JP2002292449A

JP2002292449A - シリコン鋳造用鋳型およびその製造方法

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Publication number: JP2002292449A
Application number: JP2001102673A
Authority: JP
Inventors: Muneyoshi Yamatani; 宗義山谷; Yohei Sakai; 洋平坂井; Yoshiharu Hasegawa; 義治長谷川; Satoshi Kawamura; 聡川村
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 2001-03-30
Filing date: 2001-03-30
Publication date: 2002-10-08
Anticipated expiration: 2021-03-30
Also published as: JP4051181B2

Abstract

(57)【要約】【課題】鋳型内にシリコン融液を注湯する際、その後
の凝固の際、或いは鋳型に入れたシリコン原料を溶解す
る際に、離型材が剥離したり、離型材が鋳型に付着して
鋳型が再使用できなくなったり、鋳型材を黒鉛にした場
合の酸化消耗するという問題があった。【解決手段】鋳型の内表面に離型材を塗布したシリコ
ン鋳造用鋳型において、前記離型材として窒化シリコン
からなる下地材料と、窒化シリコンと二酸化シリコンを
２８：７２〜７５：２５の重量比率で混合した混合材料
とを重ねて塗布する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はシリコン鋳造用鋳型
とその製造方法に関し、特に太陽電池などを形成するた
めの多結晶シリコン鋳造用鋳型とその製造方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術および発明が解決しようとする課題】従来
から太陽電池を形成するための半導体基板の一種として
多結晶シリコンが用いられている。このような多結晶シ
リコンは、高温度で加熱溶融させたシリコン融液を鋳型
内に注湯して凝固させることによって形成したり、シリ
コン原料を鋳型内に入れて一旦溶解した後に再び凝固さ
せることによって形成している。

【０００３】このような鋳型としては、通常、分割可能
な黒鉛製鋳型の内表面に離型材を塗布したものが用いら
れ、離型材としてはシリコンの窒化物である窒化シリコ
ン（Ｓｉ₃Ｎ₄）が用いられる。一般に、窒化シリコン、
炭化珪素、酸化珪素等の粉末を適当なバインダーと溶剤
とから構成される溶液中に混合して攪拌してスラリーと
し、これを鋳型内壁に塗布若しくはスプレー等の手段で
コーティングすることが公知の技術として知られている
（例えば、15^th Photovoltaic Specialists Conf. (198
1), P576〜P580, "A NEW DIRECTIONAL SOLIDIFICATION
TECHNIQUE FORPOLYCRYSTALLINE SOLAR GRADE SILICON"
を参照）。

【０００４】ところが、窒化シリコンを黒鉛製鋳型の内
表面に塗布してシリコンを鋳造する場合、窒化シリコン
膜は脆弱であることから、シリコン融液を注湯する際
に、またその後の凝固の際に、窒化シリコン膜が破損し
て鋳型にシリコン融液が接触し、鋳型がシリコンの鋳塊
に付着して脱型する際にシリコンの鋳塊に欠けが発生す
るという問題があった。また、鋳型内に入れたシリコン
原料を溶解する際に、窒化シリコン膜が破損するという
問題があった。

【０００５】また、二酸化シリコン（ＳｉＯ₂）を黒鉛
製鋳型の内表面に塗布してシリコンを鋳造することも提
案されているが、二酸化シリコンを離型材として用いる
場合、二酸化シリコンは黒鉛と付着性がよく、また二酸
化シリコンとシリコンの鋳塊も付着性がよいために、二
酸化シリコンが鋳型に付着して鋳型の再使用ができなく
なったり、鋳型が離型材を介してシリコンの鋳塊に付着
し、脱型するときにシリコンの鋳塊の一部に欠けが発生
するという問題があった。

【０００６】このような問題を解決するために、特開平
７−２０６４１９号公報では、一層目に二酸化シリコン
を塗布し、二層目に二酸化シリコンと窒化シリコンの混
合物を塗布し、さらに三層目に窒化シリコンを塗布する
ことが提案されている。

【０００７】ところが、このように離型材を三層構造に
塗布すると、それぞれの層に対応する離型材を調合して
塗布しなければならず、離型材の塗布と調合に手間が掛
かるという問題があった。

【０００８】そこで、本発明者らは、二酸化シリコンと
窒化シリコンの混合比率を最適化した離型材を提案した
（特開平９−１７５８０９号公報）。

【０００９】しかしながら、この技術によると離型材を
塗布する基材がグラファイト材である場合、離型材中の
二酸化シリコンと黒鉛が部分的に接触しているため、シ
リコンの融点である１４２０℃付近での使用中に黒鉛が
酸化されてしまい、基材の損傷を早めるという問題があ
る。これは離型材と鋳型基材の接触力を増加させる目的
で提案されている二酸化シリコン単独層を塗布する際に
もっとも顕著である。

【００１０】また、スラリー状の離型材を作製して鋳型
に塗布するためには、水やアルコール等の溶剤と塗布成
形用バインダー、さらには流動性を高めるための添加材
等を適宜、混合して攪拌するのが普通である。成形用バ
インダーの中で最も利用されている物質としてＰＶＡ
（ポリビニルアルコール）がある。ＰＶＡは接着性に優
れることから、粉体の接着・結合に適してしている。

【００１１】成形（塗布）後は、その後の加熱や融液と
の接触中に熱分解生成物が融液中に混入するのを防ぐた
めに、酸化雰囲気中で６００℃程度の温度で脱脂するこ
とが通常行なわれている。ＰＶＡは３００℃付近で急激
に熱分解を起こしてＣＯ等にガス化する結果、９０％程
度までは急速に除去することができるが、残り１０％は
５００℃以上の温度に加熱してもなかなか除去されず、
カーボン残渣として残ってしまうことが多い。

【００１２】また、離型材をカーボン系離型材に塗布し
た場合、酸化雰囲気中で高温脱脂を行なうと、離型材が
酸化するため、消耗が進む結果、耐久性が落ち、結果的
にシリコン鋳塊の製作コストを増大させるという問題が
ある。

【００１３】一方、脱脂を不活性雰囲気中で実施する
と、有機高分子の熱分解反応が急速に進行する結果、水
素原子が引き抜かれてＣＨが直線状に並び、それが環状
になってベンゼンその他環状化合物になる。さらに、脱
水素反応を繰り返して大きく縮合して炭素の多い煤へと
成長してしまう。一旦、煤として安定化してしまうと熱
分解で除去することは困難であるため、離型材中や離型
材表面に付着したままシリコン融液と接触することにな
る。融液と接触した煤あるいは融液中に溶け込んだ炭素
は、太陽電池特性を低下させるばかりでなく、析出して
鋳塊をスライスする際に加工不良を生む原因になる場合
が多い。ＰＶＡに変わる有機バインダーは種々存在する
が、塗布性や接着性を兼ね備えたものはない。また、離
型材としての充分な強度を有し、且つ有機バインダーを
使用することがなく、また離型材塗布時間を短縮する有
効な方法はない。

【００１４】本発明は、このような従来技術の問題点に
鑑みてなされたものであり、鋳型内にシリコン融液を注
湯する際、その後の凝固する際、或いは鋳型に入れたシ
リコン原料を溶解する際に、離型材が剥離したり、離型
材が鋳型に付着して鋳型が再使用できなくなったり、鋳
型材を黒鉛にした場合の酸化消耗を抑えたシリコン鋳造
用鋳型を提供することを目的とする。

【００１５】また、鋳型の内表面に窒化シリコンと二酸
化シリコンを混合したものをプラズマ溶射機を用いてコ
ーティングすることにより、シリコンの鋳塊が鋳型に付
着することによって発生するシリコンの欠けを防止する
と共に、従来使用していた有機バインダーを除去する脱
バインダー工程を省略し、シリコン鋳塊の作製コストを
削減したシリコン鋳造方法を提供することを目的とす
る。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に係るシリコン鋳造用鋳型では、鋳型の内
表面に離型材を塗布したシリコン鋳造用鋳型において、
前記離型材として窒化シリコンからなる下地材料と、窒
化シリコンと二酸化シリコンを２８：７２〜７５：２５
の重量比率で混合した混合材料とを重ねて塗布する。

【００１７】上記シリコン鋳造用鋳型では、前記混合材
料を０．０４ｇ／ｃｍ²以上塗布することが望ましい。

【００１８】また、上記シリコン鋳造用鋳型では、前記
下地材料を０．０４ｇ／ｃｍ²以上塗布することが望ま
しい。

【００１９】また、上記シリコン鋳造用鋳型では、前記
鋳型の本体が黒鉛からなることが望ましい。

【００２０】請求項５に係るシリコン鋳造用鋳型では、
鋳型の内表面に離型材を塗布したシリコン鋳造用鋳型に
おいて、前記離型材として窒化シリコンからなる下地材
料と、窒化シリコンと二酸化シリコンを２８：７２〜７
５：２５の重量比率で混合した混合材料と、窒化シリコ
ンからなる表面材料とを重ねて塗布する。

【００２１】上記シリコン鋳造用鋳型では、前記下地材
料を０．０４ｇ／ｃｍ²以上塗布することが望ましい。

【００２２】また、上記シリコン鋳造用鋳型では、前記
混合材料を０．０４ｇ／ｃｍ²以上塗布することが望ま
しい。

【００２３】また、上記シリコン鋳造用鋳型では、前記
表面材料を０．０４ｇ／ｃｍ²以上塗布することが望ま
しい。

【００２４】また、上記シリコン鋳造用鋳型では、前記
鋳型の本体が黒鉛からなることが望ましい。

【００２５】請求項１０に係るシリコン鋳造鋳型の製造
方法では、鋳型の内表面に離型材を塗布したシリコン鋳
造用鋳型において、前記材として、窒化シリコンと二酸
化シリコンを混合したものをプラズマ溶射法で塗布する上記シリコン鋳造用鋳型の製造方法では、前記窒化シリ
コンと二酸化シリコンの混合比が１：９から９：１であ
ることが望ましい。

【００２６】また、上記シリコン鋳造用鋳型の製造方法
では、前記窒化シリコンと二酸化シリコンの混合材料の
厚みが２０μｍ以上であることが望ましい。

【００２７】また、上記シリコン鋳造用鋳型の製造方法
では、前記鋳型の本体が黒鉛からなることが望ましい。

【００２８】

【発明の実施の形態】以下、各請求項に係る発明を添付
図面に基づき詳細に説明する。図１は、請求項１および
請求項５に係るシリコン鋳造用鋳型に用いられる鋳型の
一例を示す図である。

【００２９】鋳型１は例えば黒鉛などから成り、一つの
底部材１ａと四つの側部材１ｂを組み合わせた分割と組
み立てが可能な分割型鋳型などで構成される。なお、底
部材１ａと側部材１ｂは、ボルト（不図示）などで固定
することによって分割可能に組み立てられたり、底部材
１ａと側部材１ｂが丁度嵌まる枠部材（不図示）で固定
することによって分割可能に組み立てられる。

【００３０】鋳型１の内表面には、底部材１ａや側部材
１ｂを何回も繰り返して使用することができるように離
型材２が塗布される。このような離型材２としては、窒
化シリコン（Ｓｉ₃Ｎ₄）からなる下地材料を塗布した上
に窒化シリコン（Ｓｉ₃Ｎ₄）と二酸化シリコン（ＳｉＯ
₂）を２８：７２〜７５：２５の重量比率で混合した混
合材料を塗布する。窒化シリコンの粉体、および窒化シ
リコンと二酸化シリコンの粉体をポリビニルアルコール
水溶液で混ぜ合わせて鋳型１の内面に塗布する。窒化シ
リコンと二酸化シリコンをポリビニルアルコール水溶液
などで混合することによって、粉体である窒化シリコン
と二酸化シリコンがスラリー状となり、黒鉛製の鋳型１
に塗布しやすくなる。

【００３１】窒化シリコンの粉体としては、０．４〜
０．６μｍ程度の平均粒径を有するものが用いられる。
また、二酸化シリコンの粉体としては、２０μｍ程度の
平均粒径を有するものが用いられる。このような窒化シ
リコンと二酸化シリコンを濃度が５〜１５重量％程度の
ポリビニルアルコール水溶液に混合してスラリー状と
し、へらや刷毛などで鋳型１の内表面に塗布する。その
状態で自然乾燥又はホットプレートに載せて乾燥させて
鋳型１内にシリコン融液を注湯する。

【００３２】離型材２中の窒化シリコンと二酸化シリコ
ンとの混合材料の混合比率は、重量比率で２８：７２〜
７５：２５の間に調整したものを使用する。しかしなが
ら、窒化シリコンの重量比率が２８％に近づく程、離型
材２と鋳型１の反応が顕著になるため、鋳型材１の上に
窒化シリコンからなる下地材料を０.０４ｇ／ｃｍ²以上
塗布して耐酸化層とし、その上に窒化シリコンと二酸化
シリコンとの混合材料を０.０４ｇ／ｃｍ²以上塗布す
る。下地材料と混合材料との単位面積当りの塗布重量が
０.０４ｇ／ｃｍ²未満である場合には離型材層２として
の強度が保てなくなったり、混合材料中の二酸化シリコ
ン（ＳｉＯ₂）と鋳型１中の黒鉛とが部分的に融着した
りする。

【００３３】シリコン融液の注湯と凝固は、例えば鋳型
１の内面に離型材２を塗布して乾燥させた後に、鋳型１
を７．０〜９．０Ｔｏｒｒに減圧したアルゴン（Ａｒ）
雰囲気中に置き、鋳型１をシリコン融液と同程度か若干
低い温度で加熱してシリコン融液を注湯する。また鋳型
１内にシリコン原料を入れ、直接溶解してもよい。しか
る後、鋳型１の底部から徐々に降温させてシリコン融液
を鋳型の底部から徐々に凝固させる。最後に鋳型１を分
割してシリコンの鋳塊を取り出すことにより完成する。

【００３４】次ぎに、請求項５に係るシリコン鋳造用鋳
型の一実施形態を説明する。この発明では、離型材２と
して窒化シリコンからなる下地材料と、窒化シリコンと
二酸化シリコンを２８：７２〜７５：２５の重量比率で
混合した混合材料と、窒化シリコンからなる表面材料と
を重ねて塗布する下地材料と混合材料との上に、さらに窒化シリコンから
なる表面材料を０．０４ｇ／ｃｍ₂以上塗布して耐酸素
溶出層とする。表面材料の塗布量が少ないとシリコン融
液と混合材料中の二酸化シリコンとの接触が盛んになっ
て融液中の酸素濃度が増加する。融液中の酸素はウエハ
ーにした後のデバイス工程における種々の処理工程にお
いて析出物として顕在化して品質に影響を及ぼすことか
ら、酸素濃度を適度に最適化する。

【００３５】次ぎに、請求項１０に係るシリコン鋳造用
鋳型の製造方法を説明する。鋳型１の内表面には、離型
材２がプラズマ溶射法を用いてコーティングされる。プ
ラズマ溶射機は、プラズマ流中に各種粉末材料を送って
溶融噴射して皮膜を形成する装置である。溶射温度は３
２０００°Ｋに及ぶプラズマ気流中の１００００℃前後
の温度帯を使用して溶射粒子の噴射速度はマッハ１に達
しており、この結果極めて高品質で緻密な皮膜層が形成
される。

【００３６】しかしながら、窒化シリコンは約１９００
℃（１ａｔｍ、ｉｎＮ₂）で昇華分解してしまうた
め、単体では液相を作らずに溶射による皮膜層を形成す
ることができない。そこで、比較的低温でガラス層を形
成する二酸化シリコンを焼結助剤として混合することに
より、窒化シリコン粉体は溶融した二酸化シリコン中に
溶け込んだ状態で鋳型１の基材に融着して急速に冷却さ
れることにより固着する。

【００３７】シリコン融液の注湯と凝固は、例えば鋳型
の内面に離型材２を塗布して乾燥させた後に、鋳型１を
７．０〜９．０Ｔｏｒｒに減圧したアルゴン（Ａｒ）雰
囲気中に置き、鋳型１をシリコン融液と同程度か若干低
い温度で加熱してシリコン融液を注湯する。また、鋳型
１内にシリコン原料を入れ、直接溶解してもよい。しか
る後、鋳型１の底部から徐々に降温させてシリコン融液
を鋳型１の底部から徐々に凝固させる。最後に鋳型１を
分割してシリコンの鋳塊を取り出すことにより完成す
る。

【００３８】

【実施例１】平均粒径０．５μｍの窒化シリコン粉末を
秤量して８．７％のポリビニルアルコール水溶液で攪拌
混合してスラリー状にした離型材を得た。その離型材を
黒鉛製鋳型の内表面に刷毛で塗布してホットプレートに
載せて乾燥した（下地材料）。単位面積当りの塗布重量
は０、０．０２、０．０４、０．２ｇ／ｃｍ²と変化さ
せた。その後下地材料の上に平均粒径０．５μｍの窒化
シリコン粉末と平均粒径２０μｍの二酸化シリコン粉末
を秤量して８．７％のポリビニルアルコール水溶液で攪
拌混合してスラリー状にして得た離型材を刷毛で塗布し
てホットプレートに載せて乾燥した（混合材料）。乾燥
終了後、鋳型を８．０Ｔｏｒｒに減圧したアルゴン雰囲
気中に置き、黒鉛ヒータを使って１０００℃に加熱した
状態で鋳型内にシリコン融液６８ｋｇを注湯して７時間
かけて徐々に凝固させた。冷却後固化したシリコンの鋳
塊を鋳型から取り出し、離型材と鋳型の付着の有無、シ
リコンの鋳塊と鋳型の付着の有無について調べた。その
結果を表１に示す。

【００３９】

【表１】

【００４０】表１に示すように、下地材料の単位面積当
り塗布重量がない場合（条件No.１、５、９、１３、１
７、２１、２５、２９）には全ての条件で鋳型材表面酸
化が観察された。また、下地材料、混合材料共に単位面
積当り塗布重量が少ない場合には（条件No.１、５、
９、１３)では、融液の鋳型材への融着が見られ離型材
としての機能を有していないことが判った。また、混合
材料の単位面積当り塗布重量が少ない場合（条件No.１
〜１６）には、離型材が鋳型から剥離してしまい離型材
強度そのものに問題があることが判った。結論として請
求項１〜３に記載した条件（No.１９、２０、２３、２
４、２７、２８、３１、３２）で使用することが望まし
いことが判った。

【００４１】

【実施例２】平均粒径０．５μｍの窒化シリコン粉末を
秤量して８．７％のポリビニルアルコール水溶液で攪拌
混合してスラリー状にした離型材を得た。その離型材を
黒鉛製鋳型の内表面に刷毛で塗布してホットプレートに
載せて乾燥した（下地材料）。単位面積当りの塗布重量
は０．０４ｇ／ｃｍ²とした。その後、下地材料の上に
平均粒径０．５μｍの窒化シリコン粉末と平均粒径２０
μｍの二酸化シリコン粉末を秤量して８．７％のポリビ
ニルアルコール水溶液で攪拌混合してスラリー状にして
得た離型材を刷毛で塗布してホットプレートに載せて乾
燥した（混合材料）。さらに１、２層の上に平均粒径
０．５μｍの窒化シリコン粉末を秤量して８．７％のポ
リビニルアルコール水溶液で攪拌混合してスラリー状に
して得た離型材を刷毛で塗布してホットプレートに載せ
て乾燥した（表面材料）。表面材料の単位面積当りの塗
布重量を０、０．０４、０．１、０．２ｇ／ｃｍ²と変
化させた。乾燥終了後、鋳型を８．０Ｔｏｒｒに減圧し
たアルゴン雰囲気中に置き、黒鉛ヒータを使って１００
０℃に加熱した状態で鋳型内にシリコン融液６８ｋｇを
注湯して７時間かけて徐々に凝固させた。冷却後固化し
たシリコンの鋳塊を鋳型から取り出し、離型材と鋳型の
付着の有無、シリコンの鋳塊と鋳型の付着の有無につい
て調べた後、太陽電池を作製して変換効率を調べた。そ
の結果を図２と表２に示す。

【００４２】

【表２】

【００４３】図２と表２から明らかなように、表面材料
の単位面積当りの塗布重量が０ｇ／ｃｍ²の場合には明
らかに変換効率が低下するが、０．０４ｇ／ｃｍ²以上
の塗布条件にすると変換効率の低下は殆ど見られない。
結論として請求項５〜８に記載した条件で使用すること
が望ましいことが判った。

【００４４】

【実施例３】平均粒径０．５μｍの窒化シリコン粉末と
平均粒径２０μｍの二酸化シリコン粉末を秤量し混合重
量比にして１：９〜９：１の比率で作製した粉末をプラ
ズマ溶射機で黒鉛製の鋳型材にコーティングした。皮膜
厚みは１０、２５、４０、７５μｍになるように調整し
た。鋳型を８．０Ｔｏｒｒに減圧したアルゴン雰囲気中
に置き、黒鉛ヒータを使って１０００℃に加熱した状態
で鋳型内にシリコン融液７０ｋｇを注湯して７時間かけ
て徐々に凝固させた。冷却後固化したシリコンの鋳塊を
鋳型から取り出し、離型材と鋳型の付着の有無、シリコ
ンの鋳塊と鋳型の付着の有無について調べた。その結果
を表３に示す。

【００４５】

【表３】

【００４６】二酸化シリコンの混合比に拘わらず、コー
ト層の厚みが１０μｍのものは鋳型材とシリコンが融着
してしまうために使用できない。しかしながら、２５μ
ｍ以上の厚みがあれば、窒化シリコンと二酸化シリコン
を１：９から９：１の割合で混合したものを溶射コーテ
ィングすることで充分離型材としての機能を有すること
が分かった。コート層と離型材の付着力の観点からは窒
化シリコン：二酸化シリコンの比率が７：３で最も付着
性が良い結果が得られているが、二酸化シリコン比率が
１０％以上あれば充分な付着力を有することが分かっ
た。

【００４７】

【発明の効果】以上のように、請求項１に係るシリコン
鋳造用鋳型によれば、離型材として窒化シリコンからな
る下地材料と、窒化シリコンと二酸化シリコンを２８：
７２〜７５：２５の重量比率で混合した混合材料とを重
ねて塗布したことから、離型材が鋳型に付着したり、鋳
型がシリコンの鋳塊に付着することによって発生するシ
リコンの欠けを防止することができると共に、鋳型材の
消耗を抑制することができる。

【００４８】また、請求項５に係るシリコン鋳造用鋳型
によれば、離型材として窒化シリコンからなる下地材料
と、窒化シリコンと二酸化シリコンを２８：７２〜７
５：２５の重量比率で混合した混合材料と、窒化シリコ
ンからなる表面材料とを重ねて塗布したことから、混合
材料中の二酸化シリコンとシリコン融液との接触に起因
する太陽電池の変換効率の低下を防ぎ、離型材が鋳型に
付着したり、鋳型がシリコンの鋳塊に付着することによ
って発生するシリコンの欠けを防止することができる。

【００４９】また、請求項１０に係るシリコン鋳造用鋳
型の製造方法によれば、離型材として、窒化シリコンと
二酸化シリコンを混合したものをプラズマ溶射法で塗布
することから、鋳型がシリコンの鋳塊に付着することに
よって発生するシリコンの欠けを防止することができる
と共に、従来使用していた有機バインダーを除去する脱
バインダー工程を省略することができ、シリコン鋳塊の
製作コストを低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１に係るシリコン鋳造用鋳型の一例を示
す図である。

【図２】請求項５に係るシリコン鋳造用鋳型の実験結果
を示す図である。

【符号の説明】

１・・・鋳型、２・・・離型材

フロントページの続き (72)発明者川村聡滋賀県八日市市蛇溝町長谷野1166番地の６京セラ株式会社滋賀八日市工場内Ｆターム(参考） 4E092 AA01 AA02 AA05 DA03 FA01 GA01 4E093 NB08

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】鋳型の内表面に離型材を塗布したシリコ
ン鋳造用鋳型において、前記離型材として窒化シリコン
からなる下地材料と、窒化シリコンと二酸化シリコンを
２８：７２〜７５：２５の重量比率で混合した混合材料
とを重ねて塗布したことを特徴とするシリコン鋳造用鋳
型。
【請求項２】前記混合材料を０．０４ｇ／ｃｍ²以上
塗布したことを特徴とする請求項１に記載のシリコン鋳
造用鋳型。
【請求項３】前記下地材料を０．０４ｇ／ｃｍ²以上
塗布したことを特徴とする請求項１に記載のシリコン鋳
造用鋳型。
【請求項４】前記鋳型の本体が黒鉛からなることを特
徴とする請求項１、請求項２、又は請求項３に記載のシ
リコン鋳造用鋳型。
【請求項５】鋳型の内表面に離型材を塗布したシリコ
ン鋳造用鋳型において、前記離型材として窒化シリコン
からなる下地材料と、窒化シリコンと二酸化シリコンを
２８：７２〜７５：２５の重量比率で混合した混合材料
と、窒化シリコンからなる表面材料とを重ねて塗布した
ことを特徴とするシリコン鋳造用鋳型。
【請求項６】前記下地材料を０．０４ｇ／ｃｍ²以上
塗布したことを特徴とする請求項５に記載のシリコン鋳
造用鋳型。
【請求項７】前記混合材料を０．０４ｇ／ｃｍ²以上
塗布したことを特徴とする請求項５に記載のシリコン鋳
造用鋳型。
【請求項８】前記表面材料を０．０４ｇ／ｃｍ²以上
塗布したことを特徴とする請求項５に記載のシリコン鋳
造用鋳型。
【請求項９】前記鋳型の本体が黒鉛からなることを特
徴とする請求項５、請求項６、請求項７、又は請求項８
に記載のシリコン鋳造用鋳型。
【請求項１０】鋳型の内表面に離型材を塗布するシリ
コン鋳造用鋳型の製造方法において、前記離型材とし
て、窒化シリコンと二酸化シリコンを混合したものをプ
ラズマ溶射法で塗布することを特徴とするシリコン鋳造
用鋳型の製造方法。
【請求項１１】前記窒化シリコンと二酸化シリコンの
混合比が１：９から９：１であることを特徴とする請求
項１０に記載のシリコン鋳造用鋳型の製造方法。
【請求項１２】前記窒化シリコンと二酸化シリコンの
混合材料の厚みが２０μｍ以上であることを特徴とする
請求項１０又は請求項１１に記載のシリコン鋳造用鋳型
の製造方法。
【請求項１３】前記鋳型の本体が黒鉛からなることを
特徴とする請求項１０、請求項１１、又は請求項１２に
記載のシリコン鋳造用鋳型の製造方法。