellt sich ein elektrostatischer
Druck im Elastomerfilm ein, so dass sich die Dicke des Elastomerfilms
verringern kann. Durch den Effekt der Querkontraktion dehnt sich
bei Dickenreduktion der Elastomerfilm in seiner Erstreckungsebene
aus. Die Folge ist, dass sich die Auslenkung der Membran durch Bestromung
der Elektrodenbeschichtungen vergrößert, so dass der Effekt der
elektromagnetischen Beeinflussung durch die Bestromung der Spule
mit dem Effekt der planaren Ausdehnung des Elastomerfilms überlagert.
Auf diese Weise können
elektromagnetische Mikroaktoren in ihrem Leistungsspektrum erheblich
erweitert werden, wobei die erfindungsgemäße Anordnung einer weiteren
Miniaturisierung der elektromagnetischen Aktoren nicht entgegensteht.
Die erfindungsgemäße elektrisch
aktivierbare Membran kann beispielsweise auch mit piezoelektrischen,
elektrostatischen, magnetischen oder magnetostrikitven Aktoren verwendet werden.
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Ein
Anwendungsgebiet elektromagnetischer Mikroaktoren betrifft eine
aktive Beeinflussung der Strömungsausbildung
an der Tragfläche
eines Luftfahrzeugs. Ein beträchtlicher
Anteil des Widerstands eines Luftfahrzeugs wird durch den Reibungswiderstand
der Luftströmung
bestimmt. Verschiedene Beeinflussungskon zepte wirken auf eine Verschiebung der
laminar-turbulenten Transition in Richtung der Tragflächenhinterkante
hin, wobei der Umschlagpunkt zwischen der laminaren und der turbulenten Strömung durch
die adaptive Beeinflussung der Strömung in Richtung zur Tragflächenhinterkante
hin verlagert wird. Daraus folgt eine Reduktion des Reibungswiderstandes
der Luftströmung,
da die laminare Laufstrecke der Strömung über der Tragfläche vergrößert wird.
Ein aktiver Ansatz zur Verlängerung
der laminaren Lauflänge
besteht darin, die transitionsverursachenden instabilen Tollmien-Schlichting (TS)-Wellen
durch Überlagerung
mit künstlichen
Gegenströmungen
zu minimieren. Hierzu werden an geeigneter Stelle auf der Tragfläche Arrays
von Mikroaktoren aufgebracht, die eine Dämpfung der TS-Wellen und somit
eine Verzögerung
der Transition ermöglichen.
Derartige Arrays von Mikroaktoren können jedoch auch in anderen
Fluggeräten,
beispielsweise Hubschraubern und Flugkörpern zur Strömungsbeeinflussung
angewendet werden. Aufgrund der häufig gekrümmten Oberflächen Tragflächen kann
es vorgesehen sein, den Trägerkörper des
elektromagnetischen Mikroaktors flexibel auszuführen, um das Array der elektromagnetischen
Mikroaktoren der Krümmung
der Tragflächen
anzupassen.
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Weitere
Einsatzmöglichkeiten
zur Strömungsbeeinflussung
in anderen technischen Gebieten fluidischer Systeme wie beispielsweise
in der Medizintechnik oder in der μ-Anlagentechnik sind möglich. Ferner
können
taktile Displays mit den erfindungsgemäßen elektromagnetischen Mikroaktoren ausgeführt werden,
wobei hohe Amplituden und hohe Frequenzen bei höchster räumlicher Auflösung benötigt werden.
Die einzelnen Mikroaktoren können auf
wenige Quadratmillimeter oder Sub-Quadratmillimeter größenreduziert
werden.
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Vorteilhafterweise
ist die Bestromung der Spule mit der Bestromung des dielektrischen
Elastomeraktors synchronisierbar. Wenn die Spule bei einer Eigenfrequenz
der Membran betrieben wird, dann kann eine besonders große Amplitude
der Membran erwartet werden. Mit Hilfe der an die Membran angelegten
Spannung, kann die Steifigkeit der Membran eingestellt werden. Hierdurch
kann der Bereich, in dem große
Amplituden erzeugt werden können,
d. h. die Frequenzbreite, in der der elektromagnetische Aktor in
Resonanz betrieben werden kann, erweitert werden. Die Synchronisation
erfolgt gemäß eines
Verfahrens zum Betrieb des elektromagnetischen Mikroaktors, wobei
der die Membran bildende dielektrische Elastomeraktor nur innerhalb
des Zeitbereiches bestromt wird, in dem auch die Membran durch Bestromung
der Spule aus der Nulllage ausgelenkt wird. Durch die Bestromung
des dielektrischen Elastomeraktors dehnt sich dieser bei gleichzeitiger Dickenreduktion
des Elastomerfilms in Richtung der Erstreckungsebene des Elastomerfilms
aus. Dabei wird sowohl die Steifigkeit der Membran reduziert als auch
eine aktive Unterstützung
der Auslenkung erzeugt. Durch die Verringerung der Dicke des Elastomerfilms
wird die Steifigkeit verringert, wobei die Ausdehnung des Elastomerfilms
aus einer Ebene der Nulllage in eine kalottenartige Wölbung übergeht,
da die Membran randseitig eingespannt bzw. aufgenommen ist. Folglich überlagert
sich die Auslenkung durch die Bestromung der Spule mit der Auslenkung durch
die Ausdehnung des Elastomerfilms. In Ergebnis ist eine größere Amplitude
der Auslenkung umsetzbar, die auch bei höheren Frequenzen im kHz-Bereich
beibehalten werden kann.
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Gemäß einer
weiteren vorteilhaften Ausführungsform
des elektromagnetischen Mikroaktors ist die Spule als Mikrospule
ausgeführt
und mittels einer Dünnfilmtechnik
auf dem Trägerkörper und/oder
auf der Oberfläche
der Membran aufgebracht. Im nicht bestromten Zustand der Spule sowie
des Elastomeraktors können
die Membran sowie die planare Spule jeweils parallel zueinander
auf dem Trägerkörper aufgebaut
sein. Lediglich durch Bestromung der Spule und des Elastomeraktors
wird eine kalottenartige Auswölbung
der Membran erzeugt, so dass sich der Abstand zwischen der Membran
und dem Trägerkörper vergrößert. Die
Miniaturisierung des Mikroaktors kann beispielsweise mittels der
LIGA-Technik umge setzt werden, die ein Verfahren mit den Schritten
der Lithographie, Galvanik und Abformung beschreibt. Mittels dieser
Technik sind Bauteile mit hohen Aspektverhältnissen auf einem als Substrat
ausgeführten
Trägerkörper erzeugbar,
wodurch eine starke Miniaturisierung sowohl der Spule als auch der
Membran möglich
ist. Dadurch, dass in dieser Technologie besonders hohe Kerne hergestellt
werden können, kann
das elektromagnetische Potenzial erheblich gesteigert werden.
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Die
Ankerkörper
können
als Permanentmagnet oder als weichmagnetischer oder dimagnetischer Körper ausgeführt sein,
welcher beispielsweise an der Membran angeordnet ist, wobei der
Ankerkörper mit
dem Magnetfeld der Spule zur Erzeugung der Auslenkung der Membran
zusammenwirkt. Das Magnetfeld wird dabei durch die auf dem Trägerkörper aufgebrachte
Spule erzeugt. Alternativ ist möglich, dass
die Spule auf der Membran angeordnet ist, und der Ankerkörper einen
Kern auf dem Trägerkörper bildet,
der fest auf diesem aufgebracht ist.
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Gemäß einer
weiteren vorteilhaften Ausführungsform
ist die Spule auf einem Spulenkern aufgebaut, wobei dieser als geschichteter
Spulenkern mit einer hohen Magnetisierbarkeit ausgebildet ist. Dadurch
kann der elektromagnetische Fluss durch die Bestromung der Spule
weiter erhöht
werden, so dass auch die Leistungsdichte des elektromagnetischen Mikroaktors
weiter erhöht
wird. Auch der Aufbau der Spule sowie des Spulenkerns kann mittels
der LIGA-Technik erfolgen.
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Vorteilhafterweise
sind vier Spulen vorgesehen, die auf dem Trägerkörper in einer jeweils um 90° zueinander
versetzten Anordnung auf diesen aufgebracht sind. Die Spulen sind
als planare Spulen ausgebildet, wobei die Anordnung der Spulen je
nach Anwendungsfall auch als Dipol, Quadrupol und so weiter erfolgen
kann. Dadurch kann bei Aufbau eines Arrays aus einer Vielzahl von
Mikroaktoren die gegenseitige Beeinflussung durch die entstehenden elektromagnetischen
Felder minimiert werden, in dem die Anordnung der planaren Spulen
derart vorgesehen wird, dass das magnetische Feld auf den Raum des
einzelnen Mikroaktors begrenzt bleibt.
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Zur
Bestromung der Spulen sind Leiterbahnen auf dem Trägerkörper aufgebracht,
welche randseitig am Trägerkörper in
Kontaktpads enden. Bei Aufbau eines Arrays durch eine Vielzahl von
Mikroaktoren können
die einzelnen Aktoren untereinander verschaltet sein, um eine jeweils
separate Kontaktierung der Mikroaktoren an eine Peripherie zu vermeiden.
Die Kontaktierung des dielektrischen Elastomeraktors kann ebenfalls
durch Leiterbahnen sowie entsprechende Kontaktpads vorgesehen werden,
welche im Bereich der Aufnahme der Membran angeordnet sind.
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Vorteilhafterweise
ist der Ankerkörper
zwischen den vier Spulen an der Seite der Membran zentrisch angeordnet,
wobei die Seite der Anordnung des Ankerkörpers auf der Membran in Richtung
der Spulen weist. Vorzugsweise ist der Ankerkörper entweder mit einer runden
oder einer quadratischen Querschnittsgeometrie ausgeführt, wobei
eine quadratische Querschnittsgeometrie bei vierfach vorgesehenen
planeren Spulen mit einem jeweiligen Versatz von 90° zueinander
eine vorteilhafte Ausführungsform
bildet.
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Gemäß einer
weiteren Ausführungsform
der Spule kann diese eine toroidartige Form aufweisen, wobei sich
der Ankerkörper
in einen in der toroidartigen Spule eingebrachten Spalt hinein erstreckt.
Gemäß diesem
Aufbau kann eine sehr hohe Flussdichte des Magnetfeldes innerhalb
des Ankerkörpers
erzeugt werden, wodurch das Leistungspotenzial des Mikroaktors weiter
erhöht
wird.
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Schließlich sieht
noch eine vorteilhafte Ausführungsform
vor, dass die Spule als planere Spule ausgebildet ist. Dabei kann
die Spulengeometrie beispielsweise rund sein oder die Form eines
regelmäßigen Vielecks
aufweisen.
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Weitere,
die Erfindung verbessernde Maßnahmen
werden nachstehend gemeinsam mit der Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele
der Erfindung anhand der Figuren näher dargestellt.
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Es
zeigt:
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1 eine
schematische Ansicht eines Querschnitts eines elektromagnetischen
Mikroaktors;
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2 eine
schematische Darstellung eines dielektrischen Elastomeraktors sowohl
im nicht bestromten als auch im bestromten Zustand;
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3 eine
perspektivische Ansicht eines elektromagnetischen Mikroaktors mit
vier planaren Spulen, welche gleich verteilt um einen Permanentmagneten
angeordnet sind und wobei die Spulen durch Leiterbahnen kontaktiert
sind;
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4 eine
Querschnittsansicht des elektromagnetischen Mikroaktors gemäß der 3;
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5 eine
perspektivische Ansicht eines elektromagnetischen Mikroaktors gemäß der 3 mit
einem quadratisch ausgeführten
Permanentmagneten, welcher an einer Membran angeordnet ist, die als
dielektrischer Elastomeraktor ausgeführt ist und
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6 eine
perspektivische Ansicht einer Spule mit einer toroidartigen Form
und einem Spalt, in dem sich der Permanentmagnet hinein erstreckt, wobei
der Permanentmagnet an einer als dielektrischer Elastomerkörper ausgeführte Membran
angeordnet ist.
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Der
elektromagnetische Mikroaktor in 1 ist mit
dem Bezugszeichen 1 bezeichnet. Der schematisch dargestellte
Mikroaktor 1 umfasst einen Trägerkörper 2, auf dem die
einzelnen Komponenten des Mikroaktors 1 mittels einer Dünnschichttechnik aufeinander
aufgebaut sind. Angrenzend an den Trägerkörper 2 befinden sich
zwei Spulen 3, die einen Spulenkern 9 umfassen.
Aufbauend auf die Spulen 3 folgt ein Abstandshalter 12,
welcher einteilig ausgeführt
ist und gemäß der Darstellung
im Querschnitt sowohl linksseitig als auch rechtsseitig oberhalb
der Spulen 3 dargestellt ist. Auf dem Abstandshalter 12 ist
eine Membran 4 aufgebracht, welche in einer ausgelenkten
Stellung dargestellt ist. Die Nulllage der Membran 4 ist
durch eine gestrichelte Linie dargestellt. Zentrisch unter der Membran 4 ist
als Ankerkörper
ein Permanentmagnet 8 angeordnet, welcher durch das Magnetfeld,
dass durch eine Bestromung der Spulen 3 erzeugt wird, aus
der Nulllage ausgelenkt wird. Durch die Auslenkung des Permanentmagneten 8 erfolgt
gleichfalls die Auslenkung der Membran 4. Erfindungsgemäß ist die
Membran 4 als dielektrischer Elastomeraktor ausgebildet,
wobei der Aufbau der Membran 4 in 2 beschrieben
ist.
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2 zeigt
eine Membran 4, die erfindungsgemäß als dielektrischer Elastomeraktor
ausgebildet ist. Als Elastomermaterialien werden häufig Silikone oder
Acryle verwendet. Derartige Materialien zeichnen sich durch einen
sehr niedrigen Elastizitätsmodul aus
und weisen zugleich eine hohe Dielektrizitätskonstante sowie eine hohe
Durchschlagfestigkeit gegen elektrische Potenziale auf. Die Bestromung
des dielektrischen Elastomeraktors kann mit abnehmender Dicke des
Elastomerfilms 5 verringert werden, um die Gefahr von Spannungsdurchschlägen zu verringern.
An den Grenzflächen
des Elastomerfilms 5 ist gemäß der Darstellung unterhalb
des Elastomerfilms 5 eine erste Elektrodenbeschichtung 6 und oberhalb
eine zweite Elektrodenbeschichtung 7 aufgebracht. In der
linksseitigen Darstellung der 2 befindet
sich die Anordnung aus Elastomerfilm 5 und den Elektrodenbeschichtun gen 6 und 7 in
einem nicht bestromten Zustand. in der rechtsseitigen Anordnung,
angedeutet durch eine Erdung sowie einem Spannungsanschluss (V),
ist der Elastomerfilm 5 über die Elektrodenbeschichtungen 6 und 7 bestromt.
Die orthogonal auf die Erstreckungsebene des Elastomerfilms 5 weisenden
Pfeile deuten eine Verringerung der Dicke an, wobei die Pfeile in
Erstreckungsrichtung des Elastomerfilms 5 die Ausdehnungsrichtungen
des Elastomerfilms 5 darstellen. Im Vergleich zur rechtsseitigen
Darstellung des Elastomerfilms 5 ist dieser dünner, wobei
die lateralen Abmessungen zunehmen. Das Material des Elastomerfilms 5 weist
Volumenkonstanz auf, da vorzugsweise ein inkompressibles Material
gewählt
wird. Aufgrund der Volumenkonstanz nimmt die laterale Erstreckung linear
zur Verringerung der Dicke zu. Durch diese Anordnung eines Elastomerfilms 5 mit
den beidseitigen Elektrodenbeschichtungen 6 und 7 wird
auf einfache Weise ein Aktor bereitgestellt, welcher erfindungsgemäß als Membran
eines Mikroaktors gemäß der Darstellung
in 1 eingesetzt wird.
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3 zeigt
einen beispielhaften Aufbau eines elektromagnetischen Mikroaktors 1 mit
einem Trägerkörper 2,
auf dem vier 90° zueinander
angeordnete planare Spulen 3 aufgebracht sind. Auf einem
auf dem Trägerkörper 2 aufgebrachten
Abstandshalter 12 ist eine Membran 4 aufgebracht,
welche einen zentrisch angeordneten als Permanentmagneten 8 ausgebildeten
Ankerkörper
aufweist. Die Spulen 3 sind jeweils mittels Leiterbahnen 10 kontaktiert,
wobei die Leiterbahnen 10 randseitig des Trägerkörpers 2 in
Kontaktpads 11 enden. Damit bildet gemäß der Darstellung und den Abmessungen
des Trägerkörpers 2 die
Anordnung einen einzelnen Mikroaktor 1, welcher bei in
einer Ebene jeweils benachbarten Anordnung einer Vielzahl von Mikroaktoren 1 einen
Array bilden kann. Folglich bietet sich eine rechteckige Form des
Trägerkörpers 2 an,
um jeweils randseitig benachbart einen weiteren Mikroaktor 1 anzuordnen.
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4 zeigt
eine Querschnittsdarstellung des Mikroaktors 1 gemäß der 3.
Erkennbar sind hierin sowohl linksseitig als auch rechtsseitig eine
Spule 3 im Querschnitt, wobei mittig eine weitere Spule 3 in der
Seitenansicht im nicht geschnittenen Zustand dargestellt ist. Unterseitig
unter der Membran 4 ist die Anordnung des Permanentmagneten 8 erkennbar, welche
durch eine Bestromung der Spulen 3 in vertikaler Richtung
auslenkbar ist.
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5 zeigt
eine weitere Darstellung eines elektromagnetischen Mikroaktors 1 mit
einem Trägerkörper 2,
auf dem vier 90° zueinander
versetzt angeordnete Spulen 3 aufgebracht sind. Die Spulen sind
jeweils über
Leiterbahnen 10 kontaktiert, welche in Kontaktpads 11 enden.
Die planare Ausbildung sowohl der Spulen 3 als auch der
Leiterbahnen 10 und der Kontaktpads 11 wird durch
eine Dünnschichttechnik
ermöglicht,
mittels der der Aufbau des Mikroaktors 1 auf dem Trägerkörper 2 erzeugt
wird. Auf dem planaren Aufbau der Spulen 3 sowie der Leiterbahnen 10 ist
ein Abstandshalter 12 aus einem weiteren Kunststoffmaterial
aufgebaut, welcher ebenfalls mittels Dünnschichttechnik aufgebracht
werden kann. Der Bereich der Kontaktpads 11 bleibt frei,
um eine externe Kontaktierung zu schaffen, so dass der Abstandshalter 12 nicht über die
Kontaktpads 11 hinausragt. Mittig zwischen den Spulen 3 ist
als Ankerkörper
ein Permanentmagnet 8 dargestellt, welcher einen quadratischen
Querschnitt aufweist. Der Permanentmagnet 8 ist unterseitig
an einer Membran 4 angebracht, so dass durch Bestromung
der Spulen 3 der Permanentmagnet 8 und damit die
Membran 4 auslenkbar ist.
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6 zeigt
eine toroidartige Ausbildung einer Spule 3, welche für einen
elektromagnetischen Mikroaktor 1 gemäß der 1 Anwendung
finden kann. Die Spule 3 ist ringförmig mit einem Spalt ausgebildet,
in dem sich der Permanentmagnet 8 hinein erstreckt. Der
Permanentmagnet 8 ist auf gleiche Weise mit der Membran 4 verbunden,
so dass die Auslenkung bei Bestromung der Spule erfolgen kann. Dadurch,
dass sich der Permanentmagnet 8 in den Spalt der toroidartigen
Spule 3 hinein erstreckt, besteht die Möglichkeit, den Permanentmagneten 8 einem
starken elektromagnetischen Fluss auszusetzen. Dadurch kann die
Leistungsdichte eines Mikroaktors weiter erhöht werden.
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Die
Erfindung beschränkt
sich in ihrer Ausführung
nicht auf das vorstehend angegebene bevorzugte Ausführungsbeispiel.
Vielmehr ist eine Anzahl von Varianten denkbar, welche von der dargestellten Lösung auch
bei grundsätzlich
anders gearteten Ausführungen
Gebrauch macht.
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- 1
- elektromagnetischer
Mikroaktor
- 2
- Trägerkörper
- 3
- Spule
- 4
- Membran
- 5
- Elastomerfilm
- 8
- Elektrodenbeschichtung
- 7
- Elektrodenbeschichtung
- 8
- Ankerkörper (Permanentmagnet)
- 9
- Spulenkern
- 10
- Leiterbahn
- 11
- Kontaktpad
- 12
- Abstandshalter