JP2002260912A - 磁性酸化物焼結体およびこれを用いた高周波回路部品 - Google Patents

磁性酸化物焼結体およびこれを用いた高周波回路部品

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 1000℃以下特に、900℃付近で焼成可
能であり、電気抵抗率が高く、誘電率が低い、Y型六方
晶フェライトを主成分フェライトとする磁性酸化物焼結
体およびこれを用いた高周波回路部品を提供する。 【解決手段】 Y型六方晶フェライトで80%以上占有
されてなる磁性酸化物焼結体であって、該磁性酸化物焼
結体は、主成分として酸化コバルトをCoO換算で3〜
15モル%、酸化銅をCuO換算で5〜17モル%、酸
化鉄をFe23換算で57〜61モル%、残部をAO
(AOは、BaOまたはSrOの少なくとも1種)とし
て含み、副成分として硼珪酸ガラス、硼珪酸亜鉛ガラス
またはビスマスガラスを0.6〜7wt%含有してなる
ように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、高周波回路部品用
に使用される磁性酸化物焼結体およびそれを用いた高周
波回路部品に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、電子機器の小型化や高周波化に伴
い、高周波帯域において高いインダクタンス、インピー
ダンスを持つ電子部品の需要が高まっている。小型で高
いインダクタンス、インピーダンスを得るためには、い
わゆる印刷工法やシート工法によって磁性体中に導体を
内蔵した積層構造のコイルを作製することが望ましい。
積層構造とすることでコイルの巻数を多くすることがで
き、構造も閉磁路となるため高いインダクタンス、イン
ピーダンスが得られる。
【0003】焼結体に内蔵される導体材料としては、電
気抵抗率、融点、コストの面から一般に銀(Ag)が多
く用いられている。銀の融点は1000℃以下であるた
め,積層構造用の磁性体材料としては、従来より一般
に、900℃の焼成でも高い焼結密度が得られるNiZ
n系フェライトが用いられてきた。
【0004】しかしながら、NiZn系フェライトは磁
気異方性が低いために数百MHzの周波数で自然共鳴を
起こしてしまい、GHzの周波数帯域で使用することが
できなかった。
【0005】高周波仕様として、非磁性体を用いた空心
コイルが用いられることもあるが、非磁性体を用いると
高いインダクタンスやインピーダンスを得ることが困難
になる。
【0006】この一方で六方晶フェライトは、六角板状
結晶の面内方向とこの面に垂直な方向の磁気的異方性が
異なっているため、自然共鳴を起こしにくく、GHzの
周波数帯域まで高い透磁率を持つという特徴をもってい
る。しかしながら、このものは、所望の焼結密度や磁気
特性を得るためには、焼成温度を高くする必要があっ
た。
【0007】また、従来のいわゆるY型六方晶フェライ
トの電気抵抗率は、高くてもせいぜい1×105Ω・m
程度までであり、また高特性を得るためにCuやZnな
どで置換したものについては、その電気抵抗率が1×1
4Ω・m程度であり、これらの値は、電子部品材料に
求められる電気抵抗率1×105Ω・mを超える値と比
べると低いといわざるを得ない。
【0008】さらに、六方晶フェライトはスピネル型フ
ェライトに比べて誘電率が高いため、インダクタに発生
する寄生容量が大きくなってしまい、インダクタが自己
共振を起こしやすく、インダクタンスおよびインピーダ
ンスが低くなってしまうなどの問題があった。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】このような実状のもと
に本発明は創案されたものであり、その目的は、上記の
課題を解決し、1000℃以下特に、900℃付近で焼
成可能であり、電気抵抗率が高く、誘電率が低い、Y型
六方晶フェライトを主成分フェライトとする磁性酸化物
焼結体およびこれを用いた高周波回路部品を提供するこ
とにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るために、本発明は、Y型六方晶フェライトで80%以
上占有されてなる磁性酸化物焼結体であって、該磁性酸
化物焼結体は、主成分として酸化コバルトをCoO換算
で3〜15モル%、酸化銅をCuO換算で5〜17モル
%、酸化鉄をFe23換算で57〜61モル%、残部を
AO(AOは、BaOまたはSrOの少なくとも1種)
として含み、副成分として硼珪酸ガラス、硼珪酸亜鉛ガ
ラスまたはビスマスガラスを0.6〜7wt%含有して
なるように構成される。
【0011】また、本発明は、磁性酸化物焼結体中に導
電体が埋設された構造を備える高周波回路部品であっ
て、前記磁性酸化物焼結体は、Y型六方晶フェライトで
80%以上占有され、かつ、該磁性酸化物焼結体は、主
成分として酸化コバルトをCoO換算で3〜15モル
%、酸化銅をCuO換算で5〜17モル%、酸化鉄をF
23換算で57〜61モル%、残部をAO(AOは、
BaOまたはSrOの少なくとも1種)として含み、副
成分として硼珪酸ガラス、硼珪酸亜鉛ガラスまたはビス
マスガラスを0.6〜7wt%含有してなるように構成
される。
【0012】また、本発明の好ましい態様として、前記
磁性酸化物焼結体の製造における仮焼温度は、850℃
〜1000℃として構成される。
【0013】また、本発明の高周波回路部品の好ましい
態様として、前記導電体は、銀(Ag)を主成分として
なるように構成される。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明の磁性酸化物焼結体
について詳細に説明する。本発明の磁性酸化物焼結体は
セラミック焼結体であるために通常のセラミック作製プ
ロセスで製造することができる。
【0015】本発明の磁性酸化物焼結体は、主成分とし
て酸化コバルトをCoO換算で3〜15モル%(好まし
くは、3〜5モル%)、酸化銅をCuO換算で5〜17
モル%(好ましくは、5.5〜10モル%)、酸化鉄を
Fe23換算で57〜61モル%(好ましくは、59〜
60モル%)、残部をAO(AOは、BaOまたはSr
Oの少なくとも1種)として含んでいる。AOの形態
は、BaOあるいはSrOの単独形態、またはBaOと
SrOの混在形態である。
【0016】また、本発明の磁性酸化物焼結体は、副成
分として硼珪酸ガラス、硼珪酸亜鉛ガラスまたはビスマ
スガラスを0.6〜7wt%(好ましくは0.6〜5w
t%)、含有している。
【0017】硼珪酸ガラスとは、一般にB23、SiO
2を含むガラスを示し、硼珪酸亜鉛ガラスとは、一般に
23、SiO2、ZnOを含むガラスを示し、ビスマ
スガラスとは、一般にBi23を含むガラスを示す。こ
れらの各ガラスの定義において上記の各成分が主成分で
ある必要はない。
【0018】これらの副成分のガラスの含有形態として
は、硼珪酸ガラス、硼珪酸亜鉛ガラスおよびビスマスガ
ラスの中の1種を単独で用いても良いし、また、これら
の中の2種または3種を混合して用いてもよい。2種以
上を混合して用いる場合には、混合した総計重量%が上
記の範囲に入るようにすればよい。
【0019】このようなガラスを添加することにより、
高電気抵抗率化(電気抵抗率を高くすること)および低
誘電率化(誘電率を低くすること)を得ることができ
る。従って、このような本願所定のガラスの添加によ
り、高周波回路部品としての例えば、積層部品材料に必
要な1×105Ω・m以上の電気抵抗率が得られる。さ
らに、本願所定のガラスの添加により、誘電率を低減さ
せる効果も発現し、本発明焼結体を高周波部品として用
いた場合、高い周波数において高いインピーダンスを得
ることや、インピーダンスの広帯域化に効果がある。
【0020】なお、これらのガラス添加は添加時におけ
る状態がガラスであることが必要である。焼成後、用い
たガラス成分は、ガラス状態の有無を問わず焼成体の中
に存在する。
【0021】これらのガラスの中では、特に、硼珪酸亜
鉛ガラスや硼珪酸ガラスが高電気抵抗率、低誘電率をよ
り効果的に実現させるために好ましい。また、同じガラ
ス添加量で比較した場合、90%以上の相対密度が得ら
れる温度を下げることができるという観点からは、特
に、ビスマスガラスが好ましい。
【0022】上記主成分の含有割合において、CoOが
3モル%未満となると、例えば2GHzにおける透磁率
が低下する(例えば2.0未満)という不都合が生じる
傾向にあり、CoOが15モル%を超えると、例えば5
00MHzにおける透磁率が低下する(例えば2.0未
満)という不都合が生じる傾向にある。
【0023】また、CuOが5モル%未満となると、仮
焼き温度が1000℃を超えるという不都合が生じる傾
向にあり、CuOが17モル%を超えると、透磁率が低
下する(例えば2.0以下)という不都合が生じる傾向
にある。
【0024】また、Fe23が57モル%未満となった
り、Fe23が61モル%を超えたりすると透磁率が低
下するという不都合が生じる傾向にある。
【0025】上記の副成分の含有割合において、上記所
定のガラスの含有量が0.6wt%未満となると、10
00℃以下の焼成で理論密度の90%以上が得られなく
なるという不都合が生じる傾向にあり、上記ガラスの含
有量が7wt%を超えると、透磁率が低下するという不
都合が生じる傾向にある。
【0026】このようなガラス副成分の添加は、特に、
上記のCuO量の含有と相俟って低温焼結を顕著に実現
させることができる。焼成温度が低くなると、安価で電
気抵抗の低いAgのような低融点の電極材料を内蔵した
形で同時焼成し、電極一体型の閉磁路構成の素子を容易
に製造できる。このようにして製造された素子は、例え
ば、小型でかつ高いQ値を持つインダクタ、あるいは小
型で高周波帯の特に特定周波数でのインピーダンスが大
きいノイズフィルター等の高周波素子(高周波回路部
品)として利用される。
【0027】さらに本発明における磁性酸化物焼結体
は、その80%以上、特に好ましくは、90%以上がY
型六方晶フェライトで形成されている。ここに言う
「%」は、エックス線回折強度のメインピーク比から算
出したものである。
【0028】銀(Ag)のような低融点電極材料と同時
焼成する場合、本焼成温度が低くなるため、焼結後のY
型六方晶フェライトを80%以上とするためには、仮焼
時にY型六方晶フェライトを80%以上生成しておく必
要がある。組成によって異なるが、850℃付近からB
aFe1219およびBaFe24の分解が始まり、Y型
六方晶フェライトの生成が始まる。しかしながら、Ba
Fe1219およびBaFe24の分解が十分に進まなけ
ればY型六方晶フェライトの生成が進まない。従って、
Y型六方晶フェライトを80%以上とするために、仮焼
温度を850℃以上,特に、850℃〜1000℃とす
る必要がある。さらに、CuO量を好ましくは5.5〜
17モル%含有させる必要がある。仮焼温度が850℃
未満となったり、CuO量が所定量存在しないと、80
%を超えるY型六方晶フェライトの生成が困難となる。
また仮焼温度が1000℃を超えて高くなりすぎると、
細かい粉砕粉が得られない。細かい粉砕粉の作製は、低
温焼成には極めて重要な技術である。
【0029】このような観点から、上述のごとく仮焼温
度を850〜1000℃において、Y型六方晶フェライ
トの生成率を高くするためには、主成分としての前記C
uO量を好ましくは5.5〜17モル%含有させること
が必要となる。
【0030】このような本発明における磁性酸化焼結体
は、磁性酸化物焼結体中に導電体が埋設された構造を備
える高周波回路部品、例えば、例えば、インピーダ、イ
ンダクタとして用いられる。
【0031】
【実施例】以下、具体的実施例を挙げて本発明をさらに
詳細に説明する。
【0032】[実験例I] (実施例および比較例サンプルの作製)焼結後の組成が
下記表1に示すような組成となるように各原料を秤量
し、鋼鉄製ボールミルで15時間湿式混合した。次に、
この混合粉を大気中、表1に記載された温度で2時間仮
焼きした。次いで、表1に示されるごとく所定のガラス
を所定量添加した後、鉄鋼製ボールミルで15時間粉砕
した。
【0033】このようにして得られた六方晶フェライト
粉を造粒して、100MPaの圧力で所望の形状に成形
した。
【0034】この成形体を大気中、表1に示される温度
で2時間焼結した。六方晶フェライト焼結体の組成は下
記表1に示すとおりであり、これらの各サンプルについ
て、25℃における周波数500MHzおよび2GHz
の透磁率、並びに電気抵抗率、誘電率、をそれぞれ測定
して表1に示した。透磁率は周波数500MHzおよび
2GHzの周波数において、2.0以上の値を目標とし
ている。また、電気抵抗率は1×105Ω・mの値を目
標としている。誘電率は低ければ低いほど良い。ちなみ
に、後述の実験結果より、電気抵抗率が1×105Ω・
mの値を超えていれば誘電率は30以下の低い値を示し
ている。
【0035】なお、Y型六方晶フェライトによる占有率
は、焼結体の粉砕粉を用いて、X線回折ピークの強度比
より算出した。
【0036】
【表1】
【0037】
【表2】
【0038】[実験例II]上記実験例Iにおける実施例I
−6サンプルの主成分において、添加成分の種類および
添加量を下記表2に示すとおり変えて種々のサンプルを
作製した。これらのサンプルについて、90%以上の相
対密度(理論密度100に対して)が得られる温度を測
定した。
【0039】結果を下記表2に示した。
【0040】
【表3】
【0041】[実験例III]次に、本発明の磁性体を用い
てインダクタンス素子を作製した。すなわち、焼結後の
組成が上記表1の実施例I−6サンプルの主成分に示さ
れるような組成となるように各原料を秤量し、鋼鉄製ボ
ールミルで15時間湿式混合した。次に、この混合粉を
大気中、950℃で2時間仮焼きした。次いで、副成分
としてビスマスガラスを5wt%添加した後、鉄鋼製ボ
ールミルで15時間粉砕した。
【0042】この仮焼き粉末に有機バインダーを混合
し、ドクターブレード法により均一なグリーンシートを
形成した。
【0043】比較のためにNiZn系スピネルフェライ
ト粉末(NiO=45モル%、CuO=5モル%、Zn
O=1.5モル%、Fe23=48モル%、CoO=
0.5モル%)を用いて作製したグリーンシートも準備
した。
【0044】この一方で、銀を混合してなる導電性ペー
ストを用意し、先のグリーンシート上にコイルをスパイ
ラル状となるように積層した。厚み方向に圧力を加えて
圧着し、磁性体に電極がサンドイッチされたグリーンシ
ート積層体を作製した。これを930℃で2時間焼成し
た。得られた焼結体の側面の内部導電体の位置に銀ペー
ストを塗布し、外部電極を焼き付け、図1に概略的に示
されるインピーダンス素子(高周波回路部品)とした。
なお、図1は素子内部構造の理解を容易にするためにモ
デル図として描かれている。図1において、符号11は
インナーコンダクタ(Agコイル)であり、符号10は
ターミナルコンダクタであり、符号20はフェライトを
示している。
【0045】得られたインダクタンス素子のインピーダ
ンスおよび透磁率を2GHzで測定したところ、本発明
のものではインピーダンスが208Ω(透磁率は3.
7)が得られた。ちなみに、NiCuZnフェライトの
インピーダンスは135Ω(透磁率1.2)であった。
【0046】
【発明の効果】上記の結果より本発明の効果は明らかで
ある。すなわち、本発明は、Y型六方晶フェライトで8
0%以上占有されてなる磁性酸化物焼結体であって、該
磁性酸化物焼結体は、主成分として酸化コバルトをCo
O換算で3〜15モル%、酸化銅をCuO換算で5〜1
7モル%、酸化鉄をFe23換算で57〜61モル%、
残部をAO(AOは、BaOまたはSrOの少なくとも
1種)として含み、副成分として硼珪酸ガラス、硼珪酸
亜鉛ガラスまたはビスマスガラスを0.6〜7wt%含
有してなるように構成されているので、1000℃以下
特に、900℃付近で焼成可能であり、電気抵抗率が高
く、誘電率が低い、Y型六方晶フェライトを主成分フェ
ライトとする磁性酸化物焼結体およびこれを用いた高周
波回路部品を提供するができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例で用いたインダクタンス素子(高周波回
路部品)の概略図面である。
【符号の説明】
10…ターミナルコンダクタ 11…インナーコンダクタ 20…フェライト
フロントページの続き Fターム(参考) 4G018 AA01 AA09 AA10 AA22 AA24 AA25 AA27 AA31 AA37 AB03 AC16 5E041 AA06 AA19 BD01 CA01 HB01 NN01 NN02 NN06 NN18

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 Y型六方晶フェライトで80%以上占有
    されてなる磁性酸化物焼結体であって、 該磁性酸化物焼結体は、主成分として酸化コバルトをC
    oO換算で3〜15モル%、酸化銅をCuO換算で5〜
    17モル%、酸化鉄をFe23換算で57〜61モル
    %、残部をAO(AOは、BaOまたはSrOの少なく
    とも1種)として含み、 副成分として硼珪酸ガラス、硼珪酸亜鉛ガラスまたはビ
    スマスガラスを0.6〜7wt%含有してなることを特
    徴とする磁性酸化物焼結体。
  2. 【請求項2】 前記磁性酸化物焼結体の製造における仮
    焼温度が850℃〜1000℃である請求項1に記載の
    磁性酸化物焼結体。
  3. 【請求項3】 磁性酸化物焼結体中に導電体が埋設され
    た構造を備える高周波回路部品であって、 前記磁性酸化物焼結体は、Y型六方晶フェライトで80
    %以上占有され、かつ、 該磁性酸化物焼結体は、主成分として酸化コバルトをC
    oO換算で3〜15モル%、酸化銅をCuO換算で5〜
    17モル%、酸化鉄をFe23換算で57〜61モル
    %、残部をAO(AOは、BaOまたはSrOの少なく
    とも1種)として含み、 副成分として硼珪酸ガラス、硼珪酸亜鉛ガラスまたはビ
    スマスガラスを0.6〜7wt%含有してなることを特
    徴とする高周波回路部品。
  4. 【請求項4】 前記磁性酸化物焼結体の製造における仮
    焼温度が850℃〜1000℃である請求項3に記載の
    高周波回路部品。
  5. 【請求項5】 前記導電体が銀(Ag)を主成分とする
    請求項3または請求項4に記載の高周波回路部品。
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