JP2002363788A5 - - Google Patents
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Description
【発明の名称】化学的処理装置
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、閉鎖型処理カップを用いて被処理部材に化学的処理を行う化学的処理装置に関するものである。
【発明の属する技術分野】
この発明は、閉鎖型処理カップを用いて被処理部材に化学的処理を行う化学的処理装置に関するものである。
【０００９】
この発明は、このような残渣除去処理、無電解メッキ層、電解メッキ層などの欠陥部の発生を抑えることのできる改良された化学的処理装置を提案するものである。
この発明は、このような残渣除去処理、無電解メッキ層、電解メッキ層などの欠陥部の発生を抑えることのできる改良された化学的処理装置を提案するものである。
Claims (11)
- ある圧力と流速をもって内部で処理液を流通しながら被処理部材に化学的処理を行う閉鎖型処理カップと、前記処理液を貯蔵する貯液タンクと、前記貯液タンクから前記処理液を前記閉鎖型処理カップに供給するポンプとを備え、前記ポンプが前記閉鎖型処理カップ内の処理液の圧力と流速の少なくとも一方を周期的に変化させるように構成されたことを特徴とする化学的処理装置。
- 前記ポンプが脈動式ポンプで構成され、この脈動式ポンプは前記閉鎖型処理カップ内を流通する処理液の圧力と流速の少なくとも一方を周期的に変化させることを特徴とする請求項１記載の化学的処理装置。
- 前記脈動式ポンプがベローズポンプで構成され、このベローズポンプはベローズを周期的に脈動させて前記処理液を前記閉鎖型処理カップに供給し、前記閉鎖型処理カップ内を流通する処理液の圧力と流速の少なくとも一方を周期的に変化させることを特徴とする請求項２記載の化学的処理装置。
- 前記脈動式ポンプがダイヤフラムポンプで構成され、このダイヤフラムポンプは、ダイヤフラムを周期的に脈動させて前記処理液を前記閉鎖型処理カップへ供給し、前記閉鎖型処理カップ内を流通する処理液の圧力と流速の少なくとも一方を周期的に変化させることを特徴とする請求項２記載の化学的処理装置。
- 前記閉鎖型処理カップに対する処理液の供給路と、前記閉鎖型処理カップに対する処理液の排出路と、前記処理液の排出路に設けられた流量絞り弁とを更に備えた請求項１から４の何れかに記載の化学的処理装置。
- ある圧力と流速をもって内部で処理液を流通しながら被処理部材に化学的処理を行う閉鎖型処理カップと、前記処理液を貯蔵する貯液タンクと、前記貯液タンクから前記処理液を前記閉鎖型処理カップに供給するポンプ装置とを備え、前記閉鎖型処理カップ内の処理液の流通方向が周期的に変化するように構成されたことを特徴とする化学的処理装置。
- 前記閉鎖型処理カップは第１、第２の処理液流通口を有し、前記ポンプ装置は第１、第２のポンプを有し、この第１のポンプは前記閉鎖型処理カップ内で処理液を前記第１の処理液流通口から前記第２の処理液流通口へ流通させ、また第２のポンプは前記閉鎖型処理カップ内で処理液を前記第２の処理液流通口から前記第１の処理液流通口へ流通させるように構成されている請求項６記載の化学的処理装置。
- 前記閉鎖型処理カップの第１、第２の処理液流通口にそれぞれ連通する第１、第２の処理液流通路と、これらの処理液流通路のそれぞれに設けられた第１、第２の流量制御弁とを備え、前記閉鎖型処理カップ内において、前記処理液が前記第１の処理液流通口から前記第２の処理液流通口へ流通する場合には、前記第２の処理液流通口に連通する前記第２の処理液流通路に設けられた前記第２の流量制御弁が流量絞り弁とされ、また前記処理液が前記第２の処理液流通口から前記第１の処理液流通口へ流通する場合には、前記第１の処理液流通口に連通する前記第１の処理液流通路に設けられた前記第１の流量制御弁が流量絞り弁とされる請求項７記載の化学的処理装置。
- 前記被処理部材が一方の開口が開放され他方の開口が塞がれた複数のブラインドホールを有し、各ブラインドホールの開放された開口が流通する処理液に接するようにして前記被処理部材を前記閉鎖型処理カップ内に配置して、各ブラインドホールの内表面を含む表面に化学的処理が行われることを特徴とする請求項１から８の何れかに記載の化学的処理装置。
- 前記被処理部材が半導体ウエハであり、この半導体ウエハは一方の開口が開放され他方の開口が塞がれた複数のバイアホールを有し、各バイアホールの開放された開口が流通する処理液に接するようにして前記閉鎖型処理カップ内に配置され、各バイアホールの内表面を含む表面に化学的処理が行われることを特徴とする請求項１から８の何れかに記載の化学的処理装置。
- 前記被処理部材がプリント基板であり、このプリント基板は一方の開口が開放され他方の開口が塞がれた複数のスルーホールを有し、各スルーホールの開放された開口が流通する処理液に接するようにして前記閉鎖型処理カップ内に配置され、各スルーホールの内表面を含む表面に化学的処理が行われることを特徴とする請求項１から８の何れかに記載の化学的処理装置。
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