JP2001021585A - プローブカード - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 プローブの配置ピッチが小さくても、プ
ローブの後端部を接続する接続部を大きくすること 【解決手段】 プローブカードは、針先部及び針後部を
針主体部に対し反対側へ曲げた複数のプローブを支持体
に並列的に配置した複数のプローブユニットを基板に格
子状に配置している。各プローブユニットのプローブ
は、基板に形成されたスロットに受け入れられている。
同じスロットに受け入れられた隣り合うプローブの針主
体部に対する針後部の曲げ角度は異なる。これにより、
隣り合うプローブの後端部の間隔が大きくなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエーハに
マトリクス状に形成された複数のチップの通電試験に用
いて好適なプローブカードに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエーハには、一般に、チップ部
（本発明においては、単に「チップ」という。）のよう
な複数の半導体デバイスがマトリクス状に形成される。
各チップは、矩形の形状を有しており、また四角形の各
辺に対応する縁部に複数の電極パッドすなわち電極を有
する。マトリクスの各行及び各列を形成する複数のチッ
プは、一列に整列されている。チップは、最終的に１つ
１つに切り離される。

【０００３】この種のチップは、回路が仕様書通りに動
作するか否かの通電試験をされる。そのような通電試験
は、ウエーハの状態において行われることが多く、また
針先をチップの電極に押圧される複数のプローブを備え
たプローブカードを用いて行われる。この種の通電試験
において、チップを１つずつ検査するのでは、１つのウ
エーハ上のチップを検査するのに長時間を要する。

【０００４】この種のプローブカードにおいて、プロー
ブの配置ピッチはチップの電極の配置ピッチに依存し、
電極の配置ピッチが小さいほど、プローブの配置ピッチ
を小さくしなければならない。

【０００５】１つのウエーハ上のチップを複数ずつ検査
するプローブカードは種々提案されている。この種のプ
ローブカードを用いる場合、１つのウエーハ上のチップ
を１つおき又は２つおきの複数のチップ、若しくは、行
又は列方向に一列に連続する複数のチップからなる複数
のグループに分け、グループ毎に検査し、これにより１
つのウエーハについての検査回数を減らし、全チップの
検査に要する時間を短縮する。

【０００６】しかし、上記の従来のプローブカードは、
同時に検査可能のグループが１つおき又は複数おきのチ
ップ若しくは一列に連続するチップであるから、十字状
に交差する仮想的境界線を介して隣り合う４つのチップ
（すなわち、境界線の交差部の周りに位置する４つのチ
ップ）や、仮想的境界線を介して隣り合う２つのチップ
等、隣り合う複数のチップを同時に検査することができ
ず、したがって１つのウエーハ当たりの通電試験回数
（検査回数）が多く、１つのウエーハ当たりの検査時間
が長い。

【０００７】隣り合う複数のチップを同時に検査するこ
とができるプローブカードの１つとして、多数のプロー
ブを長い複数の支持体に取り付け、それらの支持体を配
線基板に格子状に配置した技術がある（特開平９−２８
３５７５号公報）。このプローブカードにおいて、各プ
ローブは、支持体又はケーブルに形成された配線のよう
な接続部に後端部において接続される。

【０００８】

【解決しようとする課題】このため、上記のプローブカ
ードでは、プローブを接続する接続部の配置ピッチを支
持体へのプローブの配置ピッチ及びチップの電極の配置
ピッチと同じ値にしなければならならず、したがってプ
ローブの配置ピッチ及びチップの電極の配置ピッチが小
さいと、接続部の配置ピッチ及び接続部の面積を小さく
しなければならない。

【０００９】しかし、接続部へのプローブの接続作業
は、接続部の配置ピッチ及び接続部の面積が小さいほ
ど、困難になる。

【００１０】それゆえに、半導体ウエーハ上のチップの
検査に用いるプローブカードにおいては、プローブの配
置ピッチが小さくても、プローブの後端部を接続する接
続部を大きくすることが重要である。

【００１１】

【解決手段、作用及び効果】本発明に係るプローブカー
ドは、針先部及び針後部を両者の間の針主体部に対し反
対側へ曲げた複数のプローブをそれらの針主体部と針後
部との境界付近において支持体に配置した１以上のプロ
ーブユニットと、１以上のスロットを有する基板とを含
む。前記プローブユニットは、前記プローブの針先が前
記基板の一方の面側となりしかも前記プローブの後端部
が少なくとも前記スロットに位置する状態に、前記基板
に装着されている。少なくとも前記スロットの長手方向
に隣り合うプローブの針主体部に対する針後部の曲げ角
度は異なる。

【００１２】各プローブは、基板、ケーブル等の他の手
段に形成された配線のような接続部に後端部において電
気的に接続され、針先をチップの電極に押圧される。隣
り合うプローブの針主体部に対する針後部の曲げ角度が
異なると、プローブの配置ピッチが小さくても、プロー
ブの後端部の間隔が大きくなる。

【００１３】それゆえに、本発明によれば、プローブの
配置ピッチが小さくても、プローブの後端部を接続する
接続部を大きくすることができる。

【００１４】前記プローブを、針先が仮想的な境界線に
対して一方側に位置する複数のプローブを含む第１のプ
ローブ群と、針先が前記境界線に対して他方側に位置す
る複数のプローブを含む第２のプローブ群とに分けるこ
とができる。このようにすれば、第１及び第２のプロー
ブ群の針先を、それぞれ、境界線を介して隣り合う一方
及び他方のチップの電極に対応させて、隣り合うチップ
を同時に検査することができる。

【００１５】両プローブ群のプローブは、針主体部を前
記基板の厚さ方向に互いに変位させていると共に、針後
部を前記スロットの幅方向に互いに変位させていてもよ
い。このようにすれば、プローブの配置ピッチをより小
さくすることができるにもかかわらず、プローブの後端
部を接続する接続部を大きくすることができる。

【００１６】前記スロットの幅方向に隣り合うプローブ
の針主体部に対する針後部の曲げ角度を異なる値にする
ことができる。このようにすれば、スロットの幅方向に
隣り合うプローブの後端部のピッチが大きくなるから、
プローブの配置ピッチをより小さくすることができるに
もかかわらず、プローブの後端部を接続する接続部を大
きくすることができる。

【００１７】前記支持体は、隣り合うプローブを相互に
接着する接着剤を含むことができる。このようにすれ
ば、針立て作業、プローブの組立作業が容易になる。

【００１８】前記プローブの後端は、前記基板の他方の
面側に露出させた状態に、前記プローブユニットを前記
プローブの針後部において前記スロットに接着されてい
てもよい。この場合、さらに、前記プローブに電気的に
接続された複数の配線を有するケーブルを含むことがで
きる。

【００１９】プローブカードは、さらに、前記基板の他
方の面と前記ケーブルとの間に配置されたスペーサであ
って厚さ方向に導電性を有するスペーサを含み、前記プ
ローブと前記配線とは前記スペーサの一部を介して電気
的に接続されていてもよい。

【００２０】好ましい実施例においては、前記基板は複
数の前記スロットをほぼ格子状に有しており、前記基板
には複数の前記プローブユニットが前記スロットを利用
してほぼ格子状に装着されており、前記格子の交差部の
周りの４つのプローブユニットは少なくとも前記交差部
の近傍に位置する複数のプローブの針先側部分を前記基
板への装着位置に対し前記交差部の周りの方向における
同じ方向に延在させている。このため、格子の交差部近
傍の複数のプローブが複数のプローブユニットを基板に
格子状に配置する作業の妨げにならず、したがってほぼ
十字状に交差する仮想的境界線を介して隣り合う４つの
チップを同時に検査することができる。

【００２１】

【発明の実施の形態】図１及び図２を参照するに、プロ
ーブカード１０は、図５及び図６に一部を示すように、
半導体ウエーハ１２にマトリクス状に形成された多数の
集積回路（ＩＣ）チップ１４の通電試験に用いられる。
ウエーハ１２は、多数のチップ１４を行及び列の形に形
成している。それえゆえに、チップ１４は、互いに交差
するＸ方向及びＹ方向へ伸びる複数の仮想的な境界線
（実施例では、スクライブライン）１６及び１８介して
隣接している。

【００２２】境界線１６及び１８の交差部２０は、後に
説明する格子の交差部に対応する。各チップ１４は、矩
形の形状をしており、また矩形の辺に対応する各縁部に
電極群を有する。各電極群は、対応する縁部に境界線１
６又は１８の方向に間隔をおいて一列に形成された複数
の電極パッドすなわち電極２２からなる。

【００２３】プローブカード１０は、円板状の基板３０
と、基板３０にほぼ格子状に配置された複数のプローブ
ユニット３２と、プローブユニット３２に接続されたケ
ーブル３４と、基板３０及びケーブル３４間に配置され
たスペーサ３６とを含む。

【００２４】基板３０は、ケーブル３４がその端部にお
いて電気的に接続された複数のコネクタ４０を中間部に
有し、図示しないテスターに電気的に接続される複数の
テスターランド４２を外周部に有する配線基板である。
各コネクタ４０は、複数の接点部を有しており、また基
板３０の上側に配置されている。コネクタ４０の各接点
部は、基板３０に形成された配線パターンの配線により
テスターランド４２に電気的に接続されている。

【００２５】図１、図３及び図６に示すように、基板３
０は、また、境界線１６，１８に沿って伸びる複数のス
ロット４４を中央部に有する。スロット４４は、それら
によりほぼ格子状の形を形成する位置に設けられてい
る。各スロット４４は、検査すべきチップ１４の１つの
縁部に対応されている。

【００２６】各プローブユニット３２は、導電性の金属
細線から形成された複数のプローブ４６を電気絶縁性の
支持体４８に並列的に配置している。各プローブ４６
は、図４及び図５に示すように、チップ１４の電極２２
に押圧される針先部４６ａをその針先部４６ａの後端に
続く針主体部４６ｂに対し一方側に曲げ、針主体部４６
ｂの後端に続く針後部４６ｃを針主体部４６ｂに対し針
先部４６ａと反対側に曲げたクランク状の形状を有して
いる。

【００２７】各プローブユニット３２は、プローブ４６
の針後部４６ｃが基板３０のスロット４４を貫通して上
下方向へ伸び、かつ針主体部４６ｂが基板３０の下方側
をスロット４４の幅方向へ伸び、さらに針先部４６ａが
基板３０の下側において下方へ伸びる状態に、スロット
４４に配置された接着剤５０により基板３０に接着され
ている。

【００２８】図３及び図６に示すように、各プローブユ
ニット３２のプローブ４６は、針先が境界線１６又は１
８に対して一方側に位置する複数のプローブを含む第１
のプローブ群と、針先が境界線１６又は１８に対して他
方側に位置する複数のプローブを含む第２のプローブ群
とに分けられている。

【００２９】それゆえに、第１のプローブ群の全てのプ
ローブ４６の針先と第２のプローブ群の全てのプローブ
４６の針先とは、スロット４４の幅方向（すなわち、Ｘ
方向又はＹ方向）に互いに間隔をおいているが、スロッ
ト４４の幅方向における同じ側に位置されている。

【００３０】図示の例では、第１及び第２のプローブ群
のプローブ４６の針先は、対応するスロット４４の方向
にプローブ群毎に一列に整列されている。しかし、第１
及び第２のプローブ群のプローブの針先は、プローブ群
毎に複数列に位置していてもよい。

【００３１】境界線１６，１８の交差部（すなわち、格
子の交差部）２０の周りの４つのプローブユニット３２
は、針主体部４６ｂを含むプローブ４６の針先側の部分
を基板３０への装着位置に対し交差部２０の周りの方向
における同じ方向に（風車状に）延在させている。この
ため、それらのプローブユニット３２のプローブ４６
は、針先側部分を交差部２０を中心とする回転対称の箇
所に位置させている。

【００３２】各スロット４４に接着された第１及び第２
のプローブ群は、それぞれ、スロット４４の幅方向（Ｘ
方向又はＹ方向）に隣り合う、すなわち境界線１６又は
１８を介して隣り合うチップ１４の一方及び他方の電極
群に対応されている。

【００３３】各プローブ４６の後端面は基板３０の上面
に位置されている。各プローブユニット３２のプローブ
４６の針主体部４６ｂに対する針後部４６ｃの曲げ角度
は、互いに異なる。このため、隣り合うプローブ４６の
後端面は、スロット４４の幅方向に変位されている。

【００３４】支持体４８は、接着剤または合成樹脂であ
り、またプローブユニット３２の全てのプローブ４６を
その針主体部４６ｂと針後部４６ｃとの境界付近におい
て一体的に結合している。

【００３５】ケーブル３４は、図４及び図５に示すよう
に、複数の導電部５２を基材として電気絶縁性フィルム
５４に印刷配線技術により並列的に形成した可撓性のフ
ラットケーブル（いわゆる、ＦＰＣ）であり、プローブ
ユニット３２毎に設けられている。ケーブル３４は、複
数の導電性スルーホール５６を有する。各スルーホール
５６は、導電部５２及びフィルム５４の一端部を厚さ方
向に貫通しており、導電部５２の一端部に電気的に接続
されている。

【００３６】ケーブル３４の各導電部５２は、スルーホ
ール５６により一端部において対応するプローブユニッ
ト３２の後端部にスペーサ３６を介して電気的に接続さ
れていると共に、他端部において対応するコネクタ４０
の接点部に電気的に接続されている。しかし、ケーブル
３４は、一般的なフラットケーブル、同軸ケーブル等、
ＦＰＣ以外のケーブルであってもよい。

【００３７】スペーサ３６は、厚さ方向にのみ導電性を
有する異方導電性シートである。そのように厚さ方向に
のみ導電性を有する異方導電性シートは、金属細線のよ
うな細長い多数の導電性部材又は金属粒子のような多数
の導電性粒子をゴム板のように板状又はシート状の電気
絶縁性部材に厚さ方向へ伸びる状態に配置した異方導電
性シートとして市販されている。

【００３８】基板３０、ケーブル３４及びスペーサ３６
は、スペーサ３６を基板３０及びケーブル３４の間に挟
んだ状態で加熱しつつ押圧することにより、接着するこ
とができる。これにより、ケーブル３４の各導電部５２
は、スペーサ３６内の１以上の導電性部材とスルーホー
ル５６とにより、対応するプローブ４６に電気的に接続
される。

【００３９】プローブカード１０は、先ず基板３０、プ
ローブユニット３２及びケーブル３４を準備し、次いで
プローブユニット３２を基板３０に上記のように組み付
け、次いでスペーサ３６を基板３０に配置し、次いでス
ペーサ３６によりプローブユニット３２とケーブル３４
とを接続し、ケーブルの他端をコネクタ４０に接続する
ことにより、組み立てることができる。

【００４０】プローブユニット３２を基板３０に配置す
るとき、全てのプローブ４６の針先側部分が接着剤５０
による基板３０への装着位置に対し交差部２０の周りの
方向における同じ方向に延在するように、配置される。
これにより、交差部２０の周りの４つのプローブユニッ
ト３２は、プローブ４６の針先側部分が基板３０への装
着位置から同じ側に延在するように、風車状に配置され
る。

【００４１】また、図３及び図６に示すように、プロー
ブユニット３２を基板３０に配置するとき、各スロット
４４を貫通する第１及び第２のプローブ群のプローブ４
６は、それらの針先が境界線１６又は１８を介して反対
の側となるように、基板３０に接着される。

【００４２】針先の高さ位置及び電極２２に対するプロ
ーブ４６の位置の調整は、プローブユニット３２を基板
３０に装着する際において行われる。また、プローブユ
ニット３２を基板３０に装着した後、プローブ４６の後
端面を基板３０の上面に露出させる研磨加工を少なくと
も接着剤５０の上面に行うことが好ましい。

【００４３】プローブカード１０は、各スロット４４を
貫通する第１及び第２のプローブ群のプローブ４６の針
先が、それぞれ、境界線１６又は１８を介して隣り合う
チップ１４の隣り合う一方及び他方の電極群の電極に対
向されて、それらの電極２２に押圧することができるよ
うに、検査装置に組み付けられ、その状態でプローブユ
ニット３２の針先を対応する電極群の電極２２に押圧さ
れる。

【００４４】プローブカード１０は、１つの半導体ウエ
ーハ１２上の全てのチップ１４を同時に検査することが
できるように、１つの半導体ウエーハ１２上の電極２２
の数と同数のプローブを備えていてもよい。しかし、そ
のようにすると、用いるプローブ数が多くなりすぎるか
ら、テスターの電気回路の負荷が大きくなりすぎると共
に、プローブの破損に起因してプローブカード１０が損
傷する可能性が高くなる。それゆえに、プローブカード
は、１つの半導体ウエーハ上の全てのチップを複数回
（例えば、２から３回程度）に分けて検査する構造とす
ることができる。

【００４５】上記のように各プローブユニット３２の隣
り合うプローブ４６の針主体部４６ｂに対する針後部４
６ｃの曲げ角度が互いに異なると、隣り合うプローブ４
６の針主体部４６ｂに対する針後部４６ｃの曲げ角度が
同じである場合に比べ、プローブ４６の配置ピッチが小
さくても、各プローブ４６の後端部の間隔が大きくな
る。それゆえに、電極２２の配置ピッチが小さいチップ
１４用にプローブ４６の配置ピッチを小さくしても、プ
ローブ４６の後端部を接続する導電部５２のような接続
部を大きくすることができ、プローブと接続部との位置
合わせ作業及び接続作業が容易になる。

【００４６】また、交差部２０の周りの４対のプローブ
群のプローブユニット３２が針先側部分を同じ側に風車
状に突出させると、プローブユニット３２が同じ交差部
２０の周り他の組のプローブユニット３２及び他の交差
部２０の周りのプローブを基板に装着する作業の妨げに
ならず、したがって十字状に交差する境界線１６，１８
を介して隣り合う４つのチップを同時に検査することが
できる。

【００４７】さらに、同じスロット４４に組み付けられ
た全てのプローブ４６が針先側部分を同じ側に延在させ
ているならば、基板３０へのプローブユニット３２の装
着作業が容易になる。

【００４８】各プローブ４６は、円形の断面形状を有す
るプローブであってもよい。しかし、プローブをプレス
加工により又はプローブを板材からの打ち抜き加工で製
作することにより、断面扁平のプローブ又は断面楕円形
のプローブとし、各プローブ群のプローブをその厚さ方
向に配列してもよい。後者のプローブを用いれば、プロ
ーブをより狭ピッチで配置することができる。

【００４９】上記の記実施例では、全てのプローブの針
先側部分を同じ側に風車状に延在させているが、交差部
２０に最も近い複数のプローブの針先側部分を風車状に
同じ側に延在させ、他のプローブの針先側部分を他の側
に延在させてもよい。

【００５０】図７を参照して、上記のようなプローブユ
ニット３２の製造方法の実施例を説明する。

【００５１】先ず、針先が異なる長さ寸法に曲げられた
２種類のプローブ４６がタングステン線のような金属細
線から多数製作される。

【００５２】次いで、複数のプローブ４６が従来から用
いられている針立て治具に配置される。このとき、各プ
ローブ４６は、針先を針立て治具の穴に挿し込まれるこ
とにより相対的位置を決められる。

【００５３】次いで、図７（Ａ）に示すように、接着剤
又は合成樹脂６０を用いる成形加工により、それらのプ
ローブ４６が一体的に結合される。

【００５４】次いで、図７（Ｂ）に示すように、隣り合
うプローブ４６の曲げ角度が異なるように、各プローブ
４６が支持体４８の後方の部位において針先と反対の側
に曲げられる。

【００５５】次いで、図７（Ｃ）に示すように、相互に
固定された全てのプローブ４６が接着剤又は合成樹脂５
８を用いる成形加工により針主体部と針後部との境界付
近においてさらに一体的に結合される。この際も針立て
治具を用いられる。

【００５６】上記の結果、今回の接着剤又は合成樹脂６
２が前回の接着剤又は合成樹脂６０と一体化し、それら
の接着剤又は合成樹脂により支持体４８が形成される。
その後、針後部が所定の長さ寸法に切断される。

【００５７】プローブユニット３２は、上記以外の方法
によっても制作することができる。例えば、針先部及び
針後部を針主体部に対し予め曲げられた複数のプローブ
を一回の成形加工により接着剤又は合成樹脂で一体的に
結合してもよい。

【００５８】なお、プローブユニット３２を対応するス
ロット４４に接着剤５０により直接接着する代わりに、
基板３０を、テスターランド４２を有する第１の基板
と、スロット４４を有する第２の基板とに分割し、プロ
ーブユニット３２を第２の基板に組み付け、第２の基板
を第１の基板にねじ止めしてもよい。

【００５９】スペーサ３６を用いることなく、ケーブル
３４の導電部５２をプローブ４６の後端に直接接続して
もよい。この場合、図８に示すように、各プローブ４６
の針後部を基板３０の上方に突出させて、針後部の突出
した箇所をケーブル３４に接続してもよいし、同じ曲げ
角度のプローブを共通のケーブル３４に接続してもよ
い。

【００６０】ケーブル３４及びスペーサ３６を用いるこ
となく、針後部４６ｃの長いプローブを用い、それらの
プローブの後端をコネクタ４０又はテスターランド４２
に直接接続してもよい。

【００６１】本発明は、上記実施例に限定されない。例
えば、ケーブルは同軸ケーブルのような他のケーブルで
あってもよい。本発明は、その趣旨を逸脱しない限り、
種々変更することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るプローブカードの一実施例を示す
平面図であってケーブル及びスペーサを除去して示す平
面図

【図２】図１に示すプローブカードの正面図

【図３】ケーブル及びスペーサを除去して２つの仮想線
の十字状交差部の近傍を拡大した平面図

【図４】図１に示すプローブカードのプローブユニット
の配置部近傍の断面図

【図５】図１に示すプローブカードのプローブユニット
の配置部近傍の斜視面図

【図６】図１に示すプローブカードで用いるプローブ組
立体のプローブとチップの電極との関係を示す図

【図７】プローブユニットの製造方法の一実施例を説明
するための図

【図８】プローブユニットの他の実施例を示す図

【符号の説明】

１０ プローブカード １２ 半導体ウエーハ １４ ＩＣチップ １６，１８ 境界線 ２０ 交差部 ２２ チップの電極 ３０ 基板 ３２ プローブユニット ３４ ケーブル ４０ コネクタ ４２ テスターランド ４４ スロット ４６ プローブ ４８ 支持体 ５０ 接着剤 ５２ 導電部 ５４ 電気絶縁性フィルム ５６ スルーホール ４６ａ 針先部 ４６ｂ 針主体部 ４６ｃ 針後部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 船水 浩 東京都武蔵野市吉祥寺本町２丁目６番８号 株式会社日本マイクロニクス内 (72)発明者 浦川 陽一 東京都武蔵野市吉祥寺本町２丁目６番８号 株式会社日本マイクロニクス内 (72)発明者 平井 幸廣 東京都武蔵野市吉祥寺本町２丁目６番８号 株式会社日本マイクロニクス内 Ｆターム(参考） 2G011 AA02 AA16 AA17 AB06 AC06 AD01 AE03 AF07 4M106 AA01 AA02 BA01 BA14 CA70 DD03 DD04 DD09 DD10 DD11

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 針先部及び針後部を両者の間の針主体部
   に対し反対側へ曲げた複数のプローブをそれらの針主体
   部と針後部との境界付近において支持体に配置した１以
   上のプローブユニットと、１以上のスロットを有する基
   板とを含み、 前記プローブユニットは、前記プローブの針先が前記基
   板の一方の面側となりかつ前記プローブの後端部が少な
   くとも前記スロットに位置する状態に、前記基板に装着
   されており、 少なくとも前記スロットの長手方向に隣り合うプローブ
   の針主体部に対する針後部の曲げ角度は異なる、プロー
   ブカード。
2. 【請求項２】 前記プローブは、針先が仮想的な境界線
   に対して一方側に位置する複数のプローブを含む第１の
   プローブ群と、針先が前記境界線に対して他方側に位置
   する複数のプローブを含む第２のプローブ群とに分けら
   れている、請求項１に記載のプローブカード。
3. 【請求項３】 両プローブ群のプローブは、針主体部を
   前記基板の厚さ方向に互いに変位させていると共に、針
   後部を前記スロットの幅方向に互いに変位させている、
   請求項２に記載のプローブカード。
4. 【請求項４】 前記スロットの幅方向に隣り合うプロー
   ブの針主体部に対する針後部の曲げ角度は互いに異な
   る、請求項３に記載のプローブカード。
5. 【請求項５】 前記支持体は、隣り合うプローブを相互
   に接着する接着剤を含む、請求項１から４のいずれか１
   項に記載のプローブカード。
6. 【請求項６】 前記プローブユニットは、前記プローブ
   の後端を前記基板の他方の面側に露出させた状態に、前
   記プローブの針後部において前記スロットに接着されて
   いる、請求項１から５のいずれか１項に記載のプローブ
   カード。
7. 【請求項７】 さらに、前記プローブに電気的に接続さ
   れた複数の配線を有するケーブルを含む、請求項６に記
   載のプローブカード。
8. 【請求項８】 さらに、前記基板の他方の面と前記ケー
   ブルとの間に配置されたスペーサであって厚さ方向に導
   電性を有するスペーサを含み、前記プローブと前記配線
   とは前記スペーサの一部を介して電気的に接続されてい
   る、請求項７に記載のプローブカード。
9. 【請求項９】 前記基板は複数の前記スロットをほぼ格
   子状に有しており、前記基板には複数の前記プローブユ
   ニットが前記スロットを利用してほぼ格子状に装着され
   ており、前記格子の交差部の周りの４つのプローブユニ
   ットは、少なくとも前記交差部の近傍に位置する複数の
   プローブの針先側部分を前記基板への装着位置に対し前
   記交差部の周りの方向における同じ方向に延在させてい
   る、請求項１から８のいずれか１項に記載のプローブカ
   ード。