JP2002357519A - Pogoピンの弾性測定装置 - Google Patents
Pogoピンの弾性測定装置Info
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Abstract
高さを調節できる高さ調節器10、前記高さ調節器10
の高さにより上下に移動できるように前記高さ調節器1
0上に設けられる垂直移動支持体20、前記垂直移動支
持体20と分離又は結合して設けられる固定体30、前
記固定体30に連結されて回転できる移動レール40、
ならびに弾性測定器50が結合した状態で所定距離の範
囲内で移動するよう、前記移動レール40に設けられる
結合具を備える。このPOGOピン弾性測定装置は、P
OGOピンがPOGOモジュールに装着されている間
に、同一な条件でPOGOピンの弾性を測定できるの
で、POGOピンによる不良を事前に防止できる効果が
ある。
Description
成された半導体装置の電気的な特性を測定するための弾
性測定装置に関するものであり、より詳細には、半導体
ウェーハに形成された半導体装置の電気的な特性が測定
される時、プローブカードに接触するPOGOモジュー
ル内のPOGOピンの弾性測定装置に関するものであ
る。
装置は一般的にウェーハに酸化、写真、エッチング、及
びイオン注入のような多様な工程が繰返し遂行される
と、所定のパターンが形成されて製造される。しかし、
半導体装置内の要所が段々と集積されることによって、
製造工程の間で、半導体装置に予期しない問題が生じる
可能性がある。このような問題を解決するための後処理
工程としてEDS(Electrical Die S
orting)工程がある。
ている半導体装置の電気的な特性検査を通じて半導体装
置が正常であるかを決められる。装置を調査するため、
与えられた入力信号に対する出力信号に対して出力信号
の電気的特性を把握するプローブ設備が用いられる。プ
ローブ設備の概略的な構成としては、テストしようする
ウェーハの上側にテスター(Tester)、テスター
ヘッド(Tester head)及びプローブカード
(Prove card)が備えられている。前記ウェ
ーハはプローブチャック(Preve chuck)に
より固定される。テスターヘッドとプローブカードとの
間にはPOGOモジュールが備えられる。前記POGO
モジュールはテスターヘッドからプローブカードに電気
的な信号を伝達する役割をする。このため、前記POG
OモジュールはPCB(printed circui
t board)に数百個以上のPOGOピンが挿入さ
れる形態からなる。
を貫通して前記POGOモジュールに設けられるハウジ
ング、前記ハウジングの両端に設けられる針、前記針の
間に設けられるボール、ならびに前記ボールの間に設け
られるスプリングで構成される。前記スプリングは前記
テスターヘッドと前記プローブカードがPOGOモジュ
ールにより結合される時、緩衝を提供する役割をする。
で、それは大切に扱う必要がある。又、スプリングの弾
性によると、POGOピンはプローブカードに電気的な
信号を確実に伝達できない可能性がある。前記POGO
ピンが正常であるかを確認するためPOGOピンは外形
と弾性が測定される。外形は一般的に肉眼で確認される
が、弾性は弾性測定器を通じて確認されなければならな
い。ところで、従来のPOGOピンの弾性測定はPOG
Oモジュールに装着されているPOGOピンをサンプル
に取って、別途の弾性測定器で一個の単位で測定すると
か、又は携帯用弾性測定器を利用してPOGOピンがP
OGOモジュールに装着されている状態のまま針を一つ
ずつ押しながら、手動で測定することにより行われた。
ンの弾性を正確に測定できる利点があるが、サンプリン
グを使用するためPOGOピンをPOGOモジュールか
ら取り出すのが不便である。携帯用弾性測定器を使用す
ることは便利であるが、携帯用弾性測定器はPOGOピ
ンを押す力が一定ではないという問題があり、測定結果
が異なるという問題がある。即ち、各々異なる条件で測
定された結果であることが分かる。特に、不注意なテス
トの遂行によりDUT(Device Under T
est)が損傷される恐れがある。又、手動でPOGO
ピンを測定する過程で測定者の不注意によりPOGOピ
ンを損傷させる恐れがある。
GOピンにより不良が発生することを防止するため、半
導体装置の調査に使用されるPOGOモジュール内のP
OGOピンの弾性を測定するPOGOピンの弾性測定装
置を提供することにある。本発明の他の目的は、POG
OピンをPOGOモジュールから抜かないでも正確にP
OGOピンの弾性を測定できるPOGOピンの弾性測定
装置を提供することにある。本発明の他の目的は、プロ
ーブカードの各POGOピンの弾性測定が同一条件下で
遂行されるPOGOピンの弾性測定装置を提供すること
にある。本発明のまた他の目的は、POGOモジュール
に装着されるPOGOピンの位置と関係なく、POGO
ピンの弾性を容易に測定できるPOGOピンの弾性測定
装置を提供することにある。
めの本発明によるPOGOピンの弾性測定装置は、上下
に高さを調節できる高さ調節器と、前記高さ調節器の高
さ調節により上下に移動可能に前記高さ調節器に取付け
られ、POGOピンの弾性を測定する弾性測定器とを備
える。この時望ましくは、前記弾性測定装置は、前記弾
性測定器を前記高さ調節器に取付け、前記弾性測定器を
水平方向に動かす設置移送手段を含む。前記設置移送手
段は前記高さ調節器の高さ調節により垂直に移動するよ
うに前記高さ調節器に設けられる垂直移動支持体と、前
記垂直移動支持体と分離又は結合するように配置される
固定体と、前記固定体と結合して回転できる移動レール
と、前記弾性測定器が結合した状態で、所定距離の範囲
内で動けるように前記移動レールに設けられる結合具と
を備える。
固定された少なくとも一つの垂直支持具と、前記垂直支
持具の底面と結合する水平支持具と、前記水平支持具の
側面に形成される結合突起とを備える。前記結合具は前
記弾性測定器を吊るして支持する密着板と、前記密着板
が移動レール上で動けるように設けられる固定板とを備
える。前記固定体はネジ、ならびに前記ネジに結合され
て回転するハンドルが備えられた結合ピンと、前記結合
ピンに形成されている前記ネジが挿入されて締結される
ホールが備えられる結合板と、一側には前記結合ピンが
挿入されるホールが形成され、前記ホールの下部に前記
結合板が挿入される開口部が形成されており、前記結合
ピンと前記結合板により前記固定体が前記結合突起に固
定されるように前記ホールと前記開口部との間には前記
結合突起が挿入される貫通ホールが形成されるボディと
からなる。
された回転軸を通じて回転できるように結合し、前記回
転軸は中央にネジホールが形成された固定ピンと、前記
固定体の一側、ならびに前記移動レールの相応する一端
に各々形成された円形のホールに挿入される、前記固定
体と前記移動レールのためのベアリングと、前記固定ピ
ンが前記円形のホールの中央に挿入されるようにするた
めのホールと、前記固定体の一側、ならびに前記移動レ
ールの相応する一端との間に設けられて挿入されるパッ
キングを有するリングと、前記固定ピンのネジホールと
締結されるネジとを備える。
ら+135°の角度範囲で回転できる。前記移動レール
は長さ方向に、長さ延長のための拡張移動レールがさら
に連結される。このため、前記拡張移動レールの縦断規
格は前記移動レールの縦断規格と同一である。
りが形成されている少なくとも一つの垂直軸と、前記垂
直軸に沿って移動しながら、所定基準に対する移動距離
が測定されて表示される本体と、前記垂直軸を支えるベ
ースとを備える。
発明の具体的な実施例を詳細に説明する。例えば、本発
明の実施例は色々な形態に変換されることができ、本発
明の範囲が以下で説明する実施例により画定されると解
釈してはいけない。実施例は当業界で平均的な知識を有
する者に本発明をより完全に説明するために提供される
ものである。従って、図面での要所の形状等はより明確
な説明を強調するために誇張されたものである。
ピンの弾性測定装置の正面図が示されている。本実施例
の弾性測定装置1は上下に高さを調節できる高さ調節器
10、前記高さ調節器10に設けられる垂直移動支持体
20、前記垂直移動支持体20に連結される固定体3
0、回転軸60を通じて前記固定体30に連結される移
動レール40、所定距離の区間内で動けるように前記移
動レール40に設けられる結合具70、ならびに前記結
合具70を通じて前記移動レール40上に設けられる弾
性測定器50を備える。
体、第1垂直軸100、第2垂直軸102及びベース1
06を備える。前記第1、2垂直軸100、102は相
対する内側に互いに異なる大きさの目盛りが形成されて
いる。前記本体は前記目盛りを通じて高さを測定する。
前記目盛りにより測定される高さは1/100mmから
1mm単位に調節され、調節される高さの幅が大きい場
合には、前記本体の高さは大きい目盛りを有する前記第
1回転軸100を基準に調節し、調節幅が小さい場合に
は小さい目盛りが形成されている前記第2回転軸100
で調節する。
00、102を支える役割をする。前記ベース106は
前記高さ調節器10を所定場所、又は位置に固定する固
定手段を含む。又、前記ベース106は前記第1、2回
転軸100、102と弾性測定時には結合され、測定が
終了されれば、分離しやすい性質のものに具現されるこ
とができる。その例として、設定により磁性が異なる磁
性体が挙げられる。
パネル120、ならびに基準点と前記基準点に対する高
さの増減等が表示される表示部500を備える。前記本
体は後面に前記本体の高さを上下に調節するための回転
式ハンドル104を備える。前記本体が上下に移動しな
がら、高さが調節されれば、ここに取付けられている前
記垂直移動支持体20は前記固定体30及び前記移動レ
ール40と共に上下に移動する。結果的に前記移動レー
ル40に取付けられた前記弾性調節器50は上下に移動
する。この時、弾性測定器50の前記測定チップ502
が移動する高さほどPOGOピン82を押すことにな
る。従って、前記弾性測定装置は前記POGOピン82
に押付けられるロードに相応する弾性を測定して、これ
を表示部500に表示する。
は0から19.6N(newtons)の範囲内で弾性
を測定できるデジタルフォースゲージを使用できる。前
記弾性測定器50は下に説明したように、前記結合具7
0を通じて前記移動レール40上をスライディングする
ように締結される。前記移動レール40は後に説明する
回転軸60に対して−135°から+135°の角度範
囲内で回転できる。
構成を示す分解斜視図が示されている。前記垂直移動支
持体20は結合突起が側部に各々形成されている2つの
垂直支持具22、24と、前記垂直支持具22、24下
側にネジ結合される水平支持具26とで構成されてい
る。結合器は下の説明のように固定体30上に固定さ
れ、前記固定体30内に挿入され、U字型からなる。
高さ調節器10の前記本体と結合されるためのネジホー
ル200、202が形成されている。又、前記水平支持
具26には垂直軸100、102が所定空間離れた状態
で前記垂直移動支持体が上下移動するように挿入される
溝210、212が各々形成されている。前記溝21
0、212にはガイド板208がネジ結合により固定さ
れる。以上の例では前記垂直支持具22、24と前記水
平支持具26は分離されてネジ結合されるように構成さ
れているが、分離せずに一つの体部を構成するように変
形して成型できるのは当然である。
体30の構成を示す分解斜視図が示されている。前記固
定体30は結合ピン34、ボディ32及び結合板36か
らなる。前記結合ピン34はネジ300と、前記結合ピ
ン34を回転させるためのハンドル302とを備える。
前記ボディ32の一側には前記結合ピン34が挿入され
るホール304が形成される。前記ホール304下部に
は前記結合板36が入れられる開口部306が形成され
ている。前記ボディ32の一側には後に図4を参照して
説明するベアリング612が挿入されるための円形のホ
ール310が形成される。前記ホール304と前記開口
部306との間にはU字型の結合突起204が挿入され
るための貫通ホール314が形成される。前記結合板3
6の中央には前記結合ピン34の前記ネジ300が挿入
されるためのネジホール308がある。前記結合突起2
04が前記貫通ホール314に挿入される時、前記結合
ピン34の前記ネジ300は前記結合板36の前記ネジ
ホール308と締結される。従って、前記固定体30は
前記垂直支持具22の前記結合突起204に固定され
る。
40を連結する前記回転軸60を示す図面が示されてい
る。回転軸は固定ピン600、前記移動レール40のた
めのベアリング604、Oリング(O−shaped)
606、前記固定体のためのベアリング、ならびに前記
固定ピン600と締結されるネジ610からなる。
602が形成されている。前記移動レール40のための
前記ベアリング604は前記移動レール40の一端の底
面に形成された円形のホール402に挿入される。前記
固定ピン600が挿入される前記ホール400におい
て、前記円形のホール402の中央に形成される前記O
リング(O−shaped)606は前記移動レール4
0の上部面と前記固定体30の相応する端の上部に形成
された前記円形のホール312に挿入される。前記固定
ピン600を固定させるための前記ネジ608はワッシ
ャ614、616を有する。
定ピン600は前記ベアリング604、前記ホール40
0、前記Oリング(O−shaped)606、前記ホ
ール310、前記ベアリング612に順次に挿入され
る。次いで、前記固定ピン600は前記ネジ618と結
合される。従って、前記移動レール40は前記固定体3
0に回転できるように結合される。前記高さ調節器10
と前記移動レール40の結合構造は前述に限定されるわ
けではなく、前記高さ調節器10の上下移動によって揺
れずに上下移動をそのままで反映し、水平方向に回転で
きる移動レール40を用いてもよい。
測定器50を結合するための結合具70の構造が示され
ている。前記結合具70は前記弾性測定器50を吊るし
て支持する密着板72と、前記密着板72が前記移動レ
ール40で移動できるようにする結合体74とを備え
る。前記密着板72は前記弾性測定器50の所定部位を
吊るし、それを支持するために密着突起700と前記密
着板72が前記移動レール40で移動するようにするた
め、前記移動レール40が挿入される開口部708を有
する。前記結合体74はネジ及びネジホール702、7
04により前記密着板72に固定される。前記結合具7
0が前記移動レール40でスムーズに移動できるように
ローラ又はボールが前記開口部708又は前記支持突起
706の表面に備えられる。又、前記結合具70は前記
結合具70を固定するための固定手段を備えることがで
きる。
の構成を詳細に説明した。次いで、このような各部の構
成によるPOGOピンの弾性測定は図6を参照して説明
する。初めに、前記弾性測定装置1はPOGOモジュー
ル80が設けられたプローブ設備の周辺で組み立てる。
即ち、前記垂直移動支持体20が前記高さ調節器10に
装着され、前記前記固定体30が前記垂直移動支持体2
0に固定され、前記移動レール40、前記結合具70及
び前記弾性測定器50が順次に結合される。
前記POGOモジュール80に設けられ、各POGOピ
ン82は前記POGOモジュール80を貫通するために
前記POGOモジュール80に設けられるハウジング8
20、前記ハウジング820の両端に設けられる針82
2、ハウジング820の中央に設けられるボール82
4、ならびに前記ボール824との間に設けられるスプ
リング826からなる。具体的に弾性測定のためには、
前記弾性測定装置50を零点にして初期化する。前記高
さ調節器10の前記本体は前記弾性測定器50の前記測
定チップ502が前記POGOモジュール80上に位置
するように置かれる。次いで、前記弾性測定器50が測
定される前記POGOピン82上に移動するまで前記移
動レールが前記回転軸60を中心に回転する。
ら、前記POGOピン82の針822に前記測定チップ
502を合わせる。次いで前記測定チップ502が前記
針822と接触するまで下に動かすように前記高さ調節
器10の前記ハンドル104を回転させる。この時に前
記測定チップ502の高さが基準高さとして零点に設定
される。
る時、前記測定チップ502は所定距離dほど前記針8
22を押すように下に動かすと、前記POGOピン82
の弾性が測定される。測定された弾性は前記弾性測定器
50の前記表示部500を通じて表示される。零点と前
記測定チップ502の高さとは次の前記POGOピン8
2の弾性測定基準として使用される。
た後に前記測定チップ502が上に動くように前記ハン
ドル104を反対に回転する。前記弾性測定器50が測
定される次のPOGOピン上に移動するまで前記移動レ
ール40は前記回転軸60を中心にまた回転する。
方法と基準により遂行される。ゆえに、POGOピンの
弾性測定が繰り返される。POGOピンの弾性基準は前
記測定チップ502の移動距離により事前に予測でき
る。例えば、前記測定チップ502の移動距離が3mm
であれば、POGOピンの弾性基準は50gf(0.4
9N)である。即ち、POGOピンの測定された弾性が
20gf(0.20N)であれば、POGOピンの弾性
としては不適合である。この場合は、POGOピンのス
プリングが続いて使用されれば、テスターヘッドとプロ
ーブカード間の接触にならない接触不良が発生する可能
性がある。この場合に、POGOピンは新しいPOGO
ピンに交換しなければならない。又、POGOピンの測
定された弾性が70gf(0.69N)であれば、プロ
ーブカード又はDUTはPOGOピンのスプリングの過
度な弾性により損傷される可能性があるので、新しいP
OGOピンに交換しなければならない。
GOピンの弾性を同時に測定するために前記弾性測定器
50の測定チップ502は拡張された測定板506に形
成されることができる。この時に、測定されたPOGO
ピンの各々の弾性は全ての弾性の和を測定されたPOG
Oピンの数で割って得られる。前記拡張された測定板5
06はPOGOピンが有する弾性をサンプリングにより
測定することによって、広い面積でのPOGOピンの異
常有無を把握することが容易である。
測定範囲を過ぎて位置したPOGOピンの弾性を測定す
るために移動レール40の長さを拡張する拡張移動レー
ル90が結合された形態が示されている。前記拡張移動
レール90は前記固定体30と前記移動レール40を相
互連結する前記回転軸60のような軸構造を有する。
又、前記拡張移動レール90は前記弾性測定器50を前
記移動レール40で自由に動かすように前記移動レール
40と同一な終端部を有する。前記移動レール40と結
合する前記拡張移動レール90の結合部は又移動レール
40の相応する連結部と同一であるか、又は小さい終端
部を有する。
対しては詳細に説明されるが、本発明の技術思想の範囲
内で多様な変形及び修正が可能であるのは当業者におい
て明白であり、このような変形及び修正は添付された特
許請求範囲に属することは当然である。
た条件下で各POGOピンの弾性が正確に測定され、測
定結果の信頼度が向上する効果がある。これによって、
DUTの損傷を予防でき、正確なテストを遂行できる効
果がある。そして、POGOモジュールに設けられたP
OGOピンの位置に関係なく、POGOピンの弾性を測
定できる。又、過度な弾性を有するPOGOピンを検出
できるので、POGOピンの損傷及びテスト誤謬が予防
できる効果がある。
装置を示す正面図である。
装置の垂直移動支持体の構成を示す分解斜視図である。
装置の固定体の構成を示す分解斜視図である。
装置の回転軸の連結構造を示す分解図である。
装置の弾性測定器を固定するための結合具の構造を示す
分解斜視図である。
装置での測定例を示す部分断面図である。
装置の移動レール及び拡張移動レールの構成形態を示す
部分断面図である。
Claims (15)
- 【請求項1】 垂直に高さを調節可能な高さ調節器と、 前記高さ調節器の高さ調節により上下に移動可能に前記
高さ調節器に取付けられ、POGOピンの弾性を測定す
る弾性測定器と、 を備えることを特徴とするPOGOピンの弾性測定装
置。 - 【請求項2】 前記弾性測定器を前記高さ調節器に取付
け、前記弾性測定器を水平方向に動かす設置移送手段を
さらに備えることを特徴とする請求項1に記載のPOG
Oピンの弾性測定装置。 - 【請求項3】 前記設置移送手段は、 前記高さ調節器の高さ調節により上下に移動可能に前記
高さ調節器に設けられている垂直移動支持体と、 前記垂直移動支持体と分離又は結合する固定体と、 前記固定体と結合して回転可能な移動レールと、 前記弾性測定器が結合した状態で、所定距離の範囲内で
移動可能に前記移動レールに設けられている結合具と、 を有することを特徴とする請求項2に記載のPOGOピ
ンの弾性測定装置。 - 【請求項4】 前記垂直移動支持体は、前記高さ調節器
に固定された少なくとも一つの垂直支持具と、前記垂直
支持具の底面と結合する水平支持具と、前記水平支持具
の側面に形成されている結合突起とを有することを特徴
とする請求項3に記載のPOGOピンの弾性測定装置。 - 【請求項5】 前記結合具は、前記弾性測定器を吊るし
て支持する密着板と、前記密着板を移動レール上で動か
すように設けられている固定板とを有することを特徴と
する請求項3に記載のPOGOピンの弾性測定装置。 - 【請求項6】 前記固定体は、 ネジ、ならびに前記ネジに結合して回転するハンドルが
設けられた結合ピンと、 前記結合ピンの前記ネジが挿入されて締結される第1ホ
ールが形成されている結合板と、 一側には前記結合ピンが挿入される第2ホールが形成さ
れ、前記第2ホールの下部に前記結合板が装入される開
口部が形成され、前記結合ピン及び前記結合板により前
記固定体が前記結合突起に固定されるように前記第2ホ
ールと前記開口部との間には前記結合突起が挿入される
貫通ホールが形成されているボディと、 を有することを特徴とする請求項4に記載のPOGOピ
ンの弾性測定装置。 - 【請求項7】 前記移動レールは、前記固定体の一側に
配置された回転軸を通じて回転可能に結合し、 前記回転軸は、 中央にネジホールが形成された固定ピンと、 前記固定体の一側、ならびに前記移動レールの対応する
一端に各々形成された円形のホールに挿入され、前記固
定体及び前記移動レールのために設けられているベアリ
ングと、 前記固定ピンが前記円形のホールの中央に挿入されるよ
うにするためのホールと、 前記固定体の一側、ならびに前記移動レールの対応する
一端の間に設けられて挿入されるパッキングを有するリ
ングと、 前記固定ピンのネジホールと締結されるネジと、 を有することを特徴とする請求項3に記載のPOGOピ
ンの弾性測定装置。 - 【請求項8】 前記移動レールは、水平方向に−135
°から+135°の角度範囲で回転可能であることを特
徴とする請求項7に記載のPOGOピンの弾性測定装
置。 - 【請求項9】 前記移動レールには長さ方向に長さの延
長のための拡張移動レールが連結されることを特徴とす
る請求項3に記載のPOGOピンの弾性測定装置。 - 【請求項10】 前記拡張移動レールの縦断規格は、前
記移動レールの縦断規格と同一であることを特徴とする
請求項9に記載のPOGOピンの弾性測定装置。 - 【請求項11】 前記高さ調節器は、 所定の大きさの目盛りが形成されている少なくとも一つ
の垂直軸と、 前記垂直軸に沿って移動し、所定基準に対する移動距離
が測定されて表示される本体と、 前記垂直軸を支持するベースと、 を有することを特徴とする請求項1または2に記載のP
OGOピンの弾性測定装置。 - 【請求項12】 前記高さ調節器は、1/100から1
mm単位で高さが調節されることを特徴とする請求項1
に記載のPOGOピンの弾性測定装置。 - 【請求項13】 前記ベースは、磁性の状態が設定によ
り可変の磁性体であることを特徴とする請求項11に記
載のPOGOピンの弾性測定装置。 - 【請求項14】 前記弾性測定器は、一つ以上のPOG
Oピンの弾性を同時に測定する測定板を有することを特
徴とする請求項1に記載のPOGOピンの弾性測定装
置。 - 【請求項15】 前記弾性測定器は、0から19.6N
の範囲内のデジタルフォースゲージを有することを特徴
とする請求項1に記載のPOGOピンの弾性測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR2001-19306 | 2001-04-11 | ||
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