JP2002267571A - 光学的特性検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複雑な機構を用いることなく、効率良く複数
の光学的特性を検査することができる。 【解決手段】 被検査素子１００に向けて光を照射する
複数の光源ヘッド１６ｃを有する光源部１６と、各光源
ヘッド１６ｃが照射する各光により被検査素子１００の
光学的特性を検査する検査本体部１１と、被検査素子１
００を各検査ステージ１１ａ〜１１ｄに移動させるワー
ク搬送部１５とをを具備する。複数の光源ヘッド１６ｃ
から光学的条件が異なった複数の光が照射されるため、
複雑な機構を用いることがなく、効率良く複数の光学的
特性を検査することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置の表
示パネル、シート等の表面における各種欠陥等の光学的
特性を検査する光学的特性検査装置に関し、特に、光
量、波長、照射角度等の光学的条件が異なる複数の光を
被検査素子に照射することによって、被検査素子の表面
上における複数の光学的特性をそれぞれ検査することが
できる光学的特性検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】表示パネル、シート等の均一な表面を有
する被検査素子の表面における光学的特性を検査するこ
とにより、表面上に現われる各種欠陥を検出することが
できる。表面上に現れる欠陥としては、比較的微小な部
分に現れる点欠陥、線欠陥、比較的広域な部分に現れる
シミ欠陥、ムラ欠陥等がある。これら各種欠陥を検出す
る場合には、例えば、低光量の光を照射することによっ
て、線欠陥を検出することができ、高光量の光を照射す
ることによって、点欠陥を検出することができる。この
ように、欠陥の種類によって適切な光の照射量が異なる
ため、被検査素子において複数の欠陥を検査する場合に
は、検査対象となる欠陥の種類毎に、照射する光の光学
的条件を変更する必要がある。

【０００３】図８は、被検査素子表面における欠陥等の
光学的特性を検査するための従来の光学的特性検査装置
１を示す概略図である。

【０００４】この光学的特性検査装置１は、被検査素子
１００の表面上に所定の光を照射する光源ヘッド２と、
被検査素子１００を光源ヘッド２からの光の照射位置に
載置して被検査素子１００の光学的特性を検査する検査
部３とを有している。

【０００５】光源ヘッド２は、被検査素子１００の表面
上の点欠陥、線欠陥等の複数種の欠陥を検査するため、
それぞれの欠陥を検査するために適するように光学的条
件が変更されるようになっている。この光学的条件は、
例えば、照射される光の絞りのサイズ、絞りと撮像面と
の距離等を変更して、光源からの照射光量の変更等によ
って変更される。

【０００６】検査部３には、光源ヘッド２から所定の光
学的条件にて照射される光によって検出されるそれぞれ
の欠陥を検出する図示しないセンサ等の検出手段が設け
られており、この検出手段によって検出された検査結果
は、検査部３に接続された表示装置４の画面上に表示さ
れる。

【０００７】以下、上記構成の光学的特性検査装置１を
用いて、被検査素子１００の表面上の欠陥を検査する場
合を例として、その手順を説明する。

【０００８】まず、検査対象となる被検査素子１００を
検査部３の所定の位置に載置する。

【０００９】次に、光源ヘッド２から照射される光の光
学的条件を、最初に検査すべき欠陥の種類、例えば、点
欠陥を検査するのに適した光学的条件に設定し、この光
学的条件にて光源ユニット２から光を照射して、検査部
３に設置された検査手段にて検出された検査結果を表示
装置４に送信して、点欠陥等の最初の検査対象となる欠
陥の有無を判断する。

【００１０】次に、光源ヘッド２から照射される光の光
学的条件を、第２番目に検査すべき欠陥の種類、例え
ば、線欠陥を検査するのに適した光学的条件に設定し、
上記と同様の操作にて、線欠陥等の第２番目の検査対象
となる欠陥の有無を判断する。

【００１１】以上の操作を、第３番目以降の検査対象と
なる欠陥種にも適用することにより、複数種類の欠陥を
検査し、その検査結果から各種の欠陥の有無を判定す
る。

【００１２】そして、以上の全ての欠陥の有無の判定結
果に基づいて、被検査素子１００の良否判定をする。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】上記の光学的特性検査
装置１を用いて、被検査素子１００の表面上の欠陥等の
光学的特性を検査する場合、以下のような問題が生じ
る。

【００１４】（１）光源ヘッド２から照射される光の光
学的条件を変更する場合、その方法としては、光源ヘッ
ド２に備えられる光源を直接制御することにより、光源
ヘッド２から出射される光の光量、波長等を変更する方
法、光源ヘッド２において光源と撮像対象である被検査
素子１００との間に光学フィルターを挿入し、この光学
フィルターを切り替えることにより光源ヘッド２からの
光の光量、波長等を変更する方法、光源ヘッド２及び被
検査素子１００の一方または両方を傾けることにより光
源ヘッド２から出射される光が被検査素子１００の表面
に照射する角度を変更する方法等がある。

【００１５】しかし、光源ヘッドの光源を直接制御する
ことにより光源ヘッド２から出射される光を変更する方
法は、高精度に、かつ、再現性に支障がないように、光
源を制御する必要があり、その制御のためのシステムが
高価になるという問題がある。さらに、高頻度に光源か
ら照射される光量を制御すると、光源の寿命が著しく短
縮されるという問題がある。

【００１６】また、光源ヘッド２の光源と撮像対象であ
る被検査素子１００との間に光学フィルターを挿入し、
この光学フィルターを切り替えることにより光源ヘッド
２から照射される光を変更する方法では、光学フィルタ
ーを切り替えるための機構が複雑になり、しかも、光学
フィルターを切り替えるために要する時間のために検査
に要する時間が長時間になるという問題がある。

【００１７】さらに、光源ヘッド２及び被検査素子１０
０の一方または両方を傾けることにより光源ヘッド２か
ら出射される光が被検査素子１００の表面に照射する角
度を変更する方法では、光源ヘッド２、被検査素子１０
０を傾けるための機構が複雑になるという問題がある。

【００１８】（２）また、光源ヘッド２から照射される
光の光学的条件を変更するための、さらに他の方法とし
て、光源から照射される光の絞りのサイズ、位置を光源
ヘッド２と検査部３との間に設けられる調整機構によっ
て調整する方法があるが、絞りのサイズ、位置を調整す
る機構が大規模になるという問題があり、また、検査に
要する時間が長時間化するという問題がある。

【００１９】本発明は、上記問題に鑑みてなされたもの
であり、複雑な機構を用いることなく、効率良く複数の
光学的特性を検査することができる光学的特性検査装置
を提供することを目的とする。

【００２０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の光学的特性検査装置は、それぞれから光が
照射される複数の光発生手段と、光学的特性が検査され
る被検査素子を、各光発生手段から光が照射される位置
に順次移動させる移動手段と、各光発生手段から被検査
素子に照射された光に基づいて該被検査素子の光学的特
性を検査する検査手段と、を具備することを特徴とする
ものである。

【００２１】上記の本発明において、前記複数の光発生
手段は、それぞれ異なる光学的条件の光を照射すること
が好ましい。

【００２２】上記の本発明において、前記各光発生手段
から照射される光は、光量が少なくとも１つ以上異なる
ことにより、前記光学的条件が異なっていることが好ま
しい。

【００２３】上記の本発明において、前記各光発生手段
から照射される光は、波長が少なくとも１つ以上異なる
ことにより、前記光学的条件が異なっていることが好ま
しい。

【００２４】上記の本発明において、前記各光発生手段
から照射される光は、前記被検査素子に照射される光の
角度が少なくとも１つ以上異なることにより、光学的条
件が異なっていることが好ましい。

【００２５】上記の本発明において、前記検査手段は、
前記各光発生手段毎にそれぞれ設けられていることが好
ましい。

【００２６】上記の本発明において、前記各光発生手段
によって、各被検査素子の光学的特性が、それぞれ同時
に検査されることが好ましい。

【００２７】上記の本発明において、前記検査手段によ
って検査された被検査素子の光学的特性を記憶する記憶
手段が設けられていることが好ましい。

【００２８】上記の本発明において、前記移動手段は、
前記光発生手段からの光が前記被検査素子の受光部の中
心に照射されるように、前記被検査素子を移動させるこ
とが好ましい。

【００２９】上記の本発明において、前記被検査素子
は、前記検査手段による検査結果に基づく被検査素子の
機能ランク毎に分類されることが好ましい。

【００３０】上記の本発明において、前記被検査素子
は、液晶表示パネルであることが好ましい。

【００３１】上記の本発明において、前記被検査素子
は、固体撮像素子であることが好ましい。

【００３２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の光学的特性検査装
置について、図面に基づいて説明する。

【００３３】本発明の光学的特性検査装置は、光学的特
性、例えば、液晶表示パネル等を被検査素子として、そ
の均一な画面内の点欠陥、シミ欠陥等を、画像信号のコ
ンピュータ処理により検査するために使用される。

【００３４】なお、この装置に適用される被検査素子と
しては、上記の液晶表示パネルのほか、各種シート材、
フィルム材等の固体撮像素子を検査するためにも適用す
ることができる。

【００３５】図１は、本実施の形態の光学的特性検査装
置１０の概略を示す斜視図である。

【００３６】この光学的特性検査装置１０は、液晶表示
パネル等の被検査素子１００の表面における複数の異な
る種類の欠陥をそれぞれ検出する４つの検査ステージ１
１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄを有する検査本体部１１
と、光学的特性を検査する前の複数の被検査素子１００
を所定状態に配列して格納する検査前ワークセット部１
２と、光学的特性が検査された後の複数の被検査素子１
００を所定状態に配列して格納する検査後ワークセット
部１３とを有している。検査前ワークセット部１２及び
検査後ワークセット部１３は、検査本体部１１を挟んで
配置されている。

【００３７】検査本体部１１の各検査ステージ１１ａ〜
１１ｄは、検査前ワークセット部１２から検査後ワーク
セット部１３にかけて、その順番に等しい間隔をあけて
１列に配置されている。

【００３８】検査前ワークセット部１２、検査本体部１
１、検査後ワークセット部１３の後部上には、検査前ワ
ークセット部１２に格納された被検査素子１００、検査
本体部１１の各検査ステージ１１ａ〜１１ｄにそれぞれ
載置されている被検査素子１００を、それぞれ、検査前
ワークセット部１２から検査後ワークセット部１３に向
かう一定方向に搬送するワーク搬送部１５が、検査前ワ
ークセット部１２から検査後ワークセット部１３にわた
る長さにわたって設けられている。

【００３９】また、検査本体部１１の後部には、コンピ
ュータが内蔵されて、検査本体部１１にて検査された検
査結果に基づいて画像処理し、各被検査素子１００の光
学的特性を判定する特性判定部１４が設けられている。

【００４０】さらに、検査本体部１１の上方には、各検
査ステージ１１ａ〜１１ｄに所定の光学的条件の光をそ
れぞれ照射する光源部１６が設けられている。

【００４１】検査本体部１１の内部には、上記の光源部
１６、ワーク搬送部１５の一連の動作を制御するととも
に、各検査ステージ１１ａ〜１１ｄにおける検査結果を
記憶して、この検査結果に基づいて、検査後ワークセッ
ト部１３に分類して収納する制御部１７が内蔵されてい
る。

【００４２】検査本体部１１の各検査ステージ１１ａ〜
１１ｄは、それぞれ、被検査素子１００を載置するため
の載置板１１１ａ〜１１１ｄと、この載置板１１１ａ〜
１１１ｄを所定の高さに支持する支持部１１２ａ〜１１
２ｄとを有している。この支持部１１２ａ〜１１２ｄ
は、各載置板１１１ａ〜１１１ｄの検査本体部１１から
の高さ及び角度を変更できるようにになっており、この
ことにより、光源部１６から照射される光の光学的条件
が変更される。

【００４３】各検査ステージ１１ａ〜１１ｄ上には、そ
れぞれ、被検査素子１００を各検査ステージ１１ａ〜１
１ｄの所定位置に固定するとともに、固定された被検査
素子１００である表示パネルに所定の電圧を印加して被
検査素子１００を駆動状態とするソケット１１３ａ〜１
１３ｄが、各検査ステージ１１ａ〜１１ｄに対してそれ
ぞれ設けられている。また、このソケット１１３ａ〜１
１３ｄに所定の電圧を印加するための配線（図示せず）
及び光源部１６から光を照射することにより得られる電
気的信号を送信する配線（図示せず）が、各支持部１１
２ａ〜１１２ｄを介して、検査本体部１１の下面に引き
出されている。

【００４４】検査前ワークセット部１２及び検査後ワー
クセット部１３は、それぞれ、被検査素子１００を格納
するトレイ１２ａ及び１２ｂを上面に有しており、検査
前の被検査素子１００及び検査後の被検査素子１００
が、所定の順番に配列されて格納される。

【００４５】なお、検査前ワークセット部１２及び検査
後ワークセット部１３には、上記のように、被検査素子
１００を格納するトレイ７ａ及び７ｂを設ける構成とす
るほか、スリープ、キャリアテープを設けて、これに被
検査素子１００を収納するようにしてもよい。

【００４６】光源部１６は、検査本体部１１の各検査ス
テージ１１ａ〜１１ｄの全体にわたる長さを有する光源
収納部１６ａを有している。図２は、光源部１６におけ
る一つの光源ヘッド１６ｃの部分の概略構成を拡大して
示す断面図である。図２に示すように、光源収納部１６
ａの内部には、各検査ステージ１１ａ〜１１ｄの全体に
わたる長さを有する１つの白色光源１６ｂ（図２参照）
が設けられている。また、検査本体部１１の各検査ステ
ージ１１ａ〜１１ｄに対向して、それぞれ異なった光学
的条件の光を照射する複数の光源ヘッド１６ｃがそれぞ
れ設けられている。

【００４７】光源ヘッド１６ｃには、各検査ステージ１
１ａ〜１１ｄ上に載置された被検査素子１００にガイド
する円筒状の遮光カバー１６ｇがそれぞれ設けられてお
り、各遮光カバー１６ｇは、外部から各遮光カバー１６
ｇの内部への光の進入を防止する。各遮光カバー１６ｇ
の内部には、光源収納部１６ａに収納された白色光源１
６ｂから出射される光を、所望の光量又は波長に変調す
る複数の光学フィルター１６ｄ、被検査素子１００に入
射される光の入射角を制御する絞り１６ｅ等がホルダー
１６ｆによって、光の照射方向に沿って順番に支持され
ている。このホルダー１６ｆは、白色光源１６ｂからの
光学的条件を容易に変更し得るように、簡単に光学フィ
ルター１６ｄ等を交換できる構造になっている。ホルダ
ー１６ｆに取り付けられる光学フィルター１６ｄとして
は、被検査素子１００に照射する光の光量、波長等の光
学的条件を変更するための色温度フィルター、赤外線カ
ットフィルター、遮光フィルター等が用いられる。

【００４８】このような光学フィルター１６ｄを各検査
ステージ１１ａ〜１１ｄ毎に変更することによって、各
検査ステージ１１ａ〜１１ｄ毎に光量、波長等の光学的
条件が異なる複数種類の光が照射される。

【００４９】また、各検査ステージ１１ａ〜１１ｄの各
載置板１１１ａ〜１１１ｄの光源ヘッド１６ｃに対する
傾斜状態を各検査ステージ１１ａ〜１１ｄ毎に調整する
ことによって、各検査ステージ１１ａ〜１１ｄの各載置
板１１１ａ〜１１１ｄに載置された被検査素子１００に
照射される光の角度をそれぞれ調整することによって
も、各検査ステージ１１ａ〜１１ｄの光学的条件を変更
することができる。

【００５０】また、各検査ステージ１１ａ〜１１ｄ毎に
光量が異なる光学的条件にて被検査素子１００を検査す
る場合には、遮光度が異なる少なくとも１個以上の遮光
フィルターを各検査ステージ１１ａ〜１１ｄ毎に取り付
けることにより、各光源ヘッド１６ｃから照射される光
の光量を少なくとも１個以上の異なるものとすることが
できる。また、各検査ステージ１１ａ〜１１ｄ毎にその
波長が異なる光学的条件にて被検査素子１００を検査す
る場合には、赤色フィルター、青色フィルター、緑色フ
ィルター等を、少なくとも１個以上が異なるように、各
光源ヘッド１６ｃのホルダー１６ｆに取り付けることに
より、各光源ヘッド１６ｃから照射される光の波長を少
なくとも１個以上の異なるものとすることができる。さ
らに、被検査素子１００に照射される光の角度が、各検
査ステージ１１ａ〜１１ｄ毎に少なくとも１個以上の異
なる光学的条件にて被検査素子１００を検査する場合に
は、各検査ステージ１１ａ〜１１ｄの載置板１１１ａ〜
１１１ｄをそれぞれ調整して、照射光の角度を被検査素
子１００の受光面に対して、１０度、２０度、３０度と
変更することにより、各光源ヘッド１６ｃから照射され
る光の角度を少なくとも１個以上の異なるものとするこ
とができる。

【００５１】さらに、光源ヘッド１６ｃの光学フィルタ
ー１６ｄ、絞り１６ｅ、各検査ステージ１１ａ〜１１ｄ
の各支持部１１２ａ〜１１２ｄをそれぞれ調整すること
により、各検査ステージ１１ａ〜１１ｄの光量及び波長
の変更を組み合わせた光学的条件によって検査してもよ
く、また、各検査ステージ１１ａ〜１１ｄの光量及び角
度、各検査ステージ１１ａ〜１１ｄの波長及び角度をそ
れぞれ組み合わせて光学的条件を変更してもよく、さら
に、各検査ステージ１１ａ〜１１ｄの光量及び波長及び
角度の光学的条件の全てを異なるものとしてもよい。

【００５２】なお、本実施の形態の光学的特性検査装置
１０では、照射光を発する光源として単一の白色光源１
６ｂを光源部１６の光源収納部１６ａに収納し、各検査
ステージ１１ａ〜１１ｄ毎に、白色光源１６ｂから出射
される光の光学的条件を変更し得る光学フィルター１６
ｄ等を備えることにより、被検査素子１００に照射され
る光の光量、波長等の光学的条件を変更する構成となっ
ているが、設定される光学的条件に応じて複数の光源を
光源収納部１６ａに収納する構成としてもよい。また、
各検査ステージ１１ａ〜１１ｄの各載置板１１１ａ〜１
１１ｄの傾斜状態の変更のみならず、光源ヘッド１６ｃ
から各検査ステージ１１ａ〜１１ｄに照射される光を傾
斜状態としてもよく、また、各検査ステージ１１ａ〜１
１ｄ及び光源ヘッド１６ｃの両方をそれぞれ傾斜状態に
してもよい。

【００５３】ワーク搬送部１５は、水平方向に沿って延
びる案内溝１５ａが前面側に形成されており、この案内
溝１５ａには、検査本体部１１ａの各検査ステージ１１
ａ〜１１ｄに達する長さを有する複数の搬送ハンド１８
ａ〜１８ｆが、それぞれ案内溝１５ａに沿って移動可能
に取り付けられている。各搬送ハンド１８ａ〜１８ｆの
先端部分には、被検査素子１００を着脱可能に装着する
装着具（図示せず）が装着されている。各搬送ハンド１
８ａ〜１８ｆは、それぞれ、案内溝１５ａに沿って、移
動する距離が決まっている。

【００５４】搬送ハンド１８ａは、検査前ワークセット
部１２から検査本体部１１の検査ステージ１１ａの手前
部分まで移動可能になっており、検査前ワークセット部
１２のトレイ１２ａに格納された被検査素子１００を取
り出して、検査本体部１１まで搬送する。搬送ハンド１
８ｂは、搬送ハンド１８ａが達する検査ステージ１１ａ
の手前から検査ステージ１１ａ上まで移動可能となって
おり、検査ステージ１１ａの手前まで搬送された搬送ハ
ンド１８ａに装着された被検査素子１００を取り出し
て、検査ステージ１１ａのソケット１１３ａに被検査素
子１００を装着する。

【００５５】搬送ハンド１８ｃは、検査ステージ１１ａ
上から検査ステージ１１ｂ上まで移動可能になってお
り、検査ステージ１１ａのソケット１１３ａに装着され
た被検査素子１００を取り出して、検査ステージ１１ｂ
まで搬送し、検査ステージ１１ｂのソケット１１３ｂに
被検査素子１００を装着する。搬送ハンド１８ｄは、検
査ステージ１１ｂ上から検査ステージ１１ｃ上まで移動
可能になっており、検査ステージ１１ｂのソケット１１
３ｂに装着された被検査素子１００を取り出して、検査
ステージ１１ｃまで搬送し、検査ステージ１１ｃのソケ
ット１１３ｃに被検査素子１００を装着する。

【００５６】搬送ハンド１８ｅは、検査ステージ１１ｃ
上から検査ステージ１１ｄ上まで移動可能になってお
り、検査ステージ１１ｃのソケット１１３ｃに装着され
た被検査素子１００を取り出して、検査ステージ１１ｄ
まで搬送し、検査ステージ１１ｄのソケット１１３ｄに
被検査素子１００を装着する。搬送ハンド１８ｆは、検
査ステージ１１ｄから検査後ワークセット部１３上まで
移動可能になっており、検査ステージ１１ｄのソケット
１１３ｄに装着された被検査素子１００を取り出して、
検査後ワークセット部１３まで被検査素子１００を搬送
する。被検査素子１００は、検査結果に基づいて、検査
後ワークセット部１３の所定の位置に被検査素子１００
を格納する。

【００５７】次に、上記構成の光学的特性検査措置１０
を用いた被検査素子１００の光学的特性の検査方法につ
いて、被検査素子１００の表面上に現れる欠陥を検査す
る場合を例として説明する。

【００５８】検査本体部１１の各検査ステージ１１ａ〜
１１ｄの光学的特性は、上記したように、光源部１６の
各光源ヘッド１６ｃの光学フィルタ１６ｄ、絞り１６
ｅ、各検査ステージ１１ａ〜１１ｄの載置板１１１ａ〜
１１１ｄの角度を適宜変更することにより、各種の欠陥
を検査するのに適した光学的条件の光が得られる。例え
ば、検査ステージ１１ａ上の被検査素子１００に対する
光の光学的条件を、点欠陥を検査するのに適した光学的
条件とし、検査ステージ１１ｂ上の被検査素子１００に
対する光の光学的条件を、線欠陥を検査するのに適した
光学的条件とする。さらに、検査ステージ１１ｃ及び１
１ｄ上の被検査素子１００に対する光についても、同様
に、他の欠陥を検査するのに適した光学的条件とする。
また、検査前ワークセット部１２のトレイ１２ａには、
検査前の被検査素子１００を所定の順番に配列して格納
する。

【００５９】図４及び図５は、ワーク搬送部１５によっ
て搬送される被検査素子１００の搬送の流れを簡易的に
示しており、検査前ワークセット部１２のトレイ１２ａ
に格納された被検査素子１００は、検査本体部１１の検
査ステージ１１ａから検査ステージ１１ｂ、１１ｃ、１
１ｄに順次搬送され、各検査ステージ１１ａ〜１１ｄに
て光学的特性が検査された被検査素子１００は、検査後
ワークセット部１３のトレイ１３ｂに格納される。

【００６０】図３（ａ）〜（ｄ）は、被検査素子１００
の光学的特性を検査する手順を説明する概略図である。

【００６１】まず、検査前ワークセット部１２のトレイ
１２ａに格納された被検査素子１００の一つをワーク搬
送部１５の搬送ハンド１８ａによって、検査本体部１１
内に搬送後、搬送ハンド１８ｂによって、図３（ａ）に
示すように、検査ステージ１１ａのソケット１１３ａに
セットする。ソケット１１３ａにセットされた被検査素
子１００である表示パネルに電圧を印加して被検査素子
１００を駆動状態とし、この状態の被検査素子１００に
対して、第１の光学的条件、例えば、点欠陥を検査する
ために最適化された光を光源ヘッド１６ｃから被検査素
子１００の表面に向かって照射する。ソケット１１３ａ
に被検査素子１００をセットした検査ステージ１１ａの
載置板１１１ａは、例えば、照射される光が被検査素子
１００の中心部分に当たるように調整される。検査ステ
ージ１１ａのソケット１１３ａにセットされた被検査素
子１００の検査結果は、画像信号として検査本体部１１
に内蔵された制御部１７及び検査本体部１１の後部に設
置された特性判定部１４に送信され、特性判定部１４に
て、被検査素子１００の表面上に欠陥があるか否かが判
定され、制御部１７にて、検査結果が記憶される。

【００６２】次に、図３（ｂ）に示すように、搬送ハン
ド１８ｃによって、検査ステージ１１ａに載置された被
検査素子１００を検査ステージ１１ｂに搬送し、検査ス
テージ１１ｂのソケット１１３ｂにセットする。ソケッ
ト１１３ｂにセットされた被検査素子１００である表示
パネルに電圧を印加して被検査素子１００を駆動状態と
し、この状態の被検査素子１００に対して、第２の光学
的条件、例えば、線欠陥を検査するのに適した光を、光
源ヘッド１６ｃから被検査素子１００の表面に向かって
照射する。検査ステージ１１ｂのソケット１１３ｂにセ
ットされた被検査素子１００の検査結果は、画像信号と
して検査本体部１１に内蔵された制御部１７及び検査本
体部１１の後部に設置された特性判定部１４に送信さ
れ、特性判定部１４にて、被検査素子１００の表面上に
欠陥があるか否かが判定される。

【００６３】同様にして、図３（ｃ）及び（ｄ）にそれ
ぞれ示すように、搬送ハンド１８ｄ及び１８ｅによっ
て、順次、被検査素子１００を検査ステージ１１ｃ及び
１１ｄに搬送し、それぞれの検査ステージ１１ｃ及び１
１ｃにて、検査ステージ１１ａ及び１１ｂでの検査と同
様にして、第３の光学的条件及び第４の光学的条件、例
えば、シミ欠陥、ムラ欠陥等を、それぞれの光源ヘッド
１６ｃから所定の光学的条件の光を照射することにより
検査する。

【００６４】以上の手順により、１つの被検査素子１０
０について、各検査ステージ１１ａ〜１１ｄにおいて、
点欠陥、線欠陥等の各種の光学的特性の検査を行うこと
ができる。各検査ステージ１１ａ〜１１ｄにて検査され
た結果に基づいて、検査本体部１１に内蔵された制御部
１７が、搬送ハンド１８ｆを制御して、被検査素子１０
０を、品質毎に分類して、検査後ワークセット部１３の
トレイ１３ｂに格納する。

【００６５】図６は、検査本体部１１の各検査ステージ
１１ａ〜１１ｄにおける検査結果に基づいて、被検査素
子１００の良否判定するフローチャートを示している。

【００６６】ステップ１にて、検査ステージ１１ａでの
光学的特性を検査した結果、被検査素子１００に「欠陥
有り」が判定された場合、検査ステージ１１ｂ以降の検
査結果の如何にかかわらず被検査素子１００は、「不良
品」と判定される。この場合、検査ステージ１１ｂ〜１
１ｄにおける光学的特性の検査を行う必要がないので、
検査時間の短縮を図ることができる。一方、検査ステー
ジ１１ａでの検査の結果、被検査素子に「欠陥無し」が
判定された場合、被検査素子１００の良不良の判定は、
検査ステージ１１ｂ〜１１ｄ以降の検査結果により良不
良を判定する。

【００６７】次に、ステップ２にて、検査ステージ１１
ｂでの光学的特性を検査し、被検査素子１００に「欠陥
有り」と判定された場合には、被検査素子１００は、
「不良品」と判定される。被検査素子１００に「欠陥無
し」と判定された場合には、検査ステージ１１ｃ〜１１
ｄの検査結果により被検査素子１００の良不良を判定す
る。

【００６８】同様にして、ステップ３及びステップ４に
て検査ステージ１１ｃ及び１１ｄの検査結果に基づき、
被検査素子１００に「欠陥有り」と判定された場合に
は、被検査素子１００は、「不良品」と判定される。検
査ステージ１１ｄの検査結果により、被検査素子に「欠
陥無し」と判定された場合には、被検査素子１００は、
「良品」と判定される。

【００６９】このようにして、「不良品」または「良
品」と判定された被検査素子１００は、それぞれ、制御
部１７に制御されて、搬送ハンド１８ｆにより検査後ワ
ークセット１３部に「不良品」と「良品」に分類されて
格納される。

【００７０】なお、この被検査素子１００の検査後ワー
クセット部１３のトレイ１３ａへの分類は、上記の「良
品」「不良品」の２分類に限られず、例えば、欠陥の全
くないものを機能ランクＡ、点欠陥が検出されるたが、
機能上そのままでも特に問題を生じないものを機能ラン
クＢ、修繕すれば機能上問題を解消できる欠陥を有する
ものを機能ランクＣ、修繕しても機能上の問題を解消で
きないものを機能ランクＤ等のように、各機能ランクを
設定して、多種類の分類により検査後ワークセット部１
３のトレイ１３ａに格納するようにしてもよい。

【００７１】また、被検査素子１００の光学的特性を検
査する場合、上記のように、被検査素子１００をワーク
搬送部１５によって、順次、各検査ステージ１１ａ〜１
１ｄに搬送して検査することにより、一つずつ被検査素
子１００の良不良を判定するほか、図７に示すように、
複数の被検査素子１００を順次、各検査ステージ１１ａ
〜１１ｄに搬送するようにして、同時に複数の被検査素
子１００の光学的特性を検査するようにしてもよい。こ
のようにすれば、上記のように検査本体部１１に検査ス
テージ１１ａ〜１１ｄを４つ備えている場合には、約４
倍の速度で被検査素子１００の光学的特性の検査を進め
ることができる。

【００７２】また、被検査素子１００に照射する光の光
量を変更することによって、光学的条件を変更して、被
検査素子１００の表面上の欠陥を検査する場合、光量が
多い光学的条件にて検査される欠陥の発生頻度が高いこ
とが知られている。したがって、光量を変更して光学的
条件を変更して被検査素子１００の欠陥を検査する場合
には、最初に欠陥を検査する検査ステージ１１ａを光量
の多い光学的条件に設定すれば、被検査素子１００の欠
陥を早期に検出することができ、検査時間を短縮するこ
とができる。

【００７３】また、本実施の形態の光学的特性検査装置
１０では、検査本体部１１に検査ステージ１１ａ〜１１
ｄを４つ設置した場合を示しているが、被検査素子１０
０の種類、要求される検査数等により、検査ステージの
数は、適宜、最適な数を選択することができる。また、
上記の光学的特性の検査では、各検査ステージ１１ａ〜
１１ｄにおいて、それぞれ異なった光学的条件としてい
るが、各検査ステージ１１ａ〜１１ｄの光学的条件を同
一として、各検査ステージ１１ａ〜１１ｄにて同一の光
学的特性の検査を行い、複数の被検査素子１００を同時
に同一の検査を行うようにしてもよい。さらに、検査ス
テージ１１ａ〜１１ｄのいずれか一つのみを同一の光学
的条件に設定してもよい。

【００７４】また、本実施の形態の光学的特性検査装置
１０は、検査本体部１１の各検査ステージ１１ａ〜１１
ｄを直線状になるように配列しているが、ワーク搬送部
１５に、公知のインデックス方式であるインデックステ
ーブルを用いることにより、各検査ステージ１１ａ〜１
１ｄを円周上に配置するようにしてもよい。このように
検査ステージ１１ａ〜１１ｄを配列すれば、光学的特性
検査装置１０の全体の小型化を図ることができる。

【００７５】また、光学的特性検査装置１０において、
１つの光源部１６を設ける構成に代えて、それぞれの検
査ステージ１１ａ〜１１ｄ毎に、光学的条件が異なる光
源部をそれぞれ設ける構成にしても、上記と同様に、被
検査素子１００の光学的特性を検査することができる。

【００７６】なお、上記実施の形態では、被検査素子１
００として、表示パネルを検査する構成であったが、均
一な表面を有するシート、フィルム等も、被検査素子１
００として、その表面の光学的特性を検査することがで
きる。この場合には、シート等の被検査体に照射された
光の反射光に基づいて、被検査体の表面における光学的
特性が検査される。

【００７７】

【発明の効果】本発明の光学的特性検査装置は、複数の
光発生手段が具備されているため、移動手段によって、
複数の光発生手段が光を照射する位置毎に、順次、被検
査素子を移動させることにより、被検査素子の光学的特
性を検査することができ、光源の光量を直接制御する方
法に比較してシステムを安価にすることができ、また、
光源の寿命の長期化を図ることができる。また、光学的
条件を変更する毎に光学フィルターを切り替える等の手
間がないため、光学的特性の検査時間を短縮することが
でき、また、同様に、絞りのサイズ、位置等を外部から
調整する機構を用いた場合と比較しても、機構を単純化
することができ、絞り等の切り替えに要する時間を短縮
することができるため、検査時間の短縮化を図ることが
できる。

【００７８】また、複数の光発生手段から照射される光
が、光量、波長、被検査素子に照射される光の角度等の
光学的条件がそれぞれ異なっているようにすれば、各種
の光学的条件により被検査素子の光学的特性を検査する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の光学的特性検査装置を示す斜視図であ
る。

【図２】光源ヘッドの概略構成を説明する断面図であ
る。

【図３】（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ、光学的特性検査
装置による光学的特性の検査手順を説明する概略図であ
る。

【図４】光学的特性を検査する際の、被検査素子の搬送
を説明する概略図である。

【図５】光学的特性を検査する際の、被検査素子の搬送
を説明する説明図である。

【図６】光学的特性検査装置による被検査素子の良否判
断するフローチャートである。

【図７】光学的特性検査装置によって、同時に複数の被
検査素子を検査する場合を説明する側面図である。

【図８】従来の光学的特性検査装置を示す概略図であ
る。

【符号の説明】

１０ 光学的特性検査装置 １１ 検査本体部 １１ａ〜１１ｄ 検査ステージ １１１ａ〜１１１ｄ 載置板 １１２ａ〜１１２ｄ 支持部 １１３ａ〜１１３ｄ ソケット １２ 検査前ワークセット部 １２ａ トレイ １３ 検査後ワークセット部 １３ａ トレイ １４ 特性判定部 １５ ワーク搬送部 １５ａ 案内溝 １６ 光源部 １７ 制御部 １８ａ〜１８ｆ 搬送ハンド

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 出原 康徳 岡山県浅口郡里庄町里見3121−１ Ｆターム(参考） 2G014 AA02 AA03 AB21 AB51 AC11 2G036 AA25 AA27 BA33 BB09 BB12 2G086 EE01 EE10 2H088 FA11 FA16 FA17 FA30 HA28 MA20

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 それぞれから光が照射される複数の光発
   生手段と、 光学的特性が検査される被検査素子を、各光発生手段か
   ら光が照射される位置に順次移動させる移動手段と、 各光発生手段から被検査素子に照射された光に基づいて
   該被検査素子の光学的特性を検査する検査手段と、 を具備することを特徴とする光学的特性検査装置。
2. 【請求項２】 前記複数の光発生手段は、それぞれ異な
   る光学的条件の光を照射する、請求項１に記載の光学的
   特性検査装置。
3. 【請求項３】 前記各光発生手段から照射される光は、
   光量が少なくとも１つ以上異なることにより、前記光学
   的条件が異なっている、請求項２に記載の光学的特性検
   査装置。
4. 【請求項４】 前記各光発生手段から照射される光は、
   波長が少なくとも１つ以上異なることにより、前記光学
   的条件が異なっている、請求項２または３に記載の光学
   的特性検査装置。
5. 【請求項５】 前記各光発生手段から照射される光は、
   前記被検査素子に照射される光の角度が少なくとも１つ
   以上異なることにより、光学的条件が異なっている、請
   求項２〜４のいずれかに記載の光学的特性検査装置。
6. 【請求項６】 前記検査手段は、前記各光発生手段毎に
   それぞれ設けられている、請求項１〜５のいずれかに記
   載の光学的特性検査装置。
7. 【請求項７】 前記各光発生手段によって、各被検査素
   子の光学的特性が、それぞれ同時に検査される、請求項
   ６に記載の光学的特性検査装置。
8. 【請求項８】 前記検査手段によって検査された被検査
   素子の光学的特性を記憶する記憶手段が設けられてい
   る、請求項６に記載の光学的特性検査装置。
9. 【請求項９】 前記移動手段は、前記光発生手段からの
   光が前記被検査素子の受光部の中心に照射されるよう
   に、前記被検査素子を移動させる、請求項１〜８のいず
   れかに記載の光学的特性検査装置。
10. 【請求項１０】 前記被検査素子は、前記検査手段によ
    る検査結果に基づく被検査素子の機能ランク毎に分類さ
    れる、請求項１〜９のいずれかに記載の光学的特性検査
    装置。
11. 【請求項１１】 前記被検査素子は、液晶表示パネルで
    ある、請求項１〜１０のいずれかに記載の光学的特性検
    査装置。
12. 【請求項１２】 前記被検査素子は、固体撮像素子であ
    る、請求項１〜１０のいずれかに記載の光学的特性検査
    装置。