JPH10162518A

JPH10162518A - 磁気ヘッド用サスペンションおよびそれを用いた磁気記憶装置

Info

Publication number: JPH10162518A
Application number: JP8317508A
Authority: JP
Inventors: Haruhide Takahashi; 治英高橋; Shuichi Sugawara; 秀一菅原; Masaaki Matsumoto; 真明松本
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1996-11-28
Filing date: 1996-11-28
Publication date: 1998-06-19
Also published as: KR19980042786A; KR100268630B1; US6055131A

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明の目的は、位置決め精度の向上した磁気
ヘッド用サスペンション及びそれを用いた磁気記憶装置
を提供することにある。【解決手段】磁気ヘッド用サスペンション１００は、第
１の板材１１０と、第２の板材１２０とから構成されて
いる。第１の板材の１１０一端には、磁気ヘッドスライ
ダを支持するジンバル部１６０が形成され、その中央部
には、磁気ヘッドスライダを磁気記録媒体に押し付ける
押し付け荷重を加えるための荷重曲げ部１１８が形成さ
れ、その表面上には、信号を伝送するための導体が形成
されている。第２の板材１２０は、第１の板材１１０の
荷重曲げ部１１６よりもジンバル部１６０から離れた位
置に固定されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ヘッド用サス
ペンションおよびそれを用いた磁気記憶装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の磁気ヘッド用サスペンションは、
一般的に、磁気ヘッドスライダが揺動の自由度をもつよ
うに、比較的薄い材料で作られたジンバル部に接着され
ている。そして、ジンバル部に固定された磁気ヘッドス
ライダに押し付け荷重を加えるために、ジンバル部は、
途中に折曲げ部を有するロードアームに固定され、ディ
ンプル部によって支持されている構成となっている。

【０００３】また、従来の磁気ヘッド用サスペンション
としては、例えば、特開平６−２１５５１３号公報に記
載されているように、ジンバル部とロードアームを一体
化し、磁気ヘッドへの信号線を表面上に一体化した磁気
ヘッド用サスペンションがある。ジンバル部とロードア
ームを一体化した磁気ヘッド用サスペンションではスラ
イダの揺動の自由度を与え、ジンバル剛性を小さくする
ために、サスペンション全体を薄板で構成している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ジンバ
ル部とロードアームが別の部材で構成された従来の磁気
ヘッド用サスペンションにおいては、ジンバル部をディ
ンプル部で支持する構造であるため、ディンプル部にお
いて、ジンバル部がロードアームに対して変位し、その
結果、磁気ヘッドスライダの位置決めが精度よくできな
いという問題があった。

【０００５】一方、ジンバル部とロードアームを一体化
した磁気ヘッド用サスペンションにおいては、ジンバル
部とロードアームの相対変位の問題はないが、以下に説
明するように、面内剛性に低下によって位置決め精度が
低下するという問題があった。即ち、一体化した磁気ヘ
ッド用サスペンションにおいては、スライダの揺動の自
由度を与え、ジンバル剛性を小さくするために、サスペ
ンション全体を薄板で構成している。しかし、ジンバル
部の剛性を低減するためにサスペンション全体を薄板で
構成しているため、磁気ヘッド用サスペンションの面内
剛性が低く、押しつけ荷重が加えられたときに、サスペ
ンションが面外方向に変形し、位置決めの精度が劣化す
るという問題があった。

【０００６】本発明の目的は、位置決め精度の向上した
磁気ヘッド用サスペンション及びそれを用いた磁気記憶
装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に、本発明は、板材により形成され、その一端に設けら
れた磁気ヘッドスライダを支持するジンバル部と、その
中央部に形成された上記磁気ヘッドスライダを磁気記録
媒体に押し付ける押し付け荷重を加えるための荷重曲げ
部と、その表面上に形成された信号を伝送するための導
体とを有し、その他端をベースプレートを介してキャリ
ッジにより固定支持される磁気ヘッド用サスペンション
において、上記荷重曲げ部の位置よりも上記他端側の上
記板材の板厚を、上記荷重曲げ部の位置よりも上記一端
側の上記板材の板厚よりも厚くしたものであり、かかる
構成により、磁気ヘッド用サスペンションの位置決め精
度を向上し得るものとなる。

【０００８】上記磁気ヘッド用サスペンションにおい
て、好ましくは、上記板材は、板厚の薄い第１の板材
と、第１の板材よりも板厚の厚い第２の板材から構成さ
れ、上記第１の板材に上記ジンバル部及び上記荷重曲げ
部を形成するとともに、上記第１の板材の上記荷重曲げ
部よりも上記ジンバル部から離れた位置に、上記第２の
板材を固定するようにしたものであり、かかる構成によ
り、板厚の異なるサスペンションを容易に形成し得るも
のとなる。

【０００９】また、上記目的を達成するために、本発明
は、回転可能なディスク記録媒体と、回動可能であると
ともに、キャリッジにベースプレートを介して固定され
た磁気ヘッド用サスペンションからなる位置決め装置と
を有し、上記磁気ヘッド用サスペンションは、板材によ
り形成され、その一端に設けられた磁気ヘッドスライダ
を支持するジンバル部と、その中央部に形成された上記
磁気ヘッドスライダを磁気記録媒体に押し付ける押し付
け荷重を加えるための荷重曲げ部と、その表面上に形成
された信号を伝送するための導体とを有し、その他端を
ベースプレートを介してキャリッジにより固定支持され
る磁気記憶装置において、上記磁気ヘッド用サスペンシ
ョンは、上記荷重曲げ部の位置よりも上記他端側の上記
板材の板厚を、上記荷重曲げ部の位置よりも上記一端側
の上記板材の板厚よりも厚くしたものであり、かかる構
成により、磁気記憶装置の位置決め精度を向上し得るも
のとなる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図５を用いて、本発
明の一実施形態による磁気ヘッド用サスペンションの構
成及び本発明の一実施形態による磁気ヘッド用サスペン
ションを用いる磁気記憶装置の構成について説明する。
最初に、図１〜図４を用いて、本発明の一実施形態によ
る磁気ヘッド用サスペンションの構成について説明す
る。図１は、本発明の一実施形態による磁気ヘッド用サ
スペンションの底面側から見た斜視図であり、図２は、
本発明の一実施形態による磁気ヘッド用サスペンション
の平面図であり、図３は、本発明の一実施形態による磁
気ヘッド用サスペンションの側面図であり、図４は、図
２のＡ−Ａ’における部分断面図である。

【００１１】図１において、本実施形態による磁気ヘッ
ド用サスペンション１００は、第１の板材１１０と、第
２の板材１２０とから構成されている。第２の板材１２
０は、第１の板材１１０にスポット溶接される。さら
に、ベースプレート１３０が、第２の板材１２０を介し
て、第１の板材１１０に溶接される。ベースプレート１
３０は、後述するように、磁気ヘッド用サスペンション
１００を磁気記憶装置のキャリッジに固定するのに用い
られる。

【００１２】第１の板材１１０は、厚さ２０μmから４
０μmで略均一の厚みの板材を用いる。ここでは、厚さ
２５μmのステンレス鋼板を用いている。第１の板材１
１０の先端には、磁気ヘッドスライダ取付部１５０が形
成されている。

【００１３】第１の板材１１０の表面には、導体層１４
０がパターニングされて形成されている。導体層１４０
は、磁気ヘッド用サスペンション１００の先端の磁気ヘ
ッドスライダ取付部１５０の位置から磁気ヘッド用サス
ペンション１００の後端のベースプレート１３０の近傍
の位置まで形成されている。導体層１４０は、第１の板
材１１０に対して絶縁されている。絶縁構造について
は、図４を用いて後述する。導体層は、磁気ヘッド用サ
スペンション１００の先端の磁気ヘッドスライダ取付部
１５０に固定される磁気ヘッドスライダに設けられた磁
気トランスデューサに信号を伝送し、また、磁気トラン
スデューサによって検出された信号を磁気記憶装置に伝
送するのに用いられる。

【００１４】導体層１４０のパターニングされた第１の
板材１１０を、エッチング加工あるいはプレス打抜き加
工することにより、磁気ヘッド用サスペンション１００
の平面的な形状を形成する。この加工時に、磁気ヘッド
スライダ取付部１５０も一体的に形成される。磁気ヘッ
ドスライダ取付部１５０は、ジンバル部によって支持さ
れているが、その詳細については、図２を用いて後述す
る。

【００１５】第２の板材１２０は、厚さ２５μmから１
００μmで略均一の厚みの板材を用いる。ここでは、厚
さ６４μmのステンレス鋼板を用いる。第１の板材１１
０と同様に、エッチング加工あるいはプレス打抜き加工
することにより、平面的な形状を形成する。

【００１６】第１の板材１１０は、磁気ヘッド用サスペ
ンション１００の先端の磁気ヘッドスライダ取付部１５
０に近い部分の両側に第１の曲げ部１１２を有してい
る。また、第１の板材１１０は、磁気ヘッド用サスペン
ション１００の後端のベースプレート１３０に近い部分
の両側に第２の曲げ部１１４を有している。さらに、第
１の曲げ部１１２と第２の曲げ部１１４の間に、第１の
板材１１０の長手方向に対して直交して、荷重曲げ部１
１６を有している。第１の曲げ部１１２と第２の曲げ部
１１４及び荷重曲げ部１１６は、曲げ加工により形成さ
れる。

【００１７】次に、図２を用いて、磁気ヘッド用サスペ
ンション１００を背面から見た構成について説明する。
なお、図１と同一符号は、同一部分を示している。図２
に示すように、磁気ヘッド用サスペンション１００の先
端の第１の板材１１０には、磁気ヘッドスライダ取付部
１５０が打ち抜き加工等により形成されている。磁気ヘ
ッドスライダ取付部１５０は、ジンバル部１６０によっ
て、第１の板材１１０に支持されている。即ち、磁気ヘ
ッドスライダ取付部１５０の周囲には、矩形状のビーム
１６０ｘが形成されている。矩形状のビーム１６０ｘと
磁気ヘッドスライダ取付部１５０の間は、一対の第１の
ビーム１６０Ａ，１６０Ｂによって連結されている。矩
形状のビーム１６０と第１の板材１１０の間は、一対の
第２のビーム１６０Ｃ，１６０Ｄによって連結されてい
る。磁気ヘッドスライダ取付部１５０には、図示しない
磁気ヘッドスライダが取付固定される。

【００１８】磁気ヘッドスライダ取付部１５０に取り付
けられた磁気ヘッドスライダは、一対の第２のビーム１
６０Ｃ，１６０Ｄのねじれによって、ＣＳＳ（コンタク
ト・スタート・ストップ）方向に回動する。また、磁気
ヘッドスライダは、一対の第１のビーム１６０Ａ，１６
０Ｂのねじれによって、シーク方向に回動する。即ち、
磁気ヘッドスライダは、矩形のビーム１６０Ｘ及び２対
のビーム１６０Ａ，１６０Ｂ，１６０Ｃ，１６０Ｄによ
って構成されるジンバル部１６０によって、２方向に回
動可能なように保持されている。

【００１９】上述したように、第１の部材１１０の厚さ
は、２５μｍである。従って、第１の板材１１０の剛性
は小さいため、ジンバル部１６０のねじれ作用によっ
て、磁気ヘッドスライダは、２方向に回動可能に保持す
ることができる。

【００２０】第２の板材１２０は、第１の板材１１０の
荷重曲げ部１１６よりも磁気記憶装置のキャリッジへの
固定部側，即ち、第１の板材１１０の荷重曲げ部１１６
よりも磁気ヘッドスライダ取付部１５０から離れた位置
において、スポット溶接により固定されている。さら
に、ベースプレート１３０が、第２の板材１２０を介し
て、第１の板材１１０に溶接される。ベースプレート１
３０は、後述するように、磁気ヘッド用サスペンション
１００を磁気記憶装置のキャリッジに固定するのに用い
られる。

【００２１】上述したように、第１の部材１１０の先端
には、ジンバル部１６０を構成するため、厚さが２５μ
ｍの薄い板材を用いている。その結果、第１の板材１１
０の剛性は小さいものである。磁気記憶装置では、起動
および停止時に磁気ヘッドスライダを磁気ディスクと摺
動するコンタクト・スタート・ストップ（ＣＳＳ）方式
を採用しているが、磁気ヘッドスライダを磁気ディスク
に押しつけるように荷重を加えている。磁気ヘッド用サ
スペンション１００に荷重印加した際、サスペンション
を第１の板材１１０のみで構成すると、第１の板材１１
０の剛性は小さいため、面外方向に変形することにな
る。

【００２２】それに対して、本実施形態においては、第
１の板材１１０の荷重曲げ部１１６よりも磁気ヘッドス
ライダ取付部１５０から離れた位置において、第１の板
材１１０に第２の板材１２０を溶接固定するようにして
いる。第２の板材１２０としては、厚さ６４μｍのもの
を使用することにより、磁気ヘッド用サスペンション１
００の基部の剛性は、略８９μｍの板厚の板材を使用し
た場合と同等の剛性に高めることができる。従って、磁
気ヘッド用サスペンション１００の面内剛性が向上し、
その結果、振動特性が向上する。面内剛性が低い場合に
は、共振周波数が低下し、１次，２次共振によるねじれ
振動も発生するが、面内剛性が向上することにより、共
振周波数も高くなり、ねじれ振動の発生も防止できるも
のとなる。その結果、位置決め精度が向上することとな
る。

【００２３】次に、図３を用いて、本実施形態による磁
気ヘッド用サスペンション１００の側面形状について説
明する。なお、図１と同一符号は、同一部分を示してい
る。第１の板材１１０は、磁気ヘッド用サスペンション
１００の荷重曲げ部１１６よりも先端側の両側に第１の
曲げ部１１２を有している。第１の板材１１０は、板厚
が２５μｍの薄い板材を使用しているが、これは、ジン
バル部１６０を形成するためである。従って、第１の板
材１１０の先端部に形成されるジンバル部１６０以外の
部分の剛性が高い方が望ましく、第１の曲げ部１１２を
設けることにより、第１の板材１１０の磁気ヘッド用サ
スペンション１００の荷重曲げ部１１６よりも先端側の
剛性を向上することができる。

【００２４】また、第１の板材１１０は、磁気ヘッド用
サスペンション１００の荷重曲げ部１１６よりも後端側
の両側に第２の曲げ部１１４を有している。従って、第
２の曲げ部１１４を設けることにより、第１の板材１１
０の磁気ヘッド用サスペンション１００の荷重曲げ部１
１６よりも後端側の剛性をも向上することができる。

【００２５】第１の板材１１０に設けられた第１の曲げ
部１１２と第２の曲げ部１１４の間に、第１の板材１１
０の長手方向に対して直交して、荷重曲げ部１１６を設
けてある。荷重曲げ部１１６は、ＣＳＳ方式による磁気
ヘッドスライダを磁気ディスクに押しつける際の荷重印
加に用いられる。

【００２６】なお、第１の曲げ部１１２と第２の曲げ部
１１４及び荷重曲げ部１１６は、曲げ加工により形成さ
れる。

【００２７】次に、図４を用いて、導体層の絶縁構造に
ついて説明する。第１の板材１１０の表面の内、第２の
板材１２０が固定される面と反対側の面に、ポリイミド
絶縁層１４２、導体層１４０、ポリイミドカバー層１４
４が順次パターニングにより積層形成されている。導体
層１４０は、ポリイミド絶縁層１４２及びポリイミドカ
バー層１４４によって、第１の板材１１０および外部に
対して絶縁され、信号を伝送する導体として用いること
ができる。

【００２８】次に、図５を用いて、本発明の一実施形態
による磁気ヘッド用サスペンションを用いる磁気記憶装
置の構成について説明する。図５は、本発明の一実施形
態による磁気ヘッド用サスペンションを用いる磁気記憶
装置の平面図である。

【００２９】３．５インチの磁気ディスク装置２００
は、回転数７２００ｒｐｍで回転するスピンドル２１０
に取り付けられた直径３．５インチの磁気ディスク２２
０と、位置決め装置２３０とから構成されている。

【００３０】位置決め装置２３０は、回動するキャリッ
ジ２４０と、キャリッジ２４０の先端に取り付けられた
磁気ヘッド用サスペンション１００とから構成されてい
る。磁気ヘッド用サスペンション１００は、図１に示し
た構成を有しているものである。

【００３１】磁気ディスク２２０が、７２００ｒｐｍで
回転することによって、空気の流れが、ディスク記録媒
体の２２０の円周方向に発生する。磁気ヘッドの固定さ
れた磁気ヘッド用サスペンション１００を取り付けた位
置決め装置２３０は、磁気ヘッドをディスク記録媒体の
２２０の内周から外周に掛けて形成されている複数のト
ラックの中の所定のトラックに位置付けるために、揺動
運動を行う。

【００３２】磁気ヘッドは、磁気ヘッド用サスペンショ
ン１００によって、磁気ディスク２２０上に所定の荷重
で押しつけられている。磁気ディスク２２０の回転によ
って生じる空気の流れが、磁気ヘッドのスライダと磁気
ディスク２２０間に入り込むことによって、スライダ
は、磁気ディスク２２０から数十ｎｍの浮上量で浮上す
る。

【００３３】スライダは、位置決め装置２３０によって
磁気ディスク２２０上の略２０〜４６ｍｍの任意の半径
位置で精度よく位置決めされる。スライダに搭載された
磁気ヘッドにより、磁気ディスク２２０に対して情報の
記録再生が行われる。

【００３４】以上説明したように、第１の板材１１０の
みではサスペンションの面内剛性が不足するが、第２の
板材１２０を付加することにより、荷重曲げ部１１６よ
り磁気ヘッドスライダ取付部１５０から離れた部分の剛
性を向上させることができ、サスペンション全体の面内
剛性を向上することができる。

【００３５】また、荷重曲げ部１１６を含めそれより磁
気ヘッド取付部１５０側は、第１の板材１１０で構成さ
れているため、ジンバル剛性を低減するのに有効となっ
ている。

【００３６】さらに、磁気ヘッドスライダの浮上時に付
加される磁気ヘッド用サスペンションの等価質量は、荷
重曲げ位置から磁気ヘッドスライダに近い部分の影響が
大きいので、この部分を小さくしていることで等価質量
を小さくし、磁気ヘッドスライダの浮上追従性を向上し
ている。

【００３７】本実施形態によれば、磁気ヘッド用サスペ
ンション及びそれを用いた磁気記憶装置の位置決め精度
を向上することができるものである。

【００３８】次に、図６〜図８を用いて、本発明の第２
の実施形態による磁気ヘッド用サスペンションの構成に
ついて説明する。図６は、本発明の第２の実施形態によ
る磁気ヘッド用サスペンションの底面図であり、図７
は、本発明の第２の実施形態による磁気ヘッド用サスペ
ンションの平面図であり、図８は、図７のＢ−Ｂ’にお
ける部分断面図である。なお、図１と同一符号は、同一
部分を示している。

【００３９】図７において、本実施形態による磁気ヘッ
ド用サスペンション１００Ａは、第１の板材１１０Ａ
と、第２の板材１２０Ａとから構成されている。第２の
板材１２０Ａは、第１の板材１１０Ａに接着剤により固
定される。接着構造については、図８を用いて後述す
る。さらに、ベースプレート１３０が、第２の板材１２
０Ａを介して、第１の板材１１０Ａに溶接される。ベー
スプレート１３０は、磁気ヘッド用サスペンション１０
０Ａを磁気記憶装置のキャリッジに固定するのに用いら
れる。

【００４０】第１の板材１１０Ａは、厚さ２０μmから
４０μmで略均一の厚みの板材を用いる。ここでは、厚
さ２５μmのステンレス鋼板を用いている。第１の板材
１１０Ａの先端には、磁気ヘッドスライダ取付部１５０
が打ち抜き加工により形成されている。磁気ヘッドスラ
イダ取付部１５０は、ジンバル部１６０によって、第１
の板材１１０Ａに支持されている。

【００４１】第１の板材１１０Ａの表面には、導体層１
４０がパターニングされて形成されている。導体層１４
０は、磁気ヘッド用サスペンション１００Ａの先端の磁
気ヘッドスライダ取付部１５０の位置から磁気ヘッド用
サスペンション１００Ａの後端のベースプレート１３０
の近傍の位置まで形成されている。導体層１４０は、第
１の板材１１０Ａに対して絶縁されている。絶縁構造に
ついては、図８を用いて後述する。導体層１４０は、磁
気ヘッド用サスペンション１００Ａの先端の磁気ヘッド
スライダ取付部１５０に固定される磁気ヘッドスライダ
に設けられた磁気トランスデューサに信号を伝送し、ま
た、磁気トランスデューサによって検出された信号を磁
気記憶装置に伝送するのに用いられる。

【００４２】導体層１４０のパターニングされた第１の
板材１１０Ａを、エッチング加工あるいはプレス打抜き
加工することにより、磁気ヘッド用サスペンション１０
０Ａの平面的な形状を形成する。この加工時に、磁気ヘ
ッドスライダ取付部１５０も一体的に形成される。磁気
ヘッドスライダ取付部１５０は、ジンバル部１６０によ
って支持されている。

【００４３】第２の板材１２０Ａは、厚さ２５μmから
１００Ａμmで略均一の厚みの板材を用いる。ここで
は、厚さ６４μmのステンレス鋼板を用いる。第１の板
材１１０Ａと同様に、エッチング加工あるいはプレス打
抜き加工することにより、平面的な形状を形成する。

【００４４】第１の板材１１０Ａは、磁気ヘッド用サス
ペンション１００Ａの先端の磁気ヘッドスライダ取付部
１５０に近い部分の両側に第１の曲げ部１１２を有して
いる。また、第１の曲げ部１１２よりも磁気ヘッドスラ
イダ取付部１５０から離れた位置に、第１の板材１１０
Ａの長手方向に対して直交して、荷重曲げ部１１６を有
している。第１の曲げ部１１２及び荷重曲げ部１１６
は、曲げ加工により形成される。

【００４５】さらに、第２の板材１２０Ａは、その両側
に、第２の曲げ部１２２Ａを有している。第２の曲げ部
１２２Ａは、図１に示した実施形態における第２の曲げ
部に相当するものであるが、本実施形態においては、第
２の板材１２０Ａに形成している。第２の曲げ部１２２
Ａは、曲げ加工により形成される。

【００４６】次に、図７を用いて、磁気ヘッド用サスペ
ンション１００Ａを背面から見た構成について説明す
る。なお、図６と同一符号は、同一部分を示している。
第２の板材１２０Ａは、第１の板材１１０Ａの荷重曲げ
部１１６よりも磁気記憶装置のキャリッジへの固定部
側，即ち、第１の板材１１０Ａの荷重曲げ部１１６より
も磁気ヘッドスライダ取付部１５０から離れた位置にお
いて、接着剤により固定されている。さらに、ベースプ
レート１３０が、第２の板材１２０Ａを介して、第１の
板材１１０Ａに溶接される。ベースプレート１３０は、
磁気ヘッド用サスペンション１００Ａを磁気記憶装置の
キャリッジに固定するのに用いられる。

【００４７】上述したように、第１の部材１１０Ａの先
端には、ジンバル部１６０を構成するため、厚さが２５
μｍの薄い板材を用いている。その結果、第１の板材１
１０Ａの剛性は小さいものである。磁気記憶装置では、
起動および停止時に磁気ヘッドスライダを磁気ディスク
と摺動するコンタクト・スタート・ストップ（ＣＳＳ）
方式を採用しているが、磁気ヘッドスライダを磁気ディ
スクに押しつけるように荷重を加えている。磁気ヘッド
用サスペンション１００Ａに荷重印加した際、サスペン
ションを第１の板材１１０Ａのみで構成すると、第１の
板材１１０Ａの剛性は小さいため、面外方向に変形する
ことになる。

【００４８】それに対して、本実施形態においては、第
１の板材１１０Ａの荷重曲げ部１１６よりも磁気ヘッド
スライダ取付部１５０から離れた位置において、第１の
板材１１０Ａに第２の板材１２０Ａを溶接固定するよう
にしている。第２の板材１２０Ａとしては、厚さ６４μ
ｍのものを使用することにより、磁気ヘッド用サスペン
ション１００Ａの基部の剛性は、略８９μｍの板厚の板
材を使用した場合と同等の剛性に高めることができる。
従って、磁気ヘッド用サスペンション１００Ａの面内剛
性が向上し、その結果、振動特性が向上する。面内剛性
が低い場合には、共振周波数が低下し、１次，２次共振
によるねじれ振動も発生するが、面内剛性が向上するこ
とにより、共振周波数も高くなり、ねじれ振動の発生も
防止できるものとなる。その結果、位置決め精度が向上
することとなる。

【００４９】第１の板材１１０Ａは、磁気ヘッド用サス
ペンション１００Ａの荷重曲げ部１１６よりも先端側の
両側に第１の曲げ部１１２を有している。第１の板材１
１０Ａは、板厚が２５μｍの薄い板材を使用している
が、これは、ジンバル部１６０を形成するためである。
従って、第１の板材１１０Ａの先端部に形成されるジン
バル部１６０以外の部分の剛性が高い方が望ましく、第
１の曲げ部１１２を設けることにより、第１の板材１１
０Ａの磁気ヘッド用サスペンション１００Ａの荷重曲げ
部１１６よりも先端側の剛性を向上することができる。

【００５０】また、第２の板材１２０Ａは、その両側に
第２の曲げ部１２２Ａを有している。従って、第２の曲
げ部１２２Ａを設けることにより、第２の板材１１０Ａ
の磁気ヘッド用サスペンション１００Ａの荷重曲げ部１
１６よりも後端側の剛性を向上することができる。第２
の板材１２０Ａは、６４μｍのものを用いており、この
第２の板材１２０Ａに第２の曲げ部１２２Ａを形成する
ことにより、磁気ヘッド用サスペンション１００Ａの剛
性を、図１に示した磁気ヘッド用サスペンションに比べ
て高くすることができる。従って、振動特性をさらに改
善することができる。

【００５１】また、第１の板材１１０Ａに、第１の板材
１１０Ａの長手方向に対して直交して、荷重曲げ部１１
６を設けてある。荷重曲げ部１１６は、ＣＳＳ方式によ
る磁気ヘッドスライダを磁気ディスクに押しつける際の
荷重印加に用いられる。

【００５２】次に、図８を用いて、導体層の絶縁構造に
ついて説明する。第１の板材１１０Ａの表面の内、第２
の板材１２０Ａが固定される面と反対側の面に、ポリイ
ミド絶縁層１４２、導体層１４０、ポリイミドカバー層
１４４が順次パターニングにより積層形成されている。
導体層１４０は、ポリイミド絶縁層１４２及びポリイミ
ドカバー層１４４によって、第１の板材１１０Ａおよび
外部に対して絶縁され、信号を伝送する導体として用い
ることができる。

【００５３】さらに、第１の板材１１０Ａと第２の板材
１２０Ａは、接着剤１７０によって、接着固定されてい
る。

【００５４】以上説明したように、第１の板材１１０Ａ
のみではサスペンションの面内剛性が不足するが、第２
の板材１２０Ａを付加することにより、荷重曲げ部１１
６より磁気ヘッドスライダ取付部１５０から離れた部分
の剛性を向上させることができ、サスペンション全体の
面内剛性を向上することができる。

【００５５】また、荷重曲げ部１１６を含めそれより磁
気ヘッド取付部１５０側は、第１の板材１１０Ａで構成
されているため、ジンバル剛性を低減するのに有効とな
っている。

【００５６】さらに、磁気ヘッドスライダの浮上時に付
加される磁気ヘッド用サスペンションの等価質量は、荷
重曲げ位置から磁気ヘッドスライダに近い部分の影響が
大きいので、この部分を小さくしていることで等価質量
を小さくし、磁気ヘッドスライダの浮上追従性を向上し
ている。

【００５７】本実施形態によれば、磁気ヘッド用サスペ
ンション及びそれを用いた磁気記憶装置の位置決め精度
をさらに向上することができるものである。

【００５８】次に、図９を用いて、本発明の第３の実施
形態による磁気ヘッド用サスペンションの構成について
説明する。図９は、本発明の第３の実施形態による磁気
ヘッド用サスペンションの底面図である。なお、図６と
同一符号は、同一部分を示している。

【００５９】図９において、本実施形態による磁気ヘッ
ド用サスペンション１００Ｂは、図６に示した実施形態
の磁気ヘッド用サスペンションとは、第１の板材１１０
Ｂの形状を異ならせている。即ち、第１の板材１１０Ｂ
は、図６に示した第１の板材に比べて、その全長を短く
している。第１の板材１１０Ｂと第２の板材１２０Ａ
は、溶接により固定される。

【００６０】第１の板材１１０Ｂの全長を短くすること
によって、第１の板材１１０Ｂが軽量になり、その結
果、磁気ヘッド用サスペンション１００Ｂ自体の軽量化
が図れている。従って、磁気ヘッド用サスペンション及
びそれを用いた磁気記憶装置の位置決め精度をさらに向
上することができるものである。

【００６１】以上説明したように、第１の板材１１０Ｂ
のみではサスペンションの面内剛性が不足するが、第２
の板材１２０Ｂを付加することにより、荷重曲げ部１１
６より磁気ヘッドスライダ取付部１５０から離れた部分
の剛性を向上させることができ、サスペンション全体の
面内剛性を向上することができる。

【００６２】また、荷重曲げ部１１６を含めそれより磁
気ヘッド取付部１５０側は、第１の板材１１０Ｂで構成
されているため、ジンバル剛性を低減するのに有効とな
っている。

【００６３】さらに、磁気ヘッドスライダの浮上時に付
加される磁気ヘッド用サスペンションの等価質量は、荷
重曲げ位置から磁気ヘッドスライダに近い部分の影響が
大きいので、この部分を小さくしていることで等価質量
を小さくし、磁気ヘッドスライダの浮上追従性を向上し
ている。

【００６４】本実施形態によれば、磁気ヘッド用サスペ
ンション及びそれを用いた磁気記憶装置の位置決め精度
をさらに向上することができるものである。

【００６５】次に、図１０を用いて、本発明の第４の実
施形態による磁気ヘッド用サスペンションの構成につい
て説明する。図１０は、本発明の第４の実施形態による
磁気ヘッド用サスペンションの底面図である。なお、図
９と同一符号は、同一部分を示している。

【００６６】図１０において、本実施形態による磁気ヘ
ッド用サスペンション１００Ｃは、図９に示した実施形
態の磁気ヘッド用サスペンションとは、第１の板材１１
０Ｃの形状を異ならせている。即ち、第１の板材１１０
Ｃは、図９に示した第１の板材に比べて、さらに、その
全長を短くしている。そして、導体層１４０Ｃの端部の
信号取出し位置も変更している。第１の板材１１０Ｂと
第２の板材１２０Ａは、溶接により固定される。

【００６７】第１の板材１１０Ｃの全長を短くすること
によって、第１の板材１１０Ｃが軽量になり、その結
果、磁気ヘッド用サスペンション１００Ｃ自体の軽量化
が図れている。従って、磁気ヘッド用サスペンション及
びそれを用いた磁気記憶装置の位置決め精度をさらに向
上することができるものである。

【００６８】また、図９に示した第１の板材に比べて、
その全長が短くなっているため、導体層１４０Ｃのパタ
ーン面積を小さくすることができる。第１の板材１１０
Ｃは、厚さ２５μｍの大きな板材から多数個が型抜き形
成されるが、板材を小型化することにより、パターン面
積を小さくできるため、製造コストを低減することがで
きる。

【００６９】以上説明したように、第１の板材１１０Ｃ
のみではサスペンションの面内剛性が不足するが、第２
の板材１２０Ｃを付加することにより、荷重曲げ部１１
６より磁気ヘッドスライダ取付部１５０から離れた部分
の剛性を向上させることができ、サスペンション全体の
面内剛性を向上することができる。

【００７０】また、荷重曲げ部１１６を含めそれより磁
気ヘッド取付部１５０側は、第１の板材１１０Ｃで構成
されているため、ジンバル剛性を低減するのに有効とな
っている。

【００７１】さらに、磁気ヘッドスライダの浮上時に付
加される磁気ヘッド用サスペンションの等価質量は、荷
重曲げ位置から磁気ヘッドスライダに近い部分の影響が
大きいので、この部分を小さくしていることで等価質量
を小さくし、磁気ヘッドスライダの浮上追従性を向上し
ている。

【００７２】本実施形態によれば、磁気ヘッド用サスペ
ンション及びそれを用いた磁気記憶装置の位置決め精度
をさらに向上することができるものである。

【００７３】また、製造コストを低減することができ
る。

【００７４】なお、以上の説明では、第１の板材の基部
側に第２の板材を固定して、磁気ヘッド用サスペンショ
ンのキャリッジへの取付側の厚さを厚くして、剛性を高
めるようにしていたが、１枚の板材で形成することも可
能である。即ち、例えば、厚さ８９μｍの板材を用意
し、この板材の先端部のみをハーフエッチングにより、
厚さ２５μｍの板材に加工することにより、上述した実
施形態に示したものと同様の構成の磁気ヘッド用サスペ
ンションを作成することが可能である。

【００７５】

【発明の効果】本発明によれば、磁気ヘッド用サスペン
ション及びそれを用いた磁気記憶装置の位置決め精度を
向上することができるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態による磁気ヘッド用サスペ
ンションの底面側から見た斜視図である。

【図２】本発明の一実施形態による磁気ヘッド用サスペ
ンションの平面図である。

【図３】本発明の一実施形態による磁気ヘッド用サスペ
ンションの側面図である。

【図４】図２のＡ−Ａ’における部分断面図である。

【図５】本発明の一実施形態による磁気ヘッド用サスペ
ンションを用いる磁気記憶装置の平面図である。

【図６】本発明の第２の実施形態による磁気ヘッド用サ
スペンションの底面図である。

【図７】本発明の第２の実施形態による磁気ヘッド用サ
スペンションの平面図である。

【図８】図７のＢ−Ｂ’における部分断面図である。

【図９】本発明の第３の実施形態による磁気ヘッド用サ
スペンションの底面図である。

【図１０】本発明の第４の実施形態による磁気ヘッド用
サスペンションの底面図である。

【符号の説明】

１００…磁気ヘッド用サスペンション１１０…第１の板材１１２，１１４，１２２…曲げ部１１６…荷重曲げ部１２０…第２の板材１３０…ベースプレート１４０…導体層１４２…絶縁層１４４…カバー絶縁層１５０…磁気ヘッドスライダ取付部１６０…ジンバル部１７０…接着層２００…磁気ディスク装置２１０…スピンドル２２０…磁気ディスク２４０…キャリッジ２３０…位置決め装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】板材により形成され、その一端に設けら
れた磁気ヘッドスライダを支持するジンバル部と、その
中央部に形成された上記磁気ヘッドスライダを磁気記録
媒体に押し付ける押し付け荷重を加えるための荷重曲げ
部と、その表面上に形成された信号を伝送するための導
体とを有し、その他端をベースプレートを介してキャリ
ッジにより固定支持される磁気ヘッド用サスペンション
において、上記荷重曲げ部の位置よりも上記他端側の上記板材の板
厚を、上記荷重曲げ部の位置よりも上記一端側の上記板
材の板厚よりも厚くしたことを特徴とする磁気ヘッド用
サスペンション。
【請求項２】請求項１記載の磁気ヘッド用サスペンシ
ョンにおいて、上記板材は、板厚の薄い第１の板材と、第１の板材より
も板厚の厚い第２の板材から構成され、上記第１の板材に上記ジンバル部及び上記荷重曲げ部を
形成するとともに、上記第１の板材の上記荷重曲げ部よりも上記ジンバル部
から離れた位置に、上記第２の板材を固定したことを特
徴とする磁気ヘッド用サスペンション。
【請求項３】回転可能なディスク記録媒体と、回動可
能であるとともに、キャリッジにベースプレートを介し
て固定された磁気ヘッド用サスペンションからなる位置
決め装置とを有し、上記磁気ヘッド用サスペンションは、板材により形成さ
れ、その一端に設けられた磁気ヘッドスライダを支持す
るジンバル部と、その中央部に形成された上記磁気ヘッ
ドスライダを磁気記録媒体に押し付ける押し付け荷重を
加えるための荷重曲げ部と、その表面上に形成された信
号を伝送するための導体とを有し、その他端をベースプ
レートを介してキャリッジにより固定支持される磁気記
憶装置において、上記磁気ヘッド用サスペンションは、上記荷重曲げ部の
位置よりも上記他端側の上記板材の板厚を、上記荷重曲
げ部の位置よりも上記一端側の上記板材の板厚よりも厚
くしたことを特徴とする磁気記憶装置。