JP2012524879A - 磁気ベアリング、回転段及び反射型電子ビームリソグラフィ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (11)
- 回転軸を持つ磁気ベアリングであって、
強磁性材料を有する円筒状ローターであって、前記円筒状ローターが、対称軸を持ち、
前記円筒状ローターは、内側半径を持ち、前記円筒状ローターが、前記対称軸に対して直交する平面にある上部を持つ、円筒状ローターと、
静的なハブであって、前記静的なハブが、該静的なハブから突出し、前記上部に隣接して配置されるオーバーハングを持つ、静的なハブと、
前記上部と前記オーバーハングとの間の距離を制御するリフト磁気アクチュエータ装置と、
前記内側半径と前記回転軸との間の距離を制御する半径方向の磁気アクチュエータ装置とを有し、
前記リフト磁気アクチュエータ装置が、前記重力に対して前記円筒状ローターを支持することができる少なくとも1つの永久磁石を有し、前記半径方向の磁気アクチュエータ装置及び/又は前記リフト磁気アクチュエータ装置は、少なくとも1つのハイブリッド磁石を有し、
前記ハイブリッド磁石が、
強磁性コアであって、該強磁性コアが、断面がE型となるようカットされる2つのスロットを持ち、前記2つのスロットの間に中間のセクションがあり、前記中間のセクションが、外側表面を持ち、前記外側表面の法線が、前記強磁性コアから離れる方を指す、強磁性コアと、
電流がワイヤを通過するとき、磁場を生成するよう構成される前記ワイヤのコイルであって、前記コイルが、前記2つのスロット内で前記中間のセクションの周りに配置される、ワイヤのコイルと、
前記外側表面に配置される永久磁石であって、前記磁化が、前記外側表面の法線と揃えられる、永久磁石とを有する、磁気ベアリング。 - 前記強磁性材料が、前記円筒状ローターの回転の間、渦電流を減らすため、軟磁複合物及びSomaloyのいずれかを有する、請求項1に記載の磁気ベアリング。
- 前記強磁性材料が、前記円筒状ローターの回転の間、渦電流を減らすための強磁性積層を有し、前記積層は、円筒状ボリュームを構築するため、前記対称軸の周りの円形通路において積み重ねられる、請求項1又は2に記載の磁気ベアリング。
- 前記対称軸が前記積層の各々に対して横たわる平面が存在し、前記積層の各々は、第1の横断軸を持ち、0から60度の間、好ましくは0.1から15度の間の第1の角度により、前記第1の横断軸の周りで前記平面から回転されるよう、前記積層の各々が構成される、請求項3に記載の磁気ベアリング。
- 前記対称軸が前記積層の各々に対して存在する平面があり、
前記積層の各々は、第1の長手軸を持ち、
0から60度の間、好ましくは0.1から15度の間の第2の角度により、前記第1の長手軸の周りで前記平面から回転されるよう、前記積層の各々が構成される、請求項3又は4に記載の磁気ベアリング。 - 前記リフトアクチュエータ装置が、少なくとも1つの第1のハイブリッド磁石を有し、前記第1のハイブリッド磁石は、第2の長手軸及び第2の横断軸を持ち、前記第2の長手軸及び前記第2の横断軸と交差する第1の半径があり、前記第2の横断軸及び前記半径は、前記半径との0から60度の間、好ましくは0.1から15度の間の第3の角度を囲み、及び/又は、前記半径方向のリフト装置が、少なくとも1つの第2のハイブリッド磁石を有し、前記長手軸及び前記回転軸に直交する平面は、前記半径との0から60度の間、好ましくは0.1から15度の間の第4の角度を囲む、請求項3、4又は5に記載の磁気ベアリング。
- 前記リフト磁気アクチュエータ装置及び/又は半径方向の磁気アクチュエータ装置が、少なくとも1つの強磁性コアを有し、前記強磁性コアは、2つ又はこれ以上の第2の表面を持ち、該第2の平面の法線が、前記回転軸の周りの円形通路のタンジェントとの鋭角を形成し、少なくとも1つの第2の表面の少なくとも1つのエッジは、積層ノイズを減らすため丸くされる、請求項3乃至6の何れか一項に記載の磁気ベアリング。
- 前記磁気ベアリングが更に、前記回転軸に対する前記内側半径の距離を測定する半径方向のセンサシステムを有し、前記磁気ベアリングは更に、前記上部と前記オーバーハングとの間の距離を測定するリフトセンサシステムを有し、前記磁気ベアリングが更に、前記リフトセンサシステムからの信号を受信し、前記上部と前記オーバーハングとの間の第1の所定の距離が維持される態様で、前記リフト磁気アクチュエータ装置を制御するよう構成される制御システムを有し、前記制御システムは更に、前記半径方向のセンサシステムからの信号を受信し、前記内側半径と前記回転軸との間の第2の所定の距離が維持される態様で、前記半径方向の磁気アクチュエータ装置を制御するよう構成される、請求項1乃至7の何れか一項に記載の磁気ベアリング。
- 回転段であって、
請求項1乃至8のいずれか一項に記載の磁気ベアリングと、
前記磁気ベアリングを回転させるよう構成される駆動システムと、
少なくとも1つのワークピースを保持するよう構成されるプラッタであって、前記プラッタが、前記円筒状ローターにより支持される、プラッタと、
前記磁気ベアリングの角方向を決定するエンコーダとを有する、回転段。 - 前記リフト磁気アクチュエータ装置が、重力に対して前記円筒状ローター及び前記プラッタを支持することができる少なくとも1つの永久磁石を有する、請求項9に記載の回転段。
- 請求項9又は10に記載の回転段を有する反射型電子ビームリソグラフィ装置であって、前記ワークピースが基板である、反射型電子ビームリソグラフィ装置。
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