JP2002036079A - 被研磨物の研磨方法及び研磨装置 - Google Patents
被研磨物の研磨方法及び研磨装置Info
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- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B9/00—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor
- B24B9/02—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground
- B24B9/06—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
- B24B9/065—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain of thin, brittle parts, e.g. semiconductors, wafers
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被研磨物の一方の面にしかチャックによる痕
跡が形成されないように構成する。 【解決手段】 被研磨物保持部材１７に被研磨物２５の
一方の面を保持し、被研磨物保持部材１７と一方の研磨
部材１との間を移動させて被研磨物２５の下面側の面取
り部２６を一方の研磨部材１の研磨パッド６に当接さ
せ、被研磨物保持部材１７と一方の研磨部材１とを回転
させて被研磨物２５の下面側の面取り部２６の研磨を行
う。この後、被研磨物保持部材１７と他方の研磨部材１
０とを移動させて被研磨物２５の上面側の面取り部２７
を他方の研磨部材１０の研磨パッド１５に当接させ、被
研磨物保持部材１７と他方の研磨部材１０とを回転させ
て被研磨物２５の上面側の面取り部２７の研磨を行う。
跡が形成されないように構成する。 【解決手段】 被研磨物保持部材１７に被研磨物２５の
一方の面を保持し、被研磨物保持部材１７と一方の研磨
部材１との間を移動させて被研磨物２５の下面側の面取
り部２６を一方の研磨部材１の研磨パッド６に当接さ
せ、被研磨物保持部材１７と一方の研磨部材１とを回転
させて被研磨物２５の下面側の面取り部２６の研磨を行
う。この後、被研磨物保持部材１７と他方の研磨部材１
０とを移動させて被研磨物２５の上面側の面取り部２７
を他方の研磨部材１０の研磨パッド１５に当接させ、被
研磨物保持部材１７と他方の研磨部材１０とを回転させ
て被研磨物２５の上面側の面取り部２７の研磨を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は被研磨物の研磨方
法及び研磨装置に関し、特に、シリコンウエハ等の円板
状の被研磨物の外周部の面取り部を研磨するのに有効な
被研磨物の研磨方法及び研磨装置に関するものである。
法及び研磨装置に関し、特に、シリコンウエハ等の円板
状の被研磨物の外周部の面取り部を研磨するのに有効な
被研磨物の研磨方法及び研磨装置に関するものである。
【０００２】
【従来技術およびその問題点】シリコンウエハ等の円板
状の被研磨物の外周部の面取り部を研磨する研磨方法の
一例が特開平１０−２９１４２号公報に記載されてい
る。この研磨方法は、研磨台の凹形状の研磨面に、チャ
ックに吸着、貼着等の手段によって固定した被研磨物で
ある円板状の半導体ウエハの外周部の面取り部を当接さ
せて押圧し、この状態で研磨台とチャックとを相対的に
回転させて半導体ウエハの外周部の面取り部を研磨する
ように構成したものである。
状の被研磨物の外周部の面取り部を研磨する研磨方法の
一例が特開平１０−２９１４２号公報に記載されてい
る。この研磨方法は、研磨台の凹形状の研磨面に、チャ
ックに吸着、貼着等の手段によって固定した被研磨物で
ある円板状の半導体ウエハの外周部の面取り部を当接さ
せて押圧し、この状態で研磨台とチャックとを相対的に
回転させて半導体ウエハの外周部の面取り部を研磨する
ように構成したものである。
【０００３】しかしながら、このような構成の研磨方法
にあっては、半導体ウエハの外周部の上下面の面取り部
を研磨する場合に、まず、半導体ウエハの上面をチャッ
クに固定して外周部の下面側の面取り部を研磨し、この
後に、半導体ウエハを反転して下面をチャックに固定し
て外周部の上面側の面取り部を研磨しなければならな
い。このため、半導体ウエハの上下面にチャックによる
吸着痕、貼着痕等の痕跡が残ってしまい、それらが後の
工程に影響を与えてしまい、生産効率が著しく低下して
しまう。
にあっては、半導体ウエハの外周部の上下面の面取り部
を研磨する場合に、まず、半導体ウエハの上面をチャッ
クに固定して外周部の下面側の面取り部を研磨し、この
後に、半導体ウエハを反転して下面をチャックに固定し
て外周部の上面側の面取り部を研磨しなければならな
い。このため、半導体ウエハの上下面にチャックによる
吸着痕、貼着痕等の痕跡が残ってしまい、それらが後の
工程に影響を与えてしまい、生産効率が著しく低下して
しまう。
【０００４】この発明は前記のような従来のもののもつ
問題点を解決したものであって、被研磨物の一方の面に
しか吸着痕、貼着痕等の痕跡が残らないように構成する
ことで、後の工程に影響を与えることがなく、生産効率
を大幅に高めることができる被研磨物の研磨方法及び研
磨装置を提供することを目的とするものである。
問題点を解決したものであって、被研磨物の一方の面に
しか吸着痕、貼着痕等の痕跡が残らないように構成する
ことで、後の工程に影響を与えることがなく、生産効率
を大幅に高めることができる被研磨物の研磨方法及び研
磨装置を提供することを目的とするものである。
【０００５】
【問題点を解決するための手段】上記の目的を達成する
ためにこの発明による被研磨物の研磨方法は、被研磨物
の一方の面を被研磨物保持部材で保持した状態で一方の
面側の面取り部を一方の研磨部材で研磨し、この後、被
研磨物の他方の面側の面取り部を他方の研磨部材で研磨
するようにした手段を採用したものである。また、被研
磨物の一方の面を被研磨物保持部材で保持し、この状態
で被研磨物の一方の面取り部を一方の研磨部材で研磨
し、この後、被研磨物保持部材及び一方の研磨部材と他
方の研磨部材との間を移動させて被研磨物の他方の面取
り部を他方の研磨部材で研磨するようにした手段を採用
したものである。さらに、前記被研磨物保持部材の一方
の研磨部材の他方の研磨部材に対する傾きを調整可能と
した手段を採用したものである。さらに、被研磨物の一
方の面を一方の被研磨物保持部材に保持し、この状態で
被研磨物の一方の面取り部を一方の研磨部材で研磨し、
この後、被研磨物を一方の被研磨物保持部材から外すと
ともに、被研磨物の一方の面を他方の被研磨物保持部材
で保持し直し、この状態で被研磨物の他方の面取り部を
他方の研磨部材で研磨する手段を採用したものである。
さらに、前記一方の被研磨物保持部材の一方の研磨部材
に対する傾き、及び前記他方の被研磨物保持部材の他方
の研磨部材に対する傾きを調整可能とした手段を採用し
たものである。また、この発明による研磨装置は、内面
の少なくとも一部が研磨面に形成された一方の研磨部材
と、該一方の研磨部材との間を移動可能かつ回転可能に
設けられるとともに、先端部に被研磨物の一方の面を保
持可能な被研磨物保持部材と、該被研磨物保持部材との
間を移動可能かつ回転可能に設けられるとともに、内面
の少なくとも一部が研磨面に形成された他方の研磨部材
とを具えた手段を採用したものである。さらに、内面の
少なくとも一部が研磨面に形成される一方の研磨部材
と、該一方の研磨部材との間を移動可能かつ回転可能に
設けられるとともに、先端部に被研磨物の一方の面を保
持可能な被研磨物保持部材と、前記一方の研磨部材及び
前記被研磨物保持部材との間を移動可能かつ回転可能に
設けられるとともに、内面の少なくとも一部が研磨面に
形成された他方の研磨部材とを具えた手段を採用したも
のである。さらに、前記被研磨物保持部材の前記一方の
研磨部材及び他方の研磨部材に対する傾きを調整可能と
した手段を採用したものである。さらに、内面の少なく
とも一部が研磨面に形成された一方の研磨部材と、該一
方の研磨部材との間を移動可能かつ回転可能に設けられ
るとともに、先端部に被研磨物の一方の面を保持可能な
一方の被研磨物保持部材と、内面の少なくとも一部が研
磨面に形成される他方の研磨部材と、該他方の研磨部材
との間を移動可能かつ回転可能に設けられるとともに、
先端部に被研磨物の一方の面を保持可能な他方の被研磨
物保持部材とを具えた手段を採用したものである。さら
に、前記一方の被研磨物保持部材の前記一方の研磨部材
に対する傾き、及び前記他方の被研磨物保持部材の前記
他方の研磨部材に対する傾きを調整可能とした手段を採
用したものである。
ためにこの発明による被研磨物の研磨方法は、被研磨物
の一方の面を被研磨物保持部材で保持した状態で一方の
面側の面取り部を一方の研磨部材で研磨し、この後、被
研磨物の他方の面側の面取り部を他方の研磨部材で研磨
するようにした手段を採用したものである。また、被研
磨物の一方の面を被研磨物保持部材で保持し、この状態
で被研磨物の一方の面取り部を一方の研磨部材で研磨
し、この後、被研磨物保持部材及び一方の研磨部材と他
方の研磨部材との間を移動させて被研磨物の他方の面取
り部を他方の研磨部材で研磨するようにした手段を採用
したものである。さらに、前記被研磨物保持部材の一方
の研磨部材の他方の研磨部材に対する傾きを調整可能と
した手段を採用したものである。さらに、被研磨物の一
方の面を一方の被研磨物保持部材に保持し、この状態で
被研磨物の一方の面取り部を一方の研磨部材で研磨し、
この後、被研磨物を一方の被研磨物保持部材から外すと
ともに、被研磨物の一方の面を他方の被研磨物保持部材
で保持し直し、この状態で被研磨物の他方の面取り部を
他方の研磨部材で研磨する手段を採用したものである。
さらに、前記一方の被研磨物保持部材の一方の研磨部材
に対する傾き、及び前記他方の被研磨物保持部材の他方
の研磨部材に対する傾きを調整可能とした手段を採用し
たものである。また、この発明による研磨装置は、内面
の少なくとも一部が研磨面に形成された一方の研磨部材
と、該一方の研磨部材との間を移動可能かつ回転可能に
設けられるとともに、先端部に被研磨物の一方の面を保
持可能な被研磨物保持部材と、該被研磨物保持部材との
間を移動可能かつ回転可能に設けられるとともに、内面
の少なくとも一部が研磨面に形成された他方の研磨部材
とを具えた手段を採用したものである。さらに、内面の
少なくとも一部が研磨面に形成される一方の研磨部材
と、該一方の研磨部材との間を移動可能かつ回転可能に
設けられるとともに、先端部に被研磨物の一方の面を保
持可能な被研磨物保持部材と、前記一方の研磨部材及び
前記被研磨物保持部材との間を移動可能かつ回転可能に
設けられるとともに、内面の少なくとも一部が研磨面に
形成された他方の研磨部材とを具えた手段を採用したも
のである。さらに、前記被研磨物保持部材の前記一方の
研磨部材及び他方の研磨部材に対する傾きを調整可能と
した手段を採用したものである。さらに、内面の少なく
とも一部が研磨面に形成された一方の研磨部材と、該一
方の研磨部材との間を移動可能かつ回転可能に設けられ
るとともに、先端部に被研磨物の一方の面を保持可能な
一方の被研磨物保持部材と、内面の少なくとも一部が研
磨面に形成される他方の研磨部材と、該他方の研磨部材
との間を移動可能かつ回転可能に設けられるとともに、
先端部に被研磨物の一方の面を保持可能な他方の被研磨
物保持部材とを具えた手段を採用したものである。さら
に、前記一方の被研磨物保持部材の前記一方の研磨部材
に対する傾き、及び前記他方の被研磨物保持部材の前記
他方の研磨部材に対する傾きを調整可能とした手段を採
用したものである。
【０００６】
【作用】この発明は前記のような手段を採用したことに
より、被研磨物の一方の面を被研磨物保持部材に保持
し、この状態で被研磨物保持部材に対して一方の研磨部
材を移動させて被研磨物の一方の面取り部を一方の研磨
部材の研磨面に当接させ、被研磨物保持部材に対して一
方の研磨部材を回転させることにより、被研磨物の一方
の面取り部が研磨されることになる。そして、被研磨物
保持部材に対して他方の研磨部材を移動させ、又は被研
磨物保持部材及び一方の研磨部材を一体としてそれらに
対して他方の研磨部材を移動させ、被研磨物の他方の面
取り部を他方の研磨部材の研磨面に当接させ、被研磨物
保持部材に対して他方の研磨部材を回転させることによ
り被研磨物の他方の面取り部が研磨されることになる。
さらに、被研磨物の一方の面を一方の被研磨物保持部材
に保持し、この状態で一方の被研磨物保持部材に対して
一方の研磨部材を移動させて被研磨物の一方の面取り部
を一方の研磨部材の研磨面に当接させ、一方の被研磨物
保持部材に対して一方の研磨部材を回転させることによ
り、被研磨物の一方の面取り部が研磨されることにな
る。そして、一方の被研磨物保持部材から被研磨物を外
して被研磨物の一方の面を他方の被研磨物保持部材に真
空吸着等によって保持し、この状態で他方の被研磨物保
持部材に対して他方の研磨部材を移動させて、被研磨物
の他方の面取り部を他方の研磨部材の研磨面に当接さ
せ、他方の被研磨物保持部材に対して他方の研磨部材を
回転させることにより、被研磨物の他方の面取り部が研
磨されることになる。
より、被研磨物の一方の面を被研磨物保持部材に保持
し、この状態で被研磨物保持部材に対して一方の研磨部
材を移動させて被研磨物の一方の面取り部を一方の研磨
部材の研磨面に当接させ、被研磨物保持部材に対して一
方の研磨部材を回転させることにより、被研磨物の一方
の面取り部が研磨されることになる。そして、被研磨物
保持部材に対して他方の研磨部材を移動させ、又は被研
磨物保持部材及び一方の研磨部材を一体としてそれらに
対して他方の研磨部材を移動させ、被研磨物の他方の面
取り部を他方の研磨部材の研磨面に当接させ、被研磨物
保持部材に対して他方の研磨部材を回転させることによ
り被研磨物の他方の面取り部が研磨されることになる。
さらに、被研磨物の一方の面を一方の被研磨物保持部材
に保持し、この状態で一方の被研磨物保持部材に対して
一方の研磨部材を移動させて被研磨物の一方の面取り部
を一方の研磨部材の研磨面に当接させ、一方の被研磨物
保持部材に対して一方の研磨部材を回転させることによ
り、被研磨物の一方の面取り部が研磨されることにな
る。そして、一方の被研磨物保持部材から被研磨物を外
して被研磨物の一方の面を他方の被研磨物保持部材に真
空吸着等によって保持し、この状態で他方の被研磨物保
持部材に対して他方の研磨部材を移動させて、被研磨物
の他方の面取り部を他方の研磨部材の研磨面に当接さ
せ、他方の被研磨物保持部材に対して他方の研磨部材を
回転させることにより、被研磨物の他方の面取り部が研
磨されることになる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、図面に示すこの発明の実施
の形態について説明する。図１及び図２には、この発明
による研磨装置の第１の実施の形態が示されている。こ
の実施の形態に示す研磨装置は、シリコンウエハ等の円
板状の被研磨物２５を保持する被研磨物保持部材１７
と、被研磨物２５の外周部の面取り部２６、２７（図９
参照）を研磨する一方の研磨部材１と他方の研磨部材１
０とを具えている。
の形態について説明する。図１及び図２には、この発明
による研磨装置の第１の実施の形態が示されている。こ
の実施の形態に示す研磨装置は、シリコンウエハ等の円
板状の被研磨物２５を保持する被研磨物保持部材１７
と、被研磨物２５の外周部の面取り部２６、２７（図９
参照）を研磨する一方の研磨部材１と他方の研磨部材１
０とを具えている。
【０００８】一方の研磨部材１は、研磨部２と、研磨部
２の下面中央部に一体に設けられるとともに、基台２２
の孔２３内に軸受２４を介して挿着される支持部８とか
ら構成されている。
２の下面中央部に一体に設けられるとともに、基台２２
の孔２３内に軸受２４を介して挿着される支持部８とか
ら構成されている。
【０００９】研磨部２の上面側には凹部３が設けられ、
この凹部３の内面は開口部から底面にかけて所定の角度
のテーパ面５に形成され、底面には支持部８の中心部を
貫通する貫通孔９の上端部が開口するようになってい
る。
この凹部３の内面は開口部から底面にかけて所定の角度
のテーパ面５に形成され、底面には支持部８の中心部を
貫通する貫通孔９の上端部が開口するようになってい
る。
【００１０】研磨部２の凹部３のテーパ面５には不織布
等からなる研磨パッド６が接着剤等による取付け手段に
よって取り付けられている。
等からなる研磨パッド６が接着剤等による取付け手段に
よって取り付けられている。
【００１１】なお、研磨パッド６は、短冊状に形成した
ものを研磨部２のテーパ面５の全体に余す所なく取り付
けても良いし、隣接するもの同士間に傾斜（上下）方向
を向く隙間（図示せず）が形成されるように取り付けて
も良いものである。隣接するもの同士間に隙間が形成さ
れるように取り付けた場合には、隙間を研磨剤等の流通
路として機能させることができる。
ものを研磨部２のテーパ面５の全体に余す所なく取り付
けても良いし、隣接するもの同士間に傾斜（上下）方向
を向く隙間（図示せず）が形成されるように取り付けて
も良いものである。隣接するもの同士間に隙間が形成さ
れるように取り付けた場合には、隙間を研磨剤等の流通
路として機能させることができる。
【００１２】被研磨物保持部材１７は、一方の研磨部材
１の支持部８に設けた貫通孔９を挿通する回転軸１８
と、回転軸１８の上端部に一体に設けられるとともに、
一方の研磨部材１の凹部３内に位置する円板状の保持板
２１とから構成されている。
１の支持部８に設けた貫通孔９を挿通する回転軸１８
と、回転軸１８の上端部に一体に設けられるとともに、
一方の研磨部材１の凹部３内に位置する円板状の保持板
２１とから構成されている。
【００１３】回転軸１８は、軸受ケース１９に軸受２０
を介して回転自在に挿着されるようになっている。この
場合、軸受ケース１９は、角度調整部材（図示せず）に
連結され、この角度調整部材を作動させることにより傾
きを調整することができるようになっている。したがっ
て、軸受ケース１９の傾きを調整することにより軸受ケ
ース１９と一体に回転軸１８及び保持板２１の傾きを調
整することができるようになっている。
を介して回転自在に挿着されるようになっている。この
場合、軸受ケース１９は、角度調整部材（図示せず）に
連結され、この角度調整部材を作動させることにより傾
きを調整することができるようになっている。したがっ
て、軸受ケース１９の傾きを調整することにより軸受ケ
ース１９と一体に回転軸１８及び保持板２１の傾きを調
整することができるようになっている。
【００１４】回転軸１８は、プーリ、ベルト等の動力伝
達手段（図示せず）を介して駆動源（図示せず）に連結
され、駆動源の作動によって回転駆動するようになって
いる。したがって、回転軸１８を回転させることにより
回転軸１８と一体に保持板２１を回転駆動させることが
できるものである。
達手段（図示せず）を介して駆動源（図示せず）に連結
され、駆動源の作動によって回転駆動するようになって
いる。したがって、回転軸１８を回転させることにより
回転軸１８と一体に保持板２１を回転駆動させることが
できるものである。
【００１５】回転軸１８は、シリンダ等の上下移動部材
（図示せず）に連結され、この上下移動部材を作動させ
ることにより上下方向に移動するようになっている。し
たがって、回転軸１８を上下方向へ移動させることによ
り回転軸１８と一体に保持板２１を上下方向に移動させ
ることができるものである。
（図示せず）に連結され、この上下移動部材を作動させ
ることにより上下方向に移動するようになっている。し
たがって、回転軸１８を上下方向へ移動させることによ
り回転軸１８と一体に保持板２１を上下方向に移動させ
ることができるものである。
【００１６】回転軸１８の内部には流体の通孔（図示せ
ず）が設けられるとともに、保持板２１の内部にも流体
の通孔（図示せず）が設けられ、これらの通孔は相互に
連通するようになっている。前記保持板２１の通孔は保
持板２１の上面側に開口し、回転軸１８の通孔はチュー
ブ等の管部材（図示せず）を介して真空ポンプ等の真空
発生源（図示せず）に連結されるようになっている。し
たがって、保持板２１の上面側に被研磨物２５を位置し
た状態で真空発生源を作動させると、保持板２１の上面
側に被研磨物２５の一方の面を真空吸着によって保持す
ることができるものである。
ず）が設けられるとともに、保持板２１の内部にも流体
の通孔（図示せず）が設けられ、これらの通孔は相互に
連通するようになっている。前記保持板２１の通孔は保
持板２１の上面側に開口し、回転軸１８の通孔はチュー
ブ等の管部材（図示せず）を介して真空ポンプ等の真空
発生源（図示せず）に連結されるようになっている。し
たがって、保持板２１の上面側に被研磨物２５を位置し
た状態で真空発生源を作動させると、保持板２１の上面
側に被研磨物２５の一方の面を真空吸着によって保持す
ることができるものである。
【００１７】一方の研磨部材１の上方には他方の研磨部
材１０が対向して設けられている。他方の研磨部材１０
は、支持部１１と、支持部１１の下端に一体に設けられ
る研磨部１２とから構成されている。
材１０が対向して設けられている。他方の研磨部材１０
は、支持部１１と、支持部１１の下端に一体に設けられ
る研磨部１２とから構成されている。
【００１８】研磨部１２の下面側には凹部１３が設けら
れ、この凹部１３の内面は開口部から底面にかけて所定
の角度のテーパ面１４に形成されている。
れ、この凹部１３の内面は開口部から底面にかけて所定
の角度のテーパ面１４に形成されている。
【００１９】研磨部１２のテーパ面１４には一方の研磨
部材１の研磨部２と同様に不織布等からなる研磨パッド
１５が接着剤等の取付け手段によって取り付けられてい
る。
部材１の研磨部２と同様に不織布等からなる研磨パッド
１５が接着剤等の取付け手段によって取り付けられてい
る。
【００２０】前記研磨パッド１５は、前記一方の研磨部
材１と同様に、短冊状のものを凹部１３のテーパ面１４
の全体に余す所なく取り付けても良いし、隣接するもの
同士間に傾斜方向を向く隙間が形成されるように取り付
けても良い。隣接するもの同士間に隙間が形成されるよ
うに取り付けた場合には、隙間を研磨剤等の流通路とし
て機能させることができる。
材１と同様に、短冊状のものを凹部１３のテーパ面１４
の全体に余す所なく取り付けても良いし、隣接するもの
同士間に傾斜方向を向く隙間が形成されるように取り付
けても良い。隣接するもの同士間に隙間が形成されるよ
うに取り付けた場合には、隙間を研磨剤等の流通路とし
て機能させることができる。
【００２１】他方の研磨部材１０の支持部１１はプー
リ、ベルト等の動力伝達部材（図示せず）を介して駆動
源（図示せず）に連結され、駆動源を作動させることに
より支持部１１と一体に研磨部１２が回転駆動するよう
になっている。また、支持部１１はシリンダ等の上下移
動部材（図示せず）に連結され、上下移動部材を作動さ
せることにより支持部１１と一体に研磨部１２が上下方
向に移動するものである。さらに、支持部１１の内部に
は供給孔（図示せず）が設けられ、この供給孔を介して
凹部１３側にスラリー等を供給することができるように
なっている。
リ、ベルト等の動力伝達部材（図示せず）を介して駆動
源（図示せず）に連結され、駆動源を作動させることに
より支持部１１と一体に研磨部１２が回転駆動するよう
になっている。また、支持部１１はシリンダ等の上下移
動部材（図示せず）に連結され、上下移動部材を作動さ
せることにより支持部１１と一体に研磨部１２が上下方
向に移動するものである。さらに、支持部１１の内部に
は供給孔（図示せず）が設けられ、この供給孔を介して
凹部１３側にスラリー等を供給することができるように
なっている。
【００２２】次に、前記に示すものの作用について説明
する。まず、上下移動部材を作動させて被研磨物保持部
材１７を上昇させ、保持板２１を上下方向の所定の位置
に位置決めし、保持板２１の上部に被研磨物２５を載置
し、真空発生源を作動させて保持板２１の上部に被研磨
物２５を真空吸着し、角度調整部材を作動させて保持板
２１及び被研磨物２５の傾きを調整し、所定の角度に設
定する。
する。まず、上下移動部材を作動させて被研磨物保持部
材１７を上昇させ、保持板２１を上下方向の所定の位置
に位置決めし、保持板２１の上部に被研磨物２５を載置
し、真空発生源を作動させて保持板２１の上部に被研磨
物２５を真空吸着し、角度調整部材を作動させて保持板
２１及び被研磨物２５の傾きを調整し、所定の角度に設
定する。
【００２３】そして、上下移動部材を作動させて被研磨
物保持部材１７を下降させ、被研磨物２５の外周部のう
ちの下面側の面取り部２６を一方の研磨部材１の研磨部
２の研磨パッド６に当接させて押圧する。
物保持部材１７を下降させ、被研磨物２５の外周部のう
ちの下面側の面取り部２６を一方の研磨部材１の研磨部
２の研磨パッド６に当接させて押圧する。
【００２４】そして、駆動源を作動させて被研磨物保持
部材１７の回転軸１８を回転させて、回転軸１８と一体
に保持板２１及び被研磨物２５を回転させ、被研磨物２
５の外周部の下面側の面取り部２６の研磨を行う。
部材１７の回転軸１８を回転させて、回転軸１８と一体
に保持板２１及び被研磨物２５を回転させ、被研磨物２
５の外周部の下面側の面取り部２６の研磨を行う。
【００２５】そして、被研磨物２５の外周部の下面側の
面取り部２６の研磨が終了した後に、上下移動部材を作
動させて被研磨物保持部材１７を上昇させて、被研磨物
２５を上下方向の所定の位置に位置決めし、上下移動部
材を作動させて他方の研磨部材１０を下降させ、他方の
研磨部材１０の研磨部１２の研磨パッド１５に被研磨物
２５の外周部の上面側の面取り部２７を当接させて押圧
する。
面取り部２６の研磨が終了した後に、上下移動部材を作
動させて被研磨物保持部材１７を上昇させて、被研磨物
２５を上下方向の所定の位置に位置決めし、上下移動部
材を作動させて他方の研磨部材１０を下降させ、他方の
研磨部材１０の研磨部１２の研磨パッド１５に被研磨物
２５の外周部の上面側の面取り部２７を当接させて押圧
する。
【００２６】そして、駆動源を作動させて被研磨物保持
部材１７の回転軸１８を回転させて、回転軸１８と一体
に保持板２１及び被研磨物２５を回転させるとともに、
駆動源を作動させて他方の研磨部材１０を回転させ、被
研磨物２５の外周部の上面側の面取り部２７の研磨を行
う。
部材１７の回転軸１８を回転させて、回転軸１８と一体
に保持板２１及び被研磨物２５を回転させるとともに、
駆動源を作動させて他方の研磨部材１０を回転させ、被
研磨物２５の外周部の上面側の面取り部２７の研磨を行
う。
【００２７】このようにして、被研磨物２５の外周部の
下面側の面取り部２６、及び上面側の面取り部２７の研
磨を行うことができるものである。
下面側の面取り部２６、及び上面側の面取り部２７の研
磨を行うことができるものである。
【００２８】上記のように構成したこの実施の形態によ
る研磨装置にあっては、被研磨物２５の下面のみを被研
磨物保持部材１７の保持板２１に真空吸着によって保持
した状態で、被研磨物２５の外周部の下面側の面取り部
２６、及び上面側の面取り部２７を研磨することができ
るので、被研磨物２５の下面にしか真空吸着による痕跡
が形成されることがない。
る研磨装置にあっては、被研磨物２５の下面のみを被研
磨物保持部材１７の保持板２１に真空吸着によって保持
した状態で、被研磨物２５の外周部の下面側の面取り部
２６、及び上面側の面取り部２７を研磨することができ
るので、被研磨物２５の下面にしか真空吸着による痕跡
が形成されることがない。
【００２９】したがって、被研磨物２５の上下面に真空
吸着による痕跡が形成されることはないので、後の工程
に影響を与えるようなことはなく、生産効率を大幅に高
めることができる。
吸着による痕跡が形成されることはないので、後の工程
に影響を与えるようなことはなく、生産効率を大幅に高
めることができる。
【００３０】図３及び図４にはこの発明による研磨装置
の第２の実施の形態が示されている。この実施の形態に
示す研磨装置は、一方の研磨部材１の対向側に他方の研
磨部材１０を設けて、他方の研磨部材１０を水平移動部
材（図示せず）によって水平方向に移動可能、および上
下移動部材（図示せず）によって上下方向に移動可能と
したものであって、その他の構成は前記第１の実施の形
態に示すものと同様である。
の第２の実施の形態が示されている。この実施の形態に
示す研磨装置は、一方の研磨部材１の対向側に他方の研
磨部材１０を設けて、他方の研磨部材１０を水平移動部
材（図示せず）によって水平方向に移動可能、および上
下移動部材（図示せず）によって上下方向に移動可能と
したものであって、その他の構成は前記第１の実施の形
態に示すものと同様である。
【００３１】そして、この実施の形態による研磨装置を
用いて被研磨物２５の研磨を行うには、前記第１の実施
の形態に示すものと同様に、まず、上下移動部材を作動
させて被研磨物保持部材１７を上昇させて、保持板２１
を上下方向の所定の位置に位置決めし、保持板２１の上
部に被研磨物２５を載置し、真空発生源を作動させて保
持板２１の上部に被研磨物２５を真空吸着し、角度調整
部材を作動させて保持板２１及び被研磨物２５の傾きを
調整し、所定の角度に設定する。
用いて被研磨物２５の研磨を行うには、前記第１の実施
の形態に示すものと同様に、まず、上下移動部材を作動
させて被研磨物保持部材１７を上昇させて、保持板２１
を上下方向の所定の位置に位置決めし、保持板２１の上
部に被研磨物２５を載置し、真空発生源を作動させて保
持板２１の上部に被研磨物２５を真空吸着し、角度調整
部材を作動させて保持板２１及び被研磨物２５の傾きを
調整し、所定の角度に設定する。
【００３２】そして、上下移動部材を作動させて被研磨
物保持部材１７を下降させ、被研磨物２５の外周部の下
面側の面取り部２６（図１０参照）を一方の研磨部材１
の研磨部２の研磨パッド６に当接させて押圧する。
物保持部材１７を下降させ、被研磨物２５の外周部の下
面側の面取り部２６（図１０参照）を一方の研磨部材１
の研磨部２の研磨パッド６に当接させて押圧する。
【００３３】そして、駆動源を作動させて被研磨物保持
部材１７の回転軸１８を回転させて、回転軸１８と一体
に保持板２１及び被研磨物２５を回転させ、被研磨物２
５の外周部の下面側の面取り部２６の研磨を行う。
部材１７の回転軸１８を回転させて、回転軸１８と一体
に保持板２１及び被研磨物２５を回転させ、被研磨物２
５の外周部の下面側の面取り部２６の研磨を行う。
【００３４】そして、被研磨物２５の外周部の下面側の
面取り部２６の研磨が終了した後に、上下移動部材を作
動させて被研磨物保持部材１７を上昇させて、被研磨物
２５を上下方向の所定の位置に位置決めするとともに、
一方の研磨部材１の側方に位置している他方の研磨部材
１０を水平移動部材により水平方向に移動させて一方の
研磨部材１の上方に位置させる。こののち、上下移動部
材を作動させて下降させ、研磨部１２の研磨パッド１５
に被研磨物２５の外周部の上面側の面取り部２７（図１
０参照）を当接させて押圧する。
面取り部２６の研磨が終了した後に、上下移動部材を作
動させて被研磨物保持部材１７を上昇させて、被研磨物
２５を上下方向の所定の位置に位置決めするとともに、
一方の研磨部材１の側方に位置している他方の研磨部材
１０を水平移動部材により水平方向に移動させて一方の
研磨部材１の上方に位置させる。こののち、上下移動部
材を作動させて下降させ、研磨部１２の研磨パッド１５
に被研磨物２５の外周部の上面側の面取り部２７（図１
０参照）を当接させて押圧する。
【００３５】そして、駆動源を作動させて被研磨物保持
部材１７の回転軸１８を回転させて、回転軸１８と一体
に保持板２１及び被研磨物２５を回転させるとともに、
駆動源を作動させて他方の研磨部材１０を回転させ、被
研磨物２５の外周部の上面側の面取り部２７の研磨を行
う。
部材１７の回転軸１８を回転させて、回転軸１８と一体
に保持板２１及び被研磨物２５を回転させるとともに、
駆動源を作動させて他方の研磨部材１０を回転させ、被
研磨物２５の外周部の上面側の面取り部２７の研磨を行
う。
【００３６】このようにして、被研磨物２５の外周部の
下面側の面取り部２６、及び上面側の面取り部２７の研
磨を行うことができるものである。
下面側の面取り部２６、及び上面側の面取り部２７の研
磨を行うことができるものである。
【００３７】上記のように構成したこの実施の形態によ
る研磨装置にあっても、前記第１の実施の形態に示すも
のと同様に、被研磨物２５の下面のみを被研磨物保持部
材１７の保持板２１に真空吸着によって保持した状態
で、被研磨物２５の外周部の下面側の面取り部２６、及
び上面側の面取り部２７を研磨することができるので、
被研磨物２５の下面にしか真空吸着による痕跡が形成さ
れないことになる。
る研磨装置にあっても、前記第１の実施の形態に示すも
のと同様に、被研磨物２５の下面のみを被研磨物保持部
材１７の保持板２１に真空吸着によって保持した状態
で、被研磨物２５の外周部の下面側の面取り部２６、及
び上面側の面取り部２７を研磨することができるので、
被研磨物２５の下面にしか真空吸着による痕跡が形成さ
れないことになる。
【００３８】したがって、被研磨物２５の上下面に真空
吸着による痕跡が形成されることはないので、後の工程
に影響を与えるようなことはなく、生産効率を大幅に高
めることができることになる。
吸着による痕跡が形成されることはないので、後の工程
に影響を与えるようなことはなく、生産効率を大幅に高
めることができることになる。
【００３９】図５及び図６には、この発明による研磨装
置の第３の実施の形態が示されている。この実施の形態
に示す研磨装置は、他方の研磨部材１０を一方の研磨部
材１の側方に設けて、上下移動部材によって上下方向に
移動可能とするとともに、一方の研磨部材１及び被研磨
物保持部材１７を水平移動部材（図示せず）によって一
体に水平方向に移動可能としたものであって、その他の
構成は前記第１の実施の形態に示すものと同様である。
置の第３の実施の形態が示されている。この実施の形態
に示す研磨装置は、他方の研磨部材１０を一方の研磨部
材１の側方に設けて、上下移動部材によって上下方向に
移動可能とするとともに、一方の研磨部材１及び被研磨
物保持部材１７を水平移動部材（図示せず）によって一
体に水平方向に移動可能としたものであって、その他の
構成は前記第１の実施の形態に示すものと同様である。
【００４０】そして、この実施の形態による研磨装置を
用いて被研磨物２５の研磨を行うには、前記第１の実施
の形態に示すものと同様に、まず、上下移動部材を作動
させて被研磨物保持部材１７を上昇させ、保持板２１を
上下方向の所定の位置に位置決めし、保持板２１の上部
に被研磨物２５を載置し、真空発生源を作動させて保持
板２１の上部に被研磨物２５を真空吸着し、角度調整部
材を作動させて保持板２１及び被研磨物２５の傾きを調
整し、所定の角度に設定する。
用いて被研磨物２５の研磨を行うには、前記第１の実施
の形態に示すものと同様に、まず、上下移動部材を作動
させて被研磨物保持部材１７を上昇させ、保持板２１を
上下方向の所定の位置に位置決めし、保持板２１の上部
に被研磨物２５を載置し、真空発生源を作動させて保持
板２１の上部に被研磨物２５を真空吸着し、角度調整部
材を作動させて保持板２１及び被研磨物２５の傾きを調
整し、所定の角度に設定する。
【００４１】そして、上下移動部材を作動させて被研磨
物保持部材１７を下降させ、被研磨物２５の外周部の下
面側の面取り部２６（図１０参照）を一方の研磨部材１
の研磨部２の研磨パッド６に当接させて押圧する。
物保持部材１７を下降させ、被研磨物２５の外周部の下
面側の面取り部２６（図１０参照）を一方の研磨部材１
の研磨部２の研磨パッド６に当接させて押圧する。
【００４２】そして、駆動源を作動させて被研磨物保持
部材１７の回転軸１８を回転させて、回転軸１８と一体
に保持板２１及び被研磨物２５を回転させ、被研磨物２
５の外周部の下面側の面取り部２６の研磨を行う。
部材１７の回転軸１８を回転させて、回転軸１８と一体
に保持板２１及び被研磨物２５を回転させ、被研磨物２
５の外周部の下面側の面取り部２６の研磨を行う。
【００４３】そして、被研磨物２５の外周部の下面側の
面取り部２６の研磨が終了した後に、水平移動部材を作
動させて一方の研磨部材１と被研磨物保持部材１７とを
一体に水平方向に移動させ、他方の研磨部材１０の下方
に位置させる。
面取り部２６の研磨が終了した後に、水平移動部材を作
動させて一方の研磨部材１と被研磨物保持部材１７とを
一体に水平方向に移動させ、他方の研磨部材１０の下方
に位置させる。
【００４４】そして、上下移動部材を作動させて被研磨
物保持部材１７を上昇させ、被研磨物２５を上下方向の
所定の位置に位置決めするとともに、上下移動部材を作
動させて他方の研磨部材１０を下降させ、研磨部１２の
研磨パッド１５に被研磨物２５の外周部の上面側の面取
り部２７（図１０参照）を当接させて押圧する。
物保持部材１７を上昇させ、被研磨物２５を上下方向の
所定の位置に位置決めするとともに、上下移動部材を作
動させて他方の研磨部材１０を下降させ、研磨部１２の
研磨パッド１５に被研磨物２５の外周部の上面側の面取
り部２７（図１０参照）を当接させて押圧する。
【００４５】そして、駆動源を作動させて被研磨物保持
部材１７の回転軸１８を回転させて、回転軸１８と一体
に保持板２１及び被研磨物２５を回転させるとともに、
駆動源を作動させて他方の研磨部材１０を回転させ、被
研磨物２５の外周部の上面側の面取り部２７の研磨を行
う。
部材１７の回転軸１８を回転させて、回転軸１８と一体
に保持板２１及び被研磨物２５を回転させるとともに、
駆動源を作動させて他方の研磨部材１０を回転させ、被
研磨物２５の外周部の上面側の面取り部２７の研磨を行
う。
【００４６】このようにして、被研磨物２５の外周部の
下面側の面取り部２６、及び上面側の面取り部２７の研
磨を行うことができるものである。
下面側の面取り部２６、及び上面側の面取り部２７の研
磨を行うことができるものである。
【００４７】上記のように構成したこの実施の形態によ
る研磨装置にあっても、前記第１の実施の形態に示すも
のと同様に、被研磨物２５の下面のみを被研磨物保持部
材１７の保持板２１に真空吸着した状態で、被研磨物２
５の外周部の下面側の面取り部２６、及び上面側の面取
り部２７を研磨することができるので、被研磨物２５の
下面にしか真空吸着による痕跡が形成されないことにな
る。
る研磨装置にあっても、前記第１の実施の形態に示すも
のと同様に、被研磨物２５の下面のみを被研磨物保持部
材１７の保持板２１に真空吸着した状態で、被研磨物２
５の外周部の下面側の面取り部２６、及び上面側の面取
り部２７を研磨することができるので、被研磨物２５の
下面にしか真空吸着による痕跡が形成されないことにな
る。
【００４８】したがって、被研磨物２５の上下面に真空
吸着による痕跡が形成されることはないので、後の工程
に影響を与えるようなことはなく、生産効率を大幅に高
めることができることになる。
吸着による痕跡が形成されることはないので、後の工程
に影響を与えるようなことはなく、生産効率を大幅に高
めることができることになる。
【００４９】なお、前記第１〜第３の実施の形態におい
ては、保持板２１の上部に真空吸着によって被研磨物２
５を保持するように構成したが、これに限定することな
く、他の保持手段によって保持するように構成しても同
様の効果が得られるのは勿論のことである。また、被研
磨物保持部材１７及び他方の研磨部材１０を駆動源によ
って回転駆動させるように構成したが、一方の研磨部材
１又は被研磨物保持部材１７の少なくとも何れか一方を
駆動源によって回転駆動させるとともに、他方の研磨部
材１０又は被研磨物保持部材１７の少なくとも何れか一
方を駆動源によって回転駆動させるように構成してもよ
いものである。さらに、一方の研磨部材１の研磨部２の
凹部３の内面、及び他方の研磨部材１０の凹部１３の内
面はテーパ面５、１４に限定することなく、球面等に形
成してもよいものである。
ては、保持板２１の上部に真空吸着によって被研磨物２
５を保持するように構成したが、これに限定することな
く、他の保持手段によって保持するように構成しても同
様の効果が得られるのは勿論のことである。また、被研
磨物保持部材１７及び他方の研磨部材１０を駆動源によ
って回転駆動させるように構成したが、一方の研磨部材
１又は被研磨物保持部材１７の少なくとも何れか一方を
駆動源によって回転駆動させるとともに、他方の研磨部
材１０又は被研磨物保持部材１７の少なくとも何れか一
方を駆動源によって回転駆動させるように構成してもよ
いものである。さらに、一方の研磨部材１の研磨部２の
凹部３の内面、及び他方の研磨部材１０の凹部１３の内
面はテーパ面５、１４に限定することなく、球面等に形
成してもよいものである。
【００５０】図７及び図８には、この発明による研磨装
置の第４の実施の形態が示されている。この実施の形態
に示す研磨装置は、シリコンウエハ等の円板状の被研磨
物２５を保持する一方の被研磨物保持部材３１と他方の
被研磨物保持部材３６と、被研磨物２５を一方の被研磨
物保持部材３１から他方の被研磨物保持部材３６に搬送
する搬送部材（図示せず）と、被研磨物２５の外周部の
面取り部を研磨する前記第１の実施の形態に示すものと
同様の構成の一方の研磨部材１と他方の研磨部材１０と
を具えている。
置の第４の実施の形態が示されている。この実施の形態
に示す研磨装置は、シリコンウエハ等の円板状の被研磨
物２５を保持する一方の被研磨物保持部材３１と他方の
被研磨物保持部材３６と、被研磨物２５を一方の被研磨
物保持部材３１から他方の被研磨物保持部材３６に搬送
する搬送部材（図示せず）と、被研磨物２５の外周部の
面取り部を研磨する前記第１の実施の形態に示すものと
同様の構成の一方の研磨部材１と他方の研磨部材１０と
を具えている。
【００５１】一方の研磨部材１は、前記第１の実施の形
態に示すものと同様に、円板状の研磨部２と、研磨部２
の下面中央部に一体に設けられるとともに、基台２２の
孔２３内に軸受２４を介して挿着される支持部８とから
構成されている。
態に示すものと同様に、円板状の研磨部２と、研磨部２
の下面中央部に一体に設けられるとともに、基台２２の
孔２３内に軸受２４を介して挿着される支持部８とから
構成されている。
【００５２】一方の被研磨物保持部材３１は、一方の研
磨部材１の支持部８の貫通孔９を挿通する回転軸３２
と、回転軸３２の上端部に一体に設けられるとともに、
一方の研磨部材１の凹部３内に位置する保持板３５とか
ら構成されている。
磨部材１の支持部８の貫通孔９を挿通する回転軸３２
と、回転軸３２の上端部に一体に設けられるとともに、
一方の研磨部材１の凹部３内に位置する保持板３５とか
ら構成されている。
【００５３】回転軸３２は、軸受ケース３３に軸受３４
を介して回転自在に挿着されるようになっている。この
場合、軸受ケース３３は、角度調整部材（図示せず）に
連結され、角度調整部材を作動させることにより傾きを
調整することができるようになっている。したがって、
軸受ケース３３の傾きを調整することにより軸受ケース
３３と一体に回転軸３２及び保持板３５の傾きを調整す
ることができるものである。
を介して回転自在に挿着されるようになっている。この
場合、軸受ケース３３は、角度調整部材（図示せず）に
連結され、角度調整部材を作動させることにより傾きを
調整することができるようになっている。したがって、
軸受ケース３３の傾きを調整することにより軸受ケース
３３と一体に回転軸３２及び保持板３５の傾きを調整す
ることができるものである。
【００５４】回転軸３２は、プーリ、ベルト等の動力伝
達手段（図示せず）を介して駆動源（図示せず）に連結
され、駆動源を作動させることにより動力伝達手段を介
して回転駆動するようになっている。したがって、回転
軸３２を回転させることにより回転軸３２と一体に保持
板３５を回転駆動させることができるものである。
達手段（図示せず）を介して駆動源（図示せず）に連結
され、駆動源を作動させることにより動力伝達手段を介
して回転駆動するようになっている。したがって、回転
軸３２を回転させることにより回転軸３２と一体に保持
板３５を回転駆動させることができるものである。
【００５５】回転軸３２は、シリンダ等の上下移動部材
（図示せず）に連結され、上下移動部材を作動させるこ
とにより上下方向に移動するようになっている。したが
って、回転軸３２を上下方向へ移動させることにより回
転軸３２と一体に保持板３５を上下方向に移動させるこ
とができるものである。
（図示せず）に連結され、上下移動部材を作動させるこ
とにより上下方向に移動するようになっている。したが
って、回転軸３２を上下方向へ移動させることにより回
転軸３２と一体に保持板３５を上下方向に移動させるこ
とができるものである。
【００５６】回転軸３２の内部には流体の通孔（図示せ
ず）が設けられるとともに、保持板３５の内部にも流体
の通孔（図示せず）が設けられ、これらの通孔は相互に
連通するようになっている。この場合、保持板３５の通
孔は保持板３５の上面側に開口し、回転軸３２の通孔は
チューブ等の管部材（図示せず）を介して真空ポンプ等
の真空発生源（図示せず）に連結されるようになってい
る。したがって、真空発生源を作動させることにより、
保持板３５の上面側に被研磨物２５の一方の面を真空吸
着によって保持することができるものである。
ず）が設けられるとともに、保持板３５の内部にも流体
の通孔（図示せず）が設けられ、これらの通孔は相互に
連通するようになっている。この場合、保持板３５の通
孔は保持板３５の上面側に開口し、回転軸３２の通孔は
チューブ等の管部材（図示せず）を介して真空ポンプ等
の真空発生源（図示せず）に連結されるようになってい
る。したがって、真空発生源を作動させることにより、
保持板３５の上面側に被研磨物２５の一方の面を真空吸
着によって保持することができるものである。
【００５７】一方の研磨部材１の側方には他方の研磨部
材１０が設けられている。他方の研磨部材１０は、前記
第１の実施の形態に示すものと同様に、支持部１１と、
支持部１１の下端に一体に設けられる研磨部１２とから
構成されている。
材１０が設けられている。他方の研磨部材１０は、前記
第１の実施の形態に示すものと同様に、支持部１１と、
支持部１１の下端に一体に設けられる研磨部１２とから
構成されている。
【００５８】他方の研磨部材１０の支持部１１はプー
リ、ベルト等の動力伝達部材（図示せず）を介して駆動
源（図示せず）に連結され、駆動源を作動させることに
より支持部１１と一体に研磨部１２が回転駆動するよう
になっている。また、支持部１１はシリンダ等の上下移
動部材（図示せず）に連結され、上下移動部材を作動さ
せることにより支持部１１と一体に研磨部１２が上下方
向に移動するものである。さらに、支持部１１の内部に
は供給孔（図示せず）が設けられ、この供給孔を介して
凹部１３側にスラリー等を供給することができるように
なっている。
リ、ベルト等の動力伝達部材（図示せず）を介して駆動
源（図示せず）に連結され、駆動源を作動させることに
より支持部１１と一体に研磨部１２が回転駆動するよう
になっている。また、支持部１１はシリンダ等の上下移
動部材（図示せず）に連結され、上下移動部材を作動さ
せることにより支持部１１と一体に研磨部１２が上下方
向に移動するものである。さらに、支持部１１の内部に
は供給孔（図示せず）が設けられ、この供給孔を介して
凹部１３側にスラリー等を供給することができるように
なっている。
【００５９】他方の被研磨物保持部材３６は、他方の研
磨部材１０の下方に設けられるものであって、一方の被
研磨物保持部材３１と同様に、回転軸３７と、回転軸３
７の上端部に一体に設けられる保持板４０とから構成さ
れている。
磨部材１０の下方に設けられるものであって、一方の被
研磨物保持部材３１と同様に、回転軸３７と、回転軸３
７の上端部に一体に設けられる保持板４０とから構成さ
れている。
【００６０】回転軸３７は、軸受ケース３８に軸受３９
を介して回転自在に挿着されるようになっている。この
軸受ケース３８は、角度調整部材（図示せず）に連結さ
れ、角度調整部材を作動させることにより傾きを調整す
ることができるようになっている。したがって、軸受ケ
ース３８の傾きを調整することにより軸受ケース３８と
一体に回転軸３７及び保持板４０の傾きを調整すること
ができるものである。
を介して回転自在に挿着されるようになっている。この
軸受ケース３８は、角度調整部材（図示せず）に連結さ
れ、角度調整部材を作動させることにより傾きを調整す
ることができるようになっている。したがって、軸受ケ
ース３８の傾きを調整することにより軸受ケース３８と
一体に回転軸３７及び保持板４０の傾きを調整すること
ができるものである。
【００６１】回転軸３７は、プーリ、ベルト等の動力伝
達手段（図示せず）を介して駆動源（図示せず）に連結
され、駆動源を作動させることにより動力伝達手段を介
して回転駆動するようになっている。したがって、回転
軸３７を回転させることにより回転軸３７と一体に保持
板４０を回転駆動させることができるものである。
達手段（図示せず）を介して駆動源（図示せず）に連結
され、駆動源を作動させることにより動力伝達手段を介
して回転駆動するようになっている。したがって、回転
軸３７を回転させることにより回転軸３７と一体に保持
板４０を回転駆動させることができるものである。
【００６２】回転軸３７は、連結部材（図示せず）を介
してシリンダ等の上下移動部材（図示せず）に連結さ
れ、上下移動部材を作動させることにより上下方向に移
動するようになっている。したがって、回転軸３７を上
下方向へ移動させることにより回転軸３７と一体に保持
板４０を上下方向に移動させることができるものであ
る。
してシリンダ等の上下移動部材（図示せず）に連結さ
れ、上下移動部材を作動させることにより上下方向に移
動するようになっている。したがって、回転軸３７を上
下方向へ移動させることにより回転軸３７と一体に保持
板４０を上下方向に移動させることができるものであ
る。
【００６３】回転軸３７の内部には流体の通孔（図示せ
ず）が設けられるとともに、保持板４０の内部にも流体
の通孔（図示せず）が設けられ、これらの通孔は相互に
連通するようになっている。この場合、保持板４０の通
孔は保持板４０の上面側に開口し、回転軸３７の通孔は
チューブ等の管部材（図示せず）を介して真空ポンプ等
の真空発生源（図示せず）に連結されるようになってい
る。したがって、保持板４０の上面側に被研磨物２５を
位置した状態で真空発生源を作動させることにより、保
持板４０の上面側に被研磨物２５の一方の面を真空吸着
することができるものである。
ず）が設けられるとともに、保持板４０の内部にも流体
の通孔（図示せず）が設けられ、これらの通孔は相互に
連通するようになっている。この場合、保持板４０の通
孔は保持板４０の上面側に開口し、回転軸３７の通孔は
チューブ等の管部材（図示せず）を介して真空ポンプ等
の真空発生源（図示せず）に連結されるようになってい
る。したがって、保持板４０の上面側に被研磨物２５を
位置した状態で真空発生源を作動させることにより、保
持板４０の上面側に被研磨物２５の一方の面を真空吸着
することができるものである。
【００６４】一方の研磨部材１と他方の研磨部材１０と
の間には搬送部材（図示せず）が設けられ、この搬送部
材を作動させることにより、一方の被研磨物保持部材３
１の保持板３５から他方の被研磨物保持部材３６の保持
板４０に被研磨物２５を搬送することができるものであ
る。
の間には搬送部材（図示せず）が設けられ、この搬送部
材を作動させることにより、一方の被研磨物保持部材３
１の保持板３５から他方の被研磨物保持部材３６の保持
板４０に被研磨物２５を搬送することができるものであ
る。
【００６５】次に、前記に示すものの作用について説明
する。まず、上下移動部材を作動させて一方の被研磨物
保持部材３１を上昇させ、保持板３５を上下方向の所定
の位置に位置決めし、真空発生源を作動させて保持板３
５の上部に被研磨物２５を真空吸着し、角度調整部材を
作動させて保持板３５及び被研磨物２５の傾きを調整
し、所定の角度に設定する。
する。まず、上下移動部材を作動させて一方の被研磨物
保持部材３１を上昇させ、保持板３５を上下方向の所定
の位置に位置決めし、真空発生源を作動させて保持板３
５の上部に被研磨物２５を真空吸着し、角度調整部材を
作動させて保持板３５及び被研磨物２５の傾きを調整
し、所定の角度に設定する。
【００６６】そして、上下移動部材を作動させて一方の
被研磨物保持部材３１を下降させ、被研磨物２５の外周
部の下面側の面取り部２６（図１０参照）を一方の研磨
部材１の研磨部２の研磨パッド６に当接させて押圧す
る。
被研磨物保持部材３１を下降させ、被研磨物２５の外周
部の下面側の面取り部２６（図１０参照）を一方の研磨
部材１の研磨部２の研磨パッド６に当接させて押圧す
る。
【００６７】そして、駆動源を作動させて回転軸３２を
回転させて、回転軸３２と一体に保持板３５及び被研磨
物２５を回転させ、被研磨物２５の外周部の下面側の面
取り部２６の研磨を行う。
回転させて、回転軸３２と一体に保持板３５及び被研磨
物２５を回転させ、被研磨物２５の外周部の下面側の面
取り部２６の研磨を行う。
【００６８】そして、被研磨物２５の外周部の下面側の
面取り部２６の研磨が終了した後に、上下移動部材を作
動させて一方の被研磨物保持部材３１を上昇させて、被
研磨物２５を上下方向の所定の位置に位置決めするとと
もに、真空発生源を停止して搬送部材を作動させ、一方
の被研磨物保持部材３１の保持板３５から被研磨物２５
を他方の被研磨物保持部材３６の保持板４０に搬送す
る。
面取り部２６の研磨が終了した後に、上下移動部材を作
動させて一方の被研磨物保持部材３１を上昇させて、被
研磨物２５を上下方向の所定の位置に位置決めするとと
もに、真空発生源を停止して搬送部材を作動させ、一方
の被研磨物保持部材３１の保持板３５から被研磨物２５
を他方の被研磨物保持部材３６の保持板４０に搬送す
る。
【００６９】そして、真空発生源を作動させて保持板４
０の上部に被研磨物２５を真空吸着し、角度調整部材を
作動させて保持板４０及び被研磨物２５の傾きを調整
し、所定の角度に設定する。
０の上部に被研磨物２５を真空吸着し、角度調整部材を
作動させて保持板４０及び被研磨物２５の傾きを調整
し、所定の角度に設定する。
【００７０】そして、上下移動部材を作動させて他方の
被研磨物保持部材３６を上昇させ、被研磨物２５を上下
方向の所定の位置に位置決めするとともに、上下移動部
材を作動させて他方の研磨部材１０を下降させ、他方の
研磨部材１０の研磨部１２の研磨パッド１５に被研磨物
２５の外周部の上面側の面取り部２７（図１０参照）を
当接させて押圧する。
被研磨物保持部材３６を上昇させ、被研磨物２５を上下
方向の所定の位置に位置決めするとともに、上下移動部
材を作動させて他方の研磨部材１０を下降させ、他方の
研磨部材１０の研磨部１２の研磨パッド１５に被研磨物
２５の外周部の上面側の面取り部２７（図１０参照）を
当接させて押圧する。
【００７１】そして、駆動源を作動させて回転軸３７を
回転させて、回転軸３７と一体に保持板４０及び被研磨
物２５を回転させ、被研磨物２５の外周部の上面側の面
取り部２７の研磨を行う。
回転させて、回転軸３７と一体に保持板４０及び被研磨
物２５を回転させ、被研磨物２５の外周部の上面側の面
取り部２７の研磨を行う。
【００７２】このようにして、被研磨物２５の外周部の
下面側の面取り部２６、及び上面側の面取り部２７の研
磨を行うことができるものである。
下面側の面取り部２６、及び上面側の面取り部２７の研
磨を行うことができるものである。
【００７３】上記のように構成したこの実施の形態によ
る研磨装置にあっては、被研磨物２５の下面を一方の被
研磨物保持部材３１の保持板３５に真空吸着によって保
持し、この状態で被研磨物２５の外周部の下面側の面取
り部２６の研磨を行うとともに、被研磨物２５の下面を
他方の被研磨物保持部材３６の保持板４０に真空吸着に
よって保持し、この状態で被研磨物２５の外周部の上面
側の面取り部２７の研磨を行う。このために、被研磨物
２５の下面にしか真空吸着による痕跡が形成されないこ
とになる。
る研磨装置にあっては、被研磨物２５の下面を一方の被
研磨物保持部材３１の保持板３５に真空吸着によって保
持し、この状態で被研磨物２５の外周部の下面側の面取
り部２６の研磨を行うとともに、被研磨物２５の下面を
他方の被研磨物保持部材３６の保持板４０に真空吸着に
よって保持し、この状態で被研磨物２５の外周部の上面
側の面取り部２７の研磨を行う。このために、被研磨物
２５の下面にしか真空吸着による痕跡が形成されないこ
とになる。
【００７４】したがって、被研磨物２５の上下面に真空
吸着による痕跡が形成されることはないので、後の工程
に影響を与えるようなことはなく、生産効率を大幅に高
めることができることになる。
吸着による痕跡が形成されることはないので、後の工程
に影響を与えるようなことはなく、生産効率を大幅に高
めることができることになる。
【００７５】なお、前記第４の実施の形態においては、
一方の被研磨物保持部材３１の保持板３５の上部、及び
他方の被研磨物保持部材３６の保持板４０の上部に真空
吸着によって被研磨物２５を保持するように構成した
が、これに限定することなく、他の保持手段によって保
持するように構成しても同様の効果が得られるのは勿論
のことである。また、一方の被研磨物保持部材３１、他
方の被研磨物保持部材３６及び他方の研磨部材１０を駆
動源によって回転駆動させるように構成したが、一方の
研磨部材１又は一方の被研磨物保持部材３１の少なくと
も何れか一方を駆動源によって回転駆動させるととも
に、他方の研磨部材１０又は他方の被研磨物保持部材３
６の少なくとも何れか一方を駆動源によって回転駆動さ
せるように構成してもよいものである。さらに、一方の
研磨部材１の研磨部２の凹部３の内面、及び他方の研磨
部材１０の研磨部１２の凹部１３の内面はテーパ面５、
１４に限定することなく、球面等に形成してもよいもの
である。
一方の被研磨物保持部材３１の保持板３５の上部、及び
他方の被研磨物保持部材３６の保持板４０の上部に真空
吸着によって被研磨物２５を保持するように構成した
が、これに限定することなく、他の保持手段によって保
持するように構成しても同様の効果が得られるのは勿論
のことである。また、一方の被研磨物保持部材３１、他
方の被研磨物保持部材３６及び他方の研磨部材１０を駆
動源によって回転駆動させるように構成したが、一方の
研磨部材１又は一方の被研磨物保持部材３１の少なくと
も何れか一方を駆動源によって回転駆動させるととも
に、他方の研磨部材１０又は他方の被研磨物保持部材３
６の少なくとも何れか一方を駆動源によって回転駆動さ
せるように構成してもよいものである。さらに、一方の
研磨部材１の研磨部２の凹部３の内面、及び他方の研磨
部材１０の研磨部１２の凹部１３の内面はテーパ面５、
１４に限定することなく、球面等に形成してもよいもの
である。
【００７６】図９には、この発明による研磨装置の第５
の実施の形態が示されている。この実施の形態に示す研
磨装置は、シリコンウエハ等の円板状の被研磨物２５を
保持する被研磨物保持部材６５と、被研磨物２５の外周
部の面取り部２６、２７（図１０参照）を研磨する一方
の研磨部材４１と他方の研磨部材５０とを具えている。
の実施の形態が示されている。この実施の形態に示す研
磨装置は、シリコンウエハ等の円板状の被研磨物２５を
保持する被研磨物保持部材６５と、被研磨物２５の外周
部の面取り部２６、２７（図１０参照）を研磨する一方
の研磨部材４１と他方の研磨部材５０とを具えている。
【００７７】一方の研磨部材４１は、研磨部４２と、研
磨部４２の下面中央部に一体に設けられるとともに、基
台５９の孔６０内に軸受６１を介して挿着される支持部
４８とから構成されている。
磨部４２の下面中央部に一体に設けられるとともに、基
台５９の孔６０内に軸受６１を介して挿着される支持部
４８とから構成されている。
【００７８】研磨部４２の上面側には凹部４３が設けら
れ、この凹部４３の内面は所定の角度のテーパ面４５に
形成され、底面には支持部４８の中心部を貫通する貫通
孔４９の上端部が開口するようになっている。
れ、この凹部４３の内面は所定の角度のテーパ面４５に
形成され、底面には支持部４８の中心部を貫通する貫通
孔４９の上端部が開口するようになっている。
【００７９】研磨部４２の凹部４３のテーパ面４５には
不織布等からなる研磨パッド４６が接着剤等による取付
け手段によって取り付けられるようになっている。
不織布等からなる研磨パッド４６が接着剤等による取付
け手段によって取り付けられるようになっている。
【００８０】研磨パッド４６は、短冊状に形成したもの
を研磨部４２のテーパ面４５の全体に余す所なく取り付
けても良いし、隣接するもの同士間に傾斜（上下）方向
を向く隙間（図示せず）が形成されるように取り付けて
も良いものである。隣接するもの同士間に隙間が形成さ
れるように取り付けた場合には、隙間を研磨剤等の流通
路として機能させることができるものである。
を研磨部４２のテーパ面４５の全体に余す所なく取り付
けても良いし、隣接するもの同士間に傾斜（上下）方向
を向く隙間（図示せず）が形成されるように取り付けて
も良いものである。隣接するもの同士間に隙間が形成さ
れるように取り付けた場合には、隙間を研磨剤等の流通
路として機能させることができるものである。
【００８１】支持部４８の下端部にはプーリー６２が取
り付けられるとともに、このプーリー６２と駆動源（図
示せず）との間にはベルト６３が巻回され、駆動源を作
動させたときに、ベルト６３、プーリー６２を介して一
方の研磨部材４１と後述する他方の研磨部材５０とが一
体に回転駆動するものである。
り付けられるとともに、このプーリー６２と駆動源（図
示せず）との間にはベルト６３が巻回され、駆動源を作
動させたときに、ベルト６３、プーリー６２を介して一
方の研磨部材４１と後述する他方の研磨部材５０とが一
体に回転駆動するものである。
【００８２】一方の研磨部材４１の上部には他方の研磨
部材５０が一体に連結されるようになっている。他方の
研磨部材５０は一方の研磨部材４１に連結される部分に
研磨部５２を有し、この研磨部５２の底面側には凹部５
３が設けられ、この凹部５３の内面は所定の角度のテー
パ面５４に形成されるようになっている。
部材５０が一体に連結されるようになっている。他方の
研磨部材５０は一方の研磨部材４１に連結される部分に
研磨部５２を有し、この研磨部５２の底面側には凹部５
３が設けられ、この凹部５３の内面は所定の角度のテー
パ面５４に形成されるようになっている。
【００８３】研磨部５２のテーパ面５４には一方の研磨
部材４１の研磨部４２と同様に不織布等からなる研磨パ
ッド５５が接着剤等の取付け手段によって取り付けられ
るようになっている。
部材４１の研磨部４２と同様に不織布等からなる研磨パ
ッド５５が接着剤等の取付け手段によって取り付けられ
るようになっている。
【００８４】研磨パッド５５は、一方の研磨部材４１と
同様に、短冊状のものを凹部５３のテーパ面５４の全体
に余す所なく取り付けても良いし、隣接するもの同士間
に傾斜方向を向く隙間が形成されるように取り付けても
良い。隣接するもの同士間に隙間が形成されるように取
り付けた場合には、隙間を研磨剤等の流通路として機能
させることができる。
同様に、短冊状のものを凹部５３のテーパ面５４の全体
に余す所なく取り付けても良いし、隣接するもの同士間
に傾斜方向を向く隙間が形成されるように取り付けても
良い。隣接するもの同士間に隙間が形成されるように取
り付けた場合には、隙間を研磨剤等の流通路として機能
させることができる。
【００８５】そして、上記のように一方の研磨部材４１
の上部に他方の研磨部材５０を一体に連結することで、
両研磨部材４１、５０の研磨部４２、５２の凹部４３、
５３間で円盤状の研磨室５８が形成されるものである。
の上部に他方の研磨部材５０を一体に連結することで、
両研磨部材４１、５０の研磨部４２、５２の凹部４３、
５３間で円盤状の研磨室５８が形成されるものである。
【００８６】他方の研磨部材５０の研磨部５２の上部に
は供給孔５７が設けられ、この供給孔５７を介して研磨
室５８内にスラリーが供給されるようになっている。な
お、６４は、研磨室５８から流出するスラリーを回収す
るスラリー受けである。
は供給孔５７が設けられ、この供給孔５７を介して研磨
室５８内にスラリーが供給されるようになっている。な
お、６４は、研磨室５８から流出するスラリーを回収す
るスラリー受けである。
【００８７】被研磨物保持部材６５は、一方の研磨部材
４１の支持部４８に設けた貫通孔４９を挿通する回転軸
６６と、回転軸６６の上端部に一体に設けられるととも
に、研磨室５８内に位置する円板状の保持板６９とから
構成されている。
４１の支持部４８に設けた貫通孔４９を挿通する回転軸
６６と、回転軸６６の上端部に一体に設けられるととも
に、研磨室５８内に位置する円板状の保持板６９とから
構成されている。
【００８８】回転軸６６は、軸受ケース６７に軸受６８
を介して回転自在に挿着されるようになっている。この
場合、軸受ケース６７は、上下移動部材７２に連結さ
れ、上下移動部材７２を作動させることにより上昇又は
下降するようになっている。
を介して回転自在に挿着されるようになっている。この
場合、軸受ケース６７は、上下移動部材７２に連結さ
れ、上下移動部材７２を作動させることにより上昇又は
下降するようになっている。
【００８９】上下移動部材７２は、所定の角度の傾斜面
７１を有する基台７０に取り付けられるものであって、
基台７０の傾斜面７１上に設けられるレール７４と、レ
ール７４上をスライド自在なベアリング７５とからなる
リニアガイド７３と、リニアガイド７３のベアリング７
５に一体に取り付けられる移動台７６と、基台７０に取
り付けられるシリンダ７７と、シリンダ７７のロッド７
８と移動台７６とを連結する連結板７９とから構成され
るものであって、移動台７６に被研磨物保持部材６５の
軸受ケース６７がボルト等を介して一体に連結されるよ
うになっている。
７１を有する基台７０に取り付けられるものであって、
基台７０の傾斜面７１上に設けられるレール７４と、レ
ール７４上をスライド自在なベアリング７５とからなる
リニアガイド７３と、リニアガイド７３のベアリング７
５に一体に取り付けられる移動台７６と、基台７０に取
り付けられるシリンダ７７と、シリンダ７７のロッド７
８と移動台７６とを連結する連結板７９とから構成され
るものであって、移動台７６に被研磨物保持部材６５の
軸受ケース６７がボルト等を介して一体に連結されるよ
うになっている。
【００９０】そして、シリンダ７７を作動させることに
より移動台７６と一体に被研磨物保持部材６５が傾斜面
７１に沿って上昇又は下降するものである。
より移動台７６と一体に被研磨物保持部材６５が傾斜面
７１に沿って上昇又は下降するものである。
【００９１】被研磨物保持部材６５の回転軸６６は、プ
ーリー８０、ベルト８１等を介して駆動源８２に連結さ
れ、駆動源８２の作動によって回転駆動するようになっ
ている。したがって、回転軸６６を回転させることによ
り回転軸６６と一体に保持板６９を回転駆動させること
ができるものである。
ーリー８０、ベルト８１等を介して駆動源８２に連結さ
れ、駆動源８２の作動によって回転駆動するようになっ
ている。したがって、回転軸６６を回転させることによ
り回転軸６６と一体に保持板６９を回転駆動させること
ができるものである。
【００９２】回転軸６６の内部には流体の通孔（図示せ
ず）が設けられるとともに、保持板６９の内部にも流体
の通孔（図示せず）が設けられ、これらの通孔は相互に
連通するようになっている。保持板６９の通孔は保持板
６９の上面側に開口し、回転軸６６の通孔はチューブ等
の管部材（図示せず）を介して真空ポンプ等の真空発生
源（図示せず）に連結されるようになっている。したが
って、保持板６９の上面側に被研磨物２５を位置した状
態で真空発生源を作動させることにより、保持板６９の
上面側に被研磨物２５の一方の面を真空吸着によって保
持することができるものである。
ず）が設けられるとともに、保持板６９の内部にも流体
の通孔（図示せず）が設けられ、これらの通孔は相互に
連通するようになっている。保持板６９の通孔は保持板
６９の上面側に開口し、回転軸６６の通孔はチューブ等
の管部材（図示せず）を介して真空ポンプ等の真空発生
源（図示せず）に連結されるようになっている。したが
って、保持板６９の上面側に被研磨物２５を位置した状
態で真空発生源を作動させることにより、保持板６９の
上面側に被研磨物２５の一方の面を真空吸着によって保
持することができるものである。
【００９３】次に、前記に示すものの作用について説明
する。まず、上下移動部材７２を作動させて被研磨物保
持部材６５を上昇させ、保持板６９を上下方向の所定の
位置に位置決めし、保持板６９の上部に被研磨物２５を
載置し、真空発生源を作動させて保持板６９の上部に被
研磨物２５を真空吸着する。
する。まず、上下移動部材７２を作動させて被研磨物保
持部材６５を上昇させ、保持板６９を上下方向の所定の
位置に位置決めし、保持板６９の上部に被研磨物２５を
載置し、真空発生源を作動させて保持板６９の上部に被
研磨物２５を真空吸着する。
【００９４】そして、上下移動部材６６を作動させて被
研磨物保持部材６５を下降させ、被研磨物２５の外周部
のうちの下面側の面取り部２６を一方の研磨部材４１の
研磨部４２の研磨パッド４６に当接させて押圧する。
研磨物保持部材６５を下降させ、被研磨物２５の外周部
のうちの下面側の面取り部２６を一方の研磨部材４１の
研磨部４２の研磨パッド４６に当接させて押圧する。
【００９５】そして、駆動源を作動させて被研磨物保持
部材６５の回転軸６６を回転させて、回転軸６６と一体
に保持板６９及び被研磨物２５を回転させるとともに、
駆動源を作動させて一方の研磨部材４１及び他方の研磨
部材５０を一体に回転させ、被研磨物２５の外周部の下
面側の面取り部２６の研磨を行う。
部材６５の回転軸６６を回転させて、回転軸６６と一体
に保持板６９及び被研磨物２５を回転させるとともに、
駆動源を作動させて一方の研磨部材４１及び他方の研磨
部材５０を一体に回転させ、被研磨物２５の外周部の下
面側の面取り部２６の研磨を行う。
【００９６】そして、被研磨物２５の外周部の下面側の
面取り部２６の研磨が終了した後に、上下移動部材７２
を作動させて被研磨物保持部材６５を上昇させて、他方
の研磨部材５０の研磨部５２の研磨パッド５５に被研磨
物２５の外周部の上面側の面取り部２７を当接させて押
圧する。
面取り部２６の研磨が終了した後に、上下移動部材７２
を作動させて被研磨物保持部材６５を上昇させて、他方
の研磨部材５０の研磨部５２の研磨パッド５５に被研磨
物２５の外周部の上面側の面取り部２７を当接させて押
圧する。
【００９７】そして、駆動源を作動させて被研磨物保持
部材６５の回転軸６６を回転させて、回転軸６６と一体
に保持板６９及び被研磨物２５を回転させるともに、駆
動源を作動させて一方の研磨部材４１及び他方の研磨部
材５０を一体に回転させ、被研磨物２５の外周部の上面
側の面取り部２７の研磨を行う。
部材６５の回転軸６６を回転させて、回転軸６６と一体
に保持板６９及び被研磨物２５を回転させるともに、駆
動源を作動させて一方の研磨部材４１及び他方の研磨部
材５０を一体に回転させ、被研磨物２５の外周部の上面
側の面取り部２７の研磨を行う。
【００９８】このようにして、被研磨物２５の外周部の
下面側の面取り部２６、及び上面側の面取り部２７の研
磨を行うことができるものである。
下面側の面取り部２６、及び上面側の面取り部２７の研
磨を行うことができるものである。
【００９９】上記のように構成したこの実施の形態によ
る研磨装置にあっては、被研磨物２５の下面のみを被研
磨物保持部材６５の保持板６９に真空吸着によって保持
した状態で、被研磨物２５の外周部の下面側の面取り部
２６、及び上面側の面取り部２７を研磨することができ
るので、被研磨物２５の下面にしか真空吸着による痕跡
が形成されることがない。
る研磨装置にあっては、被研磨物２５の下面のみを被研
磨物保持部材６５の保持板６９に真空吸着によって保持
した状態で、被研磨物２５の外周部の下面側の面取り部
２６、及び上面側の面取り部２７を研磨することができ
るので、被研磨物２５の下面にしか真空吸着による痕跡
が形成されることがない。
【０１００】したがって、被研磨物２５の上下面に真空
吸着による痕跡が形成されることはないので、後の工程
に影響を与えるようなことはなく、生産効率を大幅に高
めることができる。
吸着による痕跡が形成されることはないので、後の工程
に影響を与えるようなことはなく、生産効率を大幅に高
めることができる。
【０１０１】また、一方の研磨部材４１と他方の研磨部
材５０とを一体に連結して、両研磨部材４１、５０の研
磨部４２、５２の凹部４３、５３間で研磨室５８を形成
しているので、研磨室５８内に供給したスラリーの飛散
がなく、スラリーの回収率を大幅に向上させることがで
きるものである。
材５０とを一体に連結して、両研磨部材４１、５０の研
磨部４２、５２の凹部４３、５３間で研磨室５８を形成
しているので、研磨室５８内に供給したスラリーの飛散
がなく、スラリーの回収率を大幅に向上させることがで
きるものである。
【０１０２】さらに、研磨後に供給孔５７からスラリー
の代わりに純水を研磨室５８内に供給することにより、
研磨室５８内の洗浄を行うことができることになる。
の代わりに純水を研磨室５８内に供給することにより、
研磨室５８内の洗浄を行うことができることになる。
【０１０３】さらに、１つのポジションで研磨加工を行
うことができるので、装置全体の大きさを小さくするこ
とができることになる。
うことができるので、装置全体の大きさを小さくするこ
とができることになる。
【０１０４】さらに、被研磨物２５を持ち替える必要が
ないので、加工工程の時間を大幅に短縮することがで
き、生産効率を大幅に高めることができることになる。
ないので、加工工程の時間を大幅に短縮することがで
き、生産効率を大幅に高めることができることになる。
【０１０５】
【発明の効果】この発明は請求項１、２、６、７のよう
に構成したことにより、被研磨物の一方の面を真空吸着
等によって被研磨物保持部材に保持し、この状態で被研
磨物の外周部の一方の面取り部及び他方の面取り部の研
磨を行うことができることになる。したがって、被研磨
物の一方の面にのみ真空吸着による痕跡が形成されるこ
とになるので、被研磨物の両方の面に真空吸着等による
痕跡が形成されて後の工程に影響を与えるようなことは
なく、生産効率を大幅に高めることができることにな
る。
に構成したことにより、被研磨物の一方の面を真空吸着
等によって被研磨物保持部材に保持し、この状態で被研
磨物の外周部の一方の面取り部及び他方の面取り部の研
磨を行うことができることになる。したがって、被研磨
物の一方の面にのみ真空吸着による痕跡が形成されるこ
とになるので、被研磨物の両方の面に真空吸着等による
痕跡が形成されて後の工程に影響を与えるようなことは
なく、生産効率を大幅に高めることができることにな
る。
【０１０６】また、請求項４、９のように構成したこと
により、被研磨物の一方の面を真空吸着等によって一方
の研磨物保持部材に保持し、この状態で被研磨物の外周
部の一方の面取り部の研磨を行うことができ、被研磨物
の一方の面を真空吸着等によって他方の研磨物保持部材
で保持し、この状態で被研磨物の外周部の他方の面取り
部の研磨を行うことができることになる。したがって、
被研磨物の一方の面にのみ真空吸着等による痕跡が形成
されることになるので、被研磨物の両方の面に真空吸着
等による痕跡が形成されて後の工程に影響を与えるよう
なことはなく、生産効率を大幅に高めることができるこ
とになる。
により、被研磨物の一方の面を真空吸着等によって一方
の研磨物保持部材に保持し、この状態で被研磨物の外周
部の一方の面取り部の研磨を行うことができ、被研磨物
の一方の面を真空吸着等によって他方の研磨物保持部材
で保持し、この状態で被研磨物の外周部の他方の面取り
部の研磨を行うことができることになる。したがって、
被研磨物の一方の面にのみ真空吸着等による痕跡が形成
されることになるので、被研磨物の両方の面に真空吸着
等による痕跡が形成されて後の工程に影響を与えるよう
なことはなく、生産効率を大幅に高めることができるこ
とになる。
【０１０７】さらに、請求項３、５、８、１０のように
構成したことにより、一方の研磨部材の研磨面の全体、
及び他方の研磨部材の研磨面の全体を使って被研磨物の
外周部の面取り部の研磨を行うことができるので、一方
の研磨部材及び他方の研磨部材の研磨面を全体に亘って
均一に磨耗させることができることになる。したがっ
て、被研磨物の外周部の面取り部の研磨精度を大幅に高
めることができることになる。
構成したことにより、一方の研磨部材の研磨面の全体、
及び他方の研磨部材の研磨面の全体を使って被研磨物の
外周部の面取り部の研磨を行うことができるので、一方
の研磨部材及び他方の研磨部材の研磨面を全体に亘って
均一に磨耗させることができることになる。したがっ
て、被研磨物の外周部の面取り部の研磨精度を大幅に高
めることができることになる。
【図１】この発明による研磨装置の第１の実施の形態を
示した概略断面図であって、被研磨物の外周部の下面側
の面取り部の研磨時の状態を示した説明図である。
示した概略断面図であって、被研磨物の外周部の下面側
の面取り部の研磨時の状態を示した説明図である。
【図２】被研磨物の外周部の上面側の面取り部の研磨時
の状態を示した説明図である。
の状態を示した説明図である。
【図３】この発明による研磨装置の第２の実施の形態を
示した概略断面図であって、被研磨物の外周部の下面側
の面取り部の研磨時の状態を示した説明図である。
示した概略断面図であって、被研磨物の外周部の下面側
の面取り部の研磨時の状態を示した説明図である。
【図４】被研磨物の外周部の上面側の面取り部の研磨時
の状態を示した説明図である。
の状態を示した説明図である。
【図５】この発明による研磨装置の第３の実施の形態を
示した概略断面図であって、被研磨物の外周部の下面側
の面取り部の研磨時の状態を示した説明図である。
示した概略断面図であって、被研磨物の外周部の下面側
の面取り部の研磨時の状態を示した説明図である。
【図６】被研磨物の外周部の上面側の面取り部の研磨時
の状態を示した説明図である。
の状態を示した説明図である。
【図７】この発明による研磨装置の第４の実施の形態を
示した概略断面図であって、被研磨物の外周部の下面側
の面取り部の研磨時の状態を示した説明図である。
示した概略断面図であって、被研磨物の外周部の下面側
の面取り部の研磨時の状態を示した説明図である。
【図８】被研磨物の外周部の上面側の面取り部の研磨時
の状態を示した説明図である。
の状態を示した説明図である。
【図９】この発明による研磨装置の第５の実施の形態を
示した概略断面図であって、被研磨物の外周部の下面側
の面取り部の研磨時の状態を示した説明図である。
示した概略断面図であって、被研磨物の外周部の下面側
の面取り部の研磨時の状態を示した説明図である。
【図１０】被研磨物の外周部の拡大断面図である。
１、４１……一方の研磨部材 ２、１２、４２、５２……研磨部 ３、１３、４３、５３……凹部 ５、１４、４５、５４……テーパ面 ６、１５、４６、５５……研磨パッド ８、１１、４８……支持部 ９、４９……貫通孔 １０、５０……他方の研磨部材 １７、６５……被研磨物保持部材 １８、３２、３７、６６……回転軸 １９、３３、３８、６７……軸受ケース ２０、２４、３４、３９、６１、６８……軸受 ２１、３５、４０、６９……保持板 ２２、５９、７０……基台 ２３、６０……孔 ２５……被研磨物 ２６、２７……面取り部 ３１……一方の被研磨物保持部材 ３６……他方の被研磨物保持部材 ５７……供給孔 ５８……研磨室 ６２、８０……プーリー ６３、８１……ベルト ６４……スラリー受け ７１……傾斜面 ７２……上下移動部材 ７３……リニアガイド ７４……レール ７５……ベアリング ７６……移動台 ７７……シリンダ ７８……ロッド ７９……連結板 ８２……駆動源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 水野 憲明 神奈川県綾瀬市早川2647 スピードファ ム・アイペック株式会社内 Ｆターム(参考） 3C049 AA04 AA18 AB01 CA05 CB01
Claims (10)
- 【請求項１】 被研磨物の一方の面を被研磨物保持部材
で保持した状態で一方の面側の面取り部を一方の研磨部
材で研磨し、この後、被研磨物の他方の面側の面取り部
を他方の研磨部材で研磨するようにしたことを特徴とす
る研磨方法。 - 【請求項２】 被研磨物の一方の面を被研磨物保持部材
で保持し、この状態で被研磨物の一方の面取り部を一方
の研磨部材で研磨し、この後、被研磨物保持部材及び一
方の研磨部材と他方の研磨部材との間を移動させて被研
磨物の他方の面取り部を他方の研磨部材で研磨するよう
にしたことを特徴とする研磨方法。 - 【請求項３】 前記被研磨物保持部材の一方の研磨部材
の他方の研磨部材に対する傾きを調整可能とした請求項
１又は２記載の研磨方法。 - 【請求項４】 被研磨物の一方の面を一方の被研磨物保
持部材に保持し、この状態で被研磨物の一方の面取り部
を一方の研磨部材で研磨し、この後、被研磨物を一方の
被研磨物保持部材から外すとともに、被研磨物の一方の
面を他方の被研磨物保持部材で保持し直し、この状態で
被研磨物の他方の面取り部を他方の研磨部材で研磨する
ことを特徴とする研磨方法。 - 【請求項５】 前記一方の被研磨物保持部材の一方の研
磨部材に対する傾き、及び前記他方の被研磨物保持部材
の他方の研磨部材に対する傾きを調整可能とした請求項
４記載の研磨方法。 - 【請求項６】 内面の少なくとも一部が研磨面に形成さ
れた一方の研磨部材と、該一方の研磨部材との間を移動
可能かつ回転可能に設けられるとともに、先端部に被研
磨物の一方の面を保持可能な被研磨物保持部材と、該被
研磨物保持部材との間を移動可能かつ回転可能に設けら
れるとともに、内面の少なくとも一部が研磨面に形成さ
れた他方の研磨部材とを具えたことを特徴とする研磨装
置。 - 【請求項７】 内面の少なくとも一部が研磨面に形成さ
れる一方の研磨部材と、該一方の研磨部材との間を移動
可能かつ回転可能に設けられるとともに、先端部に被研
磨物の一方の面を保持可能な被研磨物保持部材と、前記
一方の研磨部材及び前記被研磨物保持部材との間を移動
可能かつ回転可能に設けられるとともに、内面の少なく
とも一部が研磨面に形成された他方の研磨部材とを具え
たことを特徴とする研磨装置。 - 【請求項８】 前記被研磨物保持部材の前記一方の研磨
部材及び他方の研磨部材に対する傾きを調整可能とした
請求項６又は７記載の研磨装置。 - 【請求項９】 内面の少なくとも一部が研磨面に形成さ
れた一方の研磨部材と、該一方の研磨部材との間を移動
可能かつ回転可能に設けられるとともに、先端部に被研
磨物の一方の面を保持可能な一方の被研磨物保持部材
と、内面の少なくとも一部が研磨面に形成される他方の
研磨部材と、該他方の研磨部材との間を移動可能かつ回
転可能に設けられるとともに、先端部に被研磨物の一方
の面を保持可能な他方の被研磨物保持部材とを具えたこ
とを特徴とする研磨装置。 - 【請求項１０】 前記一方の被研磨物保持部材の前記一
方の研磨部材に対する傾き、及び前記他方の被研磨物保
持部材の前記他方の研磨部材に対する傾きを調整可能と
した請求項９記載の研磨装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000225441A JP2002036079A (ja) | 2000-07-26 | 2000-07-26 | 被研磨物の研磨方法及び研磨装置 |
| DE2001136281 DE10136281B4 (de) | 2000-07-26 | 2001-07-25 | Vorrichtung zum Polieren abgeschrägter Umfangsteile eines Wafers |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000225441A JP2002036079A (ja) | 2000-07-26 | 2000-07-26 | 被研磨物の研磨方法及び研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002036079A true JP2002036079A (ja) | 2002-02-05 |
| JP2002036079A5 JP2002036079A5 (ja) | 2005-02-03 |
Family
ID=18719212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000225441A Pending JP2002036079A (ja) | 2000-07-26 | 2000-07-26 | 被研磨物の研磨方法及び研磨装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002036079A (ja) |
| DE (1) | DE10136281B4 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002049802A1 (fr) * | 2000-12-21 | 2002-06-27 | Nikon Corporation | Dispositif et procede de polissage, et procede et dispositif pour produire un dispositif a semiconducteurs |
| JP2002187050A (ja) * | 2000-12-21 | 2002-07-02 | Nikon Corp | 研磨装置、半導体ウェハの研磨方法、半導体デバイスの製造方法及び製造装置 |
| JP2002192446A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-07-10 | Nikon Corp | 研磨装置、研磨方法及び半導体デバイスの製造方法 |
| JP2009297842A (ja) * | 2008-06-13 | 2009-12-24 | Bbs Kinmei:Kk | ワーク外周部の研磨装置および研磨方法 |
| CN115229602A (zh) * | 2022-09-22 | 2022-10-25 | 苏州恒嘉晶体材料有限公司 | 一种圆片倒角磨削机构及使用方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR0185234B1 (ko) * | 1991-11-28 | 1999-04-15 | 가부시키 가이샤 토쿄 세이미쯔 | 반도체 웨이퍼의 모떼기 방법 |
| JPH07205001A (ja) * | 1993-11-16 | 1995-08-08 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハ面取り機 |
| DE19809697C2 (de) * | 1998-03-06 | 1999-12-23 | Thuringia Netzsch Feinkeramik | Werkzeug zum Schleifen und Polieren rotationssymmetrischer Ränder hohler keramischer Gegenstände wie Tassen und dergl. |
-
2000
- 2000-07-26 JP JP2000225441A patent/JP2002036079A/ja active Pending
-
2001
- 2001-07-25 DE DE2001136281 patent/DE10136281B4/de not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002049802A1 (fr) * | 2000-12-21 | 2002-06-27 | Nikon Corporation | Dispositif et procede de polissage, et procede et dispositif pour produire un dispositif a semiconducteurs |
| JP2002187050A (ja) * | 2000-12-21 | 2002-07-02 | Nikon Corp | 研磨装置、半導体ウェハの研磨方法、半導体デバイスの製造方法及び製造装置 |
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| JP4655369B2 (ja) * | 2000-12-25 | 2011-03-23 | 株式会社ニコン | 研磨装置、研磨方法及び半導体デバイスの製造方法 |
| JP2009297842A (ja) * | 2008-06-13 | 2009-12-24 | Bbs Kinmei:Kk | ワーク外周部の研磨装置および研磨方法 |
| CN115229602A (zh) * | 2022-09-22 | 2022-10-25 | 苏州恒嘉晶体材料有限公司 | 一种圆片倒角磨削机构及使用方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE10136281A1 (de) | 2002-04-25 |
| DE10136281B4 (de) | 2007-06-28 |
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