JP3489445B2 - 積層体の製造方法及び積層体の製造装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本願発明は、積層体の製造方
法及び製造装置に関し、詳しくは、キャリアフィルムに
支持されたグリーンシートを積み重ねることにより積層
体を製造する方法及びそれに用いられる製造装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】代表的
な積層電子部品の一つである積層セラミックコンデンサ
は、通常、グリーンシート（セラミックグリーンシー
ト）に内部電極となる導電ペーストを所定のパターンで
印刷した電極印刷シートと、導電ペーストの印刷されて
いないグリーンシート（カバーシート）を所定枚数積層
し、圧着することにより、積層圧着体を形成し、この積
層圧着体を所定の位置でカットし、個々のセラミック素
子を切り出し、これを焼成した後、セラミック素子の端
面を含む両端部に導電ペーストを塗布、焼き付けして、
内部電極と導通する外部電極を形成することにより製造
されている。

【０００３】ところで、このような積層電子部品の製造
に用いられるグリーンシートは、機械的強度が小さく、
慎重な取扱が必要であるが、近年、電子部品の小型化へ
の要求が大きくなるにつれて、極めて薄く、機械的な強
度がさらに小さいグリーンシートが用いられるようにな
っている。そのため、取扱中にグリーンシートが損傷し
ないように、グリーンシートをキャリアフィルムに支持
させた状態で取り扱う種々の方法が提案、実施されるに
至っている。

【０００４】そして、キャリアフィルムに支持させたグ
リーンシートを積層、圧着して積層体を製造する方法と
しては、例えば、図６に示すように、キャリアフィルム
５１の一方の面（図６では下面）に支持されたグリーン
シート（被積層シート）５２ａをテーブル５３の上方に
位置させた後、図７に示すように、プレスヘッド５４ａ
を下降させてプレスすることにより、被積層シート５２
ａをテーブル５３あるいはテーブル５３上のグリーンシ
ート５２ｂの上面に圧着した後、図８に示すように、キ
ャリアフィルム５１を上方に持ち上げて被積層シート５
２ａから引き剥がし、再び、次の被積層シートを積層、
圧着することにより積層体を製造している。

【０００５】しかし、上記従来の方法では、被積層シー
ト５２ａを、下面が平坦なプレスヘッド５４ａにより、
キャリアフィルム５１を介してグリーンシート５２ｂに
押圧して圧着するようにしているため、ときとして被積
層シート５２ａとグリーンシート５２ｂの間に空気が入
り込んで、被積層シート５２ａとグリーンシート５２ｂ
を圧着した後にも層間に残留し、デラミネーションや接
着不良の原因になるという問題点がある。

【０００６】そこで、被積層シート５２ａとグリーンシ
ート５２ｂの間に空気が入り込むことを防止するため
に、例えば、図９に示すような積層体の製造方法が提案
されている。すなわち、この方法は、キャリアフィルム
５１の一方の面（図９では下面）に支持されたグリーン
シート（被積層シート）５２ａを、テーブル５３上の、
グリーンシート５２ｂの上面側に積み重ね、ローラ５４
により、キャリアフィルム５１を介して被積層シート５
２ａをグリーンシート５２ｂに押し付けながら、ローラ
５４を略水平方向（矢印Ａの方向）に移動させ、被積層
シート５２ａとグリーンシート５２ｂの間の空気を追い
出しつつ、シート間に空気を入り込ませることなく被積
層シート５２ａをグリーンシート５２ｂに圧着しようと
するものであり、その後、キャリアフィルム５１を剥離
して、所定の方向（この例では矢印Ｂの方向）に移動さ
せ、次の被積層シートを積み重ねることにより、積層体
を形成しようとするものである。なお、この方法では、
ローラによりグリーンシートを圧着して形成した積層体
を、最終的にもう一度プレスする場合もある。

【０００７】しかし、この方法の場合、積層体を構成す
るグリーンシート間に空気が入り込むことを防止するこ
とは可能になるが、ローラ５４をキャリアフィルム５１
に押し付けた状態で、被積層シート５２ａの積み重ね方
向と直交する方向（矢印Ａの方向に移動させながら圧着
を行うようにしているため（すなわち、ローラ５４を移
動させることにより空気を除去するだけではなく、ロー
ラ５４により、被積層シート５２ａをグリーンシート５
２ｂに圧着するようにしているため）、ローラ５４を比
較的強くキャリアフィルム５１に押し付けることが必要
になる。したがって、それに起因してグリーンシートの
積み重ねずれが発生し、所望の電気的特性が得られなく
なるというような問題点がある。

【０００８】本願発明は、上記問題点を解決するもので
あり、グリーンシートの積みずれを引き起こすことな
く、積層体を構成する各グリーンシート間に空気が入り
込んで積層体中に残留することを防止し、デラミネーシ
ョンや接着不良などがなく、所望の特性を備えた信頼性
の高い積層体を効率よく製造することが可能な積層体の
製造方法及び積層体の製造装置を提供することを目的と
する。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願発明（請求項１）の積層体の製造方法は、キャ
リアフィルムに支持されたグリーンシートを積み重ねて
積層体を製造する方法において、キャリアフィルムの一
方の面に支持されたグリーンシート（被積層シート）
を、該被積層シートが積層、圧着されるべきグリーンシ
ートと対向するように位置させる工程と、前記キャリア
フィルムを介して被積層シートをグリーンシートに押し
付ける一次プレス（予備プレス）手段を、積みずれが生
じない程度にキャリアフィルムに押し付けながら略水平
方向に移動させ、被積層シートとグリーンシートの間の
空気を追い出しつつ、被積層シートをグリーンシートに
予備的に圧着する一次プレス（予備プレス）工程と、垂
直方向に動作する二次プレス手段を下降させることによ
り、前記一次プレス（予備プレス）工程で形成された被
積層シートとグリーンシートの予備圧着体を、キャリア
フィルムを介してプレスして、被積層シートをグリーン
シートに圧着する二次プレス工程と、二次プレス工程で
グリーンシートに圧着された被積層シートからキャリア
フィルムを剥離する剥離工程と、を具備し、かつ、被積
層シート一層ごとに、前記一次プレス（予備プレス）工
程、前記二次プレス工程及び前記剥離工程を実施して積
層体を形成することを特徴としている。

【００１０】本願発明（請求項１）の積層体の製造方法
は、一次プレス（予備プレス）工程で、一次プレス（予
備プレス）手段を、積みずれが生じない程度にキャリア
フィルムに押し付けながら略水平方向に移動させ、被積
層シートとグリーンシートの間の空気を追い出しつつ、
被積層シートをグリーンシートに予備的に圧着した後、
二次プレス工程で、垂直方向に動作する二次プレス手段
を下降させることにより、被積層シートとグリーンシー
トの予備圧着体を、キャリアフィルムを介してプレスし
て、被積層シートをグリーンシートに圧着した後、圧着
された被積層シートからキャリアフィルムを剥離するよ
うにしており、被積層シート一層ごとに、一次プレス
（予備プレス）工程、二次プレス工程及び剥離工程を実
施して積層体を形成するようにしているので、グリーン
シートの積みずれを引き起こすことなく、各シート間に
空気が入り込むことを防止し、デラミネーションや接着
不良などがなく、所望の特性を備えた信頼性の高い積層
体を効率よく製造することができるようになる。すなわ
ち、予備プレス工程では、両者の間の空気を追い出しつ
つ、予備的に圧着することを目的としていることから、
一次プレス（予備プレス）手段によって積みずれを生じ
るほど強くプレスする必要がないため、従来の方法にお
いて生じるようなローラによるプレス工程での積みずれ
の発生を防止することができるとともに、その後の二次
プレスにより、各シートが確実に圧着されることにな
り、デラミネーションや接着不良などがなく、所望の特
性を備えた信頼性の高い積層体を得ることが可能にな
る。

【００１１】また、請求項２の積層体の製造方法は、前
記一次プレス（予備プレス）工程で用いられる一次プレ
ス（予備プレス）手段が、回転させながらキャリアフィ
ルム上を所定の方向に移動させることが可能なローラで
あることを特徴としている。

【００１２】一次プレス工程で用いられる一次プレス手
段として、回転させながらキャリアフィルム上を所定の
方向に移動させることが可能なローラを用いることによ
り、一次プレス手段をキャリアフィルムに押し付けなが
ら円滑に移動させ、積みずれを生じることなく、効率よ
く被積層シートとグリーンシートの間の空気を追い出す
ことが可能になり、本願発明をより実効あらしめること
ができる。

【００１３】また、請求項３の積層体の製造方法は、所
定枚数のグリーンシートを積層、圧着した後に、全体を
プレスして各グリーンシートを最終的に圧着する最終プ
レス（三次プレス）工程を備えていることを特徴として
いる。

【００１４】所定枚数のグリーンシートを積層、圧着し
た後に、全体を最終的にプレスするようにした場合、各
シートの密着性をさらに向上させることが可能になり、
信頼性の高い積層体を得ることが可能になる。

【００１５】また、本願発明（請求項４）の積層体の製
造装置は、請求項１，２又は３記載の積層体の製造方法
を実施するために用いられる積層体の製造装置であっ
て、前記一次プレス（予備プレス）工程で用いられ、積
みずれが生じない程度に前記キャリアフィルムに押し付
けられながら略水平方向に移動することにより、前記キ
ャリアフィルムを介して被積層シートをグリーンシート
に押し付けて、被積層シートとグリーンシートの間の空
気を追い出しつつ、前記被積層シートを前記グリーンシ
ートに予備的に圧着する一次プレス（予備プレス）手段
と、前記二次プレス工程で用いられ、垂直方向に動作す
ることにより、前記一次プレス工程で形成された被積層
シートとグリーンシートの予備圧着体を、キャリアフィ
ルムを介して二次プレスすることにより、被積層シート
をグリーンシートに圧着する二次プレス手段とを具備す
ることを特徴としている。

【００１６】本願発明（請求項４）の積層体の製造装置
は、上述のように、積みずれが生じない程度にキャリア
フィルムに押し付けられながら略水平方向に移動するこ
とにより、キャリアフィルムを介して被積層シートをグ
リーンシートに押し付けて、被積層シートとグリーンシ
ートの間の空気を追い出しつつ、被積層シートをグリー
ンシートに予備的に圧着する一次プレス（予備プレス）
手段と、垂直方向に動作することにより、一次プレス工
程で形成された被積層シートとグリーンシートの予備圧
着体を、キャリアフィルムを介して二次プレスすること
により、被積層 シートをグリーンシートに圧着する二次
プレス手段を備えており、上記本願発明の積層体の製造
方法を効率よく実施して、デラミネーションや接着不良
などがなく、且つ、所望の特性を備えた信頼性の高い積
層体を効率よく製造することが可能になる。

【００１７】また、請求項５の積層体の製造装置は、前
記一次プレス（予備プレス）工程で用いられる一次プレ
ス（予備プレス）手段が、回転させながらキャリアフィ
ルム上を所定の方向に移動させることが可能なローラで
あることを特徴としている。

【００１８】一次プレス工程で用いられる一次プレス手
段として、回転させながらキャリアフィルム上を所定の
方向に移動させることが可能なローラを用いることによ
り、一次プレス手段をキャリアフィルムに押し付けなが
ら円滑に移動させ、積みずれを生じることなく、効率よ
く被積層シートとグリーンシートの間の空気を追い出す
ことが可能になり、本願発明をより実効あらしめること
ができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態を示
して、その特徴とするところをさらに詳しく説明する。
なお、この実施形態では、キャリアフィルムの下面側に
支持されたグリーンシート（被積層シート）を積層、圧
着して積層体を製造するための装置を例にとって説明す
る。

【００２０】図１はこの実施形態で用いた積層体の製造
装置の概略構成を示す図である。この実施形態の積層体
の製造装置は、図１〜図５に示すように、グリーンシー
ト（被積層シート）２ａを支持したキャリアフィルム１
を搬送して、その下面側に支持されたグリーンシート
（被積層シート）２ａを、テーブル（受圧板）３上に、
つまりテーブル３上のグリーンシート２ｂと対向するよ
うに位置させる搬送ローラ２０ａ，２０ｂと、一次プレ
ス（予備プレス）工程で用いられ、キャリアフィルム１
に押し付けられながら、その上面側を移動することによ
り、キャリアフィルム１を介して被積層シート２ａをグ
リーンシート２ｂに押し付ける一次プレス（予備プレ
ス）手段であるローラ４と、一次プレス工程で形成され
たグリーンシート予備圧着体２３（図５）を、キャリア
フィルム１を介して二次プレスする二次プレス手段であ
るプレスヘッド１４とを備えている。

【００２１】なお、一次プレス手段であるローラ４は、
特に図示しない駆動手段により所定の方向に動作させる
ことができるように構成されており、また、二次プレス
手段であるプレスヘッド１４は、特に図示しない駆動手
段により昇降させることができるように構成されてい
る。

【００２２】次に、上記積層体の製造装置を用いて、積
層体を製造する方法について説明する。図１〜図５は、
この実施形態の積層体の製造方法の各工程を模式的に示
す図である。

【００２３】なお、この実施形態では、図１〜５に示す
ように、キャリアフィルム１の下面側に支持されたグリ
ーンシート（被積層シート）２ａを、テーブル３上のグ
リーンシート２ｂに積層、圧着して積層体を製造する場
合を例にとって説明する。

【００２４】(１)まず、図１に示すように、キャリアフ
ィルム１の下面に支持されたグリーンシート（被積層シ
ート）２ａを、テーブル３上のグリーンシート２ｂの上
方に位置させる。

【００２５】(２)それから、図２に示すように、ローラ
４を下降させ、キャリアフィルム１の下面に支持された
被積層シート２ａの端部を、グリーンシート２ｂの上面
の端部に当接させる。

【００２６】(３)それから、図３に示すように、ローラ
４を、キャリアフィルム１に押し付けながら、徐々に矢
印Ａの方向（略水平方向）に移動させ、最終的には図４
に示すように、ローラ４を被積層シート２ａの逆側の端
部にまで移動させることにより、一次プレス（予備プレ
ス）を行う。この一次プレス工程においては、ローラ４
が矢印Ａ方向に移動する過程で、被積層シート２ａとグ
リーンシート２ｂの間から空気が追い出され、被積層シ
ート２ａの下面がグリーンシート２ｂの上面に密着す
る。その結果、被積層シート２ａとグリーンシート２ｂ
の間に空気が残留することを確実に防止することができ
る。

【００２７】(４)そして、この状態で、図５に示すよう
に、プレスヘッド１４を下降させ、キャリアフィルム１
の上から、被積層シート２ａとテーブル３上のグリーン
シートの予備圧着体２３をプレス（二次プレス）して、
被積層シート２ａをグリーンシート２ｂに圧着する。

【００２８】(５)それから、プレスヘッド１４を上昇さ
せ、キャリアフィルム１を被積層シート２ａの上面から
剥離した後、キャリアフィルム１を移動させて図１の状
態とし、上記(１)〜(４)の操作を繰り返すことにより、
グリーンシートを所定枚数積層した積層体を形成する。

【００２９】(６)それから、(５)で形成した積層体を最
終的にプレス（三次プレス）することにより、各シート
が確実に密着した積層体を得る。この三次プレスは、二
次プレス手段であるプレスヘッド１４を用いて容易に行
うことができるが、他の既知のプレス手段を用いて行っ
てもよい。

【００３０】なお、上記実施形態では、ローラ４を矢印
Ａの方向に移動させて予備プレスを行うようにした場合
について説明したが、各被積層シート２ａごとに逆側に
移動させるようにして、ローラ４の移動距離を短くし
て、効率よく予備プレスを行うようにすることも可能に
なる。

【００３１】また、上記実施形態では、一次プレス（予
備プレス）手段として、ローラを用いた場合について説
明したが、本願発明において、一次プレス手段はローラ
に限られるものではなく、特に回転しない板状や棒状の
押圧部材を一次プレス手段として用い、これらをキャリ
アフィルムに押し付けながらスライドさせるように構成
することも可能である。さらに、上記実施形態では、キ
ャリアフィルム１に支持された被積層シート２ａを、グ
リーンシート２ｂに積み重ねる場合について説明した
が、テーブル上に直接被積層シート２ａを圧着させても
もちろんよい。つまり、積層体を構成する全ての被積層
シートを同様に積み重ねてもよい。

【００３２】また、上記実施形態では、グリーンシート
だけを繰り返して積層、圧着するようにした場合を例に
とって説明したが、一枚のグリーンシートを積層、圧着
した後、その表面に電極を印刷し、その後再びグリーン
シートを積層、圧着するような場合にも本願発明の方法
及び装置を適用することが可能である。また、本願発明
は、任意の電極を備えたグリーンシートを積層、圧着す
るような場合にも適用することが可能であることはいう
までもない。

【００３３】本願発明は、さらにその他の点においても
上記実施形態に限定されるものではなく、二次プレス手
段の具体的な構成などに関し、発明の要旨の範囲内にお
いて、種々の応用、変形を加えることが可能である。

【００３４】

【発明の効果】上述のように、本願発明（請求項１）の
積層体の製造方法は、一次プレス（予備プレス）工程
で、一次プレス（予備プレス）手段を、積みずれが生じ
ない程度にキャリアフィルムに押し付けながら略水平方
向に移動させ、被積層シートとグリーンシートの間の空
気を追い出しつつ、被積層シートをグリーンシートに予
備的に圧着した後、二次プレス工程で、垂直方向に動作
する二次プレス手段を下降させることにより、被積層シ
ートとグリーンシートの予備圧着体をキャリアフィルム
を介してプレスして、被積層シートをグリーンシートに
圧着した後、圧着された被積層シートからキャリアフィ
ルムを剥離するようにしており、被積層シー ト一層ごと
に、一次プレス（予備プレス）工程、二次プレス工程及
び剥離工程を実施して積層体を形成するようにしている
ので、グリーンシートの積みずれを引き起こすことな
く、各シート間に空気が入り込むことを防止し、デラミ
ネーションや接着不良などがなく、所望の特性を備えた
信頼性の高い積層体を効率よく製造することができるよ
うになる。すなわち、予備プレス工程では、両者の間の
空気を追い出しつつ、予備的に圧着することを目的とし
ていることから、一次プレス（予備プレス）手段によっ
て積みずれを生じるほど強くプレスする必要がないた
め、従来の方法において生じるようなローラによるプレ
ス工程での積みずれの発生を防止することができるとと
もに、その後の二次プレスにより、各シートが確実に圧
着されることになり、デラミネーションや接着不良など
がなく、所望の特性を備えた信頼性の高い積層体を得る
ことが可能になる。

【００３５】また、請求項２の積層体の製造方法のよう
に、一次プレス工程で用いられる一次プレス手段とし
て、回転させながらキャリアフィルム上を所定の方向に
移動させることが可能なローラを用いることにより、一
次プレス手段をキャリアフィルムに押し付けながら円滑
に移動させ、積みずれを生じることなく、効率よく被積
層シートとグリーンシートの間の空気を追い出すことが
可能になり、本願発明をより実効あらしめることができ
る。

【００３６】また、請求項３の積層体の製造方法のよう
に、所定枚数のグリーンシートを積層、圧着した後に、
全体を最終的にプレスするようにした場合、各シートの
密着性をさらに向上させることが可能になり、信頼性の
高い積層体を得ることが可能になる。

【００３７】また、本願発明（請求項４）の積層体の製
造装置は、上述のように、積みずれが生じない程度にキ
ャリアフィルムに押し付けられながら略水平方向に移動
することにより、キャリアフィルムを介して被積層シー
トをグリーンシートに押し付けて、被積層シートとグリ
ーンシートの間の空気を追い出しつつ、被積層シート を
グリーンシートに予備的に圧着する一次プレス（予備プ
レス）手段と、垂直方向に動作することにより、一次プ
レス工程で形成された被積層シートとグリーンシートの
予備圧着体を、キャリアフィルムを介して二次プレスす
ることにより、被積層シートをグリーンシートに圧着す
る二次プレス手段を備えているので、上記本願発明の積
層体の製造方法を効率よく実施して、デラミネーション
や接着不良などがなく、信頼性の高い積層体を効率よく
製造することが可能になる。

【００３８】また、請求項５の積層体の製造装置のよう
に、一次プレス工程で用いられる一次プレス手段とし
て、回転させながらキャリアフィルム上を所定の方向に
移動させることが可能なローラを用いることにより、一
次プレス手段をキャリアフィルムに押し付けながら円滑
に移動させ、積みずれを生じることなく、効率よく被積
層シートとグリーンシートの間の空気を追い出すことが
可能になり、本願発明をより実効あらしめることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願発明の一実施形態にかかる積層体の製造方
法を実施するのに用いた製造装置の概略構成を示す図で
ある。

【図２】本願発明の一実施形態にかかる積層体の製造方
法の一次プレス（予備プレス）工程を示す図である。

【図３】本願発明の一実施形態にかかる積層体の製造方
法の一次プレス（予備プレス）工程を示す図である。

【図４】本願発明の一実施形態にかかる積層体の製造方
法の一次プレス（予備プレス）工程を示す図である。

【図５】本願発明の一実施形態にかかる積層体の製造方
法の二次プレス（予備プレス）工程を示す図である。

【図６】従来の積層体の製造方法の一工程を示す図であ
る。

【図７】従来の積層体の製造方法の他の工程を示す図で
ある。

【図８】従来の積層体の製造方法のさらに他の工程を示
す図である。

【図９】従来の積層体の製造方法の他の例を示す図であ
る。

【符号の説明】

１ キャリアフィルム ２ａ グリーンシート（被積層シート） ２ｂ グリーンシート ３ テーブル（受圧板） ４ ローラ（一次プレス手段） １４ プレスヘッド（二次プレス手段） ２０ａ，２０ｂ 搬送ローラ ２３ 予備圧着体

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】キャリアフィルムに支持されたグリーンシ
   ートを積み重ねて積層体を製造する方法において、 キャリアフィルムの一方の面に支持されたグリーンシー
   ト（被積層シート）を、該被積層シートが積層、圧着さ
   れるべきグリーンシートと対向するように位置させる工
   程と、 前記キャリアフィルムを介して被積層シートをグリーン
   シートに押し付ける一次プレス（予備プレス）手段を、
   積みずれが生じない程度にキャリアフィルムに押し付け
   ながら略水平方向に移動させ、被積層シートとグリーン
   シートの間の空気を追い出しつつ、被積層シートをグリ
   ーンシートに予備的に圧着する一次プレス（予備プレ
   ス）工程と、垂直方向に動作する二次プレス手段を下降させることに
   より、 前記一次プレス（予備プレス）工程で形成された
   被積層シートとグリーンシートの予備圧着体を、キャリ
   アフィルムを介してプレスして、被積層シートをグリー
   ンシートに圧着する二次プレス工程と、二次プレス工程でグリーンシートに圧着された被積層シ
   ートから キャリアフィルムを剥離する剥離工程と、を具備し、かつ、 被積層シート一層ごとに、前記一次プレス（予備プレ
   ス）工程、前記二次プレス工程及び前記剥離工程を実施
   して積層体を形成 することを特徴とする積層体の製造方
   法。
2. 【請求項２】前記一次プレス（予備プレス）工程で用い
   られる一次プレス（予備プレス）手段が、回転させなが
   らキャリアフィルム上を所定の方向に移動させることが
   可能なローラであることを特徴とする請求項１記載の積
   層体の製造方法。
3. 【請求項３】所定枚数のグリーンシートを積層、圧着し
   た後に、全体をプレスして各グリーンシートを最終的に
   圧着する最終プレス（三次プレス）工程を備えているこ
   とを特徴とする請求項１又は２記載の積層体の製造方
   法。
4. 【請求項４】請求項１，２又は３記載の積層体の製造方
   法を実施するために用いられる積層体の製造装置であっ
   て、 前記一次プレス（予備プレス）工程で用いられ、積みず
   れが生じない程度に前記キャリアフィルムに押し付けら
   れながら略水平方向に移動することにより、前記キャリ
   アフィルムを介して被積層シートをグリーンシートに押
   し付けて、被積層シートとグリーンシートの間の空気を
   追い出しつつ、前記被積層シートを前記グリーンシート
   に予備的に圧着する一次プレス（予備プレス）手段と、 前記二次プレス工程で用いられ、垂直方向に動作するこ
   とにより、前記一次プレス工程で形成された被積層シー
   トとグリーンシートの予備圧着体を、キャリアフィルム
   を介して二次プレスすることにより、被積層シートをグ
   リーンシートに圧着する二次プレス手段とを具備するこ
   とを特徴とする積層体の製造装置。
5. 【請求項５】前記一次プレス（予備プレス）工程で用い
   られる一次プレス（予備プレス）手段が、回転させなが
   らキャリアフィルム上を所定の方向に移動させることが
   可能なローラであることを特徴とする請求項４記載の積
   層体の製造装置。