JP2002095268A - 電力変換装置 - Google Patents

電力変換装置

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JP2002095268A
JP2002095268A JP2000283004A JP2000283004A JP2002095268A JP 2002095268 A JP2002095268 A JP 2002095268A JP 2000283004 A JP2000283004 A JP 2000283004A JP 2000283004 A JP2000283004 A JP 2000283004A JP 2002095268 A JP2002095268 A JP 2002095268A
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彰 三島
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敏之 印南
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Hideaki Mori
英明 森
Kenji Takahashi
研二 高橋
Keiichi Masuno
敬一 増野
Hiroyasu Anami
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Abstract

(57)【要約】 【課題】インバータ等からなる電力変換装置において、
全体をコンパクトなものとして回路インダクタンス及び
配線抵抗の低減を図り、据付け性が良好で信頼性及び電
力変換効率が高いものとすること。 【解決手段】複数の入力ブスバー14p、14nと複数
の出力ブスバー18との交差する部分の間に挟持される
ように半導体チップ1を電気的及び熱的に接続し、半導
体チップ1を、正極入力ブスバー14pに合致する極性
となる向きで接続し、負極入力ブスバー14nに合致す
る極性となる向きで接続し、共通する出力ブスバー18
に極性の向きが異なるもので隣合うように接続する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、インバータ装置な
どの電力変換装置に係り、特に高信頼性が要求される自
動車用モータ駆動装置に用いられる電力変換装置に好適
なものである。
【0002】
【従来の技術】従来技術1のインバータ装置としては、
特開平11−346480号公報の第3の実施形態に示
されているように、直流電源及びコンデンサより直流電
力を入力する2つの給電ブスバーと、モータへ3相交流
電力を出力する複数の出力ブスバーと、給電ブスバー及
び出力ブスバーに電気的に接続されて入力される直流電
力を3相交流電力に変換して出力する複数の半導体スイ
ッチングモジュールと、半導体スイッチングモジュー
ル、給電ブスバー及び出力ブスバーを設置するヒートシ
ンクとを備えたものがある。
【0003】この従来技術1のインバータ装置をさらに
具体的に説明する。複数の給電ブスバーは+給電ブスバ
ーと−給電ブスバーとからなっている。複数の出力ブス
バーは3相を形成するように3つからなっている。半導
体スイッチングモジュールは、IGBT及び逆並列ダイ
オードを接続した3つの並列回路からなり、3相インバ
ータの各アームを形成している。3相ブリッジの1相は
2つのアームで形成され、この2つのアームを構成する
半導体スイッチングモジュールは、ヒートシンク上に絶
縁基板、共通電極パターン及び高温半田を介して設置さ
れ、左右に並置されている。この並置された半導体スイ
ッチングモジュールの周囲に位置するように出力ブスバ
ー及び+給電ブスバーが絶縁板を介してヒートシンク上
に接合して設置されている。さらには、出力ブスバーの
上に−給電ブスバーが絶縁板を介して接合して設置され
ている。また、−給電ブスバーは並置された半導体スイ
ッチングモジュールの中間に位置して配置されている。
そして、出力バスバーまたは給電バスバーと半導体スイ
ッチングモジュールとの間は、ワイヤボンディングによ
り接続されている。
【0004】なお、この従来技術1のインバータ装置
は、インバータ主回路の半導体スイッチングモジュール
及びブスバーをヒートシンクの表面に接合して取り付
け、このヒートシンクの裏側に形成した冷却水路で冷却
することにより、電気自動車のインバータ装置の小型化
と長寿命化をはかるものである。
【0005】また、従来技術2の半導体スイッチング素
子を有する半導体装置としては、特開2000−492
81号公報に示されているように、一表面に正極電極が
形成され且つ他表面に負極電極が形成された一対の半導
体スイッチング素子と、この一対の半導体スイッチング
素子の相互の向きを変えて実装され且つ一方の半導体ス
イッチング素子の正極電極と他方の半導体スイッチング
素子の負極電極とが半田接合される共通のランドを有し
ている配線基板と、一方の半導体スイッチング素子の負
極電極及び他方の半導体スイッチング素子の正極電極に
半田接合され且つ共通ランドの上方に位置して共通ラン
ドの延びる方向と平行に延びる配線とを備えたものがあ
る。
【0006】なお、この従来技術2の半導体装置は、基
板に対して垂直成分を有するL字状配線をなくし、基板
に対する垂直方向の配線によるインダクタンスや配線抵
抗の増加を防止すると共に、半導体スイッチング素子の
間隔をつめてパッケージの大きさを小さくしようとする
ものである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術1では、並置された半導体スイッチングモジュールの
周囲に位置するように出力ブスバー及び+給電ブスバー
が設置されると共に、並置された半導体スイッチングモ
ジュールの中間に−給電ブスバーが配置されているの
で、半導体装置の全体の平面スペースが半導体スイッチ
ングモジュール、出力ブスバー、+給電ブスバー及び−
給電ブスバーの各平面面積の合計以上となり、極めて大
きな平面スペースを必要とするものであった。このこと
は、特に据付けスペースが極めて限られたものとなる自
動車用電力変換装置に用いる場合に問題である。
【0008】また、従来技術1では、並置された半導体
スイッチングモジュールとその周囲または中間に配置さ
れた出力バスバーまたは給電バスバーとの間をワイヤボ
ンディングにより接続するようにしているので、配線全
体が複雑なものとなり、回路インダクタンス及び配線抵
抗が大きくなるという問題がある。
【0009】さらには、従来技術1では、半導体スイッ
チングモジュールの一側のヒートシンクから放熱するも
のであるため、この一側のヒートシンクの放熱量で半導
体スイッチングモジュール全体を冷却する必要があり、
確実に放熱できないという問題がある。しかも、半導体
スイッチングモジュールは半田のみを介して共通電極に
設置されているので、半導体スイッチングモジュールと
電極とは一般に線膨張係数が大きく異なるものであり、
半導体スイッチングモジュールの断続動作による熱サイ
クルで半田が大きな熱疲労を受けるという問題がある。
【0010】一方、従来技術2では、インバータ装置の
全体を小型化する具体的構成は記載されておらず、半導
体スイッチング素子とランドまたは配線とは半田のみを
介して接合されているので、半導体スイッチング素子の
断続動作による熱サイクルで半田が大きな熱疲労を受け
るという問題がある。
【0011】本発明の目的は、全体をコンパクトなもの
として回路インダクタンス及び配線抵抗の低減を図り、
据付け性が良好で信頼性及び電力変換効率が高い電力変
換装置を得ることにある。
【0012】本発明の別の目的は、全体をコンパクトな
ものとして回路インダクタンス及び配線抵抗の低減を図
ると共に、熱サイクルに対する熱疲労の緩和を図り、据
付け性が良好で信頼性及び電力変換効率が高い電力変換
装置を得ることにある。
【0013】本発明の別の目的は、全体をコンパクトな
ものとして回路インダクタンス及び配線抵抗の低減を図
ると共に、半導体チップの電極面の経時劣化の防止を図
り、据付け性が良好で信頼性及び電力変換効率が高い電
力変換装置を得ることにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の第1の特徴は、外部より電力を入力する複数
の入力ブスバーと、外部へ電力を出力する複数の出力ブ
スバーと、前記入力ブスバー及び前記出力ブスバーに電
気的に接続されると共に入力される電力を変換して出力
する複数の半導体チップとを備え、前記半導体チップは
半導体スイッチング素子を有しており、複数の前記入力
ブスバーは、正極入力ブスバーと負極入力ブスバーとを
有すると共に、並置して長く延びるように設け、複数の
前記出力ブスバーは、並置して長く延びると共に、前記
正極入力ブスバー及び前記負極入力ブスバーの長手方向
と交差するように設け、複数の前記半導体チップは、前
記正極入力ブスバー及び前記負極入力ブスバーと複数の
前記出力ブスバーとの交差する部分の間に挟持されるよ
うに電気的及び熱的に接続して配置すると共に、前記正
極入力ブスバーに対してはこれに合致する極性となる向
きで接続し、かつ前記負極入力ブスバーに対してはこれ
に合致する極性となる向きで接続し、さらに、共通する
前記出力ブスバーに対しては極性の向きが異なるもので
隣合うように接続したことにある。
【0015】特に好ましくは、前記正極入力ブスバー及
び前記負極入力ブスバーは直線状に長く延びると共に同
一平面上に並置し、複数の前記出力ブスバーは、直線状
に長く延びると共に同一平面に並置し、かつ前記正極入
力ブスバー及び前記負極入力ブスバーの長手方向とほぼ
直交するように設けたことにある。
【0016】また、特に好ましくは、前記正極入力ブス
バー及び前記負極入力ブスバーはその長手方向における
同じ側からラミネート状に形成した正極入力端子及び負
極入力端子に接続し、複数の前記出力ブスバーはその長
手方向における同じ側でかつ正極入力端子及び負極入力
端子と異なる側からそれぞれの出力端子に接続したこと
にある。
【0017】また、特に好ましくは、前記各半導体チッ
プは半導体スイッチング素子及びこれに逆並列接続した
ダイオードを有するMOSFETで構成し、前記出力ブ
スバーは3つで形成し、前記入力ブスバーと前記出力ブ
スバーとの間に前記半導体チップを3相ブリッジ回路を
形成するように接続して入力される直流電力を3相交流
電力に変換するように構成したことにある。
【0018】本発明の第2の特徴は、外部より電力を入
力する複数の入力ブスバーと、外部へ電力を出力する複
数の出力ブスバーと、前記入力ブスバー及び前記出力ブ
スバーに電気的に接続されると共に入力される電力を変
換して出力する複数の半導体チップキャリアとを備え、
複数の前記入力ブスバーは、正極入力ブスバーと負極入
力ブスバーとを有すると共に、並置して長く延びるよう
に設け、複数の前記出力ブスバーは、並置して長く延び
ると共に、前記正極入力ブスバー及び前記負極入力ブス
バーの長手方向と交差するように設け、前記半導体チッ
プキャリアは、半導体スイッチング素子を有する半導体
チップと、前記半導体チップの両側の正極面及び負極面
に電気的及び熱的に接続された金属部材とを有すると共
に、前記正極入力ブスバー及び前記負極入力ブスバーと
複数の前記出力ブスバーとの交差する部分の間に挟持さ
れるように電気的及び熱的に接続して配置すると共に、
前記正極入力ブスバーに対してはこれに合致する極性と
なる向きで接続し、かつ前記負極入力ブスバーに対して
はこれに合致する極性となる向きで接続し、さらには共
通する前記出力ブスバーに対しては極性の向きが異なる
もので隣合うように接続したことにある。
【0019】特に好ましくは、前記金属部材は、前記半
導体チップの線膨張係数に近い線膨張係数を有する低熱
膨張金属材料で形成すると共に、前記半導体チップに接
続用半田を介して接続したことにある。
【0020】また、特に好ましくは、前記金属部材は線
膨張係数が3から10の範囲の低熱膨張金属材料で形成
したことにある。
【0021】また、特に好ましくは、前記半導体チップ
キャリアと前記入力ブスバーまたは出力ブスバーの突起
部及び係合部を係合して両者の位置を確定する位置決め
機構を設けたことにある。
【0022】また、特に好ましくは、前記金属部材は、
前記半導体チップの投影面積より大きい面積にすると共
に、厚さを1〜2mm程度に薄く形成したことにある。
【0023】本発明の第3の特徴は、外部より電力を入
力する複数の入力ブスバーと、外部へ電力を出力する複
数の出力ブスバーと、前記入力ブスバー及び前記出力ブ
スバーに電気的に接続されると共に入力される電力を変
換して出力する複数の半導体チップキャリアと、前記入
力ブスバー及び前記出力ブスバーを前記半導体チップキ
ャリアに加圧する加圧機構とを備え、複数の前記入力ブ
スバーは、正極入力ブスバーと負極入力ブスバーとを有
すると共に、並置して長く延びるように設け、複数の前
記出力ブスバーは、並置して長く延びると共に、前記正
極入力ブスバー及び前記負極入力ブスバーの長手方向と
交差するように設け、前記半導体チップキャリアは、半
導体スイッチング素子を有する半導体チップと、前記半
導体チップの両側の正極面及び負極面に接続用半田を介
して電気的及び熱的に接続された低熱膨張金属部材とを
有すると共に、前記正極入力ブスバー及び前記負極入力
ブスバーと複数の前記出力ブスバーとの交差する部分の
間に挟持されるように電気的及び熱的に接続して配置す
ると共に、前記正極入力ブスバーに対してはこれに合致
する極性となる向きで接続し、かつ前記負極入力ブスバ
ーに対してはこれに合致する極性となる向きで接続し、
さらには共通する前記出力ブスバーに対しては極性の向
きが異なるもので隣合うように接続したことにある。
【0024】特に好ましくは、前記入力ブスバーの幅と
厚さの比を5〜20の範囲に設定したことにある。
【0025】本発明の第4の特徴は、外部より電力を入
力する複数の入力ブスバーと、外部へ電力を出力する複
数の出力ブスバーと、前記入力ブスバー及び前記出力ブ
スバーに電気的に接続されると共に入力される電力を変
換して出力する複数の半導体チップキャリアと、前記半
導体チップキャリアを内蔵するケースと、前記入力ブス
バーまたは出力ブスバーを冷却する冷却器とを備え、複
数の前記入力ブスバーと複数の前記出力ブスバーとは交
差するように設け、前記半導体チップキャリアは、半導
体スイッチング素子を有する半導体チップと、前記半導
体チップの両側の正極面及び負極面に電気的及び熱的に
接続された金属部材とを有すると共に、複数の前記入力
ブスバーと複数の前記出力ブスバーとの交差する部分の
間に挟持されるように電気的及び熱的に接続して配置す
ると共に、前記正極入力ブスバーに対してはこれに合致
する極性となる向きで接続し、かつ前記負極入力ブスバ
ーに対してはこれに合致する極性となる向きで接続し、
さらには共通する前記出力ブスバーに対しては極性の向
きが異なるもので隣合うように接続し、前記ケースは、
全体を合成樹脂で形成し、その合成樹脂成形時に、前記
入力ブスバーまたは前記出力ブスバーの側面を一体にモ
ールドして反半導体チップキャリア側の面を外部に露出
し、前記冷却器は、前記ケースの外部に配置すると共
に、前記入力ブスバーまたは前記出力ブスバーが露出す
る反半導体チップキャリア側の面に電気絶縁層を介して
熱的に接続したことにある。
【0026】特に好ましくは、前記ケースに一体に形成
された前記入力ブスバーまたは前記出力ブスバーにその
反対側の前記出力ブスバーまたは前記入力ブスバーを加
圧する加圧機構を設けたことにある。
【0027】
【発明の実施の形態】以下、本発明の各実施形態を図を
用いて説明する。なお、第2実施形態以降の実施形態に
おいては第1実施形態と共通する構成を一部省略すると
共に、重複する説明を省略する。各実施形態の図におけ
る同一符号は同一物又は相当物を示す。
【0028】まず、本発明の各実施形態の電力変換装置
を適用する自動車用電動機の駆動システムの電力変換装
置を図23を参照して説明する。図23は本発明の各実
施形態の電力変換装置を適用する自動車用電動機の駆動
システムの電力変換装置の回路図である。
【0029】本実施形態の電力変換装置は、バッテリー
303からの直流電流を、インバータ回路306を介し
て可変電圧可変周波数の交流電流に変換して3相交流回
転電機305を制御するものである。本実施形態におけ
るバッテリー電圧は、MOSFET(Metal Ox
ide Semiconductor Field Ef
fect Transistor)で構成される半導体
チップ1の耐圧が最大100V程度であることを考慮し
て、従来の自動車に一般に用いられる14Vバッテリー
を3つ直列に接続した42V程度の電圧に設定されてい
る。
【0030】インバータ回路306の直流側には、バッ
テリー303からの直流電流のリップル成分を除去する
ためのフィルタコンデンサ302が接続されている。ま
た、インバータ回路306の主回路は、3相交流のうち
1相分の出力を発生する3組の回路301u、301
v、301wが、直流入力に対し並列に接続されて構成
される。なお、図では符号の後に添え字u、v、wを3
相を区別するために用いているが、説明において共通的
または一つを代表的に用いる時は添え字u、v、wを省
略する場合がある。1相分の回路301は、基準電位に
対してプラス側の出力を発生する正極半導体チップ1p
とマイナス側の出力を発生する負極半導体チップ1nと
が1組として直列に接続されて構成され、入力された直
流を正・負・中性の3つのレベルを有するパルスに変換
して出力するようになっている。なお、図では符号の後
に添え字p、nを正極、負極を区別するために用いてい
るが、説明において共通的または一つを代表的に用いる
時は添え字p、nを省略する場合がある。上述した3組
の回路301u、301v、301wによってインバー
タ回路306からPWM変調された可変電圧可変周波数
の3相交流が出力される。
【0031】回転電機305は自動車用電動機として用
いられるものである。この回転電機305が電動機とし
て動作する時は、可変電圧可変周波数の3相交流を入力
することによって、その回転が制御されて動力を発生す
る。なお、回転電機305が発電機として動作するよう
に用いることも可能であり、その回生時は上記動作とは
反対に発電エネルギーがバッテリ303に流れてバッテ
リ303に蓄電される。
【0032】以上説明した電力変換装置において、主た
る発熱性の電気部品は半導体チップ1であるが、半導体
チップ1の耐熱温度を越えないように放熱手段を用いて
半導体チップ1の温度上昇を防ぐことが必要がある。ま
た、半導体チップ1を実装するインバータモジュールの
熱抵抗が全体熱抵抗に対して大きな割合を占める。その
ため、半導体チップを実装するインバータモジュールの
構造は、低熱抵抗化されたものであることが要請され
る。
【0033】また、自動車に使用される電力変換装置
は、例えばエンジン発生トルクを回転電機305で短時
間の間補助するように電力供給したり、エンジン自身の
始動時に回転電機305で駆動するように電力供給した
りする場合に用いるなど、短時間に大電流を流す用途で
頻繁に電力供給することが多い。そのため電力変換装
置、特に発熱する半導体チップ1は非常に過酷な熱サイ
クルを受けることになる。そのために、長期に渡って継
続的に被る熱サイクルによるインバータモジュールの熱
疲労破壊を防ぐことが必要である。そのため、モジュー
ル構造は、熱サイクルに強いものであることが要請され
る。
【0034】また、半導体チップ1の耐圧は、一般に1
00V程度であり、バッテリー電圧を本実施形態のよう
に42V程度に設定すると、そのバッテリー電圧の2倍
程度の耐圧に過ぎないものになってしまう。このような
使用条件では、回路インダクタンスが大きいと、スイッ
チング時の電圧の跳ね上がりが大きくなって半導体チッ
プ1を破壊するおそれがある。そのため、インバータモ
ジュール構造は、回路インダクタンスを低く抑えること
が要請される。
【0035】本発明は上述したこれらの要請に応じ得る
ものである。
【0036】次に、本発明の電力変換装置の第1実施形
態を図1乃至図7を用いて説明する。図1は本発明の第
1実施形態の電力変換装置の構造を示す断面図、図2は
図1におけるA−A断面図、図3は図1におけるB−B
断面図、図4は図2に示したチップキャリアの積層方向
に垂直な断面図、図5は図4におけるC−C断面図、図
6は同電力変換装置において主回路配線およびチップキ
ャリアの部分のみを抽出した構成図、図7は同電力変換
装置の周辺機器までを示した構成図である。
【0037】最初に、チップキャリア11の構成につい
て図4及び図5を用いて説明する。チップキャリア11
は、半導体チップ1と、その両側の電極面に接合部材
(例えば半田等)2s、2dを介して接合された低熱膨
張金属部材3s、3dとを有して構成されている。図4
では、半導体チップ1の上面がソース側電極面であり、
下面がドレイン側電極面である。なお、図中では、ソー
ス側に位置する部材には符号の後ろにsの添え字を付
け、ドレイン側に位置する部材には符号の後ろにdの添
え字を付けているが、説明において共通的または一つを
代表的に用いる時は添え字s、dを省略する場合があ
る。ここで、低熱膨張金属とは、半導体チップ1の材料
として用いられるシリコンの線膨張係数(約3)と同じ
程度に小さい金属という意味であり、例えば線膨張係数
が5程度のモリブデンや線膨張係数が10程度の酸化銅
合金などが用いられる。
【0038】半導体チップ1のソース側電極面に関し
て、この電極面からは主回路電流以外にも複数の制御電
極およびセンサ電極を取り出す必要があることなどか
ら、ソース電極面には、配線と接合可能な領域が前面よ
りその分だけ小さくなっている。さらに、制御電極から
信号を引き出すための制御端子4は、例えば半田等の接
合部材2gを介して電気的に半導体チップ1の制御電極
と接続される。
【0039】これに対し、半導体チップ1のドレイン側
電極面は、全面が主回路電流の流れる面となるため、全
面が接合部材(例えば半田、銀ペースト等)2dを介し
て低熱膨張金属部材3dと接続される。
【0040】低熱膨張金属部材3は、半導体チップ1か
ら発生した熱を平面方向に拡散するために、半導体チッ
プ1の投影面積よりも大きい面積となるような寸法で構
成されることが望ましい。また厚さについては、厚すぎ
ると熱拡散板の効果以上に垂直方向の熱抵抗成分が大き
くなることや、低熱膨張金属部材3は一般に高価な部材
であること等を考慮して1〜2mm程度の厚さに設定さ
れることが好ましい。
【0041】次に、図1から図3および図6、図7を用
いて、チップキャリア11および入出力配線板を構成す
るブスバーとのレイアウトを含むインバータモジュール
の構造を説明する。
【0042】まず、二つの入力ブスバー14p、14n
は、その長手方向が互いに沿う形で並行して配置されて
いる。なお、図では符号の後に添え字p、nを正極、負
極を区別するために用いているが、説明において共通的
または一つを代表的に用いる時は添え字p、nを省略す
る場合がある。これら入力ブスバー14の材料としては
銅やアルミが用いられる。
【0043】そして、正極入力ブスバー14pのチップ
キャリア11と接触しない面側は、冷却器を構成する金
属製のヒートシンク103(図7参照)に取り付ける冷
却面として、ケース20の下面から露出するように配置
されている。ケース20は樹脂等でモールド成形され、
正極入力ブスバー14p及び負極入力ブスバー14nは
このケース20と一体にモールドされることでケース2
0に固定されている。正極入力ブスバー14p及び負極
入力ブスバー14nの冷却面側は、金属製のヒートシン
ク103と接触するために、電気的絶縁を確保するため
の例えばエポキシ等を主成分とする樹脂あるいはセラミ
ック粉末体による絶縁層15が形成されている。また、
正極入力ブスバー14p及び負極入力ブスバー14n
は、ケース20と一体にモールドされているが、冷却器
103に絶縁層15を介して接触する冷却面のみならず
チップキャリア11に接触する上面がケース20から露
出する構造となっている。なお、ヒートシンク103は
モジュールケース20に形成された取付け用穴25およ
び図示しないボルトを用いて正極入力ブスバー14p及
び負極入力ブスバー14nの冷却面側に接触するように
取付けられている。この際、正極入力ブスバー14p及
び負極入力ブスバー14nの冷却面側の絶縁層15とヒ
ートシンク103との接触熱抵抗を低減する目的で、こ
の間隙には熱伝導グリース102が挿入されている。
【0044】正極入力ブスバー14pの上には、3つの
チップキャリア11が、そのドレイン側が正極入力ブス
バー14pと接触して電気的に接続するように、かつ長
手方向に並べられて配置されている。一方、負極入力ブ
スバー14nの上には、同様に3つのチップキャリア1
1が、そのソース側が負極入力ブスバー14nと接触し
て電気的に接続するように、かつ長手方向に並べられて
配置されている。
【0045】さらに、正極入力ブスバー14p上の1つ
のチップキャリア11と、負極入力ブスバー14n上の
1つのチップキャリア11とにまたがってその上面に電
気的に接続されて出力ブスバー18が配置されている。
出力ブスバー18は入力ブスバー14に対して互いの長
手方向がほぼ直交するように配置されている。このよう
なチップキャリア11の組み合わせは計3組あり、それ
ぞれに対で出力ブスバー18がチップキャリア11の上
面に配置されている。
【0046】上述したチップキャリア11、入力ブスバ
ー14及び出力ブスバー18の積層構造に対し、図2で
明らかなように、出力ブスバー18の上面には、さらに
加圧体24が積層されている。これらの積層構造は、加
圧体24の中央部に穴を有し、この穴に上方から締結手
段(例えばネジ等)21を通し、入力ブスバー14を一
体にモールドしたケース20の内部に設けられるメネジ
部22に締結手段21を結合することにより構成されて
いる。これにより、チップキャリア11は、入力ブスバ
ー14および出力ブスバー18で圧接加圧され、入力ブ
スバー14および出力ブスバー18との電気的及び熱的
接続が確保される。出力ブスバー18と加圧体24の間
には、電気絶縁を確保するための絶縁層19と、ネジ2
1等の緩みによる加圧力の急激な低下を避ける目的で、
例えば皿バネ等の弾性体23とが挿入されている。
【0047】入力ブスバー14p、14nは、図1で明
らかなように、接続用配線部材13p、13nを介して
ケース20に一体成形された正負極入力端子12p、1
2nに接続されている。ここで、正負極入力端子12
p、12nは、インダクタンスを低減する目的で、双方
の配線面を絶縁が確保できる程度近接した、いわゆるラ
ミネート構造としている。なお、この入力ブスバー14
の形状によっては配線部材13を省略し、入力端子12
を一体物として構成することも可能である。出力ブスバ
ー18u、18v、18wは、接続用配線部材17u、
17v、17wを介してケース20に一体成形された出
力端子16u、16v、16wに接続されている。
【0048】各チップキャリア11から引き出される制
御端子4は、ケース20上に配置された制御配線体26
に接続され、さらにこの配線体26上に形成された制御
端子ピン27によりモジュール上面に制御信号が取り出
される。モジュール上面には制御基板104(図7参
照)がモジュールに近接して配置され、制御端子ピン2
7が接続されている。
【0049】次に、上述した本実施形態の構成における
作用効果を説明する。
【0050】まず、回路インダクタンスの観点から見た
作用効果を説明する。
【0051】本実施形態において正負極の直流電源から
3相交流を引き出すインバータ回路としては、最も簡素
な構造を採用している。即ち、正負極入力ブスバー14
p、14nに搭載するチップキャリア11の極性を異な
らせ、これに交流出力ブスバー18を電気的に接続する
ことで、インバータ回路の1相分を構成している。さら
に、この出力ブスバー18の長手方向を入力ブスバーの
長手方向、即ち、チップキャリア11を並べる方向に対
してほぼ直交するように配置することで、3相分の出力
ブスバー18が最もコンパクトな形で配置されている。
この配置は、インバータモジュールの小型化に寄与する
ことはもちろんのこと、チップキャリア11が全て同一
極性で実装された場合に必然的に生じる入力配線に対し
て垂直に横切る電流成分が、チップキャリア11の部分
を除いてまったく無いことから、回路全体の低インダク
タンス化が可能となり、素子耐圧を回路上の要請以上に
上げる必要がなくなる。また、半導体素子の抵抗を必要
以上に大きくすることがないため、インバータ回路の基
本性能である電力変換効率の向上を可能とする。
【0052】次に、モジュール構造の信頼性の観点から
見た作用効果を説明する。
【0053】本実装構造では、半導体チップ1に線膨張
係数が近い低熱膨張金属部材3を接合してチップキャリ
ア11を形成している。これにより、熱サイクルによる
半田接合部の熱疲労破壊を防止することができる。
【0054】また、出力ブスバー18の構成材料として
は、電気伝導性やコストの観点から、銅やアルミといっ
た半導体チップ1及び低熱膨張金属部材3と比較して線
膨張係数の大きい(約20程度)金属材料を用いること
が一般的であり、この場合に、出力ブスバー18をチッ
プキャリア11の低熱膨張金属部材3面に圧接する構造
としているので、半導体チップ1及び低熱膨張金属微罪
3と出力ブスバー18との線膨張係数の不一致により生
じる接合部の疲労破壊を防止することができる。この圧
接構造においては、接触面に例えば銀のように柔らかい
金属のメッキ層を施したり、あるいは柔らかい金属箔を
挿入することで特に接触熱抵抗の低減を図ることが好ま
しい。以上示した部分接合・部分圧接構造が電気配線で
あるブスバー18を加圧部材に利用して構成されること
で、低インダクタンス化と耐熱性が両立する構造を実現
している。
【0055】さらには、インバータモジュールの気密性
については、基本的には最も汚損環境に弱い半導体チッ
プ1の両面の電極面に低熱膨張金属部材3を接合して電
極面を覆うようにした接合構造をとっているので、半導
体チップ1電極部の経時劣化を防止することができる。
これにより、従来の圧接構造モジュールで必須であった
完全密閉構造を採用する必要がないことから、インバー
タモジュール構造がより簡素化し、その結果、低コスト
化が可能となる。本実施形態では接合構造のインバータ
モジュールで通常よく用いられるゲルやレジンといった
封止材をインバータモジュール内部に充填したり、チッ
プキャリア11の半田接合部以外の露出面に充填材を塗
布することで、充分な防曝構造とすることが可能であ
る。
【0056】次に、インバータモジュール構造の冷却性
の観点から見た作用効果を説明する。本実装構造は冷却
面が1面の片面冷却構造となっているが、通電時間が短
時間の場合には低熱膨張金属部材3及び出力ブスバー1
8が熱溜めの機能を果たし、過渡熱抵抗が通常の片面冷
却構造と比較して小さくすることができるという特徴が
ある。その特徴を具体的に示す例として、出力ブスバー
18に厚さ2mm、巾15mmの銅製ブスバーを用いた
場合の半導体チップ温度Tjおよびヒートシンク表面温
度Tfの過渡温度上昇の計算結果を、定常時のチップ温
度で規格化した値で示す。本計算によると、非冷却面の
上面に出力ブスバー18が無い場合に対して、出力ブス
バー18が有る場合の半導体チップ1および冷却器10
3の過渡温度上昇は、発熱開始から10秒間の間、約2
0%小さい値を示すことがわかる。この特徴は、短時間
定格で使用されることの多い、例えば自動車用電装品や
回転電機の制御に用いる際、特に有効に作用するもので
ある。また、本実施形態では冷却面として2つの入力ブ
スバー14p、14nを用いているが、これは3つ出力
ブスバー18を冷却面として全体巾を固定した際のブス
バー巾より広く確保可能であり、その結果、熱抵抗がよ
り低減可能であることによるものである。
【0057】また、本実装構造では、チップキャリア1
1と入力ブスバー14の間に接触熱抵抗が存在するが、
半導体チップ1の加圧限界内の加圧力で、厚さ0.1m
m程度の半田層に相当する程度までこの接触熱抵抗を低
減できる。
【0058】上述した通り、入力ブスバー14の寸法は
冷却性能に大きな影響を及ぼす一方、回路インダクタン
スにも大きな影響を及ぼすため、入力ブスバー14の寸
法は最適化設計をする必要がある。図9に入力ブスバー
巾を一定値に固定した場合の、入力ブスバー巾と入力ブ
スバー厚さの比をパラメータにして熱抵抗とインダクタ
ンスを計算した結果を示す。グラフの縦軸は、それぞれ
の値の設計許容値で規格化した相対値で示している。こ
れによると、入力ブスバー厚さを小さくしていくとイン
ダクタンスは低減していくが、熱抵抗は入力ブスバーの
熱拡散板としての機能が低下し、増加していく傾向にあ
る。逆に入力ブスバー厚さを大きくしていくとインダク
タンスが増加していく。これらの傾向を考慮すると、ブ
スバー寸法比の適正範囲は、入力ブスバー巾と入力ブス
バー厚さの比が5〜20程度の範囲にあることがより好
ましいことがわかる。
【0059】なお、本実施形態ではMOSFETを用い
た場合について説明したが、当然ながら、IGBTを始
めとした他の半導体スイッチング素子を用いた場合でも
ここまでに示した同様な効果が得られる。さらにはSi
Cを材料とした半導体スイッチング素子に適用した場合
には、SiCの大きな特徴である高温動作を可能とする
耐熱構造を実現していることから、より半導体チップ1
ひいては冷却器の小型化103が図れるものである。
【0060】次に、図10を用いて、本発明の電力変換
装置の第2実施形態を説明する。図10は本発明の第2
実施形態の電力変換装置の構造を示す断面図である。
【0061】本実施形態は、例えば皿バネ等の弾性体2
3をボルト21と出力ブスバー18の間に介在させたも
のである。これにより第1実施形態で必要であった加圧
体24の代用として出力ブスバー18自身が加圧体を兼
ねる構造にできることから、より簡素化した圧接構造を
実現するすることができる。
【0062】次に、図11を用いて、本発明の電力変換
装置の第3実施形態を説明する。図11は本発明の第3
実施形態の電力変換装置の構造を示す断面図である。
【0063】本実施形態は、第2実施形態における弾性
体23を削除し、出力ブスバー18自身が弾性体と加圧
体および出力ブスバーを兼ねる構造にしたものであり、
より簡素化した圧接構造を実現することができる。この
際には出力ブスバー18のたわみを利用することから、
チップキャリア11と出力ブスバー18との接触面の間
にはたわみによる2平面の平行度の変化を考慮した平面
仕上げを行なうことが好ましい。また同様な理由で、出
力ブスバー18と出力端子16との電気接続には、例え
ばアルミワイヤや銅箔体といった柔軟な構造の接続配線
17を用いることが好ましい。
【0064】次に、図12を用いて、本発明の電力変換
装置の第4実施形態を説明する。図12は本発明の第4
実施形態の電力変換装置の構造を示す断面図である。
【0065】本実施形態は、第1実施形態において、加
圧体としてケースカバー28を用いてチップキャリア1
1を加圧する構造とし、ケース20およびケースカバー
28間を締結手段(例えばボルト等)21によって固定
したものである。本構造により、加圧に必要な締結手段
がインバータモジュール内部への汚損を防ぐためのシー
ル手段と共有できることから、さらに対環境性に優れた
インバータモジュールが実現できる。また、1つのケー
スカバー28で3つの出力ブスバー18を加圧できるの
で、加圧機構を簡素化することが可能となる。
【0066】次に、図13を用いて、本発明の電力変換
装置の第5実施形態を説明する。図13は本発明の第5
実施形態の電力変換装置の構造を示す断面図である。
【0067】本実施形態では、各出力ブスバー18を加
圧する加圧体24を1つとし、さらに材質を金属性にし
たものである。これにより、この加圧体24は6つのチ
ップキャリア11全体を覆う金属板となることから、半
導体チップ1のスイッチング時に発生する電磁波をシー
ルドし、インバータモジュール近傍に配置される制御基
板104(図7参照)等の誤動作を防止する役割を果た
すことができる。
【0068】次に、図14から図16を用いて、本発明
の電力変換装置の第6実施形態を説明する。図14は本
発明の第6実施形態の電力変換装置のチップキャリアの
構造を示す断面図である。図15は図14におけるD方
向から見た構成図である。図16は図14にブスバーを
組み合わせた断面図である。
【0069】本実施形態は、インバータモジュールの製
造時にチップキャリア11の位置決めを精度良く行なう
ための位置決め機構を設けたものである。チップキャリ
ア11の接触面上に2つ以上の突起部5を設け、ブスバ
ー14、18側にはこれに対応する係合部(例えば孔
等)6を設けている。これにより製造時に入力ブスバー
14上に精度良くチップキャリア11を配置し、さらに
出力ブスバー18をチップキャリア11上に組み合わせ
ることができる。この位置決め機構はチップキャリア1
1の両面で、それぞれ異なる仕様にすることが望まし
い。具体的には誤ってチップキャリア11の極性を反転
させようとしても実装できないように、あるいは誤りが
容易に検出できるように2つの突起間の距離や寸法を両
面で異ならせておくことが望ましい。
【0070】次に、図17及び図18を用いて、本発明
の電力変換装置の第7実施形態を説明する。図17は本
発明の第7実施形態の電力変換装置のチップキャリア部
の構造を示す断面図である。図18は図17におけるE
−E断面図である。
【0071】本実施形態では、チップキャリア11と出
力ブスバー18との間に加圧ガイド7を挿入して、チッ
プキャリア11と入力ブスバー18接触面に生じる加圧
力に対して、半導体チップ1にかかる加圧力を小さくす
るようにしたものである。これにより半導体チップ1の
加圧限界以上にチップキャリア11とブスバー18との
加圧力を大きくすることができるため、接触熱抵抗およ
び接触電気抵抗が低減できる。
【0072】次に、図19を用いて、本発明の電力変換
装置の第8実施形態を説明する。図19は本発明の第8
実施形態の電力変換装置の構造を示す断面図である。
【0073】本実施形態では、入力ブスバー14の冷却
面に絶縁層を設けず、代わりに入力ブスバー14と分離
可能な絶縁シート105をヒートシンク103との間に
挿入した。これにより、素子耐圧の変更による絶縁耐圧
の変更が容易に可能となるため、インバータモジュール
構造をMOSFET以外の異なる耐圧の素子のモジュー
ルとして共通化を図ることができる。
【0074】次に、図20から図22を用いて、本発明
の電力変換装置の第9実施形態を説明する。図20は本
発明の第9実施形態における電力変換装置の構成図であ
る。図21は図20におけるA―A面の断面図である。
図22は図20におけるB―B面の断面図である。
【0075】本実施形態は、第1実施形態に対し、出力
ブスバー18と入力ブスバー14の積層順序を逆転させ
たものである。具体的には出力ブスバー18が冷却面と
なっている。この場合、第1実施形態と比較して冷却性
能がやや落ちるものの、インダクタンスに大きな影響を
及ぼす入力ブスバー14が冷却性能にあまり寄与しない
ため、よりインダクタンスを小さくする必要がある場合
に好適な構造である。
【0076】以上までの実施形態では、チップキャリア
11内に一枚のMOSFETが内蔵された場合について
の例を示したが、当然1つのチップキャリア11内に複
数の半導体スイッチング素子が内蔵されてもよいし、あ
るいは複数のチップキャリア11の並列接続によって、
1スイッチング回路を形成してもよい。また、半導体ス
イッチング素子の電極面に経時劣化を防止するための処
理を施すことにより、チップキャリアで用いている低熱
膨張金属部材を省略したり、あるいは低熱膨張金属部材
を省略した上で、同等の機能を有する金属箔を挿入する
ことで代用することも可能である。
【0077】以上説明した実施形態においては、正極入
力ブスバー14p及び負極入力ブスバー14nと複数の
出力ブスバー18との交差する部分の間に挟持されるよ
うに半導体チップ1を電気的及び熱的に接続して配置す
ると共に、正極入力ブスバー14pに対してはこれに合
致する極性となる向きで半導体チップ1を接続し、かつ
負極入力ブスバー14nに対してはこれに合致する極性
となる向きで半導体チップ1を接続し、さらに、共通す
る出力ブスバー18に対しては極性の向きが異なるもの
で隣合うように半導体チップ1を接続しているので、隣
合う半導体チップ1、隣合う入力ブスバー14及び隣合
う出力ブスバー18をそれぞれ近接して配置することが
でき、全体を極めてコンパクトなものとすることができ
る。これにより、電力変換装置の据付け性を良好なもの
とすることができると共に、回路インダクタンス及び配
線抵抗の低減を図ることができる。この回路インダクタ
ンスの低減により、半導体スイッチング素子のスイッチ
ング時の電圧の跳ね上がりを抑制して半導体チップ1の
破壊を防止でき、信頼性の高い電力変換装置とすること
ができると共に、配線抵抗の低減により電力変換効率の
高い電力変換装置とすることができる。
【0078】また、正極入力ブスバー14p及び負極入
力ブスバー14nを直線状に長く延びると共に同一平面
に並置し、かつ複数の出力ブスバー18を直線状に長く
延びると共に同一平面に並置したので、入力ブスバー1
4及び出力ブスバー18を最も簡単な形状で組合せるこ
とができ、かつより一層コンパクトなものとすることが
できると共に安価なものとすることができる。
【0079】さらには、正極入力ブスバー14p及び負
極入力ブスバー14nをその長手方向における同じ側か
らラミネート状に形成した正極入力端子12p及び負極
入力端子12nに接続し、複数の出力ブスバー18はそ
の長手方向における同じ側でかつ正極入力端子12p及
び負極入力端子12nと異なる側からそれぞれの出力端
子16に接続しているので、出力端子16による制約を
受けることなくかつ並置された正極入力ブスバー14p
及び負極入力ブスバー14nの間を利用して正極入力端
子12p及び負極入力端子12nのラミネート面積を大
きいものとすることができ、これにより回路インダクタ
ンスの低減をより一層図ることができる。
【0080】そして、半導体スイッチング素子を有する
半導体チップ1と、半導体チップ1の両側の正極面及び
負極面に電気的及び熱的に接続された金属部材3とより
半導体チップキャリア11を構成し、正極入力ブスバー
14p及び負極入力ブスバー14nと複数の出力ブスバ
ー18との交差する部分の間に半導体チップキャリア1
1を電気的及び熱的に接続して配置すると共に、正極入
力ブスバー14pに対してはこれに合致する極性となる
向きで接続し、かつ負極入力ブスバー14nに対しては
これに合致する極性となる向きで接続し、さらには共通
する出力ブスバー18に対しては極性の向きが異なるも
ので隣合うように接続しているので、全体がコンパクト
でかつ低い回路インダクタンス及び低い配線抵抗である
ことを保持しつつ、半導体チップ1とその両側の入力ブ
スバー14及び出力ブスバー18との電気的及び熱的接
続を金属部材3を通して効率よく確実に行なうことがで
き、半導体スイッチング素子の動作の確実性と信頼性を
確保することができると共に、最も汚損に弱い半導体チ
ップ1の電極面を金属部材3で閉鎖して電極面に経時劣
化を防止することができる。
【0081】また、半導体チップ1の線膨張係数に近い
線膨張係数を有する低熱膨張金属材料で金属部材3を形
成すると共に、半導体チップ1に接続用半田2を介して
金属部材3を接続して半導体チップキャリア11を構成
しているので、電力変換装置が大電流でかつ頻繁に断続
して動作が行われる過酷な熱サイクルを受けても半導体
チップ1と金属部材3との熱膨張変位量の差異が小さい
ものとなり、接続用半田2に加わる熱疲労を緩和でき、
これにより半導体チップキャリア11の熱疲労破壊を防
止することができる。
【0082】さらには、金属部材3を半導体チップ1の
投影面積より大きい面積にすると共に、その厚さを1〜
2mm程度に形成しているので、半導体チップ1から発
生した熱を平面方向に広く拡散することができると共
に、一般に高価な低熱膨張金属材料の金属部材3の使用
量を少ないものとすることができる。
【0083】そして、入力ブスバー14及び出力ブスバ
ー18を半導体チップキャリア11に加圧する加圧機構
を備えているので、入力ブスバー14及び出力ブスバー
18と半導体チップキャリア11との間に接続用半田等
を介することなく電気的及び熱的に接続することがで
き、接続用半田の熱疲労の問題をなくすことができると
共に製作が容易で安価なものとすることができる。
【0084】そして、ケース20の合成樹脂成形時に一
体に入力ブスバー14または出力ブスバー18をモール
ドし、半導体チップキャリア11を内蔵する入力ブスバ
ー14または出力ブスバー18が露出する反半導体チッ
プキャリア11側の面に電気絶縁層を介して熱的に冷却
器103を接続しているので、外部の塵埃等による半導
体チップキャリア11の汚損を防止することができると
共に、ケース20内部の半導体チップキャリア11を入
力ブスバー14または出力ブスバー18を介して確実に
冷却することができ、半導体チップキャリア11の信頼
性を確保することができる。
【0085】また、ケース20に一体に形成された入力
ブスバー14または出力ブスバー18にその反対側の出
力ブスバー18または入力ブスバー14を加圧する加圧
機構としているので、簡単な構成で加圧することができ
る。
【0086】
【発明の効果】本発明によれば、全体をコンパクトなも
のとして回路インダクタンス及び配線抵抗の低減を図
り、据付け性が良好で信頼性及び電力変換効率が高い電
力変換装置を得ることができる。
【0087】また、本発明によれば、全体をコンパクト
なものとして回路インダクタンス及び配線抵抗の低減を
図ると共に、熱サイクルに対する熱疲労の緩和を図り、
据付け性が良好で信頼性及び電力変換効率が高い電力変
換装置を得ることができる。
【0088】また、本発明によれば、全体をコンパクト
なものとして回路インダクタンス及び配線抵抗の低減を
図ると共に、半導体チップの電極面の経時劣化の防止を
図り、据付け性が良好で信頼性及び電力変換効率が高い
電力変換装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態の電力変換装置の構造を
示す断面図である。
【図2】図1におけるA―A面の断面図である。
【図3】図1におけるB―B面の断面図である。
【図4】図2におけるチップキャリア11の積層方向に
垂直な断面図である。
【図5】図4におけるC―C面の断面図である。
【図6】本発明の第1実施形態における主回路配線およ
びチップキャリアを抽出した斜視図である。
【図7】本発明の第1実施形態における電力変換装置お
よびその周辺機器の構成図である。
【図8】本発明の第1実施形態の電力変換装置の半導体
チップ温度及びヒートシンク表面温度を説明する特性図
である。
【図9】本発明の第1実施形態の電力変換装置の入力バ
スバーの幅と厚さの比に対する熱抵抗及びインダクタン
スの特性図である。
【図10】本発明の第2実施形態の電力変換装置の構造
を示す断面図である。
【図11】本発明の第3実施形態の電力変換装置の構造
を示す断面図である。
【図12】本発明の第4実施形態の電力変換装置の構造
を示す断面図である。
【図13】本発明の第5実施形態の電力変換装置の構造
を示す断面図である。
【図14】本発明の第6実施形態の電力変換装置のチッ
プキャリアの構造を示す断面図である。
【図15】図14におけるD方向から見た構成図であ
る。
【図16】図14にブスバーを組み合わせた断面図であ
る。
【図17】本発明の第7実施形態の電力変換装置のチッ
プキャリア部の構造を示す断面図である。
【図18】図17におけるE−E断面図である。
【図19】本発明の第8実施形態の電力変換装置の構造
を示す断面図である。
【図20】本発明の第9実施形態における電力変換装置
の構成図である。
【図21】図20におけるA―A面の断面図である。
【図22】図20におけるB―B面の断面図である。
【図23】本発明の各実施形態の電力変換装置を適用す
る自動車用電動機の駆動システムの電力変換装置の回路
図である。
【符号の説明】
1…半導体チップ、1p…正極半導体チップ、1n…負
極半導体チップ、2…接続部材、2s…ソース側接続部
材、2d…ドレイン側接続部材、2g…制御端子接続部
材、3…金属部材、3s…ソース側金属部材、3d…ド
レイン側金属部材、4…制御端子、5…位置決め突起
部、6…位置決め用係合部、7…加圧ガイド、11…半
導体チップキャリア、12…入力端子、13…接続配
線、14…入力ブスバー、14p…正極入力ブスバー、
14n…負極入力ブスバー、15…絶縁層、16…出力
端子、17…接続配線、18…出力ブスバー、19…絶
縁体、20…ケース、21…ネジ、22…メネジ部、2
3…弾性体、24…加圧体、25…ボルト締結用穴、2
6…制御配線体、27…制御端子ピン、28…ケースカ
バー、101…電力変換モジュール、102…熱伝導グ
リース、103…ヒートシンク(冷却器)、104…制
御基板、105…絶縁シート、301…電力変換用半導
体スイッチング回路(1相分)、302…平滑コンデン
サ、303…バッテリー、304…平滑コンデンサ、3
05…3相回転電機、306…インバータ回路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三島 彰 茨城県日立市大みか町七丁目1番1号 株 式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者 印南 敏之 茨城県ひたちなか市大字高場2520番地 株 式会社日立製作所自動車機器グループ内 (72)発明者 藤野 伸一 茨城県ひたちなか市大字高場2520番地 株 式会社日立製作所自動車機器グループ内 (72)発明者 森 英明 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 高橋 研二 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 増野 敬一 茨城県ひたちなか市大字高場2520番地 株 式会社日立製作所自動車機器グループ内 (72)発明者 阿南 裕康 東京都千代田区神田駿河台四丁目6番地 株式会社日立製作所内 Fターム(参考) 5H007 AA06 HA03 HA04 HA05 HA07 5H740 BA12 BB05 MM10 NN17 PP01 PP02 PP04 PP06

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】外部より電力を入力する複数の入力ブスバ
    ーと、外部へ電力を出力する複数の出力ブスバーと、前
    記入力ブスバー及び前記出力ブスバーに電気的に接続さ
    れると共に入力される電力を変換して出力する複数の半
    導体チップとを備え、前記半導体チップは半導体スイッ
    チング素子を有しており、複数の前記入力ブスバーは、
    正極入力ブスバーと負極入力ブスバーとを有すると共
    に、並置して長く延びるように設け、複数の前記出力ブ
    スバーは、並置して長く延びると共に、前記正極入力ブ
    スバー及び前記負極入力ブスバーの長手方向と交差する
    ように設け、複数の前記半導体チップは、前記正極入力
    ブスバー及び前記負極入力ブスバーと複数の前記出力ブ
    スバーとの交差する部分の間に挟持されるように電気的
    及び熱的に接続して配置すると共に、前記正極入力ブス
    バーに対してはこれに合致する極性となる向きで接続
    し、かつ前記負極入力ブスバーに対してはこれに合致す
    る極性となる向きで接続し、さらに、共通する前記出力
    ブスバーに対しては極性の向きが異なるもので隣合うよ
    うに接続したことを特徴とする電力変換装置。
  2. 【請求項2】請求項1に記載の電力変換装置において、
    前記正極入力ブスバー及び前記負極入力ブスバーは直線
    状に長く延びると共に同一平面上に並置し、複数の前記
    出力ブスバーは、直線状に長く延びると共に同一平面に
    並置し、かつ前記正極入力ブスバー及び前記負極入力ブ
    スバーの長手方向とほぼ直交するように設けたことを特
    徴とする電力変換装置。
  3. 【請求項3】請求項1に記載の電力変換装置において、
    前記正極入力ブスバー及び前記負極入力ブスバーはその
    長手方向における同じ側からラミネート状に形成した正
    極入力端子及び負極入力端子に接続し、複数の前記出力
    ブスバーはその長手方向における同じ側でかつ正極入力
    端子及び負極入力端子と異なる側からそれぞれの出力端
    子に接続したことを特徴とする電力変換装置。
  4. 【請求項4】請求項1に記載の電力変換装置において、
    前記各半導体チップは半導体スイッチング素子及びこれ
    に逆並列接続したダイオードを有するMOSFETで構
    成し、前記出力ブスバーは3つで形成し、前記入力ブス
    バーと前記出力ブスバーとの間に前記半導体チップを3
    相ブリッジ回路を形成するように接続して入力される直
    流電力を3相交流電力に変換するように構成したことを
    特徴とする電力変換装置。
  5. 【請求項5】外部より電力を入力する複数の入力ブスバ
    ーと、外部へ電力を出力する複数の出力ブスバーと、前
    記入力ブスバー及び前記出力ブスバーに電気的に接続さ
    れると共に入力される電力を変換して出力する複数の半
    導体チップキャリアとを備え、複数の前記入力ブスバー
    は、正極入力ブスバーと負極入力ブスバーとを有すると
    共に、並置して長く延びるように設け、複数の前記出力
    ブスバーは、並置して長く延びると共に、前記正極入力
    ブスバー及び前記負極入力ブスバーの長手方向と交差す
    るように設け、前記半導体チップキャリアは、半導体ス
    イッチング素子を有する半導体チップと、前記半導体チ
    ップの両側の正極面及び負極面に電気的及び熱的に接続
    された金属部材とを有すると共に、前記正極入力ブスバ
    ー及び前記負極入力ブスバーと複数の前記出力ブスバー
    との交差する部分の間に挟持されるように電気的及び熱
    的に接続して配置すると共に、前記正極入力ブスバーに
    対してはこれに合致する極性となる向きで接続し、かつ
    前記負極入力ブスバーに対してはこれに合致する極性と
    なる向きで接続し、さらには共通する前記出力ブスバー
    に対しては極性の向きが異なるもので隣合うように接続
    したことを特徴とする電力変換装置。
  6. 【請求項6】請求項5に記載の電力変換装置において、
    前記金属部材は、前記半導体チップの線膨張係数に近い
    線膨張係数を有する低熱膨張金属材料で形成すると共
    に、前記半導体チップに接合部材を介して接続したこと
    を特徴とする電力変換装置。
  7. 【請求項7】請求項6に記載の電力変換装置において、
    前記金属部材は線膨張係数が3から10の範囲の低熱膨
    張金属材料で形成したことを特徴とする電力変換装置。
  8. 【請求項8】請求項5に記載の電力変換装置において、
    前記半導体チップキャリアと前記入力ブスバーまたは出
    力ブスバーの突起部及び係合部を係合して両者の位置を
    確定する位置決め機構を設けたことを特徴とする電力変
    換装置。
  9. 【請求項9】請求項5に記載の電力変換装置において、
    前記金属部材は、前記半導体チップの投影面積より大き
    い面積にすると共に、厚さを1〜2mm程度に薄く形成
    したことを特徴とする電力変換装置。
  10. 【請求項10】外部より電力を入力する複数の入力ブス
    バーと、外部へ電力を出力する複数の出力ブスバーと、
    前記入力ブスバー及び前記出力ブスバーに電気的に接続
    されると共に入力される電力を変換して出力する複数の
    半導体チップキャリアと、前記入力ブスバー及び前記出
    力ブスバーを前記半導体チップキャリアに加圧する加圧
    機構とを備え、複数の前記入力ブスバーは、正極入力ブ
    スバーと負極入力ブスバーとを有すると共に、並置して
    長く延びるように設け、複数の前記出力ブスバーは、並
    置して長く延びると共に、前記正極入力ブスバー及び前
    記負極入力ブスバーの長手方向と交差するように設け、
    前記半導体チップキャリアは、半導体スイッチング素子
    を有する半導体チップと、前記半導体チップの両側の正
    極面及び負極面に接続用半田を介して電気的及び熱的に
    接続された低熱膨張金属部材とを有すると共に、前記正
    極入力ブスバー及び前記負極入力ブスバーと複数の前記
    出力ブスバーとの交差する部分の間に挟持されるように
    電気的及び熱的に接続して配置すると共に、前記正極入
    力ブスバーに対してはこれに合致する極性となる向きで
    接続し、かつ前記負極入力ブスバーに対してはこれに合
    致する極性となる向きで接続し、さらには共通する前記
    出力ブスバーに対しては極性の向きが異なるもので隣合
    うように接続したことを特徴とする電力変換装置。
  11. 【請求項11】請求項10に記載の電力変換装置におい
    て、前記入力ブスバーの幅と厚さの比を5〜20の範囲
    に設定したことを特徴とする電力変換装置。
  12. 【請求項12】外部より電力を入力する複数の入力ブス
    バーと、外部へ電力を出力する複数の出力ブスバーと、
    前記入力ブスバー及び前記出力ブスバーに電気的に接続
    されると共に入力される電力を変換して出力する複数の
    半導体チップキャリアと、前記半導体チップキャリアを
    内蔵するケースと、前記入力ブスバーまたは出力ブスバ
    ーを冷却する冷却器とを備え、複数の前記入力ブスバー
    と複数の前記出力ブスバーとは交差するように設け、前
    記半導体チップキャリアは、半導体スイッチング素子を
    有する半導体チップと、前記半導体チップの両側の正極
    面及び負極面に電気的及び熱的に接続された金属部材と
    を有すると共に、複数の前記入力ブスバーと複数の前記
    出力ブスバーとの交差する部分の間に挟持されるように
    電気的及び熱的に接続して配置すると共に、前記正極入
    力ブスバーに対してはこれに合致する極性となる向きで
    接続し、かつ前記負極入力ブスバーに対してはこれに合
    致する極性となる向きで接続し、さらには共通する前記
    出力ブスバーに対しては極性の向きが異なるもので隣合
    うように接続し、前記ケースは、全体を合成樹脂で形成
    し、その合成樹脂成形時に、前記入力ブスバーまたは前
    記出力ブスバーの側面を一体にモールドして反半導体チ
    ップキャリア側の面を外部に露出し、前記冷却器は、前
    記ケースの外部に配置すると共に、前記入力ブスバーま
    たは前記出力ブスバーが露出する反半導体チップキャリ
    ア側の面に電気絶縁層を介して熱的に接続したことを特
    徴とする電力変換装置。
  13. 【請求項13】請求項12に記載の電力変換装置におい
    て、前記ケースに一体に形成された前記入力ブスバーま
    たは前記出力ブスバーにその反対側の前記出力ブスバー
    または前記入力ブスバーを加圧する加圧機構を設けたこ
    とを特徴とする電力変換装置。
  14. 【請求項14】バッテリより直流電力を入力する複数の
    入力ブスバーと、自動車駆動用回転電機へ交流電力を出
    力する複数の出力ブスバーと、前記入力ブスバー及び前
    記出力ブスバーに電気的に接続されると共に入力される
    直流電力を3相交流電力に変換して出力する複数の半導
    体チップキャリアと、前記半導体チップキャリアを内蔵
    するケースと、前記入力ブスバーまたは出力ブスバーを
    冷却する冷却器と、前記入力ブスバー及び前記出力ブス
    バーを前記半導体チップキャリアに加圧する加圧機構と
    を備え、複数の前記入力ブスバーは、正極入力ブスバー
    と負極入力ブスバーとを有するものであり、複数の前記
    出力ブスバーは、3つで形成すると共に、前記正極入力
    ブスバー及び前記負極入力ブスバーと交差するように設
    け、前記半導体チップキャリアは、半導体スイッチング
    素子及びこれに逆並列接続したダイオードをMOSFE
    Tで形成した半導体チップと、前記半導体チップの両側
    の正極面及び負極面に電気的及び熱的に接続された金属
    部材とを有すると共に、複数の前記入力ブスバーと複数
    の前記出力ブスバーとの交差する部分の間に挟持される
    ように電気的及び熱的に接続して配置すると共に、前記
    正極入力ブスバーに対してはこれに合致する極性となる
    向きで接続し、かつ前記負極入力ブスバーに対してはこ
    れに合致する極性となる向きで接続すると共に、さらに
    は共通する前記出力ブスバーに対しては極性の向きが異
    なるもので隣合うように接続して、3相ブリッジ回路を
    形成し、前記ケースは、合成樹脂で形成し、その合成樹
    脂成形時に、前記入力ブスバーまたは前記出力ブスバー
    を一体に形成すると共に、反半導体チップキャリア面を
    外部に露出するように形成し、前記冷却器は、前記ケー
    スの外部に配置すると共に、前記入力ブスバーまたは前
    記出力ブスバーが露出する反半導体チップキャリア側の
    面に電気絶縁層を介して熱的に接続し、前記加圧機構
    は、前記ケースに一体に形成された前記入力ブスバーま
    たは前記出力ブスバーにその反対側の前記出力ブスバー
    または前記入力ブスバーを加圧するように設けたことを
    特徴とする電力変換装置。
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