KR100480490B1 - 다중 접합 웨이퍼의 공간 검사장치 - Google Patents
다중 접합 웨이퍼의 공간 검사장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100480490B1 KR100480490B1 KR10-2002-0026869A KR20020026869A KR100480490B1 KR 100480490 B1 KR100480490 B1 KR 100480490B1 KR 20020026869 A KR20020026869 A KR 20020026869A KR 100480490 B1 KR100480490 B1 KR 100480490B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- light
- wafer
- bonded wafer
- collecting plate
- transmitted
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9501—Semiconductor wafers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
Description
Claims (9)
- 삭제
- 삭제
- 웨이퍼를 투과할 수 있는 웨이퍼 투과광을 조사하는 광원과; 상기 광원에서 조사된 웨이퍼 투과광을 웨이퍼 홀더에 의해 지지된 다중 접합 웨이퍼의 하측 전면으로 안내하는 광 가이드수단과; 상기 광 가이드수단을 통해 상기 다중 접합 웨이퍼에 제공된 웨이퍼 투과광이 상기 다중 접합 웨이퍼를 투과한 다중 접합 웨이퍼의 투과광을 검출하여 이에 따른 검출화상신호를 출력하는 투과광 검출수단과; 상기 투과광 검출수단에서 출력된 검출화상신호를 처리.분석하여 상기 다중 접합 웨이퍼내의 공간(Void)에 대한 정보를 표시하는 화상 처리수단을 구비하는 다중 접합 웨이퍼의 공간 검사장치에 있어서,상기 광 가이드 수단은그 하면에 다수개의 홈이 형성되어 있는 투명체인 집광판;상기 집광판의 하측에 위치하여 상기 광원으로부터 상기 집광판에 도달된 적외선 광을 반사하는 반사판;상기 집광판의 상측에 위치하여 상기 집광판 상측의 적외선 광을 골고루 분산시키는 광 패널로 구성됨을 특징으로 하는 다중 접합 웨이퍼의 공간 검사장치.
- 제 3 항에 있어서, 상기 집광판은글래스로 된 것을 특징으로 하는 다중 접합 웨이퍼의 공간 검사장치.
- 제 3 항에 있어서, 상기 광 패널은반투명 아크릴판인 것을 특징으로 하는 다중 접합 웨이퍼의 공간 검사장치.
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2002-0026869A KR100480490B1 (ko) | 2002-05-15 | 2002-05-15 | 다중 접합 웨이퍼의 공간 검사장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2002-0026869A KR100480490B1 (ko) | 2002-05-15 | 2002-05-15 | 다중 접합 웨이퍼의 공간 검사장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20030088820A KR20030088820A (ko) | 2003-11-20 |
KR100480490B1 true KR100480490B1 (ko) | 2005-04-06 |
Family
ID=32382988
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR10-2002-0026869A KR100480490B1 (ko) | 2002-05-15 | 2002-05-15 | 다중 접합 웨이퍼의 공간 검사장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100480490B1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9255959B2 (en) | 2012-09-06 | 2016-02-09 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Test apparatus for semiconductor package |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109470699A (zh) * | 2018-10-15 | 2019-03-15 | 北京工业大学 | 一种tsv电镀铜填充效果的测试方法 |
CN110349877B (zh) * | 2019-07-12 | 2021-11-19 | 芯盟科技有限公司 | 检测晶圆键合强度的方法及晶圆键合机台 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0323646A (ja) * | 1989-06-21 | 1991-01-31 | Matsushita Electron Corp | 半導体チップのパターン認識方法 |
KR19980077553A (ko) * | 1997-04-21 | 1998-11-16 | 김영환 | 접합형 에스.오.아이 웨이퍼 제조방법 |
JP2000214099A (ja) * | 1999-01-25 | 2000-08-04 | Hitachi Ltd | 結晶欠陥計測方法および装置 |
-
2002
- 2002-05-15 KR KR10-2002-0026869A patent/KR100480490B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0323646A (ja) * | 1989-06-21 | 1991-01-31 | Matsushita Electron Corp | 半導体チップのパターン認識方法 |
KR19980077553A (ko) * | 1997-04-21 | 1998-11-16 | 김영환 | 접합형 에스.오.아이 웨이퍼 제조방법 |
JP2000214099A (ja) * | 1999-01-25 | 2000-08-04 | Hitachi Ltd | 結晶欠陥計測方法および装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9255959B2 (en) | 2012-09-06 | 2016-02-09 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Test apparatus for semiconductor package |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20030088820A (ko) | 2003-11-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5175842B2 (ja) | 透明基板の欠陥の特性評価のための装置及び方法 | |
US7719672B2 (en) | Macro inspection apparatus and microscopic inspection method | |
TWI645182B (zh) | 用於晶圓邊緣之小型化成像裝置 | |
TWI797296B (zh) | 檢測浸於溶液中眼用鏡片屈光度及厚度之系統及方法 | |
US10215695B1 (en) | Inspection system and method for detecting defects at a materials interface | |
KR102248091B1 (ko) | 자동 광학 검사 방법 | |
JP3036049B2 (ja) | 粒子凝集パターン判定方法 | |
US20120044346A1 (en) | Apparatus and method for inspecting internal defect of substrate | |
JP2008218799A (ja) | 表面検査方法及び装置 | |
JP2004170495A (ja) | 表示用基板の検査方法及び装置 | |
US20200378899A1 (en) | Glass processing apparatus and methods | |
CN111610197B (zh) | 一种缺陷检测装置及缺陷检测方法 | |
KR100480490B1 (ko) | 다중 접합 웨이퍼의 공간 검사장치 | |
JPH0587739A (ja) | 透明体欠陥検査装置 | |
CN113125343A (zh) | 光学检测设备与光学检测方法 | |
CN110658207A (zh) | 一种区分非偏光膜内与膜外异物的检测方法及装置 | |
JP2001108639A (ja) | 欠陥検出方法及び欠陥検出装置 | |
JP2005274173A (ja) | ウエハー基板、液晶ディスプレイ用透明ガラス等の被検査物の表面上の異物・表面検査方法およびその装置 | |
KR101217173B1 (ko) | 기판검사장치 및 기판검사방법 | |
KR102246219B1 (ko) | 전자 부품의 적외선 검사 장치 및 그 방법 | |
KR100965409B1 (ko) | 기판 검사 장치 | |
JP2002267571A (ja) | 光学的特性検査装置 | |
KR20100046809A (ko) | 다중접합 웨이퍼 검사장치 | |
JPH09288063A (ja) | 透明基板の傷検査装置 | |
KR20030060243A (ko) | 평판 디스플레이 자동 검사장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130208 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140310 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150310 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160323 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170323 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180312 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190325 Year of fee payment: 15 |