JP2002184680A - 図形データ変換方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 多階層のセル構造を有する図形データを、よ
り少ない階層を有する図形データに変換する際に、変換
された図形データのデータ量を抑制する。 【解決手段】 ステップＳ２０２において、処理対象セ
ル内に存在するセル引用から、処理対象とするセル引用
の種類を設定し、ステップＳ２０３において、処理対象
の種類のセル引用のみを上位に展開する第１の処理と、
このセル引用の引用しているセルを展開する第２の処理
とによる各データ増加量Ｄ１およびＤ２を算出し、ステ
ップＳ２０４において、Ｄ１およびＤ２の大小を判断
し、Ｄ１≦Ｄ２のとき、ステップＳ２０５において第１
の処理を実行し、Ｄ１＞Ｄ２のとき、ステップＳ２０６
において第２の処理を実行する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、多階層のセル構造
を有する図形データをより少ない階層のセル構造に変換
する図形データ変換方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ＬＳＩに代表される半導体集積回
路のパターンをマスクやウェハーなどの試料に描画する
ためには、電子ビーム描画装置が用いられている。電子
ビーム描画装置用の図形データは、ＣＡＤ（Computer A
ided Design）等の図形設計ツールを用いて作成される
ことが多いが、このような図形設計ツールでは、データ
の作成を効率よく行うために、例えばセルの階層構造を
有する図形データが利用されている。

【０００３】セルの階層構造を有する図形データは、パ
ターンおよびセルといわれる構造を含む。パターンと
は、矩形、台形、多角形等の形状の情報を有し、セルと
は、パターンや別のセルを配置してまとめられたもので
ある。また、セルの階層とは、セルの中に別のセルの引
用があるようなセルの構造のことで、このようにある階
層において別の下位セルの引用を示すような配置を、こ
こではセル引用と呼ぶ。さらに、セルの階層が２階層以
上となる場合を高階層と呼び、高階層のセル構造をより
少ない階層のセル構造に変換することを、セルの展開と
呼ぶ。

【０００４】ここで、図１０に、セル階層構造を有する
図形データの例を示す。図１０（ａ）はこの図形データ
における各セルの構成を示し、（ｂ）はセルの階層構造
を示す。

【０００５】図１０に示す図形データ３０は、（ａ）に
示すようにセルＴＯＰ、セルＡおよびセルＢの３つのセ
ルによって構成されており、セル引用によってセルの階
層構造を有している。最上位の階層に位置するセルＴＯ
Ｐは、１つ下層のセルＡおよびセルＢをそれぞれ引用す
る３つのセル引用Ａと１つのセル引用Ｂを有している。
セルＡは、パターンＰａ１およびＰａ２と、３層目に位
置するセルＢを引用するセル引用Ｂを有し、セルＢは、
パターンＰｂ１、Ｐｂ２、Ｐｂ３、Ｐｂ４およびＰａ５
を有している。このような図形データ３０は、図１０
（ｂ）に示すような３層の階層構造によって示される。
すなわち、１階層目にセルＴＯＰが位置し、２階層目に
はセルＴＯＰによって引用される３つのセルＡと１つの
セルＢが位置し、３階層目には２階層目の各セルＡによ
って引用されるセルＢが位置している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、図形設計ツ
ールによって作成したレイアウトデータのフォーマット
では、高階層のセル構造を持つことができるが、電子ビ
ーム描画装置ではこのような階層構造をそのまま扱うこ
とができないことが多い。例えばベクスタスキャン型の
電子ビーム描画装置用のマスクデータのフォーマット
は、２階層のセル構造しか持つことができない。このた
め、レイアウトデータについては、電子ビーム描画装置
において受容可能なように、少ない階層数のデータに変
換する必要がある。また、このときのデータ量の大きさ
によって、データ変換処理に長時間を要する、あるいは
電子ビーム描画装置用のマスクデータとして使用可能な
データ量の限度を超えてしまうことがあり、データ変換
処理によってデータ量をより圧縮する必要がある。図形
データの階層数を減らすためには、セルの展開を行う
が、この展開方法としては、セル内の図形データをその
セルの上位階層に展開する方法と、セルを残してそのセ
ル内のセル引用を展開する方法とがある。したがって、
セルの展開では、この２つの方法のうちのどちらがデー
タ量を少なくすることができるかを判断する必要があ
る。

【０００７】高階層のセル構造を有するデータを２階層
のデータに変換するための従来の方法は、特許公報２５
２９４６０号に開示されている。この方法では、各セル
において、あるセルが上位階層に展開された場合のパタ
ーンのデータ量と、そのセルの下位セルをすべて展開し
た場合のパターンのデータ量とを比較して、比較結果に
応じてセルを上位に展開するか、下位のセルをすべて展
開するかを判断する。展開方法の判断では、変換された
２階層のデータのデータ量を小さくするために、上位セ
ルに展開された場合のパターンによるデータ量は、セル
が単独で含むパターンのデータ量に、そのセルが上位の
セルから引用されている個数を掛けた結果とし、下位の
セルをすべて展開した場合のデータ量が、上位に展開し
た場合のデータ量より小さいという条件が成り立つ場合
には、下位セルをすべて展開している。

【０００８】ここで例として、図１０に示した３階層の
セル構造を有する図形データ３０を２階層に変換する場
合について説明する。この展開方法では、セルＡを上位
セルに展開するか、あるいはセルＡの下位セルをすべて
展開するかという条件判断を、上記のそれぞれの方法に
よって展開後のデータ量を求めてから行っている。

【０００９】図１１に、セルＡを上位階層のセルＴＯＰ
に展開した場合の図形データを示す。なお、図１１では
簡単にするため、セル引用を「引」と省略して示してい
る。図１１に示す図形データ１１０では、図１０に示す
元の図形データ３０に対して、１層目のセルＴＯＰが有
するセル引用Ａによって引用されるセルＡが、上位階層
で展開されている。すなわち、セルＡの有するパターン
Ｐａ１、Ｐａ２、およびセル引用Ｂが展開されて、セル
ＴＯＰに含まれている。この場合の図形データ１１０の
データ量を求めると、セルＴＯＰ内では、パターンＰａ
１およびＰａ２がそれぞれ３個、セル引用Ｂが１個含ま
れ、セルＢ内ではパターンＰｂ１〜Ｐｂ５がそれぞれ１
個含まれている。ここで、パターン１個のデータ量をＰ
Ｓ、セル引用１個のデータ量をＲＳとすると、図形デー
タ１１０のデータ量は、図１１に示すように、（３＋
３）ＰＳ＋４ＲＳ＋５ＰＳ＝４ＲＳ＋１１ＰＳと表すこ
とができる。

【００１０】次に、図１２に、セルＡ内のセル引用Ｂを
展開した場合の図形データを示す。図１２に示す図形デ
ータ１２０では、元の図形データ３０に対して、セルＡ
に含まれるセル引用Ｂを、セルＢのパターンによってセ
ルＡ内に展開している。この場合の図形データ１２０の
データ量は、セルＴＯＰ内ではセル引用Ａが３個、セル
引用が１個含まれ、セルＡ内ではパターンＰａ１および
Ｐａ２がそれぞれ１個、パターンＰｂ１〜Ｐｂ５がそれ
ぞれ１個含まれ、セルＢ内ではパターンＰｂ１〜Ｐｂ５
がそれぞれ１個含まれている。したがって、図形データ
１２０のデータ量は、図１２に示すように、（３＋１）
ＲＳ＋（２＋５）ＰＳ＋５ＰＳ＝４ＲＳ＋１２ＰＳと表
される。

【００１１】図形データ１１０および１２０のデータ量
を比較すると、図形データ１１０のデータ量の方が１Ｐ
Ｓ分だけ小さいことがわかる。したがって、セルＡを上
位階層に展開する方法の方がデータ量を少なくすること
ができると判断され、このような展開が行われて図形デ
ータ１１０が算出される。また、図形データ１１０は２
階層のセル構造となっているため、この図形データ１１
０が目的とする２階層の図形データとして最終的に出力
される。

【００１２】このように、図１１に示した図形データ１
１０が算出される展開方法では、セルＡ内のパターンＰ
ａ１およびＰａ２とセル引用Ｂを、すべて上位セルに展
開していた。しかし、この方法では、条件判断が最適で
あるとは限らず、必ずしも２階層に変換したデータのデ
ータ量を少なくすることはできない。

【００１３】本発明は、以上のような課題に鑑みてなさ
れたものであり、多階層のセル構造を有する図形データ
をより少ない階層の図形データに変換する際に、変換さ
れた図形データのデータ量をより小さくすることが可能
な図形データ変換方法を提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明では上記課題を解
決するために、多階層のセル構造を有する図形データを
より少ない階層のセル構造に変換する図形データ変換方
法において、下位セルを引用していることを示すセル引
用のうち、処理の対象とする種類のセルとして設定され
た処理対象セルに含まれる１種類の前記セル引用に対し
て、前記セル引用を上位セルに展開する第１の処理の実
行による第１のデータ増加量を算出する第１のステップ
と、前記処理対象セルに含まれる１種類の前記セル引用
が引用する前記下位セルをすべて展開する第２の処理の
実行による第２のデータ増加量を算出する第２のステッ
プと、前記第１のデータ増加量が前記第２のデータ増加
量以下となる場合には、前記第１の処理を実行し、前記
第１のデータ増加量が前記第２のデータ増加量より大き
い場合には、前記第２の処理を実行する第３のステップ
と、を具備することを特徴とする図形データ変換方法が
提供される。

【００１５】このような図形データ変換方法では、ある
セル内に存在するセル引用のみを上位に展開する第１の
処理と、このセル引用の引用しているセルを展開する第
２の処理とを、それぞれの処理によるデータ増加量を用
いて判断し、データ増加量の少ない方の処理を実行す
る。第１の処理が実行された場合にはセル内のセル引用
のみが上位に展開され、さらにセルの展開処理が処理対
象セル内のセル引用種類ごとに行われるため、セル内に
存在する全図形データを上位に展開する従来の処理と比
較して、変換された図形データのデータ量を抑制するこ
とが可能となる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。本発明で扱う図形データは、パタ
ーンおよびセルを用いた階層構造を有する図形データで
あり、例えば、半導体集積回路のパターンをマスクやウ
ェハーなどの試料に描画するために電子ビーム描画装置
に供給されるデータとして用いられる。この場合、図形
データはまず、ＣＡＤ等の図形設計ツールを用いてレイ
アウトデータとして作成され、電子ビーム描画装置にお
いて受容可能な階層数およびデータ量のマスクデータに
変換するデータ変換処理がなされて、電子ビーム描画装
置に供給される。本発明のデータ変換方法は、例えばコ
ンピュータ装置において、このようなデータ変換処理の
手順が記述されたプログラムを、プロセッサによって実
行することによって実現されるのものである。以下、こ
のような図形データの変換処理の方法について説明す
る。

【００１７】図１に、本発明の図形データ変換方法にお
ける処理のフローチャートを示す。なお、図１に示すフ
ローチャートでは、処理対象の図形データを２階層のセ
ル構造を有する図形データに変換するための処理を示し
ている。

【００１８】まず、ステップＳ１０１において、図形設
計ツール等を用いて、多階層のセル構造を有する図形デ
ータを入力する。ステップＳ１０２において、以下のス
テップＳ１０４〜Ｓ１０９までの処理が、図形データ内
のすべての種類のセルに対して終了しているかどうかを
判断し、終了している場合はステップＳ１０３に進み、
このときの図形データを例えば電子ビーム描画装置に対
して出力して、処理を終了する。また、ステップＳ１０
２において、全セルに対して処理が終了していない場合
は、ステップＳ１０４に進む。ステップＳ１０４におい
て、この図形データの有する階層構造が２階層以下であ
るかどうかが判断され、２階層以下である場合はステッ
プＳ１０３に進み、このときの図形データを出力して、
処理を終了する。また、ステップＳ１０４において階層
が３階層以上である場合は、ステップＳ１０５に進む。

【００１９】ステップＳ１０５において、図形データ中
から、以下のステップＳ１０６〜Ｓ１０９までの処理の
対象とするセルを示す処理対象セルを設定する。この処
理対象セルは、ステップＳ１０２において処理の終了し
ていない１つの種類のセルに対して設定されるが、この
設定は、例えば図形データの１層目のセルＴＯＰに引用
されているセルのいずれかから始め、その中で参照され
ているセル、さらにその中で参照されているセルという
ように順次下位の階層へ降りていき、最下位のセルに到
達するまで順に行われる。続くステップＳ１０６は展開
方法選択ルーチンとなっており、処理対象セルに対する
セルの展開方法を選択し、展開を行う。ここで、図２に
ステップＳ１０６の展開方法選択ルーチンにおける処理
のフローチャートを示す。

【００２０】図２に示すフローチャートでは、処理対象
セル内に配置されているある種類のセル引用に対して、
このセル引用のみを上位セルで展開するか、あるいはこ
のセル引用によって引用される下位セルを展開するかを
判断して選択する処理を行う。ステップＳ２０１におい
て、処理対象セル内に配置されるすべてのセル引用につ
いて、以下のステップＳ２０２〜２０６までの処理が終
了しているかどうかが判断され、終了している場合は展
開方法選択ルーチンの終了となり、図１のステップＳ１
０７に進む。また、ステップＳ２０１において処理が終
了していない場合は、ステップＳ２０２に進む。ステッ
プＳ２０２において、処理対象セル内に配置されるセル
引用のうち、以下のステップＳ２０３〜２０６の処理対
象とするセル引用の種類を設定する。ここでは同一のセ
ルを引用しているセル引用を同一の種類のセル引用とみ
なし、これらの同一種類のセル引用のすべてに対して、
以下の処理を一度に行う。

【００２１】ステップＳ２０３において、２つのセル展
開方法による図形データのデータ増加量Ｄ１およびＤ２
を算出する。ここで、第１のセル展開方法は、ステップ
Ｓ２０２において処理対象とした種類のセル引用のみ
を、上位のセルすなわち処理対象セル内に展開する方法
である。この方法によるデータ増加量Ｄ１は、処理対象
セル内における処理対象種類のセル引用を、上位セルに
展開したときのデータ量と、上位セルにおいて処理対象
セルが引用されている個数とを乗算することによって得
られる。また第２のセル展開方法は、処理対象種類のセ
ル引用が引用している下位セルをすべて展開する方法で
あり、データ増加量Ｄ２は、この下位セルをすべて展開
したときのデータ量である。

【００２２】ステップＳ２０４において、算出されたデ
ータ増加量Ｄ１およびＤ２を比較し、第１および第２の
セル展開方法のどちらを実行するかを選択する。ここ
で、データ増加量Ｄ１がデータ増加量Ｄ２以下であると
きはステップＳ２０５に進み、データ増加量Ｄ１がデー
タ増加量Ｄ２より大きいときはステップＳ２０６に進
む。ステップＳ２０５において、第１のセル展開方法に
よる処理を実行し、処理対象種類のセル引用のみを上位
セルに展開する。また、ステップＳ２０６において、第
２のセル展開方法による処理を実行し、処理対象種類の
セル引用が引用している下位セルをすべて展開する。以
上のフローチャートによる処理によって、データ増加量
がより少なくなるようなセル展開方法が、処理対象セル
内に配置される各種類のセル引用に対して選択され、実
行される。

【００２３】以下、図１のフローチャートに戻って説明
する。ステップＳ１０７において、処理対象セル内にパ
ターンが存在するかどうかが判断され、存在する場合は
ステップＳ１０８に進み、存在しない場合はステップＳ
１０２に戻る。ステップＳ１０８において、処理対象セ
ルの上位セルからの引用個数に対する判断が行われ、こ
の引用個数が１である場合はステップＳ１０９に進み、
１でない場合はステップＳ１０２に戻る。ステップＳ１
０９において、処理対象セル内のパターンをすべて上位
セルに展開する。このステップＳ１０８およびＳ１０９
の処理は、処理対象セルの引用個数が複数の場合は、処
理対象セル内にパターンを残すことによって、セル引用
に引用される分だけデータ量が少なくなるが、引用個数
が１の場合はセル引用分のデータ量が余分となるため、
ステップＳ１０９の処理を行い、処理対象セル内のパタ
ーンを展開することによって余分なセル引用を消去する
という意味を持っている。ステップＳ１０９における処
理が終了すると、ステップＳ１０２に戻る。

【００２４】次に、具体的な図形データを用い、上記の
フローチャートによる処理に適用した例について説明す
る。ここでは第１の図形データ例として、従来の図形デ
ータ変換方法との比較のため、図１０において例示した
ものと同じ図形データを用いることとする。図３に、第
１の図形データ例における各セルの構成を示す。以下、
図１および図２のフローチャートと図３とを適宜参照し
て、図３に示す図形データに対する処理を、順を追って
説明する。

【００２５】図３に示す図形データ３０は、セルＴＯ
Ｐ、セルＡおよびセルＢの３つのセルによって構成され
ている。最上位の階層に位置するセルＴＯＰは、下位セ
ルを引用する３つのセル引用Ａと１つのセル引用Ｂを有
し、セルＡは、パターンＰａ１およびＰａ２と、セルＢ
を引用するセル引用Ｂを有し、セルＢは、パターンＰｂ
１、Ｐｂ２、Ｐｂ３、Ｐｂ４およびＰａ５を有してい
る。図１のフローチャートにおいて、ステップＳ１０１
で図形データ３０が入力され、ステップＳ１０２におい
て、以後の処理の終了判断がなされ、処理が終了してい
ないことから、ステップＳ１０４に進む。ステップＳ１
０４において、階層数の判断が行われ、図形データ３０
はこの段階での階層数は３であるので、ステップＳ１０
５に進む。ステップＳ１０５において、例としてまずセ
ルＡを処理対象セルとして設定し、ステップＳ１０６の
展開方法選択ルーチンの処理が開始される。

【００２６】前述したように、展開方法選択ルーチンで
は、処理対象セル内において、処理対象とした種類のセ
ル引用のみを、上位のセルに展開する第１のセル展開方
法と、処理対象種類のセル引用が引用している下位セル
をすべて展開する第２のセル展開方法と、条件判断によ
り選択して実行する。ここで説明のために、図４に、図
形データ３０をそれぞれのセル展開方法を用いて展開し
たときの図形データの構成を示す。図４（ａ）は第１の
セル展開方法による図形データ、（ｂ）は第２のセル展
開方法による図形データをそれぞれ示す。なお、図４で
は簡単にするために、セル引用を単に「引」と省略して
示している。

【００２７】図２のフローチャートにおいて、ステップ
Ｓ２０１でこの展開方法選択ルーチンの処理終了の判断
がなされ、この処理を行っていないのでステップＳ２０
２に進む。ステップＳ２０２において、処理対象とする
セル引用の種類をセル引用Ｂに設定する。すなわち、こ
の時点では処理対象セルであるセルＡに配置されている
セル引用Ｂが、展開方法選択ルーチンの処理対象として
設定される。ステップＳ２０３において、２つのセル展
開方法によるデータ増加量Ｄ１およびＤ２が算出され
る。

【００２８】ここで、図形データ３０に対して第１のセ
ル展開方法による処理を行った結果が、図４（ａ）に示
された図形データ４１であり、また、第２のセル展開方
法による処理を行った結果が、図４（ｂ）に示された図
形データ４２である。第１のセル展開方法は、処理対象
セルであるセルＡ内に配置されるセル引用Ｂのみを、上
位セルに展開する方法であり、その結果、図４（ａ）の
ようにセルＡ内に配置されていたセル引用ＢがセルＴＯ
Ｐに配置され、セルＡ内にはパターンＰａ１およびＰａ
２のみが残る。このときのデータ増加分を、図４では点
線によって示している。ここで、パターン１個のデータ
量をＰＳ、セル引用１個のデータ量をＲＳとすると、第
１のセル展開方法によるデータ増加量Ｄ１は、セルＡか
らセルＴＯＰ内に移動したセル引用Ｂのデータ量１ＲＳ
に、セルＴＯＰ内における処理対象セルすなわちセルＡ
の引用数３を乗じた３ＲＳとなる。

【００２９】一方、第２のセル展開方法は、処理対象種
類のセル引用であるセル引用Ｂが引用している下位セル
をすべて展開する方法であり、その結果、図４（ｂ）の
ようにセルＡ内に配置されたセル引用Ｂが展開されてパ
ターンＰｂ１〜Ｐｂ５に変化している。このときのデー
タ増加分は、図４（ｂ）に点線で示したセルＡ内のパタ
ーンＰｂ１〜Ｐｂ５であり、データ増加量Ｄ２は、パタ
ーンＰｂ１〜Ｐｂ５のデータ量５ＰＳとなる。

【００３０】次に、ステップＳ２０４において、データ
増加量Ｄ１およびＤ２が比較される。Ｄ１＝３ＲＳ、Ｄ
２＝５ＰＳであるが、一般に、セルを引用する配置のみ
の情報を示すセル引用は、図形の情報を示すパターンよ
りデータ量が小さいため、ＲＳ＜ＰＳの条件よりＤ１＜
Ｄ２と判断されて、ステップＳ２０５に進む。ステップ
Ｓ２０５では、図形データ３０に対して第１のセル展開
方法による処理が行われ、図４（ａ）に示した図形デー
タ４１が算出される。ここでステップＳ２０１に戻り、
処理対象セルであるセルＡ内のすべてのセル引用に対し
て処理が終了しているので、セル展開方法選択ルーチン
を終了して、図１のステップＳ１０７に進む。

【００３１】ステップＳ１０７において、処理対象セル
であるセルＡ内図形データ４１内にはパターンが存在す
るので、ステップＳ１０８に進む。ステップＳ１０８に
おいて、図形データ４１では処理対象セルであるセルＡ
が上位セルに引用されている個数は３であることから、
再びステップＳ１０２の処理に戻る。ステップＳ１０２
において、セルＢについての処理が終了していないた
め、ステップＳ１０４に進む。ステップＳ１０４におい
て、セルＢはセル引用を持たず、またセルＡに配置され
ていたセル引用はすでに上位に展開されているため、図
形データ４１の階層数は２となっており、ステップＳ１
０３に進んでこの図形データ４１が出力され、処理終了
となる。

【００３２】ここで、図５に、本発明および従来の図形
データ変換方法とを比較するための図を示す。図５
（ａ）は本発明の図形データ変換方法を、また（ｂ）に
従来の図形データ変換方法をそれぞれ用いた場合の図形
データを示す。なお、図５では図４と同様に、簡単にす
るためにセル引用を単に「引」として示している。

【００３３】図５では、図形データ３０に対して本発明
および従来の図形データ変換方法をそれぞれ用いて処理
した場合の図形データを示している。ここで、従来の図
形データ変換方法とは、図形データ内で、あるセルの内
容がすべて上位セルに展開された場合のデータ量と、そ
のセルの下位セルをすべて展開した場合のデータ量とを
比較して、比較結果に応じてセルを上位に展開するか、
下位のセルを展開するかを判断して実行する方法であ
る。図形データ３０では、このうちセルを上位セルに展
開した方がデータ量は少なくなる。すなわち、従来の図
形データ変換方法を用いた場合、セルＡ内に配置される
すべてのセル引用およびパターンが上位セルに展開さ
れ、セル引用Ａが消滅して、図５（ｂ）に示す図形デー
タ５０が出力される。一方、図形データ３０に対して本
発明の図形データ変換方法を用いて処理を行った場合、
前述したように図５（ａ）に示す図形データ４１が出力
される。

【００３４】ここで、双方のデータ量を比較すると、図
５に示したように、本発明の処理により出力された図形
データ４１のデータ量は、７ＲＳ＋２ＰＳ＋５ＰＳ＝７
ＲＳ＋７ＰＳとなり、従来の処理により出力された図形
データ５０のデータ量は、４ＲＳ＋（２＋２＋２）ＰＳ
＋５ＰＳ＝４ＲＳ＋１１ＰＳとなる。データ量の差を取
ると、３ＲＳ−４ＰＳとなるが、セル引用のデータ量で
あるＲＳよりパターンのデータ量であるＰＳの方が大き
いことから、３ＲＳ−４ＰＳ＜０となり、図形データ４
１の方がデータ量が少なくなっていることがわかる。

【００３５】以上のように、図１に示したフローチャー
トによる処理では、ステップＳ１０６の展開方法選択ル
ーチンの中で、処理対象セル内に配置されているある種
類のセル引用に対して、このセル引用のみを上位セルで
展開する処理と、このセル引用によって引用される下位
セルを展開する処理とを選択して実行する図２のステッ
プＳ２０３〜２０６における処理によって、少ない階層
を有する図形データに変換した場合のデータ量を、従来
と比較して小さくすることが可能となる。このような処
理が本発明の図形データ変換方法の主眼であって、高階
層のセル構造を有する電子ビーム描画装置用のレイアウ
トデータを、より少ない階層のセル構造を有するマスク
データに変換する際に、増大するデータ量が抑制され、
例えばデータ処理における入出力やデータ転送の高速化
等、電子ビーム描画装置用の図形データ作成の際に有効
である。また、処理対象とするセル引用の種類を変化さ
せて、処理対象セル内に配置されているすべてのセル引
用に対して上記の処理を実行するステップＳ２０１およ
びＳ２０２における処理の実行によって、このようなデ
ータ量の抑制効果はより顕著なものとなる。

【００３６】さらに、この展開方法選択ルーチンに加
え、処理対象セル内にパターンが存在し、この処理対象
セル自身を引用するセル引用の数が１であるとき、処理
対象セル内のすべてのパターンを上位セルに展開するス
テップＳ１０７〜１０９における処理、および、ここま
での処理を、処理対象セルとして設定する前記セルの種
類を変化させて、図形データ内の全セルに対して階層数
が２以下となるまで実行するステップＳ１０２〜１０５
における処理を実行することにより、セルＴＯＰに配置
されるセル引用とこれに引用されるセルに含まれるパタ
ーンのみで構成される２階層の図形データに変換した場
合に、この図形データのデータ量をより小さくすること
が可能となる。

【００３７】次に、第２の図形データ例を挙げて、図１
および図２のフローチャートによる処理に適用した場合
の処理について説明する。図６に、第２の図形データ例
における各セルの構成を示す。また、図７および図８
に、第２の図形データ例の処理過程における変化の様子
を示す。なお、図６、図７および図８では、簡単にする
ためにセル引用を「引用」と省略して示している。以
下、図１および図２のフローチャートと図６、図７およ
び図８を適宜参照して、図６に示す図形データに対する
処理を順を追って説明する。

【００３８】図６に示す図形データ６０は、セルＴＯ
Ｐ、セルＡ、セルＢ、セルＣおよびセルＤの５つのセル
によって構成されている。セルＴＯＰは、３つのセル引
用Ａと１つのセル引用ＢおよびＤを有し、セルＡは、パ
ターンＰａ１およびＰａ２と、セル引用ＢおよびＣを有
し、セルＢは、パターンＰｂ１、Ｐｂ２、Ｐｂ３、Ｐｂ
４およびＰｂ５を有し、セルＣは、パターンＰｃ１を有
し、セルＤは、パターンＰｄ１およびＰｄ２とセル引用
Ｂを有している。

【００３９】図１のフローチャートにおいて、ステップ
Ｓ１０１で図形データ６０が入力され、ステップＳ１０
２において処理が終了していないと判断され、ステップ
Ｓ１０４に進んで階層数の判断が行われる。図形データ
６０のこの段階での階層数は３であるので、ステップＳ
１０５に進む。ステップＳ１０５において、例としてま
ずセルＡを処理対象セルとして設定し、ステップＳ１０
６の展開方法選択ルーチンの処理が開始される。

【００４０】ここで、図２のフローチャートにおいて、
ステップＳ２０１でこの展開方法選択ルーチンの処理終
了の判断がなされ、処理を行っていないセル引用が存在
するのでステップＳ２０２に進み、処理対象とするセル
引用の種類を、例としてセル引用Ｂに設定する。ステッ
プＳ２０３において、２つのセル展開方法によるデータ
増加量Ｄ１およびＤ２が算出される。データ増加量Ｄ１
は、セル引用Ｂを上位セルすなわちセルＡ内に展開した
場合のデータ量に、セルＡの引用数を乗じた値となるの
で、Ｄ１＝３ＲＳとなる。またデータ増加量Ｄ２は、セ
ル引用Ｂの下位セルに含まれるパターンＰｂ１〜Ｐｂ５
を上位に展開した場合のデータ量であるので、Ｄ２＝５
ＰＳとなる。ステップＳ２０４において、ＲＳ＜ＰＳの
条件よりＤ１＜Ｄ２であるので、ステップＳ２０５に進
み、セル引用Ｂを上位セル内に展開する。

【００４１】ここで、図７（ａ）はセル引用Ｂを上位の
セルＴＯＰ内に展開した場合の図形データを示してい
る。この図形データ７１では、３つのセル引用Ｂが新た
にセルＴＯＰ内に配置され、セルＡからはセル引用Ｂが
除去されている。続いてステップＳ２０１に戻り、処理
されていないセルが存在するため、ステップＳ２０２に
進む。セルＡ内にはセル引用Ｃが配置されているので、
ステップＳ２０２において、処理対象とするセル引用の
種類をセル引用Ｃに設定し、ステップＳ２０３におい
て、データ増加量Ｄ１およびＤ２を算出する。セルＴＯ
Ｐ内ではセル引用Ａが３つ配置されていることから、デ
ータ増加量Ｄ１＝３ＲＳとなり、また、セルＣの有する
パターンＰｃ１がセルＡ内に展開された場合はデータ増
加量Ｄ２＝ＰＳとなる。

【００４２】ここで、ＲＳ＜ＰＳという条件のみではＤ
１とＤ２の大小関係は判別できないが、セル引用のデー
タ量であるＲＳおよびパターンのデータ量であるＰＳ
は、この図形データにおいて一意に定義される値であ
り、ここではＲＳとＰＳの値についてさらに定義するこ
とにより、処理を進めることにする。例えば、ＲＳは引
用が指すセル番号、配置されるＸ座標およびＹ座標の３
要素で表され、ＰＳを1つの矩形のサイズとすると、配
置されるＸ座標、Ｙ座標、矩形の幅Ｗおよび矩形の高さ
Ｈの４要素でＰＳは表される。各要素のデータ量が同じ
である場合には、ＲＳ＜ＰＳ＜２ＲＳという条件が成り
立つ。したがって、この条件によれば３ＲＳ＞ＰＳとな
り、ステップＳ２０４において、Ｄ１＞Ｄ２と判断さ
れ、ステップＳ２０６に進んで、セルＣがセルＡ内に展
開される。このように、ステップＳ２０６の処理が選択
される場合とは、処理対象セルに対する上位からの引用
数が多く、処理対象の種類のセル引用によって引用され
るセル内のパターンのデータ量が小さい場合と言える。

【００４３】ここで、図７（ｂ）はセルＣをセルＡ内に
展開した場合の図形データを示している。この図形デー
タ７２では、セルＡ内においてセル引用Ｃが除去され
て、パターンＰｃ１が配置されている。続いてステップ
Ｓ２０１に戻り、処理対象セルであるセルＡ内のすべて
のセル引用に対する処理終了しているため、展開方法選
択ルーチンの終了となり、図１に戻ってステップＳ１０
７に進む。ステップＳ１０７において、処理対象セルで
あるセルＡ内にはパターンが存在するので、ステップＳ
１０８に進み、上位のセルＴＯＰ内におけるセルＡの引
用個数が３であるため、ステップＳ１０２に戻る。

【００４４】ステップＳ１０２において、処理対象とす
るセルが残っているので、ステップＳ１０４に進み、図
形データ７２は３階層であるので、ステップＳ１０５に
進む。ステップＳ１０５において、例えば次の処理対象
セルに、セル引用を有するセルＤを設定し、ステップＳ
１０６の展開方法選択ルーチンに進む。図２のステップ
Ｓ２０１において、セルＤ内のセル引用Ｂについて以下
の処理が終了していないため、ステップＳ２０２に進
み、処理対象とするセル引用の種類をセル引用Ｂに設定
する。ステップＳ２０３において、データ増加量Ｄ１お
よびＤ２を算出する。セルＴＯＰ内ではセル引用Ｄが１
つ配置されていることから、データ増加量Ｄ１＝ＲＳと
なり、また、セルＢの有するパターンＰｂ１〜Ｐｂ５が
セルＤ内に展開された場合はデータ増加量Ｄ２＝５ＰＳ
となる。したがって、ステップＳ２０４において、Ｄ１
＜Ｄ２となり、ステップＳ２０５において、セルＢが上
位のセルＴＯＰ内に展開される。

【００４５】ここで、図８（ａ）はセルＢをセルＴＯＰ
内に展開した場合の図形データを示している。この図形
データ８１では、セルＴＯＰ内にセルＢが配置され、セ
ルＤ内のセル引用Ｂが除去されている。続いてステップ
Ｓ２０１に戻り、処理対象セルであるセルＤ内のすべて
のセル引用に対する処理終了しているため、展開方法選
択ルーチンの終了となり、図１に戻ってステップＳ１０
７に進む。ステップＳ１０７において、セルＤ内にはパ
ターンが存在するので、ステップＳ１０８に進み、上位
のセルＴＯＰ内におけるセルＤの引用個数が１であるた
め、ステップＳ１０９に進む。ステップＳ１０９におい
て、セルＤの有する全パターンＰｄ１およびＰｄ２を上
位のセルＴＯＰ内に展開する。

【００４６】ここで、図８（ｂ）はセルＤ内のパターン
をセルＴＯＰ内に展開した場合の図形データを示してい
る。この図形データ８２では、セルＴＯＰ内にパターン
Ｐｄ１およびＰｄ２が配置されている。このように、ス
テップＳ１０９の選択は、処理対象セルの引用個数が１
となる場合に、上位に残ったセル引用分のデータ量が余
分となるため、処理対象セル内のパターンを展開するこ
とによって余分なセル引用を消去することを意味してい
る。

【００４７】続いてステップＳ１０２に戻って処理終了
の判断がなされ、セルＢおよびＣについては処理が行わ
れていないため、ステップＳ１０４に進む。ステップＳ
１０４において、図形データ８２の階層数は２となって
いるため、ステップＳ１０３に進んで、図形データ８２
が出力される。このとき、セルＣおよびＤは引用されて
いないため、データから削除されて出力される。図８
（ｂ）において、セルＣおよびＤがカッコ内に示されて
いるのは、このことを意味している。

【００４８】ここで、第２の図形データ例として上記で
示した図６の図形データ６０に対して、従来の図形デー
タ変換方法、すなわち図形データ内で、あるセルの内容
がすべて上位セルに展開された場合のデータ量と、その
セルの下位セルをすべて展開した場合のデータ量とを比
較して、比較結果に応じてセルを上位に展開するか、下
位のセルを展開するかを判断して実行する方法を適用し
た場合と、本発明の図形データ変換を適用した場合で、
出力される図形データのデータ量を比較する。図９に、
図形データ６０に対して従来の図形データ変換方法を適
用した場合に出力される図形データを示す。

【００４９】図形データ６０に対して従来の図形データ
変換方法を適用した場合、引用されるセルの内容をすべ
て上位セルに展開する処理の方が、セルの下位セルを展
開する場合よりデータ量が小さくなる。したがって、図
９に示す図形データ９０のように、元の図形データ６０
においてセルＡに配置されていたパターンＰａ１および
Ｐａ２とセル引用Ｂが、セルＡの引用数分だけセルＴＯ
Ｐに展開されて、セルＡが削除される。また、図形デー
タ６０でセルＤに配置されていたパターンＰｄ１および
Ｐｄ２とセル引用Ｂが、セルＴＯＰに展開されて、セル
Ｄが削除される。これによって、出力された図形データ
９０のデータ量は、図９に示すように８ＲＳ＋１４ＰＳ
となる。一方、図７（ｂ）に示した図形データ８２のデ
ータ量は８ＲＳ＋１０ＰＳとなり、本発明の図形データ
変換方法を適用した場合の方が、出力される図形データ
のデータ量が大きく抑制されていることがわかる。

【００５０】以上のように、第２の図形データ例である
図形データ６０に対して本発明の図形データ変換方法を
適用した場合では、展開方法選択ルーチンにおける処理
が、セルＡ内に配置された２つのセル引用ＢおよびＣの
それぞれに対して個別に行われ、さらに処理対象セルを
セルＤに設定して再び処理を行っている。このような処
理によって、従来の図形データ変換方法と比較して、変
換された図形データのデータ量を少なくすることが可能
となっている。

【００５１】なお、上記の図形データ６０に本発明の図
形データ変換方法を適用した場合の説明で、処理対象セ
ルをセルＡ、処理対象とするセル引用の種類をセル引用
Ｃとした場合のステップＳ２０４の処理において、ＲＳ
＜ＰＳ＜２ＲＳという条件を用いてデータ増加量Ｄ１お
よびＤ２の大小の判断を行ったが、ＲＳおよびＰＳの値
の定義が異なって３ＲＳ≦ＰＳとなる場合は、ステップ
Ｓ２０５における処理が行われる。この場合、以下の処
理によって最終的に出力される図形データのデータ量は
１０ＲＳ＋１０ＰＳとなり、従来の図形データ変換方法
を適用した図９に示す図形データ９０より小さくなって
いることがわかる。

【００５２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の図形デー
タ変換方法では、あるセル内に存在するセル引用のみを
上位に展開する第１の処理と、このセル引用の引用して
いるセルを展開する第２の処理とを、それぞれの処理に
よるデータ増加量を用いて判断し、データ増加量の少な
い方の処理を実行する。第１の処理が実行された場合に
はセル内のセル引用のみが上位に展開され、さらにセル
の展開処理が処理対象セル内のセル引用種類ごとに行わ
れるため、セル内に存在する全図形データを上位に展開
する従来の処理と比較して、変換された図形データのデ
ータ量を抑制することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の図形データ変換方法における処理のフ
ローチャートを示す。

【図２】展開方法選択ルーチンにおける処理のフローチ
ャートを示す。

【図３】第１の図形データ例における各セルの構成を示
す図である。

【図４】２つのセル展開方法を用いて展開したときの図
形データの構成を示す図であり、（ａ）は第１のセル展
開方法による図形データ、（ｂ）は第２のセル展開方法
による図形データを示す。

【図５】本発明および従来の図形データ変換方法とを比
較するための図を示し、（ａ）は本発明の図形データ変
換方法を用いた場合の図形データを示し、（ｂ）は従来
の図形データ変換方法を用いた場合の図形データを示
す。

【図６】第２の図形データ例における各セルの構成を示
す図である。

【図７】第２の図形データ例の処理過程における変化の
様子を示す図であり、（ａ）はセル引用ＢをセルＴＯＰ
内に展開した場合の図形データを示し、（ｂ）はセルＣ
をセルＡ内に展開した場合の図形データを示す。

【図８】第２の図形データ例の処理過程における変化の
様子を示す図であり、（ａ）はセルＢをセルＴＯＰ内に
展開した場合の図形データを示し、（ｂ）はセルＤ内の
パターンをセルＴＯＰ内に展開した場合の図形データを
示す。

【図９】第２の図形データ例に対して従来の図形データ
変換方法を適用した場合に出力される図形データを示す
図である。

【図１０】セル階層構造を有する図形データの例を示す
図であり、（ａ）は図形データにおける各セルの構成を
示し、（ｂ）はセルの階層構造を示す。

【図１１】 セルＡを上位階層に展開した場合の図形デ
ータを示す図である。

【図１２】 セルＡ内のセル引用Ｂを展開した場合の図
形データを示す図である。

【符号の説明】

３０、４１、４２、５０、６０、７１、７２、８１、８
２、９０、１１０、１２０……図形データ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０６Ｆ 17/50 ６５８ Ｈ０１Ｌ 21/30 ５４１Ｊ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 多階層のセル構造を有する図形データを
   より少ない階層のセル構造に変換する図形データ変換方
   法において、 下位セルを引用していることを示すセル引用のうち、処
   理の対象とする種類のセルとして設定された処理対象セ
   ルに含まれる１種類の前記セル引用に対して、前記セル
   引用を上位セルに展開する第１の処理の実行による第１
   のデータ増加量を算出する第１のステップと、 前記処理対象セルに含まれる１種類の前記セル引用が引
   用する前記下位セルをすべて展開する第２の処理の実行
   による第２のデータ増加量を算出する第２のステップ
   と、 前記第１のデータ増加量が前記第２のデータ増加量以下
   となる場合には、前記第１の処理を実行し、前記第１の
   データ増加量が前記第２のデータ増加量より大きい場合
   には、前記第２の処理を実行する第３のステップと、 を具備することを特徴とする図形データ変換方法。
2. 【請求項２】 前記第１、第２および第３のステップに
   よる処理を、前記処理対象セルに含まれるすべての種類
   の前記セル引用に対して実行する第４のステップを具備
   することを特徴とする請求項１記載の図形データ変換方
   法。
3. 【請求項３】 前記第１、第２、第３および第４のステ
   ップに続いて、前記処理対象セル内にパターンが存在
   し、前記処理対象セル自身を引用する前記セル引用の数
   が１であるとき、前記処理対象セル内のすべての前記パ
   ターンを前記上位セルに展開する第５のステップを具備
   することを特徴とする請求項２記載の図形データ変換方
   法。
4. 【請求項４】 前記第１、第２、第３、第４および第５
   のステップによる処理を、前記処理対象セルに含まれる
   すべての種類の前記セル引用に対して実行し、さらに、
   前記図形データの有する階層が２以下となるまで、前記
   処理対象セルとして設定する前記セルの種類を変化させ
   て実行することを特徴とする請求項３記載の図形データ
   変換方法。
5. 【請求項５】 前記図形データは、電子ビーム描画装置
   用のレイアウトデータまたはマスクデータであることを
   特徴とする請求項１記載の図形データ変換方法。