JP2000252162A - セラミックグリーンシートの積層方法及び積層装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 キャリアフィルム上のセラミックグリーンシ
ートを、破れや変形を生じたり、積層シート間に空気が
入り込んだりすることなく、確実に積層することが可能
なセラミックグリーンシートの積層方法及び積層装置を
提供する。 【解決手段】 キャリアフィルム３上のセラミックグリ
ーンシート１を、加熱ロール５によりキャリアフィルム
を介して加熱、押圧することにより、テーブル２上の積
層体（被圧着体）１０上に転写、圧着し、さらに補助加
熱・圧着手段２０により補助的に加熱・圧着した後、キ
ャリアフィルム３を所定の剥離角で方向転換させること
によりセラミックグリーンシート１からキャリアフィル
ム３を剥離する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本願発明は、積層セラミック
コンデンサのような積層セラミック電子部品の製造工程
などにおいて用いられるセラミックグリーンシートの積
層方法及びそれに用いられる積層装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】積層セラミックコンデンサなどの積層セ
ラミック電子部品を製造する工程には、セラミックグリ
ーンシートを積層する工程が含まれている。

【０００３】ところで、従来のセラミックグリーンシー
トの積層方法には、 図８に示すように、テーブル５１上にベースフィルム
（キャリアフィルム）５２を介して支持された、セラミ
ックグリーンシートの積層体５３（電極５４が内部に配
設されている）上に、別のキャリアフィルム５２ａ上に
支持されたセラミックグリーンシート５５を、キャリア
フィルム５２ａ側から熱盤５６を押し当てて面プレスす
ることにより、積層体５３上に一層ずつ圧着する方法、 図９に示すように、テーブル５１上にキャリアフィル
ム５２を介して支持された、セラミックグリーンシート
の積層体５３（電極５４が内部に配設されている）上
に、別のキャリアフィルム５２ａ上に支持されたセラミ
ックグリーンシート５５を、キャリアフィルム５２ａ上
から熱ローラ５７を押し当てることにより、積層体５３
上に一層ずつ圧着する方法などの種々の方法がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の方法
の場合、(ａ)熱盤を用いて面プレスすることによりセラ
ミックグリーンシートを積層体に圧着するようにしてい
るので、セラミックグリーンシートと積層体の間に入り
込んだ空気の逃げ場所がなく、積層シート間に残留して
デラミネーションなどの原因となる、(ｂ)プレス面内の
圧力ばらつきが大きく接着状態が不均一になる、(ｃ)圧
着に必要な圧力を得るために必要な総圧が大きくなり、
設備の大型化を招く、(ｄ)キャリアフィルムの剥離は、
熱盤により面プレスを行った後、キャリアフィルムを垂
直に引き上げることにより行われるが、この方法の場
合、確実に剥離しようとすると大きな剥離力を与えなけ
ればならず、積層したセラミックグリーンシートの破れ
や変形を生じやすいというような問題点がある。

【０００５】また、上記の方法では、(ａ)熱ローラに
より、加熱、圧着を行うようにしているが、熱ローラに
よる加熱のみでは、加熱時間が短く、セラミックグリー
ンシート間の接着力が不十分になる場合がある、(ｂ)十
分な接着力を確保するために加熱時間を長くしようとす
ると、熱ローラの回転速度を小さくしなければならず、
セラミックグリーンシートの搬送速度が低下し、生産性
が低下する、(ｃ)熱ローラの回転速度を小さくして加熱
時間を長くすると、加圧時間も長くなるため、それだ
け、セラミックグリーンシートに変形が生じやすくな
る、(ｄ)十分な接着力を確保するために加圧力を大きく
すると、加圧時間を短くすることは可能になるが、大き
な力で加圧するとセラミックグリーンシートに変形が生
じやすくなる、(ｅ)さらに、加熱温度を高くすると、加
圧時間を短くすることは可能になるが、セラミックグリ
ーンシートに変形が生じやすくなるというような問題点
がある。

【０００６】本願発明は、上記問題点を解決するもので
あり、大型設備を必要とせず、積層シート間に空気が入
り込むことを防止しつつ、キャリアフィルム上のセラミ
ックグリーンシートを、破れや変形を生じることなく確
実に積層することが可能なセラミックグリーンシートの
積層方法及び積層装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願発明（請求項１）のセラミックグリーンシート
の積層方法は、キャリアフィルム上に保持されて搬送さ
れるセラミックグリーンシートを、回転可能な加熱ロー
ルにより加熱するとともに、テーブル上のセラミックグ
リーンシート又はセラミックグリーンシートの積層体
（被圧着体）に押圧して、転写、圧着する圧着領域にお
いて、加熱ロールをセラミックグリーンシートの搬送方
向に対応する方向に、かつセラミックグリーンシートの
搬送速度と略同一の周速度で回転させるとともに、テー
ブルをセラミックグリーンシートの搬送方向と同一方向
に略同一速度で移動させることにより、キャリアフィル
ム上に保持されたセラミックグリーンシートをテーブル
上の被圧着体に転写、圧着した後、テーブルをさらに同
じ方向に移動させながら、前記セラミックグリーンシー
トが圧着された被圧着体を、補助加熱・圧着手段により
さらに補助的に加熱・圧着し、テーブルをさらに同じ方
向に移動させながら、剥離手段を構成する方向転換用当
接治具を支点（方向転換点）として、キャリアフィルム
を所定の角度（剥離角）で方向転換させることにより、
被圧着体に圧着されたセラミックグリーンシートから剥
離させることを特徴としている。

【０００８】キャリアフィルム上に保持されて搬送され
るセラミックグリーンシートを、加熱ロールにより、キ
ャリアフィルムを介してテーブル上の被圧着体に押圧す
ることにより、キャリアフィルム上のセラミックグリー
ンシートを被圧着体に転写、圧着するとともに、セラミ
ックグリーンシートが圧着された被圧着体を、補助加熱
・圧着手段によりさらに補助的に加熱・圧着した後、テ
ーブルをさらに同じ方向に移動させながら、剥離手段を
構成する方向転換用当接治具を支点（方向転換点）とし
て、キャリアフィルムを所定の剥離角となるように方向
転換させてセラミックグリーンシートから剥離すること
により、キャリアフィルム上のセラミックグリーンシー
トを、変形を生じたりすることなく、確実に積層するこ
とが可能になるとともに、積層されたセラミックグリー
ンシートからキャリアフィルムを、セラミックグリーン
シートの変形を招いたりすることなく確実に剥離するこ
とが可能になり、セラミックグリーンの積層体を効率よ
く形成することが可能になる。すなわち、補助加熱・圧
着を行うことにより、セラミックグリーンシートどうし
及びセラミックグリーンシートと電極との最終的な接着
力を向上させることができる。

【０００９】また、セラミックグリーンシートの搬送速
度を一定としたまま補助加熱・圧着領域の長さを変えた
り、補助加熱・圧着の条件を変えたりすることにより、
全体としての加熱・圧着時間を制御することが可能にな
り、十分な接着力を確保することができる。また、セラ
ミックグリーンシートの搬送速度を大きく、かつ、一定
に保つことにより、十分な接着力を確保しつつ、生産性
を向上させることが可能になる。

【００１０】また、全体としての加熱時間を十分にとる
ことにより、加熱ロールによる加圧力を大きくすること
が不要になり、加熱ロールの加圧力を大きくすることに
起因するセラミックグリーンシートの変形を防止するこ
とが可能になる。

【００１１】また、請求項２のセラミックグリーンシー
トの積層方法は、前記テーブルとして、往復動可能なテ
ーブルが用いられており、圧着領域において、キャリア
フィルム上に保持されて搬送されてきたセラミックグリ
ーンシートが転写、圧着された被圧着体を、前記テーブ
ルを移動させて、圧着領域から剥離領域に搬送するとと
もに、剥離領域において、キャリアフィルムを、被圧着
体に圧着されたセラミックグリーンシートから剥離した
後、前記テーブルを移動させて、キャリアフィルムが剥
離された被圧着体を圧着領域に戻すことにより、(ａ)前
記セラミックグリーンシートの被圧着体への転写、圧
着、(ｂ)前記セラミックグリーンシートが圧着された被
圧着体の補助的な加熱・圧着、(ｃ)前記セラミックグリ
ーンシートが圧着された被圧着体の剥離領域への搬送、
及び(ｄ)前記キャリアフィルムの剥離の工程を繰り返し
て行い、複数のセラミックグリーンシートを順次積層す
ることを特徴としている。

【００１２】前記テーブルとして往復動可能なテーブル
を用い、圧着領域と剥離領域の間の被圧着体の搬送を、
往復動可能なテーブルによって行うことにより、設備の
構成やセラミックグリーンシートを積層する場合の諸工
程を簡略化して、効率よくセラミックグリーンシートを
積層することが可能になり、本願発明をより実効あらし
めることができる。

【００１３】また、請求項３のセラミックグリーンシー
トの積層方法は、前記補助加熱・圧着手段により補助的
な加熱・圧着を行った後、キャリアフィルムを剥離する
前に、前記被圧着体に加熱・圧着されたセラミックグリ
ーンシートとキャリアフィルムを冷却する工程を設けた
ことを特徴としている。

【００１４】被圧着体に加熱・圧着されたセラミックグ
リーンシートとキャリアフィルムを冷却することによ
り、セラミックグリーンシートどうし及びセラミックグ
リーンシートと電極が接着している部分のバインダーの
強度が向上して接着力が向上する一方、セラミックグリ
ーンシートとキャリアフィルムは剥離しやすい状態とな
るため、キャリアフィルムをセラミックグリーンシート
から剥離しやすくなる。したがって、圧着時の加熱温度
を低くしたり、加熱ロールによる加圧力を小さくするこ
とが可能になり、セラミックグリーンシートの破れや変
形をさらに抑制することが可能になる。

【００１５】また、本願発明（請求項４）のセラミック
グリーンシートの積層装置は、表面にセラミックグリー
ンシートを保持するキャリアフィルムを連続的に一方向
に搬送する搬送手段と、セラミックグリーンシート又は
セラミックグリーンシートの積層体（被圧着体）を支持
し、キャリアフィルム上に保持されて搬送されるセラミ
ックグリーンシートが被圧着体に転写、圧着される圧着
領域と、被圧着体に圧着されたセラミックグリーンシー
トからキャリアフィルムを剥離させる剥離領域を移動す
るテーブルと、セラミックグリーンシートの搬送方向に
対応する方向に、かつセラミックグリーンシートの搬送
速度と略同一の周速度で回転し、キャリアフィルム上に
保持されたセラミックグリーンシートを加熱するととも
に、キャリアフィルムを介してテーブル上の被圧着体に
押圧することにより、セラミックグリーンシートをテー
ブル上の被圧着体に転写、圧着する加熱ロールと、前記
セラミックグリーンシートが圧着された被圧着体を、キ
ャリアフィルムを剥離する剥離領域に搬送する過程で、
さらに補助的に加熱・圧着する補助加熱・圧着手段と、
前記剥離領域において、キャリアフィルムを方向転換さ
せるための支点（方向変換点）となる方向転換用当接治
具をキャリアフィルムに当接させ、キャリアフィルムを
所定の角度（剥離角）で方向転換させることにより、前
記被圧着体に圧着されたセラミックグリーンシートから
キャリアフィルムを剥離させる剥離手段とを具備するこ
とを特徴としている。

【００１６】前記テーブルと、搬送手段と、加熱ロール
と、補助加熱・圧着手段と、剥離手段とを備えた構成と
することにより、本願請求項１のセラミックグリーンシ
ートの積層方法を確実に実施して、セラミックグリーン
シートを、変形を招いたりすることなく効率よく積層す
ることが可能になる。

【００１７】なお、剥離手段を構成する方向転換用当接
治具としては、爪状の部材（剥離爪）やロール状の部材
（剥離ロール）など種々のものを用いることが可能であ
る。

【００１８】また、請求項５のセラミックグリーンシー
トの積層装置は、前記補助加熱・圧着手段による補助加
熱・圧着を行った後、キャリアフィルムを剥離する前
に、被圧着体に加熱・圧着されたセラミックグリーンシ
ートとキャリアフィルムを冷却する冷却手段を具備する
ことを特徴としている。

【００１９】補助加熱・圧着手段による補助加熱・圧着
を行った後、キャリアフィルムを剥離する前に、被圧着
体に加熱・圧着されたセラミックグリーンシートとキャ
リアフィルムを冷却する冷却手段を備えた構成とするこ
とにより、本願請求項３のセラミックグリーンシートの
積層方法を確実に実施して、セラミックグリーンシート
を、破れや変形を招いたりすることなく、セラミックグ
リーンシートの積層体を効率よく形成することが可能に
なる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態を示
してその特徴とするところをさらに詳しく説明する。

【００２１】［実施形態１］図１は本願発明の一実施形
態にかかるセラミックグリーンシートの積層装置の要部
構成を示す図である。このセラミックグリーンシートの
積層装置は、図１に示すように、セラミックグリーンシ
ート１の積層体（被圧着体）１０を支持し、圧着領域Ａ
と剥離領域Ｂを往復動するように構成されたテーブル２
と、表面に電極９が印刷されたセラミックグリーンシー
ト１を保持するキャリアフィルム３を連続的に搬送する
搬送手段４と、キャリアフィルム３上のセラミックグリ
ーンシート１の位置を検知するためのイメージセンサ１
５と、キャリアフィルム３上に保持されて搬送されるセ
ラミックグリーンシート１を、回転しながらキャリアフ
ィルム３を介して加熱するとともに、テーブル２上のセ
ラミックグリーンシート１の積層体１０に押圧して圧着
する加熱ロール５と、セラミックグリーンシート１が圧
着された積層体１０を、さらに補助的に加熱・圧着する
補助加熱・圧着手段（ここでは補助加熱・圧着ロール）
２０と、キャリアフィルム３を方向転換させるための支
点となる方向転換用当接治具（ここでは剥離爪）６をキ
ャリアフィルム３に当接させ、キャリアフィルム３を方
向転換させて、積層体１０に圧着されたセラミックグリ
ーンシート１から剥離するように構成された剥離手段７
とを備えている。なお、キャリアフィルム３は、剥離爪
６により積層体１０の最上層のセラミックグリーンシー
ト１から剥離された後、ローラ８を経て、搬送手段４に
より搬送されるように構成されている。

【００２２】次に、上記のように構成されたセラミック
グリーンシートの積層装置の動作を、図２，３及び４を
参照しつつ説明する。 まず、テーブルに、電極の形成されていないセラミッ
クグリーンシート、すなわち、最外層用のセラミックグ
リーンシートを載せる。 次に、図２に示すように、加熱ロール５により、キャ
リアフィルム３を介して、キャリアフィルム３に保持さ
れた電極付のセラミックグリーンシート１を押圧し、テ
ーブル２上の最外層用のセラミックグリーンシート（被
圧着体）１ａ上に転写、圧着する。なお、このとき、加
熱ロール５を電極付のセラミックグリーンシート１の搬
送方向（矢印Ｙの方向）に対応する方向に、電極付のセ
ラミックグリーンシート１の搬送速度と略同一の周速度
で回転させるとともに、テーブル２を電極付のセラミッ
クグリーンシート１の搬送方向（Ｙ方向）と同一方向に
略同一速度で移動させることにより、キャリアフィルム
３上に保持された電極付のセラミックグリーンシート１
をテーブル２上の最外層用のセラミックグリーンシート
（被圧着体）１ａに転写、圧着する。 それから、図３に示すように、テーブルをさらに矢印
Ｙの方向に移動させながら、補助加熱・圧着手段（補助
加熱・圧着ロール）２０により、セラミックグリーンシ
ート１を、さらに補助的に加熱・圧着する。 その後、図４に示すように、テーブル２をさらに矢印
Ｙの方向に移動させるとともに、方向転換用当接治具
（剥離爪）６及びローラ８により、キャリアフィルム３
を所定の剥離角θ（ここでは、約１２０゜）となるよう
に方向転換させながら搬送することにより、最外層用の
セラミックグリーンシート１ａに圧着された電極付のセ
ラミックグリーンシート１からキャリアフィルム３を剥
離させる。 それから、テーブル２を圧着領域Ａ（図１）に戻し
て、上記，及びを繰り返し、さらに最外層用のセ
ラミックグリーンシートを積層することにより、セラミ
ックグリーンシートの積層体が完成する。

【００２３】なお、この実施形態における各種の条件は
以下の通りとした。 (ａ)キャリアフィルム サイズ：幅１２０mm×厚み０．０５mm 材質 ：ＰＥＴ製フィルム (ｂ)積層に供したカット済みの電極付のセラミックグリ
ーンシート サイズ：１００mm×１００mm×０．０１mm（厚み） 電極 ：印刷済み (ｃ)加熱ロール ・直径 ：１５０mm ・加熱方式 ：ヒータ加熱 ・加熱温度範囲：８０〜１８０℃の範囲で可変。セラミ
ックグリーンシートのバインダーの含有率や種類などに
より調整する（すなわち、バインダーのガラス転移点
（Ｔｇ）〜（Ｔｇ＋１００℃）の範囲とする）。 ・荷重 ：５０〜１０００Ｎ／cmの範囲で可変。
シリンダの圧力で調整。バインダーの含有率や種類など
により調整する調整する。 ・材質 ：ステンレス ・加熱ロールの周速度：１００mm／s（ただし、下記の
テーブルの移動速度及びキャリアフィルム（セラミック
グリーンシート）の搬送速度に同調させる。 (ｄ)テーブルの移動速度 １００mm／s (ｅ)キャリアフィルム（セラミックグリーンシート）の
搬送速度 １００mm／ｓ (ｆ)補助加熱・圧着ロール ・個数 ：４個 ・直径 ：５０mm ・加熱方式 ：ヒータ加熱 ・加熱温度範囲：８０〜１８０℃の範囲で可変（加熱ロ
ールと同じ） ・荷重 ：５０Ｎ／cm ・材質 ：ステンレス ・周速度 ：１００mm／s (ｇ)剥離手段 ・剥離角 ：約１２０゜ ・剥離爪の材質：ステンレス

【００２４】上記実施形態のセラミックグリーンシート
の積層方法においては、加熱ロールを用いてセラミック
グリーンシートを圧着した後、補助加熱・圧着手段によ
り、さらに加熱・圧着を行うようにしているので、セラ
ミックグリーンシートの搬送速度を一定としたまま補助
加熱・圧着領域の長さを変えたり、補助加熱・圧着の条
件を変えたりすることにより、全体としての加熱・圧着
時間を制御することが可能になり、十分な接着力を確保
することができる。また、セラミックグリーンシートの
搬送速度を大きく、かつ、一定に保つことにより、十分
な接着力を確保しつつ、生産性を向上させることができ
る。

【００２５】また、全体としての加熱時間を十分にとる
ことにより、加熱ロールによる加圧力を大きくすること
が不要になり、加熱ロールの加圧力を大きくすることに
起因する、セラミックグリーンシートの変形を防止する
ことができる。

【００２６】なお、上記実施形態では、方向転換用当接
治具として剥離爪６を用いているが、方向転換用当接治
具として鋭角の剥離爪６ａを用い、剥離角θを９０以
上、１８０°未満とすることにより、キャリアフィルム
３を大きな剥離力を必要とせずに確実に剥離することが
可能になり、本願発明をより実効あらしめることができ
る。また、剥離力が小さくて済むことから、セラミック
グリーンシートどうしがキャリアフィルムの剥離時に剥
がれないようにするために大きな力で圧着するというこ
とが不要になり、圧着条件を緩和することができるた
め、大きな力で圧着した場合に生じるようなセラミック
グリーンシートの破れや変形を防止することが可能にな
る。

【００２７】上記の他にも、以下に述べるような効果を
奏する。セラミックグリーンシートを加熱ロールに沿わ
せて圧着することにより、しわなどの発生を防止して、
セラミックグリーンシート間に空気がかみこまれること
を抑制することができる。

【００２８】また、セラミックグリーンシートを加熱ロ
ールで加熱しながら圧着するようにしているので、セラ
ミックグリーンシートどうし及びセラミックグリーンシ
ートと電極とを確実に接着させることができる。

【００２９】また、圧着と剥離という手段を明確に分離
したことにより、圧着と剥離を確実に行うことが可能に
なる。一方、圧着領域Ａと剥離領域Ｂを近接した位置に
配設しており、テーブルを矢印Ｙの方向に移動させるだ
けで、圧着と剥離を一連の動作で行うことが可能にな
り、生産性の低下を招くことがない。

【００３０】また、圧着と剥離を別の装置で行うように
した場合、圧着後に時間が経過すると接着力が変動して
しまうという問題点があるが、上記実施形態の積層装置
では、一定時間経過後に（すなわち、テーブルが所定距
離移動した時点で）必ずキャリアフィルムが剥離される
ことになるため、一定の剥離力で安定した剥離を行うこ
とが可能になる。

【００３１】なお、上記実施形態では、方向転換用当接
治具として剥離爪６を用いているが、本願発明において
は、図５(ａ)に示すように、方向転換用当接治具とし
て、剥離板６ａを用い、剥離角θが９０゜以下（例え
ば、図５では約４５゜）となるような構成とすることも
可能である。なお、剥離板の代わりに、剥離ロールを用
いることも可能であり、また、剥離角を９０゜以上、１
８０°未満の範囲で任意に選択することが可能である。
図５(ｂ)は、図５(ａ)の剥離板６ａの代わりに剥離ロー
ル６ｂを用いて剥離角を約４５゜とした例を示してい
る。

【００３２】［実施形態２］この実施形態のセラミック
グリーンシートの積層装置は、図６に示すように、補助
加熱・圧着手段２０により補助加熱・圧着を行った後
の、積層体（被圧着体）１０に加熱・圧着されたセラミ
ックグリーンシート１及びキャリアフィルム３を冷却す
るための冷却手段（冷却ロール）１１を備えている。

【００３３】なお、冷却手段１１としては、セラミック
グリーンシート１及びキャリアフィルム３を５〜２０℃
に冷却する能力を有する水冷方式の冷却ロールが４個用
いられている。また、この冷却手段１１の直径は５０mm
で、各冷却ロール１１は、５０Ｎ／cmの荷重を加えるこ
とができるように構成されている。

【００３４】また、この実施形態２では、方向転換用当
接治具としてロール状の治具（剥離ロール）６ｂを用い
ている。ただし、方向転換用当接治具として、爪状の治
具（剥離爪）や剥離板を用いることも可能である。

【００３５】なお、その他の構成は、上記実施形態１の
場合と同様であることから、重複を避けるため、説明を
省略する。

【００３６】この実施形態のように、冷却手段１１を設
けて、積層体（被圧着体）１０に加熱・圧着されたセラ
ミックグリーンシート１及びキャリアフィルム３を冷却
することにより、セラミックグリーンシートどうし及び
セラミックグリーンシートと電極が接着している部分の
バインダーの強度が向上して接着力が向上する一方、セ
ラミックグリーンシート１とキャリアフィルム３は剥離
しやすい状態となり、キャリアフィルム３をセラミック
グリーンシート１から剥離しやすくなる。したがって、
圧着時の加熱温度を低くしたり、加熱ロールによる加圧
力を小さくすることが可能になり、セラミックグリーン
シートの破れや変形をさらに抑制することが可能にな
る。

【００３７】なお、この実施形態２では、ロール状の冷
却手段１１を用いているが、図７に示すように、直方体
形状の冷却手段（冷却ブロック）１１ａを用いることも
可能である。

【００３８】本願発明は、上記実施形態に限定されるも
のではなく、キャリアフィルムとともにセラミックグリ
ーンシートを搬送する搬送手段の構成、テーブルの動作
態様、加熱ロールの加熱条件や押圧条件、方向転換用当
接治具の具体的な構成、補助加熱・圧着手段や冷却手段
の構成などに関し、発明の要旨の範囲内において種々の
応用、変形を加えることが可能である。

【００３９】

【発明の効果】上述のように、本願（請求項１）のセラ
ミックグリーンシートの積層方法は、セラミックグリー
ンシートを、加熱ロールにより、キャリアフィルムを介
してテーブル上の被圧着体に押圧することにより、セラ
ミックグリーンシートを被圧着体に転写、圧着するとと
もに、セラミックグリーンシートが圧着された被圧着体
を、補助加熱・圧着手段によりさらに補助的に加熱・圧
着した後、方向転換用当接治具を支点（方向転換点）と
して、キャリアフィルムを所定の剥離角となるように方
向転換させてセラミックグリーンシートから剥離するよ
うにしているので、キャリアフィルム上のセラミックグ
リーンシートを、破れや変形を生じたりすることなく、
確実に積層することが可能になるとともに、積層された
セラミックグリーンシートからキャリアフィルムを、セ
ラミックグリーンシートの変形を招いたりすることなく
確実に剥離することが可能になる。その結果、セラミッ
クグリーンシートの積層体を効率よく形成することがで
きるようになる。すなわち、セラミックグリーンシート
の搬送速度を一定としたまま補助加熱・圧着領域の長さ
を変えたり、補助加熱・圧着の条件を変えたりすること
により、全体としての加熱・圧着時間を制御することが
可能になり、十分な接着力を確保することができる。ま
た、セラミックグリーンシートの搬送速度を大きく、か
つ、一定に保つことにより、十分な接着力を確保しつ
つ、生産性を向上させることが可能になる。また、全体
としての加熱時間を十分にとることにより、加熱ロール
による加圧力を大きくすることが不要になり、加熱ロー
ルの加圧力を大きくすることに起因するセラミックグリ
ーンシートの変形を防止することが可能になる。

【００４０】また、請求項２のセラミックグリーンシー
トの積層方法のように、テーブルとして往復動可能なテ
ーブルを用い、圧着領域と剥離領域の間の被圧着体の搬
送を、往復動可能なテーブルによって行うことにより、
設備の構成やセラミックグリーンシートを積層する場合
の諸工程を簡略化して、効率よくセラミックグリーンシ
ートを積層することが可能になり、本願発明をより実効
あらしめることができる。

【００４１】また、請求項３のセラミックグリーンシー
トの積層方法のように、被圧着体に加熱・圧着されたセ
ラミックグリーンシートとキャリアフィルムを冷却する
ことにより、セラミックグリーンシートどうし及びセラ
ミックグリーンシートと電極が接着している部分のバイ
ンダの強度が向上して接着力が向上する一方、セラミッ
クグリーンシートとキャリアフィルムは剥離しやすい状
態となるため、キャリアフィルムをセラミックグリーン
シートから剥離しやすくなる。したがって、圧着時の加
熱温度を低くしたり、加熱ロールによる加圧力を小さく
することが可能になり、セラミックグリーンシートの破
れや変形をさらに抑制することができるようになる。

【００４２】また、本願発明（請求項４）のセラミック
グリーンシートの積層装置は、テーブルと、搬送手段
と、加熱ロールと、補助加熱・圧着手段と、剥離手段と
を備えた構成を有しているので、本願請求項１のセラミ
ックグリーンシートの積層方法を確実に実施して、セラ
ミックグリーンシートを、変形を招いたりすることなく
効率よく積層することが可能になる。

【００４３】また、請求項５のセラミックグリーンシー
トの積層装置のように、補助加熱・圧着手段による補助
加熱・圧着を行った後、キャリアフィルムを剥離する前
に、被圧着体に加熱・圧着されたセラミックグリーンシ
ートとキャリアフィルムを冷却する冷却手段を備えた構
成とすることにより、本願請求項３のセラミックグリー
ンシートの積層方法を確実に実施して、セラミックグリ
ーンシートを、破れや変形を招いたりすることなく、セ
ラミックグリーンシートの積層体を効率よく形成するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願発明の一実施形態（実施形態１）にかかる
セラミックグリーンシートの積層装置の要部構成を示す
図である。

【図２】本願発明の一実施形態（実施形態１）にかかる
セラミックグリーンシートの積層装置の動作を説明する
図である。

【図３】本願発明の一実施形態（実施形態１）にかかる
セラミックグリーンシートの積層装置の動作を説明する
図である。

【図４】本願発明の一実施形態（実施形態１）にかかる
セラミックグリーンシートの積層装置の動作を説明する
図である。

【図５】(ａ)，(ｂ)は本願発明の一実施形態（実施形態
１）にかかるセラミックグリーンシートの積層装置の変
形例を示す図である。

【図６】本願発明の他の実施形態（実施形態２）にかか
るセラミックグリーンシートの積層装置を示す図であ
る。

【図７】本願発明の他の実施形態（実施形態２）にかか
るセラミックグリーンシートの積層装置の変形例を示す
図である。

【図８】従来のセラミックグリーンシートの積層装置を
示す図である。

【図９】従来の他のセラミックグリーンシートの積層装
置を示す図である。

【符号の説明】

１ セラミックグリーンシート １ａ 最外層用のセラミックグリーンシート ２ テーブル ３ キャリアフィルム ４ 搬送手段 ５ 加熱ロール ６ 方向転換用当接治具（剥離爪） ６ａ 剥離板 ６ｂ 剥離ロール ７ 剥離手段 ８ ローラ ９ 電極 １０ 積層体（積層ブロック） １１ 冷却手段（冷却ロール） １１ａ 冷却手段（冷却ブロック） １５ イメージセンサ ２０ 補助加熱・圧着手段（補助加熱・圧着ロー
ル） Ａ 圧着領域 Ｂ 剥離領域 θ 剥離角

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】キャリアフィルム上に保持されて搬送され
   るセラミックグリーンシートを、回転可能な加熱ロール
   により加熱するとともに、テーブル上のセラミックグリ
   ーンシート又はセラミックグリーンシートの積層体（以
   下、「被圧着体」という）に押圧して、転写、圧着する
   圧着領域において、加熱ロールをセラミックグリーンシ
   ートの搬送方向に対応する方向に、かつセラミックグリ
   ーンシートの搬送速度と略同一の周速度で回転させると
   ともに、テーブルをセラミックグリーンシートの搬送方
   向と同一方向に略同一速度で移動させることにより、キ
   ャリアフィルム上に保持されたセラミックグリーンシー
   トをテーブル上の被圧着体に転写、圧着した後、 テーブルをさらに同じ方向に移動させながら、前記セラ
   ミックグリーンシートが圧着された被圧着体を、補助加
   熱・圧着手段によりさらに補助的に加熱・圧着し、 テーブルをさらに同じ方向に移動させながら、剥離手段
   を構成する方向転換用当接治具を支点（方向転換点）と
   して、キャリアフィルムを所定の角度（剥離角）で方向
   転換させることにより、被圧着体に圧着されたセラミッ
   クグリーンシートから剥離させること、 を特徴とするセラミックグリーンシートの積層方法。
2. 【請求項２】前記テーブルとして、往復動可能なテーブ
   ルが用いられており、 圧着領域において、キャリアフィルム上に保持されて搬
   送されてきたセラミックグリーンシートが転写、圧着さ
   れた被圧着体を、前記テーブルを移動させて、圧着領域
   から剥離領域に搬送するとともに、 剥離領域において、キャリアフィルムを、被圧着体に圧
   着されたセラミックグリーンシートから剥離した後、 前記テーブルを移動させて、キャリアフィルムが剥離さ
   れた被圧着体を圧着領域に戻すことにより、 (ａ)前記セラミックグリーンシートの被圧着体への転
   写、圧着、 (ｂ)前記セラミックグリーンシートが圧着された被圧着
   体の補助的な加熱・圧着、 (ｃ)前記セラミックグリーンシートが圧着された被圧着
   体の剥離領域への搬送、及び (ｄ)前記キャリアフィルムの剥離の工程を繰り返して行
   い、複数のセラミックグリーンシートを順次積層するこ
   とを特徴とする請求項１記載のセラミックグリーンシー
   トの積層方法。
3. 【請求項３】前記補助加熱・圧着手段により補助的な加
   熱・圧着を行った後、キャリアフィルムを剥離する前
   に、前記被圧着体に加熱・圧着されたセラミックグリー
   ンシートとキャリアフィルムを冷却する工程を設けたこ
   とを特徴とする請求項１又は２記載のセラミックグリー
   ンシートの積層方法。
4. 【請求項４】表面にセラミックグリーンシートを保持す
   るキャリアフィルムを連続的に一方向に搬送する搬送手
   段と、 セラミックグリーンシート又はセラミックグリーンシー
   トの積層体（被圧着体）を支持し、キャリアフィルム上
   に保持されて搬送されるセラミックグリーンシートが被
   圧着体に転写、圧着される圧着領域と、被圧着体に圧着
   されたセラミックグリーンシートからキャリアフィルム
   を剥離させる剥離領域を移動するテーブルと、 セラミックグリーンシートの搬送方向に対応する方向
   に、かつセラミックグリーンシートの搬送速度と略同一
   の周速度で回転し、キャリアフィルム上に保持されたセ
   ラミックグリーンシートを加熱するとともに、キャリア
   フィルムを介してテーブル上の被圧着体に押圧すること
   により、セラミックグリーンシートをテーブル上の被圧
   着体に転写、圧着する加熱ロールと、 前記セラミックグリーンシートが圧着された被圧着体
   を、キャリアフィルムを剥離する剥離領域に搬送する過
   程で、さらに補助的に加熱・圧着する補助加熱・圧着手
   段と、 前記剥離領域において、キャリアフィルムを方向転換さ
   せるための支点（方向変換点）となる方向転換用当接治
   具をキャリアフィルムに当接させ、キャリアフィルムを
   所定の角度（剥離角）で方向転換させることにより、前
   記被圧着体に圧着されたセラミックグリーンシートから
   キャリアフィルムを剥離させる剥離手段とを具備するこ
   とを特徴とするセラミックグリーンシートの積層装置。
5. 【請求項５】前記補助加熱・圧着手段による補助加熱・
   圧着を行った後、キャリアフィルムを剥離する前に、被
   圧着体に加熱・圧着されたセラミックグリーンシートと
   キャリアフィルムを冷却する冷却手段を具備することを
   特徴とする請求項４記載のセラミックグリーンシートの
   積層装置。