JP2003102145A - 磁気浮上モータ、及び磁気軸受装置 - Google Patents

磁気浮上モータ、及び磁気軸受装置

Info

Publication number
JP2003102145A
JP2003102145A JP2001293022A JP2001293022A JP2003102145A JP 2003102145 A JP2003102145 A JP 2003102145A JP 2001293022 A JP2001293022 A JP 2001293022A JP 2001293022 A JP2001293022 A JP 2001293022A JP 2003102145 A JP2003102145 A JP 2003102145A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
rotor
stator
bearing
path portion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2001293022A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3949916B2 (ja
Inventor
Hideki Kanebako
秀樹 金箱
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nidec Instruments Corp
Original Assignee
Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd filed Critical Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2001293022A priority Critical patent/JP3949916B2/ja
Priority to US10/253,576 priority patent/US20030057784A1/en
Publication of JP2003102145A publication Critical patent/JP2003102145A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3949916B2 publication Critical patent/JP3949916B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/0459Details of the magnetic circuit
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/0474Active magnetic bearings for rotary movement
    • F16C32/0493Active magnetic bearings for rotary movement integrated in an electrodynamic machine, e.g. self-bearing motor
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K7/00Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
    • H02K7/08Structural association with bearings
    • H02K7/09Structural association with bearings with magnetic bearings
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2380/00Electrical apparatus
    • F16C2380/26Dynamo-electric machines or combinations therewith, e.g. electro-motors and generators
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K21/00Synchronous motors having permanent magnets; Synchronous generators having permanent magnets
    • H02K21/12Synchronous motors having permanent magnets; Synchronous generators having permanent magnets with stationary armatures and rotating magnets
    • H02K21/22Synchronous motors having permanent magnets; Synchronous generators having permanent magnets with stationary armatures and rotating magnets with magnets rotating around the armatures, e.g. flywheel magnetos

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
  • Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
  • Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複合化された軸浮上モータのバイアス磁束を
用いて、ラジアル磁気軸受又はモータとスラスト磁気軸
受とを複合化して小型化を可能にした磁気軸受装置又は
磁気浮上モータを得る。 【解決手段】 ロータ11側に設けたロータ側スラスト
軸受用磁路部を間に挟んで二つのステータ側スラスト軸
受用磁路部を設け、ラジアル浮上制御磁束を形成するた
めのバイアス磁束B1,B2が、ロータ側スラスト軸受
用磁路部とステータ側スラスト軸受用磁路部との間に形
成される半径方向ギャップを通過するように構成され、
かつ、上記ラジアル浮上制御磁束を形成するためのバイ
アス磁束B1,B2中に、軸を中心として巻回されたV
CM(ボイスコイルモータ)方式による良好な軸受特性
を備えたスラスト制御用コイル7が配置されたもの。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ロータを浮上制御
するためのラジアル磁気軸受及びスラスト磁気軸受を備
えた磁気浮上モータ及び磁気軸受装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】各種機器において広く用いられている軸
受装置には、一般的な接触型の軸受のほかに、磁力を利
用して回転軸等の回転体を浮上させ、これを無接触で支
持するようにした磁気軸受装置がある。磁気軸受装置を
用いれば、軸受部の摩擦係数がほぼゼロに近いため高速
回転が可能になる。また、磁気軸受は潤滑油を必要とし
ないため、高温、低温あるいは真空中など、特殊環境下
での使用が可能となり、さらに、メンテナンスを要しな
いという利点がある。
【0003】このような利点から、磁気軸受装置をモー
タのロータ支持に用いることが考えられている。磁気軸
受装置を有するモータの基本的構成は、磁気軸受装置、
回転力発生機構すなわちモータ部、磁気軸受装置、とい
う順序で、それらを回転軸線方向に配置したものであ
る。しかしながら、このような配置では、モータ部の両
側に磁気軸受を配置するため軸長が増加し、固有振動数
が低くなって危険速度が低下するという難点がある。
【0004】そこで、磁気軸受装置のステータが交流モ
ータのステータとほぼ同じ構造であることに着目し、磁
気軸受装置とモータとを一体化した磁気浮上モータの提
案が従来からなされている。その磁気浮上モータの一形
式として、ハイブリッド型磁気浮上モータがあるが、こ
のものは、永久磁石を用いてロータ内部から放射状に広
がる一定磁束を作り、ロータの浮上制御を一般的な磁気
軸受装置と同様に2極の直流磁場で行うことができるよ
うにしたものである。このハイブリッド型磁気浮上モー
タによれば、永久磁石で一定の磁束を作り出すので、電
力を消費することなくバイアス吸引力を発生させること
ができ、電磁石は制御力のみを分担すればよいという利
点がある。
【0005】このとき、従来のハイブリッド型磁気浮上
モータは、ラジアル磁気軸受とモータとのハイブリッド
であり、スラスト軸受については、磁気浮上式スラスト
軸受としてのみ機能する磁気軸受をモータに付加した構
成になっている。一方、磁気軸受としては、磁気回路を
工夫することにより、ラジアル磁気軸受とスラスト磁気
軸受とを複合した磁気軸受が提案されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の磁気軸受とモータとを一体化した磁気浮上モータは、
ラジアル磁気軸受とモータとの複合であって、スラスト
軸受は、スラスト軸受として単独に機能するスラスト磁
気軸受を付加しただけのものである。スラスト磁気軸受
は、モータ全体の中で大きな部分を占めており、磁気浮
上モータの小型化の妨げとなっている。また、ラジアル
磁気軸受とスラスト磁気軸受とを複合した磁気軸受を用
いた場合も、モータは別個に必要となるから、やはり、
磁気浮上モータの小型化の妨げとなっている。
【0007】なお、本願発明者は、特願2000−00
0388号において、ハイブリッド型ラジアル磁気浮上
モータとスラスト磁気軸受とを磁気回路的に一体化し、
スラスト磁気磁気受のバイアス磁束をハイブリッド型ラ
ジアル磁気浮上モータと兼用させるようにした構成を既
に提案しているが、このものでは、バイアス磁束が大き
くなるとスラスト方向の負の磁気バネ特性が大きくなる
傾向があり、スラスト磁気軸受の制御が不安定になる問
題がある。
【0008】本発明は、以上のような従来技術の問題点
を解消するためになされたもので、ハイブリッド型磁気
浮上モータ、又は磁気軸受装置のバイアス磁束を用い
て、その磁路内にスラスト軸受を配置し、これによっ
て、磁気浮上モータとスラスト磁気軸受とを複合化し小
型化を可能にしつつ、スラスト方向において安定した軸
支持制御を行わせることができるようにした磁気浮上モ
ータ及び磁気軸受装置を提供することを目的とする。本
発明はまた、バイアス磁束を用いることにより、一つの
コイルでスラスト軸受の制御が可能となるとともに、バ
イアス電流を必要としないため、消費電力を小さくする
ことができる磁気浮上モータ及び磁気軸受装置を提供す
ることを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
請求項1にかかる磁気浮上モータでは、磁性体からなり
周面に永久磁石が固着されたロータと、このロータをラ
ジアル方向に浮上制御するための浮上制御磁束を発生す
る第1のステータ巻線及び上記ロータに対して回転磁界
を発生させる第2のステータ巻線が巻回されたステータ
コア部と、を備えた磁気浮上モータにおいて、上記ロー
タにロータ側スラスト軸受用磁路部が形成されていると
ともに、前記ステータに上記ロータ側スラスト軸受用磁
路部と半径方向に対向するステータ側スラスト軸受用磁
路部が設けられ、上記ラジアル浮上制御磁束を形成する
ためのバイアス磁束が、上記ロータ側スラスト軸受用磁
路部とステータ側スラスト軸受用磁路部との間に形成さ
れる半径方向ギャップを通過するように構成され、か
つ、上記ラジアル浮上制御磁束を形成するためのバイア
ス磁束中に、スラスト軸受荷重の支持力を生成するスラ
スト制御用コイルが配置されたものであって、上記スラ
スト制御用コイルは、上記ロータ側スラスト軸受用磁路
部又はステータ側スラスト軸受用磁路部の一方側に対し
て回転の軸を中心として巻回されている。このような構
成を有する磁気浮上モータによれば、ラジアル磁気軸受
とモータとを複合化した磁気浮上モータに対して、軸を
中心として巻回されたVCM(ボイスコイルモータ)方
式による良好なスラスト軸受特性を備えたスラスト磁気
軸受が複合化される。
【0010】また、請求項2にかかる磁気浮上モータで
は、請求項1におけるロータ側スラスト軸受用磁路部及
びステータ側スラスト軸受用磁路部が、回転の軸を中心
とした略円筒状の部材から形成されているとともに、当
該略円筒状の部材の外周面に、前記スラスト制御用コイ
ルが巻回されていることから、小さいスペース内にスラ
スト制御用コイルが収容されるようになっている。
【0011】さらに、請求項3にかかる磁気浮上モータ
では、請求項1におけるスラスト制御用コイルが短絡さ
れていることから、スラスト方向の振動に対して、電力
を消費することなくスラスト方向のダンパー作用が得ら
れるようになっている。
【0012】さらにまた、請求項4にかかる磁気浮上モ
ータでは、請求項1に加えて、ステータコア部が、軸方
向に二つ並べて配置されているとともに、その二つのス
テータコア部の間に、前記ロータ側スラスト軸受用磁路
部とステータ側スラスト軸受用磁路部との半径方向対向
部分が配置されていることから、実質的に二つのモータ
部が設けられ、この二つのモータ部のスラスト荷重を一
つのスラスト磁気軸受で支持する構造になり、スラスト
磁気軸受までも有していながら、大きな出力が得られる
割にコンパクト化されるようになっている。
【0013】さらに、請求項5にかかる磁気浮上モータ
では、請求項1に加えて、ステータコア部とステータ側
スラスト軸受用磁路部とが、軸方向に並べて配置されて
いることから、スラスト方向の制御力が大きくされてス
ラスト方向の制御を迅速かつ安定的に行われるようにな
っている。
【0014】さらにまた、請求項6にかかる磁気浮上モ
ータでは、請求項1におけるロータが、アウタロータ型
またはインナーロータ型のいずれかであり、請求項7に
かかる磁気浮上モータでは、請求項1におけるバイアス
磁束を発生させるバイアスマグネットがロータ側に配置
されているとともに、ロータ側にはステータコア部と対
向して回転トルクを発生させるリング状ロータマグネッ
トが配置され、請求項8にかかる磁気浮上モータでは、
請求項1におけるバイアス磁束を発生させるバイアスマ
グネットがステータ側に配置され、ロータ側にはステー
タコア部と対向して回転トルクを発生させるリング状ロ
ータマグネットが配置されている。
【0015】一方、請求項9にかかる磁気軸受装置で
は、磁性体からなり周面に永久磁石が固着されたロータ
と、このロータをラジアル方向に浮上制御するためのラ
ジアル浮上制御磁束を発生するステータ巻線が巻回され
たステータコアと、を備えた磁気軸受装置において、上
記ロータにロータ側スラスト軸受用磁路部が形成されて
いるとともに、前記ステータに上記ロータ側スラスト軸
受用磁路部と半径方向に対向するステータ側スラスト軸
受用磁路部が設けられ、上記ラジアル浮上制御磁束を形
成するためのバイアス磁束が、上記ロータ側スラスト軸
受用磁路部とステータ側スラスト軸受用磁路部との間に
形成される半径方向ギャップを通過するように構成さ
れ、かつ、上記ラジアル浮上制御磁束を形成するための
バイアス磁束中に、スラスト軸受荷重の支持力を生成す
るスラスト制御用コイルが配置されたものであって、上
記スラスト制御用コイルは、上記ロータ側スラスト軸受
用磁路部又はステータ側スラスト軸受用磁路部の一方側
に対して回転の軸を中心として巻回されている。このよ
うな構成を有する磁気軸受装置によれば、ラジアル磁気
軸受装置に対して、軸を中心として巻回されたVCM
(ボイスコイルモータ)方式による良好なスラスト軸受
特性を備えたスラスト磁気軸受が複合化される。
【0016】また、請求項10にかかる磁気軸受装置で
は、請求項9におけるロータ側スラスト軸受用磁路部及
びステータ側スラスト軸受用磁路部が、回転の軸を中心
とした略円筒状の部材から形成されているとともに、当
該略円筒状の部材の外周面に、前記スラスト制御用コイ
ルが巻回されていることから、小さいスペース内にスラ
スト制御用コイルが収容されるようになっている。
【0017】さらに、請求項11にかかる磁気軸受装置
では、請求項9におけるスラスト制御用コイルが短絡さ
れていることから、スラスト方向の振動に対して、電力
を消費することなくスラスト方向のダンパー作用が得ら
れるようになっている。
【0018】さらにまた、請求項12にかかる磁気軸受
装置では、請求項9に加えて、ステータコア部とステー
タ側スラスト軸受用磁路部とが、軸方向に並べて配置さ
れていることから、スラスト方向の制御力が大きくされ
てスラスト方向の制御を迅速かつ安定的に行われるよう
になっている。
【0019】また、請求項13にかかる磁気軸受装置で
は、請求項9におけるロータが、アウタロータ型または
インナーロータ型のいずれかであり、請求項14にかか
る磁気軸受装置では、請求項9におけるバイアス磁束を
発生させるバイアスマグネットがロータ側に配置され、
請求項15にかかる磁気軸受装置では、請求項9におけ
るバイアス磁束を発生させるバイアスマグネットがステ
ータ側に配置されている。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
にかかる磁気浮上モータの実施の形態について説明す
る。図1において、基台フレーム1から図示上方に向か
って一体に延びた固定軸2には、軸方向に沿って、第1
のステータコア3、ステータヨーク4、及び第2ステー
タコア5が、順に挿通するようにして装着されている。
上記第1のステータコア3は、前記固定軸2の図示下部
に設けられた段部2aに軸方向に当接して位置決めされ
ているとともに、上記固定軸2の図示上端部分にネジ止
め固定されたクランプ部材6によって、上記第2ステー
タコア5が軸方向に押さえられ、それによって上記各部
材3,4,5が固定軸2に固定されている。
【0021】上記ステータヨーク4は、略円筒状の部材
から形成されたステータ側スラスト軸受用磁路部を構成
するものであって、そのコイルボビン形状をなすステー
タヨーク4の外周部に、軸を中心として巻回された形で
スラスト制御用コイル7が絶縁体を介して配置されてい
る。また、上記各第1及び第2のステータコア3,5に
は、それぞれステータ巻線8,9が巻き回されている。
これらの各ステータ巻線8,9は、後で詳細に説明する
ロータ11をラジアル方向に浮上制御するための2極の
浮上制御磁束を発生する第1のステータ巻線と、上記ロ
ータ11に対して回転磁界を発生させる第2のステータ
巻線とからなる。
【0022】上記第1及び第2のステータコア3,5、
及びステータヨーク4等を有してなるステータの外周側
には、ロータ11が回転可能に支持されている。このロ
ータ11は、円筒状の磁性材からなるロータスリーブ1
2を主体としてなるものであって、そのロータスリーブ
12が、上記ステータを環状に囲むようにして配置され
ている。このロータスリーブ12の内周壁面側には、軸
方向の略中央部分に内方側に突出するフランジ状ヨーク
13が、ロータ側スラスト軸受用磁路部を構成するよう
に一体的に形成されている。このフランジ状ヨーク13
の内周端面は、上述したステータヨーク4に巻回された
スラスト制御用コイル7に対して、半径方向外方側から
近接対向するように配置されている。
【0023】また、上記ロータスリーブ12の内周側壁
面における軸方向の両端(図示上下端)部分には、リン
グ状の永久磁石からなる第1のロータマグネット14及
び第2のロータマグネット15が、第1のロータヨーク
13A及び第2のロータヨーク13Bを介在してそれぞ
れ固着されている。これら第1及び第2のロータマグネ
ット14,15は、上述した第1及び第2のステータコ
ア3,4の外周側端面に対して半径方向に近接するよう
に配置されている。
【0024】さらに、上述したロータスリーブ12にお
ける前記フランジ状ヨーク13の軸方向両側部分には、
第1のバイアスマグネット21及び第2のバイアスマグ
ネット22が配置されている。これらの各バイアスマグ
ネット21,22は、リング状に形成されて軸方向に着
磁されている。したがって、上記第1のバイアスマグネ
ット21に関しては、当該第1のバイアスマグネット2
1−フランジ状ヨーク13−スラスト制御用コイル7−
ステータヨーク4−第1のステータコア3−第1のロー
タヨーク13A−第1のバイアスマグネット21の順に
巡るバイアス磁束B1が形成される。また、第2のバイ
アスマグネット22に関しては、当該第2のバイアスマ
グネット22−フランジ状ヨーク13−スラスト制御用
コイル7−ステータヨーク4−第2のステータコア5−
第2のロータヨーク13B−第2のバイアスマグネット
22の順に巡るバイアス磁束B2が形成される。
【0025】上記両バイアス磁束B1,B2の磁路は、
スラスト軸受用の磁路であって、それぞれステータ側ス
ラスト軸受用磁路とロータ側スラスト軸受用磁路に分け
ることができる。そして、ロータスリーブ12側のフラ
ンジ状ヨーク13と、ステータ側のステータヨーク4に
設けられたスラスト制御用コイル7との間に、半径方向
のギャップがあり、この半径方向ギャップを、上記両バ
イアス磁束B1,B2がそれぞれ通過するように構成さ
れている。
【0026】すなわち、上記スラスト制御用コイル7
は、VCM(ボイスコイルモータ)方式によるスラスト
軸受装置を構成するものであって、当該スラスト制御用
コイル7への通電を制御することにより、当該スラスト
制御用コイル7を横切る上記両バイアス磁束B1,B2
とあいまって、スラスト制御用コイル7にローレンツ力
が発生し、その反力の大きさによって、上記ロータ11
の軸方向の位置が制御されるように構成されている。よ
り具体的には、図示されないセンサがロータ11の軸方
向の位置を検知し、ロータ11の軸方向の位置が一方に
偏ろうとすると、上記センサの出力に基づいてスラスト
制御用コイル7の正逆方向の通電およびその電流を制御
し、ロータ11の軸方向の位置(スラスト方向の位置)
を所定位置に制御する。
【0027】一方、上述した第1のステータコア3及び
第2のステータコア5と、ステータ巻線8,9と、前記
第1のロータマグネット14及び第2のロータマグネッ
ト15とによって、ラジアル磁気軸受とモータとが複合
化されている。すなわち、上記ステータ巻線8,9は、
それぞれ第1のステータ巻線と第2のステータ巻線とか
ら構成されており、図示しないセンサがロータ11のラ
ジアル方向の位置を検知し、ロータ11のラジアル方向
の位置が一方に偏ろうとすると、上記センサの出力に基
づいて上記第1のステータ巻線の通電を制御し、上述し
たバイアス磁束B1,B2と、第1のステータ巻線から
発生する2極のラジアル浮上制御磁束との相互作用によ
って上記ロータ11をラジアル方向に浮上制御し、その
ロータ11のラジアル方向位置を所定位置に保って、ラ
ジアル方向に非接触で支持する。また、上記第2のステ
ータ巻線の通電を制御することにより、上記ロータ11
に対して回転磁界を発生させ、ロータマグネット14,
15との相互作用によりロータ11を回転駆動する。
【0028】以上説明したとおり、図1に示す実施の形
態は、ラジアル磁気軸受とモータとを複合化した磁気浮
上モータに、ロータ側スラスト軸受用磁路部と、このロ
ータ側スラスト軸受用磁路部に半径方向に対向するステ
ータ側スラスト軸受用磁路部を設け、ラジアル浮上制御
磁束を形成するためのバイアス磁束B1,B2が、ロー
タ側スラスト軸受用磁路部とステータ側スラスト軸受用
磁路部との間に配置されたVCM(ボイスコイルモー
タ)方式によるスラスト制御用コイル7を通過するよう
に構成され、スラスト制御用コイル7に通電することに
よりスラスト軸受荷重を支持するように構成されてい
る。そのため、ラジアル磁気軸受とモータとを複合化し
た磁気浮上モータに対して、スラスト磁気軸受も複合化
することができ、小型化して軸長を短くすることが可能
になり、高速化を図ることができることに加えて、VC
M(ボイスコイルモータ)方式による良好なスラスト軸
受特性が得られるようになっている。
【0029】また、上記実施の形態によれば、第1のス
テータコア3及び第2のステータコア5を軸方向に二つ
並べて配置するとともに、この二つの第1のステータコ
ア3及び第2のステータコア5の間に、ロータ側スラス
ト軸受用磁路部とロータ側スラスト軸受用磁路部との半
径方向ギャップを形成しているため、実質的に二つのモ
ータ部が設けられ、この二つのモータ部のスラスト荷重
を一つのスラスト磁気軸受で支持する構造になり、スラ
スト磁気軸受までも有していながら、大きな出力が得ら
れる割にコンパクトな磁気浮上モータを得ることができ
る。
【0030】さらに、第1のステータコア3及び第2の
ステータコア5とステータ側スラスト軸受用磁路部とを
軸方向に並べて配置したため、スラスト方向の制御力が
大きく、スラスト方向の制御を迅速かつ安定に行うこと
ができる。
【0031】一方、図2に示された実施の形態では、バ
イアス磁束B1,B2を形成するバイアスマグネット3
1を、ステータ側のステータヨーク4内に配置したもの
であって、このような実施形態においても、上述した実
施形態と同様な作用・効果が得られる。
【0032】また、本発明は、図3に示されているよう
なハイブリッド型の磁気軸受装置に対しても同様に適用
することができる。すなわち、図3に示されているよう
に、略中空円筒状のステータコア41の内部側には、ロ
ータ42が回転可能に支持されており、そのロータ42
の回転軸43には、軸方向に沿って、第1のロータヨー
ク44、中央ロータヨーク45、及び第2のロータヨー
ク46が、順に配置されている。上記中央ロータヨーク
45は、ロータ側スラスト軸受用磁路部を構成する略円
筒状のコイルボビン状部材から形成されており、当該中
央ロータヨーク45の外周部に、軸を中心として巻回さ
れた形でスラスト制御用コイル47が配置されている。
【0033】上記第1及び第2のロータヨーク44,4
6、及び中央ロータヨーク45等を有してなるロータ4
2の外周側に配置されたステータコア41は、略中空円
筒状の磁性材からなるステータ側スラスト軸受用磁路部
を構成するコアリブ48を主体としてなるものであっ
て、そのコアリブ48が、上記ロータ42を囲むように
して配置されている。このコアリブ48の軸方向両端部
分における内周側には、中心側に向かって突出する第1
のコア突極51、及び第2のコア突極52が一体に形成
されている。これら第1及び第2のコア突極51,52
の内周側端面は、上述した第1及び第2のロータヨーク
44,46に対して、半径方向外方側からそれぞれ近接
対向するように配置されている。
【0034】上記各第1及び第2のコア突極51,52
には、それぞれステータ巻線53,54が巻き回されて
いる。これらの各ステータ巻線53,54は、前記ロー
タ42をラジアル方向に浮上制御するための2極の浮上
制御磁束を発生するよう巻回された巻線からなる。
【0035】また、上述したコアリブ48には、第1の
バイアスマグネット55及び第2のバイアスマグネット
56が、軸方向に適宜の間隔離して配置されている。こ
れらの各バイアスマグネット55,56は、リング状に
形成されて軸方向に着磁されている。したがって、第1
のバイアスマグネット55−コアリブ48−スラスト制
御用コイル47−中央ロータヨーク45−第1のロータ
ヨーク44−第1のコア突極51−コアリブ48−第1
のバイアスマグネット55の順に巡るバイアス磁束B1
が形成される。また、第2のバイアスマグネット56−
コアリブ48−スラスト制御用コイル47−中央ロータ
ヨーク45−中央ロータヨーク45−第2のコア突極5
2−コアリブ48−第2のバイアスマグネット56の順
に巡るバイアス磁束B2が形成される。
【0036】上記両バイアス磁束B1,B2の磁路は、
スラスト軸受用の磁路であって、それぞれステータ側ス
ラスト軸受用磁路とロータ側スラスト軸受用磁路に分け
ることができる。そして、コアリブ48側のコア突極5
1,52と、ステータ側の中央ロータヨーク45に設け
られたスラスト制御用コイル47との間に、半径方向の
ギャップがあり、この各ギャップを上記両バイアス磁束
B1,B2がそれぞれ通過するように構成されている。
【0037】すなわち、上記スラスト制御用コイル47
は、VCM(ボイスコイルモータ)方式によるスラスト
軸受装置を構成するものであって、当該スラスト制御用
コイル47への通電を制御することにより、当該スラス
ト制御用コイル47を横切る上記両バイアス磁束B1,
B2とあいまって、スラスト制御用コイル47にローレ
ンツ力が発生し、その反力の大きさによって、上記ロー
タ42の軸方向の位置が制御されるように構成されてい
る。より具体的には、図示されないセンサがロータ42
の軸方向の位置を検知し、ロータ42の軸方向の位置が
一方に偏ろうとすると、上記センサの出力に基づいてス
ラスト制御用コイル47の正逆方向の通電およびその電
流を制御し、ロータ42の軸方向の位置(スラスト方向
の位置)を所定位置に制御する。
【0038】一方、上述した第1及び第2のコア突極5
1,52と、第1及び第2のステータ巻線53,54と
によって、ラジアル磁気軸受が構成されている。すなわ
ち、図示しないセンサがロータ42のラジアル方向の位
置を検知し、ロータ42のラジアル方向の位置が一方に
偏ろうとすると、上記センサの出力に基づいて上記両ス
テータ巻線53,54の通電を制御し、上述したバイア
ス磁束B1,B2と、第1のステータ巻線から発生する
2極のラジアル浮上制御磁束との相互作用により、ロー
タ42をラジアル方向に浮上制御し、ロータ42のラジ
アル方向の位置を所定位置に保つことによってラジアル
方向に非接触で支持する。
【0039】以上説明したとおり、図3に示す実施の形
態は、磁気浮上型のラジアル磁気軸受に、ロータ側スラ
スト軸受用磁路部と、このロータ側スラスト軸受用磁路
部に半径方向に対向するステータ側スラスト軸受用磁路
部を設け、ラジアル浮上制御磁束を形成するためのバイ
アス磁束B1,B2が、ロータ側スラスト軸受用磁路部
とステータ側スラスト軸受用磁路部との間に配置された
VCM(ボイスコイルモータ)方式によるスラスト制御
用コイル47を通過するように構成され、スラスト制御
用コイル47に通電することによりスラスト軸受荷重を
支持するようにした。そのため、ラジアル磁気軸受に対
して、スラスト磁気軸受も複合化することができ、小型
化して軸長を短くすることが可能になることに加えて、
VCM(ボイスコイルモータ)方式による良好なスラス
ト軸受特性が得られるようになっている。
【0040】以上、本発明者によってなされた発明の実
施形態を具体的に説明したが、本発明は、上記実施形態
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変形可能であることはいうまでもない。
【0041】例えば、上述した各実施形態のように、本
発明は、アウタロータ型、インナーロータ型にかからわ
ず適用することができ、本発明にかかる磁気軸受装置
は、モータ以外の多種多様な装置に用いられる各種軸受
装置に対しても同様に用いることができる。
【0042】また、上述した各実施形態におけるVCM
(ボイスコイルモータ)方式によるスラスト制御用コイ
ルは、短絡させた状態で配置することも可能であり、そ
のように構成することによって、スラスト方向の振動に
対して電力を消費することなくダンパー作用を持たせる
ことができる。
【0043】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1にかかる
磁気浮上モータは、ラジアル磁気軸受とモータとを複合
化した磁気浮上モータに対して、軸を中心として巻回さ
れたVCM(ボイスコイルモータ)方式による良好な軸
受特性を備えたスラスト磁気軸受を複合化させたもので
あるから、小型化して軸長を短くすることが可能にな
り、高速化を図ることができることに加えて、スラスト
方向の軸受制御を安定的に行わせることができ、極めて
実用性の高い磁気浮上モータを得ることができる。
【0044】また、請求項2にかかる磁気浮上モータ
は、請求項1におけるロータ側スラスト軸受用磁路部及
びステータ側スラスト軸受用磁路部を、回転の軸を中心
とした略円筒状の部材から形成し、当該略円筒状の部材
の外周面にスラスト制御用コイルを巻回して、小さいス
ペース内にスラスト制御用コイルを収容したものである
から、装置の小型化を一層図ることができる。
【0045】さらに、請求項3にかかる磁気浮上モータ
は、請求項1におけるスラスト制御用コイルを短絡し、
スラスト方向の振動に対して電力を消費することなくダ
ンパー作用を得るようにしたものであるから、上述した
請求項1にかかる発明の効果に加えて、消費電力の低減
化を図ることができる。
【0046】さらにまた、請求項4にかかる磁気浮上モ
ータは、請求項1に加えて、ステータコアを軸方向に二
つ並べて配置するとともに、この二つのステータコア部
の間に、ロータ側スラスト軸受用磁路部と、二つのステ
ータ側スラスト軸受用磁路部とを形成して、実質的に二
つのモータ部を設け、その二つのモータ部のスラスト荷
重を一つのスラスト磁気軸受で支持する構造とし、スラ
スト磁気軸受までも有していながら、大きな出力が得ら
れる割にコンパクト化されるように構成したものである
から、上述した請求項1にかかる発明の効果をさらに向
上させることができる。
【0047】また、請求項5にかかる磁気浮上モータ
は、請求項1に加えて、ステータコア部とステータ側ス
ラスト軸受用磁路部とを軸方向に並べて配置して、スラ
スト方向の制御力を大きくし、スラスト方向の制御を迅
速かつ安定的に行われるようにしてものであるから、上
述した請求項1にかかる発明の効果を一層高めることが
できる。
【0048】一方、請求項9にかかる磁気軸受装置は、
ラジアル磁気軸受に対して、軸を中心として巻回された
VCM(ボイスコイルモータ)方式による良好な軸受特
性を備えたスラスト磁気軸受を複合化させたものである
から、小型化して軸長を短くすることが可能とすること
ができることに加えて、スラスト方向の軸受制御を安定
的に行わせることができ、極めて実用性の高い磁気軸受
装置を得ることができる。
【0049】また、請求項10にかかる磁気軸受装置
は、請求項9におけるロータ側スラスト軸受用磁路部及
びステータ側スラスト軸受用磁路部を、回転の軸を中心
とした略円筒状の部材から形成し、当該略円筒状の部材
の外周面にスラスト制御用コイルを巻回して、小さいス
ペース内にスラスト制御用コイルを収容したものである
から、装置の小型化を一層図ることができる。
【0050】さらに、請求項11にかかる磁気軸受装置
は、請求項9におけるスラスト制御用コイルを短絡し、
スラスト方向の振動に対して電力を消費することなくダ
ンパー作用を得るようにしたものであるから、上述した
請求項9にかかる発明の効果に加えて、消費電力の低減
化を図ることができる。
【0051】さらにまた、請求項12にかかる磁気軸受
装置は、請求項9に加えて、ステータコア部とステータ
側スラスト軸受用磁路部とを軸方向に並べて配置して、
スラスト方向の制御力を大きくし、スラスト方向の制御
を迅速かつ安定的に行われるようにしてものであるか
ら、上述した請求項9にかかる発明の効果を一層高める
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる磁気浮上モータの一実施形態を
示す縦断面図である。
【図2】本発明にかかる磁気浮上モータの別の実施形態
を示す縦断面図である。
【図3】本発明にかかる磁気軸受装置の一実施形態を示
す縦断面図である。
【符号の説明】
3 第1のステータコア 4 ステータヨーク 5 第2ステータコア 7 スラスト制御用コイル 8,9 ステータ巻線 11 ロータ 12 ロータスリーブ 13 フランジ状ヨーク 13A 第1のロータヨーク 13B 第2のロータヨーク 14 第1のロータマグネット 15 第2のロータマグネット 21 第1のバイアスマグネット 22 第2のバイアスマグネット B1 バイアス磁束 B2 バイアス磁束 31 バイアスマグネット 41 ステータコア 42 ロータ 44 第1のロータヨーク 45 中央ロータヨーク 46 第2のロータヨーク 47 スラスト制御用コイル 48 コアリブ 51 第1のコア突極 52 第2のコア突極 53,54 ステータ巻線 55 第1のバイアスマグネット 56 第2のバイアスマグネット B1 バイアス磁束 B2 バイアス磁束
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 3J102 AA01 BA04 CA19 DA06 DA19 DA26 DA30 GA12 5H607 AA12 BB01 BB11 BB14 BB25 CC01 DD05 DD16 GG01 GG02 GG19 GG21 5H633 BB03 GG02 HH03 JA08

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 磁性体からなり周面に永久磁石が固着さ
    れたロータと、このロータをラジアル方向に浮上制御す
    るための浮上制御磁束を発生する第1のステータ巻線及
    び上記ロータに対して回転磁界を発生させる第2のステ
    ータ巻線が巻回されたステータコア部と、を備えた磁気
    浮上モータにおいて、 上記ロータにロータ側スラスト軸受用磁路部が形成され
    ているとともに、前記ステータに上記ロータ側スラスト
    軸受用磁路部と半径方向に対向するステータ側スラスト
    軸受用磁路部が設けられ、 上記ラジアル浮上制御磁束を形成するためのバイアス磁
    束が、上記ロータ側スラスト軸受用磁路部とステータ側
    スラスト軸受用磁路部との間に形成される半径方向ギャ
    ップを通過するように構成され、かつ、 上記ラジアル浮上制御磁束を形成するためのバイアス磁
    束中に、スラスト軸受荷重の支持力を生成するスラスト
    制御用コイルが配置されたものであって、 上記スラスト制御用コイルは、前記ロータ側スラスト軸
    受用磁路部又はステータ側スラスト軸受用磁路部の一方
    側に対して回転の軸を中心として巻回されていることを
    特徴とする磁気浮上モータ。
  2. 【請求項2】 前記ロータ側スラスト軸受用磁路部及び
    ステータ側スラスト軸受用磁路部が、回転の軸を中心と
    した略円筒状の部材から形成されているとともに、 当該略円筒状の部材の外周面に、前記スラスト制御用コ
    イルが巻回されていることを特徴とする請求項1記載の
    磁気浮上モータ。
  3. 【請求項3】 前記スラスト制御用コイルが短絡されて
    いることを特徴とする請求項1記載の磁気浮上モータ。
  4. 【請求項4】 前記ステータコア部が、軸方向に二つ並
    べて配置されているとともに、 その二つのステータコア部の間に、前記ロータ側スラス
    ト軸受用磁路部とステータ側スラスト軸受用磁路部との
    半径方向対向部分が配置されていることを特徴とする請
    求項1記載の磁気浮上モータ。
  5. 【請求項5】 前記ステータコア部とステータ側スラス
    ト軸受用磁路部とが、軸方向に並べて配置されているこ
    とを特徴とする請求項1記載の磁気浮上モータ。
  6. 【請求項6】 前記ロータは、アウタロータ型またはイ
    ンナーロータ型のいずれかであることを特徴とする請求
    項1記載の磁気浮上モータ。
  7. 【請求項7】 前記バイアス磁束を発生させるバイアス
    マグネットが、ロータ側に配置されているとともに、 前記ロータ側にはステータコア部と対向して回転トルク
    を発生させるリング状ロータマグネットが配置されてい
    ることを特徴とする請求項1記載の磁気浮上モータ。
  8. 【請求項8】 前記バイアス磁束を発生させるバイアス
    マグネットが、ステータ側に配置され、 前記ロータ側にはステータコア部と対向して回転トルク
    を発生させるリング状ロータマグネットが配置されてい
    る請求項1記載の磁気浮上モータ。
  9. 【請求項9】 磁性体からなり周面に永久磁石が固着さ
    れたロータと、このロータをラジアル方向に浮上制御す
    るためのラジアル浮上制御磁束を発生するステータ巻線
    が巻回されたステータコアと、を備えた磁気軸受装置に
    おいて、 上記ロータにロータ側スラスト軸受用磁路部が形成され
    ているとともに、前記ステータに上記ロータ側スラスト
    軸受用磁路部と半径方向に対向するステータ側スラスト
    軸受用磁路部が設けられ、 上記ラジアル浮上制御磁束を形成するためのバイアス磁
    束が、上記ロータ側スラスト軸受用磁路部とステータ側
    スラスト軸受用磁路部との間に形成される半径方向ギャ
    ップを通過するように構成され、かつ、 上記ラジアル浮上制御磁束を形成するためのバイアス磁
    束中に、スラスト軸受荷重の支持力を生成するスラスト
    制御用コイルが配置されたものであって、 上記スラスト制御用コイルは、前記ロータ側スラスト軸
    受用磁路部又はステータ側スラスト軸受用磁路部の一方
    側に対して回転の軸を中心として巻回されていることを
    特徴とする磁気軸受装置。
  10. 【請求項10】 前記ロータ側スラスト軸受用磁路部及
    びステータ側スラスト軸受用磁路部が、回転の軸を中心
    とした略円筒状の部材から形成されているとともに、 当該略円筒状の部材の外周面に、前記スラスト制御用コ
    イルが巻回されていることを特徴とする請求項9記載の
    磁気軸受装置。
  11. 【請求項11】 前記スラスト制御用コイルが短絡され
    ていることを特徴とする請求項9記載の磁気軸受装置。
  12. 【請求項12】 前記ステータコア部とステータ側スラ
    スト軸受用磁路部とが、軸方向に並べて配置されている
    ことを特徴とする請求項9記載の磁気軸受装置。
  13. 【請求項13】 前記ロータは、アウタロータ型または
    インナーロータ型のいずれかであることを特徴とする請
    求項9記載の磁気軸受装置。
  14. 【請求項14】 前記バイアス磁束を発生させるバイア
    スマグネットが、ロータ側に配置されていることを特徴
    とする請求項9記載の磁気軸受装置。
  15. 【請求項15】 前記バイアス磁束を発生させるバイア
    スマグネットが、ステータ側に配置されている請求項9
    記載の磁気軸受装置。
JP2001293022A 2001-09-26 2001-09-26 磁気浮上モータ、及び磁気軸受装置 Expired - Fee Related JP3949916B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001293022A JP3949916B2 (ja) 2001-09-26 2001-09-26 磁気浮上モータ、及び磁気軸受装置
US10/253,576 US20030057784A1 (en) 2001-09-26 2002-09-24 Magnetically levitated motor and magnetic bearing apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001293022A JP3949916B2 (ja) 2001-09-26 2001-09-26 磁気浮上モータ、及び磁気軸受装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003102145A true JP2003102145A (ja) 2003-04-04
JP3949916B2 JP3949916B2 (ja) 2007-07-25

Family

ID=19114889

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001293022A Expired - Fee Related JP3949916B2 (ja) 2001-09-26 2001-09-26 磁気浮上モータ、及び磁気軸受装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20030057784A1 (ja)
JP (1) JP3949916B2 (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008069964A (ja) * 2006-08-18 2008-03-27 Toru Masuzawa ハイブリッド型磁気軸受
JP2008537872A (ja) * 2005-02-15 2008-09-25 レビシ 磁気的に浮上される物体を安定化させるための方法
WO2009093428A1 (ja) * 2008-01-24 2009-07-30 Tokyo University Of Science Educational Foundation Administrative Organization ベアリングレスモータ
KR20120006552A (ko) * 2009-04-23 2012-01-18 코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. 자기 베어링, 회전 스테이지 및 반사 전자 빔 리소그래피 장치
CN106369052A (zh) * 2016-10-24 2017-02-01 珠海格力节能环保制冷技术研究中心有限公司 磁悬浮轴承
CN113833755A (zh) * 2021-09-02 2021-12-24 中国科学院深圳先进技术研究院 磁悬浮轴承
WO2023028949A1 (zh) * 2021-09-02 2023-03-09 中国科学院深圳先进技术研究院 磁悬浮轴承

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7354172B2 (en) * 2004-03-15 2008-04-08 Philips Solid-State Lighting Solutions, Inc. Methods and apparatus for controlled lighting based on a reference gamut
JP4543793B2 (ja) * 2004-07-09 2010-09-15 株式会社デンソー 交流モータおよびその制御装置
CN101189782B (zh) * 2005-05-24 2013-03-13 株式会社电装 电动机及其控制装置
TWI353705B (en) * 2005-08-26 2011-12-01 Hoeganaes Ab An electric rotary machine
JP4786297B2 (ja) * 2005-10-28 2011-10-05 株式会社イワキ ハイブリッド型磁気軸受
CN101501962B (zh) * 2007-10-18 2011-12-07 株式会社易威奇 磁悬浮电动机和泵
US8317651B2 (en) 2008-05-07 2012-11-27 Fallbrook Intellectual Property Company Llc Assemblies and methods for clamping force generation
US20100109463A1 (en) * 2008-10-31 2010-05-06 University Of Virginia Patent Foundation Hybrid Five Axis Magnetic Bearing System Using Axial Passive PM Bearing Magnet Paths and Radial Active Magnetic Bearings with Permanent Magnet Bias and Related Method
EP2280471B1 (de) * 2009-07-30 2019-08-07 Levitronix GmbH Elektrischer Drehantrieb
CN102338160B (zh) * 2011-08-31 2013-05-01 北京航空航天大学 一种五自由度磁轴承
WO2016127147A1 (en) * 2015-02-06 2016-08-11 Regents Of University Of Minnesota Dual purpose no voltage winding design for bearingless ac homopolar and consequent pole motors and an ac homopolar flywheel energy storage system
EP4047216B1 (de) * 2015-07-06 2024-05-29 Levitronix GmbH Elektromagnetischer drehantrieb
CN106151271A (zh) * 2016-08-15 2016-11-23 江苏大学 一种五自由度外转子永磁偏置球形磁轴承
GB2567674B (en) * 2017-10-20 2022-04-06 Rolls Royce Plc Motor Generator System for a Gas Turbine Engine
US10742078B2 (en) * 2017-10-26 2020-08-11 Hamilton Sunstrand Corporation Variable torque electric motor assembly
US10312842B2 (en) * 2017-10-26 2019-06-04 Hamilton Sundstrand Corporation Variable torque electric motor assembly
DE102018010149A1 (de) * 2018-01-19 2019-07-25 Frank Wilkening Magnetischen elektrischen Motorenantrieb
JP6887968B2 (ja) * 2018-03-28 2021-06-16 ダイキン工業株式会社 スラスト磁気軸受およびそれを備えたターボ圧縮機
CN108667247A (zh) * 2018-06-06 2018-10-16 林峭 一种双电机层叠电机及其料理机
CN108809023B (zh) * 2018-06-30 2020-04-24 淮阴工学院 一种盘式三自由度磁悬浮开关磁阻电机
CN108775335B (zh) * 2018-08-20 2023-10-24 同济大学 一种叠螺污泥脱水机的磁悬浮驱动装置
CN111434941A (zh) * 2019-01-14 2020-07-21 坎德拉(深圳)科技创新有限公司 混合式径向磁轴承
CN109751331A (zh) * 2019-03-04 2019-05-14 扬州大学 一种用于高速主轴稳定悬浮的气磁混合轴承装置
JP6838616B2 (ja) * 2019-03-28 2021-03-03 ダイキン工業株式会社 スラスト磁気軸受およびそれを備えたターボ圧縮機
CN110271366B (zh) * 2019-05-20 2024-03-29 南京航空航天大学 一种主动磁悬浮车轮
CN110670183B (zh) * 2019-11-21 2024-04-02 扬州大学 一种用于驱动纺杯超高速电机主轴的混磁悬浮轴承
JP6978703B2 (ja) * 2020-03-31 2021-12-08 ダイキン工業株式会社 遠心型圧縮機
CN112065855B (zh) * 2020-09-17 2022-01-28 淮阴工学院 外绕组控制的四极双定子混合磁轴承
CN112160987A (zh) * 2020-10-27 2021-01-01 珠海格力电器股份有限公司 磁悬浮轴承组件、电机及压缩机
CN113202869B (zh) * 2021-04-06 2023-08-22 南京邮电大学 一种三自由度混合偏置磁轴承
CN113586609A (zh) * 2021-08-30 2021-11-02 珠海格力电器股份有限公司 磁悬浮轴承、电机、压缩机和空调器
CN113765437A (zh) * 2021-09-15 2021-12-07 于振州 一种克服磁悬浮发电机反电动势阻力的方法
CN114542187B (zh) * 2022-03-08 2024-03-08 重庆江增船舶重工有限公司 一种轴流外转子式磁浮orc有机工质膨胀发电机
CN114857171B (zh) * 2022-07-07 2022-09-30 山东天瑞重工有限公司 一种外转子径向解耦混合磁轴承

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3421083A1 (de) * 1983-06-09 1984-12-13 Alps Electric Co., Ltd., Tokio/Tokyo Magnetkopf zur vertikalaufzeichnung
US6213737B1 (en) * 1997-04-18 2001-04-10 Ebara Corporation Damper device and turbomolecular pump with damper device
US6201329B1 (en) * 1997-10-27 2001-03-13 Mohawk Innovative Technology, Inc. Pump having magnetic bearing for pumping blood and the like
JP4024382B2 (ja) * 1998-05-15 2007-12-19 株式会社東芝 磁気軸受装置
JP2001078389A (ja) * 1999-09-01 2001-03-23 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 磁気浮上型電動機
US6359357B1 (en) * 2000-08-18 2002-03-19 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Combination radial and thrust magnetic bearing

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008537872A (ja) * 2005-02-15 2008-09-25 レビシ 磁気的に浮上される物体を安定化させるための方法
JP2008069964A (ja) * 2006-08-18 2008-03-27 Toru Masuzawa ハイブリッド型磁気軸受
WO2009093428A1 (ja) * 2008-01-24 2009-07-30 Tokyo University Of Science Educational Foundation Administrative Organization ベアリングレスモータ
JP4616405B2 (ja) * 2008-01-24 2011-01-19 学校法人東京理科大学 ベアリングレスモータ
JPWO2009093428A1 (ja) * 2008-01-24 2011-05-26 学校法人東京理科大学 ベアリングレスモータ
KR20120006552A (ko) * 2009-04-23 2012-01-18 코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. 자기 베어링, 회전 스테이지 및 반사 전자 빔 리소그래피 장치
JP2012524879A (ja) * 2009-04-23 2012-10-18 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 磁気ベアリング、回転段及び反射型電子ビームリソグラフィ装置
KR101659956B1 (ko) 2009-04-23 2016-09-26 코닌클리케 필립스 엔.브이. 자기 베어링, 회전 스테이지 및 반사 전자 빔 리소그래피 장치
CN106369052A (zh) * 2016-10-24 2017-02-01 珠海格力节能环保制冷技术研究中心有限公司 磁悬浮轴承
CN113833755A (zh) * 2021-09-02 2021-12-24 中国科学院深圳先进技术研究院 磁悬浮轴承
WO2023028949A1 (zh) * 2021-09-02 2023-03-09 中国科学院深圳先进技术研究院 磁悬浮轴承
CN113833755B (zh) * 2021-09-02 2023-08-15 中国科学院深圳先进技术研究院 磁悬浮轴承

Also Published As

Publication number Publication date
JP3949916B2 (ja) 2007-07-25
US20030057784A1 (en) 2003-03-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3949916B2 (ja) 磁気浮上モータ、及び磁気軸受装置
WO2009095949A1 (ja) 磁気浮上モータおよびポンプ
KR100701550B1 (ko) 베어링리스 스텝모터
CN110435931B (zh) 一种磁悬浮控制力矩陀螺高速转子装置
JP2002122137A (ja) 軸受装置
JP2003199288A (ja) 磁気浮上モータ、及び磁気軸受装置
JP3850195B2 (ja) 磁気浮上モータ
JPH1182510A (ja) ベアリングシステム及びこれを利用したブラシレスdcモータ
WO2009104376A1 (ja) スラスト力発生装置及び該スラスト力発生装置を適用した電磁機械
JPS59144333A (ja) モ−タ
US6914361B2 (en) Magnetic bearing
CN112983988B (zh) 一种复合磁悬浮轴承及磁悬浮轴承***
JPH11101233A (ja) 磁気軸受装置
CN115654011A (zh) 磁悬浮主动式三自由度轴承、电机和压缩机
JP2003314550A (ja) 磁気軸受装置
JP4023475B2 (ja) 動圧空気軸受モータ
JPS6399742A (ja) 磁気軸受一体型モ−タ
JPH01103146A (ja) モータ
CN117424414B (en) Five-degree-of-freedom integrated magnetic levitation motor with radial auxiliary excitation
JPS58137618A (ja) 磁気軸受
JP2601240Y2 (ja) 振動アクチュエータ
KR20020046895A (ko) 자기 베어링 및 이러한 자기 베어링을 이용한 모터
JP2971557B2 (ja) 電力貯蔵装置
JPH0135578Y2 (ja)
JPH0222497Y2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050527

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070309

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070320

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070419

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees