JP2002006232A - 自動合焦機能を有する顕微鏡 - Google Patents
自動合焦機能を有する顕微鏡Info
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- JP2002006232A JP2002006232A JP2000183007A JP2000183007A JP2002006232A JP 2002006232 A JP2002006232 A JP 2002006232A JP 2000183007 A JP2000183007 A JP 2000183007A JP 2000183007 A JP2000183007 A JP 2000183007A JP 2002006232 A JP2002006232 A JP 2002006232A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】紫外光観察の機能と可視光観察の機能とを併せ
持ち、しかも、自動合焦機能を有する顕微鏡を提供す
る。 【解決手段】対物レンズ２，３と、対物レンズ２，３の
ピントズレを検出する自動合焦部１５〜２３とを有す
る。対物レンズ２，３は、可視光観察のための可視光用
対物レンズ３および紫外光観察のための紫外光用対物レ
ンズ２のいずれか一方が、前記顕微鏡の検出光路中に選
択的に配置される。自動合焦部１５〜２３は、前記選択
的に配置された対物レンズを通して近赤外光を被検面に
照射し、その反射光を受光検出する構成である。紫外光
用対物レンズ２は、紫外光と近赤外光と間で色収差補正
がされている。
持ち、しかも、自動合焦機能を有する顕微鏡を提供す
る。 【解決手段】対物レンズ２，３と、対物レンズ２，３の
ピントズレを検出する自動合焦部１５〜２３とを有す
る。対物レンズ２，３は、可視光観察のための可視光用
対物レンズ３および紫外光観察のための紫外光用対物レ
ンズ２のいずれか一方が、前記顕微鏡の検出光路中に選
択的に配置される。自動合焦部１５〜２３は、前記選択
的に配置された対物レンズを通して近赤外光を被検面に
照射し、その反射光を受光検出する構成である。紫外光
用対物レンズ２は、紫外光と近赤外光と間で色収差補正
がされている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、自動合焦機能を備
えた顕微鏡に関する。
えた顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、自動合焦機能を備える可視光顕微
鏡としては、例えば、特開昭６０−１００１１４号公報
に記載されているように、自動合焦のために近赤外光を
用いる構成が一般的である。近赤外光は、対物レンズを
通して被検物体に照射され、その反射光を検出すること
により合焦状態が検出される。その際、近赤外光と観察
用可視光とでは波長が異なるため、可視光用に設計され
た対物レンズでは近赤外光と可視光とで色収差が発生す
る。そこで、特開昭６０−１００１１４号公報記載の技
術では、自動合焦機構の近赤外光の光路に光学部材を挿
入して光路長を調整することにより、色収差を補正する
ことが開示されている。
鏡としては、例えば、特開昭６０−１００１１４号公報
に記載されているように、自動合焦のために近赤外光を
用いる構成が一般的である。近赤外光は、対物レンズを
通して被検物体に照射され、その反射光を検出すること
により合焦状態が検出される。その際、近赤外光と観察
用可視光とでは波長が異なるため、可視光用に設計され
た対物レンズでは近赤外光と可視光とで色収差が発生す
る。そこで、特開昭６０−１００１１４号公報記載の技
術では、自動合焦機構の近赤外光の光路に光学部材を挿
入して光路長を調整することにより、色収差を補正する
ことが開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述のように可視光顕
微鏡では、近赤外光を用いた自動合焦が実現されている
が、近年は、半導体デバイスや磁気ヘッド等の微細化に
伴って、紫外線顕微鏡が脚光を浴びてきている。その一
方で、可視光顕微鏡も、肉眼視が可能であることや色情
報が得られるといった利点があるため、微細構造の観察
においても依然として必要とされている。このため、紫
外光観察と可視光観察の機能を併せ持つ顕微鏡が望まれ
ている。また、紫外光観察は、モニターを通さなければ
目視で観察できないため、可視光観察を目視で行う場合
よりも焦点位置あわせが難しく、自動合焦機能を備える
ことが望まれる。
微鏡では、近赤外光を用いた自動合焦が実現されている
が、近年は、半導体デバイスや磁気ヘッド等の微細化に
伴って、紫外線顕微鏡が脚光を浴びてきている。その一
方で、可視光顕微鏡も、肉眼視が可能であることや色情
報が得られるといった利点があるため、微細構造の観察
においても依然として必要とされている。このため、紫
外光観察と可視光観察の機能を併せ持つ顕微鏡が望まれ
ている。また、紫外光観察は、モニターを通さなければ
目視で観察できないため、可視光観察を目視で行う場合
よりも焦点位置あわせが難しく、自動合焦機能を備える
ことが望まれる。
【０００４】本発明は、紫外光観察の機能と可視光観察
の機能とを併せ持ち、しかも、自動合焦機能を有する顕
微鏡を提供することを目的とする。
の機能とを併せ持ち、しかも、自動合焦機能を有する顕
微鏡を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明によれば、以下のような顕微鏡が提供され
る。
に、本発明によれば、以下のような顕微鏡が提供され
る。
【０００６】すなわち、対物レンズ２，３と、前記対物
レンズ２，３のピントズレを検出する自動合焦部１５〜
２３とを有する自動合焦機能を有する顕微鏡において、
前記対物レンズ２，３は、可視光観察のための可視光用
対物レンズ３および紫外光観察のための紫外光用対物レ
ンズ２のいずれか一方が、前記顕微鏡の検出光路中に選
択的に配置されて成り、前記自動合焦部１５〜２３は、
前記選択的に配置された前記可視光用対物レンズ３およ
び前記紫外光用対物レンズ２のいずれか一方の対物レン
ズを通して近赤外光を被検面１に照射し、その反射光を
受光検出する構成であり、前記紫外光用対物レンズ２
は、前記紫外光と前記近赤外光と間で色収差補正がされ
ていることを特徴とする自動合焦機能を備えた顕微鏡が
提供される。
レンズ２，３のピントズレを検出する自動合焦部１５〜
２３とを有する自動合焦機能を有する顕微鏡において、
前記対物レンズ２，３は、可視光観察のための可視光用
対物レンズ３および紫外光観察のための紫外光用対物レ
ンズ２のいずれか一方が、前記顕微鏡の検出光路中に選
択的に配置されて成り、前記自動合焦部１５〜２３は、
前記選択的に配置された前記可視光用対物レンズ３およ
び前記紫外光用対物レンズ２のいずれか一方の対物レン
ズを通して近赤外光を被検面１に照射し、その反射光を
受光検出する構成であり、前記紫外光用対物レンズ２
は、前記紫外光と前記近赤外光と間で色収差補正がされ
ていることを特徴とする自動合焦機能を備えた顕微鏡が
提供される。
【０００７】前記紫外光用対物レンズ２は、少なくとも
石英と蛍石の２種類の硝材を用いる構成とすることがで
きる。
石英と蛍石の２種類の硝材を用いる構成とすることがで
きる。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態の顕微鏡に
ついて図面を用いて説明する。
ついて図面を用いて説明する。
【０００９】本実施の形態の顕微鏡は、図１のように、
光軸１０１上に順に、被検物体を搭載するためのステー
ジ１０７、可視光用対物レンズ３、可視光用ハーフミラ
ー７、ダイクロイックミラー１２、ダイクロイックミラ
ー２１、可視光用結像レンズ２４を順に備えている。ダ
イクロイックミラー１２は、近赤外光と可視光とを透過
し、紫外光を反射する特性を有する。ダイクロックミラ
ー２１は、可視光を透過し、近赤外光を反射する特性を
有する。なお、可視光用対物レンズ３は、紫外光用対物
レンズ２と交換可能に配置されている。また、ステージ
１０７は、被検面１を対物レンズ２，３の焦点位置に移
動させるために、被検物体を光軸１０１の方向に上下さ
せる機構を有する。
光軸１０１上に順に、被検物体を搭載するためのステー
ジ１０７、可視光用対物レンズ３、可視光用ハーフミラ
ー７、ダイクロイックミラー１２、ダイクロイックミラ
ー２１、可視光用結像レンズ２４を順に備えている。ダ
イクロイックミラー１２は、近赤外光と可視光とを透過
し、紫外光を反射する特性を有する。ダイクロックミラ
ー２１は、可視光を透過し、近赤外光を反射する特性を
有する。なお、可視光用対物レンズ３は、紫外光用対物
レンズ２と交換可能に配置されている。また、ステージ
１０７は、被検面１を対物レンズ２，３の焦点位置に移
動させるために、被検物体を光軸１０１の方向に上下さ
せる機構を有する。
【００１０】可視光用ハーフミラー７により光軸１０１
から分離される光軸１０４上には、ハーフミラー７側か
ら順に、可視光用フィールドレンズ６、可視光用コレク
タレンズ５、可視光光源４が配置されている。
から分離される光軸１０４上には、ハーフミラー７側か
ら順に、可視光用フィールドレンズ６、可視光用コレク
タレンズ５、可視光光源４が配置されている。
【００１１】また、ダイクロイックミラー１２により、
光軸１０１から分離される光軸１０３上には、ダイクロ
イックミラー１２側から順に紫外光用ハーフミラー１
１、紫外光用フィールドレンズ１０、紫外光用コレクタ
レンズ９、紫外光光源８が配置されている。紫外光用ハ
ーフミラー１１により光軸１０３から分離される光軸１
０５上には、紫外光用結像レンズ１３が配置されてい
る。
光軸１０１から分離される光軸１０３上には、ダイクロ
イックミラー１２側から順に紫外光用ハーフミラー１
１、紫外光用フィールドレンズ１０、紫外光用コレクタ
レンズ９、紫外光光源８が配置されている。紫外光用ハ
ーフミラー１１により光軸１０３から分離される光軸１
０５上には、紫外光用結像レンズ１３が配置されてい
る。
【００１２】ダイクロイックミラー２１により光軸１０
１から分離される光軸１０２上には、ダイクロイックミ
ラー２１側から順に、近赤外光用ハーフミラー２０、ハ
ーフストップ１９、近赤外光用コレクタレンズ１８、ス
リット１７、近赤外光用コンデンサレンズ１６、近赤外
光光源１５が配置されている。また、近赤外光用ハーフ
ミラー２０により光軸１０２から分離される光軸１０６
上には、近赤外光用集光レンズ２２、ＣＣＤラインセン
サ２３が順に配置されている。ＣＣＤラインセンサ２３
は、合焦制御部１０８に接続されている。これらは、自
動合焦系（ＡＦ系）を構成している。近赤外光光源１５
は、ここでは近赤外光を発するＬＥＤを用いる。
１から分離される光軸１０２上には、ダイクロイックミ
ラー２１側から順に、近赤外光用ハーフミラー２０、ハ
ーフストップ１９、近赤外光用コレクタレンズ１８、ス
リット１７、近赤外光用コンデンサレンズ１６、近赤外
光光源１５が配置されている。また、近赤外光用ハーフ
ミラー２０により光軸１０２から分離される光軸１０６
上には、近赤外光用集光レンズ２２、ＣＣＤラインセン
サ２３が順に配置されている。ＣＣＤラインセンサ２３
は、合焦制御部１０８に接続されている。これらは、自
動合焦系（ＡＦ系）を構成している。近赤外光光源１５
は、ここでは近赤外光を発するＬＥＤを用いる。
【００１３】このような構成の本実施の顕微鏡で、可視
光観察する場合について説明する。図１のように、可視
光用対物レンズ３を光軸１０１上に配置するとともに、
可視光光源４から可視光の照明光を出射させる。また、
自動合焦系を動作させるために、近赤外光光源１５から
も近赤外光を出射させる。可視光光源４から出射された
可視光は、コレクタレンズ５、フィールドレンズ６を通
過し、ハーフミラー７で反射されて、可視光用対物レン
ズ３により集光され、被検面１を照明する。被検面１か
らの可視光の反射光は、再び可視光用対物レンズ３を通
り、可視光用ハーフミラー７を透過した後、ダイクロッ
クミラー１２，ダイクロイックミラー２１を通り抜けて
可視光用結像レンズ２４で集光されて、可視光用像面２
５上に結像する。この像を不図示の接眼レンズを介して
直接肉眼で観察するか、もしくは、不図示のＣＣＤカメ
ラ等の撮像部により撮像してモニターを介して観察す
る。これにより、被検面１の可視光像を観察することが
できる。
光観察する場合について説明する。図１のように、可視
光用対物レンズ３を光軸１０１上に配置するとともに、
可視光光源４から可視光の照明光を出射させる。また、
自動合焦系を動作させるために、近赤外光光源１５から
も近赤外光を出射させる。可視光光源４から出射された
可視光は、コレクタレンズ５、フィールドレンズ６を通
過し、ハーフミラー７で反射されて、可視光用対物レン
ズ３により集光され、被検面１を照明する。被検面１か
らの可視光の反射光は、再び可視光用対物レンズ３を通
り、可視光用ハーフミラー７を透過した後、ダイクロッ
クミラー１２，ダイクロイックミラー２１を通り抜けて
可視光用結像レンズ２４で集光されて、可視光用像面２
５上に結像する。この像を不図示の接眼レンズを介して
直接肉眼で観察するか、もしくは、不図示のＣＣＤカメ
ラ等の撮像部により撮像してモニターを介して観察す
る。これにより、被検面１の可視光像を観察することが
できる。
【００１４】この可視光による観察時にける自動合焦系
の動作を説明する。近赤外光光源１５から出射された近
赤外光は、近赤外光用コンデンサーレンズ１６を通って
スリット１７を照明する。スリット１７を通過した光
は、コレクタレンズ１８を通り、ハーフストップ１９で
光束の半分をカットされ、近赤外光用ハーフミラー２０
を透過し、ダイクロイックミラー２１で反射され、ダイ
クロイックミラー１２およびハーフミラー７を通過し
て、可視光用対物レンズ３により被検面１に集光され
る。
の動作を説明する。近赤外光光源１５から出射された近
赤外光は、近赤外光用コンデンサーレンズ１６を通って
スリット１７を照明する。スリット１７を通過した光
は、コレクタレンズ１８を通り、ハーフストップ１９で
光束の半分をカットされ、近赤外光用ハーフミラー２０
を透過し、ダイクロイックミラー２１で反射され、ダイ
クロイックミラー１２およびハーフミラー７を通過し
て、可視光用対物レンズ３により被検面１に集光され
る。
【００１５】このとき、可視光用対物レンズ３は、可視
光と近赤外光との色収差が補正されているものを用い
る。よって、被検面１が可視光用対物レンズ３の焦点位
置に位置する場合には、近赤外光のスリット像も被検面
１上に結像する。被検面１で反射された近赤外光は、光
軸１０１に沿って照明時とは反対側の光路を進みなが
ら、可視光用対物レンズ３を再び通り、可視光用ハーフ
ミラー７，ダイクロイックミラー１２を通過し、ダイク
ロイックミラー２１で反射され、さらに近赤外光用ハー
フミラー２０で反射された後、近赤外光用集光レンズ２
２で集光される。これにより、ＣＣＤラインセンサ２３
上にスリット像が結像される。被検面１が、可視光用対
物レンズ３の焦点位置からずれている場合には、ＣＣＤ
ラインセンサ２３上でスリット像が横方向にずれるた
め、ＣＣＤラインセンサ２３の出力位置を合焦制御部１
０８で検出することにより、被検面１からの焦点位置ず
れ量を検出することができる。合焦制御部１０８は、検
出した焦点位置ずれ量に応じて、ステージ１０７を光軸
１０１方向に上下させる制御信号を出力する。これによ
り、被検面１を可視用対物レンズ３の焦点位置に自動合
焦させることができる。
光と近赤外光との色収差が補正されているものを用い
る。よって、被検面１が可視光用対物レンズ３の焦点位
置に位置する場合には、近赤外光のスリット像も被検面
１上に結像する。被検面１で反射された近赤外光は、光
軸１０１に沿って照明時とは反対側の光路を進みなが
ら、可視光用対物レンズ３を再び通り、可視光用ハーフ
ミラー７，ダイクロイックミラー１２を通過し、ダイク
ロイックミラー２１で反射され、さらに近赤外光用ハー
フミラー２０で反射された後、近赤外光用集光レンズ２
２で集光される。これにより、ＣＣＤラインセンサ２３
上にスリット像が結像される。被検面１が、可視光用対
物レンズ３の焦点位置からずれている場合には、ＣＣＤ
ラインセンサ２３上でスリット像が横方向にずれるた
め、ＣＣＤラインセンサ２３の出力位置を合焦制御部１
０８で検出することにより、被検面１からの焦点位置ず
れ量を検出することができる。合焦制御部１０８は、検
出した焦点位置ずれ量に応じて、ステージ１０７を光軸
１０１方向に上下させる制御信号を出力する。これによ
り、被検面１を可視用対物レンズ３の焦点位置に自動合
焦させることができる。
【００１６】つぎに、紫外光観察を行う場合について説
明する。この場合は、図２のように、可視光用対物レン
ズ２に代えて紫外光用対物レンズ２を光軸１０１上に配
置するとともに、紫外光光源８から紫外光照明光を出射
させる。また、自動合焦系を動作させるために近赤外光
光源１５からも照明光を出射させる。紫外光光源８から
出射された紫外光の照明光は、紫外光用コレクタレンズ
９およびフィールドレンズ１０を通り、紫外光用ハーフ
ミラー１１を透過し、ダイクロイックミラー１２で反射
された後、ハーフミラー７を通過し、紫外光用対物レン
ズ３により集光され、被検面１を照明する。被検面１か
らの紫外光の反射光は、再び紫外光用対物レンズ２を通
り、可視光用ハーフミラー７を透過し、ダイクロイック
ミラー１２、紫外光用ハーフミラー１１で反射されて、
紫外光用結像レンズ１３で集光されて、紫外光用像面１
４上に結像する。この像を不図示のＣＣＤカメラ等の撮
像部により撮像してモニターを介して観察する。これに
より、被検面１の紫外光像を観察することができる。
明する。この場合は、図２のように、可視光用対物レン
ズ２に代えて紫外光用対物レンズ２を光軸１０１上に配
置するとともに、紫外光光源８から紫外光照明光を出射
させる。また、自動合焦系を動作させるために近赤外光
光源１５からも照明光を出射させる。紫外光光源８から
出射された紫外光の照明光は、紫外光用コレクタレンズ
９およびフィールドレンズ１０を通り、紫外光用ハーフ
ミラー１１を透過し、ダイクロイックミラー１２で反射
された後、ハーフミラー７を通過し、紫外光用対物レン
ズ３により集光され、被検面１を照明する。被検面１か
らの紫外光の反射光は、再び紫外光用対物レンズ２を通
り、可視光用ハーフミラー７を透過し、ダイクロイック
ミラー１２、紫外光用ハーフミラー１１で反射されて、
紫外光用結像レンズ１３で集光されて、紫外光用像面１
４上に結像する。この像を不図示のＣＣＤカメラ等の撮
像部により撮像してモニターを介して観察する。これに
より、被検面１の紫外光像を観察することができる。
【００１７】この紫外光による観察時においても、自動
合焦系の動作により、被検面１は紫外光用対物レンズ２
の合焦位置に配置される。自動合焦系の近赤外光の光路
は、可視光像の観察時と同様であるが、可視光観察時と
異なり、光軸１０１上には紫外光用対物レンズ２が配置
されているので、近赤外光は紫外光用対物レンズ２によ
って集光され、被検面１に照射される。また、被検面か
らの反射光は再び紫外光用対物レンズ２を通り、ＣＣＤ
ラインセンサ２３に至る。
合焦系の動作により、被検面１は紫外光用対物レンズ２
の合焦位置に配置される。自動合焦系の近赤外光の光路
は、可視光像の観察時と同様であるが、可視光観察時と
異なり、光軸１０１上には紫外光用対物レンズ２が配置
されているので、近赤外光は紫外光用対物レンズ２によ
って集光され、被検面１に照射される。また、被検面か
らの反射光は再び紫外光用対物レンズ２を通り、ＣＣＤ
ラインセンサ２３に至る。
【００１８】このとき、近赤外光と紫外光とでは、波長
が大きく異なるため、紫外光用対物レンズ２における色
収差が問題となるが、本実施の形態では、紫外光用対物
レンズ２として、レンズ設計時に、近赤外光と紫外光と
の色収差が補正されているレンズを用いていることによ
りこれを解決している。具体的には、紫外光用対物レン
ズ２を、少なくとも石英と蛍石の２種類の硝材で構成す
ることにより、紫外光と近赤外光との間で色収差補正を
行う構成としている。これにより、被検面１が対物レン
ズ２の紫外光での焦点位置に位置する場合には、近赤外
光のスリット像も被検面１上に結像する。よって、紫外
光観察時においても、近赤外光の自動合焦系を用いて、
紫外光用対物レンズ２の焦点位置に被検面１を自動合焦
させることができる。
が大きく異なるため、紫外光用対物レンズ２における色
収差が問題となるが、本実施の形態では、紫外光用対物
レンズ２として、レンズ設計時に、近赤外光と紫外光と
の色収差が補正されているレンズを用いていることによ
りこれを解決している。具体的には、紫外光用対物レン
ズ２を、少なくとも石英と蛍石の２種類の硝材で構成す
ることにより、紫外光と近赤外光との間で色収差補正を
行う構成としている。これにより、被検面１が対物レン
ズ２の紫外光での焦点位置に位置する場合には、近赤外
光のスリット像も被検面１上に結像する。よって、紫外
光観察時においても、近赤外光の自動合焦系を用いて、
紫外光用対物レンズ２の焦点位置に被検面１を自動合焦
させることができる。
【００１９】このように本実施の形態では、可視光用対
物レンズ３として可視光と近赤外光とで色収差補正がな
されているものを用い、紫外光用対物レンズ３として紫
外光と近赤外光とで色収差補正がなされているものを用
いる構成にすることにより、近赤外光の自動合焦系によ
り、可視光観察時にも紫外光観察時にも自動合焦を行う
ことができる。これにより、自動合焦系を、可視光用と
紫外光用で兼用することができるため、可視光観察用の
自動合焦系と、紫外光観察用の自動合焦系とを別々に用
意する必要がない。しかも、収差補正のための機構を別
途備える必要もない。よって、自動合焦機能を備えた可
視光観察と紫外光観察が可能な顕微鏡を簡単な構成で実
現することが可能になる。
物レンズ３として可視光と近赤外光とで色収差補正がな
されているものを用い、紫外光用対物レンズ３として紫
外光と近赤外光とで色収差補正がなされているものを用
いる構成にすることにより、近赤外光の自動合焦系によ
り、可視光観察時にも紫外光観察時にも自動合焦を行う
ことができる。これにより、自動合焦系を、可視光用と
紫外光用で兼用することができるため、可視光観察用の
自動合焦系と、紫外光観察用の自動合焦系とを別々に用
意する必要がない。しかも、収差補正のための機構を別
途備える必要もない。よって、自動合焦機能を備えた可
視光観察と紫外光観察が可能な顕微鏡を簡単な構成で実
現することが可能になる。
【００２０】また、近赤外光を用いた自動合焦系は、従
来より種々の構成が知られているため、上記構成に代え
て、これらのものを用いることが可能である。
来より種々の構成が知られているため、上記構成に代え
て、これらのものを用いることが可能である。
【００２１】なお、上述の構成では、近赤外光光源１５
として、ＬＥＤを用い、スリット１７を通すことにより
スリット像を得る構成としていたが、半導体レーザ等の
レーザ光源を用いることもできる。この場合、スリット
１７は不要であり、スポット像を結像させることにより
同様に自動合焦することができる。
として、ＬＥＤを用い、スリット１７を通すことにより
スリット像を得る構成としていたが、半導体レーザ等の
レーザ光源を用いることもできる。この場合、スリット
１７は不要であり、スポット像を結像させることにより
同様に自動合焦することができる。
【００２２】また、上述の構成では、ハーフミラー７は
固定式であり、紫外光観察時にもハーフミラー７を光路
中に配置しているが、ハーフミラー７を跳ね上げ式と
し、紫外光観察時には光路からはずす構成にすることに
より、紫外光観察時の光量を増加させることができるた
め、明るさを向上させることができる。
固定式であり、紫外光観察時にもハーフミラー７を光路
中に配置しているが、ハーフミラー７を跳ね上げ式と
し、紫外光観察時には光路からはずす構成にすることに
より、紫外光観察時の光量を増加させることができるた
め、明るさを向上させることができる。
【００２３】
【発明の効果】上述してきたように、本発明の請求項１
または２に記載の構成によれば、紫外光観察の機能と可
視光観察の機能とを併せ持ち、しかも、自動合焦機能を
有する顕微鏡を提供することができる。
または２に記載の構成によれば、紫外光観察の機能と可
視光観察の機能とを併せ持ち、しかも、自動合焦機能を
有する顕微鏡を提供することができる。
【図１】本発明の一実施の形態の顕微鏡の全体構成と、
可視光による観察時の対物レンズ２，３の配置および光
路を示すブロック図。
可視光による観察時の対物レンズ２，３の配置および光
路を示すブロック図。
【図２】図１の顕微鏡において、紫外光による観察時の
対物レンズ２，３の配置および光路を示すブロック図。
対物レンズ２，３の配置および光路を示すブロック図。
１…被検面 ２…紫外光用対物レンズ ３…可視光用対物レンズ ４…可視光光源 ５…可視光用コレクタレンズ ６…可視光用フィールドレンズ ７…ハーフミラー ８…紫外光光源 ９…紫外光用コレクタレンズ １０…紫外光用フィールドレンズ １１…紫外光用ハーフミラー １２…ダイクロイックミラー １３…紫外光用結像レンズ １４…紫外光用像面 １５…近赤外光光源 １６…近赤外光用コンデンサーレンズ １７…スリット １８…近赤外光用コレクタレンズ １９…ハーフストップ ２０…近赤外光用ハーフミラー ２１…ダイクロイックミラー ２２…近赤外光用集光レンズ ２３…ＣＣＤラインセンサ ２４…可視光用結像レンズ ２５…可視光用像面 １０７…ステージ １０８…合焦制御部
Claims (2)
- 【請求項１】対物レンズと、前記対物レンズのピントズ
レを検出する自動合焦部とを有する自動合焦機能を有す
る顕微鏡において、 前記対物レンズは、可視光観察のための可視光用対物レ
ンズおよび紫外光観察のための紫外光用対物レンズのい
ずれか一方が、前記顕微鏡の検出光路中に選択的に配置
されて成り、 前記自動合焦部は、前記選択的に配置された前記可視光
用対物レンズおよび前記紫外光用対物レンズのいずれか
一方の対物レンズを通して近赤外光を被検面に照射し、
その反射光を受光検出する構成であり、 前記紫外光用対物レンズは、前記紫外光と前記近赤外光
と間で色収差補正がされていることを特徴とする自動合
焦機能を有する顕微鏡。 - 【請求項２】請求項１に記載の顕微鏡において、前記紫
外光用対物レンズは、少なくとも石英と蛍石の２種類の
硝材を用いて構成されていることを特徴とする自動合焦
機能を有する顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000183007A JP2002006232A (ja) | 2000-06-19 | 2000-06-19 | 自動合焦機能を有する顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000183007A JP2002006232A (ja) | 2000-06-19 | 2000-06-19 | 自動合焦機能を有する顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002006232A true JP2002006232A (ja) | 2002-01-09 |
Family
ID=18683655
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000183007A Pending JP2002006232A (ja) | 2000-06-19 | 2000-06-19 | 自動合焦機能を有する顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002006232A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005258413A (ja) * | 2004-02-10 | 2005-09-22 | Olympus Corp | マイクロマニピュレーションシステム |
| JP2006343595A (ja) * | 2005-06-09 | 2006-12-21 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 共焦点型検査装置 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2000
- 2000-06-19 JP JP2000183007A patent/JP2002006232A/ja active Pending
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