JPH1126279A - 積層セラミック電子部品の製造方法 - Google Patents

積層セラミック電子部品の製造方法

Info

Publication number
JPH1126279A
JPH1126279A JP18203497A JP18203497A JPH1126279A JP H1126279 A JPH1126279 A JP H1126279A JP 18203497 A JP18203497 A JP 18203497A JP 18203497 A JP18203497 A JP 18203497A JP H1126279 A JPH1126279 A JP H1126279A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
metal paste
ceramic
multilayer ceramic
thickness
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP18203497A
Other languages
English (en)
Inventor
Tatsuo Kikuchi
立郎 菊池
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP18203497A priority Critical patent/JPH1126279A/ja
Publication of JPH1126279A publication Critical patent/JPH1126279A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 一工程で誘電体セラミック層を介して重なり
合わない内部電極部分を誘電体セラミック層を介して重
なり合う内部電極部分よりも厚く形成できる積層セラミ
ック電子部品の製造方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 セラミック生シート4と金属ペースト膜
5とを交互にかつこの金属ペースト膜5が相対向する端
面に露出するように積層する工程と、次に焼成して金属
ペースト膜5の露出した端面に外部電極を形成する工程
とを備え、金属ペースト膜5は、セラミック生シート4
を介して重複する部分より非重複部分を厚く形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば積層セラミ
ックコンデンサなどの積層セラミック電子部品の製造方
法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】電子部品に対する小型化の要望は、それ
らが使用される電子機器の小型化、高機能化と相まって
限り無く増大している。また、積層セラミックコンデン
サにおいては、小型化と同時に大容量化も要望されてい
る。
【0003】大容量の積層セラミックコンデンサを得る
ためには、セラミック誘電体層の厚みを小さくし、積層
数を多くする方法がある。
【0004】従来の積層セラミックコンデンサは、次の
ような方法で製造されていた。例えば特開昭63−73
514号公報に示されるように、まず、セラミック誘電
体層となるセラミック生シートの表面に、内部電極とな
る金属ペースト膜の独立した矩形のパターンをスクリー
ン印刷により、多数個縦横に整列させて形成する。次
に、セラミック誘電体層を介して重なり合わない内部電
極上に再びスクリーン印刷を行い金属ペースト膜を形成
し、重なり合わない部分の内部電極の厚みを誘電体セラ
ミック層を介して重なり合う部分の内部電極の厚みの2
倍の厚みを有する金属ペースト膜を形成した。次いで、
この金属ペースト膜を形成したセラミック生シートを、
切断後に両端面から内部電極が交互に露出するよう金属
ペースト膜の矩形パターンを交互にずらして複数枚積層
し、加圧圧着して積層体ブロックを得る。次いで、この
積層体ブロックを切断して、個々の積層セラミックコン
デンサの生チップとする。その後、この生チップを焼成
し、所定部分に外部電極を形成して積層セラミックコン
デンサを得る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記方法
によると、誘電体セラミック層を介して重なり合わない
部分の内部電極の厚みを誘電体セラミック層を介して重
なり合う部分の内部電極の厚みの2倍の厚みを有する金
属ペースト膜を形成するためには、スクリーン印刷を2
回行うため一工程多くなり、従来に比してコストアップ
になるという欠点があるばかりでなく、2回目のスクリ
ーン印刷時の位置合わせが難しく、精度上技術的な問題
がある。
【0006】そこで本発明は、一工程で誘電体セラミッ
ク層を介して重なり合わない内部電極部分を誘電体セラ
ミック層を介して重なり合う内部電極部分よりも厚く形
成できる積層セラミック電子部品の製造方法を提供する
ことを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明の積層セラミック電子部品の製造方法は、複
数のセラミック生シートと複数の金属ペースト膜とを交
互に積層して積層体を得る第1の工程と、次いで前記積
層体を焼成して、所定の位置に外部電極を形成する第2
の工程とを備え、前記金属ペースト膜は、グラビア印刷
により前記セラミック生シートを介して重複する部分よ
り非重複部分を厚く形成することを特徴とするものであ
り、上記目的を達成することができる。
【0008】
【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、複数のセラミック生シートと複数の金属ペースト膜
とを交互に積層して積層体を得る第1の工程と、次いで
前記積層体を焼成して、所定の位置に外部電極を形成す
る第2の工程とを備え、前記金属ペースト膜は、グラビ
ア印刷により前記セラミック生シートを介して重複する
部分より非重複部分を厚く形成することを特徴とする積
層セラミック電子部品の製造方法であり、一工程で誘電
体セラミック層を介して重なり合わない内部電極部分の
方が誘電体セラミック層を介して重なり合う内部電極部
分よりも厚い内部電極を形成できるものである。
【0009】以下、本発明の実施の形態について、積層
セラミックコンデンサを例に図面に基づき説明する。
【0010】(実施の形態1)図1〜図7は、本実施の
形態における積層セラミックコンデンサの製造方法を説
明するための斜視図である。
【0011】まず、誘電体セラミック材料として、Ba
TiO3を主成分とし、これに副成分としてBaZr
3,MnO2およびDy23等を加えた酸化物の混合粉
末を添加した。この混合粉末をポリビニルブチルアルコ
ール樹脂系バインダ、可塑剤とともに有機溶剤中に分散
してセラミックスラリーとした。次にこのセラミックス
ラリーをドクターブレード法等により、図2に示すよう
に第1の支持フィルム1の片面に塗布し、これを乾燥し
て、セラミック誘電体層となるセラミック生シート4を
形成した。このセラミック生シート4の厚さは、約10
μmであった。
【0012】次に図3に示すように、第2の支持フィル
ム2に、ニッケル粉末と有機バインダと溶剤とからなる
金属ペースト膜5を、所定のパターン形状でグラビア印
刷し乾燥して、内部電極となる金属ペースト膜5を形成
した。なお内部電極ペーストの印刷は、積層の後、切断
して複数個の積層セラミックコンデンサを得ることを意
図しており、そのために内部電極となる金属ペースト膜
5の形成は、独立した矩形のパターンを縦横に整列させ
て形成した。
【0013】なお、本実施の形態で用いたグラビア印刷
の版の形状は、独立した矩形のパターン100の一部断
面斜視図を図7に示すように、金属ペースト膜5の厚さ
が、セラミック生シート4を介して対向する金属ペース
ト膜5と重なる部分は薄く、対向する金属ペースト膜5
と重ならない部分は厚くして内部電極において段差がで
きないように、対向する金属ペースト膜5と重なる部分
は浅く約2μm、対向する金属ペースト膜5と重ならな
い部分は深く約4μmとなるようにした。このとき、第
2の支持フィルム2上に形成した内部電極となる金属ペ
ースト膜5の厚さは、図1に示すように、重なる部分で
薄く約2μm、重ならない部分で厚く約4μmであっ
た。
【0014】次に、図4に示すように支持体として金属
板7を用い、この金属板7上に上記図2の第1の支持フ
ィルム1上に形成したセラミック生シート4を加圧転写
し、第1の支持フィルム1を除去するという工程を15
回繰り返して、下側の無効層となるセラミック生シート
層4aを形成した。
【0015】続いて、図5に示すようにこのセラミック
生シート層4aの上に、上記図3の第2の支持フィルム
2上に形成した内部電極となる金属ペースト膜5を加圧
転写し、第2の支持フィルム2を除去した。
【0016】さらに、この上に、上記図2の第1の支持
フィルム1上に形成したセラミック生シート4を加圧転
写し、第1の支持フィルム1を除去した。その後このセ
ラミック生シート4の上に、上記図3の第2の支持フィ
ルム2上に形成した内部電極となる金属ペースト膜5
を、先に加圧転写した内部電極となる金属ペースト膜に
対して図1に示すように一定寸法ずらして加圧転写し、
第2の支持フィルム2を除去した。このセラミック生シ
ート4の加圧転写と金属ペースト膜5の加圧転写とを繰
り返し、内部電極となる金属ペースト膜5を201層形
成した積層体を作成した。
【0017】この積層体の上に、上記図2の第1の支持
フィルム1上に形成したセラミック生シート4を加圧転
写し、第1の支持フィルム1を除去した。これを15回
繰り返して上側の無効層となるセラミック生シート層を
形成し、図6の積層セラミックコンデンサの積層体ブロ
ック8の完成状態を得た。上記の加圧転写、積層の工程
において、いずれの時点でも転写不良などの問題は発生
しなかった。
【0018】この積層セラミックコンデンサの積層体ブ
ロック8を、プレス機を用いて、500kgf/cm2の圧力
で加圧圧着した後、所定の寸法で切断して、個片の積層
セラミックコンデンサのグリーンチップとした。
【0019】これを、大気中で常温から最高温度350
℃まで30時間で昇温し、最高温度350℃で2時間保
持の処理をして、脱バインダ処理をした。その後、ニッ
ケルに対して還元雰囲気中、具体的には、600℃以上
でニッケルの平衡酸素分圧の100分の1の酸素濃度に
コントロールした雰囲気中で15時間、最高温度130
0℃で2時間保持の処理をして焼成して焼結体とし、外
部電極形成前の積層セラミックコンデンサの素子を得
た。
【0020】次に、上記積層セラミックコンデンサの素
子の内部電極が露出した両端面に、銅粉末、ガラスフリ
ット、有機バインダおよび有機溶剤からなる銅ペースト
を浸漬法により塗布し乾燥した後、これを窒素雰囲気中
で投入から取り出しまで1時間、最高温度900℃保持
時間10分間のベルト式焼付炉で処理し、内部電極に接
続する外部電極の第1の層を形成した。これをバレルめ
っき法により電気めっきして、ニッケル皮膜約3μm、
続いてスズ鉛合金皮膜約3μmを上記外部電極の第1の
層の上にめっき金属皮膜からなる外部電極の第2の層を
形成し、本発明の積層セラミックコンデンサの完成状態
を得た。
【0021】上記で得られたものについて、外観検査お
よび静電容量等の電気特性の検査、さらに、内部構造検
査を行った。この結果、いずれの検査結果とも良好で問
題はなかった。
【0022】(実施の形態2)図8は、本発明の積層セ
ラミックコンデンサの製造方法の一例としての第2の実
施の形態を説明するための斜視図であり、支持フィルム
の片面に形成したセラミック生シートの上に、グラビア
印刷で内部電極となる金属ペースト膜を形成したシート
である。
【0023】本実施の形態の積層セラミックコンデンサ
の製造方法を以下に詳細に説明する。
【0024】図2の第1の支持フィルム1の片面に形成
したセラミック生シート4を第1のシートとして使用し
た。
【0025】上記図2の第1のシートのセラミック生シ
ート4の上に、(実施の形態1)と同様に所定のパター
ン形状でグラビア印刷し、乾燥して、内部電極となる金
属ペースト膜15を形成し、図8に示す第2のシートと
した。なお、グラビア印刷の版の形状は、(実施の形態
1)と同様にした。
【0026】まず、支持体として金属板を用い、この金
属板上に上記図2の第1のシートのセラミック生シート
4を加圧転写し、第1の支持フィルム1を除去した。こ
れを15回繰り返して、下側の無効層となるセラミック
生シート層を形成した。
【0027】次に、このセラミック生シート層の上に、
上記図8のセラミック生シート4上に内部電極となる金
属ペースト膜15を形成した第2のシートを加圧転写
し、第1の支持フィルム1を除去した。さらに、この上
に、上記図8の第2のシートを、先に加圧転写した内部
電極となる金属ペースト膜15に対して内部電極となる
金属ペースト膜15を図1に示すように一定寸法ずらし
て加圧転写し、第1の支持フィルム1を除去した。これ
を繰り返し、合計で内部電極となる金属ペースト膜15
を200層形成した積層体を作成した。
【0028】この上に、上記図2の第1のシートのセラ
ミック生シート4を加圧転写し、第1の支持フィルム1
を除去した。これを15回繰り返して上側の無効層とな
るセラミック生シート層を形成し、積層セラミックコン
デンサの積層体ブロックの完成品を得た。上記の加圧転
写、積層の工程において、いずれの時点でも転写不良な
どの問題は発生しなかった。
【0029】この積層セラミックコンデンサの積層体ブ
ロックを、上記(実施の形態1)と同様な方法で、加圧
圧着、切断、脱バインダ処理、焼成して焼結体とし積層
セラミックコンデンサの素子を得、これに外部電極を形
成し、本発明の積層セラミックコンデンサの完成状態を
得た。
【0030】上記で得られたものについて、外観検査お
よび静電容量等の電気特性の検査、さらに、内部構造検
査を行った。この結果、いずれの検査結果とも良好で問
題はなかった。
【0031】以下に本発明についてポイントとなること
を述べる。 (1)内部電極となる金属として卑金属であるニッケル
を用いたが、これは、低コスト化のためであり、これに
限定されるものではなく一般的に使用される白金、パラ
ジウム等の貴金属を用いてもよい。 (2)セラミック生シート4の厚み、内部電極となる金
属ペースト膜5,15の厚みおよび積層数について具体
的数値を示したが、これは、本発明が、セラミック誘電
体層となるセラミック生シート4の厚みが小さく積層数
が多い場合に特に効果が大であることを示すもので、こ
れらに限定されるものでないことは言うまでもない。 (3)図3に示すように金属ペースト膜5を形成する際
は、所望の形状と同等以下の大きさに形成することによ
り、内部電極の位置ずれによる、内部電極の厚み差を防
止することができる。 (4)実施の形態においては積層セラミックコンデンサ
を例に説明したが、積層バリスタ、積層サーミスタなど
の積層セラミック電子部品においても同様の効果が得ら
れる。
【0032】
【発明の効果】以上本発明によると、従来のようにスク
リーン印刷を2回行う場合と異なり、グラビア印刷1回
で内部電極を形成できるので、位置合わせの問題もな
い。その結果、高品質な積層セラミック電子部品が、高
い生産性および歩留まりで製造でき、工業的価値は極め
て大となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1における積層セラミック
コンデンサの内部電極の形状と、対向する内部電極との
位置関係を示す斜視図
【図2】本発明の実施の形態1における積層セラミック
コンデンサの製造方法を説明するための斜視図
【図3】本発明の実施の形態1における積層セラミック
コンデンサの製造方法を説明するための斜視図
【図4】本発明の実施の形態1における積層セラミック
コンデンサの製造方法を説明するための斜視図
【図5】本発明の実施の形態1における積層セラミック
コンデンサの製造方法を説明するための斜視図
【図6】本発明の実施の形態1における積層セラミック
コンデンサの製造方法を説明するための斜視図
【図7】本発明の実施の形態1におけるグラビア印刷の
版の形状を示す断面斜視図
【図8】本発明の実施の形態2における積層セラミック
コンデンサの製造方法を説明するための斜視図
【符号の説明】
4 セラミック生シート 5 金属ペースト膜 8 積層体ブロック 15 金属ペースト膜

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のセラミック生シートと複数の金属
    ペースト膜とを交互に積層して積層体を得る第1の工程
    と、次いで前記積層体を焼成して、所定の位置に外部電
    極を形成する第2の工程とを備え、前記金属ペースト膜
    は、グラビア印刷により前記セラミック生シートを介し
    て重複する部分より非重複部分を厚く形成することを特
    徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。
JP18203497A 1997-07-08 1997-07-08 積層セラミック電子部品の製造方法 Pending JPH1126279A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18203497A JPH1126279A (ja) 1997-07-08 1997-07-08 積層セラミック電子部品の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18203497A JPH1126279A (ja) 1997-07-08 1997-07-08 積層セラミック電子部品の製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1126279A true JPH1126279A (ja) 1999-01-29

Family

ID=16111187

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18203497A Pending JPH1126279A (ja) 1997-07-08 1997-07-08 積層セラミック電子部品の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1126279A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010092896A (ja) * 2008-10-03 2010-04-22 Murata Mfg Co Ltd 積層セラミック電子部品およびその製造方法
US20150028487A1 (en) * 2013-07-26 2015-01-29 Infineon Technologies Ag Chip Package with Passives
US9070568B2 (en) 2013-07-26 2015-06-30 Infineon Technologies Ag Chip package with embedded passive component

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010092896A (ja) * 2008-10-03 2010-04-22 Murata Mfg Co Ltd 積層セラミック電子部品およびその製造方法
US8325462B2 (en) 2008-10-03 2012-12-04 Murata Manufacturing Co., Ltd. Laminated ceramic electronic component and method for manufacturing the same
US20150028487A1 (en) * 2013-07-26 2015-01-29 Infineon Technologies Ag Chip Package with Passives
US9070568B2 (en) 2013-07-26 2015-06-30 Infineon Technologies Ag Chip package with embedded passive component
US9190389B2 (en) * 2013-07-26 2015-11-17 Infineon Technologies Ag Chip package with passives

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3306814B2 (ja) 積層セラミック電子部品の製造方法
JP2000340448A (ja) 積層セラミックコンデンサ
JPH1126279A (ja) 積層セラミック電子部品の製造方法
JP2000243650A (ja) 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法
JP2004165375A (ja) セラミック積層体の製法
JP2000269074A (ja) 積層セラミックコンデンサとその製造方法
JP2003045740A (ja) 積層型電子部品
JPH06244050A (ja) 積層セラミックコンデンサ及びその積層グリーン体の製造方法
JP3148387B2 (ja) 積層セラミックコンデンサの製造方法
JPH1126287A (ja) 積層セラミック電子部品の製造方法
JPH0396207A (ja) 積層セラミック電子部品の製造方法
JP3962714B2 (ja) セラミック電子部品の製造方法
JPH1126278A (ja) 積層セラミック電子部品の製造方法
JP2004095687A (ja) 積層セラミックコンデンサ及びその製造方法
JPH06231992A (ja) 積層セラミックコンデンサ用グリーン体の製造方法
JPH09153429A (ja) 積層セラミック電子部品の製造方法
JPH05101969A (ja) 積層セラミツクコンデンサの製造方法
JP2946844B2 (ja) 積層セラミックコンデンサの製造方法
JP2002260953A (ja) 積層型電子部品
JP2004152908A (ja) セラミック積層体の製法
JPH03145111A (ja) チップ部品の製造方法
JPH06124848A (ja) 積層セラミックコンデンサの製造方法
JP3956191B2 (ja) 積層セラミック電子部品の製造方法
JP2876811B2 (ja) 積層セラミックコンデンサの製造方法
JPH0855754A (ja) 積層セラミック電子部品の製造方法