JP2003109841A

JP2003109841A - 積層型電子部品の製造方法

Info

Publication number: JP2003109841A
Application number: JP2001304971A
Authority: JP
Inventors: Masaaki Ono; 雅章小野
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2001-10-01
Filing date: 2001-10-01
Publication date: 2003-04-11

Abstract

(57)【要約】【課題】積層工程を簡単にすることによって、生産性
の向上を図ることのできる積層型電子部品の製造方法を
提供する。【解決手段】内部電極層形成用スラリーとセラミック材
料層形成用スラリーとを一対の層を成すように、一方向
に送り操作されるキャリアの表面に所定幅で塗工した
後、塗工された両スラリーを同時に乾燥させる工程、も
しくは両スラリーを、交互に複数対の層を成すように、
一方向に送り操作されるキャリアの表面に所定幅で塗工
した後、塗工された両スラリーを同時に乾燥させる工程
を一回あるいは複数回繰り返して積層体１を形成する積
層体形成工程と、積層体形成工程で形成された積層体１
における任意の内部電極層の不要な部分を排除すること
により内部電極パターンを形成する工程とを有する

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、積層型電子部品の
製造方法に関し、特に、セラミック材料層と内部電極層
とが交互に積層される積層体を形成する積層型電子部品
の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の積層型電子部品の製造方法を積層
コンデンサについて、以下に説明する。

【０００３】積層型電子部品のセラミック材料層を形成
する場合、セラミックスラリーで塗膜を成形した後、乾
燥することによって誘電体シートを形成する。この誘電
体シート上に電極パターンを形成するように内部電極ス
ラリーをスクリーン印刷した後、乾燥して内部電極層と
誘電体シートとの２層構造の積層シートを形成する。こ
の２層構造の積層シートの位置合わせを行いながら積層
シートを複数積層することによって積層体を形成する。
得られた積層体を厚み方向にプレスして圧着した後、所
定の大きさに切断する。この切断した積層体を脱脂焼成
した後、外部電極を形成する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前記積層体を形成する
積層工程においては、電極パターンを形成した内部電極
付きセラミックグリーンシートを積層するときに高精度
なシート同士の位置合わせが必要であり、その位置合わ
せにはシートを間欠送りさせなければならないなど、積
層工程が複雑になるとともに、その工程に長時間費やさ
なければならなかった。

【０００５】さらに、内部電極のパターニングをスクリ
ーン印刷等で行う場合は、品種ごとに版を作製する必要
がある。

【０００６】したがって、本発明の主たる目的は、積層
工程を簡単にすることによって、製造コストの低下や生
産性の向上を図ることのできる積層型電子部品の製造方
法を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ために、本発明に係る請求項１の積層型電子部品の製造
方法は、内部電極層形成用スラリーとセラミック材料層
形成用スラリーとを一対の層を成すように、一方向に送
り操作されるキャリアの表面に所定幅で塗工した後、塗
工された両スラリーを同時に乾燥させる工程、もしくは
前記両スラリーを、交互に複数対の層を成すように、一
方向に送り操作されるキャリアの表面に所定幅で塗工し
た後、塗工された両スラリーを同時に乾燥させる工程を
一回あるいは複数回繰り返して積層体を形成する積層体
形成工程と、前記積層体形成工程で形成された前記積層
体における任意の内部電極層の不要な部分を排除するこ
とにより内部電極パターンを形成する工程とを有するこ
とを特徴とする。

【０００８】請求項１に係る積層型電子部品の製造方法
によれば、一方向に送り操作されるキャリアの表面に内
部電極層形成用スラリーとセラミック材料層形成用スラ
リーとを一対もしくは複数対の層を成すように所定幅塗
工していってそれら積層された両スラリーを同時に乾燥
していくことによって、連続した長尺の積層体をシート
状にして得ることができ、従来のスクリーン印刷などに
よる製造方法に比較して積層体の生産性がきわめて向上
するに至った。

【０００９】本発明に係る請求項２の積層型電子部品の
製造方法は、内部電極層形成用スラリーとセラミック材
料層形成用スラリーとの一方を、一方向に送り操作され
るキャリアの表面に所定幅塗工し次いで乾燥した後、他
方をその上に積層するように塗工形成し次いで乾燥させ
る工程を一回あるいは複数回繰り返すことによって積層
体を形成する積層体形成工程と、前記積層体形成工程で
形成された前記積層体における任意の内部電極層の不要
な部分を排除することにより内部電極パターンを形成す
る工程とを有することを特徴とする。

【００１０】請求項２に係る積層型電子部品の製造方法
によれば、一方向に送り操作されるキャリアの表面に内
部電極層形成用スラリーとセラミック材料層形成用スラ
リーとの一方を所定幅塗工し次いでそれが乾燥してから
他方をその上に積層するように塗工形成し、次いで乾燥
させる工程を一回あるいは複数回繰り返すことによっ
て、連続した長尺の積層体をシート状にして得ることが
でき、従来のスクリーン印刷などによる製造方法に比較
して積層体の生産性がきわめて向上するに至った。ま
た、先に塗工した層が乾燥した後次の層を積層させるも
のであるから、各層が明確に分離した状態で積層でき
る。

【００１１】本発明に係る請求項３の積層型電子部品の
製造方法は、内部電極層とセラミック材料層とを薄膜形
成法により交互に複数層積層して積層体を形成する積層
体形成工程と、前記積層体形成工程で形成された前記積
層体における任意の内部電極層の不要な部分を排除する
ことにより内部電極パターンを形成する工程とを有する
ことを特徴とする。

【００１２】請求項３に係る積層型電子部品の製造方法
によれば、薄膜形成法により内部電極層あるいはセラミ
ック材料層を形成するものであるから、各層を非常に薄
いものに構成でき、単位体積あたりの容量等の特性を向
上させることができるとともに、電子部品として特性に
すぐれたものを得ることができる。

【００１３】本発明に係る請求項４の積層型電子部品の
製造方法は、セラミック材料層形成用スラリーをシート
成形してセラミックシートを作製する工程と、内部電極
層形成用スラリーをシート成形して内部電極シートを作
成する工程と、前記セラミックシート上に前記内部電極
シートを転写して複数層の積層体を作製する積層体形成
工程と、前記積層体形成工程で形成された前記積層体に
おける任意の内部電極層の不要な部分を排除することに
より内部電極パターンを形成する工程とを有することを
特徴とする。

【００１４】請求項４に係る積層型電子部品の製造方法
によれば、予め作製されたセラミックシート上に内部電
極シートを転写して複数層の積層体を作製するから、内
部電極をセラミックシートにスクリーン印刷するものに
比較して、内部電極のペーストの溶剤がセラミックシー
トを溶解させたり膨潤させたりすることによる品質劣化
が回避できる。また、セラミックシート上に内部電極シ
ートを転写するだけであるから、スクリーン印刷のよう
な内部電極シートの精度の良い位置合わせも行わなくて
済み、作業効率を向上させるものである。

【００１５】本発明に係る請求項５の積層型電子部品の
製造方法は、請求項１から４のいずれかに記載の積層型
電子部品の製造方法において、前記積層体形成工程で形
成された積層体を、前記内部電極パターンを形成する前
に、複数枚積み重ねて熱圧着することによってより多層
の積層体を形成することを特徴とする。

【００１６】請求項５に係る積層型電子部品の製造方法
によれば、先の工程で得られた長尺のシート状の積層体
を所望寸法に切断してそれらを複数枚積み重ねて熱圧着
することで、所望の積層数の積層型電子部品を製造する
もととなる積層体を得ることができ、製造効率を一層向
上することができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の詳細を図１ないし
図１０に記載の一実施の形態に基づいて説明する。図１
は内部電極付誘電体シートの形成図、図２は積層体１の
斜視図、図３は積層体１ａの斜視図、図４は積層体１ａ
を電解エッチングする様子を示す説明図、図５は電解エ
ッチングが完了した積層体１ｂの斜視図、図６は積層体
１ｃの斜視図、図７は積層体１ｃを電解エッチングする
様子を示す説明図、図８は電解エッチングが完了した積
層体１ｄの斜視図、図９は積層体１ｅの斜視図、図１０
は積層型電子部品１２の斜視図である。

【００１８】セラミック材料層としての誘電体層２を形
成するセラミック材料層形成用スラリーとしては、チタ
ン酸バリウムを主成分とする粉末材料を有機溶剤（例え
ばエタノール）、有機バインダ（例えばポリビニルブチ
ラール）とともに調合分散した誘電体スラリー２１を使
用する。内部電極層３を形成する内部電極層形成用スラ
リーとしては、ニッケルの粉末材料を溶剤（例えば水な
ど）、有機バインダ（例えば、酢酸ビニルエマルジョ
ン、ウレタンエマルジョン、アクリルなど）、添加剤
（親水基を有する界面活性剤、疎水基を有する界面活性
剤）とともに調合分散した内部電極スラリー２２を使用
する。したがって、セラミック材料層形成用スラリーと
内部電極層形成用スラリーとは互いが相手に対して不溶
性であり、積層されたときに互いが明確に分離した層を
成すものである。

【００１９】水平方向に沿って一定方向に送られるキャ
リアとしての帯状のキャリアフィルム２３の上方に層厚
１０μｍ以下の誘電体スラリー２１と層厚１０μｍ以下
の内部電極スラリー２２を同時塗工するダイコータを成
すノズル２４を設ける。

【００２０】そして、誘電体スラリー２１上に内部電極
スラリー２２を同時に積層して塗工するので、ノズル２
４における誘電体層用スラリー塗工口２４ａと内部電極
層用スラリー塗工口２４ｂとはキャリアフィルム２３の
送り方向に沿って並列に設けられる。

【００２１】内部電極層用スラリー塗工口２４ｂは、内
部電極層３を所望厚さ形成できるように、誘電体層用ス
ラリー塗工口２４ａに対して位置させて設けている。な
お、両塗工口２４ａ，２４ｂは、図１において、紙面に
対して垂直方向に同一の所定幅を有している。

【００２２】ノズル２４の各塗工口２４ａ，２４ｂに
は、内部電極層形成用スラリー２２、誘電体層形成用ス
ラリー２１を、それぞれ図示しないポンプで供給するよ
うにしている。

【００２３】キャリアフィルム２３は水平面に沿って一
定方向、図１においては矢印方向に一定の速度で移動、
すなわち送り操作されているので、塗工口２４ａ、２４
ｂから塗工されたスラリーは、誘電体層形成用スラリー
２１と内部電極層形成用スラリー２２との一対の層を成
す２層構造で、キャリアフィルム２３上に乗った状態で
矢印方向に移動する。２層構造のスラリーは、移動時に
同時に乾燥された後誘電体層２と内部電極層３の２層構
造の積層体のシートとして図示しないドラムなどに巻き
取られる。

【００２４】この製造された誘電体層２と内部電極層３
との２層構造のシートをカットして、１００層に積層
し、図２に示すような積層型電子部品の基となる積層体
１を形成する。ここまでが積層体を得るための積層工程
となっている。なお、この積層は各層の全ての周辺が積
層方向で略一致するようにして行われる。また、最上面
には誘電体層２が積層される。したがって、各層がその
上下の層に対して互いにその全面において重なり合って
いる。

【００２５】次いで、剛体プレスなどを用いて、この積
層体１の層間を熱圧着する。その後、図３に示すよう
に、圧着した積層体１の端部に、傾斜の縦横の比率、す
なわちテーパ量１／２００の電極コンタクト用のテーパ
部４をダイサーなどにより形成する。さらに、ダイサー
によって、積層体１にエッチング用の溝５と、単体に分
割するブレイク用のカット溝６とを形成する。テーパ部
４とエッチング用の溝５とブレイク用のカット溝６とを
設けた積層体１ａを脱脂焼成する。尚、内部電極層３の
材料に薄膜形成法による箔などを用いた場合は、焼成し
なくても導通があるため焼成前でも電解エッチングが可
能であるので、内部電極層３の排除完了後に脱脂焼成す
ることもできる。なお、各図においては、積層数が１０
０層のものを図示すると理解しにくくなるため、数層分
しか図示していない。

【００２６】テーパ部４により露出した内部電極層３に
印加プローブ７を１層おきに取り付けて積層体１ａを、
図４に示すようなＰｔ（プラチナ）製の陰極Ｃを浸漬し
たＮｉＣｌ₂（塩化ニッケル）などの電解液Ｌに浸漬す
る。その状態で、電圧を印加して印加プローブ７を取り
付けた内部電極層３のみを電解エッチングする。電解エ
ッチングが完了すると、図５に示すような内部電極層３
が１層おきに一部排除された積層体１ｂになる。

【００２７】次に、図５に示す積層体１ｂを、電解用の
カット溝５と平行なカット溝６に沿って、カットすると
図６に示す積層体１ｃになる。この積層体１ｃの内部電
極層３を排除した方の面に導電ゴムやＮｉコートなどで
電極８を取り付けて、図７に示すようなＰｔ（プラチ
ナ）製の陰極Ｃを浸漬したＮｉＣｌ₂（塩化ニッケル）
などの電解液Ｌに電極８は液面上に出した状態で浸漬す
る。電圧を印加して電極８と接している内部電極層３の
みを電解エッチングし、内部電極層３の一部を排除す
る。その結果、図８に示すように、内部電極層３におい
て１層ごとに互いに反対となる端辺側の一部を排除した
積層体１ｄになる。内部電極層３の排除された部分に、
セラミックスラリー例えばガラスなどの封止材料９を充
填する。

【００２８】電解エッチングによる内部電極層３の排除
量は、電流量と比例関係にあり、その電流量は、電流
（Ｉ）と印加時間（Ｔ）の積（Ｉ×Ｔ）、より詳細には
それらの積分関係によって制御される。なお、積（Ｉ×
Ｔ）が大きくなればなるほど排除量は大きくなるが、あ
る一定量を超えると排除量の増加率は減少する。電解エ
ッチングによる排除量は、室温において、電解液ＮｉＣ
ｌ₂（塩化ニッケル）、陰極Ｐｔ（プラチナ）、電圧２
Ｖ、印加時間２０秒で電解量（排除量）は３０μｍであ
る。

【００２９】図８の積層体１ｄをカット溝６でカット
し、バレル加工により角を落とすと、図９に示すような
積層体１ｅになる。この積層体１ｅの内部電極層３が露
出している側面１１に、封止材料として樹脂を含まない
セラミックスラリー例えばガラス等を塗布する。内部電
極層３を排除した２つの面１０に外部電極１２を塗布し
て、焼き付ける。この焼付けにより内部電極層３の排除
された部分に挿入された封止材料９と側面１１の塗布さ
れた封止材料の焼結も行われる。最後に外部電極表面に
ニッケル、すずメッキをして、図１０に示すような積層
型電子部品１３が完成する。

【００３０】次に、本発明の別の実施の形態について図
１１に基づいて説明する。図１１は別の実施の形態
（１）の側面図である。

【００３１】図１１に示すように、紙面に対して垂直な
方向に軸心を持ち、一定の幅を持つローラ３５、３６
を、一定の間隔で２個設ける共に、この２個のローラ間
３５、３６にキャリアとしての無端帯状のキャリアフィ
ルム３３を設ける。

【００３２】このキャリアフィルム３３の上方に、誘電
体スラリー３１と内部電極スラリー３２を塗工するノズ
ル３４を設ける。ノズル３４は、図１１において、紙面
に対して垂直方向にある一定の幅を有している。

【００３３】そして、誘電体スラリー３１上に内部電極
スラリー３４を同時に積層して塗工するために、誘電体
スラリー塗工口３４ａと内部電極スラリー塗工口３４ｂ
とは並列に設けられていると共に、内部電極スラリー塗
工口３４ｂは誘電体スラリー塗工口３４ａから内部電極
層３の厚さ分だけ上位に設けてある。

【００３４】図１１に示すように、ローラ３６を所定速
度で回転駆動するに伴い、キャリアフィルム３３は矢印
方向に一定の速度でローラ間３５，３６を回動している
ので、誘電体スラリー塗工口３４ａから吐出される誘電
体スラリーと３１と内部電極スラリー塗工口３４ｂから
吐出される内部電極スラリー３４とが互いに所定厚さで
２層に積層された状態にキャリアフィルム３３上に塗工
されていく。

【００３５】そして、塗工口３４ａ、３４ｂから塗工し
たスラリーは、誘電体スラリー３１と内部電極スラリー
３２の２層構造で、キャリアフィルム３３上に乗った状
態で回動方向に移動する。

【００３６】移動していく２層構造のスラリーは、その
移動時に同時に乾燥して誘電体シート２と内部電極層３
の２層構造のシートになり、再びノズル３４の位置に戻
って来る。

【００３７】このとき、ノズル３４の位置を２層構造の
シートの厚さ分だけキャリアフィルム３３から遠ざけ
て、乾燥した２層構造のシートの上に、再びノズル３４
により誘電体スラリー２１と内部電極スラリー２２を同
時に積層して塗工する。

【００３８】この工程を繰り返すことにより、複数層例
えば１００層積層された積層体を形成することになる。
その後、その積層体を所定の大きさで切断することによ
って、図２に示すような積層体１を形成する。上述実施
の形態と同様の工程を経ることによって、この積層体１
から積層型電子部品の一例としての積層コンデンサを製
造することになる。

【００３９】次に、本願発明に係るさらに別の実施の形
態について、図１２に基づいて説明する。図１２は別の
実施の形態（２）の側面図である。

【００４０】図１２に示すように、紙面に対して垂直な
方向に軸心を持ち、一定の幅を持つローラ４５、４６
を、一定の間隔で２個設ける共に、この２個のローラ間
４５、４６にキャリアとしての無端帯状のキャリアフィ
ルム４３を設ける。

【００４１】このキャリアフィルム４３の上方に、誘電
体スラリー４１を塗工するノズル４４ａを設け、下方に
内部電極スラリー４２を塗工するノズル４４ｂを設け
る。ノズル４４ａ、４４ｂは紙面に対して垂直方向にあ
る一定の幅を有している。

【００４２】図１２に示すように、最初に、ローラ４６
の回転駆動に伴い、矢印方向に回動するキャリアフィル
ム４３上に誘電体スラリー４１をノズル４４ａから塗工
して乾燥工程で乾燥させる。次に、この乾燥した誘電体
スラリー４１の誘電体層２上に、内部電極スラリー４２
をノズル４４ｂから塗工して乾燥処理工程（図１２で一
点鎖線で示す）で乾燥させる。そして、誘電体スラリー
４１の乾燥した誘電体シート２と、内部電極スラリー４
２の乾燥した内部電極層３の２層構造の状態で、ノズル
４４ａの位置に戻って来る。この２層構造のシート上に
再びノズル４４ａから誘電体スラリー４１を塗工して乾
燥処理工程（図１２で一点鎖線で示す）で乾燥させた
後、再びノズル４４ｂから内部電極スラリー４２を塗工
して乾燥工程で乾燥させる。この工程を繰り返すことに
より、図２に示すような積層体１を形成する。このと
き、ノズル４４ａ、４４ｂは共に一回塗工するごとに、
誘電体シート２と内部電極層との２層構造のシートの厚
さ分だけキャリアフィルムから遠ざける。

【００４３】また、図１２に示す実施の形態では、ノズ
ル４４ａ、４４ｂは回動するキャリアフィルム４３を挟
んで上下に設けたが、図１２の一点鎖線で示したノズル
４４ｃのようにキャリアフィルム４３の上方に並べて設
けても良いし、下方に並べて設けても良い。

【００４４】次に、本願発明に係るさらに別の実施の形
態について、図１３〜図１６に基づいて説明する。図１
３〜図１６は別実施の形態（３）の側面図であって、図
１３は、セラミックシートとしての誘電体層シートを作
製する様子を示し、図１４は、内部電極層シートを作製
する様子を示し、図１５は、熱転写により積層体を作製
する様子を示し、図１６は、プレスによる転写で積層体
を作製する様子を示している。

【００４５】すなわち、この別の実施の形態(３)は、積
層コンデンサのセラミック材料層として誘電体層２を形
成するための誘電体層シート５２と、内部電極層３を形
成するための内部電極層シート５３とを予め別々に作製
しておいて、誘電体層シート５２の誘電体層２に対して
内部電極層シート５３の内部電極層３を転写して積層体
１を形成するものである。

【００４６】詳述すると、図１３に示すように、ドラム
５０ａに巻きつけられていくキャリアフィルム５１ａが
水平方向に移動していく際に、一定横幅の塗工口を備え
るノズル５４ａからセラミック材料層形成用スラリー５
５ａがキャリアフィルム５１ａ上に薄層を形成するよう
に吐出されて、そのスラリー５５ａがドラム５０ａに巻
きつけられる前に乾燥処理されて、誘電体層シート５２
が得られる。

【００４７】一方、図１４に示すように、ドラム５０ｂ
に巻きつけられていくキャリアフィルム５１ｂが水平方
向に移動していく際に、一定横幅の塗工口を備えるノズ
ル５４ｂから内部電極層形成用スラリー５５ｂがキャリ
アフィルム５１ｂ上に薄層を形成するように吐出され、
そのスラリー５５ｂがドラム５０ａに巻きつけられる前
に乾燥処理されて、内部電極層シート５３が得られる。

【００４８】次に、上記のように作製された誘電体層シ
ート５２の誘電体層２に対して、内部電極層シート５３
の内部電極層３が熱転写されて積層体シート６０が形成
される。

【００４９】すなわち、図１５に示すように、誘電体層
シート５２はドラム５６に巻きつけられていくようにし
てあり、その誘電体層シート５２が水平方向に移動して
いく際に、内部電極層シート５３は、熱転写用ロール５
７によって案内されるとともに、熱転写用ロール５７に
よって加熱されながら下方に押圧されることで、誘電体
層シート５２の誘電体層２上に積層されるよう熱転写さ
れる。また、転写された後の内部電極層シート５３のキ
ャリアフィルム５１ｂはドラム５８に巻き取られてい
く。したがって、ドラム５６には誘電体層２上に内部電
極層３が積層された積層体シート６０がドラム５６に巻
きとられていく。

【００５０】この熱転写用ロール５７に代えて、図１６
に示すように、プレス装置５９によって誘電体層２上に
内部電極層３が熱圧着することにより積層されるよう、
内部電極層シート５３から内部電極層３が転写されるよ
うにしても良い。

【００５１】積層体シート６０は適宜切断され、その切
断したものをさらに積層して圧着することで複数層誘電
体層３と内部電極層３とが交互に積層される積層体１を
得るとともに、その積層体１に対して、電極パターンを
形成するように内部電極層３の一部を排除する前述実施
の形態で示したような工程等を経て、積層型電子部品の
一例としての積層コンデンサが製造されることになる。

【００５２】このように、転写して積層体シートを得る
ものであるから、誘電体層に内部電極層をスクリーン印
刷して形成するもののように、内部電極層の位置合わせ
をしなくても良いとともに、ペースト状のものを積層し
ていくのでなく乾燥した状態で転写積層していくことに
なるから、層の不当な溶解や膨潤がなく、高品質なもの
が得られる。

【００５３】尚、本発明の積層体電子部品の製造方法
は、前記各実施の形態に限定されず、例えば一対のノズ
ルのみならず、複数対のノズルを設けて、誘電体スラリ
ーと内部電極スラリーを２以上の複数対を同時にキャリ
アフィルムに塗工しても良い。

【００５４】また、内部電極層あるいは誘電体層は薄膜
形成法によるものでも良い。薄膜形成法とは、例えば、
真空蒸着、分子線エピタキシー、イオンプレーティン
グ、スパッタ蒸着、ＣＶＤ法、などがある。そして、こ
の薄膜形成法によって得られた積層体に対して、前述実
施の形態で説明したような内部電極層の一部を排除する
電極パターン形成工程を経ることによって積層型電子部
品が製造されることになる。

【００５５】また、上記実施の形態において、積層型電
子部品のセラミック材料層と内部電極層との全層数分積
層した積層体が得られるように積層していくものを示し
たが、別の実施の形態（３）に示したように、その積層
数は全層分でなく、数層分のみ積層した積層体を前述の
積層体形成工程で得るとともに、その積層体をさらに積
層することによって、より多層化された積層体を得るよ
うにしても良い。

【００５６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
一方向に送り操作されるキャリアの表面に内部電極層形
成用スラリーとセラミック材料層形成用スラリーとを一
対もしくは複数対の層を成すように所定幅塗工していく
ことによって、連続した長尺の積層体をシート状にして
得ることができ、従来のスクリーン印刷などによる製造
方法に比較して積層体の生産性がきわめて向上するに至
った。また、スラリーを塗工してセラミック材料層およ
び内部電極層を積層していくものであっても、各層が明
確に分離した状態で積層できる。

【００５７】したがって、セラミック材料層、内部電極
層を同時に形成することにより、生産設備の簡略化、生
産時間の短縮が可能になり、大幅に生産性を向上でき
る。複数層積層する場合に、内部電極層には電極パター
ンがないので、位置合わせが不要となるために連続的な
積層動作が可能となり、大幅に生産性を向上できる。さ
らに、シート形成、乾燥、電極形成、乾燥、積層などの
積層体を形成する工程において、シートをハンドリング
する機会が減り、ダストの混入やシートへの力学的なダ
メージによる品質の劣化がなくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係り、内部電極層と誘電
体層とが積層されるシートを形成する様子を示す縦断側
面図

【図２】積層体１の斜視図

【図３】積層体１ａの斜視図

【図４】積層体１ａを電解エッチングする様子を示す側
面図

【図５】電解エッチングが完了した積層体１ｂの斜視図

【図６】積層体１ｃの斜視図

【図７】積層体１ｃを電解エッチングする様子を示す側
面図

【図８】電解エッチングが完了した積層体１ｄの斜視図

【図９】積層体１ｅの斜視図

【図１０】積層型電子部品１３の斜視図

【図１１】本発明の別の実施の形態（１）に係り、内部
電極層と誘電体層とが積層されるシートを形成する様子
を示す縦断側面図

【図１２】本発明の別の実施の形態（２）に係り、内部
電極層と誘電体層とが積層されるシートを形成する様子
を示す縦断側面図

【図１３】本発明の別の実施の形態（３）に係り、誘電
体層シートを作製する様子を示す縦断側面図

【図１４】本発明の別の実施の形態（３）に係り、内部
電極層シートを作製する様子を示す縦断側面図

【図１５】本発明の別の実施の形態（３）に係り、ロー
ラによる転写により積層体シートを作製する様子を示す
縦断側面図

【図１６】本発明の別の実施の形態（３）に係り、プレ
ス装置による転写により積層体シートを作製する様子を
示す縦断側面図

【符号の説明】

１積層体２誘電体層（セラミック材料層）３内部電極層２１誘電体スラリー（セラミック材料層形成用スラリ
ー）２２内部電極層形成用スラリー２３キャリアフィルム（キャリア）２４ノズル２４ａ誘電体スラリー塗工口２４ｂ内部電極スラリー塗工口３１誘電体スラリー３２内部電極スラリー３３キャリアフィルム（キャリア）３４ノズル３４ａ誘電体スラリー塗工口３４ｂ内部電極スラリー塗工口３５ローラ３６ローラ４１誘電体スラリー４２内部電極スラリー４３キャリアフィルム４４ａノズル４４ｂノズル４４ｃノズル４５ローラ４６ローラ

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Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】内部電極層形成用スラリーとセラミック
材料層形成用スラリーとを一対の層を成すように、一方
向に送り操作されるキャリアの表面に所定幅で塗工した
後、塗工された両スラリーを同時に乾燥させる工程、も
しくは前記両スラリーを、交互に複数対の層を成すよう
に、一方向に送り操作されるキャリアの表面に所定幅で
塗工した後、塗工された両スラリーを同時に乾燥させる
工程を一回あるいは複数回繰り返して積層体を形成する
積層体形成工程と、前記積層体形成工程で形成された前記積層体における任
意の内部電極層の不要な部分を排除することにより内部
電極パターンを形成する工程とを有することを特徴とす
る積層型電子部品の製造方法。
【請求項２】内部電極層形成用スラリーとセラミック
材料層形成用スラリーとの一方を、一方向に送り操作さ
れるキャリアの表面に所定幅塗工し次いで乾燥した後、
他方をその上に積層するように塗工形成し次いで乾燥さ
せる工程を一回あるいは複数回繰り返すことによって積
層体を形成する積層体形成工程と、前記積層体形成工程で形成された前記積層体における任
意の内部電極層の不要な部分を排除することにより内部
電極パターンを形成する工程とを有することを特徴とす
る積層型電子部品の製造方法。
【請求項３】内部電極層とセラミック材料層とを薄膜
形成法により交互に複数層積層して積層体を形成する積
層体形成工程と、前記積層体形成工程で形成された前記積層体における任
意の内部電極層の不要な部分を排除することにより内部
電極パターンを形成する工程とを有することを特徴とす
る積層型電子部品の製造方法。
【請求項４】セラミック材料層形成用スラリーをシー
ト成形してセラミックシートを作製する工程と、内部電極層形成用スラリーをシート成形して内部電極シ
ートを作成する工程と、前記セラミックシート上に前記内部電極シートを転写し
て複数層の積層体を作製する積層体形成工程と、前記積層体形成工程で形成された前記積層体における任
意の内部電極層の不要な部分を排除することにより内部
電極パターンを形成する工程とを有することを特徴とす
る積層型電子部品の製造方法。
【請求項５】請求項１から４のいずれかに記載の積層
型電子部品の製造方法において、前記積層体形成工程で
形成された積層体を、前記内部電極パターンを形成する
前に、複数枚積み重ねて熱圧着することによってより多
層の積層体を形成することを特徴とする積層型電子部品
の製造方法。