JP2009139275A - 欠陥検査方法、欠陥検査装置及びそれに用いるライン状光源装置 - Google Patents
欠陥検査方法、欠陥検査装置及びそれに用いるライン状光源装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】ライン状光源装置7から発せられる光を検査対象物6に照射し、検査対象物6を経た光を検出することで検査対象物6における傷a,bを検査する。ライン状光源装置7として、複数の発光ダイオード3を光軸が互いに平行になるように直線状に配列してなる発光ダイオード配列体3A,3Bを複数段に配設し、発光ダイオード3の光軸の方向が発光ダイオード配列体3A,3Bごとに異なるようにしたものを用いる。検査対象物6を経た光をモニタカメラ8で検出して得られる検出信号に基づき、検査対象物6における欠陥を検査する。
【選択図】図3
Description
ライン状光源装置から発せられる光を検査対象物に照射し、該検査対象物を経た光を検出することで前記検査対象物における欠陥を検査する方法において、
前記ライン状光源装置として、複数の発光ダイオードを光軸が互いに平行になるように直線状に配列してなる発光ダイオード配列体を複数段に配設し、前記発光ダイオードの光軸の方向が前記発光ダイオード配列体ごとに異なるようにしたものを用い、
前記検査対象物を経た光を光検出手段で検出して得られる検出信号に基づき、前記検査対象物における欠陥を検査することを特徴とする欠陥検査方法、
が提供される。
複数の発光ダイオードを光軸が互いに平行になるように直線状に配列してなる発光ダイオード配列体が複数段に配設されており、前記発光ダイオードの光軸の方向が前記発光ダイオード配列体ごとに異なるようにしてなることを特徴とするライン状光源装置、
が提供される。
ライン状光源装置から発せられる光を検査対象物に照射し、該検査対象物を経た光を検出することで前記検査対象物における欠陥を検査する装置において、
前記ライン状光源装置は上記のライン状光源装置であり、
前記検査対象物を経た光を検出し検出信号を出力する光検出手段を備えることを特徴とする欠陥検査装置、
が提供される。
3 発光ダイオード
3a 発光ダイオードの発光部分
3A,3B 発光ダイオード配列体
5 遮光部材
6 検査対象物
7 ライン状光源装置
8 モニタカメラ
11 パーソナルコンピュータ
12 欠陥
13 発光ダイオード駆動装置
14 遮光部材の開口部分14
27 発光ダイオード取り付け基板
C 発光ダイオードの光軸
a,b 傷
Claims (9)
- ライン状光源装置から発せられる光を検査対象物に照射し、該検査対象物を経た光を検出することで前記検査対象物における欠陥を検査する方法において、
前記ライン状光源装置として、複数の発光ダイオードを光軸が互いに平行になるように直線状に配列してなる発光ダイオード配列体を複数段に配設し、前記発光ダイオードの光軸の方向が前記発光ダイオード配列体ごとに異なるようにしたものを用い、
前記検査対象物を経た光を光検出手段で検出して得られる検出信号に基づき、前記検査対象物における欠陥を検査することを特徴とする欠陥検査方法。 - 前記発光ダイオード配列体を2段に配設し、一方の段の発光ダイオード配列体では前記発光ダイオードの光軸が前記発光ダイオードの直線状配列方向に対してなす角度θ1を0°<θ1<90°の範囲内とし、他方の段の発光ダイオード配列体では前記発光ダイオードの光軸が前記発光ダイオードの直線状配列方向に対してなす角度θ1を90°<θ1<180°の範囲内とすることを特徴とする、請求項1に記載の欠陥検査方法。
- 前記発光ダイオード配列体における複数の前記発光ダイオードの光軸を含む面が前記検査対象物の表面に対してなす角度θ2を0°<θ2<60°の範囲内とすることを特徴とする、請求項1〜2のいずれか一項に記載の欠陥検査方法。
- 前記発光ダイオード配列体における複数の前記発光ダイオードの光軸を含む面内において前記発光ダイオードの直線状配列方向と直交する方向から前記発光ダイオードの発光部分が見えないように遮光することを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の欠陥検査方法。
- 複数の発光ダイオードを光軸が互いに平行になるように直線状に配列してなる発光ダイオード配列体が複数段に配設されており、前記発光ダイオードの光軸の方向が前記発光ダイオード配列体ごとに異なるようにしてなることを特徴とするライン状光源装置。
- 前記発光ダイオード配列体は2段に配設され、一方の段の発光ダイオード配列体では前記発光ダイオードの光軸が前記発光ダイオードの直線状配列方向に対してなす角度θ1が0°<θ1<90°の範囲内であり、他方の段の発光ダイオード配列体では前記発光ダイオードの光軸が前記発光ダイオードの直線状配列方向に対してなす角度θ1が90°<θ1<180°の範囲内であることを特徴とする、請求項5に記載のライン状光源装置。
- 前記発光ダイオード配列体における複数の前記発光ダイオードの光軸を含む面内において前記発光ダイオードの直線状配列方向と直交する方向から前記発光ダイオードの発光部分が見えないように遮光する遮光部材を備えることを特徴とする、請求項5〜6のいずれか一項に記載のライン状光源装置。
- ライン状光源装置から発せられる光を検査対象物に照射し、該検査対象物を経た光を検出することで前記検査対象物における欠陥を検査する装置において、
前記ライン状光源装置は請求項5〜7のいずれか一項に記載のライン状光源装置であり、
前記検査対象物を経た光を検出し検出信号を出力する光検出手段を備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記発光ダイオード配列体における複数の前記発光ダイオードの光軸を含む面が前記検査対象物の表面に対してなす角度θ2が0°<θ2<60°の範囲内となるように前記検査対象物を移動させる検査対象物移動手段を備えることを特徴とする、請求項8に記載の欠陥検査装置。
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