JP2002203383A - ディスクドライブ用サスペンション - Google Patents
ディスクドライブ用サスペンションInfo
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- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
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- G—PHYSICS
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- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Moving Of Heads (AREA)
Abstract
と、ピボット孔の精度向上を可能とする。 【解決手段】 キャリッジアームを兼ねる支持プレート
手段3,7と、剛体部13及びばね部15を有して先端
のスライダ43に負荷荷重を与えるロードビーム5とを
備えたディスクドライブ用サスペンションにおいて、支
持プレート手段3,7を少なくとも2層のプレート3,
7で形成し、プレート3,7の少なくとも一方7をエッ
チング処理により精度良く孔を形成可能な板厚t2に形
成し、板厚t2を有する一方のプレート7に、ピボット
孔31を形成し、他方のプレート3に、ピボット孔31
よりも大きな遊嵌孔9をほぼ同心に形成したことを特徴
とする。
Description
コンピュータなどの情報処理装置に内蔵されるディスク
ドライブ用サスペンションに関する。
ン(以下、単に「サスペンション」と称する。)のベー
スプレートは、ロードビームの一端に溶接され、ベース
プレートはサスペンションをキャリッジアームに取り付
けるために用いられている。これらのサスペンション
は、キャリッジアームと各ディスクの表面との間の垂直
方向に配置されており、全体の高さが高くなり、コンパ
クト化には限界があった。
載された図16,図17に示すようなものがある。この
図16,図17に示すものは、サスペンション101の
ロングベースプレート103にロードビーム105が溶
接されたものである。ロングベースプレート103は、
ピボット孔107を有している。ピボット孔107は、
キャリッジの図示しない軸受けに精度良く嵌合して軸支
持されている。従って、この図16,図17の例では、
ロングベースプレート103が前記従来のキャリッジア
ームを兼ね、ディスク109に対してサスペンション1
01の全体の高さを低くすることができ、よりコンパク
ト化等を図ることができる。
来の構造では、ロングベースプレート103に直接ピボ
ット孔107を設けるものであるため、ロングベースプ
レート103の平面度に問題を招く恐れがあった。すな
わち、ロングベースプレート103は上記のようにキャ
リッジアームを兼ねるため剛性を確保しなければなら
ず、ある程度の板厚を有している。従って、ピボット孔
107をエッチング処理で形成すると、その精度に限界
を招くため、ピボット孔を含めてロングベースプレート
103全体をプレス成形する必要があった。
て、ロングベースプレート103の平面度に問題を生ず
る恐れがあった。
がら、ロングベースプレート側の平面度を高めることの
できるディスクドライブ用サスペンションの提供を課題
とする。
リッジの支持部に軸支持されキャリッジアームを兼ねる
支持プレート手段と、少なくとも剛体部を有して前記支
持プレート手段に弾性支持され、先端のスライダに負荷
荷重を与えるロードビームとを備えたディスクドライブ
用サスペンションにおいて、前記支持プレート手段を少
なくとも2層のプレートで形成し、該プレートの少なく
とも一方をエッチング処理により精度良く孔を形成可能
な板厚に形成し、前記一方のプレートに、前記支持部に
嵌合させるピボット孔を形成し、前記他方のプレート
に、前記ピボット孔よりも大きな遊嵌孔を前記ピボット
孔とほぼ同心に形成するか、前記ピボット孔と同心同径
のピボット孔を形成するかの一方としたことを特徴とす
る。
クドライブ用サスペンションであって、前記他方のプレ
ートは、樹脂層と金属層とからなり、前記樹脂層を前記
一方のプレートと前記金属層との間に介在させて前記支
持プレート手段を3層構造としたことを特徴とする。
ディスクドライブ用サスペンションであって、前記一方
のプレートは、前記他方のプレートと共に前記ロングベ
ースプレートを構成することを特徴とする。
クドライブ用サスペンションであって、前記ロードビー
ムの剛体部を前記支持プレート手段に支持するばね部材
を有し、前記ばね部材の一端部は、前記剛体部の端部に
重ねて固定され、同他端部は、前記ロングベースプレー
トの端部に重ねて固定されたことを特徴とする。
クドライブ用サスペンションであって、前記ロードビー
ムは、剛体部及び該剛体部を前記支持プレート手段に弾
性支持するばね部を有して一枚のプレートで一体に形成
され、前記ロードビームの端部は、前記ロングベースプ
レートの端部に重ねて固定されたことを特徴とする。
ディスクドライブ用サスペンションであって、前記一方
のプレートは、前記ロードビームと一体に形成され、前
記他方のプレートは、前記ロングベースプレートを構成
することを特徴とする。
に記載のディスクドライブ用サスペンションであって、
前記一方のプレートに、前記剛体部を前記支持プレート
手段に弾性支持するばね部が一体に形成され、前記ロー
ドビームの端部は、前記ばね部の端部に重ねて固定され
たことを特徴とする。
を少なくとも2層のプレートで形成し、該プレートの少
なくとも一方をエッチング処理により精度良く孔を形成
可能な板厚に形成したので、前記一方のプレートに前記
ピボット孔をエッチング処理により形成することができ
る。従って、ピボット孔の精度を高くすることができ
る。
ピボット孔よりも大きな遊嵌孔をピボット孔とほぼ同心
に設けることにより遊嵌孔に精度が必要なくなり、他方
のプレートもエッチングで成形することができる。又、
他方のプレートもエッチング処理により精度良く孔を形
成可能な板厚とした場合には、他方のプレートもエッチ
ング処理によって形成することにより精度の高いピボッ
ト孔を得ることができる。
ャリッジの支持部に精度良く嵌合して、精度の高い軸支
持を行うことができる。又、支持プレート手段の少なく
とも2層のプレートのいずれもエッチング処理で形成す
ることができるため、支持プレート手段側の平面度を向
上させることができる。
果に加え、前記他方のプレートは、樹脂層と金属層とか
らなり、前記樹脂層を前記一方のプレートと前記金属層
との間に介在させて前記支持プレート手段を3層構造と
したため、一方のプレート側の主振動系に対し、他方の
プレートの樹脂層のばね定数及び減衰と金属層の質量と
により副振動系が構成され、ディスクドライブ用サスペ
ンション全体の振動特性を向上することができる。
明の効果に加え、前記一方のプレートは、前記他方のプ
レートと共に前記ロングベースプレートを構成すること
ができるため、ロングベースプレートを構成するプレー
トをエッチング処理によって形成することにより、ピボ
ット孔の精度を高めることができ、キャリッジの支持部
に精度良く嵌合して軸支持させることができる。また、
ロングベースプレートの平面度を向上させることができ
る。
果に加え、前記ロードビームの剛体部を前記支持プレー
ト手段に支持するばね部材を有し、前記ばね部材の一端
部は、前記剛体部の端部に重ねて固定され、同他端部
は、前記ロングベースプレートの端部に重ねて固定され
たため、ロードビームの剛体部に対しばね部を別部品に
よって構成することができる。このため、剛体部及びば
ね部それぞれに適した材料と板厚とを選定することがで
き、剛体部に要求される性能(例えば高剛性)と、ばね
部に要求される性能(例えば低ばね定数)とを両立させ
ることが容易となる。ばね部材に、精度の高い材料を使
用することで、安定した低ばね定数のばね部を得ること
ができる。
体部に曲げ縁やリブを設けることなく高剛性化が可能と
なる。従って、空気の流れを円滑にし、ディスクが高回
転しても風乱による影響を抑制し、サスペンションフラ
ッタ(風によるサスペンションのばたつき)の発生を抑
制することができる。
の効果に加え、前記ロードビームは、剛体部及び該剛体
部を前記支持プレート手段に弾性支持するばね部を有し
て一枚のプレートで一体に形成され、前記ロードビーム
の端部は、前記ロングベースプレートの端部に重ねて固
定されたため、構造を簡単にすることができる。
明の効果に加え、前記一方のプレートは、前記ロードビ
ームと一体に形成され、前記他方のプレートは前記ロン
グベースプレートを構成することができる。従って、プ
レートをエッチング処理によって形成することにより、
ピボット孔の精度を向上することができると共に、ロー
ドビームと一体に形成された一方のプレート及びロング
ベースプレートを構成する他方のプレートの平面度を向
上することができる。また、一方のプレートをロードビ
ームと一体に形成することができるため、製造をより簡
単にすることができる。
かの発明の効果に加え、前記一方のプレートに、前記剛
体部を前記支持プレート手段に弾性支持するばね部が一
体に形成され、前記ロードビームの端部は、前記ばね部
の端部に重ねて固定されたため、少なくとも剛体部に適
した材料と板厚とを選定することができ、剛体部に要求
される性能(例えば高剛性)を確実に確保することがで
きる。また、ばね部が一体に形成された一方のプレート
は、他方のプレートとの調整により、ばね部に適した材
料と板厚とを選定することが可能であり、ばね部に要求
される性能(例えば低ばね定数)を確実に確保すること
もできる。このため、剛体部及びばね部それぞれに適し
た材料と板厚とを選定することも可能であり、剛体部に
要求される性能(例えば高剛性)と、ばね部に要求され
る性能(例えば低ばね定数)とを両立させることも容易
となる。さらに、ばね部が、支持プレート手段の一方の
プレートに一体に形成されているため、構造を簡単にす
ることができる。
第1実施形態に係るサスペンションの全体斜視図を示し
ている。この図1のように、サスペンション1は、ロン
グベースプレート3と、ロードビーム5と、該ロードビ
ーム5に一体のプレート7とを備えている。この構成に
より、本実施形態では、キャリッジの支持部に軸支持さ
れキャリッジアームを兼ねる支持プレート手段を少なく
とも2層のプレート3,7で形成している。すなわち、
ロングベースプレート3はプレート7と共にキャリッジ
アームを兼ねるもので、キャリッジの支持部から前記ロ
ードビーム5側へ長く設定されている。
形成され、その板厚は、本実施形態においてt1=0.
15mmに設定されている。プレート3には、図2
(a)の平面図をも参照すると、キャリッジの支持部に
対応した箇所に遊嵌孔9が形成されている。遊嵌孔9の
直径は本実施形態においてφ1=9.1mmに設定され
ている。プレート3には、さらにプレート7との位置合
わせ用の孔11が設けられている。
えばステンレス鋼で形成され、その板厚は、本実施形態
においてt2=0.051mmに設定されている。従っ
て、プレート7はエッチング処理により精度良く孔を形
成可能な板厚に形成された構成となっている。このロー
ドビーム5及びプレート7と前記プレート3とのアッセ
ンブリ状態で全体の厚みはt=0.201mmとなって
いる。本実施形態において、ロードビーム5及びプレー
ト7の板厚の最大値はt2=0.064mmである。こ
の場合でも全体の厚みはt=0.201mmとなるよう
にプレート3の厚みが設定される。
L1で示す剛体部13及び長さL2で示すばね部15を
有している。このばね部15は、前記剛体部13を前記
支持プレート手段(プレート3,7)に弾性支持する構
成となっている。このロードビーム5及びこれと一体の
プレート7は、図2(b)の平面図をも参照すると、ま
ずロードビーム5の剛体部13に曲げ加工によって曲げ
縁17,19が立ち上げられている。この曲げ縁17,
19により剛体部13の剛性を保持しながら軽量化を図
ることができ、周波数特性及び振動特性を向上させるこ
とができる。又、剛体部13には、フレキシャ21の位
置合わせを行うための孔23,25と、フレキシャ21
のタング部45に当接するディンプル27とが設けられ
ている。前記ロードビーム5のばね部15には、ばね定
数を設定するための開口部29が設けられている。
に精度良く嵌合するピボット孔31が設けられている。
ピボット孔31の直径は、前記遊嵌孔9の直径φ1=
9.1mmよりも小さく、本実施形態においてφ2=9
mmに設定されている。また、プレート7には、前記プ
レート3との位置合わせを行う孔33が設けられてい
る。
性を有する薄いステンレス鋼圧延板などの金属基板35
の表面に電気絶縁層を介して導電路37を形成したもの
である。導電路37の一端は、ヘッド部39の端子に導
通され、同他端は前記プレート7上の端子41に導通し
ている。前記ヘッド部39は、スライダ43を有し、ス
ライダ43はフレキシャ21のタング部45に支持され
ている。タング部45は、図2(b)で示す剛体部13
の前記ディンプル27上に当接している。
にして製造される。まず、プレート3と、プレート7一
体のロードビーム5とをそれぞれエッチング処理により
形成する。この形成によってプレート3では遊嵌孔9及
び位置決め用の孔11も形成されることになる。又、プ
レート7一体のロードビーム5では、ピボット孔31、
位置決め用の孔23,25,33、開口部29も形成さ
れることになる。その後、ロードビーム5では、プレス
によって曲げ縁17,19及びディンプル27が形成さ
れる。
ト7一体のロードビーム5とは、図2(c)の底面図の
ように重ね合わされる。この重ね合わせに際し、孔1
1,33にピンが差し込まれて両者の位置決めがなされ
ることになる。この状態でプレート3に対しプレート7
の部分がレーザ溶接などによって固定される。尚、プレ
ート3に対するプレート7の部分の固定は、接着などに
よっても行うことができる。
フレキシャ21をロードビーム5の剛体部13上に位置
決めし、フレキシャ21をレーザ溶接などによって剛体
部13に固定する。このとき前記のようにフレキシャ2
1のタング部45がディンプル27上に乗ることにな
る。
定された状態では、ピボット孔31及び遊嵌孔9がほぼ
同心に配置され、ピボット孔31が遊嵌孔9に対し内包
される形態となり、ピボット孔31を有効に機能させる
ことができる。但し、ピボット孔31が遊嵌孔9に対し
内包され、ピボット孔31が有効に機能できる限りは、
ピボット孔31及び遊嵌孔9の心は多少ずれてもよいも
のである。従って、ピボット孔31をキャリッジの支持
部に精度良く嵌合させて軸支持させることにより、プレ
ート3は、プレート7と共にキャリッジアームを兼ねる
ことができる。
分はプレート3の補強を行うことになり、キャリッジア
ームとしての機能をより確実に奏することができなが
ら、プレート3の板厚そのものも薄くすることが可能と
なり、プレート3のエッチング処理による形成をより容
易にすることができる。
孔31をエッチング処理によって形成することができる
ため、ピボット孔31の精度を大幅に向上させることが
できる。また、遊嵌孔9は精度を必要としないから、プ
レート3がプレート7一体のロードビーム5の板厚t2
に比較して厚い板厚t1を有していても、プレート3を
エッチングによって形成することができ、プレート7一
体のロードビーム5側のエッチングによる形成と併せ、
プレート3側全体の平面度を大幅に向上することができ
る。
がロードビーム5と一体であるため、部品点数が少な
く、製造、取り扱いも容易である。 (第2実施形態)図3,図4は本発明の第2実施形態を
示している。図3はサスペンション1Aの全体斜視図、
図4はサスペンション半成品とばね部材とを示す斜視図
である。尚、図1の第1実施形態のサスペンション1に
対し、対応する構成部分には同付号を付して説明する。
理により精度良く孔を形成可能な板厚を有する一方のプ
レート7Aは、他方のプレート7Bと共にロングベース
プレート30を構成している。ロングベースプレート3
0は、本実施形態において支持プレート手段を構成して
いる。すなわち、本実施形態においても支持プレート手
段を少なくとも2層のプレート7A,7Bで形成した構
成となっている。
ンレス鋼等で形成され、その板厚は、本実施形態におい
て、例えばt1=0.101mmに設定されている。前
記一方のプレート7Aは、ロードビーム5Aと共にステ
ンレス鋼等で形成され、その板厚はt2=0.100m
mに設定されている。従って、ロングベースプレート3
0のトータルの板厚はt=0.201mmとなってい
る。前記一方のプレート7Aにピボット孔31が形成さ
れ、他方のプレート7Bに遊嵌孔9が形成されている。
5Aの剛体部13を前記支持プレート手段(ロングベー
スプレート30)に弾性支持する別体のばね部材47を
有している。前記剛体部13の厚さは、前記ばね部材4
7の板厚よりも厚く形成され、本実施形態において、前
記プレート7Aと同一の板厚をなっている。この剛体部
13には、その厚み方向に貫通する開口部49が形成さ
れている。
る薄いステンレス鋼圧延板からなり、その一端部47a
は前記剛体部13の端部13aに重ねた状態でレーザ溶
接などによって固定されている。このばね部材47の他
端部47bは、前記一方のプレート7Aの端部であるロ
ングベースプレート30の端部30a上に重ねてレーザ
溶接などによって固定されている。又、ばね部材47の
中央部には開口部47cが設けられ、この開口部47c
の両側が低ばね定数のばね部15として機能するように
なっている。さらに、ばね部材47の一部を折り曲げる
ことによって、折曲部47dが形成されている。
ト7Aを形成するサスペンション半成品51を示してい
る。このサスペンション半成品51は、ロングベースプ
レート30を構成する一方のプレート7Aと、ロードビ
ーム5Aの剛体部13と、これらプレート7Aと剛体部
13とを繋ぐ左右一対の連結部53とを備えている。前
記連結部53は、図3に示すように、ばね部材47をロ
ングベースプレート30と剛体部13とに重ねたとき
に、ばね部材47の両側に張り出すようになっている。
部13と、プレート7Aの双方に渡ってばね部材47を
重ね、例えばレーザ溶接などによってばね部材47をプ
レート7Aと剛体部13とに固定する。その後、プレス
等によって連結部53を剛体部13及びプレート7Aか
ら切り離す。
合わせしてレーザ溶接などにより固定し、さらにフレキ
シャ21を取り付けることによって、サスペンション1
Aが完成する。
ング処理により精度良く孔を形成可能な板厚t2を有す
るサスペンション半成品51をエッチング処理により形
成することによって、ピボット孔31を形成することが
でき、ピボット孔31の精度を著しく高めることができ
る。
他方のプレート7Bには遊嵌孔9が形成され、この遊嵌
孔9は前記のように精度が要求されないので、板厚がt
1と若干厚くてもエッチング処理により形成することが
できる。
ッチング処理によって形成することができ、ロングベー
スプレート30の平面度を大幅に向上させることができ
る。しかも、本実施形態においては、ロードビーム5A
の剛体部13に対しばね部15が別部品のばね部材47
によって構成され、それぞれに適した材料と板厚を選定
できるため、剛体部13に要求される性能(例えば高剛
性)と、ばね部15に要求される性能(例えば低ばね定
数)とを両立させることが容易となる。ばね部材47に
は、精度の高い圧延材を使用することで安定した低ばね
定数のばね部15を得ることができる。
レート7Aの板厚をt2=0.1mmとしたため、剛体
部13に十分な剛性を持たせることができる。また、剛
体部13に曲げ縁やリブを設ける必要がなく、空気の流
れを円滑にし、ディスクが高回転しても風乱による影響
を抑制し、サスペンションフラッタ(風によるサスペン
ションのばたつき)の発生を抑制することができる。
ート7Bは図5のように上下逆にして配置形成すること
もできる。
かかる実施形態を示している。図6はサスペンション1
Bの全体斜視図である。本実施形態では、ロングベース
プレート30の構成が前記図3の第2実施形態のサスペ
ンション1Aとほぼ同一構成であり、ロードビーム5B
の構成が前記第1実施形態のサスペンション1とほぼ同
一構成である。従って、図1,図3と対応する構成部分
には同符号を付して説明する。
Bは、剛体部13及び該剛体部13を前記支持プレート
手段(ロングベースプレート30)に弾性支持するばね
部15を備え、該剛体部13及びばね部15が一枚のプ
レートで一体に形成された構成となっている。前記ロー
ドビーム5Bの端部であるばね部15の一側15aは、
前記ロングベースプレート30の端部30aに重ねてレ
ーザ溶接などにより固定されている。
Aは、エッチング処理により精度良く孔を形成可能な板
厚t2に形成されている。このプレート7Aをエッチン
グ処理により形成することによって、ピボット孔31を
形成することができ、ピボット孔31の精度を著しく高
めることができる。
他方のプレート7Bには遊嵌孔9が形成され、この遊嵌
孔9は前記のように精度が要求されないので、板厚がt
1と若干厚くてもエッチング処理により形成することが
できる。
ッチング処理によって形成することができ、ロングベー
スプレート30の平面度を大幅に向上させることができ
る。しかも、本実施形態においては、ロードビーム5B
の剛体部13及びばね部15が、一枚のプレートで一体
に形成されているため、構造を簡単にすることができ
る。
1とし、他方を遊嵌孔9としたが、少なくとも2層のプ
レートを双方ともエッチング処理により精度良く孔を形
成可能な板厚に形成することにより、双方にエッチング
処理によりピボット孔を精度良く形成する構成にするこ
ともできる。 (第3実施形態)図7〜図12は本発明の第3実施形態
を示している。図7はサスペンション1Cの全体平面
図、図8は同拡大側面図、図9は図7のSA−SA矢視
断面図、図10は図7のSB−SB矢視断面図、図11
は図7のSC−SC矢視拡大断面図、図12は加工工程
の一部を説明する工程図である。尚、図1の第1実施形
態のサスペンション1に対し、対応する構成部分には同
符号を付して説明する。
ンション1Cは、ロードビーム5と、該ロードビーム5
に一体の一方のプレート7Cと、該一方のプレート7C
に重ねて設けられた他方のプレート3Aとを備えてい
る。前記他方のプレート3Aはロングベースプレートと
して構成され、プレート7Cと共にキャリッジアームを
兼ねるもので、キャリッジの支持部から前記ロードビー
ム5側へ長く設定されている。
例えばステンレス鋼で形成され、その板厚t3は、本実
施形態においてt3=0.040〜0.200mmの何
れかの寸法にに設定されている。従って、プレート7C
はエッチング処理により精度良く孔を形成可能な板厚に
形成された構成となっている。
ように、樹脂層3Aaと金属層3Abとからなってい
る。樹脂層3Aaは、ポリイミド、エポキシ等の樹脂で
形成され、所定のばね定数と減衰とを備えている。樹脂
層3Aaの板厚t4は、本実施形態においてt4=0.
50〜0.100mmの何れかの寸法に設定されてい
る。前記金属層3Abは、例えばステンレス鋼で形成さ
れ、その板厚t5は、本実施形態においてt5=0.1
00mmに設定され、振動系の質量として機能する。
これらの構成によって、本実施形態においても、キャリ
ッジの支持部に軸支持されキャリッジアームを兼ねる支
持プレート手段は、プレート3A,7Cからなり、支持
プレート手段を3層構造としている。また、他方のプレ
ート3Aは、前記ロードビーム5及びプレート7C側を
主振動系とする副振動系を構成している。
うに、キャリッジの支持部に精度良く嵌合するピボット
孔31が設けられている。ピボット孔31の直径φ3
は、本実施形態においてφ3=9.0mmに設定されて
いる。前記プレート3Aの樹脂層3Aaと金属層3Ab
とには、前記ピボット孔31とほぼ同心の遊嵌孔9A,
9Bが形成されている。遊嵌孔9A,9Bの直径φ4
は、本実施形態においてそれぞれφ4=9.1mmに設
定されている。
同様に、図7,図8,図11のように長さL1で示す剛
体部13及び長さL2で示すばね部15を有している。
このロードビーム5の剛体部13には、前記同様に曲げ
加工によって曲げ縁17,19が設けられるなど、図1
の実施形態とほぼ同様な構成となっている。前記ばね部
15は、前記剛体部13を前記支持プレート手段(プレ
ート3A,7C)に弾性支持する構成となっている。
に設けられている。一端がヘッド部39の端子に導通さ
れた導電路37の他端は、端子41に導通している。端
子41は、前記プレート7Cから側方へ一体に突設され
た支持部42上に配置されている。
うにして製造される。まず、図12(a)のように、前
記プレート7C,樹脂層3Aa、金属層3Abに対応し
た厚みの平板状の基材55,57,59を形成する。樹
脂層3Aaに対応する基材57には、両面に接着層57
a,57bが形成されている。プレート7Cに対応した
基材55を基材57の接着層57a側に重ね、金属層3
Abに対応した基材59を基材57の接着層57b側に
重ねる。重ねた基材55,57,59を熱圧着により結
合し、3層構造とする。次いで、前記3層構造の基材5
5,57,59をエッチング処理し、図7,図8に対応
したロードビーム5,プレート3A,7Cの部分の基本
形状の半成品を形成する。
9Bは、図12(b)〜(g)に示すように形成され
る。まず、図12(b)のようにレジスト61を基本形
状のプレート7Cに当て、レジスト63を基本形状のプ
レート3Aの金属層3Aaに当てる。前記レジスト61
には孔65が備えられている。この状態でエッチング処
理し、図12(c)のようにプレート7Cのピボット孔
31を形成する。
をプレート7Cに当て、レジスト69を基本形状のプレ
ート3Aの金属層3Abに当てる。前記レジスト67に
は突部71が備えられている。突部71は、既に形成さ
れているプレート7Cのピボット孔31に密に嵌合す
る。前記レジスト69には孔73が備えられている。こ
の状態でエッチング処理し、図12(e)のようにプレ
ート3Aの金属層3Abに遊嵌孔9Bを形成する。
はプレート7Cに当てたままとし、前記図12(d)の
レジスト69を基本形状のプレート3Aの金属層3Ab
から外す。この状態でエッチング処理し、図12(g)
のようにプレート3Aの樹脂層3Aaに遊嵌孔9Aをさ
らに形成する。
より第1実施形態と同様に形成される。その後、ロード
ビーム5では、プレスによって曲げ縁17,19及びデ
ィンプル等が形成される。また、フレキシャ21等も第
1実施形態と同様に装着される。
孔31及び遊嵌孔9A,9Bがほぼ同心に配置され、ピ
ボット孔31が遊嵌孔9A,9Bに対し内包される形態
となり、ピボット孔31を有効に機能させることができ
る。但し、ピボット孔31が遊嵌孔9A,9Bに対し内
包され、ピボット孔31が有効に機能できる限りは、ピ
ボット孔31及び遊嵌孔9A,9Bの心は多少ずれても
よいものである。こうして、ピボット孔31をキャリッ
ジの支持部に精度良く嵌合させて軸支持させることがで
き、プレート3A、7Cはキャリッジアームを兼ねるこ
とができる。
のプレート3Aが、前記ロードビーム5及びプレート7
C側を主振動系とする副振動系を構成し、サスペンショ
ン1B全体の振動特性を向上することができる。即ち、
3層構造によるダンピング効果によって、風の影響や高
速駆動等による起振入力があってもロードビーム5及び
プレート7C側の上下或いは左右方向等の振動を抑制
し、前記振動特性の向上を確実に行わせることができ
る。 (第4実施形態)図13は本発明の第4実施形態を示
し、図3の第2実施形態の変形例である。図13はサス
ペンション1Dの全体斜視図である。尚、図3の第2実
施形態のサスペンション1Aと対応する構成部分には同
付号を付して説明する。
理により精度良く孔を形成可能な板厚を有する一方のプ
レート7Aは、他方のプレート7Dと共にロングベース
プレート30を構成している。ロングベースプレート3
0は、本実施形態において支持プレート手段を構成して
いる。プレート7Dは、樹脂層7Daと金属層7Dbと
からなっている。この樹脂層7Da及び金属層7Db
は、前記第3実施形態の樹脂層3Aa及び金属層3Ab
と同様な構成となっている。すなわち、本実施形態にお
いてもサスペンション1Dの支持プレート手段を3層構
造としている。
施形態とほぼ同様な作用効果を奏することができると共
に、前記第3実施形態と同様に3層構造によるダンピン
グ効果によって、サスペンション1D全体の振動特性を
向上することができる。
形態と同様に、図5のプレート7Bを前記プレート7D
に代えて適用することができる。 (第5実施形態)図14は、本発明の第5実施形態を示
している。図14は、サスペンション1Eの全体斜視図
である。本実施形態では、ロングベースプレート30A
の構成が前記図6の第2実施形態のサスペンション1B
のロングベースプレート30とほぼ同一構成であり、ロ
ードビーム5Cの構成が前記図1の第1実施形態のサス
ペンション1のロードビーム5とほぼ同一構成である。
従って、図1,図6と対応する構成部分には同符号を付
して説明する。
5Cは、剛体部13を備えている。本実施形態では、前
記剛体部13を前記支持プレート手段(ロングベースプ
レート30A)に弾性支持するばね部15Aが、ロード
ビーム5Cではなくロングベースプレート30Aに備え
られている。ばね部15Aは、ロングベースプレート3
0Aの一方のプレート7Eに一枚のプレートで一体に形
成されている。前記ロードビーム5Cの端部5Caは、
前記ロングベースプレート30Aの一方のプレート7E
の端部であるばね部15Aの端部15Aaに重ねてレー
ザ溶接などにより固定されている。
Eは、エッチング処理により精度良く孔を形成可能な板
厚t2に形成されている。このプレート7Eをエッチン
グ処理により形成することによって、ピボット孔31を
形成することができ、ピボット孔31の精度を著しく高
めることができる。
る他方のプレート7Bには、遊嵌孔9が形成されてい
る。この遊嵌孔9は前記のように精度が要求されないの
で、プレート7Bの板厚がt1と若干厚くてもエッチン
グ処理により形成することができる。 前記プレート7
E,7Bの双方ともエッチング処理によって形成するこ
とができ、ロングベースプレート30の平面度を大幅に
向上させることができる。
グベースプレート30Aの一方のプレート7Eに、前記
ばね部15Aが一体に形成され、前記ロードビーム5C
の端部5Caが、前記ばね部15Aの端部15Aaに重
ねて固定されたため、少なくとも剛体部13に適した材
料と板厚とを選定することができ、剛体部13に要求さ
れる性能(例えば高剛性)を確実に確保することができ
る。
方のプレート7Eは、他方のプレート7Bとの調整によ
り、ばね部15Aに適した材料と板厚とを選定すること
が可能であり、ばね部15Aに要求される性能(例えば
低ばね定数)を確実に確保することもできる。このた
め、剛体部13及びばね部15Aそれぞれに適した材料
と板厚とを選定することも可能であり、剛体部13に要
求される性能(例えば高剛性)と、ばね部15Aに要求
される性能(例えば低ばね定数)とを両立させることも
容易となる。
レート30Aの一方のプレート7Eに一枚のプレートで
一体に形成されているため、構造を簡単にすることがで
きる。
に係る実施形態である。図15はサスペンション1Fの
全体斜視図である。尚、図14の第5実施形態のサスペ
ンション1Eと対応する構成部分には同付号を付して説
明する。
理により精度良く孔を形成可能な板厚t2を有する一方
のプレート7Eは、他方のプレート7Dと共にロングベ
ースプレート30Bを構成している。ロングベースプレ
ート30Bは、本実施形態において支持プレート手段を
構成している。プレート7Dは、樹脂層7Daと金属層
7Dbとからなっている。この樹脂層7Da及び金属層
7Dbは、前記第3実施形態の樹脂層3Aa及び金属層
3Abと同様な構成となっている。すなわち、本実施形
態においてもサスペンション1Fの支持プレート手段を
3層構造としている。
施形態とほぼ同様な作用効果を奏することができると共
に、前記第3実施形態と同様に3層構造によるダンピン
グ効果によって、サスペンション1F全体の振動特性を
向上することができる。
1とし、他方を遊嵌孔9としたが、少なくとも2層のプ
レートを双方ともエッチング処理により精度良く孔を形
成可能な板厚に形成することにより、双方にエッチング
処理によりピボット孔を精度良く形成する構成にするこ
ともできる。
斜視図である。
レートの平面図、(b)はプレート一体のロードビーム
の平面図、(c)は結合状態の底面図である。
斜視図である。
ばね部材とを示す斜視図である。
ョンの斜視図である。
ンションの斜視図である。
平面図である。
面図である。
面図である。
断面図である。
拡大断面図である。
工程の一部を説明し、(a)は基材熱圧着の工程図、
(b)はピボット孔形成の工程図,(c)はピボット孔
の形成状態の断面図,(d)は金属層への遊嵌孔形成の
工程図,(e)は金属層への遊嵌孔形成状態の断面図,
(f)樹脂層への遊嵌孔形成の工程図,(g)樹脂層へ
の遊嵌孔形成状態の断面図である。
の斜視図である。
の斜視図である。
係るサスペンションの斜視図である。
ンブリの斜視図である。
ライブ用サスペンション 3,3A,7B,7D 他方のプレート(支持プレート
手段) 3Aa,7Da 樹脂層 3Ab,7Db 金属層 5,5A,5B,5C ロードビーム 5Ca ロードビームの端部 7,7A,7C,7E 一方のプレート(支持プレート
手段) 9 遊嵌孔 13 剛体部 15,15A ばね部 15a ばね部の一側(ロードビームの端部) 15Aa ばね部の端部 30,30A ロングベースプレート(支持プレート手
段) 30a 端部 31 ピボット孔 43 スライダ 47 ばね部材 47a 一端部 47b 他端部
Claims (7)
- 【請求項1】 キャリッジの支持部に嵌合して軸支持さ
れ、前記キャリッジのキャリッジアームを兼ねる支持プ
レート手段と、 少なくとも剛体部を有して前記支持プレート手段に弾性
支持され、先端のスライダに負荷荷重を与えるロードビ
ームとを備えたディスクドライブ用サスペンションにお
いて、 前記支持プレート手段を、少なくとも2層のプレートで
形成し、 該プレートの少なくとも一方をエッチング処理により精
度良く孔を形成可能な板厚に形成し、 前記一方のプレートに、前記支持部に嵌合させるピボッ
ト孔を形成し、 前記他方のプレートに、前記ピボット孔よりも大きな遊
嵌孔を前記ピボット孔とほぼ同心に形成するか、前記ピ
ボット孔と同心同径のピボット孔を形成するかの一方と
したことを特徴とするディスクドライブ用サスペンショ
ン。 - 【請求項2】 請求項1記載のディスクドライブ用サス
ペンションであって、 前記他方のプレートは、樹脂層と金属層とからなり、 前記樹脂層を前記一方のプレートと前記金属層との間に
介在させて前記支持プレート手段を3層構造としたこと
を特徴とするディスクドライブ用サスペンション。 - 【請求項3】 請求項1又は2記載のディスクドライブ
用サスペンションであって、 前記一方のプレートは、前記他方のプレートと共に前記
ロングベースプレートを構成することを特徴とするディ
スクドライブ用サスペンション。 - 【請求項4】 請求項3記載のディスクドライブ用サス
ペンションであって、 前記ロードビームの剛体部を前記支持プレート手段に支
持するばね部材を有し、 前記ばね部材の一端部は、前記剛体部の端部に重ねて固
定され、同他端部は、前記ロングベースプレートの端部
に重ねて固定されたことを特徴とするディスクドライブ
用サスペンション。 - 【請求項5】 請求項3記載のディスクドライブ用サス
ペンションであって、 前記ロードビームは、剛体部及び該剛体部を前記支持プ
レート手段に弾性支持するばね部を有して一枚のプレー
トにより一体に形成され、 前記ロードビームの端部は、前記ロングベースプレート
の端部に重ねて固定されたことを特徴とするディスクド
ライブ用サスペンション。 - 【請求項6】 請求項1又は2記載のディスクドライブ
用サスペンションであって、 前記一方のプレートは、前記ロードビームと一体に形成
され、 前記他方のプレートは、前記ロングベースプレートを構
成することを特徴とするディスクドライブ用サスペンシ
ョン。 - 【請求項7】 請求項1〜3の何れかに記載のディスク
ドライブ用サスペンションであって、 前記一方のプレートに、前記剛体部を前記支持プレート
手段に弾性支持するばね部が一体に形成され、 前記ロードビームの端部は、前記ばね部の端部に重ねて
固定されたことを特徴とするディスクドライブ用サスペ
ンション。
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