JPH0543068B2 - - Google Patents
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- JPH0543068B2 JPH0543068B2 JP60216872A JP21687285A JPH0543068B2 JP H0543068 B2 JPH0543068 B2 JP H0543068B2 JP 60216872 A JP60216872 A JP 60216872A JP 21687285 A JP21687285 A JP 21687285A JP H0543068 B2 JPH0543068 B2 JP H0543068B2
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- circuit board
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Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、偏平な回路基板に各種の電子部品を
装着して組立てられた被検査体としての実装回路
基板(以下、たんに回路基板という)を最終的に
導通検査する回路基板検査装置に係り、特に、各
種の電子部品を回路基板の両面に装着した被検査
体を検査する両面回路基板検査装置に関する。
装着して組立てられた被検査体としての実装回路
基板(以下、たんに回路基板という)を最終的に
導通検査する回路基板検査装置に係り、特に、各
種の電子部品を回路基板の両面に装着した被検査
体を検査する両面回路基板検査装置に関する。
既に提案されているこの種の回路基板検査装置
は、回路基板の片面のみに各種の電子部品を装着
した被検査体として回路基板に多数のコンタクト
ピンすなわちコンタクトプロープを接触させて導
通検査している。
は、回路基板の片面のみに各種の電子部品を装着
した被検査体として回路基板に多数のコンタクト
ピンすなわちコンタクトプロープを接触させて導
通検査している。
すなわち、上述した回路基板検査装置は、ピン
ボードに多数のコンタクトピンに弾発的に植設
し、これらのコンタクトピンを、回路基板の一面
に装着された各電子部品から回路基板の他面へ突
出する導体部分に上方または下方から前進させて
圧接し、これによつて電気的導通検査を施すよう
になつている。
ボードに多数のコンタクトピンに弾発的に植設
し、これらのコンタクトピンを、回路基板の一面
に装着された各電子部品から回路基板の他面へ突
出する導体部分に上方または下方から前進させて
圧接し、これによつて電気的導通検査を施すよう
になつている。
このように、被検査体としての回路基板は、そ
の一面に各種電子を装着し、回路基板の他面が検
査回路面を形成している関係上、コンタクトピン
を被検査体の他面側から回路基板に接触導通させ
て測定検査が行われる。
の一面に各種電子を装着し、回路基板の他面が検
査回路面を形成している関係上、コンタクトピン
を被検査体の他面側から回路基板に接触導通させ
て測定検査が行われる。
しかしながら、最近の回路基板に使用される各
種の電子部品はますます小型化されているので、
高密度配置を予儀なくされ、これに起因して、回
路基板の表裏、つまり、両面にそれぞれ装着して
使用されるため、これらの両面回路基板の導通検
査は、両面回路基板の上・下方向から一挙に一工
程で導通検査することが望まれている。
種の電子部品はますます小型化されているので、
高密度配置を予儀なくされ、これに起因して、回
路基板の表裏、つまり、両面にそれぞれ装着して
使用されるため、これらの両面回路基板の導通検
査は、両面回路基板の上・下方向から一挙に一工
程で導通検査することが望まれている。
一方、電子部品の高密度配置に伴いコンタクト
ピンの配置も高密度化されかつコンタクトピン自
体が細くなつている。したがつて、回路基板とコ
ンタクトピンの相対的位置に少しでも狂いがある
と、コンタクトピンは接触すべき回路パターン上
の検査点とは異なる位置へ接触してしまう。
ピンの配置も高密度化されかつコンタクトピン自
体が細くなつている。したがつて、回路基板とコ
ンタクトピンの相対的位置に少しでも狂いがある
と、コンタクトピンは接触すべき回路パターン上
の検査点とは異なる位置へ接触してしまう。
ところが、回路基板の位置決めのために用いる
位置決め孔は、いかに正確に加工しても、回路基
板の回路パターンの製作時点とは異なる時点に作
られるので、回路パターンに対する相対位置に製
作上の誤差が発生し易い。
位置決め孔は、いかに正確に加工しても、回路基
板の回路パターンの製作時点とは異なる時点に作
られるので、回路パターンに対する相対位置に製
作上の誤差が発生し易い。
本発明の前述の問題点に鑑みなされたもので、
その目的は、両面回路基板の両面の導通検査を同
時に行うことができ、しかも、高密度化された回
路基板パターンに対し正確にコンタクトピンの先
端を接触させることができる回路基板検査装置を
得ることにある。
その目的は、両面回路基板の両面の導通検査を同
時に行うことができ、しかも、高密度化された回
路基板パターンに対し正確にコンタクトピンの先
端を接触させることができる回路基板検査装置を
得ることにある。
本発明の回路基板検査装置は、支持ベースに複
数の案内支柱を樹立し、各案内支柱の上部に、下
向きのコンタクトピンを有する上部ピンボードを
備えた固定板を支持し、この固定板と支持ベース
の間には、上向きのコンタクトピンを有する下部
ピンボードを備えた可動板を、上方へ向かつて移
動自在に各案内支柱により支持し、前記下部ピン
ボートの上位でしかも前記上部ピンボートの下位
において、前記各案内支柱に上下に摺動自在に枠
状の保持部材を嵌装し、固定板と保持部材との間
および可動板と保持部材との間にそれぞれ弾性材
を介在させ、保持部材上には、検査すべき両面回
路基板をその上下面が上下に露出する状態で位置
決めし支持する回路基板支持テーブルを、水平方
向に前後左右に微調整可能に支承し、回路基板支
持テーブル上方位置には、それにより位置決め支
持された両面回路基板上面の指標の位置を検知す
る回路基板位置検知装置を設け、前記保持部材に
は、それに対する回路基板支持テーブルの前後左
右位置の微調整を行う微調整装置を設けたことを
特徴とする。
数の案内支柱を樹立し、各案内支柱の上部に、下
向きのコンタクトピンを有する上部ピンボードを
備えた固定板を支持し、この固定板と支持ベース
の間には、上向きのコンタクトピンを有する下部
ピンボードを備えた可動板を、上方へ向かつて移
動自在に各案内支柱により支持し、前記下部ピン
ボートの上位でしかも前記上部ピンボートの下位
において、前記各案内支柱に上下に摺動自在に枠
状の保持部材を嵌装し、固定板と保持部材との間
および可動板と保持部材との間にそれぞれ弾性材
を介在させ、保持部材上には、検査すべき両面回
路基板をその上下面が上下に露出する状態で位置
決めし支持する回路基板支持テーブルを、水平方
向に前後左右に微調整可能に支承し、回路基板支
持テーブル上方位置には、それにより位置決め支
持された両面回路基板上面の指標の位置を検知す
る回路基板位置検知装置を設け、前記保持部材に
は、それに対する回路基板支持テーブルの前後左
右位置の微調整を行う微調整装置を設けたことを
特徴とする。
上記構成により、本発明では下部ピンボードの
上昇により、それと上部ピンボードとの間に回路
基板が挟まれて、その両面の検査が同時に行われ
る。また、回路基板への回路パターンの製作と同
時に、回路基板に適当なマークすなわち指標を形
成しておき、その回路基板を回路基板支持テーブ
ル上に装着した後、該支持テーブルを前後左右に
微調整して指標が所定の位置へ来るようにし、そ
れを回路基板位置検知装置により検出した後検査
が行われる。
上昇により、それと上部ピンボードとの間に回路
基板が挟まれて、その両面の検査が同時に行われ
る。また、回路基板への回路パターンの製作と同
時に、回路基板に適当なマークすなわち指標を形
成しておき、その回路基板を回路基板支持テーブ
ル上に装着した後、該支持テーブルを前後左右に
微調整して指標が所定の位置へ来るようにし、そ
れを回路基板位置検知装置により検出した後検査
が行われる。
以下、本発明を図示の一実施例について説明す
る。
る。
第1図において、符号2は、偏平な四角形状支
持ベースであつて、この支持ベース2上の各角隅
部には、4本の案内支柱3が植設されており、こ
の案内支柱3の上部には、多数の下向きのコンタ
クトピン4を有する上部ピンボード6aを支持す
る固定板6が水平に固着されている。上部ピンボ
ード6aは固定板6の下面にスペーサ板7等を介
して支持されている。コンタクトピン4の上端は
導電線4aを介して図示しない上部コネクタに接
続されている。このコネクタは図示しない導通検
査用計器に接続される。
持ベースであつて、この支持ベース2上の各角隅
部には、4本の案内支柱3が植設されており、こ
の案内支柱3の上部には、多数の下向きのコンタ
クトピン4を有する上部ピンボード6aを支持す
る固定板6が水平に固着されている。上部ピンボ
ード6aは固定板6の下面にスペーサ板7等を介
して支持されている。コンタクトピン4の上端は
導電線4aを介して図示しない上部コネクタに接
続されている。このコネクタは図示しない導通検
査用計器に接続される。
一方、上記固定板6の下方において、上記各案
内支柱3には、下部ピンボード8aをスペーサ板
5を介して支持する可動板8が上、下方向に摺動
自在に嵌装されており、この下部ピンボード8a
の上面には多数のコンタクトピン9が上向きに、
しかも弾発的に昇降するように設けられている。
なお、コンタクトピン9の下端は、図示しない下
部コネクタ2に導電線9aを通して接続されてい
る。可動板8は案内支柱3に対しベアリング8b
により支持される。また、導電線9aは前述の計
器に接続される。
内支柱3には、下部ピンボード8aをスペーサ板
5を介して支持する可動板8が上、下方向に摺動
自在に嵌装されており、この下部ピンボード8a
の上面には多数のコンタクトピン9が上向きに、
しかも弾発的に昇降するように設けられている。
なお、コンタクトピン9の下端は、図示しない下
部コネクタ2に導電線9aを通して接続されてい
る。可動板8は案内支柱3に対しベアリング8b
により支持される。また、導電線9aは前述の計
器に接続される。
前記上部ピンボード6aの下部ピンボード8a
の間において、各案内支柱3には、中央部に大き
な開口10aを有する扁平な枠状保持部材10が
ベアリング10bを介して上、下方向に摺動自在
に嵌装されており、この保持部材10は、第2図
に示すように、それと可動板8の間、およびそれ
と固定板6の間にそれぞれ介装した弾性材、たと
えば圧縮コイルばね14,15によつて浮動状態
に保持されている。すなわち、可動板8上には、
各一対をなすガイドピン11が上方へ向かつて立
設されており、この各ガイドピン11の直上に位
置する上記保持部材10には各一対をなすガイド
ピン12が上下に貫通して植切されている。さら
に、各ガイドピン12の直上に位置する上記固定
板6の部分には、各一対のなすガイドピン13が
垂設されている。そして、各ガイドピン11と各
ガイドピン12の下側への突出部との間には、保
持部材10と可動板8との間に介在するように前
記コイルばね14が弾発的に介装されており、上
記各ガイドピン12の上側突出部とガイドピン1
3との間には、保持部材10と固定板6との間に
介在するように、前記コイルばね15が弾発的に
介装されており、特に、上部のコイルばね15は
下部のコイルばね14の弾力より弱く形成されて
いる。
の間において、各案内支柱3には、中央部に大き
な開口10aを有する扁平な枠状保持部材10が
ベアリング10bを介して上、下方向に摺動自在
に嵌装されており、この保持部材10は、第2図
に示すように、それと可動板8の間、およびそれ
と固定板6の間にそれぞれ介装した弾性材、たと
えば圧縮コイルばね14,15によつて浮動状態
に保持されている。すなわち、可動板8上には、
各一対をなすガイドピン11が上方へ向かつて立
設されており、この各ガイドピン11の直上に位
置する上記保持部材10には各一対をなすガイド
ピン12が上下に貫通して植切されている。さら
に、各ガイドピン12の直上に位置する上記固定
板6の部分には、各一対のなすガイドピン13が
垂設されている。そして、各ガイドピン11と各
ガイドピン12の下側への突出部との間には、保
持部材10と可動板8との間に介在するように前
記コイルばね14が弾発的に介装されており、上
記各ガイドピン12の上側突出部とガイドピン1
3との間には、保持部材10と固定板6との間に
介在するように、前記コイルばね15が弾発的に
介装されており、特に、上部のコイルばね15は
下部のコイルばね14の弾力より弱く形成されて
いる。
第3図に示すように、上部ピンボード6aには
案内スリーブ17が固定され、このスリーブ17
内に摺動ピン16が上下に変位自在に設けられ、
スリーブ17は、スリーブ17の上部端壁との間
に介装した圧縮コイルばね18によつて下降の限
度まで弾圧されている。そして、このような摺動
ピン16は上部ピンボード6aの他の個所にも設
けられ、これらの摺動ピン16の下端に、上部コ
ンタクトピン4の先端すなわち下端を保護する保
護板19が固定されている。保護板19には上部
コンタクトピン4の下端部が摺動自在に挿通され
ている。
案内スリーブ17が固定され、このスリーブ17
内に摺動ピン16が上下に変位自在に設けられ、
スリーブ17は、スリーブ17の上部端壁との間
に介装した圧縮コイルばね18によつて下降の限
度まで弾圧されている。そして、このような摺動
ピン16は上部ピンボード6aの他の個所にも設
けられ、これらの摺動ピン16の下端に、上部コ
ンタクトピン4の先端すなわち下端を保護する保
護板19が固定されている。保護板19には上部
コンタクトピン4の下端部が摺動自在に挿通され
ている。
同様に、下部ピンボード8aにも、同じような
機能をもつ案内スリーブ20、摺動ピン21およ
び圧縮コイルばね22が設けられ、摺動ピン21
はばね22により上昇の限度まで弾圧されてい
る。そして、摺動ピン21の上端には下部コンタ
クトピン9の先端すなわち上端を保護する保護板
23が固定されており、下部コンタクトピン9の
上端が保護板23に摺動自在に挿通されている。
機能をもつ案内スリーブ20、摺動ピン21およ
び圧縮コイルばね22が設けられ、摺動ピン21
はばね22により上昇の限度まで弾圧されてい
る。そして、摺動ピン21の上端には下部コンタ
クトピン9の先端すなわち上端を保護する保護板
23が固定されており、下部コンタクトピン9の
上端が保護板23に摺動自在に挿通されている。
第3図において、保持部材10には、回路基板
支持テーブル25が水平方向に前後左右に微調整
可能に支持される。微調整のための構造について
は後述する。回路基板支持テーブル25は、上面
に複数の位置決めピン26を植設され、このピン
26に両面を検査される回路基板Wの位置決め孔
がはめ込まれて、支持テーブル25に対する回路
基板Wの位置決めがなされる。回路基板支持板2
5は四角形の枠状をなし、その四辺部下側に基枠
27を固定してある。また、基板27を収容し支
持するために基枠27のまわりに支枠28が設け
られて、前記保持部材10にボルト29により固
定されている。
支持テーブル25が水平方向に前後左右に微調整
可能に支持される。微調整のための構造について
は後述する。回路基板支持テーブル25は、上面
に複数の位置決めピン26を植設され、このピン
26に両面を検査される回路基板Wの位置決め孔
がはめ込まれて、支持テーブル25に対する回路
基板Wの位置決めがなされる。回路基板支持板2
5は四角形の枠状をなし、その四辺部下側に基枠
27を固定してある。また、基板27を収容し支
持するために基枠27のまわりに支枠28が設け
られて、前記保持部材10にボルト29により固
定されている。
第4図に示すように、前記支枠28は四角形板
状の枠体で、その内側の回路基板支持テーブル2
5も、それに支持される回路基板Wの下面を下向
きに露出させうるように中心部に開口を有し、同
様に四角形状の枠体をなす板体である。
状の枠体で、その内側の回路基板支持テーブル2
5も、それに支持される回路基板Wの下面を下向
きに露出させうるように中心部に開口を有し、同
様に四角形状の枠体をなす板体である。
支枠28の手前側および奥側には1対の対向す
る細長いX軸方向ガイド部材30,31が固定さ
れている。これらのガイド部材30,31は、第
4図の−断面を示す第5図の左右寄り部分に
も示されている。そして、これらガイド部材3
0,31のそれぞれの内側に沿つてX軸方向(第
4図の左右方向)に案内されつつ摺動するように
細長い被案内部材32,33が設けられており、
これら被案内部材32,33は四角形枠34の対
向する2辺に固着されている。したがつて、四角
形枠34はX軸方向ガイド部材30,31に案内
されつつ支枠28に対してX軸方向に変位可能で
ある。
る細長いX軸方向ガイド部材30,31が固定さ
れている。これらのガイド部材30,31は、第
4図の−断面を示す第5図の左右寄り部分に
も示されている。そして、これらガイド部材3
0,31のそれぞれの内側に沿つてX軸方向(第
4図の左右方向)に案内されつつ摺動するように
細長い被案内部材32,33が設けられており、
これら被案内部材32,33は四角形枠34の対
向する2辺に固着されている。したがつて、四角
形枠34はX軸方向ガイド部材30,31に案内
されつつ支枠28に対してX軸方向に変位可能で
ある。
四角形枠34の他の対向する2辺の外側には、
細長いY軸方向ガイド部材35,36が固着され
ている。また、第4図の−断面を示す第6図
の左側よりに示すように、四角形枠34と一体を
なす部材38と支枠28に突設したピン40との
間には圧縮ばね41が介装されている。また、第
6図の右側に示すように、四角形枠34と一体を
なす取付部材42から一体的に立上るように当接
板43が設けられている。一方、支枠28上の取
付板44にはマイクロメータヘツドMCXが取付
けられ、その先端に測定子45が接触している。
四角形枠34のX軸方向左方(第6図における)
への変位は、圧縮ばね41の弾力に抗して行われ
る。
細長いY軸方向ガイド部材35,36が固着され
ている。また、第4図の−断面を示す第6図
の左側よりに示すように、四角形枠34と一体を
なす部材38と支枠28に突設したピン40との
間には圧縮ばね41が介装されている。また、第
6図の右側に示すように、四角形枠34と一体を
なす取付部材42から一体的に立上るように当接
板43が設けられている。一方、支枠28上の取
付板44にはマイクロメータヘツドMCXが取付
けられ、その先端に測定子45が接触している。
四角形枠34のX軸方向左方(第6図における)
への変位は、圧縮ばね41の弾力に抗して行われ
る。
四角形枠34の左右のY軸方向ガイド部材3
5,36の外側には、それに案内されつつY軸方
向に摺動変位する被案内部材47,48が位置し
ている。これらの被案内部材47,48は、第6
図に示すように回路基板支持テーブル25の基枠
27の下側に固定されている。したがつて、回路
基板支持テーブル25は、Y軸方向ガイド部材3
5,36に案内されつつY軸方向に摺動変位可能
である。一方、回路基板支持テーブル25を支承
する四角形枠34がX軸方向ガイド部材30,3
1に沿つてX軸方向に摺動変位自在であることに
より、回路基板支持テーブルはX軸方向にも摺動
変位可能である。
5,36の外側には、それに案内されつつY軸方
向に摺動変位する被案内部材47,48が位置し
ている。これらの被案内部材47,48は、第6
図に示すように回路基板支持テーブル25の基枠
27の下側に固定されている。したがつて、回路
基板支持テーブル25は、Y軸方向ガイド部材3
5,36に案内されつつY軸方向に摺動変位可能
である。一方、回路基板支持テーブル25を支承
する四角形枠34がX軸方向ガイド部材30,3
1に沿つてX軸方向に摺動変位自在であることに
より、回路基板支持テーブルはX軸方向にも摺動
変位可能である。
回転基板支持テーブル25のX軸方向の微量調
節はX軸用マイクロメータヘツドMCXの回路操
作により行われる。マイクロメータヘツドMCX
の回動調整により、第6図において、当接板43
が圧縮ばね41を圧縮しつつ左方へ、また圧縮ば
ね41の伸長力により右方へ変位する。
節はX軸用マイクロメータヘツドMCXの回路操
作により行われる。マイクロメータヘツドMCX
の回動調整により、第6図において、当接板43
が圧縮ばね41を圧縮しつつ左方へ、また圧縮ば
ね41の伸長力により右方へ変位する。
一方、回転基板支持テーブル25のY軸方向の
微量調節は、第5図に示すY軸用マイクロメータ
ヘツドMCYの回動操作により行われる。同図に
示すように、四角形枠34と一体的な部材50か
ら立上り状に突設した取付部材51に、上記マイ
クロメータヘツドMCYが取付けられ、また回転
基板支持テーブル25の下面に固定した部材52
には、先端に測定子53を有する柱状部材54の
基端が螺入により固定されている。また、マイク
ロメータヘツドMCYと反対の側にある四角形枠
34の辺の内側と、回転基板支持テーブル基枠2
7のピン56との間には圧縮ばね57が介装され
ている。回転基板支持テーブル25とY軸方向の
微量調節は、Y軸用マイクロメータヘツドMCY
の回転操作によりX軸の場合に同様にして行うこ
とができる。
微量調節は、第5図に示すY軸用マイクロメータ
ヘツドMCYの回動操作により行われる。同図に
示すように、四角形枠34と一体的な部材50か
ら立上り状に突設した取付部材51に、上記マイ
クロメータヘツドMCYが取付けられ、また回転
基板支持テーブル25の下面に固定した部材52
には、先端に測定子53を有する柱状部材54の
基端が螺入により固定されている。また、マイク
ロメータヘツドMCYと反対の側にある四角形枠
34の辺の内側と、回転基板支持テーブル基枠2
7のピン56との間には圧縮ばね57が介装され
ている。回転基板支持テーブル25とY軸方向の
微量調節は、Y軸用マイクロメータヘツドMCY
の回転操作によりX軸の場合に同様にして行うこ
とができる。
第2図に示すように、前記支持ベース2の後部
上面には、ブレーキ付のモータM1が設置されて
おり、このモータM1の出力軸60には、逆ハー
ト形の第1カム部材61および同軸的な2個の第
2カム部材62a,62bが取付けられている。
上面には、ブレーキ付のモータM1が設置されて
おり、このモータM1の出力軸60には、逆ハー
ト形の第1カム部材61および同軸的な2個の第
2カム部材62a,62bが取付けられている。
各第2カム部材62a,62bは基本的には円
形をなすが、その周縁上の一部に後述の上限スイ
ツチおよび下限スイツチに当接してそれを作動さ
せる突部を有している。突部の角度位置は2個の
第2カム部材でそれぞれ異なつている。
形をなすが、その周縁上の一部に後述の上限スイ
ツチおよび下限スイツチに当接してそれを作動さ
せる突部を有している。突部の角度位置は2個の
第2カム部材でそれぞれ異なつている。
また、第1カム部材61の回転領域に近接する
上記支持ベース2上の位置には、ブラケツト62
が固設されており、このブラケツト62には作動
レバー63が支軸64によつて枢着されている。
さらに、この作動レバー63の一端部63aにあ
るローラは上記第1カム部材61の周縁に接触し
ており、作動レバー63の他端部63bは、可動
板8の下側板体8cの底面に付設された当接部材
66に前記コイルばね14,15の伸長しようと
する弾力によつて弾発的に当接している。さらに
また、上記第2カム部材62a,62bの回転軌
跡上には、第1図に示すように上限スイツチSa
と下限スイツチSbとが設けられており、上限ス
イツチSaは、後述のように下部ピンボード8a
および可動板8が上限位置に上昇したときにカム
62aの突部により作動してモータM1を停止さ
せるようになつており、下限スイツチSbは、後
述のように下部ピボード8aおよび可動板8が下
限位置に下降したときにカム62bの突部により
作動するようになつている。
上記支持ベース2上の位置には、ブラケツト62
が固設されており、このブラケツト62には作動
レバー63が支軸64によつて枢着されている。
さらに、この作動レバー63の一端部63aにあ
るローラは上記第1カム部材61の周縁に接触し
ており、作動レバー63の他端部63bは、可動
板8の下側板体8cの底面に付設された当接部材
66に前記コイルばね14,15の伸長しようと
する弾力によつて弾発的に当接している。さらに
また、上記第2カム部材62a,62bの回転軌
跡上には、第1図に示すように上限スイツチSa
と下限スイツチSbとが設けられており、上限ス
イツチSaは、後述のように下部ピンボード8a
および可動板8が上限位置に上昇したときにカム
62aの突部により作動してモータM1を停止さ
せるようになつており、下限スイツチSbは、後
述のように下部ピボード8aおよび可動板8が下
限位置に下降したときにカム62bの突部により
作動するようになつている。
第2図に示すように、上部ピンポード6aおよ
びその下側に支持されるコンタクトピン先端保護
板19は、同図で実線で示す作用位置とそれから
後退し鎖線位置との間で移動自在となつている。
このような移動を可能とするために、上部ピンボ
ード6aの両端のスペーサ板7の上端は、第1図
に示すように移動板70に連結され、移動板70
はその上面に固定した金具71を介して、固定板
6の下面に前後方向に固定したガイド72に沿い
移動自在に支持されている。
びその下側に支持されるコンタクトピン先端保護
板19は、同図で実線で示す作用位置とそれから
後退し鎖線位置との間で移動自在となつている。
このような移動を可能とするために、上部ピンボ
ード6aの両端のスペーサ板7の上端は、第1図
に示すように移動板70に連結され、移動板70
はその上面に固定した金具71を介して、固定板
6の下面に前後方向に固定したガイド72に沿い
移動自在に支持されている。
第2図に示すように、固定板6の下面の前部と
後部には、移動板70の前進位置および後退位置
を規定するために移動板の図示しない突起に当接
するストツパ74,75が固定されている。ま
た、移動板70の前進端位置および後退端位置を
検出するために検出スイツチ76,77が固定板
6の下面に取付けられている。
後部には、移動板70の前進位置および後退位置
を規定するために移動板の図示しない突起に当接
するストツパ74,75が固定されている。ま
た、移動板70の前進端位置および後退端位置を
検出するために検出スイツチ76,77が固定板
6の下面に取付けられている。
上部ピンボード6aを第2図の実線位置と鎖線
位置との間で移動させるために、固定板6の後方
への延長部上に可逆転モータM2が設置されてい
る。可逆転モータM2の回転駆動軸は固定板6の
下側へ突出し、それに、第7図の平面図に示すよ
うに駆動プーリ80が固定されている。一方、固
定板6の前部の下側には遊動プーリ81が取付け
られており、これらのプーリ80,81に掛け渡
したワイヤロープ82の両端は前記金具71の側
面に83,84で示す位置でそれぞれ連結されて
いる。したがつて、モータM2の一方向への回転
により、移動板70および上部ピンボード6aは
前進し、モータM2の他方向への回転により移動
板70および上部ピンボード6aは後退する。
位置との間で移動させるために、固定板6の後方
への延長部上に可逆転モータM2が設置されてい
る。可逆転モータM2の回転駆動軸は固定板6の
下側へ突出し、それに、第7図の平面図に示すよ
うに駆動プーリ80が固定されている。一方、固
定板6の前部の下側には遊動プーリ81が取付け
られており、これらのプーリ80,81に掛け渡
したワイヤロープ82の両端は前記金具71の側
面に83,84で示す位置でそれぞれ連結されて
いる。したがつて、モータM2の一方向への回転
により、移動板70および上部ピンボード6aは
前進し、モータM2の他方向への回転により移動
板70および上部ピンボード6aは後退する。
上部ピンボード6aは、前進端位置へ達すると
ストツパ74への当接により停止し、検出スイツ
チ76の検出動作によりモータM2の一方向への
回転は停止する。一方、上部ピンボード6aは、
後退端位置へ達するとストツパ75への当接によ
り停止し、検出スイツチ77の検出動作によりモ
ータM2の他方向への回転は停止する。
ストツパ74への当接により停止し、検出スイツ
チ76の検出動作によりモータM2の一方向への
回転は停止する。一方、上部ピンボード6aは、
後退端位置へ達するとストツパ75への当接によ
り停止し、検出スイツチ77の検出動作によりモ
ータM2の他方向への回転は停止する。
固定板6の上面の両側部には、第2図に示すよ
うにブラケツト86が固定され、それにピン87
によつてレバー88の中程が枢着されている。レ
バー88の一端はソレノイド駆動装置SL(第1
図、第2図)のプランジヤ90にリンク91を介
して連結されている。レバー88の上記一端の下
降の限度はクツシヨンストツパ92により定めら
れる。レバー88の他端は位置決めピン93の上
端に当接している。位置決めピン93はそれを受
けるスリーブ94内で上下に摺動自在とされかつ
コイルばね95により常時上方に付勢されてい
る。
うにブラケツト86が固定され、それにピン87
によつてレバー88の中程が枢着されている。レ
バー88の一端はソレノイド駆動装置SL(第1
図、第2図)のプランジヤ90にリンク91を介
して連結されている。レバー88の上記一端の下
降の限度はクツシヨンストツパ92により定めら
れる。レバー88の他端は位置決めピン93の上
端に当接している。位置決めピン93はそれを受
けるスリーブ94内で上下に摺動自在とされかつ
コイルばね95により常時上方に付勢されてい
る。
一方、移動板70には上向き穴を有する位置決
めピン受け96が固定されている。
めピン受け96が固定されている。
上部ピンボード6aが第2図に実線で示す前進
位置に達して停止すると、近接スイツチ98(第
1図の右上方)が作動して両ソレノイド駆動装置
SLを作動させる。これにより、そのプランジヤ
90が後退し、レバー88は第2図において反時
計方向に回動し、レバー88の端部が前記位置決
めピン93を、ばね95の力に抗して押し下げ、
位置決めピン受け96の上向き穴内へ係合させ
る。これにより、移動板70および上部ピンボー
ド6a所定の前進位置にロツクされる。また、上
部ピンボード6aの後退時には、ソレノイド駆動
装置SLが切られ、位置決めピン93はばね95
で押上げられて上部ピンボード6aの移動板70
のロツクが解かれる。
位置に達して停止すると、近接スイツチ98(第
1図の右上方)が作動して両ソレノイド駆動装置
SLを作動させる。これにより、そのプランジヤ
90が後退し、レバー88は第2図において反時
計方向に回動し、レバー88の端部が前記位置決
めピン93を、ばね95の力に抗して押し下げ、
位置決めピン受け96の上向き穴内へ係合させ
る。これにより、移動板70および上部ピンボー
ド6a所定の前進位置にロツクされる。また、上
部ピンボード6aの後退時には、ソレノイド駆動
装置SLが切られ、位置決めピン93はばね95
で押上げられて上部ピンボード6aの移動板70
のロツクが解かれる。
回路基板Wはその両面が検査されるものであつ
て、そのパターンを形成と同時に、その両端部寄
り位置にマークすなわち指標(例えば十印)が施
される。この指標は、パターンと同時に形成され
るのでパターンに対しては常に一定の位置関係に
ある。パターンと指標の形成時とは別に、回路基
板Wの適当位置に、第3図に示す回路基板位置決
めピン26が挿入される位置決め孔が形成され
る。
て、そのパターンを形成と同時に、その両端部寄
り位置にマークすなわち指標(例えば十印)が施
される。この指標は、パターンと同時に形成され
るのでパターンに対しては常に一定の位置関係に
ある。パターンと指標の形成時とは別に、回路基
板Wの適当位置に、第3図に示す回路基板位置決
めピン26が挿入される位置決め孔が形成され
る。
回路基板Wの指標の位置を検知するために、固
定板6の両端部に回路基板位置検知装置100が
取付部材101を介して設置される。第7図から
明らかなように、固定板6はその前部中央部が1
02で示すように開放され、回路基板位置検知装
置100はその開放部から下方へ突出するように
設けられている。
定板6の両端部に回路基板位置検知装置100が
取付部材101を介して設置される。第7図から
明らかなように、固定板6はその前部中央部が1
02で示すように開放され、回路基板位置検知装
置100はその開放部から下方へ突出するように
設けられている。
回路基板位置検知装置100は例えば顕微鏡で
あり、そのレンズの光学系には回路基板に形成し
た指標を同じような十印が付されている。レンズ
の指標は、回路基板Wの回路パターンがコンタク
トピン4,9に対して所定の相対位置をとつた時
に、回路基板上の指標の位置と正確に合うように
設けられている。
あり、そのレンズの光学系には回路基板に形成し
た指標を同じような十印が付されている。レンズ
の指標は、回路基板Wの回路パターンがコンタク
トピン4,9に対して所定の相対位置をとつた時
に、回路基板上の指標の位置と正確に合うように
設けられている。
回路基板W上の指標と回路基板位置検出装置1
00の指標の一致は、顕微鏡をその上方から肉眼
で覗くことにより検知することができる。
00の指標の一致は、顕微鏡をその上方から肉眼
で覗くことにより検知することができる。
一方、顕微鏡で直接覗く代りに、第8図および
第9図に示すように、前記回路基板検査装置を収
めたケーシング104の上部にCRT装置105
をそれぞれ顕微鏡100に対応させて設け、
CRT装置105の画面を見ることにより指標の
一致を確認するようにしてもよい。
第9図に示すように、前記回路基板検査装置を収
めたケーシング104の上部にCRT装置105
をそれぞれ顕微鏡100に対応させて設け、
CRT装置105の画面を見ることにより指標の
一致を確認するようにしてもよい。
つぎに、以上に説明した回路基板検査装置の作
用につき説明する。
用につき説明する。
この装置による検査の開始前には、上部ピンボ
ード6aは第2図に鎖線で示す後退位置にあり、
したがつて、第7図に示す固定板6の前部開放部
102の下側に回路基板支持テーブル25の上面
が露出している。よつて、回転基板支持テーブル
25の上面にその位置決めピン26(第3図)を
利用して回路基板Wを位置決めしつつ容易に載置
することができる。
ード6aは第2図に鎖線で示す後退位置にあり、
したがつて、第7図に示す固定板6の前部開放部
102の下側に回路基板支持テーブル25の上面
が露出している。よつて、回転基板支持テーブル
25の上面にその位置決めピン26(第3図)を
利用して回路基板Wを位置決めしつつ容易に載置
することができる。
このように回路基板Wを位置決め載置しても、
その回路パターンと位置決め孔とは加工誤差によ
り相対位置が必ずしも常に一定ではない。したが
つて、回路基板Wの回路パターンに対し正確な相
対位置にある指標が回路基板位置検出装置である
顕微鏡の光学系の指標と一致するまで、顕微鏡を
覗きつつ、またはCRT装置を見つつ、回路基板
支持テーブル25を前後、左右、すなわちY軸方
向およびX軸方向に微量調節する。これはマイク
ロメータヘツドMCY,MCXの手による回動によ
り行うことができる。
その回路パターンと位置決め孔とは加工誤差によ
り相対位置が必ずしも常に一定ではない。したが
つて、回路基板Wの回路パターンに対し正確な相
対位置にある指標が回路基板位置検出装置である
顕微鏡の光学系の指標と一致するまで、顕微鏡を
覗きつつ、またはCRT装置を見つつ、回路基板
支持テーブル25を前後、左右、すなわちY軸方
向およびX軸方向に微量調節する。これはマイク
ロメータヘツドMCY,MCXの手による回動によ
り行うことができる。
以上のようにして、回路基板の位置決めが完了
したところで、モータM2を駆動して、後退位置
にある上部ピンボード6aを第2図の実線位置へ
前進させて、回路基板Wの上方に位置させる。こ
れにより、ソレノイド駆動装置SLが作動し、位
置決めピン93が下降して移動板70および上部
ピンボード6aを所定位置にロツクする。
したところで、モータM2を駆動して、後退位置
にある上部ピンボード6aを第2図の実線位置へ
前進させて、回路基板Wの上方に位置させる。こ
れにより、ソレノイド駆動装置SLが作動し、位
置決めピン93が下降して移動板70および上部
ピンボード6aを所定位置にロツクする。
これによつて、モータM1が駆動され、その出
力軸60に固定された第1カム部材61と第2カ
ム部材62a,62bが共に回転するので、逆ハ
ート形第1カム部材61の***部は、作動レバー
63を支軸64の周りに第2図において時計方向
に旋回させる。これによつて、この作動レバー6
3の一端部63aが下方へ押され、その他端部6
3bが当接部材66を介して可動板8を上方へ押
し上げる。
力軸60に固定された第1カム部材61と第2カ
ム部材62a,62bが共に回転するので、逆ハ
ート形第1カム部材61の***部は、作動レバー
63を支軸64の周りに第2図において時計方向
に旋回させる。これによつて、この作動レバー6
3の一端部63aが下方へ押され、その他端部6
3bが当接部材66を介して可動板8を上方へ押
し上げる。
この押し上げによる可動板8の上昇により、下
部のコイルばね14は押し上げ力を保持部材10
に伝達し、保持部材10をも上昇させる。押し上
げ力はさらに保持部材10から上部のコイルばね
15に伝達される。ところで、上部のコイルばね
15の上端は固定板6に接触しており、しかも上
部のコイルばね15は下部のコイルばね14より
も弱いから可動板8の上昇開始により、まず上部
のコイルばね15が圧縮され始める。この時、下
部のコイルばね14の圧縮は殆んどなされず、し
たがつて可動板8上の下部ピンボード8aの上向
きコンタクトピン9と、保持部材10上の回路基
板Wとの相対距離の変化は殆んどない。これに対
し、上部コイルばね15の圧縮によつて保持部材
10上の回路基板Wと上部ピンボード6aの下向
きコンタクトピン4の距離は漸次縮まり、遂に
は、回路基板Wの上面の検査点が下向きコンタク
トピン4に接する。
部のコイルばね14は押し上げ力を保持部材10
に伝達し、保持部材10をも上昇させる。押し上
げ力はさらに保持部材10から上部のコイルばね
15に伝達される。ところで、上部のコイルばね
15の上端は固定板6に接触しており、しかも上
部のコイルばね15は下部のコイルばね14より
も弱いから可動板8の上昇開始により、まず上部
のコイルばね15が圧縮され始める。この時、下
部のコイルばね14の圧縮は殆んどなされず、し
たがつて可動板8上の下部ピンボード8aの上向
きコンタクトピン9と、保持部材10上の回路基
板Wとの相対距離の変化は殆んどない。これに対
し、上部コイルばね15の圧縮によつて保持部材
10上の回路基板Wと上部ピンボード6aの下向
きコンタクトピン4の距離は漸次縮まり、遂に
は、回路基板Wの上面の検査点が下向きコンタク
トピン4に接する。
このような状態になつた後は上部コイルばね1
5の圧縮は止まる。また上部コイルばね15はそ
の弱い弾力で、下向きコンタクトピン4と回路基
板Wの上面の電子部品との最初の接触時に軟い緩
衝作用を果たし、部品を保護する。回路基板Wの
上面の電子部品はフラツトパツケージであること
が多く、そのまわりに突出する多数の折曲導電腕
はきわめて弱く、例べば30グラムを越える力で変
形する。上部コイルばね15の軟い緩衝作用は、
フラツトパツケージの弱い導電腕に所定の弱い力
でコンタクトピン4を接触させることを可能に
し、導電接着面の剥離等の事故を防ぎ正確な加圧
力を確保する。
5の圧縮は止まる。また上部コイルばね15はそ
の弱い弾力で、下向きコンタクトピン4と回路基
板Wの上面の電子部品との最初の接触時に軟い緩
衝作用を果たし、部品を保護する。回路基板Wの
上面の電子部品はフラツトパツケージであること
が多く、そのまわりに突出する多数の折曲導電腕
はきわめて弱く、例べば30グラムを越える力で変
形する。上部コイルばね15の軟い緩衝作用は、
フラツトパツケージの弱い導電腕に所定の弱い力
でコンタクトピン4を接触させることを可能に
し、導電接着面の剥離等の事故を防ぎ正確な加圧
力を確保する。
このようにして所定の力で緩衝作用を伴なつて
下向きのコンタクトピン4と回路基板上面部品と
の接触を行ない、無理な応力なしに所定の導通関
係を確保した後、下部コイルばね14の圧縮変形
を起しつつ可動板8がさらに上昇を続く、遂には
上向きコンタクトピン9の上端が、回路基板Wの
下面の電子部品に接触して、所定の導通関係を作
るので、それを検査表示計器により読取ることが
できる。
下向きのコンタクトピン4と回路基板上面部品と
の接触を行ない、無理な応力なしに所定の導通関
係を確保した後、下部コイルばね14の圧縮変形
を起しつつ可動板8がさらに上昇を続く、遂には
上向きコンタクトピン9の上端が、回路基板Wの
下面の電子部品に接触して、所定の導通関係を作
るので、それを検査表示計器により読取ることが
できる。
このようにして、可動板8が上限位置を達する
と、上限スイツチSa(第1図)が第2カム62a
の突部により押されて閉じる。すると、モータM
1にブレーキがかかつてモータM1は停止する。
と、上限スイツチSa(第1図)が第2カム62a
の突部により押されて閉じる。すると、モータM
1にブレーキがかかつてモータM1は停止する。
一方、これにより図示しない測定検査時間の規
制用タイマが作用し、数秒ないし数十秒の測定検
査時間の経過によつて、モータM1は再び回転を
開始する。
制用タイマが作用し、数秒ないし数十秒の測定検
査時間の経過によつて、モータM1は再び回転を
開始する。
したがつて、第1カム部材61は、下部ピンボ
ード8a、可動板8および保持部材10等の自重
によつて作動レバー63が第2図において反時計
方向に回動することを許す。ピンボード8a、可
動板8になどの下限位置への下降時に第2カム部
材62bの突部が下限スイツチSbを閉じる。こ
れによつて、モータM1が停止し、それにブレー
キがかかる。
ード8a、可動板8および保持部材10等の自重
によつて作動レバー63が第2図において反時計
方向に回動することを許す。ピンボード8a、可
動板8になどの下限位置への下降時に第2カム部
材62bの突部が下限スイツチSbを閉じる。こ
れによつて、モータM1が停止し、それにブレー
キがかかる。
これによりすべての部材は検査開始前の状態に
戻る。この状態では、逆ハート形第1カム部材6
1の***部の反対側にある凹部に、作動レバー6
3の一端部63aにあるローラが係合し、その状
態が安定して維持される。
戻る。この状態では、逆ハート形第1カム部材6
1の***部の反対側にある凹部に、作動レバー6
3の一端部63aにあるローラが係合し、その状
態が安定して維持される。
以上のようにして、回路基板は、上下のコンタ
クトピン4,9による所定の検査点への接触を受
けて上下両側同時に導通検査される。なお、コン
タクトピン4,9の先端が回路基板の検査点に接
触する直前に、第3図に示す保護板19,23が
回路基板の面に接し、それらのばね18,22の
力に抗して後退した後、コンタクトピン4,9の
先端が回路基板に接触する。このようにして、コ
ンタクトピン4,9の先端接触部は常に保護板1
9,23により保護される。
クトピン4,9による所定の検査点への接触を受
けて上下両側同時に導通検査される。なお、コン
タクトピン4,9の先端が回路基板の検査点に接
触する直前に、第3図に示す保護板19,23が
回路基板の面に接し、それらのばね18,22の
力に抗して後退した後、コンタクトピン4,9の
先端が回路基板に接触する。このようにして、コ
ンタクトピン4,9の先端接触部は常に保護板1
9,23により保護される。
このようにして、検査完了後、上部ピンボード
6aは再び第2図の鎖線位置へ後退するので、回
路基板支持テーブル25の上方が開放される。し
たがつて、検査ずみ回路基板Wを容易に取外すこ
とができる。
6aは再び第2図の鎖線位置へ後退するので、回
路基板支持テーブル25の上方が開放される。し
たがつて、検査ずみ回路基板Wを容易に取外すこ
とができる。
以上のようにして、両面回路基板Wの導通検査
は反復継続して行われる。
は反復継続して行われる。
以上述べたように本発明によれば、可動板を固
定板に向かつて移動させるだけで、回路基板の両
面の導通検査を一工程で一挙に、しかも、確実に
行うことがができるばかりでなく、弾性材により
緩衝作用を伴つてコンタクトビンと電子部品の接
触を行うので損傷を防ぐことができる。また、回
転基板支持テーブル上に回路基板を位置決めした
後、回転基板支持テーブルを前後左右に微調整し
て、回路基板のコンタクトピンに対する位置を正
確に定めることができるので、回路基板パターン
に対しコンタクトピンを常に正しい位置で接触さ
せることができる。
定板に向かつて移動させるだけで、回路基板の両
面の導通検査を一工程で一挙に、しかも、確実に
行うことがができるばかりでなく、弾性材により
緩衝作用を伴つてコンタクトビンと電子部品の接
触を行うので損傷を防ぐことができる。また、回
転基板支持テーブル上に回路基板を位置決めした
後、回転基板支持テーブルを前後左右に微調整し
て、回路基板のコンタクトピンに対する位置を正
確に定めることができるので、回路基板パターン
に対しコンタクトピンを常に正しい位置で接触さ
せることができる。
第1図は本発明に係る回路基板検査装置の一部
断面正面図、第2図は同じく一部断面側面図、第
3図は第1図の一部の拡大縦断面図、第4図は上
部の部材を取除いて示す第1図の平面図、第5図
は第4図の−線断面図、第6図は第4図の
−線断面図、第7図は第1図において上部の一
部の部材を取除いて示した平面図、第8図は本発
明の回路基板検査装置、ケーシングおよびCRT
装置の関係を示す正面図、第9図は同側面図であ
る。 2……支持ベース、3……案内支柱、4……上
部コンタクトピンは、6……固定板、6a……上
部ピンボート、8……可動板、8a……下部ピン
ボード、9……下部コンタクトピン、10……保
持部材、14,15……弾性材(コイルばね)、
19,23……コンタクトピンの先端保護板、2
5……回路基板支持テーブル、26……回路基板
位置決めピン、W……回路基板、27……回路基
板支持テーブルの基枠、28……支枠、30,3
1……X軸方向ガイド部材、32,33……被案
内部材、34……四角形枠、35,36……Y軸
方向ガイド部材、40……ピン、41……ばね、
MCX,MCY……マイクロメータヘツド、47,
48……被案内部材、M1……モータ、61,6
2a,62b……カム、63……レバー、66…
…当接部材、70……移動板、M2……モータ、
74,75……ストツパ、80……駆動プーリ、
81……遊動プーリ、82……ワイヤ、SL……
ソレノイド駆動装置、88……レバー、93……
位置決めピン、94……スリーブ、96……位置
決めピン受け、100……回路基板位置検出装置
(顕微鏡)、105……CRT装置。
断面正面図、第2図は同じく一部断面側面図、第
3図は第1図の一部の拡大縦断面図、第4図は上
部の部材を取除いて示す第1図の平面図、第5図
は第4図の−線断面図、第6図は第4図の
−線断面図、第7図は第1図において上部の一
部の部材を取除いて示した平面図、第8図は本発
明の回路基板検査装置、ケーシングおよびCRT
装置の関係を示す正面図、第9図は同側面図であ
る。 2……支持ベース、3……案内支柱、4……上
部コンタクトピンは、6……固定板、6a……上
部ピンボート、8……可動板、8a……下部ピン
ボード、9……下部コンタクトピン、10……保
持部材、14,15……弾性材(コイルばね)、
19,23……コンタクトピンの先端保護板、2
5……回路基板支持テーブル、26……回路基板
位置決めピン、W……回路基板、27……回路基
板支持テーブルの基枠、28……支枠、30,3
1……X軸方向ガイド部材、32,33……被案
内部材、34……四角形枠、35,36……Y軸
方向ガイド部材、40……ピン、41……ばね、
MCX,MCY……マイクロメータヘツド、47,
48……被案内部材、M1……モータ、61,6
2a,62b……カム、63……レバー、66…
…当接部材、70……移動板、M2……モータ、
74,75……ストツパ、80……駆動プーリ、
81……遊動プーリ、82……ワイヤ、SL……
ソレノイド駆動装置、88……レバー、93……
位置決めピン、94……スリーブ、96……位置
決めピン受け、100……回路基板位置検出装置
(顕微鏡)、105……CRT装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 支持ベースに複数の案内支柱を樹立し、各案
内支柱の上部に、下向きのコンタクトピンを有す
る上部ピンボードを備えた固定板を支持し、この
固定板と支持ベースの間には、上向きのコンタク
トピンを有する下部ピンボードを備えた可動板
を、上方へ向かつて移動自在に各案内支柱により
支持し、前記下部ピンボードの上位でしかも前記
上部ピンボードの下位において、前記各案内支柱
に上下に摺動自在に枠状の保持部材を嵌装し、固
定板と保持部材との間および可動板と保持部材と
の間にそれぞれ弾性材を介在させ、保持部材上に
は、検査すべき両面回路基板をその上下面が上下
に露出する状態で位置決めし支持する回路基板支
持テーブルを、水平方向に前後左右に微調整可能
に支承し、回路基板支持テーブル上方位置には、
それにより位置決め支持された両面回路基板上面
の指標の位置を検知する回路基板位置検知装置を
設け、前記保持部材には、それに対する回路基板
支持テーブルの前後左右位置の微調整を行う微調
整装置を設けてなる回路基板検査装置。 2 回路基板支持テーブル上に回路基板位置決め
ピンを突設し、このピンに回路基板に設けた位置
決め孔をはめることにより回路基板の位置決めを
行う特許請求の範囲第1項記載の回路基板検査装
置。 3 保持部材上に固定した支枠の対向する両辺部
に1対の平行な対向状の細長いガイド部材を固定
し、これらのガイド部材の間で対向する2辺が案
内されるように四角形枠を設け、四角形枠の前記
ガイド部材に対向しない他の2辺に他の細長いガ
イド部材を固着し、この他のガイド部材によつて
案内されるように該ガイド部材上に回路基板支持
テーブルを載置した特許請求の範囲第1項記載の
回路基板検査装置。 4 回路基板位置検知装置を、回路基板支持テー
ブル上の回路基板上面の指標の上部に設けた顕微
鏡により構成した特許請求の範囲第1項記載の回
路基板検査装置。 5 回路基板支持テーブルの微調整装置を、回路
基板支持テーブルを移動させるマイクロメータヘ
ツドと、回路基板支持テーブルを支持する四角形
枠を回路基板支持テーブルの移動方向に直交する
方向に移動させるマイクロメータヘツドとにより
構成した特許請求の範囲第3項記載の回路基板検
査装置。 6 上部ピンポードを固定板の下側に前後に移動
可能に装着してなる特許請求の範囲第1項記載の
回路基板検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60216872A JPS6275358A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | 回路基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60216872A JPS6275358A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | 回路基板検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6275358A JPS6275358A (ja) | 1987-04-07 |
JPH0543068B2 true JPH0543068B2 (ja) | 1993-06-30 |
Family
ID=16695236
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60216872A Granted JPS6275358A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | 回路基板検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6275358A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02179487A (ja) * | 1988-12-29 | 1990-07-12 | Seikosha Co Ltd | 両面回路基板用検査ヘッド |
JPH0827334B2 (ja) * | 1992-11-13 | 1996-03-21 | 日東精工株式会社 | 基板検査装置 |
KR101192209B1 (ko) * | 2008-09-05 | 2012-10-17 | 니혼덴산리드가부시키가이샤 | 기판검사용 검사치구 |
-
1985
- 1985-09-30 JP JP60216872A patent/JPS6275358A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6275358A (ja) | 1987-04-07 |
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