JP7438071B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
先ず、第1の実施形態について説明する。
図1は、本実施形態に係る半導体装置を示す上面図である。
図2は、本実施形態に係る半導体装置の基板、第1リード、第2リード、及び第1チップを示す上面図である。
図3は、本実施形態に係る半導体装置の基板、第1リード、第2リード、第1チップ、第1コネクタ、及び第2コネクタを示す上面図である。
図4は、図1のA-A’線における断面図である。
図5は、図1のB-B’線における断面図である。
図6(a)は、図1のC-C’線における断面図である。図6(b)は、本実施形態に係る半導体装置の第1チップの下面及び第2チップの上面を示す平面図である。
図7(a)は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す上面図であり、図7(b)は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
図8(a)は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す上面図であり、図8(b)は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
図9(a)は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す上面図であり、図9(b)は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
図10(a)は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す上面図であり、図10(b)は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
図11(a)は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す上面図であり、図11(b)は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
基板110、第1コネクタ160、第2コネクタ170、及び第3コネクタ180により、第1チップ140と第2チップ150が並列に接続される。これにより、半導体装置100のオン抵抗を抑制しつつ、半導体装置100が出力可能な電流を増加させることができる。特に、本実施形態では、第1チップ140及び第2チップ150の耐圧は、100V以上である。各チップ140、150の耐圧が高いほど、半導体装置100の総オン抵抗に占めるトランジスタのオン抵抗の割合が高い。そのため、各チップ140、150の耐圧が高いほど、並列接続によるオン抵抗の抑制の効果が顕著になる。
次に、第2の実施形態について説明する。
図12(a)は、本実施形態に係る半導体装置の第1コネクタを示す上面図、図12(b)は、図12(a)のD-D’線における断面図である。
図13は、本実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。
図14は、本実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。
本実施形態に係る半導体装置200は、第1コネクタ260の第1先端部261及び第2コネクタ270の第2先端部271の形状において、第1の実施形態に係る半導体装置100と相違する。
なお、以下の説明においては、原則として、第1の実施形態との相違点のみを説明する。以下に説明する事項以外は、第1の実施形態と同様である。
次に、第3の実施形態について説明する。
図15(a)は、本実施形態に係る半導体装置における第1コネクタを示す上面図であり、図15(b)は、図15(a)のE-E’線における断面図である。
本実施形態に係る半導体装置300は、第1コネクタ360の第1先端部361の形状において、第1の実施形態に係る半導体装置100と相違する。
次に、第4の実施形態について説明する。
図16は、本実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。
本実施形態に係る半導体装置400は、ドレイン電極443、453同士が対向するように第1チップ440及び第2チップ450が配置されている点等で第1の実施形態と相違する。
中間部463は、先端部461の端部及び基端部462の上端に接続されている。
次に、第5の実施形態について説明する。
図17は、本実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。
本実施形態に係る半導体装置500は、第1コネクタ560の先端部561の形状において第4の実施形態に係る半導体装置400と相違する。
なお、以下の説明においては、原則として、第4の実施形態との相違点のみを説明する。以下に説明する事項以外は、第4の実施形態と同様である。
次に、第6の実施形態について説明する。
図18は、本実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。
本実施形態に係る半導体装置600は、第1コネクタ660の先端部661の形状において第4の実施形態に係る半導体装置400と相違する。
図19(a)は、第1コネクタの変形例を示す断面図であり、図19(b)は、第1コネクタの変形例を示す断面図である。
第1の実施形態における第1コネクタ160及び第4の実施形態における第1コネクタ460は、図19(a)及び図19(b)に示す第1コネクタ760と置換してもよい。第1コネクタ760の先端部761は、平板部761aと、平板部761aに設けられた1以上の凸部761bと、を有する。なお、平板部761aの上面に設けられた凸部761bの数と、平板部761aの下面に設けられた凸部761bの数は、同じであることが好ましい。ただし、凸部761bの数は、1以上であれば特に限定されない。
図20は、第1チップ及び第2チップの変形例を示す平面図である。
第1の実施形態では、第1チップ140及び第2チップ150の形状が正方形であり、第1チップ140は、第2チップ150と平面Pに対して対称である例を説明した。
110、410:基板
111 :本体部
111a :上面
111b :下面
112 :延伸部
113 :接合部材
113F :半田
120 :第1リード
121 :第1延伸部
122 :第2延伸部
123 :接合部材
123F :半田
130 :第2リード
131 :第1延伸部
132 :第2延伸部
133 :接合部材
133F :半田
140、440:第1チップ
140a :上面
140b :下面
141、441:ソース電極
141a、441a:接合部材
141aF :半田
142、442:ゲート電極
142a、442a:接合部材
142aF :半田
143、443:ドレイン電極
143a、443a:接合部材
143aF :半田
150、450:第2チップ
150a :下面
150b :上面
151、451:ソース電極
151a、451a:接合部材
151aF :半田
152、452:ゲート電極
152a、452a:接合部材
152aF :半田
153、453:ドレイン電極
153a、453a:接合部材
153aF :半田
160、260、360、460、560、660、760:第1コネクタ
161、261、361:第1先端部
162 :第1基端部
163 :第1中間部
170、270、470:第2コネクタ
171、271:第2先端部
172 :第2基端部
173 :第2中間部
180、480:第3コネクタ
181 :第3先端部
182 :第3基端部
183 :第3中間部
190 :樹脂部材
241a、242a、251a、252a:接合部材
261a、361a:第1部分
261b、361b:第2部分
261c :第3部分
271a、271b、271c、271d:曲げ部
411 :絶縁層
412 :第1配線
412a :接合部材
413 :第2配線
414 :第3配線
414a :接合部材
461、561、661:先端部
462 :基端部
463 :中間部
561a :第1部分
561b :第2部分
561c :第3部分
761a :平板部
761b :凸部
D1~D4 :距離
P :平面
Claims (10)
- 第1面に第1電極及び第2電極が設けられ、前記第1面の反対側に位置する第2面に第3電極が設けられた第1チップと、
第3面に第4電極及び第5電極が設けられ、前記第3面の反対側に位置する第4面に第6電極が設けられ、前記第3面が前記第1面と対向するように配置された第2チップと、
前記第1チップの前記第2面と対向するように配置され、前記第3電極に接続された基板と、
前記第1チップと前記第2チップとの間に配置され、前記第1電極及び前記第4電極に接続され、前記第1電極と前記第4電極の間から第1方向に引き出された第1コネクタと、
前記第1チップと前記第2チップとの間に配置され、前記第2電極及び前記第5電極に接続され、前記第2電極と前記第5電極の間から前記第1方向に引き出された第2コネクタと、
前記第2チップの前記第6電極及び前記基板に接続され、前記第6電極に接続された部分から前記第1方向に対して直交する第2方向に引き出された第3コネクタと、
を備える半導体装置。 - 前記第1コネクタに接続された第1リードと、
前記第2コネクタに接続された第2リードと、
をさらに備え、
前記第1コネクタは、
前記第1電極と前記第4電極との間に配置された第1先端部と、
前記第1リード上に配置された第1基端部と、
第1先端部と第1基端部との間に位置する第1中間部と、
を有し、
前記第2コネクタは、
前記第2電極と前記第5電極との間に配置された第2先端部と、
第2リード上に配置された第2基端部と、
第2先端部と第2基端部との間に位置する第2中間部と、
を有し、
前記第3コネクタは、
前記第6電極上に配置された第3先端部と、
前記基板上に配置された第3基端部と、
前記第3先端部と前記第3基端部との間に位置する第3中間部と、
を有し、
前記第1基端部の幅は前記第1中間部と前記第1先端部の境界の幅よりも広く、
前記第2基端部の幅は前記第2中間部と前記第2先端部の境界の幅よりも広く、
前記第3基端部の幅は前記第3中間部と前記第3先端部の境界の幅よりも広い請求項1に記載の半導体装置。 - 第1面に第1電極及び第2電極が設けられ、前記第1面の反対側に位置する第2面に第3電極が設けられた第1チップと、
第3面に第4電極及び第5電極が設けられ、前記第3面の反対側に位置する第4面に第6電極が設けられ、前記第3面が前記第1面と対向するように配置された第2チップと、
前記第1チップの前記第2面と対向するように配置され、前記第3電極に接続された基板と、
前記第1チップと前記第2チップとの間に配置され、前記第1電極及び前記第4電極に接続された第1コネクタと、
前記第1チップと前記第2チップとの間に配置され、前記第2電極及び前記第5電極に接続された第2コネクタと、
前記第2チップの前記第6電極及び前記基板に接続された第3コネクタと、
前記第1コネクタに接続された第1リードと、
前記第2コネクタに接続された第2リードと、
を備え、
前記第1コネクタは、
前記第1電極と前記第4電極との間に配置された第1先端部と、
前記第1リード上に配置された第1基端部と、
第1先端部と第1基端部との間に位置する第1中間部と、
を有し、
前記第2コネクタは、
前記第2電極と前記第5電極との間に配置された第2先端部と、
第2リード上に配置された第2基端部と、
第2先端部と第2基端部との間に位置する第2中間部と、
を有し、
前記第3コネクタは、
前記第6電極上に配置された第3先端部と、
前記基板上に配置された第3基端部と、
前記第3先端部と前記第3基端部との間に位置する第3中間部と、
を有し、
前記第1基端部の幅は前記第1中間部と前記第1先端部の境界の幅よりも広いか、
前記第2基端部の幅は前記第2中間部と前記第2先端部の境界の幅よりも広いか、又は、
前記第3基端部の幅は前記第3中間部と前記第3先端部の境界の幅よりも広い半導体装置。 - 前記第1基端部の幅は前記第1中間部と前記第1先端部の境界の幅よりも広く、
前記第2基端部の幅は前記第2中間部と前記第2先端部の境界の幅よりも広く、且つ、
前記第3基端部の幅は前記第3中間部と前記第3先端部の境界の幅よりも広い請求項3に記載の半導体装置。 - 第1面に第1電極及び第2電極が設けられ、前記第1面の反対側に位置する第2面に第3電極が設けられた第1チップと、
第3面に第4電極及び第5電極が設けられ、前記第3面の反対側に位置する第4面に第6電極が設けられ、前記第3面が前記第1面と対向するように配置された第2チップと、
前記第1チップと前記第2チップとの間に配置され、前記第1電極及び前記第4電極に接続された第1コネクタと、
前記第1チップと前記第2チップとの間に配置され、前記第2電極及び前記第5電極に接続された第2コネクタと、
を備え、
前記第1コネクタにおいて前記第1電極と前記第4電極との間に位置する第1先端部は、
第1部分と、
前記第1部分の周囲に設けられ、前記第1電極との距離が前記第1部分と前記第1電極との距離よりも短く、前記第4電極との距離が前記第1部分と前記第4電極との距離よりも長い第2部分と、
を有し、
前記第1部分の上面の面積は、前記第2部分の下面の面積と等しい半導体装置。 - 第1面に第1電極及び第2電極が設けられ、前記第1面の反対側に位置する第2面に第3電極が設けられた第1チップと、
第3面に第4電極及び第5電極が設けられ、前記第3面の反対側に位置する第4面に第6電極が設けられ、前記第3面が前記第1面と対向するように配置された第2チップと、
前記第1チップと前記第2チップとの間に配置され、前記第1電極及び前記第4電極に接続された第1コネクタと、
前記第1チップと前記第2チップとの間に配置され、前記第2電極及び前記第5電極に接続された第2コネクタと、
を備え、
前記第2コネクタにおいて前記第2電極と前記第5電極との間に位置する第2先端部は、丸められた形状を有する半導体装置。 - 前記第1コネクタにおいて前記第1電極と前記第4電極との間に位置する第1先端部は、波状の形状を有する請求項1~6のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記第1コネクタにおいて前記第1電極と前記第4電極との間に位置する第1先端部は、前記第1電極又は前記第4電極に向かって突出した凸部を有する請求項1~6のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 第1面に第1電極及び第2電極が設けられ、前記第1面の反対側に位置する第2面に第3電極が設けられた第1チップと、
第3面に第4電極及び第5電極が設けられ、前記第3面の反対側に位置する第4面に第6電極が設けられ、前記第4面が前記第2面と対向するように配置された第2チップと、
前記第1チップの前記第1面と対向するように配置され、前記第1電極に接続された第1配線と、前記第2電極に接続された第2配線と、を有する基板と、
前記第3電極と前記第6電極との間に配置され、前記第3電極及び前記第6電極に接続され、前記第3電極と前記第6電極の間から第1方向に引き出された第1コネクタと、
前記第2チップの前記第4電極及び前記第1配線に接続され、前記第4電極に接続された部分から前記第1方向とは異なる第2方向に引き出された第2コネクタと、
前記第2チップの前記第5電極及び前記第2配線に接続され、前記第5電極に接続された部分から前記第1方向及び前記第2方向とは異なる第3方向に引き出された第3コネクタと、
を備える半導体装置。 - 第1面に第1電極及び第2電極が設けられ、前記第1面の反対側に位置する第2面に第3電極が設けられた第1チップと、
第3面に第4電極及び第5電極が設けられ、前記第3面の反対側に位置する第4面に第6電極が設けられ、前記第4面が前記第2面と対向するように配置された第2チップと、
前記第3電極と前記第6電極との間に配置され、前記第3電極及び前記第6電極に接続された第1コネクタと、
を備え、
前記第1コネクタにおいて前記第3電極と前記第6電極との間に位置する先端部は、
第1部分と、
前記第1部分の周囲に設けられ、前記第3電極との距離が前記第1部分と前記第3電極との距離よりも短く、前記第6電極との距離が前記第1部分と前記第6電極との距離よりも長い第2部分と、
を有し、
前記第1部分の上面の面積は、前記第2部分の下面の面積と等しい半導体装置。
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