WO2007139090A1

WO2007139090A1 - 外層体の剥離方法及び剥離装置

Info

Publication number: WO2007139090A1
Application number: PCT/JP2007/060867
Authority: WO
Inventors: Kazuyoshi Suehara; Kenichi Imoto
Original assignee: Fujifilm Corporation
Priority date: 2006-05-30
Filing date: 2007-05-29
Publication date: 2007-12-06
Also published as: CN101460382B; TW200804068A; CN101460382A; KR20090017529A; JP2007320678A

Abstract

　支持体剥離装置（１２２）では、チャック（１４２ａ、１４２ｂ）がベースフイルム（２６）を把持し、先ず、前記チャック（１４２ａ、１４２ｂ）がＳ字カーブの速度パターンに沿って移動することにより、前記ベースフイルム（２６）を貼り付け基板（２４ａ）から剥がし始める。次いで、ベースフイルム（２６）全体が貼り付け基板（２４ａ）から剥離されるまでの間、チャック（１４２ａ、１４２ｂ）は湾曲する速度パターンに沿って移動することにより、前記ベースフイルム（２６）の剥離作業が終了する。

Description

外層体の剥離方法及び剥離装置

技術分野

[0001] 本発明は、基板に貼り付けられた多層フィルムの外層体を、前記基板から剥離する外層体の剥離方法及び剥離装置に関する。

背景技術

[0002] 例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、 PDPパネル用基板では、感光材料 (感光性榭脂)層を有する感光性シート体 (感光性ウェブ)を基板表面に貼り付けている。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光材料層と保護フィルムと力積層されている。

[0003] この種の感光性シート体は、保護フィルムが部分的又は全面的に剥離された後、感光材料層がガラス基板ゃ榭脂基板等の基板に貼り付けられている。次いで、支持体が基板力剥離されることにより、感光材料層が貼り付けられた貼り付け基板が得られている。

[0004] 例えば、特開 2002— 234667号公報に開示されているフィルムの剥離方法及び剥離装置では、図 15に示すように、ガラス基板 1を吸着して移動する基板吸着ハンド 2と、前記ガラス基板 1に貼り付けられてヽるフィルム F (外層体)を挟持して剥離する第 1クランパ 3と、前記第 1クランパ 3を、図 15中、左右に移動させるシリンダ 4と、このシリンダ 4を前後方向に移動させる水平ガイド 5a、及び上下方向に移動させる垂直ガイド 5bと、剥離した前記フィルム Fを挟持する第 2クランパ 6と、前記剥離された前記フィルム Fを水平方向に押し広げるフィルムプッシャ 7とを備えて、る。

[0005] そこで、先ず、基板吸着ハンド 2が、図 15中、二点鎖線で示す水平姿勢に配置されてガラス基板 1が載せられると、この基板吸着ハンド 2は、前記ガラス基板 1を吸着して起立する。

[0006] 次いで、第 1クランパ 3は、ガラス基板 1から外部に突出するフィルム Fの一部を把持し、前記第 1クランパ 3がシリンダ 4を介して任意の方向に移動する。このため、フィルム Fは、ガラス基板 1のコーナ部力も剥離される。 [0007] さらに、第 1クランパ 3は、水平ガイド 5a及び垂直ガイド 5bの案内作用下に矢印方向に移動して、ガラス基板 1からフィルム Fを剥離した後、このフィルム Fが第 2クランノ 6に受け渡される。その際、剥離されたフィルム Fは、フィルムプッシャ 7を介して水平方向に押し広げられ、各フィルム Fが重ね合わされて収容される。

[0008] 上記の従来技術では、図 16に示すように、剥離開始から時間 T1までの間、ガラス基板 1は、速度 VIで上昇する一方、第 1クランパ 3は、速度 (V2— VI)で下降している。これにより、フィルム Fは、実質的に速度 V2の剥離速度で剥離されている。

[0009] さらに、時間 T1から時間 T3までの間は、第 1クランパ 3が停止される一方、ガラス基板 1は、速度 V2で上昇している。このため、剥離中の相対速度 V2が維持されると、している。

[0010] し力しながら、上記の従来技術では、フィルム剥離開始時（時間 0近傍)では、ガラス基板 1の上昇と第 1クランパ 3の下降とによって、フィルム Fには、急激な剥離開始動作が付与されている。このため、フィルム Fには、特に感光性榭脂層に急激な力が付与されると、この感光性榭脂層に凝集破壊が発生し易い。しかも、感光性榭脂層の破損された部分が塵埃となって基板等に付着するおそれがある。

[0011] さらに、フィルム Fには、屈曲部を有する直線状の剥離速度パターンに沿って剥離動作が付与されている。従って、フィルム Fの剥離作業中には、屈曲部に対応して急激に速度が変化する変化点 Pl、 P2及び P3が存在している。このため、これらの変化点 Pl、 P2及び P3では、フィルム Fの剥離状態が急激に変化して感光性榭脂層の表面にスジが発生する。この問題は、加速度と又は減速度を一定に保ってフィルム F を剥離する際にも、同様に発生している。

発明の開示

[0012] 本発明はこの種の問題を解決するものであり、簡単な工程及び構成で、外層体を基板から良好に剥離するとともに、高品質な剥離面を確実に得ることが可能な外層体の剥離方法及び剥離装置を提供することを目的とする。

[0013] 本発明は、基板に貼り付けられた多層フィルムの外層体を、前記基板から剥離する外層体の剥離方法及び剥離装置に関するものである。

[0014] この剥離方法は、把持機構により外層体を把持し、前記把持機構を S字カーブの速度パターン又は加速度パターンに沿って移動させる剥離開始工程と、前記剥離開始工程の後、前記外層体全体を基板力剥離するまでの間に、速度、加速度又は減速度が変化する変化領域を設定し、前記変化領域で、前記把持機構を湾曲する速度パターン、加速度パターン又は減速度パターンに沿って移動させる剥離工程とを有している。

[0015] ここで、湾曲する速度パターンとは、速度の急激な変化点がない、すなわち、屈曲部がない速度パターンをいう。なお、湾曲する加速度パターン及び湾曲する減速度パターンも同様である。

[0016] また、剥離装置は、基板を水平姿勢に保持する基板保持機構と、外層体を把持し、前記外層体を前記基板から剥離する把持機構と、剥離開始時に、前記把持機構を S 字カーブの速度パターン又は加速度パターンに沿って移動させる一方、前記剥離開始工程の後、前記外層体全体を前記基板から剥離するまでの間に、速度、加速度又は減速度が変化する変化領域を設定し、前記変化領域で、前記把持機構を湾曲する速度パターン、加速度パターン又は減速度パターンに沿って移動させる移動制御機構とを備えている。

[0017] 本発明では、外層体の剥離開始時に、把持機構を S字カーブの速度パターン又は加速度パターンに沿って移動させている。このため、外層体を急激に剥がし始めることがなぐ例えば、感光性榭脂層の凝集破壊を良好に阻止するとともに、破損による塵埃の発生を可及的に阻止することができる。一方、外層体が剥がれ始めた後に、速度又は加速度が S字カーブに沿って急速に上昇し、良好な剥離作業が遂行される他、該剥離作業の効率化が図られる。従って、簡単な工程及び構成で、感光性榭脂層の凝集破壊が発生することがなぐ外層体を有効に剥離するとともに、剥離作業の効率化が容易に遂行可能になる。

[0018] さらに、剥離開始工程の後、外層体全体を基板から剥離するまでの間に、速度、加速度又は減速度が変化する変化領域を設定し、前記変化領域で、前記把持機構を湾曲する速度パターン、加速度パターン又は減速度パターンに沿って移動させて、る。これにより、外層体の剥離動作中に、剥離状態が急激に変化することがなぐ例えば、感光性榭脂層の表面にスジ等が発生することを良好に防止することができ、高品質な剥離面 (感光性榭脂層）を確実に得ることが可能になる。

[0019] 添付した図面と協同する次の好適な実施の形態例の説明から、上記の目的及び他の目的、特徴及び利点がより明らかになるだろう。

図面の簡単な説明

[0020] [図 1]図 1は、本発明の第 1の実施形態に係る支持体剥離装置が組み込まれる製造装置の概略構成図である。

[図 2]図 2は、前記製造装置に使用される長尺状感光性ウェブの断面図である。

[図 3]図 3は、前記長尺状感光性ウェブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。

[図 4]図 4は、前記支持体剥離装置の概略斜視説明図である。

[図 5]図 5は、前記支持体剥離装置の要部斜視説明図である。

[図 6]図 6は、前記支持体剥離装置の動作説明図である。

[図 7]図 7は、ゴムローラ間にガラス基板が配置される際の動作説明図である。

[図 8]図 8は、前記ガラス基板の後端が前記ゴムローラ間から離間する際の動作説明図である。

[図 9]図 9は、第 1の実施形態に係る剥離速度パターンの説明図である。

[図 10]図 10は、従来方法と第 1の実施形態との品質評価説明図である。

[図 11]図 11は、本発明の第 2の実施形態に係る外層体の剥離方法に適用される剥離速度パターンの説明図である。

[図 12]図 12は、本発明の第 3の実施形態に係る外層体の剥離方法に適用される剥離速度パターンの説明図である。

[図 13]図 13は、本発明の第 4の実施形態に係る支持体剥離装置の概略斜視説明図である。

[図 14]図 14は、本発明の第 5の実施形態に係る支持体剥離装置の概略斜視説明図である。

[図 15]図 15は、従来技術に開示されて!、るフィルムの剥離方法及び剥離装置の説明図である。

[図 16]図 16は、前記従来技術の速度パターン説明図である。発明を実施するための最良の形態

[0021] 図 1は、本発明の第 1の実施形態に係る外層体の剥離装置が組み込まれる製造装置 20の概略構成図である。この製造装置 20は、液晶又は有機 EL用カラーフィルタ等の製作工程で、長尺状感光性ウェブ (長尺状ウェブ) 22の感光性榭脂層 29 (後述する）をガラス基板 24に熱転写する作業を行う。

[0022] 図 2は、製造装置 20に使用される感光性ウェブ 22の断面図である。この感光性ゥエブ 22は、可撓性ベースフィルム (外層体） 26、クッション層（熱可塑性榭脂層） 27、中間層 (酸素遮断膜) 28、感光性榭脂層 29及び保護フィルム 30を積層して構成される。なお、感光性ウェブ 22は、ベースフィルム 26、感光性榭脂層 29及び保護フィノレム 30【こより構成されて!ヽてもよ!/ヽ。

[0023] ベースフィルム 26は、ポリエチレンテレフタレート（PET)で形成され、クッション層 2 7は、エチレンと酸化ビニル共重合体で形成され、中間層 28は、ポリビュルアルコールで形成され、感光性榭脂層 29は、アルカリ可溶性バインダとモノマーと光重合開始材と着色剤を含む着色感光性榭脂組成物で形成され、保護フィルム 30は、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等で形成される。

[0024] 図 1に示すように、製造装置 20は、感光性ウェブ 22をロール状に卷回した感光性ウェブロール 22aを収容し、この感光性ウェブロール 22aから前記感光性ウェブ 22を送り出すウェブ送り出し機構 32と、送り出された前記感光性ウェブ 22の保護フィルム 30に、幅方向に切断可能なハーフカット部位 34を形成するハーフカット機構 36と、一部に非接着部 38aを有する接着ラベル 38 (図 3参照）を保護フィルム 30に接着させるラベル接着機構 40とを備える。なお、ハーフカット機構 36は、矢印 A方向に所定の間隔だけ離間して 2セット配設され、同時に 2個所のハーフカット部位 34を形成してもよい。

[0025] ラベル接着機構 40の下流には、感光性ウェブ 22をタクト送りから略連続送りに変更するためのリザーバ機構 42と、前記感光性ウェブ 22から保護フィルム 30を所定の長さ間隔で剥離させる保護フィルム剥離機構 44と、ガラス基板 24を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する加熱機構 45と、前記保護フィルム 30の剥離により露出した感光性榭脂層 29を前記ガラス基板 24に貼り付ける貼り付け機構 46とが配設される。なお、貼り付け機構 46によりガラス基板 24に感光性ウェブ 22が貼り付けられた積層体を、以下、貼り付け基板 24aという。

[0026] 貼り付け機構 46における貼り付け位置の上流近傍には、感光性ウェブ 22の境界位置であるハーフカット部位 34を直接検出する検出機構 47が配設されるとともに、前記貼り付け機構 46の下流には、各ガラス基板 24間の前記感光性ウェブ 22を切断する基板間ウェブ切断機構 48が配設される。この基板間ウェブ切断機構 48の上流には、運転開始時及び運転終了時に使用されるウェブ切断機構 48aが設けられる。

[0027] ウェブ送り出し機構 32の下流近傍には、略使用済みの感光性ウェブ 22の後端と、新たに使用される感光性ウェブ 22の先端とを接合させる接合台 49が配設される。この接合台 49の下流には、感光性ウェブロール 22aの卷きずれによる幅方向のずれを制御するために、フィルム端位置検出器 51が配設される。

[0028] ハーフカット機構 36は、ウェブ送り出し機構 32に収容卷回されている感光性ウェブロール 22aのロール径を算出するためのローラ対 50の下流に配置される。ハーフ力ット機構 36は、感光性ウェブ 22の搬送方向（矢印 A方向）に直交する方向に進退自在なスライド台 52を備える。このスライド台 52には、回転丸刃（カツタ） 54が固着されるとともに、前記回転丸刃 54に対向する位置には、感光性ウェブ 22を挟んでカット受台 56が配設される。

[0029] 図 2に示すように、ハーフカット部位 34は、少なくとも保護フィルム 30を切断する必要があり、実際上、この保護フィルム 30を確実に切断するために感光性榭脂層 29〜中間層 28まで切り込むように、回転丸刃 54の切り込み深さが設定される。ハーフカツト部位 34は、回転丸刃 54に代替して、例えば、固定丸刃や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、後述する帯状押し切り刃（トムソン刃）等で形成する方式を採用してもよい。なお、押し切り刃は、垂直方向の押し切り構成の他、斜め方向の押し切り構成を含む。

[0030] ハーフカット部位 34は、ガラス基板 24の間隔を設定するものであり、例えば、両側の前記ガラス基板 24にそれぞれ 10mmずつ入り込んだ位置に設定される。ガラス基板 24間のハーフカット部位 34で挟まれた部分は、後述する貼り付け機構 46におヽて感光性榭脂層 29を前記ガラス基板 24に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。

[0031] ラベル接着機構 40は、ガラス基板 24間に対応して保護フィルム 30の残存部分 30 bを残すため、剥離側前方の剥離部分 30aaと剥離側後方の剥離部分 30abとを連結する接着ラベル 38を供給する。図 2に示すように、保護フィルム 30は、残存部分 30b を挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分 30aaとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分 30abとする。

[0032] 図 3に示すように、接着ラベル 38は、短冊状に構成されており、例えば、保護フィルム 30と同一の榭脂材で形成される。接着ラベル 38は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部 (微粘着を含む） 38aを有するとともに、この非接着部 38aの両側、すなわち、前記接着ラベル 38の長手方向両端部に、前方の剥離部分 30aaに接着される第 1接着部 38bと、後方の剥離部分 30abに接着される第 2接着部 38cとを有する。

[0033] 図 1に示すように、ラベル接着機構 40は、最大 5枚の接着ラベル 38を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド 58a〜58eを備えるとともに、前記吸着パッド 5 8a〜58eによる前記接着ラベル 38の貼り付け位置には、感光性ウェブ 22を下方から保持するための受台 59が昇降自在に配置される。

[0034] リザーバ機構 42は、上流側の感光性ウェブ 22のタクト搬送と、下流側の前記感光性ウェブ 22の連続搬送との速度差を吸収する力さらにテンション変動を防ぐために、揺動自在な 2連のローラ 60で構成されるダンサー 61を備えることが好ましい。なお、ローラ 60は、リザーブ量に応じて 1連又は 3連以上であってもよい。

[0035] 保護フィルム剥離機構 44は、リザーバ機構 42の下流に配置されるとともに、サクシヨンドラム 62と、感光性ウェブ 22を挟んでこのサクシヨンドラム 62に接する剥離ローラ 64とを備える。剥離ローラ 64を介して感光性ウェブ 22から鋭角の剥離角で剥離される保護フィルム 30は、残存部分 30bを除いて保護フィルム巻き取り軸 66に巻き取られる。保護フィルム巻き取り軸 66は、保護フィルム 30に所定のテンションを付与するために、例えば、トルクモータ 68に連結される。

[0036] 保護フィルム剥離機構 44の下流側には、感光性ウェブ 22にテンションを付与可能なテンション制御機構 76が配設される。テンション制御機構 76は、シリンダ 78を備え、このシリンダ 78の駆動作用下に、テンションピックアップローラ 80が揺動変位することにより、このテンションピックアップローラ 80が摺接する感光性ウェブ 22のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構 76は、必要に応じて使用すればよく、肖 IJ除することちできる。

[0037] 検出機構 47は、レーザセンサやフォトセンサ等の光電センサ 82を備えており、前記光電センサ 82は、ハーフカット部位 34の楔状の溝形状部や、保護フィルム 30の厚さによる段差、あるいは、これらの組み合わせによる変化を直接検出し、この検出信号を境界位置信号とする。光電センサ 82は、ノックアップローラ 83に対向して配置される。なお、光電センサ 82に代えて、非接触変位計や CCDカメラ等の画像検査手段等を用いてもよい。

[0038] 加熱機構 45は、ガラス基板 24を矢印 C方向に搬送するための搬送機構 84を備え、この搬送機構 84は、矢印 C方向に配列される複数の榭脂製円板状搬送ローラ 86 を有する。搬送機構 84の矢印 C方向上流側には、ガラス基板 24を受け取る受け取り部 88が設けられる。受け取り部 88の下流側には、複数の加熱炉 90が配列される。

[0039] 加熱機構 45の上流には、複数のガラス基板 24が収容される基板ストッカー 100が設けられる。基板ストッカー 100には、投入及び取り出し口以外の 3方の側面に、除塵用ファンユニット (又はダクトユニット） 102が付設される。ファンユニット 102は、基板ストッカー 100内に除電クリーンエアの吹き出しを行う。基板ストッカー 100に収容されている各ガラス基板 24は、ロボット 104のハンド部 104aに設けられた吸着パッド 106に吸着されて取り出され、受け取り部 88に搬入される。

[0040] 貼り付け機構 46は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるラミネート用ゴムローラ 110a、 110bを備える。ゴムローラ 110a、 110bには、ノックアップローラ 1 12a, 112b力摺接するとともに、前記バックアップローラ 112bは、ローラクランプ部 1 14を介してゴムローラ 110b側に押圧される。

[0041] ゴムローラ 110aの近傍には、感光性ウェブ 22が前記ゴムローラ 110aに接触することを防止するための接触防止ローラ 116が配設される。この接触防止ローラ 116は、図示しな!、ァクチユエータを介して移動可能である。

[0042] 貼り付け機構 46と基板間ウェブ切断機構 48との間には、フィルム搬送ローラ 118a と基板搬送ローラ 118bとが配設される。基板間ウェブ切断機構 48の下流側には、複数のローラ 119aが配列される搬送系 119に沿って冷却機構 120が配置されるとともに、この冷却機構 120の下流側には、第 1の実施形態に係る支持体剥離装置 122 が配置される。

[0043] 冷却機構 120は、基板間ウェブ切断機構 48を介して貼り付け基板 24a間の感光性ウェブ 22が切断された後、この貼り付け基板 24aに冷風を供給して冷却処理を施す。具体的には、冷風温度が 10°Cで、風速が 1. 0〜2. OmZminに設定される。なお、冷却機構 120を使用することがなぐ後述する感光性積層体ストッカー 156で自然冷去 Pしてちよい。

[0044] 支持体剥離装置 122は、図 4に示すように、枠部材 124を備え、この枠部材 124には、貼り付け基板 24aの搬送方向（矢印 C方向）に直交する矢印 D方向に延在する上部ガイドレール 126a、 126bが互いに所定の間隔だけ離間して平行に延在する。上部ガイドレール 126a、 126bの下方〖こは、これらよりも短尺な下部ガイドレール 128 a、 128bが、同様に矢印 D方向に延在して互いに平行して設けられる。上部ガイドレ一ノレ 126a、 126b【こ ίま、モータ 130a、 130bを介して矢方向【こ ί¾つて進退可會な自走式可動部材 132a、 132bが支持される。

[0045] 図 4〜図 6に示すように、可動部材 132a、 132bは、鉛直方向（矢印 E方向）に延在しており、互いに対向する側面には、鉛直方向に延在するガイドレール 134a、 134b が設けられる。ガイドレール 134a、 134bには、昇降台 136a、 136bが支持されるとともに、前記昇降台 136a、 136bは、モータ 138a、 138bを介して昇降可能である。

[0046] 昇降台 136a、 136bには、モータ 140a、 140bが水平方向に向かって装着され、前記モータ 140a、 140bの回転軸（図示せず）には、チャック (把持機構） 142a、 142 bが固着される。チャック 142a、 142bは、旋回自在に構成されるとともに、貼り付け基板 24aのベースフィルム剥離位置にぉ、て、前記貼り付け基板 24aを構成するガラス基板 24の搬送方向両端力も外部に突出するベースフィルム 26の両側部を把持自在な位置に位置調整可能である。

[0047] モータ 130a、 130b, 138a, 138b, 140a及び 140bは、速度又はカロ速度の制御が可能な種々の回転駆動源が使用される。例えば、サーボモータや直動リニアモータの他、直動ロボット等が採用される。 [0048] 図 4に示すように、下咅ガイドレーノレ 128a、 128bに ίま、スライドベース 144a、 144b が支持されるとともに、前記スライドベース 144a、 144bには、倣いローラ 146の両端が昇降可能に支持される。スライドベース 144a、 144bは、可動部材 132a、 132bと一体的に矢印 D方向の所定の位置間を進退可能に構成される。なお、倣いローラ 1 46は、必要に応じて設けられており、不要にすることもできる。

[0049] 図 1に示すように、支持体剥離装置 122は、貼り付け基板 24aからベースフィルム 2 6を剥離する際に、前記貼り付け基板 24aを水平姿勢に吸着保持する複数の吸着パッド 148を設ける基板保持機構 149を備える。この支持体剥離装置 122の近傍には、ガラス基板 24から剥離されたベースフィルム 26を把持して所定の排出トレィ（図示せず)等に排出するためのロボットハンド（図示せず）が配設される。

[0050] 支持体剥離装置 122の下流には、複数の積層体基板 150が収容される感光性積層体ストッカー 156が設けられる。支持体剥離装置 122で貼り付け基板 24aからべ一スフイルム 26及び残存部分 30bが剥離された積層体基板 150は、ロボット 152のノヽンド部 152aに設けられた吸着パッド 154に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー 156に収容される。

[0051] 感光性積層体ストッカー 156には、投入及び取り出し口以外の 3方の側面に、除塵用ファンユニット (又はダクトユニット） 102が付設される。ファンユニット 102は、感光性積層体ストッカー 156内に除電クリーンエアの吹き出しを行う。

[0052] 製造装置 20では、ウェブ送り出し機構 32、ハーフカット機構 36、ラベル接着機構 4 0、リザーバ機構 42、保護フィルム剥離機構 44、テンション制御機構 76及び検出機構 47力貼り付け機構 46の上方に配置されている力これとは逆に、前記ウェブ送り出し機構 32から前記検出機構 47を前記貼り付け機構 46の下方に配置し、感光性ゥエブ 22の上下が逆になつて感光性榭脂層 29がガラス基板 24の下側に貼り付けされてもよく、また、前記製造装置 20全体を直線上に構成してもよい。

[0053] 製造装置 20は、ラミネート工程制御部 160を介して全体制御されており、この製造装置 20の各機能部毎に、例えば、ラミネート制御部 162、基板加熱制御部 164及びベース剥離制御部 166等が設けられ、これらが工程内ネットワークにより繋がっている。 [0054] ラミネート工程制御部 160は、工場ネットワークに繋がっており、図示しない工場 CP Uからの指示情報 (条件設定や生産情報)の生産管理や稼動管理等、生産のための情報処理を行う。

[0055] ラミネート制御部 162は、工程全体のマスターとして各機能部の制御を行うものであり、検出機構 47により検出された感光性ウェブ 22のハーフカット部位 34の位置情報に基づいて、例えば、加熱機構 45を制御する制御機構を構成している。

[0056] ベース剥離制御部 166は、貼り付け機構 46から供給される貼り付け基板 24aからベースフィルム 26を剥離し、さらに下流工程に積層体基板 150を排出する動作の制御を行うとともに、前記貼り付け基板 24a及び前記積層体基板 150の情報をノヽンドリング制御する。

[0057] ベース剥離制御部 166は、後述するように、ベースフィルム 26の剥離開始時に、チャック 142a、 142bを S字カーブの速度パターン又は加速度パターンに沿って移動させる一方、前記剥離開始工程の後、前記ベースフィルム 26全体を貼り付け基板 24a 力剥離するまでの間に、速度、加速度又は減速度が変化する変化領域を設定し、前記変化領域で、前記チャック 142a、 142bを湾曲する速度パターン、加速度バターン又は減速度パターンに沿って移動させる移動制御機構を構成する。

[0058] なお、以下、ベースフィルム 26の剥離速度、剥離加速度及び剥離減速度とは、実質的にチャック 142a、 142bの移動する速度、加速度及び減速度をいう。

[0059] 製造装置 20内は、仕切り壁 170を介して第 1クリーンルーム 172aと第 2クリーンルーム 172bとに仕切られる。第 1クリーンルーム 172aには、ウェブ送り出し機構 32からテンション制御機構 76までが収容されるとともに、第 2クリーンルーム 172bには、検出機構 47以降が収容される。第 1クリーンルーム 172aと第 2クリーンルーム 172bとは、貫通部 174を介して連通する。

[0060] この製造装置 20の動作について、第 1の実施形態に係る剥離方法との関連で以下に説明する。

[0061] 先ず、図 1に示すように、ウェブ送り出し機構 32に取り付けられている感光性ウェブロール 22aから感光性ウェブ 22が繰り出され、この感光性ウェブ 22は、ハーフカット機構 36に送られる。 [0062] ハーフカット機構 36では、スライド台 52が感光性ウェブ 22の幅方向（搬送方向に直交する方向）に移動する。このため、回転丸刃 54は、感光性ウェブ 22のハーフ力ット部位 34に所望の深さまで切り込んだ状態で、移動しながら回転する。これにより、感光性ウェブ 22には、保護フィルム 30から所望の深さに切り込んだノヽーフカット部位 34が形成される（図 2参照)。

[0063] ハーフカット処理された感光性ウェブ 22は、図 1に示すように、保護フィルム 30の残存部分 30bの寸法に対応して矢印 A方向に搬送された後、ー且停止されて回転丸刃 54の走行作用下に次なるハーフカット部位 34が形成される。このため、感光性ウェブ 22には、残存部分 30bを挟んで前方の剥離部分 30aaと後方の剥離部分 30a bとが設けられる（図 2参照)。

[0064] さらに、感光性ウェブ 22は、ラベル接着機構 40に搬送されて、保護フィルム 30の所定の貼り付け部位が受台 59上に配置される。ラベル接着機構 40では、所定枚数の接着ラベル 38が吸着パッド 58a〜58eにより吸着保持され、各接着ラベル 38が保護フィルム 30の残存部分 30bを跨、で、前方の剥離部分 30aaと後方の剥離部分 3 Oabとに一体的に接着される（図 3参照)。

[0065] 例えば、 5本の接着ラベル 38が接着された感光性ウェブ 22は、図 1に示すように、リザーバ機構 42を介して送り出し側のテンション変動を防、だ後、保護フィルム剥離機構 44に連続的に搬送される。

[0066] 保護フィルム剥離機構 44では、感光性ウェブ 22がサクシヨンドラム 62と剥離ローラ 64とに挟持されて、前記感光性ウェブ 22のベースフィルム 26が前記サクシヨンドラム 62に吸着保持されている。この状態で、サクシヨンドラム 62が回転されるとともに、保護フィルム 30には、トルクモータ 68を介して所定のトルクが付与されて!、る。

[0067] 従って、保護フィルム 30は、残存部分 30bを残して感光性ウェブ 22から剥離され、剥離ローラ 64を介して保護フィルム巻き取り軸 66に巻き取られる。なお、剥離部位には、除電エアを吹き付けることが好ましい。

[0068] 保護フィルム剥離機構 44の作用下に、保護フィルム 30が残存部分 30bを残してベ一スフイルム 26から剥離された後、感光性ウェブ 22は、テンション制御機構 76によつてテンション調整が行われ、さらに検出機構 47で光電センサ 82によりハーフカット部位 34の検出が行われる。

[0069] 感光性ウェブ 22は、ハーフカット部位 34の検出情報に基づいて、運転開始時にはフィルム搬送ローラ 118aの回転作用下に、その後は貼り付け基板 24aを挟持する基板搬送ローラ 118bの回転作用下に、貼り付け機構 46に定量搬送される。その際、接触防止ローラ 116が上方に待機するとともに、ゴムローラ 110bが下方に配置されている。

[0070] 一方、加熱機構 45では、貼り付け機構 46におけるラミネート温度に対応して各カロ熱炉 90内の加熱温度が設定されている。そこで、ロボット 104は、基板ストッカー 100 に収容されているガラス基板 24を把持し、このガラス基板 24を受け取り部 88に搬入する。ガラス基板 24は、搬送機構 84を構成する搬送ローラ 86の回転作用下に、受け取り部 88から各加熱炉 90に、順次、タクト搬送される。

[0071] 矢印 C方向後段に配置されている加熱炉 90では、ガラス基板 24が所定の停止位置に正確に停止されるとともに、このガラス基板 24は、感光性ウェブ 22の感光性榭脂層 29の貼り付け部分に対応してゴムローラ 110a、 110b間にー且配置される（図 7 参照)。

[0072] この状態で、ローラクランプ部 114を介してバックアップローラ 112b及びゴムローラ 110bを上昇させることにより、ゴムローラ 110a、 110b間にガラス基板 24が所定のプレス圧力で挟み込まれる。さらに、ゴムローラ 110aの回転作用下に、このガラス基板 24には、感光性榭脂層 29が加熱溶融により転写 (ラミネート)される。

[0073] ここで、ラミネート条件としては、速度が 1. OmZmin〜10. Om/min,ゴムローラ 1 10a、 1101)の温度カ 0。〇〜140。〇、前記ゴムローラ 110a、 110bのゴム硬度が 40 度〜 90度、該ゴムローラ 110a、 110bのプレス圧（線圧）が 50NZcm〜400NZcm である。

[0074] 図 8に示すように、ゴムローラ 110a、 110bを介してガラス基板 24に感光性ウェブ 2 2の 1枚分のラミネートが終了すると、前記ゴムローラ 110aの回転が停止される。一方、ガラス基板 24に感光性ウェブ 22がラミネートされた貼り付け基板 24aは、基板搬送ローラ 118bによりクランプされる。そして、ゴムローラ 110bは、ゴムローラ 110aから離間する方向に退避してクランプが解除される。 [0075] これにより、一枚分のラミネート処理が終了し、次なるラミネート処理が開始されるまでの時間の中で、加熱機構 45を介して所定の温度に加熱されたガラス基板 24が、ゴムローラ 110a、 110b間に搬送されて配置されるとともに、前記ゴムローラ 110aに摺接する感光性ウェブ 22の微動送りが行われる。

[0076] 図 1に示すように、ガラス基板 24に感光性ウェブ 22が貼り付けられた貼り付け基板 24aは、矢印 C方向に定量搬送される。そして、各ガラス基板 24間の感光性ウェブ 2 2が、基板間ウェブ切断機構 48を介して切断された貼り付け基板 24aは、冷却機構 1 20を通って冷却された後、支持体剥離装置 122に移送される。

[0077] 支持体剥離装置 122では、貼り付け基板 24aのガラス基板 24側が吸着パッド 148 の吸引作用下に保持される一方、各チャック 142a、 142bは、ガラス基板 24の搬送方向両端から内方に突出するベースフィルム 26の矢印 D方向一端側に配置される（図 6参照)。

[0078] そこで、可動部材 132a、 132bは、モータ 130a、 130bの作用下に貼り付け基板 2 4a側に移動するとともに、各チャック 142a、 142bは、開閉してベースフィルム 26の搬送方向両端部を把持する。さらに、チャック 142a、 142bは、モータ 140a、 140b の作用下に旋回する一方、昇降台 136a、 136b及び可動部材 132a、 132bは、所定の方向に駆動制御される。

[0079] このため、図 5及び図 6に示すように、チャック 142a、 142bが所定の剥離軌跡に沿つて移動し、前記チャック 142a、 142bに把持されるベースフィルム 26は、クッション層 27から分離されて貼り付け基板 24aから剥離される。その際、倣いローラ 146は、可動部材 132a、 132bと一体的に矢印 D方向に所定の位置まで移動し、ベースフィルム 26を円滑且つ良好に剥離させる。貝占り付け基板 24aからベースフィルム 26が剥離されること〖こより、積層体基板 150が得られる。

[0080] この場合、第 1の実施形態では、チャック 142a、 142bによりベースフィルム 26を把持した後、このベースフィルム 26を貼り付け基板 24aから剥離する際の剥離速度が、図 9に示す速度パターンに沿って、以下のように制御される。

[0081] 先ず、ベースフィルム 26の剥離開始時には、チャック 142a、 142bは、時間 0から時間 T1までの間、 S字カーブ 180aの速度パターンに沿って移動される。次いで、剥離開始工程終了後に時間 Tlから時間 T2までの間、速度が連続して上昇する方向に変更される変化領域が設定され、この変化領域で、チャック 142a、 142bは、湾曲する速度パターン (以下、湾曲速度パターンという） 180bに沿って移動される。

[0082] さらに、時間 T2から時間 T3までの間、速度が連続して減少する方向に変更される変化領域が設定され、この変化領域で、チャック 142a、 142bは、湾曲速度パターン 180cに沿って移動制御される。なお、湾曲速度パターン 180cによる移動途上の時間 T3において、ベースフィルム 26全体が貼り付け基板 24aから剥離されている。また、時間 T4から時間 T5までの間、すなわち、剥離動作終了工程では、チャック 142a 、 142bは、 S字カーブ 180dの速度パターンに沿って移動されて停止される。

[0083] そこで、図 9に示す速度制御を行う場合 (第 1の実施形態）と、特開 2002— 23466 7号公報 (従来）による速度制御を行う場合とよる品質評価を行う実験を行ったところ、図 10に示す結果が得られた。

[0084] すなわち、第 1の実施形態では、ベースフィルム 26の剥離開始時に、剥離速度であるチャック 142a、 142bの移動速度が S字カーブ 180aに沿って制御されている。このため、ベースフィルム 26を貼り付け基板 24aから急激に剥がし始めることがなぐ感光性榭脂層 29に急激に力が付与されることはない。従って、感光性榭脂層 29は、特にハーフカット部位 34が設けられて、る端面部の脆!、箇所から凝集破壊が発生することを可及的に阻止することができる。

[0085] これに対して、従来方法では、ベースフィルム 26の剥がし始めに、急激な剥離速度パターンに設定されている。このため、感光性榭脂層 29は、ハーフカット部位 34が設けられている端面部カゝら凝集破壊が発生した。しカゝも、感光性榭脂層 29の破壊によつて塵埃が発生し、この塵埃が、例えば、貼り付け基板 24a上に付着した。

[0086] さらに、第 1の実施形態では、 S字カーブ 180aによる剥離開始工程の後、チャック 1 42a、 142bは、連続して変更される湾曲速度パターン 180b、 180cに沿って移動されることにより、ベースフィルム 26を貼り付け基板 24aから完全に剥離している。

[0087] 従って、ベースフィルム 26の剥離作業中に、剥離速度の急激な変化がなぐ前記ベースフィルム 26の剥離状態を一様に維持することができる。これにより、例えば、感光性榭脂層 29の表面にスジ等が発生することがなぐこの感光性榭脂層 29の表面を高品質に維持することが可能になる。

[0088] 一方、従来方法では、チャック 142a、 142bが屈曲部を有する直線状速度パターンに沿って移動されるため、ベースフィルム 26の剥離途上に、前記屈曲部に対応する急激な速度変化点（図 16中、変化点 Pl、 P2及び P3参照）が発生しており、感光性榭脂層 29の表面にスジが発生した。

[0089] また、第 1の実施形態では、貼り付け基板 24aは、基板保持機構 149を介して水平姿勢に保持されている。このため、比較的大型の、例えば、 1100mm X 1350mm ( 厚さ 0. 7mm)のガラス基板 24を用いる際に、前記ガラス基板 24を平面性を維持して正確且つ確実に保持することができる。

[0090] なお、第 1の実施形態では、チャック 142a、 142bによるベースフィルム 26の剥離速度について説明したが、前記ベースフィルム 26の剥離加速度又は剥離減速度を同様に設定することができる。

[0091] 図 11は、本発明の第 2の実施形態に係る外層体の剥離方法に適用される速度パターン (又は加速度パターン、あるいは、減速度パターン)の説明図である。

[0092] この第 2の実施形態では、ベースフィルム 26の剥離開始時には、時間 T1まで、 S 字カーブ 182aに沿ってチャック 142a、 142bを移動させた後、速度が連続して上昇する方向に変更される湾曲速度パターン 182bに沿って時間 T2まで移動される。

[0093] さらに、時間 T2から剥離動作終了時の時間 T3まで、チャック 142a、 142bは、速度が連続して下降する方向に変更される湾曲速度パターン 182cに沿って移動される。

[0094] また、図 12は、本発明の第 3の実施形態に係る外層体の剥剥離方法が適用される速度パターン (又は加速度パターン、あるいは、減速度パターン)の説明図である。

[0095] この第 3の実施形態では、ベースフィルム 26の剥離開始時に、 S字カーブ 184aの速度パターンに沿ってチャック 142a、 142bが移動された後、時間 T1から時間 T2までの間に設定された速度の変化領域で、チャック 142a、 142bは、湾曲速度パターン 184bに沿つて移動する。

[0096] 次いで、剥離速度は、時間 T2から T3までの間、定速度パターン 184cで一定の速度 V2に維持された後、時間 T3から時間 T4までの間に設定された速度の変化領域で、チャック 142a、 142bは、湾曲速度パターン 184dに沿って移動する。すなわち、時間 T2から時間 T4までの間、剥離速度は、湾曲部を有する直線状速度パターンに設定される。さらに、チャック 142a、 142bは、 S字カーブ 184eに沿って時間 T4から時間 T5まで移動して停止する。

[0097] このように、第 2及び第 3の実施形態では、ベースフィルム 26を S字カーブ 182a、 1 84aに沿って剥がし始めるとともに、このベースフィルム 26を全て剥離するまでの間に、速度 (又は加速度、あるいは、減速度）の急激な変化がない。これにより、感光性榭脂層 29の凝集破壊やゴミの発生、及び前記感光性榭脂層 29の表面のスジ等の不良が可及的に阻止され、上記の第 1の実施形態と同様の効果が得られる。

[0098] なお、第 3の実施形態では、ベースフィルム 26の剥離終了時に、 S字カーブ 184e を設定している力この S字カーブ 184eを用いることなぐ湾曲速度パターン 184dでチャック 142a、 142bの移動を停止させてもよい。

[0099] また、支持体剥離装置 122は、ベースフィルム 26を貼り付け基板 24aの貼り付け方向である搬送方向（矢印 C方向）に交差する矢印 D方向に剥離するように構成されているが、前記ベースフィルム 26の剥離方向を前記貼り付け基板 24aの搬送方向と平行する矢印 C方向に設定してもよ、。

[0100] 図 13は、本発明の第 4の実施形態に係る支持体剥離装置 190の概略斜視説明図である。なお、第 1の実施形態に係る支持体剥離装置 122と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。また、以下に説明する第 5の実施形態においても同様に、その詳細な説明は省略する。

[0101] 支持体剥離装置 190は、ベースフィルム 26を貼り付け基板 24aから剥離する際、前記ベースフィルム 26に対して、ガラス基板 24との貼り付け方向（矢印 C方向）に張力を付与する張力付与構造 192を備える。

[0102] 張力付与構造 192は、貼り付け基板 24aの搬送方向先端側から外部に突出するべ一スフイルム 26の先端部 26aを把持自在な可動チャック部材 194a、 196a, 198a及び 200aと、前記貼り付け基板 24aの搬送方向後方側に突出する前記ベースフィルム 26の後端部 26bを把持自在な可動チャック部材 194b、 196b, 198b及び 200bとを備える。

[0103] チャック部材 194a、 194bは、互いに矢印 C方向に対向しており、他のチャック部材 196a, 196b, 198a, 198b及び 200a、 200biま、それぞれ互ヽ【こ矢 |3C方向【こ対向して配置される。チャック部材 194a〜200a及び 194b〜200bは、それぞれ開閉自在で且つベースフィルム 26に対して進退可能に構成される。なお、第 4の実施形態では、倣いローラ 146は用いなくてもよい。

[0104] この第 4の実施形態では、貼り付け基板 24aがベース剥離位置に配置されると、張力付与構造 192を構成するチャック部材 194a〜200aは、ベースフィルム 26の先端部 26aを把持するとともに、チャック部材 194b〜200bは、前記ベースフィルム 26の後端部 26bを把持する。この状態で、チャック部材 194a〜200aとチャック部材 194b 〜200bとは、互いに離間する方向にトルク制御されることにより、ベースフィルム 26 には、矢印 C方向に所定の張力が付与される。

[0105] そこで、チャック 142a、 142bがベースフィルム 26の先端部 26a及び後端部 26bの端部を把持し、所定の剥離軌跡に沿って矢印 D1方向に移動する。その際、ベースフィルム 26には、矢印 C方向に所定の張力が付与されており、このベースフィルム 2 6をガラス基板 24から円滑且つ確実に剥離することができる。

[0106] 図 14は、本発明の第 5の実施形態に係る製造装置を構成する支持体剥離装置 21 0の概略斜視説明図である。

[0107] 支持体剥離機構 210は、ベースフィルム 26を貼り付け基板 24aから剥離する際に、前記ベースフィルム 26に対して、前記貼り付け基板 24aとの貼り付け方向に張力を付与する張力付与構造 212を備える。

[0108] 張力付与構造 212は、貼り付け基板 24aの搬送方向先端側に突出するベースフィルム 26の先端部 26aを把持可能な先端チャック 214と、前記貼り付け基板 24aの搬送方向後方に突出する前記ベースフィルム 26の後端部 26bを把持可能な後端チヤック 216とを備える。先端チャック 214及び後端チャック 216は、矢印 D方向に幅広に構成されており、それぞれベースフィルム 26の先端部 26a及び後端部 26bを略幅方向全面に渡って把持可能である。

[0109] 先端チャック 214は、モータ 140a、 140bに装着されており、先端チャック 214の移動方向は、チャック 142a、 142bの移動方向（矢印 D方向）に直交する矢印 C方向に設定される。なお、第 5の実施形態では、倣いローラ 146は用いている。 [0110] この第 5の実施形態では、貝占り付け基板 24aがベース剥離位置に搬送されると、この貼り付け基板 24aの先端側に突出するベースフィルム 26の先端部 26aは、先端チャック 214に把持される。一方、貝占り付け基板 24aの後端側に突出するベースフィルム 26の後端部 26bは、後端チャック 216に把持される。

[0111] 次いで、後端チャック 216、あるいは、前記後端チャック 216及び先端チャック 214 は、トルク制御されてこれらに挟持されるベースフィルム 26に矢印 C方向に沿って張力が付与される。この状態で、先端チャック 214が所定の剥離軌跡に沿って移動することにより、所定の張力が付与されているベースフィルム 26は、ガラス基板 24から円滑且つ確実に剥離される。

訂 ^れた紙 (規則 91)

Claims

請求の範囲

[1] 基板 (24)に貼り付けられた多層フィルムの外層体 (26)を、前記基板 (24)から剥離する外層体の剥離方法であって、

把持機構 (142a)により前記外層体 (26)を把持し、前記把持機構 (142a)を S字力ーブの速度パターン又は加速度パターンに沿って移動させる剥離開始工程と、前記剥離開始工程の後、前記外層体 (26)全体を前記基板 (24)から剥離するまでの間に、速度、加速度又は減速度が変化する変化領域を設定し、前記変化領域で、前記把持機構を湾曲する速度パターン、加速度パターン又は減速度パターンに沿つて移動させる剥離工程と、

を有することを特徴とする外層体の剥離方法。

[2] 請求項 1記載の剥離方法において、前記剥離開始工程の後、前記外層体 (26)全体を前記基板 (24)から剥離するまでの間に、前記把持機構（142a)の速度、加速度又は減速度が連続して変更されることを特徴とする外層体の剥離方法。

[3] 請求項 1又は 2記載の剥離方法にお、て、前記基板 (24)は、水平姿勢に保持された状態で、前記外層体 (26)が前記基板 (24)から剥離されることを特徴とする外層体の剥離方法。

[4] 請求項 1記載の剥離方法にぉ、て、前記外層体（26)に対して、前記基板 (24)との貼り付け方向に張力を付与した状態で、前記外層体 (26)を前記貼り付け方向に交差する方向に剥離することを特徴とする外層体の剥離方法。

[5] 請求項 1記載の剥離方法にぉ、て、前記外層体（26)に対して、前記基板 (24)との貼り付け方向に張力を付与した状態で、前記外層体 (26)を前記貼り付け方向に剥離することを特徴とする外層体の剥離方法。

[6] 請求項 1記載の剥離方法において、前記多層フィルムは、少なくとも前記基板に貼り付けられる感光性榭脂層（29)及び前記外層体（26)であるベースフィルム（26)を有し、

前記基板 (24)カゝら前記ベースフィルム（26)を剥離することを特徴とする外層体の剥離方法。

[7] 基板 (24)に貼り付けられた多層フィルムの外層体 (26)を、前記基板 (24)力も剥離する外層体の剥離装置であって、

前記基板 (24)を水平姿勢に保持する基板保持機構 (149)と、

前記外層体 (26)を把持し、前記外層体 (26)を前記基板 (24)から剥離する把持機構 (142a)と、

剥離開始時に、前記把持機構（142a)を S字カーブの速度パターン又は加速度パターンに沿って移動させる一方、前記剥離開始工程の後、前記外層体 (26)全体を前記基板 (24)力剥離するまでの間に、速度、加速度又は減速度が変化する変化領域を設定し、前記変化領域で、前記把持機構 (142a)を湾曲する速度パターン、加速度パターン又は減速度パターンに沿って移動させる移動制御機構（166)と、を備えることを特徴とする外層体の剥離装置。

[8] 請求項 7記載の剥離装置において、前記外層体 (26)に対して、前記外層体 (26) の剥離方向に交差する前記基板 (24)との貼り付け方向に張力を付与する張力付与構造 (192)を備え、

前記張力付与構造（192)は、前記基板 (24)の搬送方向先端側及び搬送方向後端側から外方に突出する前記外層体 (26)の先端部及び後端部を把持するそれぞれ複数の可動チャック部材（194a、 194b)を備えることを特徴とする外層体の剥離装置。

[9] 請求項 7記載の剥離装置において、前記外層体 (26)に対して、前記外層体 (26) の剥離方向である前記基板 (24)との貼り付け方向に張力を付与する張力付与構造 (212)を備え、

前記張力付与構造 (212)は、前記基板 (24)の搬送方向先端側及び搬送方向後端側から外方に突出する前記外層体 (26)の先端部及び後端部を把持する先端チャック（214)及び後端チャック（216)を備えることを特徴とする外層体の剥離装置。

[10] 請求項 7記載の剥離装置にぉ、て、前記多層フィルムは、少なくとも前記基板に貼り付けられる感光性榭脂層（29)及び前記外層体（26)であるベースフィルムを有し、前記基板 (24)カゝら前記ベースフィルム（26)を剥離することを特徴とする外層体の剥離装置。