JP2002357519A - Ｐｏｇｏピンの弾性測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＰＯＧＯピンの弾性測定装置を提供する。 【解決手段】 ＰＯＧＯピンの弾性測定装置は、上下に
高さを調節できる高さ調節器１０、前記高さ調節器１０
の高さにより上下に移動できるように前記高さ調節器１
０上に設けられる垂直移動支持体２０、前記垂直移動支
持体２０と分離又は結合して設けられる固定体３０、前
記固定体３０に連結されて回転できる移動レール４０、
ならびに弾性測定器５０が結合した状態で所定距離の範
囲内で移動するよう、前記移動レール４０に設けられる
結合具を備える。このＰＯＧＯピン弾性測定装置は、Ｐ
ＯＧＯピンがＰＯＧＯモジュールに装着されている間
に、同一な条件でＰＯＧＯピンの弾性を測定できるの
で、ＰＯＧＯピンによる不良を事前に防止できる効果が
ある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体ウェーハに形
成された半導体装置の電気的な特性を測定するための弾
性測定装置に関するものであり、より詳細には、半導体
ウェーハに形成された半導体装置の電気的な特性が測定
される時、プローブカードに接触するＰＯＧＯモジュー
ル内のＰＯＧＯピンの弾性測定装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】トランジスタと集積回路のような半導体
装置は一般的にウェーハに酸化、写真、エッチング、及
びイオン注入のような多様な工程が繰返し遂行される
と、所定のパターンが形成されて製造される。しかし、
半導体装置内の要所が段々と集積されることによって、
製造工程の間で、半導体装置に予期しない問題が生じる
可能性がある。このような問題を解決するための後処理
工程としてＥＤＳ（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ Ｄｉｅ Ｓ
ｏｒｔｉｎｇ）工程がある。

【０００３】このＥＤＳ工程では、ウェーハに形成され
ている半導体装置の電気的な特性検査を通じて半導体装
置が正常であるかを決められる。装置を調査するため、
与えられた入力信号に対する出力信号に対して出力信号
の電気的特性を把握するプローブ設備が用いられる。プ
ローブ設備の概略的な構成としては、テストしようする
ウェーハの上側にテスター（Ｔｅｓｔｅｒ）、テスター
ヘッド（Ｔｅｓｔｅｒ ｈｅａｄ）及びプローブカード
（Ｐｒｏｖｅ ｃａｒｄ）が備えられている。前記ウェ
ーハはプローブチャック（Ｐｒｅｖｅ ｃｈｕｃｋ）に
より固定される。テスターヘッドとプローブカードとの
間にはＰＯＧＯモジュールが備えられる。前記ＰＯＧＯ
モジュールはテスターヘッドからプローブカードに電気
的な信号を伝達する役割をする。このため、前記ＰＯＧ
ＯモジュールはＰＣＢ（ｐｒｉｎｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉ
ｔ ｂｏａｒｄ）に数百個以上のＰＯＧＯピンが挿入さ
れる形態からなる。

【０００４】前記ＰＯＧＯピンは、ＰＯＧＯモジュール
を貫通して前記ＰＯＧＯモジュールに設けられるハウジ
ング、前記ハウジングの両端に設けられる針、前記針の
間に設けられるボール、ならびに前記ボールの間に設け
られるスプリングで構成される。前記スプリングは前記
テスターヘッドと前記プローブカードがＰＯＧＯモジュ
ールにより結合される時、緩衝を提供する役割をする。

【０００５】しかし、前記ＰＯＧＯピンは非常に弱いの
で、それは大切に扱う必要がある。又、スプリングの弾
性によると、ＰＯＧＯピンはプローブカードに電気的な
信号を確実に伝達できない可能性がある。前記ＰＯＧＯ
ピンが正常であるかを確認するためＰＯＧＯピンは外形
と弾性が測定される。外形は一般的に肉眼で確認される
が、弾性は弾性測定器を通じて確認されなければならな
い。ところで、従来のＰＯＧＯピンの弾性測定はＰＯＧ
Ｏモジュールに装着されているＰＯＧＯピンをサンプル
に取って、別途の弾性測定器で一個の単位で測定すると
か、又は携帯用弾性測定器を利用してＰＯＧＯピンがＰ
ＯＧＯモジュールに装着されている状態のまま針を一つ
ずつ押しながら、手動で測定することにより行われた。

【０００６】弾性測定器を使用する方法は、ＰＯＧＯピ
ンの弾性を正確に測定できる利点があるが、サンプリン
グを使用するためＰＯＧＯピンをＰＯＧＯモジュールか
ら取り出すのが不便である。携帯用弾性測定器を使用す
ることは便利であるが、携帯用弾性測定器はＰＯＧＯピ
ンを押す力が一定ではないという問題があり、測定結果
が異なるという問題がある。即ち、各々異なる条件で測
定された結果であることが分かる。特に、不注意なテス
トの遂行によりＤＵＴ（Ｄｅｖｉｃｅ Ｕｎｄｅｒ Ｔ
ｅｓｔ）が損傷される恐れがある。又、手動でＰＯＧＯ
ピンを測定する過程で測定者の不注意によりＰＯＧＯピ
ンを損傷させる恐れがある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、ＰＯ
ＧＯピンにより不良が発生することを防止するため、半
導体装置の調査に使用されるＰＯＧＯモジュール内のＰ
ＯＧＯピンの弾性を測定するＰＯＧＯピンの弾性測定装
置を提供することにある。本発明の他の目的は、ＰＯＧ
ＯピンをＰＯＧＯモジュールから抜かないでも正確にＰ
ＯＧＯピンの弾性を測定できるＰＯＧＯピンの弾性測定
装置を提供することにある。本発明の他の目的は、プロ
ーブカードの各ＰＯＧＯピンの弾性測定が同一条件下で
遂行されるＰＯＧＯピンの弾性測定装置を提供すること
にある。本発明のまた他の目的は、ＰＯＧＯモジュール
に装着されるＰＯＧＯピンの位置と関係なく、ＰＯＧＯ
ピンの弾性を容易に測定できるＰＯＧＯピンの弾性測定
装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
めの本発明によるＰＯＧＯピンの弾性測定装置は、上下
に高さを調節できる高さ調節器と、前記高さ調節器の高
さ調節により上下に移動可能に前記高さ調節器に取付け
られ、ＰＯＧＯピンの弾性を測定する弾性測定器とを備
える。この時望ましくは、前記弾性測定装置は、前記弾
性測定器を前記高さ調節器に取付け、前記弾性測定器を
水平方向に動かす設置移送手段を含む。前記設置移送手
段は前記高さ調節器の高さ調節により垂直に移動するよ
うに前記高さ調節器に設けられる垂直移動支持体と、前
記垂直移動支持体と分離又は結合するように配置される
固定体と、前記固定体と結合して回転できる移動レール
と、前記弾性測定器が結合した状態で、所定距離の範囲
内で動けるように前記移動レールに設けられる結合具と
を備える。

【０００９】前記垂直移動支持体は、前記高さ調節器に
固定された少なくとも一つの垂直支持具と、前記垂直支
持具の底面と結合する水平支持具と、前記水平支持具の
側面に形成される結合突起とを備える。前記結合具は前
記弾性測定器を吊るして支持する密着板と、前記密着板
が移動レール上で動けるように設けられる固定板とを備
える。前記固定体はネジ、ならびに前記ネジに結合され
て回転するハンドルが備えられた結合ピンと、前記結合
ピンに形成されている前記ネジが挿入されて締結される
ホールが備えられる結合板と、一側には前記結合ピンが
挿入されるホールが形成され、前記ホールの下部に前記
結合板が挿入される開口部が形成されており、前記結合
ピンと前記結合板により前記固定体が前記結合突起に固
定されるように前記ホールと前記開口部との間には前記
結合突起が挿入される貫通ホールが形成されるボディと
からなる。

【００１０】前記移動レールは前記固定体の一側に配置
された回転軸を通じて回転できるように結合し、前記回
転軸は中央にネジホールが形成された固定ピンと、前記
固定体の一側、ならびに前記移動レールの相応する一端
に各々形成された円形のホールに挿入される、前記固定
体と前記移動レールのためのベアリングと、前記固定ピ
ンが前記円形のホールの中央に挿入されるようにするた
めのホールと、前記固定体の一側、ならびに前記移動レ
ールの相応する一端との間に設けられて挿入されるパッ
キングを有するリングと、前記固定ピンのネジホールと
締結されるネジとを備える。

【００１１】前記移動レールは水平方向に−１３５°か
ら＋１３５°の角度範囲で回転できる。前記移動レール
は長さ方向に、長さ延長のための拡張移動レールがさら
に連結される。このため、前記拡張移動レールの縦断規
格は前記移動レールの縦断規格と同一である。

【００１２】又、前記高さ調節器は一定の大きさの目盛
りが形成されている少なくとも一つの垂直軸と、前記垂
直軸に沿って移動しながら、所定基準に対する移動距離
が測定されて表示される本体と、前記垂直軸を支えるベ
ースとを備える。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、添付した図を参照して、本
発明の具体的な実施例を詳細に説明する。例えば、本発
明の実施例は色々な形態に変換されることができ、本発
明の範囲が以下で説明する実施例により画定されると解
釈してはいけない。実施例は当業界で平均的な知識を有
する者に本発明をより完全に説明するために提供される
ものである。従って、図面での要所の形状等はより明確
な説明を強調するために誇張されたものである。

【００１４】図１には本発明の一実施例によるＰＯＧＯ
ピンの弾性測定装置の正面図が示されている。本実施例
の弾性測定装置１は上下に高さを調節できる高さ調節器
１０、前記高さ調節器１０に設けられる垂直移動支持体
２０、前記垂直移動支持体２０に連結される固定体３
０、回転軸６０を通じて前記固定体３０に連結される移
動レール４０、所定距離の区間内で動けるように前記移
動レール４０に設けられる結合具７０、ならびに前記結
合具７０を通じて前記移動レール４０上に設けられる弾
性測定器５０を備える。

【００１５】前記弾性測定装置１の高さ調節器１０は本
体、第１垂直軸１００、第２垂直軸１０２及びベース１
０６を備える。前記第１、２垂直軸１００、１０２は相
対する内側に互いに異なる大きさの目盛りが形成されて
いる。前記本体は前記目盛りを通じて高さを測定する。
前記目盛りにより測定される高さは１／１００ｍｍから
１ｍｍ単位に調節され、調節される高さの幅が大きい場
合には、前記本体の高さは大きい目盛りを有する前記第
１回転軸１００を基準に調節し、調節幅が小さい場合に
は小さい目盛りが形成されている前記第２回転軸１００
で調節する。

【００１６】前記ベース１０６は前記第１、２回転軸１
００、１０２を支える役割をする。前記ベース１０６は
前記高さ調節器１０を所定場所、又は位置に固定する固
定手段を含む。又、前記ベース１０６は前記第１、２回
転軸１００、１０２と弾性測定時には結合され、測定が
終了されれば、分離しやすい性質のものに具現されるこ
とができる。その例として、設定により磁性が異なる磁
性体が挙げられる。

【００１７】前記本体は全面に基準高さを設定する操作
パネル１２０、ならびに基準点と前記基準点に対する高
さの増減等が表示される表示部５００を備える。前記本
体は後面に前記本体の高さを上下に調節するための回転
式ハンドル１０４を備える。前記本体が上下に移動しな
がら、高さが調節されれば、ここに取付けられている前
記垂直移動支持体２０は前記固定体３０及び前記移動レ
ール４０と共に上下に移動する。結果的に前記移動レー
ル４０に取付けられた前記弾性調節器５０は上下に移動
する。この時、弾性測定器５０の前記測定チップ５０２
が移動する高さほどＰＯＧＯピン８２を押すことにな
る。従って、前記弾性測定装置は前記ＰＯＧＯピン８２
に押付けられるロードに相応する弾性を測定して、これ
を表示部５００に表示する。

【００１８】前記弾性測定器は０から２，０００ｇｆ又
は０から１９．６Ｎ（ｎｅｗｔｏｎｓ）の範囲内で弾性
を測定できるデジタルフォースゲージを使用できる。前
記弾性測定器５０は下に説明したように、前記結合具７
０を通じて前記移動レール４０上をスライディングする
ように締結される。前記移動レール４０は後に説明する
回転軸６０に対して−１３５°から＋１３５°の角度範
囲内で回転できる。

【００１９】図２には、前記垂直移動支持体２０の細部
構成を示す分解斜視図が示されている。前記垂直移動支
持体２０は結合突起が側部に各々形成されている２つの
垂直支持具２２、２４と、前記垂直支持具２２、２４下
側にネジ結合される水平支持具２６とで構成されてい
る。結合器は下の説明のように固定体３０上に固定さ
れ、前記固定体３０内に挿入され、Ｕ字型からなる。

【００２０】前記垂直支持具２２、２４の上段には前記
高さ調節器１０の前記本体と結合されるためのネジホー
ル２００、２０２が形成されている。又、前記水平支持
具２６には垂直軸１００、１０２が所定空間離れた状態
で前記垂直移動支持体が上下移動するように挿入される
溝２１０、２１２が各々形成されている。前記溝２１
０、２１２にはガイド板２０８がネジ結合により固定さ
れる。以上の例では前記垂直支持具２２、２４と前記水
平支持具２６は分離されてネジ結合されるように構成さ
れているが、分離せずに一つの体部を構成するように変
形して成型できるのは当然である。

【００２１】図３には、前記弾性測定装置１の前記固定
体３０の構成を示す分解斜視図が示されている。前記固
定体３０は結合ピン３４、ボディ３２及び結合板３６か
らなる。前記結合ピン３４はネジ３００と、前記結合ピ
ン３４を回転させるためのハンドル３０２とを備える。
前記ボディ３２の一側には前記結合ピン３４が挿入され
るホール３０４が形成される。前記ホール３０４下部に
は前記結合板３６が入れられる開口部３０６が形成され
ている。前記ボディ３２の一側には後に図４を参照して
説明するベアリング６１２が挿入されるための円形のホ
ール３１０が形成される。前記ホール３０４と前記開口
部３０６との間にはＵ字型の結合突起２０４が挿入され
るための貫通ホール３１４が形成される。前記結合板３
６の中央には前記結合ピン３４の前記ネジ３００が挿入
されるためのネジホール３０８がある。前記結合突起２
０４が前記貫通ホール３１４に挿入される時、前記結合
ピン３４の前記ネジ３００は前記結合板３６の前記ネジ
ホール３０８と締結される。従って、前記固定体３０は
前記垂直支持具２２の前記結合突起２０４に固定され
る。

【００２２】図４には前記固定体３０と前記移動レール
４０を連結する前記回転軸６０を示す図面が示されてい
る。回転軸は固定ピン６００、前記移動レール４０のた
めのベアリング６０４、Ｏリング（Ｏ−ｓｈａｐｅｄ）
６０６、前記固定体のためのベアリング、ならびに前記
固定ピン６００と締結されるネジ６１０からなる。

【００２３】前記固定ピン６００の中央にはネジホール
６０２が形成されている。前記移動レール４０のための
前記ベアリング６０４は前記移動レール４０の一端の底
面に形成された円形のホール４０２に挿入される。前記
固定ピン６００が挿入される前記ホール４００におい
て、前記円形のホール４０２の中央に形成される前記Ｏ
リング（Ｏ−ｓｈａｐｅｄ）６０６は前記移動レール４
０の上部面と前記固定体３０の相応する端の上部に形成
された前記円形のホール３１２に挿入される。前記固定
ピン６００を固定させるための前記ネジ６０８はワッシ
ャ６１４、６１６を有する。

【００２４】前記回転軸６０の組合わせのため、前記固
定ピン６００は前記ベアリング６０４、前記ホール４０
０、前記Ｏリング（Ｏ−ｓｈａｐｅｄ）６０６、前記ホ
ール３１０、前記ベアリング６１２に順次に挿入され
る。次いで、前記固定ピン６００は前記ネジ６１８と結
合される。従って、前記移動レール４０は前記固定体３
０に回転できるように結合される。前記高さ調節器１０
と前記移動レール４０の結合構造は前述に限定されるわ
けではなく、前記高さ調節器１０の上下移動によって揺
れずに上下移動をそのままで反映し、水平方向に回転で
きる移動レール４０を用いてもよい。

【００２５】図５には、前記移動レール４０と前記弾性
測定器５０を結合するための結合具７０の構造が示され
ている。前記結合具７０は前記弾性測定器５０を吊るし
て支持する密着板７２と、前記密着板７２が前記移動レ
ール４０で移動できるようにする結合体７４とを備え
る。前記密着板７２は前記弾性測定器５０の所定部位を
吊るし、それを支持するために密着突起７００と前記密
着板７２が前記移動レール４０で移動するようにするた
め、前記移動レール４０が挿入される開口部７０８を有
する。前記結合体７４はネジ及びネジホール７０２、７
０４により前記密着板７２に固定される。前記結合具７
０が前記移動レール４０でスムーズに移動できるように
ローラ又はボールが前記開口部７０８又は前記支持突起
７０６の表面に備えられる。又、前記結合具７０は前記
結合具７０を固定するための固定手段を備えることがで
きる。

【００２６】以上のように、前記弾性測定装置１の各部
の構成を詳細に説明した。次いで、このような各部の構
成によるＰＯＧＯピンの弾性測定は図６を参照して説明
する。初めに、前記弾性測定装置１はＰＯＧＯモジュー
ル８０が設けられたプローブ設備の周辺で組み立てる。
即ち、前記垂直移動支持体２０が前記高さ調節器１０に
装着され、前記前記固定体３０が前記垂直移動支持体２
０に固定され、前記移動レール４０、前記結合具７０及
び前記弾性測定器５０が順次に結合される。

【００２７】多数のＰＯＧＯピン８２はプローブ設備の
前記ＰＯＧＯモジュール８０に設けられ、各ＰＯＧＯピ
ン８２は前記ＰＯＧＯモジュール８０を貫通するために
前記ＰＯＧＯモジュール８０に設けられるハウジング８
２０、前記ハウジング８２０の両端に設けられる針８２
２、ハウジング８２０の中央に設けられるボール８２
４、ならびに前記ボール８２４との間に設けられるスプ
リング８２６からなる。具体的に弾性測定のためには、
前記弾性測定装置５０を零点にして初期化する。前記高
さ調節器１０の前記本体は前記弾性測定器５０の前記測
定チップ５０２が前記ＰＯＧＯモジュール８０上に位置
するように置かれる。次いで、前記弾性測定器５０が測
定される前記ＰＯＧＯピン８２上に移動するまで前記移
動レールが前記回転軸６０を中心に回転する。

【００２８】測定部位に前記弾性測定器５０が近接した
ら、前記ＰＯＧＯピン８２の針８２２に前記測定チップ
５０２を合わせる。次いで前記測定チップ５０２が前記
針８２２と接触するまで下に動かすように前記高さ調節
器１０の前記ハンドル１０４を回転させる。この時に前
記測定チップ５０２の高さが基準高さとして零点に設定
される。

【００２９】その後に前記ハンドル１０４がまた回転す
る時、前記測定チップ５０２は所定距離ｄほど前記針８
２２を押すように下に動かすと、前記ＰＯＧＯピン８２
の弾性が測定される。測定された弾性は前記弾性測定器
５０の前記表示部５００を通じて表示される。零点と前
記測定チップ５０２の高さとは次の前記ＰＯＧＯピン８
２の弾性測定基準として使用される。

【００３０】前記ＰＯＧＯピン８２の弾性測定を終了し
た後に前記測定チップ５０２が上に動くように前記ハン
ドル１０４を反対に回転する。前記弾性測定器５０が測
定される次のＰＯＧＯピン上に移動するまで前記移動レ
ール４０は前記回転軸６０を中心にまた回転する。

【００３１】ＰＯＧＯピンの弾性測定は前述したような
方法と基準により遂行される。ゆえに、ＰＯＧＯピンの
弾性測定が繰り返される。ＰＯＧＯピンの弾性基準は前
記測定チップ５０２の移動距離により事前に予測でき
る。例えば、前記測定チップ５０２の移動距離が３ｍｍ
であれば、ＰＯＧＯピンの弾性基準は５０ｇｆ（０．４
９Ｎ）である。即ち、ＰＯＧＯピンの測定された弾性が
２０ｇｆ（０．２０Ｎ）であれば、ＰＯＧＯピンの弾性
としては不適合である。この場合は、ＰＯＧＯピンのス
プリングが続いて使用されれば、テスターヘッドとプロ
ーブカード間の接触にならない接触不良が発生する可能
性がある。この場合に、ＰＯＧＯピンは新しいＰＯＧＯ
ピンに交換しなければならない。又、ＰＯＧＯピンの測
定された弾性が７０ｇｆ（０．６９Ｎ）であれば、プロ
ーブカード又はＤＵＴはＰＯＧＯピンのスプリングの過
度な弾性により損傷される可能性があるので、新しいＰ
ＯＧＯピンに交換しなければならない。

【００３２】一方、図６に示されたように、多くのＰＯ
ＧＯピンの弾性を同時に測定するために前記弾性測定器
５０の測定チップ５０２は拡張された測定板５０６に形
成されることができる。この時に、測定されたＰＯＧＯ
ピンの各々の弾性は全ての弾性の和を測定されたＰＯＧ
Ｏピンの数で割って得られる。前記拡張された測定板５
０６はＰＯＧＯピンが有する弾性をサンプリングにより
測定することによって、広い面積でのＰＯＧＯピンの異
常有無を把握することが容易である。

【００３３】図７を参照すると、前記移動レール４０の
測定範囲を過ぎて位置したＰＯＧＯピンの弾性を測定す
るために移動レール４０の長さを拡張する拡張移動レー
ル９０が結合された形態が示されている。前記拡張移動
レール９０は前記固定体３０と前記移動レール４０を相
互連結する前記回転軸６０のような軸構造を有する。
又、前記拡張移動レール９０は前記弾性測定器５０を前
記移動レール４０で自由に動かすように前記移動レール
４０と同一な終端部を有する。前記移動レール４０と結
合する前記拡張移動レール９０の結合部は又移動レール
４０の相応する連結部と同一であるか、又は小さい終端
部を有する。

【００３４】以上で、本発明は記載された実施例のみに
対しては詳細に説明されるが、本発明の技術思想の範囲
内で多様な変形及び修正が可能であるのは当業者におい
て明白であり、このような変形及び修正は添付された特
許請求範囲に属することは当然である。

【００３５】

【発明の効果】本発明によると、一定の基準が設定され
た条件下で各ＰＯＧＯピンの弾性が正確に測定され、測
定結果の信頼度が向上する効果がある。これによって、
ＤＵＴの損傷を予防でき、正確なテストを遂行できる効
果がある。そして、ＰＯＧＯモジュールに設けられたＰ
ＯＧＯピンの位置に関係なく、ＰＯＧＯピンの弾性を測
定できる。又、過度な弾性を有するＰＯＧＯピンを検出
できるので、ＰＯＧＯピンの損傷及びテスト誤謬が予防
できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例によるＰＯＧＯピンの弾性測定
装置を示す正面図である。

【図２】本発明の実施例によるＰＯＧＯピンの弾性測定
装置の垂直移動支持体の構成を示す分解斜視図である。

【図３】本発明の実施例によるＰＯＧＯピンの弾性測定
装置の固定体の構成を示す分解斜視図である。

【図４】本発明の実施例によるＰＯＧＯピンの弾性測定
装置の回転軸の連結構造を示す分解図である。

【図５】本発明の実施例によるＰＯＧＯピンの弾性測定
装置の弾性測定器を固定するための結合具の構造を示す
分解斜視図である。

【図６】本発明の実施例によるＰＯＧＯピンの弾性測定
装置での測定例を示す部分断面図である。

【図７】本発明の実施例によるＰＯＧＯピンの弾性測定
装置の移動レール及び拡張移動レールの構成形態を示す
部分断面図である。

【符号の説明】

１０ 高さ調節器 １２ 本体 ２０ 垂直移動支持体 ２２、２４ 垂直支持具 ２６ 水平支持具 ３０ 固定体 ３２ ボディ ３４ 結合ピン ３６ 結合板 ４０ 移動レール ５０ 弾性測定器 ６０ 回転軸 ７０ 結合具 ７２ 密着板 ７４ 結合体 ８０ ＰＯＧＯモジュール ８２ ＰＯＧＯピン ９０ 拡張移動レール １００ 第１垂直軸 １０２ 第２垂直軸 １０４、３０２ ハンドル １０６ ベース １２０ 操作パネル １２２、５００ 表示部 ２０５、２０６ 結合突起 ８２０ ハウジング

フロントページの続き (72)発明者 金 秉住 大韓民国京畿道龍仁市器興邑農書里山24番 地 (72)発明者 金 廷鎬 大韓民国京畿道龍仁市器興邑農書里山24番 地 Ｆターム(参考） 2G061 AA02 AB04 BA06 CB16 DA01 EC04

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 垂直に高さを調節可能な高さ調節器と、 前記高さ調節器の高さ調節により上下に移動可能に前記
   高さ調節器に取付けられ、ＰＯＧＯピンの弾性を測定す
   る弾性測定器と、 を備えることを特徴とするＰＯＧＯピンの弾性測定装
   置。
2. 【請求項２】 前記弾性測定器を前記高さ調節器に取付
   け、前記弾性測定器を水平方向に動かす設置移送手段を
   さらに備えることを特徴とする請求項１に記載のＰＯＧ
   Ｏピンの弾性測定装置。
3. 【請求項３】 前記設置移送手段は、 前記高さ調節器の高さ調節により上下に移動可能に前記
   高さ調節器に設けられている垂直移動支持体と、 前記垂直移動支持体と分離又は結合する固定体と、 前記固定体と結合して回転可能な移動レールと、 前記弾性測定器が結合した状態で、所定距離の範囲内で
   移動可能に前記移動レールに設けられている結合具と、 を有することを特徴とする請求項２に記載のＰＯＧＯピ
   ンの弾性測定装置。
4. 【請求項４】 前記垂直移動支持体は、前記高さ調節器
   に固定された少なくとも一つの垂直支持具と、前記垂直
   支持具の底面と結合する水平支持具と、前記水平支持具
   の側面に形成されている結合突起とを有することを特徴
   とする請求項３に記載のＰＯＧＯピンの弾性測定装置。
5. 【請求項５】 前記結合具は、前記弾性測定器を吊るし
   て支持する密着板と、前記密着板を移動レール上で動か
   すように設けられている固定板とを有することを特徴と
   する請求項３に記載のＰＯＧＯピンの弾性測定装置。
6. 【請求項６】 前記固定体は、 ネジ、ならびに前記ネジに結合して回転するハンドルが
   設けられた結合ピンと、 前記結合ピンの前記ネジが挿入されて締結される第１ホ
   ールが形成されている結合板と、 一側には前記結合ピンが挿入される第２ホールが形成さ
   れ、前記第２ホールの下部に前記結合板が装入される開
   口部が形成され、前記結合ピン及び前記結合板により前
   記固定体が前記結合突起に固定されるように前記第２ホ
   ールと前記開口部との間には前記結合突起が挿入される
   貫通ホールが形成されているボディと、 を有することを特徴とする請求項４に記載のＰＯＧＯピ
   ンの弾性測定装置。
7. 【請求項７】 前記移動レールは、前記固定体の一側に
   配置された回転軸を通じて回転可能に結合し、 前記回転軸は、 中央にネジホールが形成された固定ピンと、 前記固定体の一側、ならびに前記移動レールの対応する
   一端に各々形成された円形のホールに挿入され、前記固
   定体及び前記移動レールのために設けられているベアリ
   ングと、 前記固定ピンが前記円形のホールの中央に挿入されるよ
   うにするためのホールと、 前記固定体の一側、ならびに前記移動レールの対応する
   一端の間に設けられて挿入されるパッキングを有するリ
   ングと、 前記固定ピンのネジホールと締結されるネジと、 を有することを特徴とする請求項３に記載のＰＯＧＯピ
   ンの弾性測定装置。
8. 【請求項８】 前記移動レールは、水平方向に−１３５
   °から＋１３５°の角度範囲で回転可能であることを特
   徴とする請求項７に記載のＰＯＧＯピンの弾性測定装
   置。
9. 【請求項９】 前記移動レールには長さ方向に長さの延
   長のための拡張移動レールが連結されることを特徴とす
   る請求項３に記載のＰＯＧＯピンの弾性測定装置。
10. 【請求項１０】 前記拡張移動レールの縦断規格は、前
    記移動レールの縦断規格と同一であることを特徴とする
    請求項９に記載のＰＯＧＯピンの弾性測定装置。
11. 【請求項１１】 前記高さ調節器は、 所定の大きさの目盛りが形成されている少なくとも一つ
    の垂直軸と、 前記垂直軸に沿って移動し、所定基準に対する移動距離
    が測定されて表示される本体と、 前記垂直軸を支持するベースと、 を有することを特徴とする請求項１または２に記載のＰ
    ＯＧＯピンの弾性測定装置。
12. 【請求項１２】 前記高さ調節器は、１／１００から１
    ｍｍ単位で高さが調節されることを特徴とする請求項１
    に記載のＰＯＧＯピンの弾性測定装置。
13. 【請求項１３】 前記ベースは、磁性の状態が設定によ
    り可変の磁性体であることを特徴とする請求項１１に記
    載のＰＯＧＯピンの弾性測定装置。
14. 【請求項１４】 前記弾性測定器は、一つ以上のＰＯＧ
    Ｏピンの弾性を同時に測定する測定板を有することを特
    徴とする請求項１に記載のＰＯＧＯピンの弾性測定装
    置。
15. 【請求項１５】 前記弾性測定器は、０から１９．６Ｎ
    の範囲内のデジタルフォースゲージを有することを特徴
    とする請求項１に記載のＰＯＧＯピンの弾性測定装置。