JP2001153888A - プローブカード及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 仮想的な境界線の交差部の周りの複数の
チップを同時に検査することができるにも関わらず、接
触部がチップの電極に確実に接触する構造とすること。 【解決手段】 プローブカードはプローブシート組立体
を含む。プローブシート組立体は、取付部材と弾性体と
を組み付けて取付部材側を底辺とするほぼ三角形の断面
形状を有する長尺の複数の取付ブロックを形成し、複数
の接触部が１列以上に形成された少なくとも１つの領域
をそれぞれ有するシート状体を各取付ブロックに接触部
が前記弾性体の頂部付近の位置にあってその頂部の方向
に配列する状態に配置し、取付ブロックの取付部材接続
基板の一方の面に配置された格子状のフレームの長方形
の少なくとも１つの辺に該辺の長手方向へ伸びる状態に
配置している。各シート状体は、少なくとも取付ブロッ
クの少なくとも一つの斜面に装着されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数の接続部をそ
れぞれ有する複数のプローブシートを用いたプローブカ
ード及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエーハには、一般に、複数の半
導体デバイスすなわちＩＣチップ（本発明においては、
単に「チップ」という。）がマトリクス状に形成され
る。各チップは、長方形の形状を有しており、また複数
の電極パッドすなわち電極を少なくとも一列に有する。
マトリクスの各行及び各列を形成するチップは、直線状
に整列されている。

【０００３】この種のチップは、回路が仕様書通りに動
作するか否かの通電試験をされる。そのような通電試験
は、ウエーハから切り離す前の状態において行われるこ
とが多く、また針先を電極に押圧される複数のプローブ
を備えたプローブカードを用いて行われる。この種の通
電試験において、チップを１つずつ検査するのでは、１
つのウエーハ上の全チップを検査するのに長時間を要す
る。

【０００４】１つのウエーハ上のチップを複数ずつ検査
するプローブカードは、種々提案されている。この種の
プローブカードを用いる場合、１つのウエーハ上のチッ
プを、１つおき又は２つおきの複数のチップ、若しく
は、行又は列の方向に一列に連続する複数のチップから
なる複数のグループに分けて、グループ毎に同時に検査
し、これにより１つのウエーハについての検査回数を減
じ、全チップの検査に要する時間を短縮している。

【０００５】しかし、従来のプローブカードは、同時に
検査可能のグループが１つおき又は複数おきのチップ若
しくは一列に連続するチップであるから、十字状に交差
する仮想的境界線を介して隣り合う４つのチップ（すな
わち、境界線の交差部の周りに位置する４つのチップ）
を同時に検査することができない。

【０００６】本発明者らは、シート状部材に形成された
複数の配線の一部をプローブ要素としたフィルム状プロ
ーブユニット（プローブシート）を用いて、十字状に交
差する仮想的境界線を介して隣り合う４つのチップを同
時に検査可能にしたフィルムタイプのプローブカードを
発明した。

【０００７】このフィルムタイプのプローブカードは、
半導体ウエーハ上のチップに対応する四角形の複数のプ
ローブ領域（配線領域）をマトリクス状に有しており、
またチップの電極に対応する複数の突起電極を各プロー
ブ領域に形成している。各突起電極は、チップの電極に
相対的に押圧される接触部として作用する。

【０００８】

【解決しようとする課題】しかし、上記のフィルムタイ
プのプローブカードは、複数のプローブ領域を同じプロ
ーブシートにマトリクス状に形成しているから、各プロ
ーブ領域の接触部が対応するチップの電極の位置に正確
に合うように、接触部を基板又はフレームに対して位置
決めることが非常に難しい。また、たとえ接触部を対応
するチップの電極の位置に合わせて精密に作成すること
ができたとしても、チップに対する接触部の高さ位置を
同じにすることが難しい。

【０００９】上記のようなプローブカードでは、対応す
る電極に接触していない接触部が存在することになり、
正確な検査をされないチップが生じるおそれがある。ま
た、温度変化に起因する熱伸縮が生じると、多くの接触
部の位置がチップの電極に対しずれて対応する電極に接
触しなくなる。

【００１０】それゆえに、プローブシートを用いたプロ
ーブカードにおいては、仮想的な境界線の交差部の周り
の複数のチップを同時に検査することができるにも関わ
らず、接触部がチップの電極に確実に接触する構造とす
ることが重要である。

【００１１】

【解決手段、作用及び効果】本発明に係るプローブカー
ドはプローブシート組立体を含む。プローブシート組立
体は、接続基板と、該接続基板の一方の面に配置された
格子状のフレームであって長方形をした複数の開口をマ
トリクス状に有するフレームと、該フレームの前記接続
基板と反対側にあって長方形の少なくとも１つの辺に該
辺の長手方向へ伸びる状態に配置された複数の取付部材
と、該取付部材の前記接続基板と反対の側にあって各取
付部材にこれの長手方向へ伸びる状態に配置された弾性
体と、複数の接触部が１列以上に形成された少なくとも
１つの領域をそれぞれ有しかつ複数のプローブ領域を互
いに共同してマトリクス状に形成する複数のシート状体
とを含む。

【００１２】前記取付部材及び前記弾性体は、前記フレ
ームの側を底辺とするほぼ三角形の断面形状を有する取
付ブロックを共同して形成している。各シート状体は、
前記複数の接触部が前記弾性体の頂部付近の位置にあっ
てその頂部の方向に配列する状態に、少なくとも前記取
付ブロックの少なくとも一つの斜面に装着されている。

【００１３】上記のプローブカードにおいて、各プロー
ブ領域は半導体ウエーハ上のチップと同様にマトリクス
状に配置されており、各接触部は対応するチップの電極
に押圧される。このため、仮想的な境界線の交差部の周
りの複数のチップを同時に検査することができる。

【００１４】上記のプローブカードにおいては、シート
状体を取付ブロックに１つずつ装着することができるか
ら、シート状体を取付ブロックに容易にかつ正確に装着
することができる。また、シート状体を装着した取付ブ
ロックを１つずつフレームに装着することができるか
ら、取付ブロックをフレームに容易にかつ正確に配置す
ることができる。これらの結果、チップの電極位置に一
致する多数の接触部を備えるプローブカードを容易に得
ることができる。

【００１５】上記のように本発明によれば、仮想的な境
界線の交差部の周りの複数のチップを同時に検査できる
にも関わらず、シート状体の接触部がチップの電極に確
実に接触する。

【００１６】各シート状体は、前記取付ブロックをその
一方の斜面から前記頂部及び他方の斜面を経て前記フレ
ームの開口内に伸びており、また前記開口内において前
記接続基板に装着されていてもよい。そのようにすれ
ば、長方形の内側に位置するシート状体の部位がチップ
と接触することを防止することができる。

【００１７】好ましい実施例においては、前記取付ブロ
ックはマトリクスの行又は列に対応する箇所にその行又
は列の方向へ伸びる状態に配置されている。

【００１８】前記プローブシート組立体は、さらに、前
記接続基板の他方の面に組み付けられた補強板を含み、
前記フレーム及び前記補強板は、熱膨張係数が前記接続
基板のそれより小さい材料から形成されていてもよい。
そのようにすれば、接続基板の熱伸縮に起因するシート
状体の伸縮が補強板及びフレームにより抑制され、しか
もシート状体自体の熱伸縮が小さくなり、その結果シー
ト状体の伸縮、特に接触部の配列方向への伸縮が小さく
なる。

【００１９】前記補強板は、それの外側に開口する複数
の切欠部を有することができる。そのようにすれば、そ
の切欠部を接触部に電気的に接続された接続手段を外部
に引き出す箇所として利用することができる。

【００２０】好ましい実施例においては、前記シート状
体は各接触部から前記長方形の内側へ伸びる配線を有し
ており、前記接続基板は前記シート状体の配線部に個々
に電気的に接続された複数の導電部を有する。

【００２１】プローブカードは、さらに、前記プローブ
シート組立体が一方の面に配置された配線基板であって
テスターに電気的に接続される複数のテスターランドを
有する配線基板と、前記シート状体の配線部を前記テス
ターランドに電気的に接続する１以上の接続手段とを含
むことができる。

【００２２】本発明に係るプローブカードの製造方法
は、以下の工程を含む。

【００２３】複数の接触部が１列以上に形成された少な
くとも１つの領域を有しかつ複数のプローブ領域を互い
に共同してマトリクス状に形成する複数のシート状体
と、取付部材及び弾性体を重ねて取付部材の側を底辺と
するほぼ三角形の断面形状を有する複数の取付ブロック
と、長方形の複数の開口をマトリクス状に有する格子状
のフレームを接続基板に結合させた結合体と、Ｖ字状溝
を有する折り曲げ治具とを用意する。

【００２４】各シート状体を前記複数の接触部が前記Ｖ
字状溝の底に対応する箇所に位置するように前記折り曲
げ治具に配置すると共に、前記取付ブロックの弾性体の
頂部を前記シート状体の接触部と反対側の箇所に当接さ
せ、前記取付ブロックと前記折り曲げ治具とを相対的に
移動させることにより前記シート状体の接触部の近傍の
領域を前記Ｖ字状溝内に変形させると共に前記シート状
体を前記取付ブロックの少なくとも一方の斜面に装着す
る。

【００２５】前記シート状体が長方形の辺から長方形の
内側へ伸びる状態に前記取付ブロックを前記フレームの
辺に該辺の長手方向へ伸びる状態に配置する。

【００２６】このような製造方法によれば、上記したプ
ローブカードと同様の効果を奏する。

【００２７】プローブカードの製造方法は、さらに、前
記取付ブロックに装着された前記シート状体の余分な領
域を切除することを含むことができる。そのようにすれ
ば、シート状体の端部を把持してシート状体を取付ブロ
ックに対し移動させることにより、シート状体を取付ブ
ロックに対して位置決めることができるから、シート状
体を取付ブロックにより容易に及びより正確に装着する
ことができる。

【００２８】

【発明の実施の形態】図１から図５を参照するに、プロ
ーブカード１０は、図７に示すように半導体ウエーハ１
２上にマトリクス状に形成された複数の半導体デバイス
（すなわち、チップ）１４の通電試験に用いられる。各
チップ１４は、十字状に交差する複数の仮想的境界線１
６により長方形の形状に仕切られている。以下の説明で
は、全てのチップ１４が、長方形の形状を有すると共
に、複数のパッド電極１８を長方形内に一列に有するも
のとする。

【００２９】プローブカード１０は、プローブシート組
立体２０と、この組立体２０が下側に組み付けられた円
板状の配線基板２２と、組立体２０を配線基板２２に組
み付けている逆Ｌ字状の複数のホルダ２４と、複数のフ
ィルム状基板２６とを含む。

【００３０】プローブシート組立体２０は、チップ１４
に個々に対応された複数のシート状体２８のそれぞれを
格子状フレーム３０の一方の面側に台形の断面形状をし
た棒状の取付部材３２及びほぼ三角形の断面形状をした
棒状の弾性体３４を介して配置し、フレーム３０の他方
の面側を接続基板３６の一方の面に配置し、接続基板３
６の他方の面を補強板３８の一方の面に組み付けてい
る。

【００３１】各シート状体２８は、複数の配線４０をポ
リイミドのような電気絶縁性樹脂製のフィルム状部材
（シート状部材）４２に形成していると共に、突起電極
４４を各配線４０の一端部に形成している。シート状体
２８は、図６において点線４６より左方の領域のよう
に、チップ１４に対応した長方形の形状をしている。

【００３２】突起電極４４は、この実施例においては、
チップ１４の電極１８に相対的に押圧されて、その電極
１８に接触する接触部として作用する。このため、各シ
ート状体２８の突起電極４４は、チップ１４に応じて長
方形の一端側の領域に一列に配置されている。しかし、
チップ１４が複数の電極をジグザグのように複数列に配
置している場合は、各シート状体２８の突起電極４４も
複数列に配置される。

【００３３】シート状体２８の各配線４０は、対応する
突起電極４４から長方形の他端側の領域へ伸びており、
また長方形の他端側の端部において導電性部材４８に電
気的に接続されている。各導電性部材４８は、シート状
部材４２を又は配線４０とシート状部材４２とを厚さ方
向に貫通する導電性のスルーホールとすることができ
る。

【００３４】図示の実施例では、シート状体２８は、長
方形のプローブ領域（配線領域）５０をプローブカード
１０にマトリクス状に形成している。各プローブ領域５
０は、チップ１４の境界線１６に対応する仮想的境界線
により区画される。プローブ領域５０は、対応するチッ
プと同じ長方形の形状を有する。

【００３５】各突起電極４４と、その突起電極が形成さ
れた配線４０の端部とは、それらの近傍のフィルム状部
材４２の部分と共同して、チップ１４の電極１８に対応
されたプローブ要素を形成している。各プローブ要素
は、図示の例ではフィルム状部材４２により一体的に連
続するが、各プローブ要素を配線４０の端部付近のフィ
ルム状部材４２に形成されたＵ字状の切り込みにより隣
のプローブ要素から独立させてもよい。

【００３６】シート状体２８は、例えば、先ず電気絶縁
性及び弾性を有するフィルム状部材４２に配線４０を形
成し、次いで各配線４０とフィルム状部材４２とに導電
性部材４８用の貫通穴とを形成し、次いで各配線４０に
突起電極４４を形成し、次いで各貫通穴に導電性部材４
８を形成することにより、製作することができる。

【００３７】配線４０は印刷配線技術のような公知な技
術により形成することができ、突起電極４４は電鋳法の
ような公知な技術により形成することができる。突起電
極４４の素材は、ニッケルのように、検査すべきチップ
１４の電極材料より硬質の金属材料とすることができ
る。

【００３８】取付部材３２と弾性体３４との各対は、互
いに重ねられた状態に接着や圧着のような適宜な手段に
より結合されて取付ブロック５２を形成しており、また
取付部材３２の側が底辺となるほぼ三角形の断面形状を
両者で共同して形成している。取付ブロック５２の頂部
（三角形の頂部、すなわち弾性体３４の頂部）の断面形
状は、弧状とされている。弾性体３４は、シリコーンゴ
ムのような弾性材料により製作されている。

【００３９】フレーム３０は、プローブ領域５０に個々
に対応された長方形の複数の開口５４をマトリクス状に
有する格子状に形成されており、また接着材、ねじ部材
等により接続基板３６の下面に組み付けられている。フ
レーム３０の開口５４は、フレーム３０が接続基板３６
に組み付けられた状態において、下方に開放する凹所と
して作用する。

【００４０】接続基板３６は、ポリイミドやセラミック
のような電気絶縁材料により全てのプローブ領域５０に
より形成される大きさの和よりやや大きく形成されてい
る。接続基板３６は、シート状体２８の導電性部材４８
に一対一の形に接続された複数の導電性部材５６を各プ
ローブ領域５０に対応する箇所に有する。

【００４１】各導電性部材５６は、接続基板３６を厚さ
方向に貫通しており、またプローブ要素に個々に対応さ
れて信号用ラインとして用いられる。各導電性部材５６
は、導電性を有するバイアとすることができる。

【００４２】各シート状体２８は、取付ブロック５２を
その一方の斜面から頂部及び他方の斜面を経て伸びて、
取付ブロック５２の少なくとも一つの斜面に装着されて
いる。各シート状体２８の突起電極４４は、弾性体３４
の頂部付近の位置にあってその頂部の方向に配列されて
いる。

【００４３】各取付ブロック５２は、マトリクスの行
（又は列）に対応する箇所にその行（又は列）の方向へ
伸びる状態に、取付部材３２において接着のような適宜
な手段より装着されている。これにより、マトリクスの
同じ行（又は列）に配置されたシート状体２８及びそれ
らの突起電極４４はほぼ一列に整列される。

【００４４】補強板３８は、長方形の形状を有してお
り、また外側に開口する複数の切欠部５８を有する。フ
レーム３０と補強板３８とは、複数のねじ部材のような
適宜な手段により相互に結合されている。

【００４５】各シート状体２８は、接続部４４の側から
フレーム３０の開口５４内に伸びており、また開口５４
内において導電性部材４８を接続基板３６の導電性部材
５６に半田のような適宜な手段により電気的に接続され
ている。このため、開口５４内の各シート状体２８の部
位はフレーム３０の開口５４内に押し込まれている。

【００４６】プローブシート組立体２０の状態におい
て、シート状体２８の各配線４０が対応する突起電極４
４からフレーム３０の対応する開口５４内へ伸びている
から、隣り合うシート状体２８の配線４０が影響し合う
おそれはない。

【００４７】配線基板２２は、配線基板２２を厚さ方向
に貫通する長方形の開口５２を中央に有し、複数のテス
ターランド６０を外周部上面に有し、テスターランド６
０に個々に接続された図示しない複数の配線（配線パタ
ーン）をテスターランド６０の内側の領域に有する。配
線基板２２は、電気絶縁材料を用いて公知の印刷配線技
術により製作することができる。

【００４８】各フィルム状基板２６は、複数の配線（図
示せず）をポリイミドのような電気絶縁性フィルムの一
方の面に有しており、また補強板３８の切欠部５８から
プローブシート組立体２０の外に引き出されている。フ
ィルム状基板２６の各配線（図示せず）は、その一端に
おいて接続基板３６の導電性部材５６に一対一の形に電
気的に接続されており、また他端において配線基板２２
の配線（図示せず）に一対一の形に電気的に接続されて
いる。

【００４９】プローブカード１０及びプローブシート組
立体２０は、例えば、図８及び図９に示すような手法に
より組み立てることができる。以下、図８及び図９を参
照して、プローブカード１０及びプローブシート組立体
２０の組立方法の一実施例を説明する。

【００５０】先ず、配線基板２２と、複数のホルダ２４
と、複数のフィルム状基板２６と、複数のシート状体２
８と、フレーム３０と、取付部材３２及弾性体３４を結
合させた取付ブロック５２と、接続基板３６と、補強板
３８と、折り曲げ治具６２とが準備される（工程１）。

【００５１】フレーム３０、接続基板３６及び補強板３
８は、適宜な時期に、接続基板３６がその一方の面にお
いて補強板３８の一方の面に装着され、フレーム３０が
接続基板３６の他方の面に装着された結合体に組み付け
られる。また、図６に示すように、各シート状体２８
は、点線４６より右方の余剰領域６４を突起電極４４と
反対側に有しており、また折り曲げ治具６２はＶ字状溝
６６を有する。

【００５２】次いで、図８に示すように、折り曲げ治具
６２をそのＶ字状溝６６が上方に開口した状態に台６８
の上に配置し、シート状体２８の突起電極（接触部）を
折り曲げ治具６２のＶ字状溝６６の底に対応する箇所に
位置するようにシート状体２８が折り曲げ治具６２に載
せると共に取付ブロック５２の弾性体３４の頂部がシー
ト状体２８の突起電極と反対側の箇所に当接させ、さら
に取付ブロック５２と折り曲げ治具６２とを相対的に移
動させてシート状体２８のの近傍の領域をＶ字状溝６６
内に変形させると共にシート状体２８を取付ブロック５
２の両斜面に接着のような適宜な手法により装着する
（工程２）。

【００５３】上記工程２は、シート状体２８毎に行われ
る。これにより、図１０に示すように、シート状体２８
を取付ブロック５２に装着したプローブブロック７０が
形成される。接着剤は予め取付ブロック５２の両斜面に
塗布しておいてもよい。

【００５４】取付ブロック５２に対するシート状体２８
の位置決めは、例えば、取付ブロック５２をＶ字状溝６
６の中央で分割した２つの部材とし、チップの各電極に
対応するマークを付した台６８を用い、取付ブロック５
２の２つの部材をそれらマークを間にして間隔をおいて
台６８の上に載せると共に、シート状体２８をその突起
電極がマークと一致するように台６８及び取付ブロック
５２に載せ、その状態で取付ブロック５２と折り曲げ治
具６２とを相対的に移動させることにより、行うことが
できる。

【００５５】次いで、図９に示すように、プローブブロ
ック７０が取付部材３２においてフレーム３０、接続基
板３６及び補強板３８の結合体に組み付けられる（工程
３）。

【００５６】次いで、シート状体２８がフレーム３０の
開口５４の奥部に押し込まれ、接続基板３６に沿って曲
げられて、シート状体２８の配線が接続基板３６の導電
性部材に電気的に接続される（工程４）。これにより、
プローブシート組立体２０が形成される。

【００５７】プローブシート組立体２０において、シー
ト状部材２８の導電性部材４８は接続基板３６の導電性
部材５６に電気的に接続され、また下方に開口する空間
がプローブシート組立体２０の下部にプローブ領域５０
毎に形成される。

【００５８】接続基板３６とシート状体２８とは、例え
ば、スルーホールを形成している導電性部材４８に半田
を付着させ、その半田を導電性部材５６に接着すること
により相互に固定することができる。これにより、各シ
ート状体２８は、突起電極が形成された領域と反対側の
箇所において、フレーム３０の開口５４内に押し込まれ
た状態に維持される。

【００５９】しかし、接続基板３６とシート状体２８と
は、厚さ方向にのみ導電性を有する異方導電性シートを
両者の間に配置し、両者を加熱圧着することにより、固
定してもよい。いずれの場合も、導電性部材４８と導電
性部材５６とは電気的に確実に接続される。

【００６０】次いで、図６におけるシート状体２８の余
剰領域６４が点線４６から切断されて除去される（工程
５）。この作業は、シート状体２８毎に行われる。シー
ト状体２８の余剰領域６４は、工程３又は４の前に行っ
てもよい。

【００６１】次いで、フィルム状基板２６の配線が接続
基板３６の対応する導電性部材５６に電気的に接続させ
た状態に、接続基板３６に装着される（工程６）。接続
基板３６と各フィルム状基板２６とは、導電性部材５６
とフィルム状基板２６の配線とを半田付けすることによ
り、相互に組み付けることができる。

【００６２】しかし、接続基板３６及び各フィルム状基
板２６も、厚さ方向にのみ導電性を有する異方導電性シ
ートを両者の間に配置し、両者を加熱圧着することによ
り、固定してもよい。いずれの場合も、導電性部材５６
と配線５４とは電気的に確実に接続される。

【００６３】次いで、各ホルダ２４が補強板３８に取り
付けられ、各ホルダ２４が配線基板２２に取り付けら
れ、各フィルム状基板２６が、その配線を配線基板２２
の対応する配線に電気的に接続させた状態に、配線基板
２２に装着される（工程７）。

【００６４】配線基板２２と各フィルム状基板２６と
は、フィルム状基板２６の配線と配線基板２２の配線と
を半田付けすることにより、相互に組み付けることがで
きる。しかし、配線基板２２及びフィルム状基板２６
も、厚さ方向にのみ導電性を有する異方導電性シートを
両者の間に配置し、両者を加熱圧着することにより、固
定してもよい。いずれの場合も、フィルム状基板２６の
配線と配線基板２２の配線とは電気的に確実に接続され
る。

【００６５】上記のプローブカード１０においては、シ
ート状体２８を取付ブロック５２に１つずつ装着するこ
とができるから、シート状体２８を取付ブロック５２に
容易にかつ正確に装着することができる。また、プロー
ブブロック７０を１つずつフレーム３０に装着すること
ができるから、取付ブロック５２をフレーム３０に容易
にかつ正確に配置することができる。これらの結果、チ
ップの電極位置に一致する多数の接触部を備えるプロー
ブカードを容易に得ることができる。

【００６６】検査時、プローブカード１０と半導体ウエ
ーハ１２とが相対的に移動されて、シート状体２８の各
突起電極４４がチップ１４の電極１８に押圧される。プ
ローブカード１０においては、各突起電極４４がプロー
ブ領域の他の領域より下方へ突出しているから、チップ
の検査時に各突起電極４４はチップの電極に確実に接触
する。

【００６７】突起電極４４がチップ１４の電極１８に押
圧されると、プローブ要素は、オーバードライブによ
り、シート状体２８の各プローブ要素は、弾性体３４を
弾性変形させつつ、わずかに湾曲する。これにより、突
起電極４４はチップの電極に確実に接触する。

【００６８】プローブ領域が電極１８に押圧された状態
で湾曲するとき、突起電極４４はチップの電極に対して
滑る。これにより、突起電極４４は、電極４４の表面を
擦り、その電極表面の酸化膜を削り取る。このため、突
起電極４４はチップの電極にさらにより確実に接触す
る。

【００６９】プローブカード１０に温度変化が生じる
と、それに起因してシート状体２８毎に伸縮する。しか
し、そのような伸縮は隣のシート状体２８に伝達されな
いから、突起電極４４は電極４４に対し正しい位置に維
持される。

【００７０】プローブカード１０においては、シート状
体２８が半導体ウエーハ上のチップと同様にマトリクス
状に配置されているから、仮想的な境界線１６の交差部
の周りの複数のチップ１４を同時に検査することができ
る。また、開口５４内の各シート状体２８の部位は、こ
れがフレーム３０の開口５４内に押し込まれているか
ら、チップ１４に接触するおそれがない。

【００７１】上記のようにプローブカード１０によれ
ば、仮想的な境界線１６の交差部の周りの複数のチップ
１４を同時に検査できるにも関わらず、シート状体２８
の突起電極４４がチップ１４の電極１８に確実に接触す
る。

【００７２】フレーム３０及び補強板３８を、熱膨係数
が接続基板３６のそれより小さい材料から形成すること
が好ましいい。そのようにすれば、接続基板３６の熱伸
縮に起因するシート状体２８の伸縮が補強板３８及びフ
レーム３０により抑制され、しかもシート状体２８自体
の熱伸縮が小さくなり、その結果シート状体２８の伸
縮、特に突起電極４４の配列方向への伸縮が小さくな
る。また、接続基板３６を複数の部材に分割して、各部
材の熱伸縮が隣の部材に伝達することを防止してもよ
い。

【００７３】上記実施例は、複数の電極を一列に有する
にすぎないチップ用のプローブカードに関するが、本発
明はそのようなチップ用のプローブカードのみならず、
複数の電極を長方形の対向する一対の辺のそれぞれに有
するチップ、長方形の各辺に複数の電極を有するチップ
等、他のチップ用のプローブカードにも適用することが
できる。

【００７４】図示の例では、比較的少ない数のシート状
体及びプローブ要素を示しているが、これは理解を容易
にするためであり、したがって実際には、一度に検査す
べきチップ数に応じた数のシート状体を有すると共に、
チップに設けられた電極の数に応じた数のプローブ要素
を備えている。

【００７５】本発明は、上記実施例に限定されない。本
発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るプローブカードの一実施例を示す
底面図

【図２】図１に示すプローブカードの一部の正面図

【図３】図１における３−３線に沿って得た断面図

【図４】図１に示すプローブカードの一部の拡大断面図

【図５】プローブシート組立体の一部を分解して示す斜
視図

【図６】シート状体の一実施例を示す平面図

【図７】図１に示すプローブカードを用いて検査するチ
ップの配置状体の一実施例を示す図

【図８】図１に示すプローブカードの製造工程を説明す
るための図

【図９】図８に続く製造工程を説明するための図

【図１０】組み立てられたプローブブロックの一実施例
示す斜視図

【符号の説明】

１０ プローブカード １２ 半導体ウエーハ １４ チップ １６ 仮想的な境界線 １８ チップの電極 ２０ プローブシート組立体 ２２ 配線基板 ２４ ホルダ ２６ フィルム状基板 ２８ シート状体 ３０ フレーム ３２ 取付部材 ３４ 弾性体 ３６ 接続基板 ３８ 補強板 ４０ シート状体の配線 ４４ 突起電極 ４８ シート状体の導電性部材 ５０ プローブ領域 ５２ 取付ブロック ５４ フレームの開口 ５６ 接続基板の導電性部材 ５８ 切欠部 ６２ 折り曲げ治具 ６４ シート状体の余剰領域 ６６ Ｖ字状溝 ７０ プローブブロック

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山口 憲栄 東京都武蔵野市吉祥寺本町２丁目６番８号 株式会社日本マイクロニクス内 (72)発明者 赤平 明久 東京都武蔵野市吉祥寺本町２丁目６番８号 株式会社日本マイクロニクス内 Ｆターム(参考） 2G011 AA03 AB00 AB06 AC14 AD01 AE03 AF07 4M106 AA01 AA02 BA01 DD03 DD09 DD10 DD16

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プローブシート組立体を含み、該プロー
   ブシート組立体は、接続基板と、該接続基板の一方の面
   に配置された格子状のフレームであって長方形をした複
   数の開口をマトリクス状に有するフレームと、該フレー
   ムの前記接続基板と反対側にあって長方形の少なくとも
   １つの辺に該辺の長手方向へ伸びる状態に配置された複
   数の取付部材と、該取付部材の前記接続基板と反対の側
   にあって各取付部材にこれの長手方向へ伸びる状態に配
   置された弾性体と、複数の接触部が１列以上に形成され
   た少なくとも１つの領域をそれぞれ有しかつ複数のプロ
   ーブ領域を互いに共同してマトリクス状に形成する複数
   のシート状体とを含み、 前記取付部材及び前記弾性体は、前記フレームの側を底
   辺とするほぼ三角形の断面形状を有する取付ブロックを
   共同して形成しており、 各シート状体は、前記複数の接触部が前記弾性体の頂部
   付近の位置にあってその頂部の方向に配列する状態に、
   少なくとも前記取付ブロックの少なくとも一つの斜面に
   装着されている、プローブカード。
2. 【請求項２】 各シート状体は、前記取付ブロックをそ
   の一方の斜面から前記頂部及び他方の斜面を経て前記フ
   レームの開口内に伸びており、また前記開口内において
   前記接続基板に装着されている、請求項１に記載のプロ
   ーブカード。
3. 【請求項３】 前記取付ブロックはマトリクスの行又は
   列に対応する箇所にその行又は列の方向へ伸びる状態に
   配置されている、請求項１又は２に記載のプローブカー
   ド。
4. 【請求項４】 前記プローブシート組立体は、さらに、
   前記接続基板の他方の面に組み付けられた補強板を含
   み、前記フレーム及び前記補強板は、熱膨張係数が前記
   接続基板のそれより小さい材料から形成されている、請
   求項１，２又は３に記載のプローブカード。
5. 【請求項５】 前記補強板は、それの外側に開口する複
   数の切欠部を有する、請求項４に記載のプローブカー
   ド。
6. 【請求項６】 前記シート状体は各接触部から前記長方
   形の内側へ伸びる配線を有しており、前記接続基板は前
   記シート状体の配線に個々に電気的に接続された複数の
   導電部を有する、請求項１から５のいずれか１項に記載
   のプローブカード。
7. 【請求項７】 さらに、前記プローブシート組立体が一
   方の面に配置された配線基板であってテスターに電気的
   に接続される複数のテスターランドを有する配線基板
   と、前記シート状体の配線部を前記テスターランドに電
   気的に接続する１以上の接続手段とを含む、請求項１か
   ら６のいずれか１項に記載のプローブカード。
8. 【請求項８】 複数の接触部が１列以上に形成された少
   なくとも１つの領域を有しかつ複数のプローブ領域を互
   いに共同してマトリクス状に形成する複数のシート状体
   と、取付部材及び弾性体を重ねて取付部材の側を底辺と
   するほぼ三角形の断面形状を有する複数の取付ブロック
   と、長方形の複数の開口をマトリクス状に有する格子状
   のフレームを接続基板に結合させた結合体と、Ｖ字状溝
   を有する折り曲げ治具とを用意し、 各シート状体を前記複数の接触部が前記Ｖ字状溝の底に
   対応する箇所に位置するように前記折り曲げ治具に配置
   すると共に、前記取付ブロックの弾性体の頂部を前記シ
   ート状体の接触部と反対側の箇所に当接させ、前記取付
   ブロックと前記折り曲げ治具とを相対的に移動させるこ
   とにより前記シート状体の接触部の近傍の領域を前記Ｖ
   字状溝内に変形させると共に前記シート状体を前記取付
   ブロックの少なくとも一方の斜面に装着し、 前記シート状体が長方形の辺から長方形の内側へ伸びる
   状態に前記取付ブロックを前記フレームの辺に該辺の長
   手方向へ伸びる状態に配置することを含む、プローブカ
   ードの製造方法。
9. 【請求項９】 さらに、前記取付ブロックに装着された
   前記シート状体の余分な領域を切除することを含む、請
   求項８に記載の製造方法。