JP2001237138A - セラミックグリーンシートの積層方法及び積層装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 シート間に空気が入り込むことを防止しつ
つ、セラミックグリーンシートを均一に積層するととも
に、セラミックグリーンシートの破れや変形を招いたり
することなく、セラミックグリーンシートからキャリア
フィルムを剥離することが可能なセラミックグリーンシ
ートの積層方法及び積層装置を提供する。 【解決手段】 圧着時には、セラミックグリーンシート
１の搬送を停止し、加熱ロール５をセラミックグリーン
シート１の搬送方向と逆方向に、加熱ロール５の回転速
度（周速度）と略同一の速度で移動させながら、セラミ
ックグリーンシート１を被圧着体（積層体）１０に押圧
して、積層体１０に転写、圧着し、圧着後の剥離工程で
は、加熱ロール５との位置関係が一定になるように保持
された方向転換用当接治具（剥離爪）６と加熱ロール５
とを一定の方向に移動させ、剥離爪６を支点として、キ
ャリアフィルム１を所定の剥離角θで方向転換させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本願発明は、積層セラミック
コンデンサのような積層セラミック電子部品の製造工程
などにおいて用いられるセラミックグリーンシートの積
層方法及びそれに用いられる積層装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】積層セラミックコンデンサなどの積層セ
ラミック電子部品を製造する工程には、セラミックグリ
ーンシートを積層する工程が含まれている。

【０００３】ところで、従来のセラミックグリーンシー
トの積層方法には、 図６に示すように、テーブル５１上にベースフィルム
（キャリアフィルム）５２を介して支持された、セラミ
ックグリーンシートの積層体５３（電極５４が内部に配
設されている）上に、別のキャリアフィルム５２ａ上に
支持されたセラミックグリーンシート５５を、キャリア
フィルム５２ａ側から熱盤５６を押し当てて面プレスす
ることにより、積層体５３上に一層ずつ圧着する方法、 図７に示すように、テーブル５１上にキャリアフィル
ム５２を介して支持された、セラミックグリーンシート
の積層体５３（電極５４が内部に配設されている）上
に、別のキャリアフィルム５２ａ上に支持されたセラミ
ックグリーンシート５５を、キャリアフィルム５２ａ上
から熱ローラ５７を押し当てることにより、積層体５３
上に一層ずつ圧着する方法、 図８に示すように、ローラ６１，６２により搬送され
るキャリアフィルム５２に保持されたセラミックグリー
ンシート上に内部電極を印刷した印刷シート５５ａを吸
着板５８により吸着しながらキャリアフィルム５２より
剥離し、積層する面積よりわずかに大きな面積に切断し
た後、テーブル５１に吸着移載し、打ち抜きヘッド５９
により打ち抜いて、金型６０内に積層して積層体６３を
形成する方法 などの種々の方法がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の方法
の場合、(ａ)熱盤を用いて面プレスすることによりセラ
ミックグリーンシートを積層体に圧着するようにしてい
るので、セラミックグリーンシートと積層体の間に入り
込んだ空気の逃げ場所がなく、積層シート間に残留して
デラミネーションなどの原因となる、(ｂ)プレス面内の
圧力ばらつきが大きく接着状態が不均一になる、(ｃ)圧
着に必要な圧力を得るために必要な総圧が大きくなり、
設備の大型化を招く、(ｄ)キャリアフィルムの剥離は、
熱盤により面プレスを行った後、キャリアフィルムを垂
直に引き上げることにより行われるが、この方法の場
合、剥離のきっかけが不安定になるため、確実に剥離し
ようとすると大きな剥離力を与えなければならず、積層
したセラミックグリーンシートの破れや変形を生じやす
いというような問題点がある。

【０００５】また、上記の方法では、熱ローラが剥離
手段としても用いられており、剥離角θが小さいため、
大きな剥離力が必要となり、積層したセラミックグリー
ンシートの破れや変形を招きやすいという問題点があ
る。

【０００６】また、上記の方法では、セラミックグリ
ーンシートをキャリアフィルムから剥離し、テーブル５
１上で、打ち抜きヘッド５９により所定の形状に打ち抜
いた後、これを垂直方向に積層しているので、積層時に
積層シート間に空気が入り込みやすく、しわも生じやす
いというような問題点がある。

【０００７】本願発明は、上記問題点を解決するもので
あり、大型設備を必要とせず、積層シート間に空気が入
り込むことを防止しつつ、キャリアフィルム上のセラミ
ックグリーンシートを均一に積層するとともに、積層さ
れたセラミックグリーンシートからキャリアフィルム
を、セラミックグリーンシートの破れや変形を招いたり
することなく確実に剥離することが可能なセラミックグ
リーンシートの積層方法及び積層装置を提供することを
目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願発明（請求項１）のセラミックグリーンシート
の積層方法は、キャリアフィルム上に保持されて搬送さ
れるセラミックグリーンシートを、回転可能な加熱ロー
ルにより加熱するとともに、セラミックグリーンシート
又はセラミックグリーンシートの積層体（被圧着体）に
押圧して、転写、圧着した後、キャリアフィルムを被圧
着体から剥離することにより、セラミックグリーンシー
トを積層する方法であって、(ａ)加熱ロールをセラミッ
クグリーンシートの搬送方向に対応する方向に、かつ、
セラミックグリーンシートの搬送速度と略同一の周速度
で回転させるとともに、セラミックグリーンシートの転
写、圧着時には、セラミックグリーンシートの搬送を停
止し、加熱ロールをセラミックグリーンシートの搬送方
向と逆方向に、加熱ロールの前記回転速度（周速度）と
略同一の速度で移動させながら、キャリアフィルム上に
保持されたセラミックグリーンシートを、キャリアフィ
ルムを介してテーブル上の被圧着体に押圧することによ
り、セラミックグリーンシートを被圧着体に転写、圧着
した後、(ｂ)キャリアフィルムの搬送方向についてみた
場合に、加熱ロールより下流側に配設され、加熱ロール
と一定の位置関係が保たれるように配設された、キャリ
アフィルムの方向を転換させるための方向転換用当接治
具を、加熱ロールとともに移動させ、被圧着体に圧着さ
れたセラミックグリーンシート上で、方向転換用当接治
具を支点（方向転換点）として、キャリアフィルムを所
定の角度（剥離角）で方向転換させることにより、被圧
着体に圧着されたセラミックグリーンシートからキャリ
アフィルムを剥離させることを特徴としている。

【０００９】本願発明のセラミックグリーンシートの積
層方法においては、セラミックグリーンシートの転写、
圧着時には、セラミックグリーンシートの搬送を停止
し、加熱ロールをセラミックグリーンシートの搬送方向
と逆方向に、加熱ロールの回転速度（周速度）と略同一
の速度で移動させながら、セラミックグリーンシート
を、キャリアフィルムを介してテーブル上の被圧着体に
押圧して、セラミックグリーンシートを被圧着体に転
写、圧着するようにしているので、積層シート間に空気
が入り込むことを防止しつつ、セラミックグリーンシー
トを均一に積層することが可能になり、セラミックグリ
ーンシートの転写、圧着後の剥離工程では、加熱ロール
との位置関係が一定になるように保持された方向転換用
当接治具と加熱ロールとを一定の方向に移動させ、方向
転換用当接治具を支点（方向転換点）として、キャリア
フィルムを所定の角度（剥離角）で方向転換させるよう
にしているので、大きな剥離力を必要とせず、また、セ
ラミックグリーンシートの破れや変形を招いたりするこ
となしに、キャリアフィルムを被圧着体に圧着されたセ
ラミックグリーンシートから確実に剥離することが可能
になる。また、加熱ロールを移動させてセラミックグリ
ーンシートを積層体に圧着するようにしているので、積
層体を移動させることが不要になり、設備構成を簡略化
することが可能になる。

【００１０】さらに、方向転換用当接治具を用いてキャ
リアフィルムの方向を転換させて剥離するようにしてい
るので、小さな剥離力で剥離させることが可能になり、
セラミックグリーンシートに破れや変形が生じることを
抑制、防止することが可能になる。さらに、剥離力が小
さくてすむことから、被圧着体に圧着されたセラミック
グリーンシートがキャリアフィルムの剥離時に剥がれな
いようにするために大きな力で圧着するということが不
要になり、セラミックグリーンシートの変形を防止する
ことが可能になる。

【００１１】また、請求項２のセラミックグリーンシー
トの積層方法は、前記剥離角が９０゜以上、１８０°未
満の範囲にあることを特徴としている。

【００１２】キャリアフィルムを９０゜以上、１８０°
未満の角度（剥離角）で方向転換させることにより、大
きな剥離力を必要とせずに確実にキャリアフィルムを剥
離することが可能になる。

【００１３】また、本願発明（請求項３）のセラミック
グリーンシートの製造装置は、請求項１又は２記載のセ
ラミックグリーンシートの積層方法を実施するためのセ
ラミックグリーンシートの積層装置であって、(ａ)表面
にセラミックグリーンシートを保持するキャリアフィル
ムを所定の方向に搬送する機能と、搬送を一時的に停止
させる機能を備えた搬送手段と、(ｂ)セラミックグリー
ンシート又はセラミックグリーンシートの積層体（被圧
着体）を支持するテーブルと、(ｃ)セラミックグリーン
シートの搬送方向に対応する方向に、かつ、セラミック
グリーンシートの搬送速度と略同一の周速度で回転する
とともに、キャリアフィルム上のセラミックグリーンシ
ートを被圧着体に転写、圧着する工程（圧着工程）で
は、被圧着体の一端側に対向する位置から他端側に対向
する位置まで、その周速度と略同一の速度で移動し、キ
ャリアフィルム上に保持されたセラミックグリーンシー
トを加熱するとともに、キャリアフィルムを介してセラ
ミックグリーンシートを被圧着体に押圧し、被圧着体に
転写、圧着し、被圧着体に圧着されたセラミックグリー
ンシートからキャリアフィルムを剥離させる工程（剥離
工程）では、被圧着体と対向しない位置に移動するよう
に構成された加熱ロールと、(ｄ)前記剥離工程におい
て、被圧着体に圧着されたセラミックグリーンシート上
で、キャリアフィルムを所定の角度（剥離角）で方向転
換させることにより、前記被圧着体に圧着されたセラミ
ックグリーンシートからキャリアフィルムを剥離させる
方向転換用当接治具とを具備することを特徴としてい
る。

【００１４】前記搬送手段と、テーブルと、加熱ロール
と、方向転換用当接治具とを備えた構成とすることによ
り、本願請求項１のセラミックグリーンシートの積層方
法を確実に実施して、セラミックグリーンシートを効率
よく積層することが可能になる。なお、方向転換用当接
治具としては、爪状の部材（剥離爪）やロール状の部材
（剥離ロール）など種々の形態のものを用いることが可
能である。また、本願発明において、テーブルとは、被
圧着体を支持する種々の支持手段を意味する広い概念で
あり、その具体的な構成に制約はない。

【００１５】また、請求項４のセラミックグリーンシー
トの積層装置は、前記剥離角が９０゜以上、１８０°未
満の範囲にあることを特徴としている。

【００１６】剥離角を９０゜以上、１８０°未満とする
ことにより、大きな剥離力を必要とせず、セラミックグ
リーンシートの破れや変形を招くことなしに、確実にキ
ャリアフィルムを剥離することが可能になる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態を示
してその特徴とするところをさらに詳しく説明する。

【００１８】図１，２，３，及び４は、本願発明の一実
施形態にかかるセラミックグリーンシートの製造装置を
用いてセラミックグリーンシートを積層する方法を示す
図である。また、図５は、本願発明の一実施形態にかか
るセラミックグリーンシートの積層方法の一工程におい
て、セラミックグリーンシートを被圧着体に圧着してい
る状態を示す要部断面図である。

【００１９】このセラミックグリーンシートの積層装置
は、図１〜図５に示すように、セラミックグリーンシー
ト１の積層体（被圧着体）１０を支持するテーブル２
と、表面に電極９（図５）が印刷されたセラミックグリ
ーンシート１を保持するキャリアフィルム３を連続的に
搬送する搬送手段４と、キャリアフィルム３上に保持さ
れて搬送されるセラミックグリーンシート１を、キャリ
アフィルム３を介して加熱するとともに、テーブル２上
の積層体１０に押圧して圧着する加熱ロール５と、キャ
リアフィルム３を所定の角度（剥離角）θで方向転換さ
せることにより、積層体１０に圧着されたセラミックグ
リーンシート１からキャリアフィルム３を剥離させる方
向転換用当接治具６とを備えている。

【００２０】上記テーブル２は、所定の位置に固定して
設置されており、セラミックグリーンシート１の積層体
１０を支持するように構成されている。また、搬送手段
４は、特に図示しない巻き取りローラ（駆動ローラ）や
方向転換用のローラ８ａ，８ｂ，８ｃなどから構成され
ており、加熱ロール５によりキャリアフィルム３上に保
持されて搬送されるセラミックグリーンシート１を積層
体１０に転写、圧着する工程（圧着工程）などにおい
て、搬送を一時的に停止させる機能を備えている。

【００２１】そして、加熱ロール５は、加熱機能を備
え、セラミックグリーンシート１の搬送方向に対応する
方向に、かつ、セラミックグリーンシート１の搬送速度
と略同一の周速度で回転させることが可能で、キャリア
フィルム３上に保持されて搬送されるセラミックグリー
ンシート１を積層体１０に転写、圧着する圧着工程で
は、キャリアフィルム３上に保持されたセラミックグリ
ーンシート１をキャリアフィルム３を介して加熱しなが
ら、テーブル２上の積層体１０に押圧することにより、
セラミックグリーンシート１を積層体１０に転写、圧着
することができるように構成されている。また、加熱ロ
ール５は、積層体１０に圧着されたセラミックグリーン
シート１からキャリアフィルム３を剥離させる工程（剥
離工程）では、テーブル２と対向しない位置に移動する
ように構成されている。

【００２２】また、積層体１０に圧着されたセラミック
グリーンシート１からキャリアフィルム３を剥離させる
方向転換用当接治具（剥離爪）６は、キャリアフィルム
３を方向転換させる際の支点となる機能を果たすもので
あり、金属製で爪状に形成されている。なお、キャリア
フィルム３の方向転換の角度（剥離角）θは、剥離爪６
の先端部の角度により定まるが、剥離爪６とローラ８ｃ
との位置関係にも関係するので、剥離爪６とローラ８ｃ
は所定の剥離角θを実現することが可能な位置関係とな
るように設定されている。なお、この実施形態のセラミ
ックグリーンシートの製造装置において、上述の方向転
換用のローラ８ａ，８ｂ，８ｃ及び剥離爪６は、加熱ロ
ール５が移動した場合にも、一定の位置関係が保たれる
ように構成されている。

【００２３】また、キャリアフィルム３は、剥離爪６に
より積層体１０の最上層のセラミックグリーンシート１
から剥離された後、搬送用のローラ８ｂを経て、巻き取
りローラ（図示せず）により巻き取られるように構成さ
れている。

【００２４】次に、上記のように構成されたセラミック
グリーンシートの積層装置を用いてセラミックグリーン
シートを積層する方法を、、図１〜図５を参照しつつ説
明する。なお、この実施形態では、以下に説明する方法
と同様の方法で、テーブル２上に、電極の形成されてい
ないセラミックグリーンシート（最外層用のセラミック
グリーンシート）１ａ（図５）と、その上に積層、圧着
された複数枚の電極付きのセラミックグリーンシート１
を備えた積層体１０の上に、さらに電極付きのセラミッ
クグリーンシート１を積層する場合を例にとって説明す
る。

【００２５】テーブル２上の積層体１０に、さらにセ
ラミックグリーンシート１を積層するにあたっては、図
１に示すように、加熱ロール５を矢印Ａの方向（水平方
向）に移動させながら、キャリアフィルム３を介して、
キャリアフィルム３に保持された電極付きのセラミック
グリーンシート１を押圧し、テーブル２上の積層体（被
圧着体）１０上にセラミックグリーンシート１を転写、
圧着する。なお、このとき、搬送手段は停止しており、
キャリアフィルム３は搬送されていないが、加熱ロール
５が、キャリアフィルム３が搬送される場合の搬送速度
と略同一の周速度で回転するとともに、その周速度と略
同一の速度で矢印Ａの方向に移動し、かつ、ローラ８
ａ，８ｂ，８ｃ、剥離爪６も、加熱ロール５と同じ速度
で矢印Ａの方向に移動することにより、キャリアフィル
ム３は、テーブル２及び積層体１０との関係では、搬送
されているのと同じ状態となり、キャリアフィルム３に
保持されたセラミックグリーンシート１は、一端側（右
端側）から他端側（左端側）に向かって、徐々に積層体
１０の上面に圧着され、最終的には、図２に示すよう
に、セラミックグリーンシート１の全体が積層体１０に
圧着されることになる。

【００２６】次に、図３に示すように、加熱ロール５
をさらに矢印Ａの方向に移動させるとともに、ローラ８
ａ，８ｂ，８ｃ、及び剥離爪６を、加熱ロール５と同じ
速度でさらに矢印Ａの方向に移動させて、剥離爪６及び
ローラ８ｃにより、キャリアフィルム３を所定の剥離角
θとなるように方向転換させることにより、積層体１０
に圧着されたセラミックグリーンシート１からキャリア
フィルム３を剥離させる。

【００２７】その後、加熱ロール５、ローラ８ａ，８
ｂ，８ｃ、及び剥離爪６を、図４に示すように、矢印Ｂ
の方向に移動させるとともに、キャリアフィルムを所定
量だけ搬送することにより、次のセラミックグリーンシ
ートの転写、圧着工程に備える。そして、上記１〜の
工程を繰り返し、さらに最外層用のセラミックグリーン
シートを積層することにより、セラミックグリーンシー
トの積層体が完成する。

【００２８】なお、この実施形態では、セラミックグリ
ーンシートを積層するにあたっての諸条件を以下の通り
とした。 (ａ)キャリアフィルム ・サイズ：幅１２０mm×厚み０．０５mm ・材質 ：ＰＥＴ製フィルム (ｂ)積層に供したカット済みの電極付きのセラミックグ
リーンシート ・サイズ：１００mm×１００mm×０．０１mm（厚み） ・電極 ：印刷済み (ｃ)加熱ロール ・直径 ：１５０mm ・加熱方式 ：ヒータ加熱 ・加熱温度範囲：８０〜１８０℃の範囲で可変。セラミ
ックグリーンシートのバインダーの含有率や種類などに
より調整する（すなわち、バインダーのガラス転移点
（Ｔｇ）〜（Ｔｇ＋１００℃）の範囲とする）。 ・荷重 ：５０〜１０００Ｎ／cmの範囲で可変。
シリンダの圧力で調整。バインダーの含有率や種類など
により調整する。 ・材質 ：ステンレス ・加熱ロールの周速度：１０mm／s（ただし、下記のテ
ーブルの移動速度及びキャリアフィルム（セラミックグ
リーンシート）の搬送速度に同調させる。 (ｄ)テーブルの移動速度 ・１０mm／s (ｅ)キャリアフィルム（セラミックグリーンシート）の
搬送速度 ・１０mm／ｓ (ｆ)剥離手段 ・剥離角 ：１３５゜ただし、９０゜以上、１８０
°未満の範囲で可変 ・剥離爪の材質：ステンレス

【００２９】上記実施形態のセラミックグリーンシート
の積層方法（積層装置）においては、加熱ロール５を用
いてセラミックグリーンシート１を積層体１０に圧着す
るようにしているので、圧着時に、キャリアフィルム３
に保持されたセラミックグリーンシート１と、テーブル
２上の積層体１０が線接触となり、前述の従来の面プレ
ス（面接触）の場合のように、圧着状態が不均一になる
ことを防止することができる。また、加熱ロール５を移
動させてセラミックグリーンシート１を積層体１０に圧
着するようにしているので、積層体１０、すなわテーブ
ル２を移動させることが不要になり、設備構成を簡略化
することが可能になる。

【００３０】また、セラミックグリーンシート１を加熱
ロール５に沿わせて圧着するようにしているので、しわ
の発生や空気のかみこみを抑制することが可能になる。
また、セラミックグリーンシート１を加熱ロール５で加
熱しながら圧着するようにしているので、セラミックグ
リーンシートどうし及びセラミックグリーンシートと電
極とを確実に接着させることができるようになる。

【００３１】さらに、鋭角の剥離爪６を用い、剥離角を
１３５゜（９０゜以上、１８０°未満の範囲で可変）と
しているので、小さな剥離力で、セラミックグリーンシ
ート１が破れたり変形したりすることを抑制しながらキ
ャリアフィルム３を確実に剥離することができる。ま
た、剥離力が小さくてすむことから、積層体１０に圧着
されたセラミックグリーンシート１がキャリアフィルム
３の剥離時に剥がれないようにするために大きな力で圧
着するということが不要になり、圧着条件が緩和される
ため、大きな力で圧着する場合に生じるようなセラミッ
クグリーンシートの変形を防止することが可能になる。
また、逐次プレスを行う場合、プレス回数が多くなるほ
ど、積層体下層の変形が大きくなるが、この実施形態の
積層方法（積層装置）によれば、変形を小さくすること
が可能になる。

【００３２】また、圧着と剥離を別の装置で行うように
した場合、圧着後に時間が経過すると接着力が変動して
しまうという問題点があるが、上記実施形態の積層装置
では、一定時間経過後に（すなわち、加熱ロールが所定
距離移動した時点で）必ずキャリアフィルムが剥離され
ることになるため、一定の剥離力で安定した剥離を行う
ことが可能になる。

【００３３】なお、上記実施形態のセラミックグリーン
シートの製造装置に、積層体（被圧着体）１０に圧着さ
れた後のセラミックグリーンシート１及びキャリアフィ
ルム３を冷却するための冷却手段を設けることにより、
キャリアフィルム３をさらに確実に剥離することが可能
になる。なお、冷却手段としては、例えば、水冷式の冷
却ロールや冷却プレート、あるいは、直方体形状の冷却
手段（冷却ブロック）などを用いることが可能である。
セラミックグリーンシート１及びキャリアフィルム３を
冷却するにあたっては、冷却温度を５〜２０℃程度にす
ることが望ましい。

【００３４】また、上記実施形態のセラミックグリーン
シートの製造装置に、さらに剥離爪６を冷却するための
冷却手段を設けることにより、キャリアフィルム３をさ
らに確実に剥離することが可能になる。なお、剥離爪６
を冷却するにあたっては、冷却温度を５〜２０℃程度に
することが望ましい。

【００３５】また、上記実施形態のセラミックグリーン
シートの製造装置に、さらに剥離爪６とキャリアフィル
ム３の当接部近傍の静電気を除去する静電気除去手段を
設けることにより、静電気の影響を受けることを防止し
て、さらに効率よくキャリアフィルムを剥離することが
可能になる。なお、静電気除去手段としては、例えば、
イオンブロアー、軟Ｘ線などを用いることが可能であ
る。

【００３６】本願発明は、さらにその他の点においても
上記実施形態に限定されるものではなく、キャリアフィ
ルムとともにセラミックグリーンシートを搬送する搬送
手段の構成、加熱ロールの動作態様や、加熱・加圧条
件、方向転換用当接治具の具体的な形状などに関し、発
明の要旨の範囲内において種々の応用、変形を加えるこ
とが可能である。

【００３７】

【発明の効果】上述のように、本願発明（請求項１）の
セラミックグリーンシートの積層方法は、圧着時には、
セラミックグリーンシートの搬送を停止し、加熱ロール
をセラミックグリーンシートの搬送方向と逆方向に、加
熱ロールの回転速度（周速度）と略同一の速度で移動さ
せながら、セラミックグリーンシートを、キャリアフィ
ルムを介してテーブル上の被圧着体に押圧して、セラミ
ックグリーンシートを被圧着体に転写、圧着し、圧着後
の剥離工程では、加熱ロールとの位置関係が一定になる
ように保持された方向転換用当接治具と加熱ロールとを
一定の方向に移動させ、方向転換用当接治具を支点（方
向転換点）として、キャリアフィルムを所定の角度（剥
離角）で方向転換させるようにしているので、積層シー
ト間に空気が入り込むことを防止しつつ、セラミックグ
リーンシートを均一に積層することが可能になるととも
に、キャリアフィルムの剥離時には、大きな剥離力を必
要とせず、また、セラミックグリーンシートの破れや変
形を招いたりすることなしに、キャリアフィルムを被圧
着体に圧着されたセラミックグリーンシートから確実に
剥離することが可能になる。また、加熱ロールを移動さ
せてセラミックグリーンシートを積層体に圧着するよう
にしているので、積層体を移動させることが不要にな
り、設備構成を簡略化することが可能になる。

【００３８】さらに、方向転換用当接治具を用いてキャ
リアフィルムの方向を転換させて剥離するようにしてい
るので、小さな剥離力で剥離させることが可能になり、
セラミックグリーンシートに破れや変形が生じることを
抑制、防止することが可能になる。さらに、剥離力が小
さくてすむことから、被圧着体に圧着されたセラミック
グリーンシートがキャリアフィルムの剥離時に剥がれな
いようにするために大きな力で圧着するということが不
要になり、セラミックグリーンシートの変形を防止する
ことが可能になる。

【００３９】また、請求項２のセラミックグリーンシー
トの積層方法のように、キャリアフィルムを９０゜以
上、１８０°未満の角度（剥離角）で方向転換させるよ
うにした場合、大きな剥離力を必要とせずに確実にキャ
リアフィルムを剥離することが可能になる。

【００４０】また、請求項３のセラミックグリーンシー
トの製造装置は、搬送手段と、テーブルと、所定の方向
に移動してセラミックグリーンシートの被圧着体への転
写、圧着を行う加熱ロールと、方向転換用当接治具とを
備えているので、請求項１のセラミックグリーンシート
の積層方法を確実に実施して、セラミックグリーンシー
トを効率よく積層することが可能になる。

【００４１】また、請求項４のセラミックグリーンシー
トの積層装置は、キャリアフィルムの剥離角を９０゜以
上、１８０°未満となるように構成されているので、大
きな剥離力を必要とせず、セラミックグリーンシートの
破れや変形を招くことなしに、確実にキャリアフィルム
を剥離することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願発明の一実施形態にかかるセラミックグリ
ーンシートの積層装置を用いてセラミックグリーンシー
トを積層する方法の一工程を示す図である。

【図２】本願発明の一実施形態にかかるセラミックグリ
ーンシートの積層装置を用いてセラミックグリーンシー
トを積層する方法の他の工程を示す図である。

【図３】本願発明の一実施形態にかかるセラミックグリ
ーンシートの積層装置を用いてセラミックグリーンシー
トを積層する方法のさらに他の工程を示す図である。

【図４】本願発明の一実施形態にかかるセラミックグリ
ーンシートの積層装置を用いてセラミックグリーンシー
トを積層する方法のさらに他の工程を示す図である。

【図５】本願発明の一実施形態にかかるセラミックグリ
ーンシートの積層方法の一工程において、セラミックグ
リーンシートを被圧着体に圧着している状態を示す要部
断面図である。

【図６】従来のセラミックグリーンシートの積層装置を
示す図である。

【図７】従来の他のセラミックグリーンシートの積層装
置を示す図である。

【図８】従来のさらに他のセラミックグリーンシートの
積層装置を示す図である。

【符号の説明】

１ セラミックグリーンシート １ａ 最外層用のセラミックグリーンシート ２ テーブル ３ キャリアフィルム ４ 搬送手段 ５ 加熱ロール ６ 方向転換用当接治具（剥離爪） ８ａ，８ｂ，８ｃ ローラ ９ 電極 １０ 被圧着体（積層体） θ 剥離角

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5E001 AB03 AH05 AJ02 5E082 AB03 BC33 BC40 EE04 EE35 FG06 FG26 LL02 MM11 MM21 MM22 MM24 PP10

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】キャリアフィルム上に保持されて搬送され
   るセラミックグリーンシートを、回転可能な加熱ロール
   により加熱するとともに、セラミックグリーンシート又
   はセラミックグリーンシートの積層体（以下、「被圧着
   体」という）に押圧して、転写、圧着した後、キャリア
   フィルムを被圧着体から剥離することにより、セラミッ
   クグリーンシートを積層する方法であって、 (ａ)加熱ロールをセラミックグリーンシートの搬送方向
   に対応する方向に、かつ、セラミックグリーンシートの
   搬送速度と略同一の周速度で回転させるとともに、 セラミックグリーンシートの転写、圧着時には、セラミ
   ックグリーンシートの搬送を停止し、加熱ロールをセラ
   ミックグリーンシートの搬送方向と逆方向に、加熱ロー
   ルの前記回転速度（周速度）と略同一の速度で移動させ
   ながら、キャリアフィルム上に保持されたセラミックグ
   リーンシートを、キャリアフィルムを介してテーブル上
   の被圧着体に押圧することにより、セラミックグリーン
   シートを被圧着体に転写、圧着した後、 (ｂ)キャリアフィルムの搬送方向についてみた場合に、
   加熱ロールより下流側に配設され、加熱ロールと一定の
   位置関係が保たれるように配設された、キャリアフィル
   ムの方向を転換させるための方向転換用当接治具を、加
   熱ロールとともに移動させ、被圧着体に圧着されたセラ
   ミックグリーンシート上で、方向転換用当接治具を支点
   （方向転換点）として、キャリアフィルムを所定の角度
   （剥離角）で方向転換させることにより、被圧着体に圧
   着されたセラミックグリーンシートからキャリアフィル
   ムを剥離させることを特徴とするセラミックグリーンシ
   ートの積層方法。
2. 【請求項２】前記剥離角が９０゜以上、１８０°未満の
   範囲にあることを特徴とする請求項１記載のセラミック
   グリーンシートの積層方法。
3. 【請求項３】請求項１又は２記載のセラミックグリーン
   シートの積層方法を実施するためのセラミックグリーン
   シートの積層装置であって、 (ａ)表面にセラミックグリーンシートを保持するキャリ
   アフィルムを所定の方向に搬送する機能と、搬送を一時
   的に停止させる機能を備えた搬送手段と、 (ｂ)セラミックグリーンシート又はセラミックグリーン
   シートの積層体（被圧着体）を支持するテーブルと、 (ｃ)セラミックグリーンシートの搬送方向に対応する方
   向に、かつ、セラミックグリーンシートの搬送速度と略
   同一の周速度で回転するとともに、 キャリアフィルム上のセラミックグリーンシートを被圧
   着体に転写、圧着する工程（圧着工程）では、被圧着体
   の一端側に対向する位置から他端側に対向する位置ま
   で、その周速度と略同一の速度で移動し、キャリアフィ
   ルム上に保持されたセラミックグリーンシートを加熱す
   るとともに、キャリアフィルムを介してセラミックグリ
   ーンシートを被圧着体に押圧し、被圧着体に転写、圧着
   し、 被圧着体に圧着されたセラミックグリーンシートからキ
   ャリアフィルムを剥離させる工程（剥離工程）では、被
   圧着体と対向しない位置に移動するように構成された加
   熱ロールと、 (ｄ)前記剥離工程において、被圧着体に圧着されたセラ
   ミックグリーンシート上で、キャリアフィルムを所定の
   角度（剥離角）で方向転換させることにより、前記被圧
   着体に圧着されたセラミックグリーンシートからキャリ
   アフィルムを剥離させる方向転換用当接治具とを具備す
   ることを特徴とするセラミックグリーンシートの積層装
   置。
4. 【請求項４】前記剥離角が９０゜以上、１８０°未満の
   範囲にあることを特徴とする請求項３記載のセラミック
   グリーンシートの積層装置。