JP2002191164A - リニアモータ - Google Patents
リニアモータInfo
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- JP2002191164A JP2002191164A JP2000386430A JP2000386430A JP2002191164A JP 2002191164 A JP2002191164 A JP 2002191164A JP 2000386430 A JP2000386430 A JP 2000386430A JP 2000386430 A JP2000386430 A JP 2000386430A JP 2002191164 A JP2002191164 A JP 2002191164A
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- armature
- magnetic
- linear motor
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- permanent magnet
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁気センサを誤動作させることのないよう
に、永久磁石からの漏洩磁束の影響を防止することがで
きるリニアモータを提供する。 【解決手段】交互に極性が異なるように界磁極を構成す
る複数の永久磁石４を直線状に並べて配置した２列から
なる界磁ヨーク３と、永久磁石４の磁石列と磁気的空隙
を介して対向配置されると共に複数個のコイル群から成
る電機子巻線８を有した電機子６と、電機子６の位置を
検出する磁気センサ１５、１６と、界磁極と電機子６の
何れか一方を固定子に、他方を可動子として、界磁極と
電機子６を相対的に走行するようにしたリニアモータ１
において、界磁ヨーク３は、その外周に非磁性体１０を
介してリニアモータ１の磁気遮蔽を行うための磁気シー
ルド板１７が設けられており、界磁ヨーク３の端部３ａ
は、永久磁石４の端部４ａを覆うように、電機子巻線８
の表面に向かってＬ字状に折り曲げた形状を有した。
に、永久磁石からの漏洩磁束の影響を防止することがで
きるリニアモータを提供する。 【解決手段】交互に極性が異なるように界磁極を構成す
る複数の永久磁石４を直線状に並べて配置した２列から
なる界磁ヨーク３と、永久磁石４の磁石列と磁気的空隙
を介して対向配置されると共に複数個のコイル群から成
る電機子巻線８を有した電機子６と、電機子６の位置を
検出する磁気センサ１５、１６と、界磁極と電機子６の
何れか一方を固定子に、他方を可動子として、界磁極と
電機子６を相対的に走行するようにしたリニアモータ１
において、界磁ヨーク３は、その外周に非磁性体１０を
介してリニアモータ１の磁気遮蔽を行うための磁気シー
ルド板１７が設けられており、界磁ヨーク３の端部３ａ
は、永久磁石４の端部４ａを覆うように、電機子巻線８
の表面に向かってＬ字状に折り曲げた形状を有した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体製
造装置または工作機械のテーブル送りなど、超精密位置
決め・高推力が要求される用途に適するリニアモータに
関するものである。
造装置または工作機械のテーブル送りなど、超精密位置
決め・高推力が要求される用途に適するリニアモータに
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造装置または工作機械の
テーブル送りなど、超精密位置決め・高推力が要求され
る用途に適するリニアモータは、図４、図５のようにな
っている。図４は従来技術を示すリニアモータの斜視図
である。図５は従来のリニアモータを、推力を発生する
進行方向から見た正断面図であって、固定台、リニアガ
イド、テーブルおよび磁気センサを組み込んだ状態を示
す。なお、従来例では、ムービングコイル型リニアモー
タを例示して説明する。図において、１はリニアモー
タ、２は界磁ヨーク固定板、３は界磁ヨーク、４は永久
磁石、５は電機子固定板、６は電機子、７は巻線固定
枠、８は電機子巻線、９は樹脂モールド、１０は非磁性
体、１１は固定台、１２はテーブル、１３はガイドレー
ル、１４はスライダ、１５は磁気センサ（リニアスケー
ル）、１６は磁気センサ（センサヘッド）、１７は磁気
シールド板である。リニアモータ１は、交互にＮ極、Ｓ
極の極性が異なるように界磁極を構成する複数の永久磁
石４が２列からなる界磁ヨーク３の長手方向に向かって
直線状に並べて配置されており、各々の界磁ヨーク３の
間に界磁ヨーク固定板２を配設して固定子を構成してい
る。また、前記並設された永久磁石４の磁石列の長手方
向には、磁気的空隙を介して対向するように複数個のコ
イル群からなる平板状に成形されたコアレス型の電機子
巻線８を有した電機子６が配置されており、電機子６が
可動子を構成している。ここで、電機子巻線８は、図５
に示すように、強度と絶縁性を向上できるよう、ステン
レスなどの非磁性部材でできた平板状の巻線固定枠７の
両面に保持されている。また、電機子巻線８は、巻線固
定枠７に樹脂モールド９により固着され、電機子巻線８
を固着した巻線固定枠７は電機子固定板５に固定されて
いる。
テーブル送りなど、超精密位置決め・高推力が要求され
る用途に適するリニアモータは、図４、図５のようにな
っている。図４は従来技術を示すリニアモータの斜視図
である。図５は従来のリニアモータを、推力を発生する
進行方向から見た正断面図であって、固定台、リニアガ
イド、テーブルおよび磁気センサを組み込んだ状態を示
す。なお、従来例では、ムービングコイル型リニアモー
タを例示して説明する。図において、１はリニアモー
タ、２は界磁ヨーク固定板、３は界磁ヨーク、４は永久
磁石、５は電機子固定板、６は電機子、７は巻線固定
枠、８は電機子巻線、９は樹脂モールド、１０は非磁性
体、１１は固定台、１２はテーブル、１３はガイドレー
ル、１４はスライダ、１５は磁気センサ（リニアスケー
ル）、１６は磁気センサ（センサヘッド）、１７は磁気
シールド板である。リニアモータ１は、交互にＮ極、Ｓ
極の極性が異なるように界磁極を構成する複数の永久磁
石４が２列からなる界磁ヨーク３の長手方向に向かって
直線状に並べて配置されており、各々の界磁ヨーク３の
間に界磁ヨーク固定板２を配設して固定子を構成してい
る。また、前記並設された永久磁石４の磁石列の長手方
向には、磁気的空隙を介して対向するように複数個のコ
イル群からなる平板状に成形されたコアレス型の電機子
巻線８を有した電機子６が配置されており、電機子６が
可動子を構成している。ここで、電機子巻線８は、図５
に示すように、強度と絶縁性を向上できるよう、ステン
レスなどの非磁性部材でできた平板状の巻線固定枠７の
両面に保持されている。また、電機子巻線８は、巻線固
定枠７に樹脂モールド９により固着され、電機子巻線８
を固着した巻線固定枠７は電機子固定板５に固定されて
いる。
【０００３】かかるリニアモータは、固定された一対の
永久磁石４が可動する電機子６の両側を挟み込むように
設けられ、かつ、永久磁石４の磁力線が電機子巻線８を
貫通する磁気回路中に配置してなるもの（磁束貫通型構
造）であり、通電された電機子巻線８が、その各コイル
群に発生する磁束と永久磁石４との電磁作用により、直
線移動するようになっている。そして、この構造のリニ
アモータにおいて、前記磁気回路の磁束が、テーブル１
２に取り付けたリニアスケール１５とセンサヘッド１６
あるいは図示しないその他の周辺機器に影響を与えない
よう、界磁ヨーク３の外周（側面と両端部）を、空気層
または樹脂モールドなどの非磁性体１０を介して、例え
ばパーマロイなどの強磁性材料からなる磁気シールド板
１７で覆っている。ここでは、非磁性体１０は空気層と
している。それから、リニアモータに設けた界磁ヨーク
固定板２と磁気シールド板１７については、界磁ヨーク
固定板２、磁気シールド板１７にそれぞれ締結用の図示
しない雌ねじを設け、固定台１１に図示しない通し穴を
設けて、雄ねじを有する図示しないボルトにより固定さ
れている、また、固定台１１に設けたガイドレール１４
とテーブルに取り付けたスライダ１３とでリニアガイド
を構成し、リニモータを支持するようにしている。
永久磁石４が可動する電機子６の両側を挟み込むように
設けられ、かつ、永久磁石４の磁力線が電機子巻線８を
貫通する磁気回路中に配置してなるもの（磁束貫通型構
造）であり、通電された電機子巻線８が、その各コイル
群に発生する磁束と永久磁石４との電磁作用により、直
線移動するようになっている。そして、この構造のリニ
アモータにおいて、前記磁気回路の磁束が、テーブル１
２に取り付けたリニアスケール１５とセンサヘッド１６
あるいは図示しないその他の周辺機器に影響を与えない
よう、界磁ヨーク３の外周（側面と両端部）を、空気層
または樹脂モールドなどの非磁性体１０を介して、例え
ばパーマロイなどの強磁性材料からなる磁気シールド板
１７で覆っている。ここでは、非磁性体１０は空気層と
している。それから、リニアモータに設けた界磁ヨーク
固定板２と磁気シールド板１７については、界磁ヨーク
固定板２、磁気シールド板１７にそれぞれ締結用の図示
しない雌ねじを設け、固定台１１に図示しない通し穴を
設けて、雄ねじを有する図示しないボルトにより固定さ
れている、また、固定台１１に設けたガイドレール１４
とテーブルに取り付けたスライダ１３とでリニアガイド
を構成し、リニモータを支持するようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来技術で
は、永久磁石４の端部が界磁ヨーク３の端部と共に電機
子取付板５に対向して開口していることから、開口した
永久磁石の端部から漏曳する磁束が増加していき、この
漏洩した磁束が磁気センサに影響を及ぼした後、誤動作
を起こし、その結果、精密な位置決め作業に支障をきた
すという問題があった。本発明は、上記の問題を解決す
るためになされたものであり、磁気センサを誤動作させ
ることのないように、永久磁石からの漏洩磁束の影響を
防止することができるリニアモータを提供することを目
的とする。
は、永久磁石４の端部が界磁ヨーク３の端部と共に電機
子取付板５に対向して開口していることから、開口した
永久磁石の端部から漏曳する磁束が増加していき、この
漏洩した磁束が磁気センサに影響を及ぼした後、誤動作
を起こし、その結果、精密な位置決め作業に支障をきた
すという問題があった。本発明は、上記の問題を解決す
るためになされたものであり、磁気センサを誤動作させ
ることのないように、永久磁石からの漏洩磁束の影響を
防止することができるリニアモータを提供することを目
的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、請求項１の本発明は、交互に極性が異なるように界
磁極を構成する複数の永久磁石を直線状に並べて配置し
た２列からなる界磁ヨークと、前記永久磁石の磁石列と
磁気的空隙を介して対向配置されると共に複数個のコイ
ル群から成る電機子巻線を有した電機子と、前記電機子
の位置を検出する磁気センサと、前記界磁極と前記電機
子の何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記
界磁極と前記電機子を相対的に走行するようにしたリニ
アモータにおいて、前記界磁ヨークは、その外周に非磁
性体を介してリニアモータの磁気遮蔽を行うための磁気
シールド板が設けられており、前記界磁ヨークの端部
は、前記永久磁石の端部を覆うように、前記電機子巻線
の表面に向かってＬ字状に折り曲げた形状を有したもの
である。請求項２の本発明は、請求項１記載のリニアモ
ータにおいて、前記界磁ヨークのＬ字状に折り曲げた端
部と前記永久磁石の端部との間の空隙の長さをＨ、前記
２列の界磁ヨークに設けた各々の永久磁石間の距離をＬ
ｇとした時に、０．５≦Ｈ／Ｌｇ≦１の関係をを有する
ものである。
め、請求項１の本発明は、交互に極性が異なるように界
磁極を構成する複数の永久磁石を直線状に並べて配置し
た２列からなる界磁ヨークと、前記永久磁石の磁石列と
磁気的空隙を介して対向配置されると共に複数個のコイ
ル群から成る電機子巻線を有した電機子と、前記電機子
の位置を検出する磁気センサと、前記界磁極と前記電機
子の何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記
界磁極と前記電機子を相対的に走行するようにしたリニ
アモータにおいて、前記界磁ヨークは、その外周に非磁
性体を介してリニアモータの磁気遮蔽を行うための磁気
シールド板が設けられており、前記界磁ヨークの端部
は、前記永久磁石の端部を覆うように、前記電機子巻線
の表面に向かってＬ字状に折り曲げた形状を有したもの
である。請求項２の本発明は、請求項１記載のリニアモ
ータにおいて、前記界磁ヨークのＬ字状に折り曲げた端
部と前記永久磁石の端部との間の空隙の長さをＨ、前記
２列の界磁ヨークに設けた各々の永久磁石間の距離をＬ
ｇとした時に、０．５≦Ｈ／Ｌｇ≦１の関係をを有する
ものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に基づ
いて説明する。図１は本発明の実施例を示すリニアモー
タの斜視図である。図２は、本発明のリニアモータを進
行方向から見た正断面図であって、リニアガイド、テー
ブルおよび磁気センサを組み込んだ状態を示す。なお、
本発明の構成要素が従来技術と同じものについては同一
符号を付してその説明を省略する。本発明が従来技術と
異なる点は、以下のとおりである。すなわち、界磁ヨー
ク３の端部３ａは、永久磁石４の端部４ａを覆うよう
に、電機子巻線８の表面に向かってＬ字状に折り曲げた
形状を有した点である。次に、界磁ヨーク３の形状改良
による磁束漏洩低減の効果を確認するための検証を行っ
た。図３は各々の永久磁石間の距離と界磁ヨーク−永久
磁石間の空隙長との比に対する漏れ磁束量の関係につい
で示したものであって、磁界解析により求めたものであ
る。磁界解析の結果、２列の界磁ヨークに設けた各々の
永久磁石４間の距離をＬｇ（本例では、Ｌｇ＝２１mm）
とし、界磁ヨーク３のＬ字状に折り曲げた端部と永久磁
石４の端部間の空隙の長さをＨとした時に、本実施例で
は、０．５≦Ｈ／Ｌｇ≦１の関係が最適であり、より好
ましくは、０．７≦Ｈ／Ｌｇ≦０．９の関係で最適であ
ることが明らかになった。上記手段のごとく界磁ヨーク
３の端部の形状を改良すると、永久磁石４の端部から漏
曳しようとする磁束がＬ字状に折り曲げた界磁ヨーク３
の端部を流れるため、永久磁石４の端部から漏曳する磁
束がほぼ零になり、これにより磁気センサ１５，１６を
界磁ヨーク３に接近させても漏曳磁束の影響を受けるこ
とが無い。
いて説明する。図１は本発明の実施例を示すリニアモー
タの斜視図である。図２は、本発明のリニアモータを進
行方向から見た正断面図であって、リニアガイド、テー
ブルおよび磁気センサを組み込んだ状態を示す。なお、
本発明の構成要素が従来技術と同じものについては同一
符号を付してその説明を省略する。本発明が従来技術と
異なる点は、以下のとおりである。すなわち、界磁ヨー
ク３の端部３ａは、永久磁石４の端部４ａを覆うよう
に、電機子巻線８の表面に向かってＬ字状に折り曲げた
形状を有した点である。次に、界磁ヨーク３の形状改良
による磁束漏洩低減の効果を確認するための検証を行っ
た。図３は各々の永久磁石間の距離と界磁ヨーク−永久
磁石間の空隙長との比に対する漏れ磁束量の関係につい
で示したものであって、磁界解析により求めたものであ
る。磁界解析の結果、２列の界磁ヨークに設けた各々の
永久磁石４間の距離をＬｇ（本例では、Ｌｇ＝２１mm）
とし、界磁ヨーク３のＬ字状に折り曲げた端部と永久磁
石４の端部間の空隙の長さをＨとした時に、本実施例で
は、０．５≦Ｈ／Ｌｇ≦１の関係が最適であり、より好
ましくは、０．７≦Ｈ／Ｌｇ≦０．９の関係で最適であ
ることが明らかになった。上記手段のごとく界磁ヨーク
３の端部の形状を改良すると、永久磁石４の端部から漏
曳しようとする磁束がＬ字状に折り曲げた界磁ヨーク３
の端部を流れるため、永久磁石４の端部から漏曳する磁
束がほぼ零になり、これにより磁気センサ１５，１６を
界磁ヨーク３に接近させても漏曳磁束の影響を受けるこ
とが無い。
【０００７】したがって、本発明の実施例は、界磁ヨー
ク３の端部が、永久磁石４の端部を覆うように、電機子
巻線８との表面に向かってＬ字状に折り曲げた形状を有
し、また、界磁ヨーク３のＬ字状に折り曲げた端部と永
久磁石４の端部との間の空隙の長さをＨ、各々の永久磁
石４間の距離をＬｇとした時に、０．５≦Ｈ／Ｌｇ≦１
の関係を有する構成にしたので、永久磁石４による磁束
が必ず界磁ヨーク３のＬ字状に折れ曲がった端部を流
れ、永久磁石４の端部からリニアモータの外周に漏曳す
る磁束がなくなることから、磁気センサ１５、１６に対
する永久磁石４による漏洩磁束の影響を防止することが
でき、その結果、磁気センサ１５、１６を誤動作させる
ことがないリニアモータを提供することができる。な
お、本発明の実施例において、リニアモータの可動子、
固定子および磁気センサの取り付け方向、位置について
一例を示したが、実施例で示した取り付け方向、位置に
限定されることはなく、リニアモータの用途に応じて適
宜選択される。また、本実施例では電機子を可動子とす
るムービングコイル型リニアモータを例示して説明した
が、界磁極を可動子とするムービングマグネット型リニ
アモータに適用しても構わない。また、本実施例では、
リニアモータの電機子は、コアレスタイプのものについ
て説明したが、電磁鋼板を積層したコア付きタイプの電
機子についても適用することができる。また、本実施例
では、界磁極を構成する磁石について交互に極性が異な
る複数の永久磁石を用いた例を示したが、１つの磁石に
多極着磁したものを用いたものでも構わない。
ク３の端部が、永久磁石４の端部を覆うように、電機子
巻線８との表面に向かってＬ字状に折り曲げた形状を有
し、また、界磁ヨーク３のＬ字状に折り曲げた端部と永
久磁石４の端部との間の空隙の長さをＨ、各々の永久磁
石４間の距離をＬｇとした時に、０．５≦Ｈ／Ｌｇ≦１
の関係を有する構成にしたので、永久磁石４による磁束
が必ず界磁ヨーク３のＬ字状に折れ曲がった端部を流
れ、永久磁石４の端部からリニアモータの外周に漏曳す
る磁束がなくなることから、磁気センサ１５、１６に対
する永久磁石４による漏洩磁束の影響を防止することが
でき、その結果、磁気センサ１５、１６を誤動作させる
ことがないリニアモータを提供することができる。な
お、本発明の実施例において、リニアモータの可動子、
固定子および磁気センサの取り付け方向、位置について
一例を示したが、実施例で示した取り付け方向、位置に
限定されることはなく、リニアモータの用途に応じて適
宜選択される。また、本実施例では電機子を可動子とす
るムービングコイル型リニアモータを例示して説明した
が、界磁極を可動子とするムービングマグネット型リニ
アモータに適用しても構わない。また、本実施例では、
リニアモータの電機子は、コアレスタイプのものについ
て説明したが、電磁鋼板を積層したコア付きタイプの電
機子についても適用することができる。また、本実施例
では、界磁極を構成する磁石について交互に極性が異な
る複数の永久磁石を用いた例を示したが、１つの磁石に
多極着磁したものを用いたものでも構わない。
【０００８】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、界
磁ヨークの端部が、永久磁石の端部を覆うように、電機
子巻線との表面に向かってＬ字状に折り曲げた形状を有
し、また、界磁ヨークのＬ字状に折り曲げた端部と永久
磁石の端部との間の空隙の長さをＨ、各々の永久磁石４
間の距離をＬｇとした時に、０．５≦Ｈ／Ｌｇ≦１の関
係を有する構成にしたため、永久磁石による磁束が必ず
界磁ヨークのＬ字状に折れ曲がった端部を流れ、永久磁
石の端部からリニアモータの外周に漏曳する磁束がなく
なることから、磁気センサに対する永久磁石による漏洩
磁束の影響を防止することができ、その結果、磁気セン
サを誤動作させることがないリニアモータを提供するこ
とが可能となる。
磁ヨークの端部が、永久磁石の端部を覆うように、電機
子巻線との表面に向かってＬ字状に折り曲げた形状を有
し、また、界磁ヨークのＬ字状に折り曲げた端部と永久
磁石の端部との間の空隙の長さをＨ、各々の永久磁石４
間の距離をＬｇとした時に、０．５≦Ｈ／Ｌｇ≦１の関
係を有する構成にしたため、永久磁石による磁束が必ず
界磁ヨークのＬ字状に折れ曲がった端部を流れ、永久磁
石の端部からリニアモータの外周に漏曳する磁束がなく
なることから、磁気センサに対する永久磁石による漏洩
磁束の影響を防止することができ、その結果、磁気セン
サを誤動作させることがないリニアモータを提供するこ
とが可能となる。
【図１】本発明の実施例を示すリニアモータの斜視図で
ある。
ある。
【図２】本発明のリニアモータを進行方向から見た正断
面図であって、リニアガイド、テーブルおよび磁気セン
サを組み込んだ状態を示す。
面図であって、リニアガイド、テーブルおよび磁気セン
サを組み込んだ状態を示す。
【図３】各々の永久磁石間の距離と界磁ヨーク−永久磁
石間の空隙長との比に対する漏れ磁束量の関係をグラフ
にして説明した図である。
石間の空隙長との比に対する漏れ磁束量の関係をグラフ
にして説明した図である。
【図４】従来のリニアモータの斜視図である。
【図５】従来のリニアモータを進行方向から見た正断面
図であって、リニアガイド、テーブルおよび磁気センサ
を組み込んだ状態を示す。
図であって、リニアガイド、テーブルおよび磁気センサ
を組み込んだ状態を示す。
１ リニアモータ ２ 界磁ヨーク固定板 ３ 界磁ヨーク ３a 端部 ４ 永久磁石 ４ａ 暗部 ５ 電機子固定板 ６ 電機子 ７ 巻線固定枠 ８ 電機子巻線 ９ 樹脂モールド １０ 非磁性体 １１ 固定台 １２ テーブル １３ スライダ １４ ガイドレール １５ 磁気センサ（リニアスケール） １６ 磁気センサ（センサヘッド） １７ 磁気シールド板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤井 崇男 福岡県北九州市八幡西区黒崎城石２番１号 株式会社安川電機内 Ｆターム(参考） 5H605 AA11 BB05 BB10 CC01 DD36 FF01 5H641 GG02 GG03 GG05 GG07 GG11 GG12 GG26 GG28 HH02 HH03 HH05 HH13 HH14 HH16 HH17
Claims (2)
- 【請求項１】 交互に極性が異なるように界磁極を構成
する複数の永久磁石を直線状に並べて配置した２列から
なる界磁ヨークと、前記永久磁石の磁石列と磁気的空隙
を介して対向配置されると共に複数個のコイル群から成
る電機子巻線を有した電機子と、前記電機子の位置を検
出する磁気センサと、前記界磁極と前記電機子の何れか
一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁極と前
記電機子を相対的に走行するようにしたリニアモータに
おいて、 前記界磁ヨークは、その外周に非磁性体を介してリニア
モータの磁気遮蔽を行うための磁気シールド板が設けら
れており、 前記界磁ヨークの端部は、前記永久磁石の端部を覆うよ
うに、前記電機子巻線の表面に向かってＬ字状に折り曲
げた形状を有したものであることを特徴とするリニアモ
ータ。 - 【請求項２】 前記界磁ヨークのＬ字状に折り曲げた端
部と前記永久磁石の端部との間の空隙の長さをＨ、前記
２列の界磁ヨークに設けた各々の永久磁石間の距離をＬ
ｇとした時に、０．５≦Ｈ／Ｌｇ≦１の関係を有するこ
とを特徴とする請求項１記載のリニアモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000386430A JP4600858B2 (ja) | 2000-12-20 | 2000-12-20 | リニアモータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000386430A JP4600858B2 (ja) | 2000-12-20 | 2000-12-20 | リニアモータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002191164A true JP2002191164A (ja) | 2002-07-05 |
| JP4600858B2 JP4600858B2 (ja) | 2010-12-22 |
Family
ID=18853532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000386430A Expired - Fee Related JP4600858B2 (ja) | 2000-12-20 | 2000-12-20 | リニアモータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4600858B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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