JP2003017649A - 半導体装置及び半導体モジュール - Google Patents
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Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 196
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 10
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 9
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 8
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 3
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L25/10—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices having separate containers
- H01L25/105—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32225—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48225—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/48227—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
- H01L2224/491—Disposition
- H01L2224/4912—Layout
- H01L2224/49175—Parallel arrangements
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
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- H01L2225/10—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers
- H01L2225/1005—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
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- H01L2225/00—Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
- H01L2225/10—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers
- H01L2225/1005—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L2225/1011—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the containers being in a stacked arrangement
- H01L2225/1017—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the containers being in a stacked arrangement the lowermost container comprising a device support
- H01L2225/1023—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the containers being in a stacked arrangement the lowermost container comprising a device support the support being an insulating substrate
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- H01L2225/00—Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
- H01L2225/10—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers
- H01L2225/1005—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L2225/1011—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the containers being in a stacked arrangement
- H01L2225/1047—Details of electrical connections between containers
- H01L2225/1058—Bump or bump-like electrical connections, e.g. balls, pillars, posts
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- H01L2225/00—Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
- H01L2225/10—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers
- H01L2225/1005—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L2225/1011—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the containers being in a stacked arrangement
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- H01L24/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L24/10, H01L24/18, H01L24/26, H01L24/34, H01L24/42, H01L24/50, H01L24/63, H01L24/71
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
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- H01L2924/01079—Gold [Au]
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/14—Integrated circuits
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/14—Integrated circuits
- H01L2924/143—Digital devices
- H01L2924/1433—Application-specific integrated circuit [ASIC]
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15311—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
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- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1532—Connection portion the connection portion being formed on the die mounting surface of the substrate
- H01L2924/15321—Connection portion the connection portion being formed on the die mounting surface of the substrate being a ball array, e.g. BGA
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- H01L2924/181—Encapsulation
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- H01L2924/19—Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/1901—Structure
- H01L2924/1904—Component type
- H01L2924/19041—Component type being a capacitor
-
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- H01L2924/19—Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/191—Disposition
- H01L2924/19101—Disposition of discrete passive components
- H01L2924/19106—Disposition of discrete passive components in a mirrored arrangement on two different side of a common die mounting substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
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- H05K1/0213—Electrical arrangements not otherwise provided for
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- H05K1/023—Reduction of cross-talk, noise or electromagnetic interference using auxiliary mounted passive components or auxiliary substances
- H05K1/0231—Capacitors or dielectric substances
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/14—Structural association of two or more printed circuits
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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Abstract
きる半導体装置及び半導体モジュールを得ること。 【解決手段】 本発明の第1実施形態の半導体モジュー
ルM1は、プリント配線基板10の外周部の表裏両面に
外部接続用電極15、16が形成されており、その中央
部に半導体集積回路チップ1Aが搭載されされた複数個
の半導体装置A1、A2、A3・・・から構成されてい
て、半導体装置A1、A3の外部接続用電極15と半導
体装置A2の外部接続用電極16とが直接、或いはチッ
プ部品30や中継基板40(図8)を介して半田Sb等
で電気的に接続された構造のものである。
Description
複数個の半導体装置を組み込んだ半導体モジュールの構
造、構成に関するものである。
ら、従来技術の半導体装置及び半導体モジュールの構
成、構造を説明する。
断面図、図11は図10に示した半導体装置をマザーボ
ードに搭載した構造の断面図、図12は図10に示した
半導体装置を複数個、マザーボードに搭載した半導体モ
ジュールの断面図、そして図13は図10に示した半導
体装置を複数個、マザーボードに搭載した他の形態の半
導体モジュールの断面図である。
半導体装置の構成、構造を説明する。
(以下、単に「ICチップ」と記す)1とプリント配線
基板10とから構成されている。ICチップ1の表面に
は、所定の配列で形成されている電極の表面に金、半田
などの複数のバンプ2が形成されており、プリント配線
基板110の電気絶縁基板111の表面には、ICチッ
プ1を搭載する表面側の載置部112の周辺部に前記バ
ンプ2に対応した複数のランド113が、裏面側に周辺
配列或いは格子配列で複数の外部接続用電極154が、
そして表面側のランド113と裏面側の外部接続用電極
114とを電気的に接続する複数のヴァイアホール11
7が形成されている。
中央部に接着剤Saなどを用いて搭載されており、そし
てそれぞれのバンプ2がそれらに対応するランド113
に金などの金属細線Wを用いて電気的に接続されてい
る。そしてこの半導体装置Cは金属細線Wとランド11
3との接続部分を含むICチップ1全体がエポキシ樹脂
のような絶縁封止材Pで封止された構造で構成されてい
る。
ルDはこのような構造の複数の半導体装置Cをマザーボ
ード20に搭載したものである。マザーボード20の表
面には前記外部接続用電極114に対応した位置に複数
のランド214が、裏面もランド224(図12)が、
そして必要に応じて、その裏面に通じるヴァイアホール
227などが形成されていて、図11には拡大して、こ
のような構造のマザーボード20の表面のランド214
に1個のICチップ1を、例えば、半田付けなどの方法
を用いて電気的に接続した状態を示したものである。符
号Sbは半田を指す。
ルD1及びD2は、図10に示したICチップ1が2
個、マザーボード20の表面のランド214に、2個、
その裏面のランド224にそれぞれ半田付け方法で搭載
され、この他、抵抗、コンデンサなどのチップ部品30
が複数個、搭載されて構成されているもので、図12に
示した半導体モジュールD1はマザーボード20の一端
にランド214、224に連結され、他の電気回路基板
のソケット(不図示)に挿入、接続するための外部接続
用端子24が設けられたものであり、図13に示した半
導体モジュールD2はマザーボード20の一端にランド
224に連結され、他の電気回路基板にフレキシブルケ
ーブル配線基板25を用いて接続するためのコネクタ2
6などが設けられている。
び半導体モジュールDは、米国特許第5,216,27
8号や、ASIC & EDA 1993年3月号の9
〜15頁に開示されているものであり、また、Moto
rola社の“OMPAC”等の形状で封入された周知
のものである。
導体装置C及び半導体モジュールDの構造であると、多
くのプリント配線基板110及びマザーボード20を使
う必要があり、コストが嵩み、そしてコンパクトに構成
できないという課題がある。
するものであって、コンパクトな構造で安価に構成する
ことができる半導体装置及び半導体モジュールを得るこ
とを目的とするものである。
装置は、ICチップが搭載されたプリント配線基板の外
周部に外部接続用電極が形成されていることを特徴とす
る。
板の外周部の表裏面の少なくとも一方の面に形成されて
おり、また、必要に応じて、或る半導体装置は、前記外
部接続用電極が形成されているプリント配線基板の中央
部に搭載されたICチップをそのプリント配線基板の厚
みより薄い厚みの封止材で封止されている。
ーボードを用いず、前記の構造の半導体装置を少なくと
も2個組み込み、それら半導体装置のプリント配線基板
に形成されている前記外部接続用電極同士を電気的に互
いに接続した構造で構成されていることを特徴とする。
する前記半導体装置の一方の半導体装置のプリント配線
基板の表面に形成されている前記外部接続用電極と、他
方の半導体装置のプリント配線基板の裏面に形成されて
いる前記外部接続用電極とを互いに接続して構成しても
よく、また、他のものは隣接する前記半導体装置のプリ
ント配線基板の表面或いは裏面に形成されている前記外
部接続用電極同士を互いに接続して構成してもよい。
る前記半導体装置の前記両外部接続用電極がチップ部品
や中継基板を介して互いに接続された構造で構成しても
よい。
複数の前記半導体装置を前記外部接続用電極を介して平
面的広がりを以て互いに接続した構造で構成してもよ
い。
Cチップを搭載したプリント配線基板の周辺部に外部接
続用電極を形成した単純な構造で2次元的にも3次元的
にも広がりを持った構造で半導体モジュールを構成でき
る。
半導体装置のプリント配線基板同士を直接、或いはチッ
プ部品や中継基板を介して接続する構造を採っているた
め、大きな面積を占めていたマザーボードを使う必要が
なくなり、コンパクトに、しかも安価に構成することが
できる。
発明の実施形態の半導体装置及び半導体モジュールの構
成、構造を説明する。
一実施形態のプリント配線基板を示していて、同図Aは
その表面側の平面図、同図Bはその裏面側の平面図、同
図Cは同図AのA−A線上における断面図、図2は本発
明の第1実施形態の半導体装置を示していて、同図Aは
その平面図、同図Bは同図AのA−A線上における断面
図、図3は第1半導体装置の断面図、図4は図2に示し
た半導体装置を複数個用いて構成されている本発明の第
1実施形態の半導体モジュールの断面図、図5は同じく
第2実施形態の半導体装置の断面図、図6は同じく本発
明の第3実施形態の半導体装置の断面図、図7は図3に
示した半導体装置を複数個用いて構成されている本発明
の第4実施形態の半導体モジュールの断面図、図8は同
じく本発明の第5実施形態の半導体装置を示していて、
同図Aはその平面図、同図Bは同図AのL−L線上にお
ける断面図、そして図9は本発明の第6実施形態の半導
体モジュールの平面図である。
同一の構成部分には同一の符号を付して説明する。
に用いて好適なプリント配線基板の構造を説明する。
指す。このプリント配線基板10は単層または多層の配
線基板であって、ガラスエポキシ樹脂などの電気絶縁材
基板11の表面のほぼ中央部にICチップを載置する載
置部12と、この載置部12の長辺の両周辺部に、搭載
しようとするICチップの複数の電極に対応して配列さ
れているランド13と、絶縁基板11の両側縁に前記ラ
ンド13に対応して配列されている外部接続用裏面電極
15がそれぞれ銅などの導電性部材で形成されている。
また、プリント配線基板10の裏面側には後記するチッ
プ部品を接続するためのランド14と絶縁基板11の両
側縁に複数の外部接続用裏面電極16がそれぞれ銅など
の導電性部材で形成されている。また、必要に応じて少
なくとも1以上のヴァイアホール17が形成されてお
り、プリント配線基板10の表裏の配線、或いは表裏の
配線と中間層の配線とを接続する。一点鎖線Lは封止材
Paを封止する範囲を示したものである。
を接地する必要がある場合に導電性部材で形成する必要
があるが、その必要性が無い場合には敢えて導電性部材
で形成する必要は無い。ICチップを載置する部分が判
ればよい。また、裏面のランド14も、チップ部品を接
続する必要が無い場合には、省略される。
れの上下の位置は必ずしも一致して形成する必要は無
く、接続しようとする相手側のプリント配線基板の機能
などに対応した数、配列などを考慮して形成されるもの
である。
は、搭載しようとするICチップに形成されている複数
の電極がデュアルインラインで形成されているものに用
いる基板として描かれているものであって、複数の電極
がICチップの4辺に沿って形成されている場合には、
ランド13は載置部12の4辺の周りに沿ってに形成し
てもよく、外部接続用電極15、16もプリント配線基
板10の4辺の周りに沿って形成するようにしても、2
辺のみ或いは3辺のみの側縁に沿って形成するようにし
てもよい。
の半導体装置の構造を説明する。
施例の半導体装置を指す。この半導体装置Aは、従来技
術の半導体装置Cと同様に、ICチップ1A(ICチッ
プ1と同一である)とプリント配線基板10とから構成
されている。ICチップ1の表面には、所定の配列で形
成されている電極の表面に金、半田などの複数のバンプ
2が形成されている。
ント配線基板10の載置部12に、例えば、導電性接着
剤Saを介して接着、固定する。そしてそれぞれのバン
プ2がそれらに対応するランド13に金などの金属細線
Wを用いて電気的に接続されている。そしてこの半導体
装置Aも金属細線Wとランド13との接続部分を含むI
Cチップ1全体がエポキシ樹脂のような絶縁封止材Pa
で封止された構造で構成されている。
体装置Bは、前記の構造のプリント配線基板10を用
い、そのプリント配線基板10の中央部にICチップ1
Aの厚みより薄い厚みのICチップ1Bが搭載されてお
り、そしてバンプ2とランド13との接続部分を含むそ
のICチップ1Bを前記プリント配線基板10の厚みよ
り薄い厚みの封止材Pbで封止された構造のものであ
る。
えた半導体装置A及び半導体装置Bであると、従来技術
の半導体装置Cのように裏面に外部接続用電極12が形
成されているのではなく、プリント配線基板10の外周
部分に外部接続用電極15、16が形成されているの
で、これら外部接続用電極15、16の接続を組み合わ
せることで半導体装置A及び又は半導体装置B同士を2
次元的に、或いは3次元的に電気的に接続して、所望の
構成、構造の半導体モジュールを得ることが可能とな
る。
リント配線基板10は、その外部接続用電極15、16
の厚みも含めて厚みが0.4mm程度、封止材Paの厚
みが0.6mm程度であり、半導体装置Bはプリント配
線基板10が半導体装置Aの場合と同一であり、封止材
Paの厚みが0.3mm程度である。
実施形態の半導体モジュールについて説明する。
態の半導体モジュールの構成、構造を説明する。この半
導体モジュールM1は、3個の半導体装置A1、A2、
A3(何れも半導体装置Aであって、説明の便宜上A
1、A2、A3と符号を付して区別した)から構成され
ていて、半田Sbを介して半導体装置A1、A3の外部
接続用電極15と半導体装置A2の外部接続用電極16
とが電気的に接続された構造のものである。
先ず、これら半導体装置A1、A3の外部接続用電極1
5に半田ペースト(不図示)を印刷等の従来技術で塗布
しておき、これらの半導体装置A1、A3を、治具(不
図示)の上に載置する等の方法で、予め、定められてい
る位置に載置し、それら半導体装置A1、A3の外部接
続用電極15の上に、残りの半導体装置A2の裏面の外
部接続用電極16を位置決めして載置する。その後、リ
フロー等の方法を用いて前記半田ペーストを溶融し、冷
却して接続することにより前記半導体モジュールM1が
得られる。半導体装置A1、A2、A3の裏面のランド
14には必要に応じてチップ部品30を接続する。
態の半導体モジュールM2の構成、構造を説明する。こ
の半導体モジュールM2は3個のチップ部品30を含む
8個の半導体装置A1〜A8から構成されている。半導
体装置A1〜A4及び半導体装置A5〜A8は、半導体
モジュールM1の接続構造と同様に、表面の外部接続用
電極15と隣接する半導体装置Aの裏面の外部接続用電
極16とが接続されており、半導体装置A2とA5とは
半導体装置A1とA3との外部接続用電極15、16を
介して裏面の外部接続用電極16同士が接続されてお
り、同様に半導体装置A3とA6とは半導体装置A5と
A7との外部接続用電極15、16を介して裏面の外部
接続用電極16同士が、半導体装置A4とA7とは半導
体装置A3とA8との外部接続用電極15、16を介し
て裏面の外部接続用電極16同士が接続された構造で構
成された半導体モジュールである。半導体装置A2〜A
4の裏面にはチップ部品30が搭載されている。
ールM3は、第2実施形態の半導体装置Bを8個用いて
構成されたものであって、全ての半導体装置B1〜B8
が隣接する半導体装置Bの表面の外部接続用電極15と
裏面の外部接続用電極16とで接続されている。
B3、B8、B7が三重に重なった部分があり、このよ
うに半導体装置を多段に積層する構造の半導体モジュー
ルを必要とする場合には、厚みの薄い半導体装置Bを用
いることが望ましい。
ュールM4を示していて、この半導体モジュールM4は
3個の半導体装置Bから構成されている例である。この
半導体モジュールM4は半導体モジュールの全体厚さが
薄いものが望まれる場合に好適な構造のものである。即
ち、治具などの載置台(不図示)に半導体装置B1及び
B3を所定の間隔を開けて載置し、後から搭載する半導
体装置B2を表裏反転させて、前記と同様な半田付け方
法により接続した構造のものである。このような構造で
構成すると、全体としてほぼ均一な厚みの半導体モジュ
ールが得られる。
ュールM5を示していて、この半導体モジュールM5は
3個の半導体装置B1〜B3の内、所定の間隔を開けて
配列されている半導体装置B1とB3との表面の外部接
続用電極15に半導体装置B2の裏面の外部接続用電極
16を、一方はチップ部品30を介して、他方は中継基
板40を介して接続した構造の半導体モジュールであ
る。
同図Aから明らかなように、3個の半導体装置B1〜B
3を同一方向の側面のみを接続して構成された構造のも
のであるが、図9に示した本発明の第6実施形態の半導
体モジュールM6のように、複数個の半導体装置B1、
B2、B3・・・を平面的な広がりをもった接続構造、
即ち、2次元的な接続構造で構成することもできる。そ
して2次元的な接続構造に、図5及び図6に示した厚み
方向にも接続する構造を取り入れば、半導体モジュール
を3次元に広がる接続構造でも構成することもできる。
置によれば、隣接する半導体装置のプリント配線基板の
外周部分の表裏両面に外部接続用電極が形成されている
ので、隣接する半導体装置のそれら外部接続用電極を互
いに接続することにより各種構造の本発明の半導体モジ
ュールを簡単に構成することができる。
体装置のプリント配線基板同士を直接、或いはチップ部
品や中絶基板を介して接続する構造を採っているので、
大きな面積を占めていたマザーボードを使う必要がなく
なり、従来技術の半導体モジュールよりも遙かに廉価な
コストで製作することができ、しかも2次元にも3次元
にも広がりをもって、そして必要に応じて厚みの薄い構
造で半導体モジュールを構成することができるなど、数
々の優れた効果が得られる。
態のプリント配線基板を示していて、同図Aはその表面
側の平面図、同図Bはその裏面側の平面図、同図Cは同
図AのA−A線上における断面図である。
いて、同図Aはその平面図、同図Bは同図AのA−A線
上における断面図である。
されている本発明の第1実施形態の半導体モジュールの
断面図である。
ある。
断面図である。
されている本発明の第4実施形態の半導体モジュールの
断面図Fらる。
示していて、同図Aはその平面図、同図Bは同図AのL
−L線上における断面図である。
平面図である。
ある。
に搭載した構造の断面図である。
ーボードに搭載した半導体モジュールの断面図である。
ーボードに搭載した他の形態の半導体モジュールの断面
図である。
…バンプ、10A…本発明の半導体装置に用いて好適な
プリント配線基板、10…本発明の半導体装置に用いて
好適なプリント配線基板、11…絶縁基板、12…載置
部、13,14…ランド、15,16…外部接続用電
極、17…ヴァイアホール、30…チップ部品、40…
中継基板、A,A1〜A8…本発明の第1実施形態の半
導体装置、B,B1〜B9…本発明の第2実施形態の半
導体装置、M1…本発明の第1実施形態の半導体モジュ
ール、M2…本発明の第2実施形態の半導体モジュー
ル、M3…本発明の第3実施形態の半導体モジュール、
M4…本発明の第4実施形態の半導体モジュール、M5
…本発明の第4実施形態の半導体モジュール、M6…本
発明の第6実施形態の半導体モジュール、Pa…封止
材、Sa…接着剤、W…金属ワイヤ
Claims (9)
- 【請求項1】 半導体集積回路チップが搭載されたプリ
ント配線基板の外周部に外部接続用電極が形成されてい
ることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項2】 前記外部接続用電極が前記プリント配線
基板の外周部の表裏面の少なくとも一方の面に形成され
ていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 【請求項3】 外周部に外部接続用電極が形成されてい
るプリント配線基板の中央部に半導体集積回路チップが
搭載されており、該半導体集積回路チップを前記プリン
ト配線基板の厚みより薄い厚みの封止材で封止されてい
ることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項4】 請求項1、請求項2、或いは請求項3に
記載の半導体装置を少なくとも2個組み込み、それら半
導体装置のプリント配線基板に形成されている前記外部
接続用電極同士が電気的に互いに接続されていることを
特徴とする半導体モジュール。 - 【請求項5】 隣接する前記半導体装置の一方の半導体
装置のプリント配線基板の表面に形成されている前記外
部接続用電極と、他方の半導体装置のプリント配線基板
の裏面に形成されている前記外部接続用電極とが互いに
接続されていることを特徴とする請求項4に記載の半導
体モジュール。 - 【請求項6】 隣接する前記半導体装置のプリント配線
基板の表面或いは裏面に形成されている前記外部接続用
電極同士が互いに接続されていることを特徴とする請求
項4に記載の半導体モジュール。 - 【請求項7】 隣接する前記半導体装置の前記両外部接
続用電極がチップ部品を介して互いに接続されているこ
とを特徴とする請求項4に記載の半導体モジュール。 - 【請求項8】 隣接する前記半導体装置の前記両外部接
続用電極が中継基板を介して互いに接続されていること
を特徴とする請求項4に記載の半導体モジュール。 - 【請求項9】 複数の前記半導体装置が前記外部接続用
電極を介して平面的広がりを以て互いに接続されている
ことを特徴とする請求項4に記載の半導体モジュール。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001203077A JP3925615B2 (ja) | 2001-07-04 | 2001-07-04 | 半導体モジュール |
EP02733489A EP1406302A4 (en) | 2001-07-04 | 2002-06-12 | SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR MODULE |
US10/363,049 US6992395B2 (en) | 2001-07-04 | 2002-06-12 | Semiconductor device and semiconductor module having external electrodes on an outer periphery |
PCT/JP2002/005853 WO2003005445A1 (fr) | 2001-07-04 | 2002-06-12 | Dispositif a semiconducteur et module a semiconducteur |
KR10-2003-7002912A KR20030060882A (ko) | 2001-07-04 | 2002-06-12 | 반도체 장치 및 반도체 모듈 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001203077A JP3925615B2 (ja) | 2001-07-04 | 2001-07-04 | 半導体モジュール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003017649A true JP2003017649A (ja) | 2003-01-17 |
JP3925615B2 JP3925615B2 (ja) | 2007-06-06 |
Family
ID=19039774
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001203077A Expired - Lifetime JP3925615B2 (ja) | 2001-07-04 | 2001-07-04 | 半導体モジュール |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6992395B2 (ja) |
EP (1) | EP1406302A4 (ja) |
JP (1) | JP3925615B2 (ja) |
KR (1) | KR20030060882A (ja) |
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- 2002-06-12 US US10/363,049 patent/US6992395B2/en not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
WO2003005445A1 (fr) | 2003-01-16 |
EP1406302A4 (en) | 2007-08-08 |
KR20030060882A (ko) | 2003-07-16 |
EP1406302A1 (en) | 2004-04-07 |
JP3925615B2 (ja) | 2007-06-06 |
US6992395B2 (en) | 2006-01-31 |
US20030183930A1 (en) | 2003-10-02 |
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A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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