JP2003173154A - 半導体装置及び表示装置 - Google Patents

半導体装置及び表示装置

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JP2003173154A
JP2003173154A JP2002102591A JP2002102591A JP2003173154A JP 2003173154 A JP2003173154 A JP 2003173154A JP 2002102591 A JP2002102591 A JP 2002102591A JP 2002102591 A JP2002102591 A JP 2002102591A JP 2003173154 A JP2003173154 A JP 2003173154A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 被駆動素子に安定して電力供給可能な構成の
実現。 【解決手段】 マトリクス状に配置された各画素は、有
機EL素子50、第1TFT10、第2TFT20、保
持容量Cs、リセット用の第3TFT30を備え、第1
TFT10は、ゲート信号に応じてデータ信号を取り込
み、第2TFT20は駆動電源ラインVLにドレイン、
有機EL素子50にソースが接続され、データ信号をゲ
ートに受けて駆動電源Pvddから有機EL素子50へ
の供給電流を制御する。保持容量Csの第1電極7は第
2TFT20のゲート、第2電極8は第2TFT20の
ソース及び有機EL素子に接続され、第2TFT20の
Vgsを保持する。第3TFT30は保持容量Cs充電
時に第2電極電位を固定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、エレクトロルミ
ネッセンス表示素子などの被駆動素子を制御するための
回路構成に関する。
【0002】
【従来の技術】自発光素子であるエレクトロルミネッセ
ンス(Electroluminescence:以下EL)素子を各画素
に発光素子として用いたEL表示装置は、自発光型であ
ると共に、薄く消費電力が小さい等の有利な点があり、
液晶表示装置(LCD)やCRTなどの表示装置に代わ
る表示装置として注目され、研究が進められている。
【0003】また、なかでも、EL素子を個別に制御す
る薄膜トランジスタ(TFT)などのスイッチ素子を各
画素に設け、画素毎にEL素子を制御するアクティブマ
トリクス型EL表示装置は、高精細な表示装置として期
待されている。
【0004】図13は、m行n列のアクティブマトリク
ス型EL表示装置における各画素の回路構成を示してい
る。EL表示装置では、基板上に複数本のゲートライン
GLが行方向に延び、複数本のデータラインDL及び駆
動電源ラインVLが列方向に延びている。また各画素は
有機EL素子50と、スイッチング用TFT(第1TF
T)10、EL素子駆動用TFT(第2TFT)21及
び保持容量Csを備えている。
【0005】第1TFT10は、ゲートラインGLとデ
ータラインDLとに接続されており、ゲート電極にゲー
ト信号(選択信号)を受けてオンする。このときデータ
ラインDLに供給されているデータ信号は第1TFT1
0と第2TFT21との間に接続された保持容量Csに
保持される。第2TFT21のゲート電極には、上記第
1TFT10を介して供給されたデータ信号に応じた電
圧が供給され、この第2TFT21は、その電圧値に応
じた電流を電源ラインVLから有機EL素子50に供給
する。有機EL素子50は陽極から注入される正孔と陰
極から注入される電子とが発光層内で再結合して発光分
子が励起され、この発光分子が励起状態から基底状態に
戻る際に発光する。有機EL素子50の発光輝度は有機
EL素子50に供給される電流にほぼ比例しており、上
述のように各画素ごとにデータ信号に応じて有機EL素
子50に流す電流を制御することで、該データ信号に応
じた輝度で有機EL素子を発光し、表示装置全体で所望
のイメージ表示が行われる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】有機EL表示装置にお
いて、高い表示品質を実現するためには、有機EL素子
50をデータ信号に応じた輝度で確実に発光させる必要
がある。従って、アクティブマトリクス型では、駆動電
源ラインVLと、有機EL素子50との間に配置される
第2TFT21については、有機EL素子50に電流が
流れて該EL素子50の陽極電位が変動してもそのドレ
イン電流が変動しないことが求められる。
【0007】このため、図13に示すように、第2TF
T21としては、駆動電源ラインVLにソースが接続さ
れ、有機EL素子50の陽極側にドレインが接続され、
データ信号に応じた電圧が印加されるゲートと、上記ソ
ースとの電位差Vgsによってソースドレイン間電流を制
御することが可能なpch−TFTが採用されているこ
とが多い。
【0008】しかし、pch−TFTを第2TFT21
に採用した場合には、上述のように駆動電源ラインVL
にソースが接続され、このソースとゲートとの電位差に
よってドレイン電流、つまり有機EL素子50に供給さ
れる電流が制御されるため、駆動電源ラインVLの電圧
が変動すると各素子50での発光輝度が変動するという
問題がある。有機EL素子50は上述の通り電流駆動型
の素子であり、例えばあるフレーム期間に表示されるイ
メージが高輝度である場合など(一例として全面白色な
ど)、基板上の多く有機EL素子50に対し、単一の駆
動電源Pvddから対応する各駆動電源ラインVLを介
して一度に多くの電流が流れ、駆動電源ラインVLの電
位が変動することがある。また、駆動電源Pvddから
の距離が長く、駆動電源ラインVLの配線抵抗による電
圧降下が顕著な領域、例えば電源から遠い位置にある画
素では、駆動電源ラインVLの電圧が低いことで各有機
EL素子50の発光輝度が電源に近い位置の素子より低
くなってしまう。
【0009】さらに、第2TFT21にpch−TFT
を用いた場合、この第2TFT21に供給するデータ信
号は、その極性をビデオ信号の極性と逆にする必要があ
り、ドライバ回路に、極性反転手段を設ける必要もあっ
た。
【0010】上記課題を解決するために、本発明では、
駆動電源ラインから被駆動素子に供給される電力が駆動
電源の電圧変動の影響を受け難くすることを目的とす
る。
【0011】また本発明の他の目的は、素子駆動用薄膜
トランジスタに供給するデータ信号の極性をビデオ信号
の極性と一致させ、駆動回路の簡素化を図ることであ
る。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
にこの発明は、半導体装置であって、選択信号をゲート
に受けて動作し、データ信号を取り込むスイッチング用
薄膜トランジスタと、駆動電源にドレインが接続され、
被駆動素子にソースが接続され、前記スイッチング用薄
膜トランジスタから供給されるデータ信号をゲートに受
けて、前記駆動電源から前記被駆動素子に供給する電力
を制御する素子駆動用薄膜トランジスタと、第1電極が
前記スイッチング用薄膜トランジスタと前記素子駆動用
薄膜トランジスタの前記ゲートとに接続され、第2電極
が前記素子駆動用薄膜トランジスタのソースと前記被駆
動素子との間に接続され、前記データ信号に応じて前記
素子駆動用薄膜トランジスタのゲートソース間電圧を保
持する保持容量と、前記保持容量の第2電極の電位を制
御するためのスイッチ素子と、を有する。
【0013】本発明の他の態様は、マトリクス状に配置
された複数の画素を備えるアクティブマトリクス型の表
示装置であって、各画素は、少なくとも、被駆動素子
と、選択信号をゲートに受けて動作し、データ信号を取
り込むスイッチング用薄膜トランジスタと、駆動電源に
ドレインが接続され、前記被駆動素子にソースが接続さ
れ、前記スイッチング用薄膜トランジスタから供給され
るデータ信号をゲートに受けて、前記駆動電源から前記
被駆動素子に供給する電力を制御する素子駆動用薄膜ト
ランジスタと、第1電極が前記スイッチング用薄膜トラ
ンジスタと前記素子駆動用薄膜トランジスタの前記ゲー
トとに接続され、第2電極が前記素子駆動用薄膜トラン
ジスタのソースと前記被駆動素子との間に接続され、前
記データ信号に応じて前記素子駆動用薄膜トランジスタ
のゲートソース間電圧を保持する保持容量と、前記保持
容量の第2電極の電位を制御するためのスイッチ素子
と、を有する。
【0014】以上のように、保持容量によって、素子駆
動用薄膜トランジスタのゲートと、被駆動素子に接続さ
れたソースとの間の電圧を保持するため、被駆動素子が
動作しこの素子に接続された素子駆動用薄膜トランジス
タのソース電位が上昇した場合にもデータ信号に応じた
電流の被駆動素子への供給が可能となり、素子駆動用薄
膜トランジスタとして、nチャネル型薄膜トランジスタ
の使用が可能である。そして、駆動電源ラインにおける
電圧変動に対し被駆動素子への供給電力が影響を受けに
くく、安定した電力供給が可能となる。
【0015】さらに、nチャネル型薄膜トランジスタ
は、チャネル領域と高濃度不純物注入したソース領域お
よびドレイン領域との間に低濃度不純物注入したLD領
域を有することが好適である。
【0016】特に、この駆動トランジスタは少なくとも
周辺回路におけるnチャネルトランジスタのLD領域よ
り大きく設定されていることが好適であり、スイッチン
グトランジスタのLD領域よりも大きいことが好適であ
る。
【0017】これによって、トランジスタを大きくしな
くても、ゲートに受ける電圧変化に対する電流量調整の
精度を向上することができる。また、トランジスタをレ
イアウトする専有面積を小さくすることができ、開口率
増大による輝度アップと低消費電流化を実現することが
できる。
【0018】本発明の他の態様では、前記被駆動素子
は、エレクトロルミネッセンス素子である。エレクトロ
ルミネッセンス素子では、例えば供給電流に対応した輝
度で発光するため、上述のような回路構成によって電流
供給を行うことにより、データ信号に応じた輝度で各素
子を発光させることができる。
【0019】本発明の他の態様では、前記スイッチ素子
は、前記スイッチング用薄膜トランジスタのオンオフに
応じて前記保持容量の第2電極の電位を制御する。
【0020】本発明の他の態様では、前記スイッチ素子
によって、前記スイッチング用薄膜トランジスタのオン
動作時に前記保持容量の第2電極が固定電位に制御され
る。
【0021】本発明の他の態様では、前記スイッチ素子
によって、前記スイッチング用薄膜トランジスタのオン
動作より前から前記保持容量の第2電極が固定電位に制
御され、前記スイッチング用薄膜トランジスタがオフし
た後に、前記保持容量の第2電極に対する電位制御を停
止する。
【0022】本発明の他の態様では、前記スイッチ素子
は、薄膜トランジスタであり、所定のリセット信号又は
前記スイッチング用薄膜トランジスタに供給される選択
信号に応じて、前記保持容量の第2電極の電位を制御す
る。
【0023】以上のようなスイッチ素子の制御により、
保持容量の第2電極電位を制御することで、確実かつ簡
単に保持容量にデータ信号に応じた電荷を蓄積し、所定
期間、素子駆動用薄膜トランジスタのゲートソース間電
圧を維持することが可能となる。
【0024】本発明の他の態様では、前記スイッチ素子
は、前記素子駆動用薄膜トランジスタのソースに接続さ
れており、所定タイミングで前記被駆動素子に蓄積され
た電荷を放電させるために用いられることを特徴とす
る。
【0025】本発明では、被駆動素子それぞれに対応し
て該素子と接続されたスイッチ素子が各画素に設けられ
ているため、例えば所定タイミングでスイッチ素子をオ
ンさせることで、スイッチ素子を介して被駆動素子を確
実かつ他の専用の素子を設けることなく簡単に放電させ
ることができる。
【0026】本発明の他の態様では、前記スイッチ素子
は、前記素子駆動用薄膜トランジスタのソースに接続さ
れており、前記被駆動素子に接続された前記素子駆動用
薄膜トランジスタのソース電位又は電流の測定に用いら
れる。
【0027】例えば薄膜トランジスタから構成されるス
イッチ素子は、素子駆動用薄膜トランジスタのソースに
接続されているため、スイッチ素子をオン制御すること
で、このスイッチを介して素子駆動用薄膜トランジスタ
のソース電位又は電流を検出することが可能となる。従
って、このような測定を被駆動素子に供給される予想電
力量を予め検査することも可能となる。
【0028】また、本発明は、エレクトロルミネッセン
ス素子を複数マトリクス状に配置した有機ELパネルで
あって、エレクトロルミネッセンス素子へ供給する駆動
電流を制御する駆動トランジスタが各エレクトロルミネ
ッセンス素子に対応して設けられ、この駆動トランジス
タはnチャネルトランジスタであり、かつチャネル領域
と高濃度不純物注入したソースおよびドレイン領域との
間に低濃度不純物注入したLD領域が設けられているこ
とを特徴とする。特に、駆動トランジスタのLD領域
は、少なくとも周辺トランジスタのLDトランジスタに
比べ大きいことが好適である。
【0029】このような大きなLD領域を採用すること
で、高い開口率を確保しつつ、エレクトロルミネッセン
ス素子に供給する電流を精度よく制御することができ
る。
【0030】また、前記駆動トランジスタのゲートに
は、スイッチングトランジスタと、容量の一旦が接続さ
れ、前記エレクトロルミネッセンス素子と駆動トランジ
スタの接続点は、放電トランジスタにより低電圧電源に
接続され、かつ前記エレクトロルミネッセンス素子と駆
動トランジスタの接続点には、前記容量の他端が接続さ
れていることが好適である。
【0031】
【発明の実施の形態】以下、図面を用いてこの発明の好
適な実施の形態(以下実施形態という)について説明す
る。
【0032】図1は本発明の実施形態に係る有機EL素
子を駆動するための回路構成を示す。なお、ここでは、
具体的にはアクティブマトリクス型の有機EL表示装置
における1画素の回路構成を例に挙げて説明している。
【0033】1画素は、図1に示すとおり、被駆動素子
或いは表示素子としての有機EL素子50、スイッチン
グ用薄膜トランジスタ(第1TFT)10、素子駆動用
薄膜トランジスタ(第2TFT)20及び保持容量Cs
を有し、更に、リセット用のスイッチ素子としてリセッ
ト用薄膜トランジスタ(第3TFT)30を備える。
【0034】第1TFT10は、ここでは、nch−T
FTで構成され、ゲートラインGLにゲート電極が接続
され、ドレインがデータラインDLに接続され、ソース
は、後述するように第2TFT20及び保持容量Csに
接続されている。
【0035】第2TFT20は、本実施形態ではnch
−TFTで構成され、駆動電源Pvdd(実際にはここ
では駆動電源ラインVL)にそのドレインが接続され、
有機EL素子50の陽極側にソースが接続されている。
さらにゲートは、上記第1TFT10のソース、及び以
下の保持容量Csの第1電極に接続されている。
【0036】保持容量Csは、第1及び第2電極を備
え、第1電極は第1TFT10のソースと第2TFT2
0のゲートとに接続され、第2電極は、第2TFT20
のソースと有機EL素子50の陽極との間に接続されて
いる。
【0037】第3TFT(放電トランジスタ)30は、
ここではnch−TFTで構成されており(但しpch
−TFTでも良い)、ゲートはリセット信号が印加され
るリセットラインRSLに接続され、ドレインは保持容
量の第2電極に接続され、ソースは保持容量の第2電極
電位を規定する電圧が供給されている容量ラインSLに
接続されている。
【0038】以上のような回路構成において、ゲートラ
インGLに選択信号(ゲート信号)が出力されるとこれ
に応じて第1TFT10はオン状態となる。第3TFT
30はこの第1TFT10とほぼ同時のタイミングによ
りにオンオフ制御されており、第1TFT10がオンし
たとき、第3TFT30もリセット信号によってオンし
ており、保持容量Csの第2電極は、この第3TFT3
0のソースに接続された容量ラインSLの固定電位Vs
l(例えば0V)に等しくなっている。従って、第1T
FT10がオンして第1TFT10のソース電圧がデー
タラインDLに供給されているデータ信号の電圧と等し
くなると、保持容量Csは、第2電極の固定電位と、上
記第1TFT10のソース電位との差、実質的にはデー
タ信号に対応した電圧に応じて充電される。
【0039】第2TFT20は、保持容量Csに保持さ
れた電荷に応じた電圧が第2TFT20のゲートに印加
され、該第2TFTがオン状態となると、このゲート電
圧に応じた電流が、駆動電源ラインVLから第2TFT
20のドレイン・ソース間を介して有機EL素子50に
供給される。よって、流れた電流量に応じて、第2TF
T20のソース電位が上昇する。このとき、第3TFT
30はオフ制御されていて、保持容量Csの第2電極
は、容量ラインSLから切り離されている。このため、
保持容量Csは第2TFT20のゲートソース間に接続
された状態となり、ソース電位が上昇してもその分ゲー
ト電位が上昇し、データ信号に応じた第2TFT20の
ゲートソース間電圧Vgsが、この保持容量Csによっ
て維持される。
【0040】従って、本実施形態の回路構成によれば、
有機EL素子50に電流が流れて第2TFT20のソー
ス電位が上昇しても、保持容量Csの機能により有機E
L素子50にはデータ信号に応じた電流が安定して供給
される。また、第2TFT20にnch−TFTを採用
するため、ビデオ信号と同一極性のデータ信号を利用で
きる。さらに、第2TFTのドレインが接続される駆動
電源Pvddは、例えば14Vと十分高い電圧であるこ
とから、nch−TFTの第2TFT20についてもそ
の飽和領域での駆動が可能であり、ソースドレイン間電
圧の変動を受けずに有機EL素子50に電流を供給する
ことが可能である。なお、ここで、ゲートラインGLに
印加されるゲート信号は、一例として0V〜12Vの範
囲、データ信号は1V〜6V、容量ラインSLの固定電
位は0V程度で各回路素子を駆動することができる。ま
た、第2TFT20としてnch−TFTを採用してい
るので、データ信号としては、ビデオ信号と同一極性の
信号を使用することができる。
【0041】なお、後述するように、上記nチャネル型
の第2TFT20には、チャネルとソース・ドレイン間
に低濃度不純物注入領域を有するいわゆるLDD構造
(本明細書では、これをLD構造と呼んでいる)を採用
することもできる。
【0042】図2は、上記のような各画素に対して対応
するゲート信号(G1〜Gm)及びリセット信号(RS
1〜RSm)を供給するための回路の概略を示してお
り、図3はこの回路の動作を示している。アクティブマ
トリクス型の有機EL表示装置において、マトリクス状
に配列された画素の各第1TFT10は、図2に概略し
たような垂直ドライバ100から出力されるゲート信号
によって行毎(ゲートラインGL毎)に順次選択され、
このとき図示しない水平ドライバから各データラインD
Lに出力されるデータ信号を取り込む。
【0043】垂直ドライバ100のシフトレジスタ11
0は、垂直スタートパルスを1H(1水平走査期間)毎
にシフトし、図3に示すように、出力部120に対し、
順にシフトパルスS1、S2、S3・・・Smを出力す
る。
【0044】出力部120は一例として図2(b)に示
すような構成を備えており、2つのアンドゲート12
2、124を各行に対応して備え、図3に示すようなゲ
ート信号G1、G2、G3・・・Gmと、リセット信号
RS1、RS2、RS3・・・RSmを順次対応するラ
インに出力する。アンドゲート122は、前後するシフ
トパルスの論理積をとる。アンドゲート124の一方の
入力端子には、1Hの切り替わり期間において、ゲート
ラインGLへのゲート信号を出力を禁止するイネーブル
信号ENB(図3参照)が供給されており、アンドゲー
ト124は、このENBと上記アンドゲート122との
論理積をとる。アンドゲート122から出力される2つ
のシフトパルス(図2ではS1とS2)の論理積は、本
実施形態においてリセット信号RS(ここではRS1)
として用いられる。そして、アンドゲート124が、E
NB信号によって出力が許可された期間のみ、上記アン
ドゲート122の論理積結果を各ゲートラインGLにゲ
ート信号(ここではG1)として出力する。
【0045】アンドゲート122から出力されるリセッ
ト信号RSは、上述のようにリセットラインRSLを介
して対応する画素の第3TFT30のゲートに印加さ
れ、また、ゲート信号Gは対応する画素の第1TFT1
0のゲートに印加される。ここで、図2の回路によって
作成されたリセット信号RSと、ゲート信号Gとは、図
3に示すように例えば1行目の画素に供給されるG1、
RS1を比較すると分かるように、ゲート信号GのHレ
ベル期間(nch−TFT10のオン制御期間)は、リ
セット信号のHレベル期間(nch−TFT30のオン
制御期間)よりもENB信号によって制限された期間だ
け短い。
【0046】従って、G1、RS1によって制御される
1行目の画素を例に挙げると、まずリセット信号RS1
によって第3TFT30がオン制御される。つまり、保
持容量Csの第2電極が保持容量ラインの電位に固定さ
れた後、第1TFT10がゲート信号G1によってオン
し、保持容量Csの第1電極にはデータラインDLにお
けるデータ信号とほぼ同一の電圧が印加されることとな
る。また、リセット信号RSは、ゲート信号GがLレベ
ル(TFTオフレベル)となってからLレベルとなる。
つまり、保持容量Csの第2電極は、第1TFT10が
オフして第1電極側の電位が決まるまで固定電位Vsl
に維持される。よって、第1TFT10のオン期間中に
第3TFT30がオフすることで保持容量Csの第1電
極電位が変動し、オンしている第1TFT10を介して
データラインDLに一旦保持したデータ信号が漏れてし
まうということを確実に防止することが可能となってい
る。
【0047】図4及び図5は、本実施形態において採用
可能な他の1画素当たりの回路構成を示している。な
お、図1と共通する部分には同一の符号を付し説明を省
略する。
【0048】図4の回路構成において、図1と相違する
点は、図4では、駆動電源ラインVLと有機EL素子5
0との間に複数(ここでは2つ)のnch−TFTを並
列して設けている点であり、他は図1と動作を含めて共
通する。このように第2TFT20を複数個(k個)と
することで、各第2TFT20の流す電流が等しく
「i」の場合に、有機EL素子50には最大で合計「k
×i」の電流が供給されることとなる。例えばk=2の
場合を例に挙げると、一方の第2TFT20が最悪で全
く動作しない場合であっても、他の有機EL素子50で
供給される「2×i」電流に対し、有機EL素子50に
「i」の電流を供給することは可能となる。第2TFT
20を1つだけ採用した場合にはこのTFT20が不良
になると電流値「0」、つまり、画素欠陥となってしま
う。従って、このような場合と比較すると、図4のよう
に複数の第2TFT20を設けることで、各有機EL素
子50の画素毎の発光輝度ばらつきを緩和し、かつ画素
に発生する欠陥の割合を格段に減少させることが可能で
あり、信頼性を高めた回路構成が実現されている。
【0049】図5の回路構成において、図1と相違する
点は、第3TFT30のゲートが第1TFT10のゲー
トと共にゲートラインGLに接続され、これらが同一の
ゲート信号Gによって制御されていることである。図3
のタイミングチャートのように第1TFT10のオン期
間より第3TFT30のオン期間を長く設定すること
で、保持容量Csの保持する電位の変動はより確実に低
減されるが、図5のような回路構成として第1TFTF
T10と第3TFT30を同一タイミングでオンオフ制
御する構成であっても、第3TFT30が第1TFT1
0より早くオフする可能性は低く、保持容量Csに正確
にデータ信号に応じた電荷を蓄積させ、第2TFT20
を駆動することができる。また図5に示すような回路構
成では、後述する図8からもわかるとおり、1画素内に
おける配線及び第3TFT30のための配置スペースを
最小限に抑えることができ、図1や図4の構成と比較し
て、有機EL素子50の配置領域(発光領域)、つまり
開口率をその分大きくすることができる。
【0050】図6は、図4に示す回路構成を備えた1画
素当たりの平面構成の例を示す。また、図7(a)は、
図6のA−A線に沿った第1TFT10の断面、図7
(b)は、図6のB−B線に沿った第2TFT20の断
面、図7(c)は、図6のC−C線に沿った第3TFT
30の断面の一例をそれぞれ示している。
【0051】図6の構成では、もちろん、対応する図4
のように各画素は、有機EL素子50、第1,第2及び
第3TFT10,20,30、及び保持容量Csを画素
領域内に備えている。図6の例では、ゲートライン(G
L)40は、行方向に延び、2本のゲート電極2がこの
ゲートライン40から該TFT10の能動層6の形成領
域の上に延び、ダブルゲート構造のTFTが採用されて
いる。またゲートライン40と平行して行方向には第3
TFT30を駆動するためのリセットライン(RSL)
46が形成され、第3TFT30の能動層36の上にこ
のリセットライン46からゲート電極32が延びてい
る。
【0052】また、第1TFT10にデータ信号を供給
するデータライン(DL)42と、第2TFT20に駆
動電源Pvddからの電流を供給する駆動電源ライン
(VL)44とが、それぞれ画素の列方向に配置されて
いる。さらに、第3TFT30(ここではTFT30の
ドレイン)を介して保持容量Csの第2電極8に対し
て、固定電位Vslを供給するための容量ライン(S
L)48が、上記データライン42及び駆動電源ライン
44と並んで列方向に配置されている。
【0053】さらに、駆動電源ライン44と、有機EL
素子50との間には、2つの第2TFT20が並列接続
されており、この1つの第2TFT20は、図6に示す
ように、列方向(ここでは画素長手方向に一致し、また
データライン42及び駆動電源ライン44の延在方向と
一致)に各チャネル長方向が沿うように、2つが一直線
状に並んで設けられ、保持容量Csの第1電極7とのコ
ンタクト部分より2つのTFT20に共通のゲート電極
24が引き出され、第2TFT20の能動層16を覆っ
ている。もちろん第2TFT20はこのようなレイアウ
トに限られるものではないが、このように画素長手方向
にチャネル長方向が沿うように配置することで、信頼性
向上のために第2TFT20のチャネル長を長くするこ
とが望まれる場合に、このような第2TFT20を、限
られた1画素内に効率的に配置することが可能となる。
さらに、後述するように能動層16として非晶質シリコ
ンをレーザアニールして多結晶化して得た多結晶シリコ
ンを用いる場合において、レーザアニールの走査方向を
列方向に設定し、図6のように、第2TFT20の長い
チャネル長方向を列方向に向け、かつ、2つの第2TF
T20を列方向に離間して配置する構成を採用すること
により、各TFT20の能動層16に対し、複数回のパ
ルスレーザが照射される可能性が高まり、TFT20の
特性のばらつきが、画素間で平均化することができる
(ばらつきを小さくすることができる)。
【0054】次に画素の各回路素子の断面構造について
更に図7を参照して説明する。図7(a)〜(c)に示
すように、本実施形態では、第1,第2及び第3TFT
10,20,30のいずれもゲート電極(2,24,3
2)が、間にゲート絶縁膜4を挟んで能動層(6,1
6,36)の上方に配置されたいわゆるトップゲート型
のTFT構造が採用されている(もちろんボトムゲート
型でもよい)。
【0055】第1、第2及び第3TFT10、20、3
0の各能動層6,16,36には、ガラスなどの透明絶
縁基板1上に形成したa−Siを、同一のレーザアニー
ル処理工程によって多結晶化し、得たp−Siをパター
ニングして得られた層が用いられている。また、ここで
は、いずれのTFTの能動層も、そのソース領域、ドレ
イン領域に、同一のドーピング工程によりn型不純物が
ドープされており、いずれもnch−TFTとして構成
されている。
【0056】第1TFT10では、ゲートライン40か
らゲート電極2が2カ所で突出形成されていて、回路的
にダブルゲート構造のTFTが形成されている。能動層
6はゲート電極2の直下の領域が不純物のドープされな
い真性のチャネル領域6cとなり、チャネル領域6cの
両側には、ここではリン(P)などの不純物がドープさ
れたドレイン領域6d、ソース領域6sが形成され、n
ch−TFTが構成されている。
【0057】第1TFT10のドレイン領域6dは、第
1TFT10全体を覆って形成される層間絶縁膜14の
上に形成され画素に対応した色のデータ信号を供給する
データライン42と、該層間絶縁膜14及びゲート絶縁
膜4に開口されたコンタクトホールで接続されている。
【0058】第1TFT10のソース領域6sは、保持
容量Csの第1電極7を兼用している。第1電極7の上
にはゲート絶縁膜4を挟んでゲートライン40等と同一
材料からなる第2電極8が形成され、第1及び第2電極
7,8が、ゲート絶縁膜4を挟んで重なった領域が保持
容量Csを構成している。第1電極7は第2TFT20
の形成領域(能動層16)に延び、接続配線26を介し
て、第2TFT20のゲート電極24と接続されてい
る。また、第2電極8は、この第2電極8及びゲート電
極2、ゲートライン40を覆って形成される層間絶縁膜
14の上層に、後述するデータライン42などと同時に
形成される共通接続配線34によって、第3TFT30
のドレイン36dと、第2TFT20のソース16s
と、有機EL素子50の後述する陽極52に接続されて
いる。
【0059】2つの第2TFT20の能動層16は、ゲ
ート電極24の下方がチャネル領域16cで、チャネル
領域16cの両側には、それぞれ、リン(P)などの不
純物がドープされたドレイン領域16d、ソース領域1
6sが形成され、nch−TFTが構成されている。2
つの第2TFT20の各ドレイン領域16dは、図6及
び図7(b)の例では互いに共通であり、層間絶縁膜1
4及びゲート絶縁膜4に開口された1つの共通コンタク
トホールを介してドレイン電極を兼用する駆動電源ライ
ン44と接続されている。一方、2つの第2TFT20
のソース領域16sは、それぞれ、層間絶縁膜14及び
ゲート絶縁膜4に開口されたコンタクトホールを介して
上記共通接続配線34に接続されている。
【0060】第3TFT30は、図7(c)に示すよう
に、第1及び第2TFT10,20と基本的に同様の構
成に、リセットライン(RSL)46と一体のゲート電
極32の下方がチャネル領域36cとなり、チャネル領
域36cの両側にはリンなどの不純物がドープされてソ
ース領域36s及びドレイン領域36dが形成され、n
ch−TFTが構成されている。
【0061】第3TFT30のソース領域36sは、層
間絶縁膜14及びゲート絶縁膜4に開口されたコンタク
トホールを介してソース電極を兼用する容量ライン(S
L)48と接続されている。また、第3TFT30のド
レイン領域36dは、層間絶縁膜14及びゲート絶縁膜
4に開口されたコンタクトホールを介してドレイン電極
を兼用する上記共通接続配線34に接続されている。
【0062】第1TFT10のゲート電極2(ゲートラ
イン40)、第2TFT20のゲート電極24(接続部
26からの配線部を含む)、第3TFT30のゲート電
極32(リセットライン48)及び保持容量Csの第2
電極8は、それぞれ例えばCrを用いて同時にパターニ
ング形成されている。また、データライン42、駆動電
源ライン44、容量ライン48及び共通接続配線34、
接続配線26はそれぞれ例えばAlなどを用いて同時に
パターニング形成されている。なお、図6に示すように
第2TFT20のソース領域16sに接続される共通接
続配線34は、後述する有機EL素子50の陽極52
と、第2TFT20のゲート電極形成領域との間を覆う
ように画素長手方向(ここでは列方向)に沿って配置さ
れており、第2TFT20のチャネル領域16cを有機
EL素子50からガラス基板1側に射出される光から遮
光する機能を発揮することができる。
【0063】第3TFT30のソース領域36s、保持
容量Csの第2電極8及び第2TFT20のソース領域
16sとそれぞれ接続された上述の共通接続配線34
は、この配線34、データライン42、駆動電源ライン
44、容量ライン48を含む基板全体を追って形成され
た第1平坦化絶縁層18に開口されたコンタクトホール
を介して図7(b)に示すように、有機EL素子50の
陽極52と接続されている。
【0064】以上のように本実施形態では、1画素内に
それぞれ第1、第2及び第3TFT10,20,30の
3種類のTFTを形成しているが、第2TFT20とし
てnchTFTを用いることが可能な回路構成の採用に
より、3種類のこれらのTFT10,20,30は同一
工程を経て同時に形成することが可能である。従って、
同時に形成すれば、TFT数が増加することによる工程
増加を防止できる。
【0065】有機EL素子50は、ITO(Indium Tin
Oxide)等からなる透明の陽極52と、例えばAlなど
の金属からなる陰極57との間に有機化合物が用いられ
た発光素子層(有機層)51が形成されて構成されてお
り、本実施形態では、図3(b)に示すように基板1側
から陽極52、発光素子層51、陰極57がこの順に積
層されている。なお、図7(b)に示すように、上記第
1平坦化絶縁層18の上には、有機EL素子50の陽極
52の形成中央領域のみ開口された第2平坦化絶縁層6
1が形成されており、この第2平坦化絶縁層61は、陽
極52のエッジを覆い、また配線領域及び第1及び第2
及び第3TFT形成領域、保持容量形成領域を覆ってお
り、陽極52と最上層の陰極57とのショートや発光素
子層51の断線を防止している。
【0066】発光素子層51は、この例では、陽極側か
ら、例えばホール輸送層54、有機発光層55、電子輸
送層56が例えば真空蒸着によって順に積層されてい
る。発光層55は各画素が異なる例えば、R(赤)、G
(緑)、B(青)に割り当てられたカラー表示装置の場
合、割り当てられた発光色毎に異なる材料が用いられ
る。他のホール輸送層54、電子輸送層56は、図7
(b)に例示するように全画素に対して共通で形成する
ことも可能であり、また、色毎に発光層55と同様別の
材料が用いてもよい。各層に用いられる材料について一
例を挙げると以下の通りである。
【0067】ホール輸送層54:NBP、 発光層55:レッド(R)・・・ホスト材料(Al
3)に赤色のドーパント(DCJTB)をドープ、 グリーン(G)・・・ホスト材料(Alq3)に緑色の
ドーパント(Coumarin 6)をドープ、 ブルー(B)・・・ホスト材料(Alq3)に青色のド
ーパント(Perylene)をドープ、 電子輸送層56:Alq3、 また、陰極57と電子輸送層56との間には例えばフッ
化リチウム(LiF)等を用いた電子注入層を形成して
いても良い。またホール輸送層はそれぞれ異なる材料を
用いた第1及び第2ホール輸送層から構成されていても
良い。また、各発光素子層51は少なくとも発光材料を
含有する発光層55を備えているが、用いる材料によっ
ては上記ホール輸送層や、電子輸送層などは必ずしも必
要でないこともある。なお、略称にて記載した材料の正
式名称は、それぞれ、 「NBP」・・・N,N'-Di((naphthalene-1-yl)-N,N'-diphe
nyl-benzidine)、 「Alq3」・・・Tris(8-hydroxyquinolinato)aluminum、 「DCJTB」・・・(2-(1,1-Dimethylethyl)-6-(2-(2,3,
6,7-tetrahydro-1,1,7,7-tetramethyl-1H,5H-benzo[ij]
quinolizin-9-yl)ethenyl)-4H-pyran-4-ylidene)propan
edinitrile、 「Coumarin 6」・・・3-(2-Benzothiazolyl)-7-(diethylam
ino)coumarin、 「BAlq」・・・(1,1'-Bisphenyl-4-0lato)bis(2-methy
l-8-quinolinplate-N 1,08)Aluminum、である。但し、
もちろん発光素子層51の構成は、これらの構成、これ
らの材料には限られない。
【0068】次に、図8を参照して、本発明の実施形態
に係る画素の他の構成について説明する。図8は図5に
示す回路構成を備えた1画素当たりの平面構成の例を示
しており、図6及び図7と共通する部分には同一符号を
付している。上記図6の平面構成と相違する点は、主と
して、第1TFT10のゲート電極2を兼用しゲート信
号Gを供給するゲートライン41が、第3TFT30の
ゲート電極32を兼用する点と、駆動電源ライン44と
有機EL素子50の陽極52との間に、単一の第2TF
T20が配置されている点である。各TFT10,2
0,及び30、容量Cs、有機EL素子50の基本的な
断面構造は、図7(a)〜(c)とほぼ共通している。
もちろん、図8の構成においても、第2TFT20はn
ch−TFTで構成されており、ゲートソース間電圧
は、保持容量Csによってデータ信号に応じた電圧に維
持されている。
【0069】図8の構成例では、ゲートライン41が、
第1TFT10のゲート電極2と第3TFT30のゲー
ト電極32を兼用することにより、図6との比較からも
わかるように行方向に配置される配線は、各行毎には1
本のゲートライン41でよく、各画素の形成領域をその
分広くすることが可能となっている。第3TFT30の
能動層36は、図8の例では、第1TFT10の能動層
6と平行に、この能動層6よりゲートライン41から離
れた位置に配置されている。第1TFT10にデータ信
号を供給するデータライン42は、この第3TFT30
の能動層36の上方を横切っている。そして、第3TF
T30のドレイン側は該データライン42と平行して列
方向に配列されている容量ライン48に接続されてい
る。この第3TFT30のドレイン領域36dは、共通
接続配線34によって、図8では駆動電源ライン44の
長手方向に沿って配置されている保持容量Csの第2電
極8、第2TFT20のソース領域16s、及び有機E
L素子50の陽極52にそれぞれ接続されている。
【0070】図8と図6とを比較すると明らかなよう
に、駆動電源ライン44の行方向における配置ピッチが
ほぼ同じである場合、図8では、1画素内において有機
EL素子50の陽極52の形成面積が広く確保されてお
り、より開口率の高い、つまりより高輝度の表示を実現
することができる。
【0071】なお、以上の説明において第1〜第3TF
T10,20,30の能動層にはそれぞれ多結晶シリコ
ンを用いた場合を例に説明しているが、もちろんアモル
ファスシリコンを能動層に採用してもよい。多結晶シリ
コンを能動層に用いたTFTを採用する場合、同一基板
には各画素を駆動する上述の垂直ドライバや水平ドライ
バを同じ多結晶シリコンを能動層に用いたTFTを形成
する。この場合、ドライバ部のTFTにはCMOS構造
が採用されることが多く、nch−TFT及びpch−
TFTの両方を形成する必要がある。一方、アモルファ
スシリコンを各画素のTFTに採用する場合、各画素を
駆動するためのドライバは専用の外付けICが用いられ
る。このため、本発明のように各画素に3種類のTFT
を形成する場合において、いずれのTFTもnch−T
FTにて構成できるため、第2TFT20にpch−T
FTを採用した場合と比較して、製造工程をより簡素な
ものにすることができる。
【0072】また、各TFTについては、適宜チャネル
領域とドレイン領域との間又はチャネル領域とソース領
域との間にLD(Lightly Doped)領域が
形成されていてもよい。
【0073】次に、本実施形態において、各画素に設け
たリセット用の第3TFT30の更に別の用途について
説明する。第3TFT30は、上述のように、通常の表
示期間中においては、もちろん、第2TFT20のゲー
トソース間電圧を保持容量Csに保持させるために、上
述のように第1TFT10と同様なタイミングでオンオ
フ制御して用いるが、他の期間においては、別の用途に
も用いることができる。
【0074】具体的には、有機EL素子50の陽極−陰
極間に蓄積された電荷を所定タイミングで強制的に放電
するために用いることができる。第2TFT20のゲー
トソース間電圧Vgsが保持容量Csによって所定レベ
ルに維持されている期間中、有機EL素子50の陽極5
2と陰極57との間には、このVgsに応じた電流が流
れ続け、その画素の表示期間が終了した時点において陽
極−陰極間にはある程度の電荷が残っている。このよう
な残存電荷のため、該当画素において、次の表示期間に
おける表示内容がこの残存電荷の影響を受け、いわゆる
残像のような現象が発生する可能性がある。そこで、所
定期間毎、例えば1垂直走査期間に1回、例えばその帰
線中において、全画素の第3TFT30を同時又は順に
オンさせれば、有機EL素子50の陽極を容量ライン4
8に接続し、陽極電位を容量ライン48の電位、例えば
0Vとすることができる。このような制御を行えば、1
表示期間終了後、次の表示期間が始まる前に有機EL素
子50中の残存電荷を第3TFT30を介して放電させ
ることができ、残像などのない高品質の表示が可能とな
る。さらに、有機EL素子50は流した電流量が多いほ
ど特性劣化が早まる傾向があり、不要な電荷を放電すれ
ば有機EL素子50に不要な電流が流れ続けることを防
止でき、有機EL素子50の寿命を延ばすことも可能と
なる。
【0075】他の用途は、第3TFT30を例えば工場
からの出荷前などにおいて、各画素の検査に用いること
である。すなわち、第1TFT10をオンさせて検査用
のデータ信号を書き込んで第2TFT20をオンさせる
と、書き込んだ検査用データに応じた電流が駆動電源ラ
イン44から第2TFT20のドレインソース間に流れ
る。従って、第2TFT20のソース電圧は、有機EL
素子50に供給される電流量に応じた電圧となるはずで
あるため、このとき第3TFT30をオン制御して、こ
の第2TFT20のソース電圧(又はソースに流れた電
流)を容量ライン48の電圧測定などによって、有機E
L素子に対して適正な電流を供給することができるかど
うかを確実かつ簡単に検査することができる。
【0076】次に、上述の第2TFT20の他の構造に
ついて説明する。図9は、この第2TFT20の構成例
であり、図7の構成と相違する点は、第2TFT20
が、ライトドープ(LD:Lightly Dope:通常LDDと
呼ばれている)領域を有するいわゆるLDD型のTFT
によって構成されていることである。また、この図にお
いては、第2TFT20をシングルゲートの一般的な構
成とし、これにLD領域16LDを設けている。すなわ
ち、ガラス基板1上には、能動層16が形成されてお
り、これを覆ってゲート絶縁膜4が形成されている。能
動層16の中央部分のゲート絶縁膜4の上方にはゲート
電極24が配置されている。
【0077】また、能動層16の両端部には、高濃度に
不純物がドープされたドレイン領域16d、ソース領域
16sが設けられている。そして、能動層16のゲート
電極24の下方部分がチャネル領域16cとなってお
り、この能動層16のチャネル領域16cと、ソース領
域16s、ドレイン領域16dとの間が低濃度不純物注
入によるLD領域16LDとなっている。
【0078】第2TFTとして、このような周辺トラン
ジスタに比べ大きなLD領域を有するTFTを採用する
ことによって、耐圧を大きくできるとともに、ゲート電
圧の変化に対する電流量の変化を大きくすることができ
る。
【0079】すなわち、TFT20のゲート長(チャネ
ル長方向)を長くすると、ゲート電圧に対し電流量が変
化する範囲を大きくして、ゲート電圧の変化による電流
量調整の精度を向上することができる。本実施形態で
は、大きなLD構造とすることで、ゲート長を長くする
のと同様の効果が得られる。
【0080】実際にゲート電極24の幅を広げてゲート
長を長くした場合、幅広(ゲート長が長い)のゲート電
極24を他との絶縁を確保しながら引き回す必要があ
る。しかし、LD構造により、実質的にゲート長を長く
したのと同じ効果が得られれば、遮光性のゲート電極2
4の幅を特別広くせずにすみ、1画素内における開口率
を向上させることが可能となる。
【0081】なお、このようなLD構造は、第1TFT
10や、ドライバ回路のTFTにおいても採用される場
合がある。
【0082】本実施形態においては、第2TFT20に
おけるLDの領域を第1TFT10や、ドライバ回路の
TFTに比べ大きくした。
【0083】例えば、第1TFT10やドライバ回路に
おけるTFTのLD領域の長さを図9の長さとした場合
に、第2TFT20のLD領域を図10に示すように、
大きくした。これによって、電流量の制御をさらに精度
よく行え、かつ比較的トランジスタの大きさ自体は、ほ
とんど変更する必要がない。また、他のTFT10など
のゲート電極と同等の幅のゲート電極を用いればよく設
計が容易となる。
【0084】従って、このように、LDD構造とするこ
とで、ゲート電極24をあまり幅広にしなくてもすむた
め、開口率を大きくすることができる。これにより、画
素当たりの発光面積が増大するので、各有機EL素子に
流す電流を変更することなく、輝度を大きくすることが
できる。また、反対に開口率が向上するので、同一輝度
を実現するために有機EL素子に供給する電流を小さく
抑えることができ、有機EL素子の劣化を抑制すること
ができる。また、実質的には、ゲート長を長く、つまり
チャネル長(LD領域を含む)を長くできるため、エキ
シマレーザアニールによる能動層の再結晶化(ポリシリ
コン化)についての特性のバラツキ発生を抑えることが
できる。
【0085】また、図11には、他の実施形態の構成を
示す。この回路では、図1の回路に対し、電圧調整用の
ダイオード31を有している。すなわち、保持容量CS
と、第3TFT(放電トランジスタ)30および有機E
L素子50の間にダイオード31が設けられている。こ
のダイオード31は、第2TFT20と同一の構成を持
つTFTで形成され、そのTFTのゲートドレイン間を
ショートして形成されている。
【0086】このダイオード31を設けることによっ
て、第2TFT20のゲート電圧を、有機EL50の閾
値(VtF)とダイオード31の閾値(Vtn)とビデ
オ信号との和に設定することができ、有機EL50やT
FTトランジスタの閾値がばらついたり劣化しても、常
にビデオ信号に見合った電流を第2TFT20が流すこ
とができる。
【0087】すなわち、ダイオード31を設けることに
よって、素子特性のバラツキや劣化にほぼ関係なく、駆
動電流を制御することが可能となり、色むらの少ない表
示装置を提供することができる。
【0088】なお、この回路においては、第3TFT3
0が設けられている。そして、この第3TFT30によ
り、有機EL素子50のアノード側電位を接地電位であ
る容量ラインSLの電圧に設定し、有機EL素子50を
駆動する際の初期設定が行われる。このように、有機E
L素子50のアノード側電位を強制的にある電位に設定
する(電荷を引き抜く)ことによって、残像減少を抑制
することができる。また、第3TFT30のソース側電
位を有機ELのカソード側電位よりさらに低い電位に設
定することによって、有機EL素子における少なくとも
有機発光膜を含む有機膜に逆バイアスをかけることがで
きる。これによって、有機膜の特性回復を促進し、膜特
性の劣化速度を遅くすることができる。
【0089】また、各画素に第3TFT30があるた
め、ゲート線方向に接続された全画素のリセットライン
RSLを活性化させて、発光させない時間を制御するこ
ともできる。これによって、輝度の調整を行うことがで
きると同時に、低消費電力化を図ることができる。さら
に、RGB毎にリセットラインRSLを結線し、RGB
毎にオンさせる時間を変更することで、RGB毎の発光
時間を制御することができる。これによって、ホワイト
バランスの調整ができ、画質の劣化を防止することがで
きる。
【0090】また、図12には、図11の第3TFT3
0のゲートをリセットラインRSLではなく、ゲートラ
インGLに接続した例が示されている。この構成におい
ても、図11の場合と同様の作用効果が得られる。すな
わち、ゲートラインGLが立ち上がると、第1TFT1
0がオンして、データラインDLの第2TFT20のゲ
ート電圧がデータラインDLの電圧に設定される。ま
た、第3TFT30がオンするため、電源ラインVLか
らの電流が第2TFT20、第3TFT30を介し低電
圧(接地電位)の容量ラインSLに流れる。
【0091】次に、データラインDLが立ち下がること
で、第1、第3TFT10、30がオフになり、第2T
FT20からの電流は、有機EL素子50に流れ、発光
する。
【0092】このとき、有機EL素子50の上側(第2
TFT20に接続されている側)の電位は、有機EL5
0における電圧降下VtF以上の電圧になる。一方、ダ
イオード31における電圧降下Vtnが存在するため、
第2TFT20のゲート電圧は、有機EL素子50に電
流が流れているときに有機EL素子50の閾値(Vt
F)+ダイオード31の閾値(Vtn)+ビデオ信号の
電圧(Vvideo)となり、上述のように素子特性の
バラツキや劣化にほぼ関係なく、駆動電流を制御するこ
とが可能になり、色むらの少ない表示装置を得ることが
できる。
【0093】
【発明の効果】以上説明したように、この発明において
は、エレクトロルミネッセンス素子などの被駆動素子に
安定して電力を供給することが可能となる。
【0094】また、被駆動素子を動作させるためのデー
タ信号を、例えば表示装置においてビデオ信号の極性を
反転させて形成することなく利用できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施形態に係る有機EL素子を駆動
する1画素当たりの回路構成を示す図である。
【図2】 本発明の各画素に供給するゲート信号及びリ
セット信号を作成する回路の構成例を示す図である。
【図3】 図2の回路の動作を示すタイミングチャート
である。
【図4】 本発明の実施形態に係る有機EL素子を駆動
する1画素当たりの他の回路構成を示す図である。
【図5】 本発明の実施形態に係る有機EL素子を駆動
する1画素当たりの他の回路構成を示す図である。
【図6】 図4に示す回路構成を備えた1画素当たりの
平面構成を示す図である。
【図7】 図6のA−A線、B−B線及びC−C線に沿
った断面構造を示す図である。
【図8】 図5に示す回路構成を備えた1画素当たりの
平面構成を示す図である。
【図9】 LD構造のTFTの構成例を示す図である。
【図10】 LD領域を大きくしたTFTの構成例を示
す図である。
【図11】 本発明の各画素に供給するゲート信号及び
リセット信号を作成する回路の他の構成例を示す図であ
る。
【図12】 本発明の各画素に供給するゲート信号及び
リセット信号を作成する回路のさらに他の構成例を示す
図である。
【図13】 従来のアクティブマトリクス型の有機EL
表示装置の回路構成を示す図である。
【符号の説明】
2,24,32 ゲート電極、7 保持容量の第1電
極、8 保持容量の第2電極、10 第1TFT(スイ
ッチング用薄膜トランジスタ)、14 層間絶縁膜、2
0 第2TFT(素子駆動用薄膜トランジスタ)、26
接続配線(コネクタ部)、31 電圧調整用ダイオー
ド、34 共通接続配線、30 第3TFT(スイッチ
ング用薄膜トランジスタ)、40,41 ゲートライン
(GL)、42 データライン(DL)、44 駆動電
源ライン(VL)、46 リセットライン(RSL)、
48 容量ライン(SL)、50 有機EL素子、51
発光素子層、52 陽極、54 ホール輸送層、55
発光層、56 電子輸送層、57 陰極、61 第2
平坦化絶縁層、100 垂直ドライバ、110 シフト
レジスタ、120 出力部、122,124 アンドゲ
ート。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 21/336 H05B 33/14 A 29/786 H01L 29/78 612Z H05B 33/14 Fターム(参考) 3K007 AB02 AB04 AB17 AB18 BA06 BB07 DB03 GA02 GA04 5C080 AA06 BB05 CC03 DD05 DD22 DD29 EE19 EE29 FF11 5C094 AA04 AA07 AA55 BA03 BA27 CA19 DB01 DB04 EA04 FB01 FB12 FB14 FB15 FB20 5F110 AA04 AA16 BB02 CC02 DD02 EE04 EE28 GG02 GG13 HJ01 HL03 HM14 HM15 NN73 NN74 NN78

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 選択信号をゲートに受けて動作し、デー
    タ信号を取り込むスイッチング用薄膜トランジスタと、 駆動電源にドレインが接続され、被駆動素子にソースが
    接続され、前記スイッチング用薄膜トランジスタから供
    給されるデータ信号をゲートに受けて、前記駆動電源か
    ら前記被駆動素子に供給する電力を制御する素子駆動用
    薄膜トランジスタと、 第1電極が前記スイッチング用薄膜トランジスタと前記
    素子駆動用薄膜トランジスタの前記ゲートとに接続さ
    れ、第2電極が前記素子駆動用薄膜トランジスタのソー
    スと前記被駆動素子との間に接続され、前記データ信号
    に応じて前記素子駆動用薄膜トランジスタのゲートソー
    ス間電圧を保持する保持容量と、 前記保持容量の第2電極の電位を制御するためのスイッ
    チ素子と、 を有することを特徴とする半導体装置。
  2. 【請求項2】 マトリクス状に配置された複数の画素を
    備えるアクティブマトリクス型の表示装置であって、 各画素は、少なくとも、 被駆動素子と、 選択信号をゲートに受けて動作し、データ信号を取り込
    むスイッチング用薄膜トランジスタと、 駆動電源にドレインが接続され、前記被駆動素子にソー
    スが接続され、前記スイッチング用薄膜トランジスタか
    ら供給されるデータ信号をゲートに受けて、前記駆動電
    源から前記被駆動素子に供給する電力を制御する素子駆
    動用薄膜トランジスタと、 第1電極が前記スイッチング用薄膜トランジスタと前記
    素子駆動用薄膜トランジスタの前記ゲートとに接続さ
    れ、第2電極が前記素子駆動用薄膜トランジスタのソー
    スと前記被駆動素子との間に接続され、前記データ信号
    に応じて前記素子駆動用薄膜トランジスタのゲートソー
    ス間電圧を保持する保持容量と、 前記保持容量の第2電極の電位を制御するためのスイッ
    チ素子と、 を有することを特徴とする表示装置。
  3. 【請求項3】 請求項1又は請求項2のいずれかに記載
    の装置において、 前記素子駆動用薄膜トランジスタは、nチャネル型薄膜
    トランジスタであることを特徴とする半導体装置又は表
    示装置。
  4. 【請求項4】 請求項3に記載の装置において、 前記nチャネル型の素子駆動用薄膜トランジスタは、チ
    ャネル領域と高濃度不純物注入したソース領域およびド
    レイン領域との間に低濃度不純物注入したLD領域を有
    することを特徴とする半導体装置又は表示装置。
  5. 【請求項5】 請求項4に記載の装置において、 前記nチャネル型の素子駆動用薄膜トランジスタのLD
    領域は、少なくとも周辺回路におけるnチャネル薄膜ト
    ランジスタのLD領域よりも大きく設定されていること
    を特徴とする半導体装置又は表示装置。
  6. 【請求項6】 請求項1〜請求項5のいずれか一つに記
    載の装置において、 前記被駆動素子は、エレクトロルミネッセンス素子であ
    ることを特徴とする半導体装置又は表示装置。
  7. 【請求項7】 請求項1〜請求項6のいずれか一つに記
    載の装置において、 前記スイッチ素子は、前記スイッチング用薄膜トランジ
    スタのオンオフに応じて前記保持容量の第2電極の電位
    を制御することを特徴とする半導体装置又は表示装置。
  8. 【請求項8】 請求項7に記載の装置において、 前記スイッチ素子によって、前記スイッチング用薄膜ト
    ランジスタのオン動作時に前記保持容量の第2電極が固
    定電位に制御されることを特徴とする半導体装置又は表
    示装置。
  9. 【請求項9】 請求項7に記載の装置において、 前記スイッチ素子によって、 前記スイッチング用薄膜トランジスタのオン動作より前
    から前記保持容量の第2電極が固定電位に制御され、 前記スイッチング用薄膜トランジスタがオフした後に、
    前記保持容量の第2電極に対する電位制御を停止するこ
    とを特徴とする半導体装置又は表示装置。
  10. 【請求項10】 請求項7に記載の装置において、 前記スイッチ素子は、薄膜トランジスタであり、所定の
    リセット信号又は前記スイッチング用薄膜トランジスタ
    に供給される選択信号に応じて、前記保持容量の第2電
    極の電位を制御することを特徴とする半導体装置又は表
    示装置。
  11. 【請求項11】 請求項1〜請求項10のいずれか一つ
    に記載の装置において、 前記スイッチ素子は、前記素子駆動用薄膜トランジスタ
    のソースに接続されており、所定タイミングで前記被駆
    動素子に蓄積された電荷を放電させるために用いられる
    ことを特徴とする半導体装置又は表示装置。
  12. 【請求項12】 請求項1〜請求項11のいずれか一つ
    に記載の装置において、 前記スイッチ素子は、前記素子駆動用薄膜トランジスタ
    のソースに接続されており、前記被駆動素子に接続され
    た前記素子駆動用薄膜トランジスタのソース電位又は電
    流の測定に用いられることを特徴とする半導体装置又は
    表示装置。
  13. 【請求項13】 エレクトロルミネッセンス素子を複数
    マトリクス状に配置した表示装置であって、 エレクトロルミネッセンス素子へ供給する駆動電流を制
    御する駆動トランジスタが各エレクトロルミネッセンス
    素子に対応して設けられ、 この駆動トランジスタはnチャネルトランジスタであ
    り、かつチャネル領域と高濃度不純物注入したソースお
    よびドレイン領域との間に低濃度不純物注入したLD領
    域が設けられている表示装置。
  14. 【請求項14】 エレクトロルミネッセンス素子を複数
    マトリクス状に配置した表示装置であって、 エレクトロルミネッセンス素子へ供給する駆動電流を制
    御する駆動トランジスタが各エレクトロルミネッセンス
    素子に対応して設けられ、 この駆動トランジスタはnチャネルトランジスタであ
    り、かつチャネル領域と高濃度不純物注入したソースお
    よびドレイン領域との間に低濃度不純物注入したLD領
    域が設けられ、この駆動トランジスタのLD領域は少な
    くとも周辺回路におけるnチャネルトランジスタのLD
    領域より大きく設定されている表示装置。
  15. 【請求項15】 請求項13または14に記載の装置に
    おいて、 前記駆動トランジスタのゲートには、スイッチングトラ
    ンジスタと、容量の一旦が接続され、 前記エレクトロルミネッセンス素子と駆動トランジスタ
    の接続点は、放電トランジスタにより低電圧電源に接続
    され、 かつ前記エレクトロルミネッセンス素子と駆動トランジ
    スタの接続点には、前記容量の他端が接続されている表
    示装置。
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