JP2001044072A - 積層セラミック電子部品のためのセラミック積層体の製造方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 セラミックグリーンシートの積み重ねと内部
電極のための導電性ペーストの印刷および加熱乾燥とを
繰り返して積層セラミック電子部品のためのセラミック
積層体を得ようとするとき、グリーンシートの積み重ね
を実施するための台の熱容量が大きいと、加熱乾燥工程
の後での残熱量によってグリーンシートが過度に収縮
し、品質の優れたセラミック積層体を得られないことが
ある。 【解決手段】 多角柱状ホイール１２，１３に巻掛けさ
れた搬送用エンドレスベルト１６を周回させながら、エ
ンドレスベルト１６上で、供給手段２３によるセラミッ
クグリーンシート２２の供給、ペースト付与手段３８に
よる内部電極のための導電性ペーストの付与、乾燥手段
４１による導電性ペーストの乾燥を繰り返して行なうよ
うにしながら、搬送用エンドレスベルト１６において金
属箔を用い、その熱容量を小さいものとする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、積層セラミック
電子部品のためのセラミック積層体の製造方法および装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図４には、この発明にとって興味ある積
層セラミック電子部品の一例としての積層セラミックコ
ンデンサ１が断面図で示されている。

【０００３】積層セラミックコンデンサ１は、セラミッ
ク積層体２を備える。セラミック積層体２の積層方向に
おける中間部には、複数の内部電極３がそれぞれセラミ
ック層４を介して積層されている内部電極形成部５が形
成され、同じく積層方向における両外側部には、内部電
極３が形成されずセラミック層４のみが積層されている
外層部６および７が形成される。

【０００４】上述の内部電極３には、セラミック積層体
２の一方の端面８にまで引き出されるものと、他方の端
面９にまで引き出されるものとがあり、これらは交互に
配置されている。また、これら端面８および９をそれぞ
れ覆うように、外部電極１０および１１が形成され、そ
れによって、内部電極３は、端面８または９上におい
て、いずれかの外部電極１０または１１に接続される。

【０００５】このような積層セラミックコンデンサ１の
ためのセラミック積層体２を得るため、従来、生のセラ
ミック積層体が製造され、この生のセラミック積層体を
製造するため、たとえば、金属のような剛体からなる搬
送プレートを用い、この搬送プレートを台として、その
上で、セラミック層４となる複数のセラミックグリーン
シートの積み重ねを行なうとともに、内部電極形成部５
においては、セラミックグリーンシートの積み重ねと内
部電極３となるべき導電性ペーストの印刷とを繰り返
し、また、この導電性ペーストの各印刷後に加熱乾燥す
ることが行なわれている。また、積み重ねられた複数の
セラミックグリーンシート相互間の密着性を高めるた
め、各セラミックグリーンシートの積み重ねにあたっ
て、搬送プレート等を通じてセラミックグリーンシート
が加熱される。

【０００６】このように、搬送プレートとして、剛体か
らなるものが用いられるのは、次の理由による。

【０００７】前述のように、複数のセラミックグリーン
シートの積み重ねおよび内部電極３の形成の各工程を繰
り返し実施することによって、生のセラミック積層体を
得ようとする場合、高い位置精度をもって内部電極３を
形成するためには、搬送プレートの位置決め精度を高め
る必要がある。したがって、搬送プレートとしては、歪
みが少なく、かつ高精度の位置決めが容易なものである
ことが望ましく、そのため、剛体からなるものが採用さ
れる。

【０００８】また、生のセラミック積層体の製造過程で
曲げなどの応力を受けると、その内部において層剥がれ
などの欠陥が生じ、デラミネーションなどの不良を引き
起こす原因となる。このような曲げなどの応力を、生の
セラミック積層体が、その製造過程において受けないよ
うにするためには、搬送プレートが容易に変形するもの
であってはならず、そのため、剛体からなる搬送プレー
トを採用している。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た生のセラミック積層体を得るための製造過程で取り扱
われるセラミックグリーンシートは、加熱により収縮す
る性質を有している。また、剛体からなる搬送プレート
は、比較的大きな熱容量を有している。

【００１０】このようなことから、内部電極３のための
導電性ペーストを印刷後に加熱乾燥しようとするとき、
搬送プレートの熱容量が比較的大きいため、搬送プレー
ト上のセラミックグリーンシートの温度上昇が比較的遅
くなるばかりでなく、残熱量も比較的大きいことから、
温度下降も比較的遅くなる。

【００１１】その結果、積み重ねられた複数のセラミッ
クグリーンシートが受ける熱量は、内部電極３のための
導電性ペーストの乾燥にとって必要な熱量を超えてしま
う。同様のことが、積み重ねられた複数のセラミックグ
リーンシート間の密着性を高めるために搬送プレートを
通してセラミックグリーンシートに及ぼされる熱につい
ても言える。

【００１２】前述したように、セラミックグリーンシー
トは、加熱により収縮する性質を有しているが、上述し
たような過剰な熱がセラミックグリーンシートに及ぼさ
れることにより、次のような不都合がもたらされること
がある。

【００１３】搬送プレート上でセラミックグリーンシー
トが積み重ねられるとき、搬送プレートにより近い側に
位置するセラミックグリーンシートほど、搬送プレート
を通じて加熱される時間が長くなり、応じて、搬送プレ
ートから及ぼされる熱量が大きくなり、そのため、収縮
の度合いも大きくなる。その結果、搬送プレート上で得
られた生のセラミック積層体において、それを構成する
複数のセラミックグリーンシートの各々の収縮度合いに
差が生じ、内部電極３の位置ずれが生じたり、極端な場
合には、生のセラミック積層体の断面が逆台形状に変形
してしまうこともある。

【００１４】そこで、この発明の目的は、上述したよう
な問題を解決し得る、積層セラミック電子部品のための
セラミック積層体の製造方法および装置を提供しようと
することである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】この発明は、まず、積み
重ねられた複数のセラミックグリーンシートおよびこれ
らセラミックグリーンシートの所定の界面に沿って形成
された内部電極を備える、積層セラミック電子部品のた
めのセラミック積層体を製造する方法に向けられるもの
であって、上述した技術的課題を解決するため、次のよ
うな構成を備えることを特徴としている。

【００１６】すなわち、この発明を実施するにあたり、
周面上に複数の平面部分が周方向に連なって形成されか
つ軸線を互いに平行に向けた状態で配置される少なくと
も２つの多角柱状ホイールと、これら多角柱状ホイール
の周面に巻掛けされかつ多角柱状ホイールの回転を伴っ
て周回する金属箔からなる搬送用エンドレスベルトとを
備える装置が用意される。この装置において、搬送用エ
ンドレスベルトが周回する間、当該搬送用エンドレスベ
ルトにおける一定の領域が各多角柱状ホイールの周面上
の各平面部分に接触するように設定される。

【００１７】そして、搬送用エンドレスベルトを周回さ
せ、かつ予め成形された長尺のセラミックグリーンシー
トを搬送用エンドレスベルト上へ供給する、供給工程
と、搬送用エンドレスベルト上のセラミックグリーンシ
ートを、多角柱状ホイールの各平面部分上に位置する部
分毎にカットする、カット工程と、セラミックグリーン
シート上に所定のパターンを有する内部電極を形成する
ため、導電性ペーストをセラミックグリーンシート上に
付与する、ペースト付与工程と、搬送用エンドレスベル
トを周回させながら、導電性ペーストを加熱乾燥する、
乾燥工程とが実施される。

【００１８】また、上述した供給工程とカット工程とペ
ースト付与工程と乾燥工程とは繰り返し実施され、それ
によって、複数のセラミックグリーンシートおよび内部
電極を備える生のセラミック積層体を、多角柱状ホイー
ルの各平面部分に接触する搬送用エンドレスベルトの各
領域上で作製する工程と、多角柱状ホイールの各平面部
分に接触する搬送用エンドレスベルトの各領域上の生の
セラミック積層体を取り出す工程とが実施される。

【００１９】この発明は、また、積み重ねられた複数の
セラミックグリーンシートおよびこれらセラミックグリ
ーンシートの所定の界面に沿って形成された内部電極を
備える、積層セラミック電子部品のためのセラミック積
層体を製造する装置にも向けられる。この製造装置は、
上述した技術的課題を解決するため、次のような構成を
備えることを特徴としている。

【００２０】すなわち、この発明に係る製造装置は、周
面上に複数の平面部分が周方向に連なって形成されかつ
軸線を互いに平行に向けた状態で配置される少なくとも
２つの多角柱状ホイールと、これら多角柱状ホイールの
周面に巻掛けされかつ多角柱状ホイールの回転を伴って
周回する金属箔からなる搬送用エンドレスベルトとを備
える。ここにおいて、搬送用エンドレスベルトが周回す
る間、当該搬送用エンドレスベルトにおける一定の領域
が各多角柱状ホイールの周面上の各平面部分に接触する
ように設定される。

【００２１】さらに、この製造装置は、搬送用エンドレ
スベルトの周回経路上の第１の固定位置において、予め
成形された長尺のセラミックグリーンシートを搬送用エ
ンドレスベルト上へ供給することによって、セラミック
グリーンシートを搬送用エンドレスベルト上で積層する
ための供給手段と、搬送用エンドレスベルトの周回経路
上の第２の固定位置において、搬送用エンドレスベルト
上のセラミックグリーンシートを、多角柱状ホイールの
各平面部分上に位置する部分毎にカットするためのカッ
ト手段と、搬送用エンドレスベルトの周回経路上の第３
の固定位置において、セラミックグリーンシート上に所
定のパターンを有する内部電極を形成するため、導電性
ペーストをセラミックグリーンシート上に付与するため
のペースト付与手段と、搬送用エンドレスベルトを周回
させながら、導電性ペーストを加熱乾燥するための乾燥
手段と、多角柱状ホイールの各平面部分に接触する搬送
用エンドレスベルトの各領域上で得られた、複数のセラ
ミックグリーンシートおよび内部電極を備える生のセラ
ミック積層体を取り出すための取り出し手段とを備えて
いる。

【００２２】この発明において、上述のように、セラミ
ックグリーンシートを搬送用エンドレスベルト上へ供給
するとき、セラミックグリーンシートを加熱しながら搬
送用エンドレスベルト上へ供給するようにすることが好
ましい。

【００２３】また、この発明は、キャリアフィルムによ
って裏打ちされていないセラミックグリーンシートを取
り扱う場合に特に有利に適用される。この場合、搬送用
エンドレスベルト上へ供給されるセラミックグリーンシ
ートは、キャリヤフィルムによって裏打ちされていない
状態であり、この発明に係る製造装置は、好ましくは、
セラミックグリーンシートを搬送用エンドレスベルト上
へ供給するように送るための送り用エンドレスベルトを
さらに備え、セラミックグリーンシートは、送り用エン
ドレスベルトによって保持された状態で送られることに
よって、搬送用エンドレスベルト上へ供給される。

【００２４】この発明に係る製造装置において、供給手
段によって搬送用エンドレスベルト上へ供給されるセラ
ミックグリーンシートを、この搬送用エンドレスベルト
上へ供給する前に予め加熱するための予備加熱手段をさ
らに備えていることが好ましい。このように、搬送用エ
ンドレスベルト上へ供給する前に、セラミックグリーン
シートを予め加熱すれば、この段階でセラミックグリー
ンシートをある程度収縮させることになる。

【００２５】また、この発明に係る製造方法において、
カット工程は、１回の供給工程を終えて１層のセラミッ
クグリーンシートが供給される毎に実施されるのが好ま
しい。

【００２６】また、この発明において、生のセラミック
積層体を取り出すため、生のセラミック積層体を真空吸
引に基づき吸着しかつ保持するための吸着ヘッドが用い
られるとき、搬送用エンドレスベルトを、吸着ヘッドに
よって吸着されようとする生のセラミック積層体を保持
している部分において生のセラミック積層体から離れる
方向に湾曲させるようにすることが好ましい。

【００２７】また、この発明において、導電性ペースト
をセラミックグリーンシート上へ付与する毎に、導電性
ペーストを付与する位置を変えるようにしてもよい。

【００２８】また、この発明において、セラミックグリ
ーンシート上に導電性ペーストを付与した位置を画像処
理によって検出し、この検出された位置情報に基づい
て、次の導電性ペーストを付与すべき位置を決定するよ
うにしてもよい。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下に、この発明を、図４に示し
たような積層セラミックコンデンサ１のためのセラミッ
ク積層体２の製造に適用した実施形態に関連して説明す
る。

【００３０】図１は、この発明の一実施形態によるセラ
ミック積層体の製造装置を示している。

【００３１】図１を参照して、２つの多角柱状ホイール
１２および１３が軸線を互いに平行に向けた状態で配置
される。これら多角柱状ホイール１２および１３の周面
上には、それぞれ、複数の平面部分１４および１５が周
方向に連なって形成されている。なお、図示の実施形態
では、多角柱状ホイール１２および１３は、ともに六角
柱状であり、各々６つの平面部分１４および１５を形成
しているが、他の多角柱状に変更されてもよく、また、
多角柱状ホイール１２および１３は互いに異なる形状で
あってもよい。また、このような多角柱状ホイールは、
必要に応じて、３つ以上設けられてもよい。

【００３２】上述した多角柱状ホイール１２および１３
の周面には、搬送用エンドレスベルト１６が巻掛けされ
る。搬送用エンドレスベルト１６は、熱容量を小さくす
るため、たとえばステンレス鋼のような金属を材質とす
る金属箔から構成される。

【００３３】搬送用エンドレスベルト１６は、多角柱状
ホイール１２および１３の回転を伴って矢印１７方向に
周回する。このエンドレスベルト１６の周回の間、エン
ドレスベルト１６の一定の領域１８が多角柱状ホイール
１２および１３の各々の周面上の各平面部分１４および
１５に接触するようにされる。すなわち、エンドレスベ
ルト１６における、平面部分１４および１５に接触する
各領域１８は、多角柱状ホイール１２および１３の回転
にかかわらず、一定の位置にあるように、平面部分１４
および１５の寸法、多角柱状ホイール１２および１３間
の距離等が設定される。

【００３４】また、上述した設定をより確実なものとす
るため、エンドレスベルト１６の両側縁に沿って、複数
の送り穴１９が長さ方向に等間隔に分布するように設け
られ、他方、多角柱状ホイール１２および１３の周面に
は、それぞれ、これら送り穴１９によって受け入れられ
る位置合わせ突起２０および２１が設けられることが好
ましい。

【００３５】搬送用エンドレスベルト１６の周回経路上
の第１の固定位置には、予め成形された長尺のセラミッ
クグリーンシート２２を加熱しながら、このセラミック
グリーンシート２２を搬送用エンドレスベルト１６上へ
供給し、それによって、セラミックグリーンシート２２
を搬送用エンドレスベルト１６上で積層するための供給
手段２３が設けられている。

【００３６】より詳細には、この装置に適用されるセラ
ミックグリーンシート２２は、予め成形されていて、キ
ャリアフィルムによって裏打ちされていない状態で、供
給ロール２４を構成するように巻回されている。供給ロ
ール２４から引き出された長尺のセラミックグリーンシ
ート２２は、テンションコントローラ２５および２６を
経由して、送り用エンドレスベルト２７上へ供給され
る。送り用エンドレスベルト２７は、４つのローラ２
８、２９、３０および３１によって保持されながら、矢
印３２方向へ周回される。ローラ２８に対向して、圧着
ローラ３３が設けられ、この圧着ローラ３３からの押圧
により、セラミックグリーンシート２２は、送り用エン
ドレスベルト２７上に一時的に保持された状態とされ、
この送り用エンドレスベルト２７の矢印３２方向への周
回に応じて、搬送用エンドレスベルト１６上にまで搬送
される。

【００３７】ローラ２９および３０の間には、加熱プレ
スヘッド３４が配置され、この加熱プレスヘッド３４に
対して、搬送用エンドレスベルト１６および送り用エン
ドレスベルト２７を介して対向するように、ベッド３５
が配置される。加熱プレスヘッド３４がベッド３５に向
かって押圧動作することにより、送り用エンドレスベル
ト２７上のセラミックグリーンシート２２は、加熱され
ながら、搬送用エンドレスベルト１６に、あるいは、こ
の搬送用エンドレスベルト１６上にすでにセラミックグ
リーンシート２２が保持されている場合には、このセラ
ミックグリーンシート２２に接着または粘着し、搬送用
エンドレスベルト１６側に保持された状態となる。

【００３８】搬送用エンドレスベルト１６の周回経路上
の第２の固定位置には、この搬送用エンドレスベルト１
６上のセラミックグリーンシート２２を、多角柱状ホイ
ール１２および１３の各平面部分１４および１５上に位
置する部分毎にカットするためのカット手段３６が設け
られる。

【００３９】より具体的には、カット手段３６は、図示
したようなナイフ３７または回転刃によって構成され、
搬送用エンドレスベルト１６を間欠的に周回させなが
ら、停止のタイミングにおいて、セラミックグリーンシ
ート２２をカットする。このように、セラミックグリー
ンシート２２をカットすることにより、搬送用エンドレ
スベルト１６が多角柱状ホイール１２および１３の各々
に沿って屈曲されても、この曲げ応力がセラミックグリ
ーンシート２２にかからないようにすることができる。

【００４０】搬送用エンドレスベルト１６の周回経路上
の第３の固定位置には、セラミックグリーンシート２２
上に所定のパターンを有する内部電極３を形成するた
め、導電性ペーストをセラミックグリーンシート２２に
付与するためのペースト付与手段３８が設けられる。

【００４１】より具体的には、ペースト付与手段３８
は、導電性ペーストをスクリーン印刷によってセラミッ
クグリーンシート２２上に印刷するための手段を備え、
図１では、このスクリーン印刷のためのスクリーン３９
およびスクリーン３９に対して搬送用エンドレスベルト
１６を介して対向するように配置される印刷ベッド４０
が図示されている。なお、ペースト付与手段３８として
は、たとえば、転写技術を利用するものに置き換えられ
てもよい。

【００４２】また、搬送用エンドレスベルト１６を周回
させながら、上述の導電性ペーストを加熱乾燥するため
の乾燥手段４１が設けられる。

【００４３】より具体的には、乾燥手段４１は、多角柱
状ホイール１３を取り囲むように配置されるヒータ４２
を備えている。これによって、搬送用エンドレスベルト
１６の周回経路の一部に沿って加熱乾燥ゾーンが形成さ
れる。

【００４４】以上説明したような供給手段２３によるセ
ラミックグリーンシート２２の供給工程とカット手段３
６によるセラミックグリーンシート２２のカット工程と
ペースト付与手段３８による導電性ペーストの付与工程
と乾燥手段４１による導電性ペーストの乾燥工程とを繰
り返すことによって、複数のセラミックグリーンシート
２２および内部電極３を備える生のセラミック積層体
（図３に生のセラミック積層体５０が図示されてい
る。）が、多角柱状ホイール１２および１３の各平面部
分１４および１５に接する搬送用エンドレスベルト１６
の各領域上で作製される。

【００４５】この製造装置には、さらに、上述のように
して得られた生のセラミック積層体を取り出すための取
り出し手段４３が設けられる。

【００４６】より具体的には、取り出し手段４３は、生
のセラミック積層体を真空吸引に基づき吸着しかつ保持
するための吸着ヘッド４４を備えている。吸着ヘッド４
４は、搬送用エンドレスベルト１６の周回経路上の任意
の位置に設けられ、搬送用エンドレスベルト１６に対し
て近接・離隔可能かつ図示しない別の作業位置まで移動
可能に設けられ、このような動作に従って、搬送用エン
ドレスベルト１６上に形成された生のセラミック積層体
を真空吸引に基づき吸着して保持し、これを別の作業位
置まで搬送する。

【００４７】このような図１に示した製造装置を用い
て、図４に示したセラミック積層体２が次のように製造
される。

【００４８】すなわち、まず、図４に示したセラミック
積層体２の外層部６に対応する部分を得るため、搬送用
エンドレスベルト１６が周回しながら、供給ロール２４
から引き出されたセラミックグリーンシートは、供給手
段２３によって、搬送用エンドレスベルト１６上へ供給
され、次いで、カット手段３６によって、この搬送用エ
ンドレスベルト１６上のセラミックグリーンシート２２
が、多角柱状ホイール１２および１３の各平面部分１４
および１５上に位置する部分毎にカットされる。この操
作は、所望の積層数をもってセラミックグリーンシート
２２が積層されるまで実施される。

【００４９】次に、図４に示したセラミック積層体２の
内部電極形成部５に対応する部分を得るため、上述した
供給工程とカット工程とに加えて、ペースト付与工程と
乾燥工程とが実施される。すなわち、供給手段２３によ
って搬送用エンドレスベルト１６上に供給されたセラミ
ックグリーンシート２２に対して、カット手段３６によ
るカット工程が実施された後、ペースト付与手段３８に
よって、内部電極３を形成するための導電性ペーストが
付与され、次いで、乾燥手段４１によって、この導電性
ペーストが加熱乾燥される。この操作は、内部電極３が
所望の積層数に達するまで実施される。なお、ペースト
付与工程においては、互いに重畳される内部電極３を、
幾分面方向にずらせる必要があるため、適宜、画像処理
技術を用いて位置決めさせることが行なわれる。

【００５０】次に、図４に示したセラミック積層体２の
他方の外層部７に対応する部分を得るため、上述した供
給工程およびカット工程が実施される。この操作におい
ても、セラミックグリーンシート２２が所望の積層数を
もって積層されるまで実施される。

【００５１】このようにして、多角柱状ホイール１２お
よび１３の各平面部分１４および１５に接触する搬送用
エンドレスベルト１６の各領域上において、図４に示し
たセラミック積層体２となるべき生のセラミック積層体
が形成され、この生のセラミック積層体が、取り出し手
段４３によって取り出され、別の作業位置まで搬送され
る。

【００５２】上述の作業位置において、生のセラミック
積層体は、必要に応じて、カットされ、次いで、焼成さ
れ、それによって、図４に示すような積層セラミックコ
ンデンサ１のためのセラミック積層体２が得られる。

【００５３】なお、上述した説明では、図４に示したセ
ラミック積層体２の内部電極形成部５に対応する部分を
得るための工程においてだけ、乾燥手段４１による加熱
乾燥が実施されるとされたが、セラミック積層体２の外
層部６および７に対応する各部分を得るための工程にお
いても、すなわち、全工程において、乾燥手段４１によ
る加熱乾燥が実施されてもよい。

【００５４】図２は、この発明の他の実施形態を説明す
るためのもので、図１に示した供給手段２３に対応する
部分を示している。図２において、図１に示した要素に
相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明
は省略する。

【００５５】図２を参照して、この実施形態は、供給ロ
ール２４から引き出されたセラミックグリーンシート２
２を、搬送用エンドレスベルト１６（図２では図示され
ない。）上へ供給する前に予め加熱するための予備加熱
手段４５を備えることを特徴としている。

【００５６】より具体的には、予備加熱手段４５は、ホ
ットプレート４６を備える。図１に示した一方のテンシ
ョンコントローラ２５は、セラミックグリーンシート２
２を挟む１対のニップローラ４７および４８に置き換え
られ、これらニップローラ４７および４８より上流側に
ガイドローラ４９が配置され、このガイドローラ４９と
ニップローラ４７および４８との間に、ホットプレート
４６が位置される。

【００５７】ホットプレート４６は、セラミックグリー
ンシート２２を加熱することによって、これを予備的に
収縮させるとともに、セラミックグリーンシート２２の
内部に残留する歪みを除去するように作用する。このよ
うに、予め収縮されかつ歪みが除去されたセラミックグ
リーンシート２２に対して、テンションコントローラ２
６によってテンションをコントロールしながら送り用エ
ンドレスベルト２７上に供給することによって、搬送用
エンドレスベルト１６上での生のセラミック積層体にお
いて生じ得る不所望な熱変形を低減させることができ、
その結果、高品質のセラミック積層体２を得ることが可
能になる。

【００５８】図３は、この発明のさらに他の実施形態を
説明するためのもので、図１に示した取り出し手段４３
において採用される好ましい構成を示している。図３に
おいて、図１に示した要素に相当する要素には同様の参
照符号を付し、重複する説明は省略する。

【００５９】図３を参照して、この実施形態は、搬送用
エンドレスベルト１６を、吸着ヘッド４４によって吸着
されようとする生のセラミック積層体５０を保持してい
る部分においてセラミック積層体５０から離れる方向に
湾曲させる手段５１を備えることを特徴としている。

【００６０】より具体的には、湾曲させる手段５１は、
湾曲用ローラ５２とオフセットローラ５３とによって構
成され、オフセットローラ５３によって搬送用エンドレ
スベルト１６の経路が湾曲用ローラ５２の下方側へ片寄
せられ、それによって、搬送用エンドレスベルト１６
は、湾曲用ローラ５２の周面に沿ってセラミック積層体
５０から離れる方向に湾曲される。

【００６１】このような湾曲させる手段５１を備える
と、吸着ヘッド４４によって生のセラミック積層体５０
を吸着させた状態で、オフセットローラ５３を矢印５４
で示す方向へ変位させることによって、搬送用エンドレ
スベルト１６を生のセラミック積層体５０から容易に剥
がすことができ、吸着ヘッド４４によってセラミック積
層体５０を安定して保持することができる。なお、この
湾曲操作は、積層体５０の剥離時にのみ実施されること
が好ましい。

【００６２】また、上述のように、搬送用エンドレスベ
ルト１６を湾曲させるとき、生のセラミック積層体５０
は、吸着ヘッド４４によって予め吸着された状態にある
ので、搬送用エンドレスベルト１６を生のセラミック積
層体５０から剥がす動作に伴って、このセラミック積層
体５０に曲げ応力がかかることがなく、そのため、セラ
ミック積層体５０に不所望な変形が生じることを防止す
ることができる。

【００６３】以上、この発明を図示した実施形態に関連
して説明したが、この発明の範囲内において、その他、
種々の実施形態が可能である。

【００６４】たとえば、図示の実施形態では、供給手段
２３が送り用エンドレスベルト２７を備え、供給ロール
２４から引き出されたセラミックグリーンシート２２
は、この送り用エンドレスベルト２７を介して搬送用エ
ンドレスベルト１６上に供給されたが、セラミックグリ
ーンシート２２を、直接、搬送用エンドレスベルト１６
上に供給するような構成を採用してもよい。

【００６５】また、図示の実施形態では、取り扱われる
セラミックグリーンシート２２は、キャリアフィルムに
よって裏打ちされていない状態であったが、キャリアフ
ィルムによって裏打ちされた状態にあるセラミックグリ
ーンシートが用いられてもよい。この場合には、たとえ
ば、セラミックグリーンシートを搬送用エンドレスベル
ト１６上に供給した後に、キャリアフィルムを剥がすこ
とが好ましい。

【００６６】また、図示の実施形態では、カット手段３
６によるカット工程が、１回の供給工程を終えて１層の
セラミックグリーンシートが供給される毎に実施された
が、たとえば、２回の供給工程というように、複数回の
供給工程を終えて複数層のセラミックグリーンシートが
供給される毎に実施されてもよい。また、カット手段３
６の位置も図示の位置に限らない。

【００６７】また、図示の実施形態では、生のセラミッ
ク積層体を得るため、セラミックグリーンシート２２の
搬送用エンドレスベルト１６上への供給工程とセラミッ
クグリーンシート２２のカット工程と導電性ペーストの
付与工程と導電性ペーストの乾燥工程とが順次実施さ
れ、これらの工程をそれぞれ実施するための供給手段２
３とカット手段３６とペースト付与手段３８と乾燥手段
４１とが、この順序で、搬送用エンドレスベルト１６の
周回経路に沿って配置された。これら手段２３、３６、
３８および４１は、この順序で配置されることが前述し
た各工程を能率的に進めることができる点で好ましい
が、この順序で配置されることを限定するものではな
い。すなわち、搬送用エンドレスベルト１６は循環する
ものであるので、たとえば、カット手段３６とペースト
付与手段３８との配置順序を入れ換えることによって、
ペースト付与手段３８をカット手段３６より上流側に配
置しても、カット手段３６によるカット工程を実施した
後、セラミックグリーンシート２２を搬送用エンドレス
ベルト１６の周回経路に沿ってほぼ１周させてからペー
スト付与手段３８によるペースト付与工程を実施するこ
とも可能である。

【００６８】また、この発明は、図示した実施形態のよ
うに、積層セラミックコンデンサ１のためのセラミック
積層体２の製造だけでなく、たとえば、積層セラミック
バリスタ、積層セラミックインダクタ、セラミック多層
回路基板等の他の積層セラミック電子部品のためのセラ
ミック積層体の製造にも適用することができる。したが
って、積層セラミック電子部品のためのセラミック積層
体に備える内部電極は、コンデンサのための内部電極を
構成するものに限らず、バリスタのための内部電極を構
成するもの、抵抗を構成するもの、インダクタを構成す
るもの等であってもよい。

【００６９】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、金属
箔からなる搬送用エンドレスベルトを用い、この搬送用
エンドレスベルトを周回させながら、搬送用エンドレス
ベルト上に供給されたセラミックグリーンシート上に内
部電極のための導電性ペーストを付与し、これを加熱乾
燥することが行なわれるので、乾燥工程における温度上
昇およびその後の温度下降に対して、搬送用エンドレス
ベルトの温度が迅速に追従し得るので、特に乾燥後にお
ける残熱量によって、セラミックグリーンシートが過度
に収縮してしまい、得られた生のセラミック積層体にお
いて不所望な変形が生じたり、内部電極の位置ずれが生
じたりすることを防止できる。

【００７０】また、この発明によれば、搬送用エンドレ
スベルトを巻掛けするために多角柱状ホイールが用いら
れ、搬送用エンドレスベルトが周回する間、この搬送用
エンドレスベルトにおける一定の領域が各多角柱状ホイ
ールの周面上の各平面部分に接触するように設定されて
いて、各多角柱状ホイールの周面上の各平面部分に接触
する搬送用エンドレスベルトの各領域上で、目的とする
生のセラミック積層体を作製しかつ取り出すようにして
いる。すなわち、目的とする生のセラミック積層体は、
搬送用エンドレスベルトの周回の間、平面状態のまま取
り扱われ、曲げおよびテンションが及ぼされないように
している。

【００７１】また、この発明によれば、搬送用エンドレ
スベルト上のセラミックグリーンシートを、多角柱状ホ
イールの各平面部分上に位置する部分ごとにカットする
ことが行なわれる。

【００７２】これらのことから、取り出された生のセラ
ミック積層体には、曲げまたはテンションによる不所望
な応力が付与されていないので、品質の優れたセラミッ
ク積層体を得ることができる。

【００７３】この発明において、セラミックグリーンシ
ートを搬送用エンドレスベルト上へ供給するとき、セラ
ミックグリーンシートを加熱しながら搬送用エンドレス
ベルト上へ供給するようにすれば、熱収縮性を有するセ
ラミックグリーンシートを皺なく平面状態を保ったま
ま、搬送用エンドレスベルト上へ移すことが容易にな
る。

【００７４】また、この発明において、搬送用エンドレ
スベルト上へ供給されるセラミックグリーンシートがキ
ャリアフィルムによって裏打ちされていない状態であ
り、送り用エンドレスベルトによって保持された状態で
送られることによって、搬送用エンドレスベルト上へ供
給されるようにすると、キャリアフィルムを必要としな
いので、膨大な量のキャリアフィルムが消費されること
がなく、セラミック積層体の製造コストを低減すること
ができる。また、送り用エンドレスベルトによってセラ
ミックグリーンシートを送るとき、このセラミックグリ
ーンシート内に残留する不所望な応力の除去作用をも期
待することができる。

【００７５】なお、上述のように、セラミックグリーン
シートを、キャリアフィルムによって裏打ちされていな
い状態で取り扱えるようにするためには、通常、セラミ
ックグリーンシートに含まれるバインダ量を比較的多く
しなければならない。そのため、セラミックグリーンシ
ートの、加熱による収縮量が比較的大きくなってしま
い、セラミックグリーンシートの収縮による、生のセラ
ミック積層体の不所望な変形や内部電極の位置ずれがよ
り生じやすい状況がもたらされる。したがって、この発
明は、キャリアフィルムによって裏打ちされていないセ
ラミックグリーンシートを取り扱うときに、一層顕著な
効果を発揮することになる。

【００７６】また、この発明において、搬送用エンドレ
スベルト上へ供給されるセラミックグリーンシートを、
搬送用エンドレスベルト上へ供給する前に予め加熱する
ようにすれば、この予備加熱によって、セラミックグリ
ーンシートをある程度収縮させておくことができるの
で、積層された後での加熱による収縮を少なくすること
ができ、その結果、得られたセラミック積層体の加熱に
よる不所望な変形をより低減することができる。

【００７７】また、この発明に係る製造方法において、
カット工程が、１回の供給工程を終えて１層のセラミッ
クグリーンシートが供給される毎に実施されると、搬送
用エンドレスベルトの周回においてセラミックグリーン
シートに不所望なテンションあるいは曲げがもたらされ
ることが確実に防止されるので、たとえば内部電極の位
置ずれのような不都合を確実に生じないようにすること
ができる。

【００７８】また、この発明において、搬送用エンドレ
スベルト上で作製された生のセラミック積層体を取り出
すにあたって、生のセラミック積層体を真空吸引に基づ
き吸着しかつ保持する吸着ヘッドが適用される場合、搬
送用エンドレスベルトを、吸着ヘッドによって吸着され
ようとする生のセラミック積層体を保持している部分に
おいてこのセラミック積層体から離れる方向に湾曲させ
るようにすれば、セラミック積層体から搬送用エンドレ
スベルトが容易に剥がれ、生のセラミック積層体を不所
望に変形させることなく、吸着ヘッドによって確実に保
持された状態とすることができる。

【００７９】また、この発明において、導電性ペースト
をセラミックグリーンシート上へ付与する毎に、導電性
ペーストを付与する位置を変えるようにすれば、積層セ
ラミックコンデンサの内部電極のように、互いに重畳さ
れる内部電極を面方向に幾分ずらせる必要がある場合に
おける導電性ペーストの付与を有利に行なうことができ
る。

【００８０】また、この発明において、セラミックグリ
ーンシート上に導電性ペーストを付与した位置を画像処
理によって検出し、この検出された位置情報に基づい
て、次の導電性ペーストを付与すべき位置を決定するよ
うにすれば、導電性ペーストの付与位置に対する精度を
より高めることが容易になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態による積層セラミック電
子部品のためのセラミック積層体の製造方法において用
いられる製造装置を示す斜視図である。

【図２】この発明の他の実施形態を説明するためのもの
で、図１に示した製造装置における供給手段２３の好ま
しい変形例を示す斜視図である。

【図３】この発明のさらに他の実施形態を説明するため
のもので、図１に示した製造装置における取り出し手段
４３の好ましい変形例を示す斜視図である。

【図４】この発明にとって興味ある積層セラミック電子
部品の一例としての積層セラミックコンデンサ１を示す
断面図である。

【符号の説明】

１ 積層セラミックコンデンサ ２ セラミック積層体 ３ 内部電極 ４ セラミック層 １２，１３ 多角柱状ホイール １４，１５ 平面部分 １６ 搬送用エンドレスベルト １８ 平面部分に接触する領域 ２２ セラミックグリーンシート ２３ 供給手段 ２７ 送り用エンドレスベルト ３４ 加熱プレスヘッド ３６ カット手段 ３８ ペースト付与手段 ４１ 乾燥手段 ４３ 取り出し手段 ４４ 吸着ヘッド ４５ 予備加熱手段 ５０ 生のセラミック積層体 ５１ 湾曲させる手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 細川 孝夫 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 米田 康信 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 Ｆターム(参考） 3F024 AA07 CA04 5E082 AB03 BC38 BC40 EE04 EE35 FG06 FG26 LL01 LL02 MM11 MM12 MM13 MM21 MM23 MM24

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 積み重ねられた複数のセラミックグリー
   ンシートおよび前記セラミックグリーンシートの所定の
   界面に沿って形成された内部電極を備える、積層セラミ
   ック電子部品のためのセラミック積層体を製造する方法
   であって、 周面上に複数の平面部分が周方向に連なって形成されか
   つ軸線を互いに平行に向けた状態で配置される少なくと
   も２つの多角柱状ホイールと、前記多角柱状ホイールの
   周面に巻掛けされかつ前記多角柱状ホイールの回転を伴
   って周回する金属箔からなる搬送用エンドレスベルトと
   を備え、前記搬送用エンドレスベルトが周回する間、当
   該搬送用エンドレスベルトにおける一定の領域が各前記
   多角柱状ホイールの周面上の各前記平面部分に接触する
   ように設定された、そのような装置を用意する工程と、 前記搬送用エンドレスベルトを周回させ、かつ予め成形
   された長尺のセラミックグリーンシートを前記搬送用エ
   ンドレスベルト上へ供給する、供給工程と、 前記搬送用エンドレスベルト上の前記セラミックグリー
   ンシートを、前記多角柱状ホイールの各前記平面部分上
   に位置する部分毎にカットする、カット工程と、 前記セラミックグリーンシート上に所定のパターンを有
   する前記内部電極を形成するため、導電性ペーストを前
   記セラミックグリーンシート上に付与する、ペースト付
   与工程と、 前記搬送用エンドレスベルトを周回させながら、前記導
   電性ペーストを加熱乾燥する、乾燥工程とを備え、さら
   に、 前記供給工程と前記カット工程と前記ペースト付与工程
   と前記乾燥工程とを繰り返すことによって、複数の前記
   セラミックグリーンシートおよび前記内部電極を備える
   生のセラミック積層体を、前記多角柱状ホイールの各前
   記平面部分に接触する前記搬送用エンドレスベルトの各
   領域上で作製する工程と、 前記多角柱状ホイールの各前記平面部分に接触する前記
   搬送用エンドレスベルトの各領域上の前記セラミック積
   層体を取り出す工程とを備えることを特徴とする、積層
   セラミック電子部品のためのセラミック積層体の製造方
   法。
2. 【請求項２】 前記供給工程は、前記セラミックグリー
   ンシートを加熱しながら前記搬送用エンドレスベルト上
   へ供給する工程を備える、請求項１に記載のセラミック
   積層体の製造方法。
3. 【請求項３】 前記供給工程において前記搬送用エンド
   レスベルト上へ供給される前記セラミックグリーンシー
   トは、キャリアフィルムによって裏打ちされていない状
   態であり、送り用エンドレスベルトによって保持された
   状態で送られることによって、前記搬送用エンドレスベ
   ルト上へ供給される、請求項１または２に記載のセラミ
   ック積層体の製造方法。
4. 【請求項４】 前記供給工程において前記搬送用エンド
   レスベルト上へ供給される前記セラミックグリーンシー
   トを、前記搬送用エンドレスベルト上へ供給する前に予
   め加熱する予備加熱工程をさらに備える、請求項１ない
   し３のいずれかに記載のセラミック積層体の製造方法。
5. 【請求項５】 前記カット工程は、１回の前記供給工程
   を終えて１層の前記セラミックグリーンシートが供給さ
   れる毎に実施される、請求項１ないし４のいずれかに記
   載のセラミック積層体の製造方法。
6. 【請求項６】 前記セラミック積層体を取り出す工程
   は、吸着ヘッドによって、前記生のセラミック積層体を
   真空吸引に基づき吸着しかつ保持する工程と、前記搬送
   用エンドレスベルトを、前記吸着ヘッドによって吸着さ
   れようとする前記生のセラミック積層体を保持している
   部分において前記生のセラミック積層体から離れる方向
   に湾曲させる工程とを備える、請求項１ないし５のいず
   れかに記載のセラミック積層体の製造方法。
7. 【請求項７】 繰り返される前記ペースト付与工程の各
   回毎に、前記導電性ペーストを付与する位置を変える工
   程をさらに備える、請求項１ないし６のいずれかに記載
   のセラミック積層体の製造方法。
8. 【請求項８】 前記ペースト付与工程において前記導電
   性ペーストを付与した位置を画像処理によって検出し、
   この検出された位置情報に基づいて、次の前記ペースト
   付与工程における前記導電性ペーストの付与位置を決定
   する工程をさらに備える、請求項１ないし７のいずれか
   に記載のセラミック積層体の製造方法。
9. 【請求項９】 積み重ねられた複数のセラミックグリー
   ンシートおよび前記セラミックグリーンシートの所定の
   界面に沿って形成された内部電極を備える、積層セラミ
   ック電子部品のためのセラミック積層体を製造する装置
   であって、 周面上に複数の平面部分が周方向に連なって形成されか
   つ軸線を互いに平行に向けた状態で配置される少なくと
   も２つの多角柱状ホイールと、 前記多角柱状ホイールの周面に巻掛けされかつ前記多角
   柱状ホイールの回転を伴って周回する金属箔からなる搬
   送用エンドレスベルトとを備え、 前記搬送用エンドレスベルトが周回する間、当該搬送用
   エンドレスベルトにおける一定の領域が各前記多角柱状
   ホイールの周面上の各前記平面部分に接触するように設
   定され、さらに、 前記搬送用エンドレスベルトの周回経路上の第１の固定
   位置において、予め成形された長尺のセラミックグリー
   ンシートを前記搬送用エンドレスベルト上へ供給するた
   めの供給手段と、 前記搬送用エンドレスベルトの周回経路上の第２の固定
   位置において、前記搬送用エンドレスベルト上の前記セ
   ラミックグリーンシートを、前記多角柱状ホイールの各
   前記平面部分上に位置する部分毎にカットするためのカ
   ット手段と、 前記搬送用エンドレスベルトの周回経路上の第３の固定
   位置において、前記セラミックグリーンシート上に所定
   のパターンを有する前記内部電極を形成するため、導電
   性ペーストを前記セラミックグリーンシート上に付与す
   るためのペースト付与手段と、 前記搬送用エンドレスベルトを周回させながら、前記導
   電性ペーストを加熱乾燥するための乾燥手段と、 前記多角柱状ホイールの各前記平面部分に接触する前記
   搬送用エンドレスベルトの各領域上で得られた、複数の
   前記セラミックグリーンシートおよび前記内部電極を備
   える生のセラミック積層体を取り出すための取り出し手
   段とを備えることを特徴とする、積層セラミック電子部
   品のためのセラミック積層体の製造装置。
10. 【請求項１０】 前記供給手段は、前記セラミックグリ
    ーンシートを加熱しながら前記搬送用エンドレスベルト
    上へ供給する手段を備える、請求項９に記載のセラミッ
    ク積層体の製造方法。
11. 【請求項１１】 前記供給手段によって前記搬送用エン
    ドレスベルト上へ供給される前記セラミックグリーンシ
    ートは、キャリアフィルムによって裏打ちされていない
    状態であり、前記セラミックグリーンシートを前記搬送
    用エンドレスベルト上へ供給するように送るための送り
    用エンドレスベルトをさらに備える、請求項９または１
    ０に記載のセラミック積層体の製造装置。
12. 【請求項１２】 前記供給手段によって前記搬送用エン
    ドレスベルト上へ供給される前記セラミックグリーンシ
    ートを、前記搬送用エンドレスベルト上へ供給する前に
    予め加熱するための予備加熱手段をさらに備える、請求
    項９ないし１１に記載のセラミック積層体の製造装置。
13. 【請求項１３】 前記生のセラミック積層体を取り出す
    手段は、前記セラミック積層体を真空吸引に基づき吸着
    しかつ保持するための吸着ヘッドと、前記搬送用エンド
    レスベルトを、前記吸着ヘッドによって吸着されようと
    する前記生のセラミック積層体を保持している部分にお
    いて前記生のセラミック積層体から離れる方向に湾曲さ
    せる手段とを備える、請求項９ないし１２のいずれかに
    記載のセラミック積層体の製造装置。
14. 【請求項１４】 前記ペースト付与手段によって前記導
    電性ペーストを付与する位置を変える手段をさらに備え
    る、請求項９ないし１３のいずれかに記載のセラミック
    積層体の製造装置。
15. 【請求項１５】 前記ペースト付与手段によって前記導
    電性ペーストを付与した位置を画像処理によって検出
    し、この検出された位置情報に基づいて、前記ペースト
    付与手段による前記導電性ペーストの次の付与位置を決
    定する手段をさらに備える、請求項９ないし１４のいず
    れかに記載のセラミック積層体の製造装置。