JP2002202489A - プロジェクタ - Google Patents

プロジェクタ

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JP2002202489A
JP2002202489A JP2001315861A JP2001315861A JP2002202489A JP 2002202489 A JP2002202489 A JP 2002202489A JP 2001315861 A JP2001315861 A JP 2001315861A JP 2001315861 A JP2001315861 A JP 2001315861A JP 2002202489 A JP2002202489 A JP 2002202489A
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liquid crystal
projector
incident
crystal device
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Takeshi Takezawa
武士 竹澤
Toshiaki Hashizume
俊明 橋爪
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Seiko Epson Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単な方法で、入射光が直接駆動素子に当た
る危険性を回避するようにしたプロジェクタを提供す
る。 【解決手段】 液晶パネル411の入射側に設けられた
フィールドレンズ400の光軸FCLを、これらに入射
する光の中心軸FCL0に対して平行にシフトさせる。
フィールドレンズの光軸FCLは、入射光の中心軸FC
L0と光軸FCLとが一致している場合に駆動素子に当
たる光の入射角度を小さくするようにシフトしている。
よって、斜めの光が動素子に当たることがなくなるの
で、動素子の損傷、破壊、誤動作を引き起こすことが無
く、投写画像の品質を向上させることが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、アクティブ方式の
液晶装置を備えたプロジェクタに関する。
【0002】
【従来の技術】アクティブ方式の液晶装置は、プロジェ
クタに良く利用されている。かかる液晶装置は、画素毎
に駆動素子としての薄膜トランジスタ(TFT)やダイ
オード等を有し、画像情報(画像信号)に応じて入射す
る光を変調することにより画像を形成する。そして、一
般的なプロジェクタは、光源から出射された偏りのない
光を所定の直線偏光光に変換して出射する偏光発生光学
系を含む照明光学系と、照明光学系から出射された直線
偏光光を赤、緑、青の3色の色光に分離する色光分離光
学系と、画像情報(画像信号)に応じて各色光を変調す
る3つの液晶装置と、変調された各色光を合成するクロ
スダイクロイックプリズムからなる色光合成光学系と、
合成された光をスクリーン上に投写する投写光学系とを
備える構成となっている。
【0003】図22は、液晶装置の光入射面側からの透
視図であり、液晶装置の一部分を拡大して示す図であ
る。また、図23、図24はそれぞれ図21のF−F’
線およびG−G’線の断面図である。なお、図22〜2
4では、説明をわかりやすくするために、液晶装置に含
まれる構成素子の一部のみを、模式的に示してある。液
晶装置は、ガラス等からなるベース基板1と対向基板2
との間に液晶5が封入された構成となっている。ベース
基板1の液晶5側の面上には薄膜トランジスタ(TF
T)やダイオード等からなる駆動素子3が形成されてい
る。また、液晶装置には、遮光マスク6がマトリックス
状に形成されており、遮光マスク6以外の部分が開口部
4となる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】この液晶装置の開口部
4に入射する光には一定の拡がりがあるため、図23、
図24に示すように、開口部4に垂直に入射する光B1
〜B4のほかに、遮光マスク6にて遮られることなく斜
めに入射する光A1〜A4,C1〜C4が存在する。こ
の斜めに入射する光A1〜A4,C1〜C4のうち、駆
動素子3から離れる方向に入射する光C1,A2,C
3,A4はあまり問題とならないが、駆動素子3の方へ
向かっていく光A1,C2,A3,C4が問題となる。
図23、図24に示したように、光A1,C4が駆動素
子3に当たるような状態になると、駆動素子3の損傷、
劣化、あるいは誤動作といった問題を引き起こし、投写
画像の品質の低下を招いてしまう。
【0005】特に最近では、液晶装置の開口率を上げる
ことに苦心が払われており、開口率を上げるに伴って、
ますます駆動素子3に光が当たる危険性が増す。
【0006】本発明は、かかる課題を解決するためにな
されたもので、安価で、しかも簡単な方法で入射光が直
接駆動素子に当たる危険性を回避するようにして、投写
画像の品質を向上させることを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の液晶装置は、光
源と、前記光源から射出された光を変調する液晶装置
と、前記液晶装置によって変調された光を投写する投写
レンズと、を備えたプロジェクタであって、前記液晶装
置は、マトリクス状に配置された複数の画素電極と、前
記画素電極毎に設けられると共に前記画素電極と電気的
に接続される駆動素子と、が設けられたベース基板と、
前記駆動素子の少なくとも一部を覆う遮光マスクが設け
られた対向基板と、前記ベース基板と前記対向基板との
間に設けられる液晶と、を備え、前記液晶装置に入射す
る光が、前記駆動素子に当たらないような角度に規制さ
れてなることを特徴とするものである。
【0008】本発明によれば、液晶装置に入射する光が
駆動素子に当たらないような角度に規制されているの
で、駆動素子の損傷、破壊、誤作動を引き起こすことは
ない。したがって、投写画像の品質向上を図ることが可
能となる。
【0009】本発明のプロジェクタにおいて、液晶装置
の光入射側にコンデンサレンズが設けられている場合に
は、前記コンデンサレンズに入射する光の中心軸と前記
コンデンサレンズの光軸とが一致している場合に前記駆
動素子に当たる光の入射角度を小さくするように、前記
中心軸と前記コンデンサレンズの光軸とを平行にシフト
させることによって、前記液晶装置に入射する光の角度
を規制することが可能である。このようにすれば、容易
に、上記課題を解決することが可能である。
【0010】また、このとき、投写レンズの光軸を、前
記コンデンサレンズの光軸と同じ方向に、前記コンデン
サレンズに入射する光の中心軸に対して平行にシフトさ
せれば、変調された光を効率よく投写レンズに取り込む
ことができるため、光の利用効率を高めることが可能で
ある。
【0011】また、本発明のプロジェクタにおいて、前
記ベース基板の光入射側に前記画素電極と対応する複数
のレンズを備えたマイクロレンズアレイが設けられてい
る場合には、前記マイクロレンズアレイに入射する光の
中心軸と前記マイクロレンズアレイの中心とが一致して
いる場合に前記駆動素子に当たる光の入射角度を小さく
するように、前記マイクロレンズアレイに入射する光の
中心軸と、前記マイクロレンズアレイの中心とをシフト
させることによって、前記液晶装置に入射する光の角度
を規制することが可能である。このようにすれば、容易
に上記課題を解決することが可能である。
【0012】このとき、前記マイクロレンズアレイを前
記対向基板上に設けるようにすれば、マイクロレンズア
レイと対向基板との間の界面を減らすことが可能とな
る。よって、この界面における光の損失を防ぐことがで
き、光の利用効率を高めることが可能となる。
【0013】また、投写レンズの光軸を、前記マイクロ
レンズアレイの光軸と同じ方向に、前記マイクロレンズ
アレイに入射する光の中心軸に対して平行にシフトさせ
れば、変調された光を効率よく投写レンズに取り込むこ
とが出来るため、光の利用効率を高めることが可能であ
る。また、投写画像が台形に歪む現象も防止できる。
【0014】さらに、本発明のプロジェクタにおいて、
前記対向基板の法線と前記光源の光軸とが平行である場
合に前記駆動素子に当たる光の入射角度を小さくするよ
うに、前記光源の光軸を前記対向基板の法線に対して傾
けることによって、前記液晶装置に入射する光の角度を
規制することも可能である。
【0015】また、このとき、前記投写レンズの光軸
を、前記光源の光軸と同じ方向に、前記対向基板の法線
に対して平行に傾ければ、変調された光を効率よく投写
レンズに取り込むことが出来るため、光の利用効率を高
めることが可能である。
【0016】また、このとき、前記ベース基板の光入射
側に、前記画素電極と対応する複数のレンズを備えたマ
イクロレンズアレイを設けることも可能である。このよ
うに、マイクロレンズを設ける場合、個々のマイクロレ
ンズの光軸を、液晶装置の個々の画素の中心に対して光
源の側に平行にシフトさせれば、入射光が遮光マスクに
よって遮られるのを防ぐことができ、投写画像の明るさ
の低下を低減することができる。さらに、前記マイクロ
レンズアレイを前記対向基板上に設けるようにすれば、
マイクロレンズアレイと対向基板との間の界面を減らす
ことが可能となる。よって、この界面における光の損失
を防ぐことができ、光の利用効率をより一層高めること
が可能となる。
【0017】さらに、本発明のプロジェクタにおいて、
前記液晶装置に入射する光の中心軸は、前記液晶装置の
明視方向と一致していることが好ましい。また、液晶装
置に入射する光の中心軸が液晶装置の明視方向と一致し
ていない場合は、液晶装置の光入射側あるいは光射出側
に視角補償フィルムを設けることによって、液晶装置に
入射する光や液晶装置から射出される光の中心軸と液晶
装置の明視方向とを一致させることが好ましい。このよ
うな構成を採用すれば、投写された画像のコントラスト
を高めることが可能となり、投写画像の品質をより向上
させることができる。
【0018】また、液晶装置の光入射側と光射出側の双
方に視角補償フィルムを設ければ、液晶装置の視角依存
性が低くなり、投写画像の明るさや色調の均一性を高め
ることが可能となる。
【0019】本発明のプロジェクタに採用される液晶装
置は、駆動素子として薄膜トランジスタを備えた液晶装
置であることが好ましい。この場合、前記ベース基板に
は、さらに、走査線と、前記走査線と交差すると共に前
記ベース基板上で前記走査線よりも上方に位置するデー
タ線と、が設けられることとなる。また、前記駆動素子
は、前記データ線及び前記走査線に接続され、チャネル
領域を含むと共に前記基板上で前記走査線よりも下方に
位置する半導体層を有することとなる。
【0020】さらに、本発明のプロジェクタは、前記光
源と前記液晶装置との間に、前記光源から射出された光
を複数の色光に分離する色分離光学系が設けられたカラ
ー表示が可能なプロジェクタに応用することが可能であ
る。本発明のプロジェクタをこのようなカラー表示が可
能なプロジェクタに応用すれば、鮮明なカラー画像を提
供することが可能となる。
【0021】また、このような色分離光学系を用いたプ
ロジェクタの場合、前記液晶装置は、前記複数の色光に
対応して複数設けられていることが好ましい。このよう
に、液晶装置を複数設けるようにすれば、解像度をより
上げることが可能となるので、より鮮明で品質の高いカ
ラー画像を提供することが可能となる。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。なお、以下の説明では、特に説明
のない限り、光の進行方向をz方向、このz方向からみ
て12時の方向をy方向、3時の方向をx方向とする。
【0023】A.プロジェクタの光学系 まず、プロジェクタの一実施形態を図1に示す。同図は
このプロジェクタの光学系を示す概略平面図である。
【0024】プロジェクタ100の一実施形態によれ
ば、光学系として、光源装置20、画像形成光学系3
0、投写レンズ40の3つの主要な部分を備えてなる。
また、液晶ライトバルブ410R,410G,410B
は、それぞれ、液晶装置としての液晶パネル411R,
411G,411Bと、その光入射面側および光出射面
側に配置された入射側偏光板412R,412G,41
2Bおよび出射側偏光板413R,413G,413B
とを備え、さらに、緑色光用の液晶ライトバルブ410
G以外の赤および青色光用の液晶ライトバルブ410
R,410Bは、それぞれ、光出射側にλ/2位相差板
414R,414Bを備えている。なお、以下の説明で
は、液晶ライトバルブ410R,410G,410Bを
まとめて「液晶ライトバルブ410」と、液晶パネル4
11R,411G,411Bをまとめて「液晶パネル4
11」と、入射側偏光板412R,412G,412B
をまとめて「偏光板412」と、出射側偏光板413
R,413G,413Bをまとめて「偏光板413」と
呼ぶこともある。
【0025】画像形成光学系30は、後述するインテグ
レータ光学系300と、ダイクロイックミラー382,
386、反射ミラー384を有する色光分離光学系38
0と、入射側レンズ392、リレーレンズ396、反射
ミラー394,398を有するリレー光学系390とを
備え、さらに、コンデンサレンズとしての3枚のフィー
ルドレンズ400R,400G,400Bと、3つの液
晶ライトバルブ410R,410G,410Bと、色光
合成光学系であるクロスダイクロイックプリズム420
とを備えている。なお、以下の説明では、フィールドレ
ンズ400R,400G,400Bをまとめて「フィー
ルドレンズ400」と呼ぶこともある。
【0026】光源装置20は、画像形成光学系30の第
1レンズアレイ320の入射面側に配置され、内部に複
数のレンズを備えた投写レンズ40は、ズーム機構を備
え、画像形成光学系30のクロスダイクロイックプリズ
ム420の光出射面側に配置される。
【0027】図2は、図1に示すプロジェクタの照明領
域である3枚の液晶パネルを照明する照明光学系を示す
説明図である。この照明光学系は、光源装置20に備え
られた光源200と、画像形成光学系30に備えられた
インテグレータ光学系300とを備える。インテグレー
タ光学系300は、第1レンズアレイ320と、第2レ
ンズアレイ340、遮光板350および偏光変換素子ア
レイ360と、重畳レンズ370とを有している。
【0028】なお、図2では、説明を容易にするため、
照明光学系の機能を説明するための主要な構成要素のみ
を示している。
【0029】光源200は、光源ランプ210と凹面鏡
212とを備える。光源ランプ210から出射された放
射状の光線(放射光)は、凹面鏡212によって反射さ
れて光源光軸に略平行な光線束として第1レンズアレイ
320の方向に出射される。
【0030】ここで、光源ランプ210としては、ハロ
ゲンランプやメタルハライドランプ、高圧水銀ランプを
用いることができ、凹面鏡212としては、放物面鏡や
楕円面鏡を用いることが好ましい。なお、楕円面鏡を用
いる場合は、凹面鏡212の射出側に平行化レンズを配
置する。
【0031】図3は、第1レンズアレイ320の外観を
示す正面図(A)および側面図(B)である。この第1
レンズアレイ320は、矩形状の輪郭を有する小レンズ
321が、y方向にN×2列(ここではN=4)、x方
向にM行(ここではM=10)のマトリックス状に配列
されたもので、各小レンズ321をz方向から見た外形
形状は、各液晶パネル411R,411G,411Bの
形状とほぼ相似形をなすように設定されている。例え
ば、液晶パネルの画像形成領域のアスペクト比(横と縦
の寸法の比率)が4:3であるならば、各小レンズ32
1のアスペクト比も4:3に設定される。このように第
1レンズアレイ320は、光源ランプ210から出射さ
れた略平行な光線束を複数の部分光線束に分割して出射
する機能を有する。
【0032】第2レンズアレイ340は、第1レンズア
レイ320から出射された複数の部分光線束が2つの偏
光変換素子アレイ361,362の偏光分離膜366上
に集光されるように導く機能を有し、第1レンズアレイ
320を構成するレンズ数と同数の小レンズ341から
構成される。なお、第1レンズアレイ320および第2
レンズアレイ340のレンズの向きは、+z方向あるい
は−z方向のどちらを向いてもよく、また、図2に示す
ように互いに異なる方向を向いていてもよい。
【0033】偏光変換素子アレイ360は、偏りのない
照明光を効率よく利用するために直線偏光光を発生させ
る偏光発生光学系を構成するもので、ここでは図2に示
すように2つの偏光変換素子アレイ361,362が光
軸を挟んで対称な向きの配置としているが、同じ向きに
配列された1つの偏光変換素子アレイを用いてもよい。
図4は、一方の偏光変換素子アレイ361の外観を示す
斜視図である。偏光変換素子アレイ361は、複数の偏
光ビームスプリッタからなる偏光ビームスプリッタアレ
イ363と、偏光ビームスプリッタアレイ363の光出
射面の一部に選択的に配置されたλ/2位相差板364
(λは光の波長)とを備えている。偏光ビームスプリッ
タアレイ363は、それぞれ断面が平行四辺形の柱状の
複数の透光性部材365が、順次貼り合わされた形状を
有している。透光性部材365の界面には、偏光分離膜
366と反射膜367とが交互に形成されている。λ/
2位相差板364は、偏光分離膜366あるいは反射膜
367の光の出射面のx方向の写像部分に、選択的に貼
り付けられる。この例では、偏光分離膜366の光の出
射面のx方向の写像部分にλ/2位相差板364を貼り
付けている。なお、偏光分離膜366には誘電体多層膜
が用いられ、反射膜367には誘電体多層膜や金属膜が
用いられる。
【0034】偏光変換素子アレイ361は、入射された
光束を1種類の直線偏光光(例えば、s偏光光やp偏光
光)に変換して出射する機能を有する。図5は、偏光変
換素子アレイ361の作用を示す模式図である。偏光変
換素子アレイ361の入射面に、s偏光成分とp偏光成
分とを含む偏りのない光が入射すると、この入射光は、
まず、偏光分離膜366によってs偏光光とp偏光光に
分離される。s偏光光は、偏光分離膜366によってほ
ぼ垂直に反射され、反射膜367によってさらに反射さ
れてから出射される。一方、p偏光光は、偏光分離膜3
66をそのまま透過する。偏光分離膜366を透過した
p偏光光の出射面には、λ/2位相差板364が配置さ
れており、このp偏光光がs偏光光に変換されて出射す
る。従って、偏光変換素子アレイ361を通過した光
は、そのほとんどがs偏光光となって出射される。な
お、偏光変換素子アレイ361から出射される光をp偏
光光としたい場合には、λ/2位相差板364を、反射
膜367によって反射されたs偏光光が出射する出射面
に配置すればよい。また、偏光方向を揃えられる限り、
λ/4位相差板を用いたり、所望の位相差板をP偏光光
とS偏光光の出射面の双方に設けたりしてもよい。
【0035】上記偏光変換素子アレイ361のうち、隣
り合う1つの偏光分離膜366および1つの反射膜36
7を含み、さらに1つのλ/2位相差板364で構成さ
れる1つのブロックを、1つの偏光変換素子368とみ
なすことができる。偏光変換素子アレイ361は、この
ような偏光変換素子368が、x方向に複数列配列され
たものである。
【0036】なお、偏光変換素子アレイ362も偏光変
換素子アレイ361と全く同様の構成であるので、その
説明は省略する。
【0037】遮光板350は、図2に示すように、偏光
変換素子アレイ360の光入射面側に配置され、第1レ
ンズアレイ320から偏光分離膜366への入射光量を
調節する働きをするものである。そのため、遮光部35
1と開口部352がストライプ状に配列されたものとな
っている。すなわち、遮光板350は、偏光変換素子ア
レイ360(361,362)を構成する各透光性部材
365の光入射面に対応させて、その光入射面幅とほぼ
同じ幅を有する遮光部351と光を通過させる開口部3
52とを交互に形成してなる板状体である。遮光部35
1と開口部352は、第1レンズアレイ320から出射
された部分光線束が偏光変換素子アレイ360の偏光分
離膜366のみに入射し、反射膜367には入射しない
ように配列されている。
【0038】第1レンズアレイ320から出射された複
数の部分光線束は、上記のように、偏光変換素子アレイ
360によって各部分光線束ごとに2つの部分光線束に
分離され、かつ、λ/2位相差板364によってそれぞ
れ波長の位相が揃ったほぼ1種類の直線偏光光(s偏光
光とs偏光光、あるいはp偏光光とp偏光光)に変換さ
れる。このような1種類の直線偏光光からなる複数の部
分光線束は、図2に示す重疂レンズ370によって各液
晶ライトバルブ410の照明領域上で重疂される。この
とき、照明領域を照射する光の強度分布はほぼ均一とな
っている。
【0039】上記のように構成された照明光学系は、偏
光方向の揃った照明光(例えば、s偏光光とs偏光光)
を出射し、色光分離光学系380およびリレー光学系3
90を介して、各液晶パネル411R,411G,41
1Bを照明する。
【0040】画像形成光学系30における色光分離光学
系380は、2枚のダイクロイックミラー382,38
6と、反射ミラー384を備えており、照明光学系から
出射される光線束を、赤(R)、緑(G)、青(B)の
3色の色光に分離する機能を有する。第1ダイクロイッ
クミラー382は、照明光学系から出射された光の赤色
光成分を透過させるとともに、青色光成分と緑色光成分
とを反射する。第1ダイクロイックミラー382を透過
した赤色光Rは、反射ミラー384で反射されて、クロ
スダイクロイックプリズム420へ向けて出射される。
反射ミラー384により反射された赤色光Rは、さらに
フィールドレンズ(コンデンサレンズ)400Rを通っ
て赤色光用の液晶ライトバルブ410Rに達する。フィ
ールドレンズ400Rは、照明光学系の第1レンズアレ
イ320から出射される各部分光線束をその中心軸に対
して平行に変換するものである。なお、他の液晶ライト
バルブ410G,410Bの光入射面側に設けられたフ
ィールドレンズ(コンデンサレンズ)400G,400
Bについても同様である。
【0041】第1ダイクロイックミラー382で反射さ
れた緑色光Gと青色光Bのうち、緑色光Gは第2ダイク
ロイックミラー386によって反射され、クロスダイク
ロイックプリズム420へ向けて出射される。第2ダイ
クロイックミラー386により反射された緑色光Gは、
さらにフィールドレンズ400Gを通って緑色光用の液
晶ライトバルブ410Gに達する。一方、第2ダイクロ
イックミラー386を透過した青色光Bは、色光分離光
学系380から出射されて、リレー光学系390に入射
する。
【0042】リレー光学系390に入射した青色光B
は、リレー光学系390に備えられた入射側レンズ39
2、反射ミラー394、リレーレンズ396、反射ミラ
ー398およびフィールドレンズ400Bを経由して青
色光用の液晶ライトバルブ410Bに達する。なお、青
色光Bにリレー光学系390が用いられているのは、青
色光Bの光路の長さが他の色光R,Gの光路の長さより
も長いためであり、光の拡散等による光の利用効率の低
下を防止するためである。すなわち、入射側レンズ39
2に入射した部分光線束をそのまま、フィールドレンズ
400Bに伝えるためである。
【0043】上記のように色光分離光学系380により
分離され、3つの液晶ライトバルブ410R,410
G,410Bに入射した各色光は、与えられた画像情報
(画像信号)に従って変調されて各色光の画像を生成す
る。
【0044】まず、赤色光用の液晶ライトバルブ410
Rについて説明すると、この液晶ライトバルブ410R
は、液晶パネル411Rと、入射側偏光板412Rと、
出射側偏光板413Rと、λ/2位相差板414Rとを
備えている。そして、入射側偏光板412Rおよび出射
側偏光板413Rは、それぞれ図示しないガラス基板に
貼り付けられている。また、入射側偏光板412Rと出
射側偏光板413Rとは偏光軸が互いに直交するように
配置されている。従って、入射側偏光板412Rはs偏
光光を透過するs偏光透過用偏光板であり、出射側偏光
板413Rはp偏光光を透過するp偏光透過用偏光板で
ある。
【0045】液晶ライトバルブ410Rに入射するs偏
光の赤色光Rは、ガラス基板(図示せず)とこれに貼り
付けられた入射側偏光板412Rとをほぼそのまま透過
して、液晶パネル411Rに入射する。液晶パネル41
1Rは、入射したs偏光光の一部をp偏光光に変換し、
光出射面側に配置された出射側偏光板413Rによりガ
ラス基板(図示せず)を介して、p偏光光のみが透過す
る。このように出射側偏光板413Rおよびガラス基板
を透過したp偏光光は、λ/2位相差板414Rに入射
し、このλ/2位相差板414Rにおいてs偏光光に変
換されてクロスダイクロイックプリズム420へ出射さ
れる。
【0046】緑色光用の液晶ライトバルブ410Gは、
液晶パネル411Gと、入射側偏光板412Gと、出射
側偏光板413Gとを備えている。入射側偏光板412
Gおよび出射側偏光板413Gは、それぞれ図示しない
ガラス基板に貼り付けられている。また、入射側偏光板
412Gと出射側偏光板413Gとは偏光軸が互いに直
交するように配置されている。
【0047】この液晶ライトバルブ410Gに入射する
s偏光の緑色光Gは、ガラス基板(図示せず)と入射側
偏光板412Gとをほぼそのまま透過し、液晶パネル4
11Gに入射する。液晶パネル411Gは、入射したs
偏光光の一部をp偏光光に変換し、光出射面側に配置さ
れた出射側偏光板413Gによりガラス基板(図示せ
ず)を介して、p偏光光のみが透過する。このp偏光光
はそのままダイクロイックプリズム420へ出射され
る。
【0048】青色光用の液晶ライトバルブ410Bは、
上記赤色光用の液晶ライトバルブ410Rと同様の構成
であり、液晶パネル411Bと、入射側偏光板412B
と、出射側偏光板413Bと、λ/2位相差板414B
とを備えている。液晶ライトバルブ410Bの作用は赤
色光の場合と同様であるので説明は省略する。
【0049】クロスダイクロイックプリズム420は、
液晶ライトバルブ410R,410G,410Bを透過
して変調された3色の色光(変調光線束)を合成してカ
ラー画像をあらわす合成光を生成する。クロスダイクロ
イックプリズム420には、赤色反射膜421と青色反
射膜422が、4つの直角プリズムの界面に略X字状に
形成されている。赤色反射膜421は赤色光を選択して
反射する誘電体多層膜によって形成されており、青色反
射膜422は青色光を選択して反射する誘電体多層膜に
よって形成されている。これらの赤色反射膜421と青
色反射膜422によって3色の色光が合成されて、カラ
ー画像をあらわす合成光が生成される。
【0050】なお、クロスダイクロイックプリズム42
0に形成された2つの反射膜421,422の反射特性
は、s偏光光の方がp偏光光よりも優れており、逆に、
透過特性は、p偏光光の方がs偏光光よりも優れている
ため、2つの反射膜421,422で反射すべき光をs
偏光光とし、2つの反射膜421,422を透過すべき
光をp偏光光としている。これは、クロスダイクロイッ
クプリズム420での光の利用効率を高めるためであ
る。そのため、少なくとも赤色光、青色光に1枚のλ/
2位相差板を入れる。その場所は、液晶ライトバルブの
前後(入射側あるいは出射側)どちらでもよい。さら
に、偏光板と貼り付けて用いてもよい。
【0051】クロスダイクロイックプリズム420で生
成された合成光は、投写レンズ40の方向に出射され
る。投写レンズ40は、クロスダイクロイックプリズム
420から出射された合成光を拡大投写して、スクリー
ン(図示せず)上にカラー画像を表示する。
【0052】B.液晶パネルの構成 次に、液晶パネル411R,411G,411Bの構成
の一例について、図6から図10を参照して説明する。
【0053】図6は、液晶パネル411を構成するベー
ス基板510を、その上に形成された各構成要素と共
に、対向基板520の側から見た平面図であり、図7
は、図6のH−H’断面図である。
【0054】図7に示されたように、液晶パネル411
は、光射出側の基板となるベース基板510と、光入射
側の基板となる対向基板520と、を備えている。ベー
ス基板510と対向基板520とはシール材552によ
って固着されている。ベース基板510と対向基板52
0とシール材552とによって囲われた空間には、液晶
550が密封されている。ベース基板510は、例えば
石英基板やガラス基板やシリコン基板からなり、対向基
板520は、例えばガラス基板や石英基板からなる。液
晶550は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶
を混合した液晶からなる。液晶550は、後に詳しく説
明する画素電極59aからの電界が印加されていない状
態で、配向膜516及び522により、所定の配向状態
をとる。シール材552は、例えば光硬化性樹脂や熱硬
化性樹脂からなる接着剤である。シール材552には、
両基板間の距離を所定値とするためのグラスファイバー
或いはガラスビーズ等のギャップ材が混入されている。
【0055】図6に示されたように、ベース基板510
の上には、シール材552がその縁に沿って設けられて
おり、その内側に並行して、画像表示領域の周辺を規定
する額縁としての第3遮光膜553が設けられている。
第3遮光膜553の材料としては、不透明な高融点金属
であるTi、Cr、W、Ta、Mo及びPb等を少なく
とも一つ含む、金属単体、合金、金属シリサイド等が挙
げられる。
【0056】シール材552の外側の領域には、データ
線56aに画像信号を所定タイミングで供給することに
よりデータ線56aを駆動するデータ線駆動回路501
及び外部回路接続端子502が、ベース基板510の一
辺に沿って設けられている。また、走査線53aに走査
信号を所定タイミングで供給することにより走査線53
aを駆動する走査線駆動回路504が、この一辺に隣接
する2辺に沿って設けられている。走査線53aに供給
される走査信号の遅延が問題にならないのならば、走査
線駆動回路504は片側だけでも良いことは言うまでも
ない。また、データ線駆動回路501を画像表示領域の
辺に沿って両側に配列してもよい。更に、ベース基板5
10の残る一辺には、画像表示領域の両側に設けられた
走査線駆動回路504間をつなぐための複数の配線50
5が設けられている。また、対向基板520のコーナー
部の少なくとも1箇所には、ベース基板510と対向基
板520との間で電気的な導通をとるための上下導通材
506が設けられている。尚、ベース基板510上に
は、これらのデータ線駆動回路501、走査線駆動回路
504等に加えて、複数のデータ線56aに画像信号を
所定のタイミングで印加するサンプリング回路、複数の
データ線56aに所定電圧レベルのプリチャージ信号を
画像信号に先行して各々供給するプリチャージ回路、製
造途中や出荷時の当該電気光学装置の品質、欠陥等を検
査するための検査回路等を形成してもよい。
【0057】データ線駆動回路501及び走査線駆動回
路504をベース基板510の上に設ける代わりに、例
えばTAB(Tape Automated Bonding)基板上に実装さ
れた駆動用LSIに、ベース基板510の周辺部に設け
られた異方性導電フィルムを介して電気的及び機械的に
接続するようにしてもよい。
【0058】第3遮光膜553よりも内側の領域は、画
像表示領域となる。図8は、液晶パネル411の画像表
示領域を構成する各種素子、配線等の等価回路である。
液晶パネル411の画像表示領域には、マトリクス状
に、複数の画素電極59aが設けられている。また、画
素電極59a毎に、画素電極59aを制御するための駆
動素子であるTFT530が形成されており、画像信号
S1、S2、…、Snが供給されるデータ線56aが、
当該TFT530のソースに電気的に接続されている。
また、TFT530のゲートに走査線53aが電気的に
接続されており、所定のタイミングで、走査線53aに
走査信号G1、G2、…、Gmを印加するように構成さ
れている。画素電極59aは、TFT530のドレイン
に電気的に接続されている。TFT530のスイッチを
一定期間だけ閉じることにより、データ線56aから供
給される画像信号S1、S2、…、Snを所定のタイミ
ングで書き込むことができる。画素電極59aを介して
液晶550(図7,図10)に書き込まれた所定レベル
の画像信号S1、S2、…、Snは、対向基板520
(図7,図10)に形成された対向電極521(図7,
図10)との間で一定期間保持される。液晶550(図
7,図10)は、印加される電圧レベルにより分子集合
の配向や秩序が変化することにより、光を変調し、階調
表示を可能にする。ここで、保持された画像信号がリー
クするのを防ぐために、画素電極59aと対向電極52
1(図7,図10)との間に形成される液晶容量と並列
に、蓄積容量570を設けてある。
【0059】図9は、データ線、走査線、画素電極等が
形成されたベース基板510の相隣接する複数の画素群
の平面図であり、図10は、図9のI−I’断面図であ
る。尚、図10においては、各層や各部材を図面上で認
識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮
尺を異ならしめてある。
【0060】図9、図10に示されたように、ベース基
板510上には、マトリクス状に複数の透明な画素電極
59a(点線部59aにより輪郭が示されている)が設
けられている。画素電極59aは、例えば、ITO(In
dium Tin Oxide)膜などの透明導電性薄膜からなる。
【0061】また、画素電極59aの縦横の境界に沿っ
て、データ線56a、走査線53a、及び容量線53b
が設けられている。本実施形態では、データ線56a
は、Al等の低抵抗な金属膜や金属シリサイド等の合金
膜などの遮光性且つ導電性の薄膜から構成されている。
【0062】走査線53a及び容量線53b上に設けら
れた第1層間絶縁膜581には、高濃度ソース領域51
dへ通じるコンタクトホール55及び高濃度ドレイン領
域51eへ通じる第1コンタクトホール58aが各々形
成されている。なお、容量線53bは、第1コンタクト
ホール58aが形成されたデータ線56aと交差する領
域において、第1コンタクトホール58aを避けるよう
に括れて形成されている。すなわち、容量線53bは、
第1コンタクトホール58aと電気的な接触を持たない
ように構成されている。
【0063】第1層間絶縁膜581上には、第1コンタ
クトホール58aを介して高濃度ドレイン領域51eに
接続された第1バリア層580と、コンタクトホール5
18aを介して容量線53bと接続された第2バリア層
585とが形成されている。第2バリア層585は、第
1バリア層580と同一の膜であり、容量線53bにお
けるデータ線56aに沿って伸びる部分に重ねられてい
る。第2バリア層585と容量線53bとは、コンタク
トホール518aを介して電気的に接続されている。第
1バリア層580や第2バリア層585の具体的な材料
としては、不透明な高融点金属であるTi、Cr、W、
Ta、Mo及びPb等を少なくとも一つ含む、金属単
体、合金、金属シリサイド等が挙げられる。これらから
構成すれば、高融点金属と画素電極59aを構成するI
TO膜とが接触しても高融点金属が腐食することはない
ため、第1バリア層580及び画素電極59a間で良好
に電気的な接続がとれる。但し、第1バリア層580や
第2バリア層585は、導電性のポリシリコン膜から構
成してもよい。この場合でも、蓄積容量570を増加さ
せる機能及び中継機能は十分に発揮し得る。この場合に
は特に、第1層間絶縁膜581との間で熱等によるスト
レスが発生しにくくなるので、クラック防止に役立つ。
【0064】第1バリア層580並びに第2バリア層5
85の上には、第2層間絶縁膜54が形成されており、
その上に、データ線56aが形成されている。
【0065】更に、データ線56a及び第2層間絶縁膜
54上には、第1バリア層580への第2コンタクトホ
ール58bが形成された第3層間絶縁膜57が形成され
ている。画素電極59aは、このように構成された第3
層間絶縁膜57の上面に設けられている。
【0066】ベース基板510上の最も液晶側の位置に
は、ラビング処理等の所定の配向処理が施された配向膜
516が設けられている。配向膜516は、例えば、ポ
リイミド薄膜などの有機薄膜からなる。
【0067】ベース基板510上において、走査線53
aとデータ線56aとが交差する箇所には、夫々、チャ
ネル領域51a’に走査線53aが対向配置されたTF
T530が形成される。TFT530は、ゲート電極を
構成する走査線53aと、当該走査線53aからの電界
によりチャネルが形成される半導体層51aのチャネル
領域51a’と、走査線53aと半導体層51aとを絶
縁する絶縁薄膜52と、ソース電極を構成するデータ線
56aと、半導体層51aの低濃度ソース領域51b及
び低濃度ドレイン領域51cと、半導体層51aの高濃
度ソース領域51d並びに高濃度ドレイン領域51e
と、を備えている。半導体層51aは、ポリシリコン膜
等によって形成される。チャネル領域51a’は、走査
線53aとデータ線56aの交差領域に対応して配置さ
れている。また半導体層51aからなる高濃度ソース領
域51d、低濃度ソース領域51b、チャネル領域51
a’、低濃度ドレイン領域51c及び高濃度ドレイン領
域51eは、データ線56aに重なるように、しかもデ
ータ線に覆われるように配置されている。走査線53a
を挟んで一方側に伸びるデータ線56aの下方に、高濃
度ソース領域51dと低濃度ソース領域51bが配置さ
れ、他方側に伸びるデータ線56aの下方に、低濃度ド
レイン領域51cと高濃度ドレイン領域51eが配置さ
れている。高濃度ドレイン領域51eは、第1コンタク
トホール58aと第1バリア層580とを介して画素電
極59aに接続されている。一方、高濃度ソース領域5
1dは、第3コンタクトホール55を介してデータ線5
6aに電気的に接続されている。本実施形態の液晶パネ
ル411R、411G、411Bでは、非表示領域とな
るデータ線56aに重なるように、第1コンタクトホー
ル58aと第3コンタクトホール55を形成すること
で、コンタクトホールによる開口率の低下を防ぐととも
に、コンタクトホールの存在により各画素の開口領域に
不規則な凹凸が発生するのを防いでいる。さらに、半導
体層51aの一部をデータ線56aに重なるように配置
することにより、データ線56aを、対向基板520側
からの入射光がTFT530へ侵入するのを防ぐ遮光マ
スクの一部として用いている。
【0068】また、図9及び図10に示すように、ベー
ス基板510上には、蓄積容量570が形成される。蓄
積容量570は、第2容量電極としての容量線53b
と、絶縁薄膜52と、絶縁薄膜52を介して容量線53
bと対向配置された第1容量電極51fとによって構成
される。さらに、蓄積容量570は、容量線53bと、
第1層間絶縁膜581と、第1層間絶縁膜を介して容量
線53bと対向配置された第1バリア層580の一部と
によっても構成される。このように、容量線53bの下
側のみならず、容量線53bの上側にも蓄積容量570
を構築しているので、限られた領域を有効利用して、大
きな蓄積容量570を形成することができる。なお、容
量線53bは、走査線53aと同一の導電性ポリシリコ
ン膜によって構成されている。容量電極51fは、半導
体層51aのドレイン領域51eから延設されている。
容量線53bには、液晶パネルを駆動するための周辺回
路(例えば、走査線駆動回路、データ線駆動回路等)に
供給される負電源、正電源等の定電位源、接地電源、対
向電極に供給される定電位源のうち、最適な定電位が供
給されているため、第1容量電極51f及びバリア層5
80との間で安定した蓄積容量570を構築することが
できる。
【0069】更に図10に示すように、TFT530に
各々対向する位置において、ベース基板510とTFT
530との間には、第1遮光膜511が設けられてい
る。より具体的に説明すると、図9に示されたように、
第1遮光膜511は、夫々、走査線53aに沿って縞状
に形成されていると共に、データ線56aと交差する箇
所が図中下方に幅広に形成されており、この幅広の部分
により各TFTのチャネル領域51a’及びその隣接領
域をベース基板側から見て覆う位置に設けられている。
この第1遮光膜511は、ベース基板510側からの反
射光等が光に対して励起しやすいTFT530のチャネ
ル領域51a’や低濃度ソース領域51b、低濃度ドレ
イン領域51cに入射するのを防いで、光に起因したリ
ーク電流の発生によりTFT530の特性が変化するの
を防止するために設けられている。第1遮光膜511
は、好ましくは不透明な高融点金属であるTi(チタ
ン)、Cr(クロム)、W(タングステン)、Ta(タ
ンタル)、Mo(モリブデン)及びPb(鉛)等を少な
くとも一つ含む、金属単体、合金、金属シリサイド等か
ら構成される。第1遮光膜511は、液晶パネルを駆動
するための周辺回路(例えば、走査線駆動回路、データ
線駆動回路等)に供給される負電源や、正電源等の定電
位源、接地電源、対向電極に供給される定電位源のう
ち、最適な定電位と電気的に接続するようにすると良
い。このように、第1遮光膜511を定電位に固定する
ことによりTFT530の誤動作を防ぐことができる。
【0070】更に、第1遮光膜511と複数のTFT5
30との間には、下地絶縁膜512が設けられている。
下地絶縁膜512は、TFT530を構成する半導体層
51aを第1遮光膜511から電気的に絶縁するために
設けられるものである。更に、下地絶縁膜512は、ベ
ース基板510の全面に形成されることにより、TFT
530のための下地膜としての機能をも有する。即ち、
ベース基板510表面の研磨時における荒れや、洗浄後
に残る汚れ等でTFT530の特性の劣化を防止する機
能を有する。下地絶縁膜512は、例えば、NSG(ノ
ンドープトシリケートガラス)、PSG(リンシリケー
トガラス)、BSG(ボロンシリケートガラス)、BP
SG(ボロンリンシリケートガラス)などの高絶縁性ガ
ラス又は、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜等からな
る。下地絶縁膜512により、第1遮光膜511がTF
T530等を汚染する事態を未然に防ぐこともできる。
【0071】なお、対向基板520上には、1画素に1
個あるいは複数画素に1個の割合で対応するように、マ
イクロレンズを形成してもよい。このようにすれば、入
射光を開口部の内部に集光することができるので、投写
画像を明るくすることができる。
【0072】他方、対向基板520には、その全面に渡
って対向電極521が設けられており、その下側には、
ラビング処理等の所定の配向処理が施された配向膜52
2が設けられている。対向電極521は、例えば、IT
O膜などの透明導電性薄膜からなる。また配向膜522
は、ポリイミド薄膜などの有機薄膜からなる。
【0073】更に、対向基板520には、図10に示す
ように、遮光マスクの一部を構成する第2遮光膜523
が設けられている。この第2遮光膜523と先に説明し
たデータ線56aにより、対向基板520側からの入射
光がTFT530へ侵入するのを防いでいる。更に、第
2遮光膜523は、コントラスト比を向上させる機能を
も有している。第2遮光膜523の材料としては、第1
遮光膜511と同様に、不透明な高融点金属であるT
i、Cr、W、Ta、Mo及びPb等を少なくとも一つ
含む、金属単体、合金、金属シリサイド等が挙げられ
る。
【0074】なお、TFT530は、好ましくは上述の
ようにLDD構造を持つが、低濃度ソース領域51b及
び低濃度ドレイン領域51cに不純物の打ち込みを行わ
ないオフセット構造を持ってよいし、走査線53aの一
部であるゲート電極をマスクとして高濃度で不純物を打
ち込み、自己整合的に高濃度ソース領域51d及び高濃
度ドレイン領域51eを形成するセルフアライン型のT
FTであってもよい。
【0075】また本実施形態では、TFT530の走査
線53aの一部からなるゲート電極を高濃度ソース領域
51d及び高濃度ドレイン領域51e間に1個のみ配置
したシングルゲート構造としたが、これらの間に2個以
上のゲート電極を配置してもよい。このようにデュアル
ゲート或いはトリプルゲート以上でTFTを構成すれ
ば、チャネルとソース及びドレイン領域接合部のリーク
電流を防止でき、オフ時の電流を低減することができ
る。これらのゲート電極の少なくとも1個をLDD構造
或いはオフセット構造にすれば、更にオフ電流を低減で
き、安定したスイッチング素子を得ることができる。
【0076】また、本実施形態では、正スタガ型又はコ
プラナー型のポリシリコンTFTの例を説明したが、逆
スタガ型のTFTやアモルファスシリコンTFT等の他
の形式のTFTとしても良い。
【0077】C.液晶パネルへの入射光の角度規制 本実施形態のプロジェクタでは、図11(A)、図11
(B)に示すように、液晶パネル411の入射側に設け
られたコンデンサレンズであるフィールドレンズ400
の光軸FCLを、これらに入射する光の中心軸FCL0
に対して平行にシフトさせることによって、液晶パネル
411に入射する光の角度を規制している。フィールド
レンズ400の光軸FCLは、これに入射する光の中心
軸FCL0とフィールドレンズ400の光軸FCLとが
一致している場合にTFT530に当たる光の入射角度
を小さくするように、シフトしている。
【0078】この様子を、図12(A)と図12(B)
を用いて説明する。図12(A)、図12(B)は、そ
れぞれ、先に説明した図22と図23とに対応する断面
図である。なお、遮光マスク6は、対向基板520に形
成された第2遮光膜523(図10)と、ベース基板5
10上に形成されたデータ線56a(図10)のうち遮
光マスクとして機能する部分とを合わせたものである
が、説明を簡単にするために、対向基板520上に図示
されている。
【0079】ここで、フィールドレンズ400に入射す
る光の中心軸FCL0とフィールドレンズ400の光軸
FCLとが一致している場合が、図22、図23である
とする。本実施形態のようにフィールドレンズ400の
光軸FCLをシフトさせた場合、図22、図23の光A
1〜A4,B1〜B4,C1〜C4は、それぞれ、図1
2(A)、図12(B)の光A1’〜A4’,B1’〜
B4’、C1’〜C4’のような角度で入射するように
なる。これらの図の比較からわかるように、本実施形態
のプロジェクタでは、フィールドレンズ400の光軸F
CLをシフトさせることにより、これに入射する光の中
心軸FCL0とフィールドレンズ400の光軸FCLと
が一致している場合にTFT530に当たる光A1,C
4(図12(A)、図23(B)中に点線で示す)の入
射角度α1,α2を小さくしている。その結果、光A
1,C4は、光A1’,C4’のように角度β1,β2
(β1<α1,β2<α2)で入射する状態となり、T
FT530に当たらないようになる。
【0080】このように、本実施形態のプロジェクタで
は、フィールドレンズ400に入射する光の中心軸FC
L0とフィールドレンズ400の光軸FCLとが一致し
ている場合にTFT530に当たる光A1,C4の入射
角度α1,α2を小さくするように、中心軸FCL0と
光軸FCLとを平行にシフトさせることによって、液晶
パネル411に入射する光の角度を規制している。この
ような構成により、斜めの光がTFT530に当たるこ
とがないので、TFT530の損傷、破壊、誤動作を引
き起こすことはない。
【0081】さらに、図11(B)に示したように、投
写レンズ40の光軸OCLを、フィールドレンズ400
の光軸FCLと同じ方向に、入射光の中心軸FCL0に
対して平行にシフトさせれば、光の利用効率を高めるこ
とが可能である。なぜならば、フィールドレンズ400
の光軸FCLをシフトさせたことにより、液晶パネル4
11によって変調されて投写レンズ40に向かう光が光
軸FCLの方に傾くので、投写レンズ40の光軸OCL
をフィールドレンズ400の光軸FCLと同じ方向にシ
フトさせておけば、変調された光を効率よく投写レンズ
40に取り込むことが可能となるからである。
【0082】D.第2の実施の形態 図13、図14(A)、図14(B)を用いて、本発明
の第2の実施の形態を説明する。この実施形態は、液晶
パネル411の入射側にマイクロレンズアレイ526を
設けた場合の例である。先に説明した第1の実施形態の
場合と異なり、フィールドレンズ400の光軸をシフト
させる代わりに、図13に示したように、マイクロレン
ズアレイに入射する光の中心軸FCL0と、マイクロレ
ンズアレイの中心MCLとをシフトさせることによっ
て、液晶パネル411に入射する光の角度を規制するよ
うにしている。その他の点については、第1の実施形態
と同様である。第1の実施形態と同様の部分についての
詳細な説明と図示は省略する。なお、図13、図14
(A)、図14(B)において、先に説明した第1の実
施形態と共通する部分については、同じ符号を付してあ
る。
【0083】図13は、第2の実施形態における入射光
の中心軸FCLOとマイクロレンズアレイ526の中心
MCLと投写レンズ40の光軸OCLとの関係を表す
図、図14(A)、図14(B)は、先に説明した図1
2(A)と図22に各々対応する断面図であり、図14
(A)が本実施形態(マイクロレンズアレイ526に入
射する光の中心軸FCL0とマイクロレンズ526の中
心MCLとがシフトしている場合)、図14(B)が比
較例(マイクロレンズアレイ526に入射する光の中心
軸FCL0とマイクロレンズ526の中心MCLとが一
致している場合)を表している。
【0084】本実施形態では、図13、図14(A)に
示されるように、液晶パネル411の入射側に、複数の
マイクロレンズ527を備えたマイクロレンズアレイ5
26が設けられている。マイクロレンズアレイ526
は、図14(A)に示されるように、対向基板520の
入射側に、接着剤525によって接着されている。すな
わち、マイクロレンズアレイ526は、対向基板520
上に設けられている。
【0085】さらに、図13に示されるように、マイク
ロレンズアレイ526の中心MCLは、入射光の中心軸
FCL0に対してシフトしている。この様子を、図14
(A)、図14(B)を用いて具体的に説明する。図1
4(B)に示すように、マイクロレンズアレイ526に
入射する光の中心軸FCL0とマイクロレンズアレイ5
26の中心MCLとが一致している場合に、TFT53
0に当たる光Aが存在するとする。本実施形態では、こ
の光Aの入射角度αを小さくするように、マイクロレン
ズアレイ526の中心MCLをシフトさせている。これ
により、光Aは、図14(A)に示す光A’のように角
度β(β<α)で入射するようになる。
【0086】このように、本実施形態のプロジェクタで
は、マイクロレンズアレイ526に入射する光の中心軸
FCL0とマイクロレンズアレイ526の中心MCLと
が一致している場合にTFT350に当たる光A1,A
2の入射角度α1,α2を小さくするように、中心軸F
CL0とマイクロレンズアレイ526の中心MCLとを
シフトさせることによって、液晶パネル411に入射す
る光の角度を規制している。このような構成によって
も、先に説明した第1の実施の形態と同様の効果を得る
ことができる。
【0087】さらに、図13に示したように、投写レン
ズ40の光軸OCLを、マイクロレンズアレイ526の
中心MCLと同じ方向に、入射光の中心軸FCL0に対
して平行にシフトさせれば、光の利用効率を高めること
が可能である。なぜならば、マイクロレンズアレイ52
6の中心MCLをシフトさせたことにより、液晶パネル
411によって変調されて投写レンズ40に向かう光が
中心MCLの方に傾くので、投写レンズ40の光軸OC
Lをマイクロレンズアレイ526の中心MCLと同じ方
向にシフトさせておけば、変調された光を効率よく投写
レンズ40に取り込むことが可能となるからである。た
だし、投写レンズ40の光軸OCLをこのようにシフト
させることは、必須ではない。
【0088】E.第3の実施の形態 図15、図16(A)、図16(B)を用いて、本発明
の第3の実施の形態を説明する。この実施形態は、先に
説明した第1の実施形態の場合と異なり、フィールドレ
ンズ400の光軸をシフトさせる代わりに、光源200
の光軸OAを液晶パネル411の対向基板520の法線
HCL0に対して傾けることによって、液晶パネル41
1に入射する光の角度を規制するようにした例である。
その他の点については、第1の実施形態と同様である。
第1の実施形態と同様の部分についての詳細な説明と図
示は省略する。なお、図15、図16(A)、図16
(B)において、先に説明した第1の実施形態と共通す
る部分については、同じ符号を付してある。
【0089】図15は、第3の実施形態における対向基
板520の法線HCLOと光源200の光軸OAと投写
レンズ40の光軸OCLとの関係を表す図、図16
(A)、図16(B)は、先に説明した図22、図23
に対応する断面図である。
【0090】ここで、光源200の光軸OAが対向基板
520の法線HCL0に対して平行である場合が、図2
2、図23であるとする。本実施形態のように光源の光
軸OAを法線HCL0に対して傾けた場合、図22、図
23の光A1〜A4,B1〜B4,C1〜C4は、それ
ぞれ、図16(A)、図16(B)の光A1’〜A
4’,B1’〜B4’、C1’〜C4’のような角度で
入射するようになる。これらの図の比較からわかるよう
に、本実施形態のプロジェクタでは、光源200の光軸
OAを法線HCL0に対して傾けることにより、光源2
00の光軸OAが対向基板520の法線HCL0に対し
て平行である場合にTFT530に当たる光A1,C4
(図16(A)、図16(B)中に点線で示す)の入射
角度α1,α2を小さくしている。その結果、光A1,
C4は、光A1’,C4’のように角度β1,β2(β
1<α1,β2<α2)で入射する状態となり、TFT
530に当たらないようになる。
【0091】このように、本実施形態のプロジェクタで
は、光源200の光軸OAが対向基板520の法線HC
L0と平行な場合にTFT350に当たる光A1,A2
の入射角度α1,α2を小さくするように、光源200
の光軸OAを対向基板520の法線HCL0に対して傾
けることによって、液晶パネル411に入射する光の角
度を規制している。このような構成によっても、先に説
明した第1の実施の形態と同様の効果を得ることができ
る。
【0092】さらに、図15に示したように、投写レン
ズ40の光軸OCLを、光源200の光軸OAと同じ方
向に、対向基板520の法線HCL0に対して平行にシ
フトさせれば、光の利用効率を高めることが可能であ
る。なぜならば、光源200の光軸OAを傾けたことに
より、液晶パネル411によって変調されて投写レンズ
40に向かう光が傾くので、投写レンズ40の光軸OC
Lを光源200の光軸OAと同じ方向にシフトさせてお
けば、変調された光を効率よく投写レンズ40に取り込
むことが可能となるからである。また、このとき、対向
基板520の法線HCL0に対して平行にシフトさせて
おけば、投写画像が台形に歪む現象も防止できる。ただ
し、投写レンズ40の光軸OCLをこのようにシフトさ
せることは、必須ではない。
【0093】さらに、本実施形態において、液晶パネル
411の入射側に、複数のマイクロレンズ527を備え
たマイクロレンズアレイ526を設けても良い。図17
(A)、図17(B)は、液晶パネル411の入射側に
マイクロレンズアレイ526を設けた例を示す断面図で
あり、先に説明した図12(A)に対応する。マイクロ
レンズアレイ526は、図17(A)、図17(B)に
示されるように、対向基板520の入射側に、接着剤5
25によって接着されている。すなわち、マイクロレン
ズアレイ526は、対向基板520上に設けられてい
る。このように、液晶パネル411の入射側にマイクロ
レンズアレイ526を設けた場合であっても、上記効果
を得ることが可能である。ただし、このとき、図17
(A)に示したように、マイクロレンズ527の光軸M
CL0と画素PXの中心PCLとが一致していると、入
射光の一部(図中網掛け部分)が遮光マスク6によって
遮られてしまう可能性がある。そして、このように、入
射光の一部が遮られてしまうと、投写画像が暗くなって
しまう恐れがある。そこで、図17(B)に示したよう
に、マイクロレンズ527の光軸MCL0を、画素PX
の中心PCLに対して光源200側に平行シフトさせて
やれば、入射光が遮られるのを防ぐことができ、投写画
像の明るさの低下を低減することが可能となる。
【0094】F.第4の実施の形態 以上の各実施形態において、液晶パネル411に入射す
る光あるいは液晶パネル411から射出される光の中心
軸FCL0(第3の実施の形態の場合は光源200の光
軸OAがこれに該当する)は、液晶ライトバルブ410
の明視方向と一致していることが好ましい。これによっ
て、以上の各実施形態によって得られる効果に加え、液
晶ライトバルブ410のコントラストが向上し、その結
果、投写画像のコントラストを向上させることができる
という効果を得られるからである。ここで、液晶ライト
バルブ410の明視方向と中心軸FCL0とを一致させ
ることが難しい場合には、視角補償フィルム(図示せ
ず)の使用が有効である。視角補償フィルムは、液晶パ
ネル411の光入射側、光射出側のどちらに配置しても
良い。ただし、液晶パネル411と光入射側の偏光板4
12との間、あるいは、液晶パネル411と光出射側の
偏光板413との間に配置する必要がある。視角補償フ
ィルムは偏光板412または413に貼り付けてもよい
し、対向基板520またはベース基板510に貼り付け
てもよい。
【0095】視角補償フィルムの使用による効果を示す
ために、図18〜図20にシミュレーション結果による
液晶ライトバルブ410の視角特性を示す。これらの各
図は、TN(ツイステッド・ネマチック)モードでノー
マリーホワイトモード(電圧印可時に光をシャット、電
圧非印加時に光を透過)の電圧印可時の視角特性を示
す。また、各々の上図は、液晶ライトバルブ410にお
ける黒レベルのときの明るさの分布を示し、下図は、上
下および左右方向の角度と明るさの関係を示している。
【0096】まず、図18は、視角補償フィルムを使用
しない場合、すなわち比較例における視角特性をあらわ
すものであり、上下および左右方向とも入射光の角度の
変化によって明るさが極端に変化する。また、明るさの
分布にアンバランスがみられる。
【0097】これに対して、図19は、視角補償フィル
ムを液晶パネル411の光入射側に配置した場合におけ
る視角特性である。視角補償フィルムにより、液晶パネ
ル411に入射する光の中心軸FCL0(第3の実施の
形態の場合は光源200の光軸OAがこれに該当する)
を液晶ライトバルブ410の明視方向と一致させている
ため、左右方向の明るさが入射光の角度に依存しない状
態となっている。また、明るさの分布も左右方向は均一
となっている。
【0098】また、図20は、視角補償フィルムを液晶
パネル411の光射出側に配置した場合における視角特
性である。この場合、図19とは逆に、上下方向の明る
さが入射光の角度に依存しない状態となっており、明る
さの分布も上下方向は均一となっている。
【0099】G.第5の実施の形態 また、以上の各実施形態において、液晶パネル411の
光入射側と光射出側に、視角補償フィルムを配置しても
良い。これによって、以上の各実施形態によって得られ
る効果に加え、液晶ライトバルブ410の視角依存性が
低くなり、その結果、投写画像の明るさや色調の均一性
を高めることができるからである。このとき、視角補償
フィルムは、液晶パネル411と光入射側の偏光板41
2との間、及び、液晶パネル411と光出射側の偏光板
413との間に配置する必要がある。視角補償フィルム
は偏光板412、413に貼り付けてもよいし、対向基
板520やベース基板510に貼り付けてもよい。
【0100】図21は、視角補償フィルムを液晶パネル
411の光入射側と光射出側に1つずつ配置した場合に
おける視角特性である。この場合は、図18に示した比
較例の場合と比べて、上下方向および左右方向とも明る
さが入射光の角度にほとんど依存しない状態となる。ま
た、明るさの分布もバランスがよく、全体的に均一とな
る。
【0101】H.その他の実施の形態 なお、この発明は、上記の実施例や実施形態に限られる
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々
の態様において実施することが可能であり、例えば次の
ような変形も可能である。
【0102】例えば、上記実施形態では、駆動素子とし
てTFT530を用いていたが、TFT530の代わり
に、薄膜ダイオードからなる駆動素子を用いても構わな
い。
【0103】また、上記実施形態では、液晶装置を3つ
用いたプロジェクタの例について説明したが、本発明
は、液晶装置を1つ、2つ、あるいは4つ以上用いたプ
ロジェクタにも適用することができる。
【0104】さらに、上記実施形態では、透過型の液晶
パネルを用いたプロジェクタに本発明を適用した場合に
ついて説明したが、本発明は、反射型の液晶パネルを用
いたプロジェクタにも適用することができる。ここで、
「透過型」とは、液晶パネルが光を透過するタイプであ
ることを意味しており、「反射型」とは、液晶パネルが
光を反射するタイプであることを意味している。
【0105】なお、反射型の液晶パネルを採用したプロ
ジェクタでは、ダイクロイックプリズムが、光を赤、
緑、青の3色の光に分離する色光分離手段として利用さ
れるとともに、変調された3色の光を合成して同一の方
向に出射する色光合成手段としても利用されることがあ
る。
【0106】また、プロジェクタとしては、投写像を観
察する方向から投写を行う前面プロジェクタと、投写像
を観察する方向とは反対側から投写を行う背面プロジェ
クタとがあるが、本発明は、そのいずれにも適用可能で
ある。
【0107】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、液晶装置
に入射する光が駆動素子に当たらないような角度に規制
されているので、駆動素子の損傷、破壊、誤作動を防止
することができる。したがって、投写画像の品質向上を
図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のプロジェクタの光学系を示す平面図で
ある。
【図2】図1の光学系を構成する照明光学系の説明図で
ある。
【図3】照明光学系を構成する第1レンズアレイの正面
図(A)および側面図(B)である。
【図4】偏光変換素子アレイの外観を示す斜視図であ
る。
【図5】偏光変換素子アレイの作用を示す模式図であ
る。
【図6】本発明の実施形態における液晶パネルのベース
基板を対向基板側から見た平面図。
【図7】図6のH−H’断面図。
【図8】本発明の実施形態における液晶パネルの画像表
示領域を構成する各種素子、配線等の等価回路図。
【図9】本発明の実施形態における液晶パネルのベース
基板の画素群の平面図。
【図10】図9のI−I’断面図。
【図11】図11(A)、(B)は、本発明の第1の実
施形態を表す平面図。
【図12】図12(A)、(B)は、本発明の第1の実
施形態の効果を説明するための断面図。
【図13】図13は、本発明の第2の実施形態を表す平
面図。
【図14】図14(A)は、本発明の第2の実施形態の
効果を説明するための断面図。図14(B)は、比較例
を説明するための断面図。
【図15】図15は、本発明の第3の実施形態を表す平
面図。
【図16】図16(A)、(B)は、本発明の第2の実
施形態の効果を説明するための断面図。
【図17】図17(A)、(B)は、本発明の第2の実
施形態の効果を説明するための断面図。
【図18】視角補償フィルムを使用しない場合の液晶ラ
イトバルブの視角特性を示す図である。
【図19】視角補償フィルムを光入射側に配置した場合
の液晶ライトバルブの視角特性を示す図である。
【図20】視角補償フィルムを光射出側に配置した場合
の液晶ライトバルブの視角特性を示す図である。
【図21】視角補償フィルムを光入射側と光射出側に配
置した場合の液晶ライトバルブの視角特性を示す図であ
る。
【図22】従来の液晶装置を光入射面側からみた透視図
である。
【図23】図6のF−F’線における拡大断面図であ
る。
【図24】図6のG−G’線における拡大断面図であ
る。
【符号の説明】
1 ベース基板 2 対向基板 3 駆動素子 4 開口部 5 液晶 6 遮光マスク 20 光源装置 30 画像形成光学系 40 投写レンズ 100 プロジェクタ 200 光源 210 光源ランプ 212 凹面鏡 300 インテグレータ光学系 320 第1レンズアレイ 321 小レンズ 340 第2レンズアレイ 341 小レンズ 350 遮光板 351 遮光部 352 開口部 360,361,362 偏光変換素子アレイ 363 偏光ビームスプリッタアレイ 364 λ/2位相差板 365 透光性部材 366 偏光分離膜 367 反射膜 368 偏光変換素子 370 重畳レンズ 380 色光分離光学系 382,386 ダイクロイックミラー 384 反射ミラー 390 リレー光学系 392 入射側レンズ 394,398 反射ミラー 396 リレーレンズ 400,400R,400G,400B フィールドレ
ンズ 410,410R,410G,410B 液晶ライトバ
ルブ 411,411R,411G,411B 液晶パネル 412,412R,412G,412B 入射側偏光板 413,413R,413G,413B 出射側偏光板 420 クロスダイクロイックプリズム 51a 半導体層 51a’ チャネル領域 51b 低濃度ソース領域 51c 低濃度ドレイン領域 51d 高濃度ソース領域 51e 高濃度ドレイン領域 51f 第1容量電極 52 絶縁薄膜 53a 走査線 53b 容量線 54 第2層間絶縁膜 55 第3コンタクトホール 56a データ線 57 第3層間絶縁膜 58a 第1コンタクトホール 59a 画素電極 501 データ線駆動回路 502 外部回路接続端子 504 走査線駆動回路 505 配線 506 上下導通材 510 ベース基板 511 第1遮光膜 512 下地絶縁膜 516 配向膜 518a コンタクトホール 520 対向基板 521 対向電極 522 配向膜 523 第2遮光膜 525 接着剤 526 マイクロレンズアレイ 527 マイクロレンズ 530 薄膜トランジスタ(TFT) 550 液晶 552 シール材 553 第3遮光膜 570 蓄積容量 580 第1バリア層 581 第1層間絶縁膜 585 第2バリア層 FCL フィールドレンズ400の光軸 FCL0 入射光の光軸 OCL 投写レンズ40の光軸 MCL マイクロレンズアレイの中心 OA 光源200の光軸 HCL0 対向基板520の法線 MCL0 マイクロレンズ527の光軸 PX 画素 PCL 画素PXの中心 A,A1〜A4,B,B1〜B4,C,C1〜C4 光 A’,A1’〜A4’,B’,B1’〜B4’,C’,
C1’〜C4’ 光 α,α1,α2,β,β1,β2 入射角度 G1、G2、…、Gm 走査信号 S1、S2、…、Sn 画像信号
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H088 EA14 EA15 EA19 HA28 2H091 FA26Z FA29Z FA41Z FD12 GA11 LA03 2H092 PA07 PA10 RA05 5C058 AA06 AB06 BA30 EA02 EA11 EA26

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光源と、前記光源から射出された光を変
    調する液晶装置と、前記液晶装置によって変調された光
    を投写する投写レンズと、を備えたプロジェクタであっ
    て、 前記液晶装置は、 マトリクス状に配置された複数の画素電極と、前記画素
    電極毎に設けられると共に前記画素電極と電気的に接続
    される駆動素子と、が設けられたベース基板と、 前記駆動素子の少なくとも一部を覆う遮光マスクが設け
    られた対向基板と、 前記ベース基板と前記対向基板との間に設けられる液晶
    と、を備え、 前記液晶装置に入射する光が、前記駆動素子に当たらな
    いような角度に規制されてなることを特徴とするプロジ
    ェクタ。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載のプロジェクタにおい
    て、 さらに、前記液晶装置の光入射側にコンデンサレンズが
    設けられ、 前記コンデンサレンズに入射する光の中心軸と前記コン
    デンサレンズの光軸とが一致している場合に前記駆動素
    子に当たる光の入射角度を小さくするように、前記中心
    軸と前記コンデンサレンズの光軸とを平行にシフトさせ
    ることによって、前記液晶装置に入射する光の角度が規
    制されてなることを特徴とするプロジェクタ。
  3. 【請求項3】 請求項2に記載のプロジェクタにおい
    て、 前記投写レンズの光軸が、前記コンデンサレンズの光軸
    と同じ方向に、前記コンデンサレンズに入射する光の中
    心軸に対して平行にシフトしていることを特徴とするプ
    ロジェクタ。
  4. 【請求項4】 請求項1に記載のプロジェクタにおい
    て、 さらに、前記ベース基板の光入射側に前記画素電極と対
    応する複数のレンズを備えたマイクロレンズアレイが設
    けられ、 前記マイクロレンズアレイに入射する光の中心軸と前記
    マイクロレンズアレイの中心とが一致している場合に前
    記駆動素子に当たる光の入射角度を小さくするように、
    前記マイクロレンズアレイに入射する光の中心軸と、前
    記マイクロレンズアレイの中心とをシフトさせることに
    よって、前記液晶装置に入射する光の角度が規制されて
    なることを特徴とするプロジェクタ。
  5. 【請求項5】 請求項4に記載のプロジェクタにおい
    て、 前記マイクロレンズアレイは、前記対向基板上に設けら
    れていることを特徴とするプロジェクタ。
  6. 【請求項6】 請求項4または5に記載のプロジェクタ
    において、 前記投写レンズの光軸が、前記マイクロレンズアレイの
    中心と同じ方向に、前記マイクロレンズアレイに入射す
    る光の中心軸に対して平行にシフトしていることを特徴
    とするプロジェクタ。
  7. 【請求項7】 請求項1に記載のプロジェクタにおい
    て、 前記対向基板の法線と前記光源の光軸とが平行である場
    合に前記駆動素子に当たる光の入射角度を小さくするよ
    うに、前記光源の光軸を前記対向基板の法線に対して傾
    けることによって、前記液晶装置に入射する光の角度が
    規制されてなることを特徴とするプロジェクタ。
  8. 【請求項8】 請求項7に記載のプロジェクタにおい
    て、 前記投写レンズの光軸は、前記光源の光軸と同じ方向
    に、前記対向基板の法線に対して平行にシフトしている
    ことを特徴とするプロジェクタ。
  9. 【請求項9】 請求項7または8に記載のプロジェクタ
    において、 さらに、前記ベース基板の光入射側に、前記画素電極と
    対応する複数のレンズを備えたマイクロレンズアレイが
    設けられていることを特徴とするプロジェクタ。
  10. 【請求項10】 請求項9に記載のプロジェクタにおい
    て、 前記複数のレンズの光軸は、前記液晶装置の画素の中心
    に対して、前記光源の側に平行にシフトしていることを
    特徴とするプロジェクタ。
  11. 【請求項11】 請求項9または10に記載のプロジェ
    クタにおいて、 前記マイクロレンズアレイは、前記対向基板上に設けら
    れていることを特徴とするプロジェクタ。
  12. 【請求項12】 請求項1〜11のいずれかに記載のプ
    ロジェクタにおいて、 前記液晶装置に入射する光の中心軸は、前記液晶装置の
    明視方向と一致していることを特徴とするプロジェク
    タ。
  13. 【請求項13】 請求項1〜11のいずれかに記載のプ
    ロジェクタにおいて、 さらに、前記液晶装置の光入射側に、前記液晶装置に入
    射する光の中心軸と前記液晶装置の明視方向とを一致さ
    せる視角補償フィルムを設けることを特徴とするプロジ
    ェクタ。
  14. 【請求項14】 請求項1〜11のいずれかに記載のプ
    ロジェクタにおいて、 さらに、前記液晶装置の光射出側に、前記液晶装置から
    射出される光の中心軸と前記液晶装置の明視方向とを一
    致させる視角補償フィルムを設けることを特徴とするプ
    ロジェクタ。
  15. 【請求項15】 請求項1〜11のいずれかに記載のプ
    ロジェクタにおいて、 さらに、前記液晶装置の光入射側と光射出側とに、それ
    ぞれ視角補償フィルムを設けることを特徴とするプロジ
    ェクタ。
  16. 【請求項16】 請求項1〜15のいずれかに記載のプ
    ロジェクタにおいて、 前記ベース基板には、さらに、走査線と、前記走査線と
    交差すると共に前記ベース基板上で前記走査線よりも上
    方に位置するデータ線と、が設けられ、 前記駆動素子は、前記データ線及び前記走査線に接続さ
    れており、チャネル領域を含むと共に前記基板上で前記
    走査線よりも下方に位置する半導体層を有してなること
    を特徴とするプロジェクタ。
  17. 【請求項17】 請求項1〜16のいずれかに記載のプ
    ロジェクタにおいて、 前記光源と、前記液晶装置との間には、前記光源から射
    出された光を複数の色光に分離する色分離光学系が設け
    られていることを特徴とするプロジェクタ。
  18. 【請求項18】 請求項17に記載のプロジェクタにお
    いて、 前記液晶装置は、前記複数の色光に対応して複数設けら
    れていることを特徴とするプロジェクタ。
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