JP2003107526A - 液晶表示パネル - Google Patents

液晶表示パネル

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JP2003107526A
JP2003107526A JP2001306207A JP2001306207A JP2003107526A JP 2003107526 A JP2003107526 A JP 2003107526A JP 2001306207 A JP2001306207 A JP 2001306207A JP 2001306207 A JP2001306207 A JP 2001306207A JP 2003107526 A JP2003107526 A JP 2003107526A
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JP
Japan
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source
wiring
gate
liquid crystal
crystal display
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JP2001306207A
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English (en)
Inventor
Shin Morita
伸 森田
Tatsuya Wakimoto
竜也 脇本
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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  • Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 薄膜トランジスタを用いた液晶表示パネルに
おいて、ソース配線の断線による不良を無くす高品位な
液晶表示パネルを提供する。 【解決手段】 ソース配線11とゲート配線2および補
助容量との交差する部分を除いたソース配線の膜上層、
または膜下層でゲート配線と同じ層に、ソース配線と中
心線を合わせたソースバックアップ配線12を配し、ソ
ース配線11に断線が発生した場合、レーザー等でソー
ス配線11とソースバックアップ配線12とをショート
させ、あるいは予めショートさせておくことで、ソース
信号を途切れさせずに送ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄膜トランジスタ
を用いた液晶表示パネルに係り、特に、ソース配線に断
線があってもそれを容易に救済することのできる液晶表
示パネルに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種の液晶表示パネルを図4お
よび図5とともに説明する。図4は、従来の液晶表示パ
ネルの薄膜トランジスタ(以下TFTと呼ぶ)アレイ基
板の一部工程順平面図であり、図5は、そのTFT部分
の工程順断面図である。
【0003】図4および図5において、まず最初に、ガ
ラス基板1上に、アルミニウム,クロム等の金属を用い
てゲート配線2を形成する(図4および図5の
(a))。ゲート配線2は行方向に延在させる。その
後、ゲート絶縁膜として機能するシリコン窒化膜3、お
よびゲート電極の電位によってその抵抗率が変化し、T
FTをスイッチとして機能させる半導体膜4、さらに半
導体膜4とソース、ドレイン電極をオーミックコンタク
トさせるn半導体膜5を連続して堆積させる。そし
て、TFT部分に半導体膜4とn半導体膜5からなる
パターンを形成する(図4および図5の(b))。
【0004】次いで、チタン,アルミニウム等の導電体
膜で、ソース電極6a、ドレイン電極6b、および補助
容量7を形成する(図4および図5の(c))。ソース
電極6aに繋がる配線(以下、ソース配線11とする)
は、列方向に延在させる。この時、図5(c)に示した
ように、ソース電極6aとドレイン電極6bをマスクと
して、ソース電極とドレイン電極の間に存在するn
導体膜5および半導体膜4の一部をエッチングによって
除去する。また、補助容量7はゲート配線2と層間絶縁
膜(シリコン窒化膜3)を介して重なり、ゲート配線2
との間で容量を形成する。または、ゲート配線とは独立
した配線を、画素中央部を通るように配し、容量を形成
する場合もある。ドレイン電極6bは、ゲート配線2と
層間絶縁膜(シリコン窒化膜3)および半導体層を介し
て重なる。
【0005】次に、絶縁保護膜として機能するシリコン
窒化膜8を堆積させ、ドレイン電極6b上のシリコン窒
化膜上にコンタクトホール8aおよび補助容量7上にコ
ンタクトホール8bを開ける(図4および図5の
(d))。最後に、透明なITOからなる画素電極9を
形成する(図4および図5の(e))。画素電極9は、
シリコン窒化膜8に形成したコンタクトホール8a,8
bを介して、ドレイン電極6bおよび補助容量7と接続
される。画素電極9にはソース配線6aからスイッチの
役割を果たすTFTを通じて信号が入力される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ソース
配線11が表示エリアの途中で断線してしまった場合、
断線した部分から先は信号が入力できずに表示ができな
くなってしまう。このような場合、従来は、表示エリア
の外側にソース配線と交差するようにレスキューライン
を複数本配し、断線したソース配線と同じ信号をレスキ
ューラインに通し、断線したソース配線の反対側から信
号を入力して、非表示領域をなくす方法が取られてき
た。
【0007】しかし、レスキューラインの本数には制約
があり、断線を直す数にも限りがあるので、すべてを直
すことは不可能であった。
【0008】本発明は、上記従来の問題点を解決するも
ので、ソース配線の断線による不良をなくし、高歩留ま
りの液晶表示パネルを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、ソース配線の膜上か、あるいは膜下にお
けるゲート配線と同じ層にソースバックアップ配線を配
するものであり、これにより、ソース配線が断線して
も、ソース配線とソースバックアップ配線を導通させる
か、もしくは予め導通させておけば、ソース信号を途切
れさせることなく送ることができる。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら、詳細に説明する。
【0011】(実施の形態1)図1は、本発明の実施の
形態1における液晶表示パネルの一部平面を示したもの
で、11はソース配線、12はソースバックアップ配線
である。なお、その他の符号は、図3の従来例と同じも
のを使用している。
【0012】図1に示したものは、画素内に補助容量を
持たないタイプであり、ゲート配線2とソース配線11
とが交差する部分を除いたソース配線11の膜上層、ま
たは膜下層のゲート配線と同じ層にソースバックアップ
配線12を配置する。
【0013】ソース配線11の膜下にソースバックアッ
プ配線12を配置する場合は、まずゲート配線2をパタ
ーニングする時にソースバックアップ配線12も同時に
パターニングする。この時の線幅は5μm程とする。そ
してその後、ゲート絶縁膜としてシリコン窒化膜3、T
FTをスイッチとして機能させる半導体膜4および半導
体膜とソース、ドレイン電極をオーミックコンタクトさ
せるn半導体膜5を連続して堆積させ、TFT部分に
半導体膜4とn半導体膜5からなるパターンを形成す
る。その後、チタン、アルミニウム等の導電体膜でソー
ス電極6a、ドレイン電極6bおよび補助容量7を形成
する。この時のソース配線11の線幅はソースバックア
ップ配線12よりも細い4μm程とし、ソースバックア
ップ配線12の段差によるソース配線11の断線を防
ぐ。この時、ソース配線の、段差による断線を防ぐた
め、ソースバックアップ配線12とソース配線11の各
中心線は合わせておく。そして、ソース配線11がレジ
スト切れ、あるいは異物により、断線した場合、レーザ
ーなどでこのソース配線11とソースバックアップ配線
12をショートさせる。あるいはソース配線11の成膜
前にソースバックアップ配線12上のゲート絶縁膜を除
去する工程を入れ、ソースバックアップ配線12とソー
ス配線11を初めからショートさせておくことで、ソー
ス信号を途切れさせないようにするものである。
【0014】また、ソースバックアップ配線12をソー
ス配線11より後に形成する場合は、ソース配線11の
線幅を5μm、ソースバックアップ配線12の線幅を4
μm程度として、それぞれを形成するものである。
【0015】なお、実施の形態1の変形例として、図2
に示したように、画素電極内に補助容量7を持つタイプ
のものでは、ゲート配線2および補助容量配線とソース
配線11とが交差する部分を除いたソース配線11の膜
上層、または膜下層のゲート配線と同じ層にソースバッ
クアップ配線12を配置する。
【0016】(実施の形態2)図3は、本発明の実施の
形態2における液晶表示パネルの一部平面を示したもの
で、11はソース配線、13はソースバックアップ配線
である。なお、その他の符号は、図1と同じものを使用
している。
【0017】この例は、画素内に補助容量を持たないタ
イプであるが、図2のように画素内に補助容量を持って
いても構わない。そして、ソース配線11とゲート配線
2および補助容量との交差する部分を除いたソース配線
11の一部の膜上層、または膜下層でゲート配線2と同
じ層に、ソース配線11と画素電極9との間にできる光
抜け(ドメイン)を防止するように、ソース配線11か
らはみ出したソースバックアップ配線13を配する。こ
の場合、ソース配線11とソースバックアップ配線13
の各中心線はずれてもよい。
【0018】ソース配線の膜下にソースバックアップ配
線を配する場合は、まずゲート配線をパターニングする
時にソースバックアップ配線をパターニングする。この
時の線幅は6μm程度とする。その後、ゲート絶縁膜と
してシリコン窒化膜、TFTをスイッチとして半導体膜
4、および半導体膜とソース、ドレイン電極をオーミッ
クコンタクトさせるn半導体膜5を連続して堆積さ
せ、TFT部分に前記半導体膜とn半導体膜からなる
パターンを形成する。その後、チタン、アルミニウム等
の導電体膜で、ソース電極6a、ドレイン電極6bを形
成する。
【0019】この時のソース配線11の線幅はソースバ
ックアップ配線13よりも細い4μm程度とする。この
時、ソースバックアップ配線13とソース配線11の各
中心線は0.5μm右あるいは左にずらし、ソース配線
11の段差による断線を防ぐため、ソース配線11はソ
ースバックアップ配線13からはみ出さないようにす
る。
【0020】ソース配線とソースバックアップ配線の各
中心線をずらせることで、右あるいは左に多く出された
ソースバックアップ配線によって、ソース配線と11画
素電極9との間にできる光抜け部分を遮光することがで
き、カラーフィルタ側のブラックマトリクスを減らすこ
とができるので、高開口の画素形状を採用することがで
きる。
【0021】そして、ソース配線がレジスト切れ、ある
いは異物により、断線した場合、レーザーなどでこのソ
ース配線11とソースバックアップ配線13をショート
させる、あるいはソース配線成膜前にソースバックアッ
プ配線上のゲート絶縁膜を除去させる工程を入れ、ソー
スバックアップ配線とソース配線を初めからショートさ
せておくことで、ソース信号を途切れさせないようにす
るものである。
【0022】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
非常に大画面、狭額縁パネルに対し、レスキューライン
の本数に限界があり、あるいは配することができない場
合でも、ソース配線の断線による不良を無くすことがで
き、高歩留まりの液晶パネル作製をすることができると
いう効果がある。
【0023】また、ソースバックアップ配線の線幅を広
く取ることにより、ソースバックアップ配線によってソ
ース配線と画素電極との間にできる光抜け(ドメイン)
部分を遮光することができ、高開口にすることができる
とともに、ソース配線断線による不良を無くすことがで
き、高歩留まりの液晶パネル作製をすることができると
いう効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1における液晶表示パネル
の一部平面を示す図
【図2】図1の変形例を示す図
【図3】本発明の実施の形態2における液晶表示パネル
の一部平面を示す図
【図4】従来の液晶表示パネルにおけるTFTアレイ基
板の一部工程順平面図
【図5】従来の液晶表示パネルのTFTアレイ基板にお
けるTFT部分の工程順断面図
【符号の説明】
1 ガラス基板 2 ゲート配線 3 シリコン窒化膜 4 半導体膜 5 n半導体膜 6a ソース電極 6b ドレイン電極 7 補助容量 8a,8b コンタクトホール 9 画素電極 11 ソース配線 12,13 ソースバックアップ配線
フロントページの続き Fターム(参考) 2H092 JA24 JA41 JB31 JB33 JB52 JB71 JB73 NA16 NA29 5F033 HH08 HH18 MM15 VV00 VV15 XX36 5F110 AA27 BB01 CC07 FF03 GG42 HK03 HK04 HK08 HK21 HK32 HM19 NN72 NN73

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数本のゲート配線と、前記ゲート配線
    に直交する複数本のソース配線と、前記ゲート配線とソ
    ース配線の各交点にそれぞれ配置された薄膜トランジス
    タと、前記薄膜トランジスタのドレイン電極に接続され
    た画素電極とを備え、あるいはさらに補助容量部を備え
    た液晶表示パネルにおいて、 前記ソース配線と前記ゲート配線および前記補助容量と
    の交差する部分を除いた前記ソース配線の一部の膜上
    層、または膜下層でゲート配線と同じ層に、前記ソース
    配線と中心線を合わせたソースバックアップ配線を配し
    たことを特徴とする液晶表示パネル。
  2. 【請求項2】 複数本のゲート配線と、前記ゲート配線
    に直交する複数本のソース配線と、前記ゲート配線とソ
    ース配線の各交点にそれぞれ配置された薄膜トランジス
    タと、前記薄膜トランジスタのドレイン電極に接続され
    た画素電極とを備え、あるいはさらに補助容量部を備え
    た液晶表示パネルにおいて、 前記ソース配線と前記ゲート配線および前記補助容量と
    の交差する部分を除いた前記ソース配線の一部の膜上
    層、または膜下層でゲート配線と同じ層に、前記ソース
    配線と画素電極との間にできる光抜け(ドメイン)を防
    止するように前記ソース配線からはみ出したソースバッ
    クアップ配線を配したことを特徴とする液晶表示パネ
    ル。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008007583A1 (fr) * 2006-07-14 2008-01-17 Sharp Kabushiki Kaisha Dispositif d'affichage à cristaux liquides
WO2010024016A1 (ja) * 2008-08-28 2010-03-04 シャープ株式会社 表示パネル、表示装置及びテレビ受信装置
US7995177B2 (en) 2005-06-09 2011-08-09 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal display device
US8064018B2 (en) 2006-04-24 2011-11-22 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal display device
US8319926B2 (en) 2006-12-05 2012-11-27 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal display device
US8334954B2 (en) 2006-04-04 2012-12-18 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal display device

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7995177B2 (en) 2005-06-09 2011-08-09 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal display device
US8345197B2 (en) 2005-06-09 2013-01-01 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal display device
TWI405013B (zh) * 2005-06-09 2013-08-11 Sharp Kk 液晶顯示裝置
US9019455B2 (en) 2005-06-09 2015-04-28 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal display device
US8334954B2 (en) 2006-04-04 2012-12-18 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal display device
US8064018B2 (en) 2006-04-24 2011-11-22 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal display device
WO2008007583A1 (fr) * 2006-07-14 2008-01-17 Sharp Kabushiki Kaisha Dispositif d'affichage à cristaux liquides
US8319926B2 (en) 2006-12-05 2012-11-27 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal display device
WO2010024016A1 (ja) * 2008-08-28 2010-03-04 シャープ株式会社 表示パネル、表示装置及びテレビ受信装置
US8300163B2 (en) 2008-08-28 2012-10-30 Sharp Kabushiki Kaisha Display panel, display device, and television receiver

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