JP2001148107A - 記録再生ヘッドおよびそれを備えた記録再生装置 - Google Patents

記録再生ヘッドおよびそれを備えた記録再生装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 １００Ｇｂ／ｉｎｃｈ2級の超高密度記録を
実現する。 【解決手段】 本発明の磁気ヘッドは、記録媒体に記録
された信号を記録再生する磁気ヘッドであって、基板
と、基板上に設けられた磁気ギャップを有する磁気ヘッ
ドコアと、磁気ヘッドコア上に設けられた磁気抵抗効果
素子とを備え、磁気ヘッドコアは、磁気ヘッドコアの磁
気ギャップ周囲の膜厚方向と記録媒体のトラック幅方向
とが同じ方向となるように設けられる。また、磁気ヘッ
ドコアの少なくとも一部を囲むように設けられた巻き線
を備え、巻き線が磁場を発生することにより記録媒体に
信号が記録される。更に、本発明の磁気ヘッドは、磁気
抵抗効果素子が、磁気ヘッドコア上に設けられた絶縁層
と、絶縁層に対して磁気ヘッドコアの反対側に設けられ
たピン層とを備え、磁気ヘッドコアは少なくとも絶縁層
と対応する位置に軟磁性層を備え、軟磁性層は磁気抵抗
効果素子のフリー層として共有される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、記録・再生ヘッド
およびその記録・再生ヘッドを備えた記録再生装置に関
し、より詳細には従来のハードディスクや光磁気ディス
ク装置を凌駕する高密度記録を可能とする記録・再生ヘ
ッド、記録再生装置およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】情報信号の高密度記録法としては、図１
１に示すようなハードディスク（ＨＤＤ）１０００や図
１２に示すような光磁気ディスク（ＭＯ）装置２０００
があり、これらの記録・再生ヘッドには磁気ヘッド１０
１９や光磁気ヘッド２０２０が使用されている。
【０００３】しかし、図１１に示されるような磁気ヘッ
ド１０１９を用いて、４０Ｇｂ／ｉｎｃｈ2を越えるよ
うな高密度記録および再生を実現しようとした場合、再
生については、シ−ルド１０１５の間におかれたＧＭＲ
素子１０１４の使用である程度見通しを立てることがで
きる。しかし、図１１に示されるようにＧＭＲ素子１０
１４が前面に出る構成では、ＧＭＲ素子１０１４の摩耗
やノイズが発生するという問題が生じる。また、ＧＭＲ
素子１０１４の代わりにトンネル型ＧＭＲ（ＴＭＲ）素
子を用いた場合は、ショ−トの問題が生じる。この問題
はヨ−ク型と呼ばれるヘッド構成（図示せず）により回
避されるが、従来のヨ−ク型のヘッド構成では、ＧＭＲ
素子１０１４（またはＴＭＲ素子）とヨ−クとの間に絶
縁膜等のギャップが必要なため、再生出力が低下すると
いう問題が生じる。また、記録については、磁気ヘッド
１０１９の膜厚を数μｍに維持しつつトラック幅をサブ
μｍオーダー（＜０．３μｍ）に小さくする必要があ
り、アスペクト比が異常に大きくなり加工が極めて困難
となる。また、将来的には、記録媒体の記録ビット長が
５０ｎｍ以下となることが予想され、この場合、熱揺ら
ぎを考慮すると、記録媒体１０１６として面内記録媒体
を用いる場合は、記録媒体１０１６の保磁力を極めて大
きくする必要が生ずる。この記録媒体を磁化する磁気ヘ
ッド１０１９の記録磁極１０１７には飽和磁化が２．５
Ｔ（テスラ）を越える磁性膜が要求されるが、現在これ
を可能とするものが無い。
【０００４】一方、図１２の光磁気ヘッド２０２０の場
合は集光レンズ２０１８で集光したレーザー光により記
録媒体２０１６を磁化反転がしやすい温度に上げて記録
を行う。また、レーザーの波長より細かな記録をするた
めに、磁気ヘッド２０１９を使用した磁界変調技術が用
いられている。
【０００５】図１２の光磁気ヘッド２０２０は、上記の
ような構成とすることでＨＤＤ並の密度の記録が可能と
なる。しかし、再生についてはレーザー光の波長程度に
記録ビットを拡大して読む工夫が必要となり、様々な提
案がなされているが実用化には未だ課題を残している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】そこで、図１３に示す
ような新しい記録再生装置が提案されている。図１３に
示す記録再生装置３０００では、記録はＭＯの光磁気ヘ
ッド２０２０、再生はＨＤＤのＧＭＲヘッド３０１９と
別々のヘッドを用い、記録媒体には光磁気ディスク用の
記録媒体２０１６を用いる方法である。
【０００７】一方、図１４に示す記録再生装置４０００
では、ＨＤＤ用の磁気ヘッド１０１９を用い、レーザー
光を磁気ヘッド１０１９に対して記録媒体４０１６の反
対側から照射して、記録時の磁化反転を容易にしたり、
再生時の読み取りを容易にしようとするものである。
【０００８】しかしながら、図１３に示す記録再生装置
３０００の場合は、記録用と再生用の２つのヘッド部が
必要であり、記録・再生が別々のヘッドで行われるとい
う欠点がある。また、図１４に示す記録再生装置４００
０の場合は、記録媒体上の磁気ヘッド１０１９により記
録される領域とレーザー光照射領域とを一致させるため
の、高密度記録になればなるほど技術的に困難となるサ
ーボ技術が必要である欠点がある。更にこの場合は上述
したようにＨＤＤの記録ヘッドのトラック幅加工が大き
な課題となる。また、記録再生装置３０００および４０
００ともに、記録媒体の上下に磁気ヘッドとレーザー照
射手段とを必要とする構成となる。従って、ＨＤＤのよ
うにヘッドをディスク上下に配置してディスク上下両面
を記録媒体として使用することが不可能なことと省スペ
ース化において不利となる欠点がある。
【０００９】また、記録・再生を行う際は、記録媒体の
所望の位置に磁気ヘッドを移動させる必要があり、上述
のような問題点の他に、高密度記録になればなるほど従
来の記録再生装置における一段の磁気ヘッド駆動部のみ
ではサーボトラッキングが困難となる問題がある。
【００１０】本発明は上記のような問題を鑑みてなされ
たものであり、１００Ｇｂ／ｉｎｃｈ2級の超高密度記
録を実現し、また、このような高密度記録においても精
度の高いトラッキング性能を有する磁気ヘッド駆動部を
備えた記録再生装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドは、
記録媒体に記録された信号を再生する磁気ヘッドであっ
て、基板と、基板上に設けられた、磁気ギャップを有す
る磁気ヘッドコアと、磁気ヘッドコア上に設けられた第
１の磁気抵抗効果素子と、を備え、磁気ヘッドコアは、
磁気ヘッドコアの磁気ギャップ周囲の膜厚方向と、記録
媒体のトラック幅方向とが同じ方向となるように設けら
れ、そのことにより上記目的が達成される。
【００１２】磁気ヘッドコア上に設けられた第２の磁気
抵抗効果素子を更に備えてもよい。
【００１３】第２の磁気抵抗効果素子は、磁気ギャップ
に対して、第１の磁気抵抗効果素子と対称の位置に設け
られてもよい。
【００１４】磁気ヘッドコアの少なくとも一部を囲むよ
うに設けられた巻き線を更に備え、巻き線が磁場を発生
することにより記録媒体に信号を記録してもよい。
【００１５】第１の磁気抵抗効果素子が、磁気ヘッドコ
ア上に設けられた第１の絶縁層と、第１の絶縁層に対し
て磁気ヘッドコアの反対側に設けられた容易に磁化回転
しない第１のピン層と、を備え、磁気ヘッドコアは、少
なくとも第１の絶縁層と対応する位置に第１の軟磁性層
を備え、第１の軟磁性層は、第１の磁気抵抗効果素子の
容易に磁化回転する第１のフリー層として用いられても
よい。
【００１６】第２の磁気抵抗効果素子が、磁気ヘッドコ
ア上に設けられた第２の絶縁層と、第２の絶縁層に対し
て磁気ヘッドコアの反対側に設けられた容易に磁化回転
しない第２のピン層と、を備え、磁気ヘッドコアは、少
なくとも第２の絶縁層と対応する位置に第２の軟磁性層
を備え、第２の軟磁性層は、第２の磁気抵抗効果素子の
容易に磁化回転する第２のフリー層として用いられても
よい。
【００１７】第１の軟磁性層と第２の軟磁性層とが同一
の軟磁性層であってもよい。
【００１８】磁気ヘッドギャップ近傍の記録媒体の領域
を加熱するレーザー光集光部を更に備えてもよい。
【００１９】基板がレーザー光集光部であってもよい。
【００２０】レーザー光集光部が回折光学素子を備えて
もよい。
【００２１】回折光学素子がフレネルレンズであっても
よい。
【００２２】磁気ヘッドコアは、少なくともＮｉＦｅ
（−Ｃｏ）、ＣｏＦｅ、ＣｏＦｅＢおよびＣｏＮｂＺｒ
の何れかからなってもよい。
【００２３】第１のピン層は、ＰｔＭｎ、ＩｒＭｎまた
はＮｉＭｎによりピンニングされたＣｏまたはＣｏＦｅ
からなってもよい。
【００２４】第２のピン層は、ＰｔＭｎ、ＩｒＭｎまた
はＮｉＭｎによりピンニングされたＣｏまたはＣｏＦｅ
からなってもよい。
【００２５】本発明の記録再生装置は、上記に記載の磁
気ヘッドと、第１の磁性層が設けられた記録媒体と、を
備え、そのことにより上記目的が達成される。
【００２６】第１の磁性層が補償温度とキュリー温度と
を有してもよい。
【００２７】補償温度が室温から約１００℃の間であ
り、キュリー温度が約２００℃から約３００℃の間であ
ってもよい。
【００２８】第１の磁性層が、記録用の第２の磁性層と
再生用の第３の磁性層とを有してもよい。
【００２９】記録媒体が、磁気的に互いに隔離された微
細磁性膜ドットを備えてもよい。
【００３０】記録媒体が垂直磁気記憶媒体であってもよ
い。
【００３１】記録媒体がディスクであってもよい。
【００３２】記録媒体がテープであってもよい。
【００３３】基板を支持する支持手段を駆動する第１の
駆動手段と、基板上に設けられ、磁気ヘッドを微駆動す
る第２の駆動手段と、を備えてもよい。
【００３４】第２の駆動手段が薄膜で構成され、薄膜の
厚み方向の変位により磁気ヘッドを微駆動してもよい。
【００３５】第２の駆動手段が、圧電方式、静電方式ま
たは電磁方式の何れかにより駆動されてもよい。
【００３６】複数の磁気ヘッドを備え、複数の磁気ヘッ
ドを第１の駆動手段により同時に駆動してもよい。
【００３７】第１の磁性層は、少なくともＣｏＣｒ、Ｃ
ｏＰｔ、ＣｏＣｒＰｔ、ＣｏＣｒＴａ、ＣｏＴａＣｒＰ
ｔ、ＦｅＰｔ、ＴｂＦｅ、ＴｂＦｅＣｏおよびＧｄＦｅ
Ｃｏの何れかからなってもよい。
【００３８】第２の磁性層は、ＴｂＦｅまたはＴｂＦｅ
Ｃｏからなり、第３の磁性層は、ＧｄＦｅＣｏからなっ
てもよい。
【００３９】本発明の磁気ヘッドは、記録媒体に記録さ
れた信号を再生する磁気ヘッドであって、基板と、基板
上に設けられた、磁気ギャップを有する磁気ヘッドコア
と、磁気ヘッドコア上に設けられた第１の磁気抵抗効果
素子と、を備え、第１の磁気抵抗効果素子が、磁気ヘッ
ドコア上に設けられた第１の絶縁層と、第１の絶縁層に
対して磁気ヘッドコアの反対側に設けられた容易に磁化
回転しない第１のピン層と、を備え、磁気ヘッドコア
は、少なくとも第１の絶縁層と対応する位置に第１の軟
磁性層を備え、第１の軟磁性層は、第１の磁気抵抗効果
素子の容易に磁化回転する第１のフリー層として用いら
れ、そのことにより上記目的が達成される。
【００４０】磁気ヘッドコア上に設けられた第２の磁気
抵抗効果素子を更に備え、第２の磁気抵抗効果素子が、
磁気ヘッドコア上に設けられた第２の絶縁層と、第２の
絶縁層に対して磁気ヘッドコアの反対側に設けられた、
容易に磁化回転しない第２のピン層と、を備え、磁気ヘ
ッドコアは、少なくとも第２の絶縁層と対応する位置に
第２の軟磁性層を備え、第２の軟磁性層は、第２の磁気
抵抗効果素子の容易に磁化回転する第２のフリー層とし
て用いられてもよい。
【００４１】第２の磁気抵抗効果素子は、磁気ギャップ
に対して、第１の磁気抵抗効果素子と対称の位置に設け
られてもよい。
【００４２】第１の軟磁性層と第２の軟磁性層とが同一
の軟磁性層であってもよい。
【００４３】磁気ヘッドコアの少なくとも一部を囲むよ
うに設けられた巻き線を更に備え、巻き線が磁場を発生
することにより記録媒体に信号を記録してもよい。
【００４４】磁気ヘッドギャップ近傍の記録媒体の領域
を加熱するレーザー光集光部を更に備えてもよい。
【００４５】基板がレーザー光集光部であってもよい。
【００４６】レーザー光集光部が回折光学素子を備えて
もよい。
【００４７】回折光学素子がフレネルレンズであっても
よい。
【００４８】磁気ヘッドコアは、少なくともＮｉＦｅ
（−Ｃｏ）、ＣｏＦｅ、ＣｏＦｅＢおよびＣｏＮｂＺｒ
の何れかからなってもよい。
【００４９】第１のピン層は、ＰｔＭｎ、ＩｒＭｎまた
はＮｉＭｎによりピンニングされたＣｏまたはＣｏＦｅ
からなってもよい。
【００５０】第２のピン層は、ＰｔＭｎ、ＩｒＭｎまた
はＮｉＭｎによりピンニングされたＣｏまたはＣｏＦｅ
からなってもよい。
【００５１】本発明の記録再生装置は、上記に記載の磁
気ヘッドと、第１の磁性層が設けられた記録媒体と、を
備え、そのことにより上記目的が達成される。
【００５２】第１の磁性層が補償温度とキュリー温度と
を有してもよい。
【００５３】補償温度が室温から約１００℃の間であ
り、キュリー温度が約２００℃から約３００℃の間であ
ってもよい。
【００５４】第１の磁性層が、記録用の第２の磁性層と
再生用の第３の磁性層とを有してもよい。
【００５５】記録媒体が、磁気的に互いに隔離された微
細磁性膜ドットを備えてもよい。
【００５６】記録媒体が垂直磁気記憶媒体であってもよ
い。
【００５７】記録媒体がディスクであってもよい。
【００５８】記録媒体がテープであってもよい。
【００５９】基板を支持する支持手段を駆動する第１の
駆動手段と、基板上に設けられ、磁気ヘッドを微駆動す
る第２の駆動手段と、を備えてもよい。
【００６０】第２の駆動手段が薄膜で構成され、薄膜の
厚み方向の変位により磁気ヘッドを微駆動してもよい。
【００６１】第２の駆動手段が、圧電方式、静電方式ま
たは電磁方式の何れかにより駆動されてもよい。
【００６２】複数の磁気ヘッドを備え、複数の磁気ヘッ
ドを第１の駆動手段により同時に駆動してもよい。
【００６３】第１の磁性層は、少なくともＣｏＣｒ、Ｃ
ｏＰｔ、ＣｏＣｒＰｔ、ＣｏＣｒＴａ、ＣｏＴａＣｒＰ
ｔ、ＦｅＰｔ、ＴｂＦｅ、ＴｂＦｅＣｏおよびＧｄＦｅ
Ｃｏの何れかからなってもよい。
【００６４】第２の磁性層は、ＴｂＦｅまたはＴｂＦｅ
Ｃｏからなり、第３の磁性層は、ＧｄＦｅＣｏからなっ
てもよい。
【００６５】本発明の磁気ヘッドは、記録媒体に信号を
記録する磁気ヘッドであって、基板と、基板上に設けら
れた、磁気ギャップを有する磁気ヘッドコアと、磁気ヘ
ッドコアの少なくとも一部を囲むように設けられた巻き
線と、を備え、巻き線が磁場を発生することにより記録
媒体に信号を記録する磁気ヘッドであって、磁気ヘッド
コアは、磁気ヘッドコアの磁気ギャップ周囲の膜厚方向
と、記録媒体のトラック幅方向とが同じ方向となるよう
に設けられ、そのことにより上記目的が達成される。
【００６６】本発明の記録再生装置は、記録媒体に信号
を記録する第１の磁気ヘッドと、記録媒体に記録された
信号を再生する第２の磁気ヘッドと、を備えた記録再生
装置であって、第１の磁気ヘッドが、第１の基板と、第
１の基板上に設けられた、第１の磁気ギャップを有する
第１の磁気ヘッドコアと、第１の磁気ヘッドコアの少な
くとも一部を囲むように設けられた巻き線と、を備え、
第１の磁気ヘッドコアは、第１の磁気ヘッドコアの第１
の磁気ギャップ周囲の膜厚方向と、記録媒体のトラック
幅方向とが同じ方向となるように設けられ、第２の磁気
ヘッドが、第２の基板と、第２の基板上に設けられた、
第２の磁気ギャップを有する第２の磁気ヘッドコアと、
第２の磁気ヘッドコア上に設けられた第１の磁気抵抗効
果素子と、を備え、第２の磁気ヘッドコアは、第２の磁
気ヘッドコアの第２の磁気ギャップ周囲の膜厚方向と、
記録媒体のトラック幅方向とが同じ方向となるように設
けられ、そのことにより上記目的が達成される。
【００６７】第１の基板と第２の基板とが同一の基板で
あってもよい。
【００６８】第２の磁気ヘッドコア上に設けられた第２
の磁気抵抗効果素子を更に備えてもよい。
【００６９】第２の磁気抵抗効果素子は、第２の磁気ギ
ャップに対して、第１の磁気抵抗効果素子と対称の位置
に設けられてもよい。
【００７０】本発明の記録再生装置は、記録媒体に信号
を記録する第１の磁気ヘッドと、記録媒体に記録された
信号を再生する第２の磁気ヘッドと、を備えた記録再生
装置であって、第１の磁気ヘッドが、第１の基板と、第
１の基板上に設けられた、第１の磁気ギャップを有する
第１の磁気ヘッドコアと、第１の磁気ヘッドコアの少な
くとも一部を囲むように設けられた巻き線と、を備え、
第１の磁気ヘッドコアは、第１の磁気ヘッドコアの第１
の磁気ギャップ周囲の膜厚方向と、記録媒体のトラック
幅方向とが同じ方向となるように設けられ、第２の磁気
ヘッドが、第２の基板と、第２の基板上に設けられた、
第２の磁気ギャップを有する第２の磁気ヘッドコアと、
第２の磁気ヘッドコア上に設けられた第１の磁気抵抗効
果素子と、を備え、第１の磁気抵抗効果素子が、第２の
磁気ヘッドコア上に設けられた絶縁層と、絶縁層に対し
て第２の磁気ヘッドコアの反対側に設けられた、容易に
磁化回転しないピン層と、を備え、第２の磁気ヘッドコ
アは、少なくとも絶縁層と対応する位置に軟磁性層を備
え、軟磁性層は、第１の磁気抵抗効果素子の容易に磁化
回転するフリー層として用いられ、そのことにより上記
目的が達成される。
【００７１】第１の基板と第２の基板とが同一の基板で
あってもよい。
【００７２】第２の磁気ヘッドコア上に設けられた第２
の磁気抵抗効果素子を更に備えてもよい。
【００７３】第２の磁気抵抗効果素子は、第２の磁気ギ
ャップに対して、第１の磁気抵抗効果素子と対称の位置
に設けられてもよい。
【００７４】上述のように、本発明の信号の記録・再生
に用いられる磁気ヘッドにおいて、磁気ヘッドコアを構
成する軟磁性膜の膜厚方向を記録媒体のトラック幅方向
と同じにすることにより、従来では困難であった磁気ヘ
ッドにおける０．１μｍ以下のトラック幅加工も容易に
実現することができる。
【００７５】更に、磁気ヘッドコアを構成する軟磁性膜
を、磁気ヘッドコアおよび磁気抵抗効果素子のフリー層
として共有し、かつ磁気ヘッドコアをギャップ部を除い
て閉磁路とすることにより、磁気抵抗効果素子のフリ−
層へ効率よく信号磁束を導くことが可能となる。
【００７６】本発明において記録媒体として用いられる
磁性膜は、補償温度とキュリー温度を有する。記録時は
レーザー光を記録媒体に照射して磁性膜が磁化反転しや
すい温度に上げて磁気ヘッドで記録する。この場合、レ
ーザー光が照射されない室温では保磁力が大きく、レー
ザー光の照射により温度が上昇すると保磁力が低下する
磁性膜を用いることが望ましい。
【００７７】再生は磁気抵抗効果素子を用いて行うが、
必要であれば、再生時にもレーザー光を照射して磁気抵
抗効果素子による読み取りを行う。この場合は、レーザ
ー光の照射により温度が上昇すると磁化が増加して記録
媒体からの漏れ磁界が大きくなる磁性膜を用いることが
望ましい。
【００７８】また、上記のようなレーザー光を用いた記
録・再生方法の他に、記録媒体として垂直記録媒体を用
いても良い。この場合は、面内記録媒体にくらべて記録
ヘッドに要求される飽和磁化を下げることができ、必ず
しも上記のようなレーザー光の補助は必要ではなくな
る。
【００７９】また本発明では、上述のサーボトラッキン
グの課題を解決するために、磁気ヘッドの構成面に、磁
気ヘッドを微動させる副駆動手段を設けている。副駆動
手段は薄膜で構成され、その厚み方向のたわみを利用し
て磁気ヘッドを微動させることができる。この副駆動手
段は、圧電方式、静電方式または電磁方式のいずれかで
構成されることが望ましい。このようにして磁気ヘッド
をサーボトラッキングする主駆動手段の他に、磁気ヘッ
ドの構成面に、これを微動させる副駆動手段を設けるこ
とにより、精度の高いトラッキング性能を有する磁気ヘ
ッド駆動部を実現することができる。
【００８０】さらにこの副駆動手段を設けた磁気ヘッド
を複数個備え、この複数の磁気ヘッドをトラッキングの
主駆動手段により同時に駆動しても良い。
【００８１】
【発明の実施の形態】（実施の形態１）図１に、本発明
の実施の形態１における磁気ヘッド１００を示す。図１
（ａ）は、磁気ヘッド１００の斜視図であり、図１
（ｂ）は、磁気ヘッド１００の上面図である。磁気ヘッ
ド１００は、基板１０１上に設けられた磁気ギャップ１
２０を有する磁気ヘッドコア１３０と、磁気ヘッドコア
１３０に磁場を発生し、記録媒体１１６（図５）に信号
を書き込むために設けられた巻き線部１４０と、記録媒
体１１６からの磁束を読み取るべく設けられた磁気抵抗
効果素子１５０とを備える。
【００８２】記録媒体１１６への記録は、記録する信号
に応じた磁場を巻き線部１４０により磁気ヘッドコア１
３０内に発生させ、この磁場を記録媒体１１６の磁性層
１１７（図５）に印加させることにより行われる。
【００８３】再生時は、記録媒体１１６の磁性層１１７
からの磁束が、磁気ギャップ１２０から磁気ヘッドコア
１３０の一部を構成する軟磁性膜１１０および１１１を
通り、磁気抵抗効果素子１５０へと導かれる。軟磁性膜
１１０および１１１は、その膜厚方向１０２が記録媒体
１１６のトラック幅方向１１２と同一となるように基板
１０１上に成膜されている。
【００８４】図１に示される磁気抵抗効果素子１５０
は、トンネル型磁気抵抗効果（ＴＭＲ）素子である。磁
気抵抗効果素子１５０は、容易に磁化回転する磁性膜よ
り成るフリー層１８０と、容易に磁化回転しない磁性膜
より成るピン層１９０と、フリー層１８０とピン層１９
０とを隔離するために設けられた絶縁層１８５とを有す
る。磁気ヘッド１００は、磁気抵抗効果素子１５０に電
流を流すためのリ−ド線部１６０および１６１を備えて
いる。
【００８５】本実施の形態の磁気ヘッド１００では、磁
気ヘッドコア１３０を構成する軟磁性膜１１１を磁気抵
抗効果素子１５０のフリー層１８０の領域として共有す
る構造となっている。このように図１に示される磁気抵
抗効果素子１５０はＴＭＲ素子構造であるが、磁気抵抗
効果素子１５０を絶縁層１８５の代わりに導電性の金属
膜から成るＧＭＲ素子構造としても、本実施の形態の磁
気ヘッド１００は実施可能である。
【００８６】図１に示す磁気抵抗効果素子１５０では、
絶縁は絶縁層１８５によりなされ、軟磁性膜１１１をフ
リー層１８０の領域として共有する構造となっているた
め、磁気抵抗効果素子１５０が記録媒体１１６からの磁
束を感知する効率を向上させることができる。また、一
般的には、金属ＧＭＲ素子構造よりはＴＭＲ素子構造の
方が大きな磁気抵抗変化を示すため、磁気抵抗効果素子
１５０の出力も大きくすることができる。更に、磁気ヘ
ッドコア１３０をギャップ部を除いて閉磁路とすること
により、磁気抵抗効果素子１５０のフリ−層１８０へ効
率よく信号磁束を導くことができる。
【００８７】また、本実施の形態の磁気ヘッド１００に
おいて、磁気ヘッドコア１３０の一部を構成する軟磁性
膜１１０および１１１は、その膜厚方向１０２が記録媒
体１１６のトラック幅方向１１２と同一となるように基
板１０１上に成膜されている。このように、軟磁性膜１
１０および１１１の膜厚方向を記録媒体のトラック幅方
向と同じにすることにより、従来では困難であった、ト
ラック幅が０．１μｍ以下となる磁気ヘッドの加工も容
易に実現することができる。
【００８８】磁気ヘッドコア１３０を形成する軟磁性膜
１１０、１１１およびフリ−層１８０は、Ｎｉ−ｒｉｃ
ｈのＮｉＦｅ（−Ｃｏ）またはＣｏＦｅ合金膜、ＣｏＦ
ｅＢおよびＣｏＮｂＺｒ等のアモルファス合金膜、ある
いはこれらの合金膜の積層膜で構成されることが望まし
い。特にフリ−層１８０においては絶縁層１８５との界
面には大きなＭＲ比（磁気抵抗抵抗変化率）が得られる
ＣｏＦｅやＮｉＦｅを用いることが望ましい。絶縁層１
８５にはＡｌ2Ｏ3を用いることが望ましい。ピン層１９
０には保磁力の大きな磁性膜やＣｏ、ＣｏＦｅ等の金属
膜をＴ（Ｐｔ、Ｉｒ、Ｎｉ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｒｎ、Ｃｒ）
−Ｍｎ系の合金、例えばＰｔＭｎ、ＩｒＭｎ、ＮｉＭｎ
等の反強磁性膜でピンニングした材料を用いることが望
ましい。
【００８９】（実施の形態２）図２に、本発明の実施の
形態２における磁気ヘッド２００および磁気ヘッド３０
０を示す。図２は、磁気ヘッド２００および磁気ヘッド
３００の斜視図である。
【００９０】上述の実施の形態１の磁気ヘッド１００で
は、記録と再生を同一のヘッドで兼用する構造となって
いる。一方、本実施の形態では、図２に示すように、巻
き線２４０を有する記録用の磁気ヘッド２００と、磁気
抵抗効果素子２５０を有する再生用の磁気ヘッド３００
とを別々に基板２０１上に設けた構造となっている。
【００９１】磁気ヘッド２００は、基板２０１上に設け
られた磁気ギャップ２２０を有する磁気ヘッドコア２３
０と、磁気ヘッドコア２３０に磁束を発生し、記録媒体
１１６（図５）に信号を書き込むために設けられた巻き
線２４０とを備えている。
【００９２】磁気ヘッド３００は、基板２０１上に設け
られた磁気ギャップ２２１を有する磁気ヘッドコア２３
１と、記録媒体１１６からの磁束を読み取るべく設けら
れた磁気抵抗効果素子２５０とを備えている。
【００９３】記録媒体１１６への記録は、記録する信号
に応じた磁場を巻き線部２４０により磁気ヘッドコア２
３０内に発生させ、この磁場を記録媒体１１６の磁性層
１１７に印加させることにより行われる。
【００９４】再生時は、記録媒体１１６の磁性層１１７
からの磁束が、磁気ギャップ２２１から磁気ヘッドコア
２３１の一部を構成する軟磁性膜２１３および２１４を
通り、磁気抵抗効果素子２５０へと導かれる。
【００９５】磁気抵抗効果素子２５０は、容易に磁化回
転する磁性膜より成るフリー層２８０と、容易に磁化回
転しない磁性膜より成るピン層２９０と、フリー層２８
０とピン層２９０とを隔離するために設けられた絶縁層
２８５とを有する。磁気ヘッド３００は、磁気抵抗効果
素子２５０に電流を流すためのリ−ド線部２６０および
２６１を備えている。
【００９６】上述の実施の形態１と同様に、本実施の形
態の磁気ヘッド３００では、磁気ヘッドコア２３１を構
成する軟磁性膜２１４を磁気抵抗効果素子２５０のフリ
ー層２８０の領域として共有する構造となっている。ま
た、磁気ヘッド２００の軟磁性膜２１０および２１１、
磁気ヘッド３００の軟磁性膜２１３および２１４は、そ
の膜厚方向２０２が記録媒体１１６のトラック幅方向１
１２（図５）と同一となるように基板２０１上に成膜さ
れている。
【００９７】本実施の形態では、記録用の磁気ヘッド２
００と、再生用の磁気ヘッド３００とを別々に基板２０
１上に設けた構造となっているので、磁気ヘッド２００
と磁気ヘッド３００とで、各構成要素のサイズを変更す
ることができる。例えば、膜厚方向２０２について、記
録用の磁気ヘッド２００の磁気ヘッドコア２３０の膜厚
を厚くし、再生用の磁気ヘッド３００の磁気ヘッドコア
２３１の膜厚を薄くすることができる。また、磁気ギャ
ップ２２０の間隔および磁気ギャップ２２１の間隔のそ
れぞれの長さを変更することも可能である。各構成要素
をより好ましいサイズに変更することにより、更なる記
録再生特性の向上を図っても良い。
【００９８】また、磁気ヘッド２００および３００は互
いに同一の基板上に設けられる必要はなく、それぞれ別
々の基板上に設けられていても良い。
【００９９】（実施の形態３）図３に、本発明の実施の
形態３における磁気ヘッド４００を示す。図３は、磁気
ヘッド４００の斜視図である。
【０１００】磁気ヘッド４００は、基板２０１上に設け
られた磁気ギャップ３２１を有する磁気ヘッドコア３３
１と、磁気抵抗効果素子３５０とを備えている。磁気ヘ
ッドコア３３１の一部は軟磁性膜３１３および３１４で
構成されている。磁気抵抗効果素子３５０は、フリー層
３８０と、ピン層２９０と、フリー層２８０とピン層２
９０とを隔離するために設けられた絶縁層２８５とを有
する。その他の構成は、実施の形態２における磁気ヘッ
ド３００と同一である。
【０１０１】本実施の形態では、磁気ヘッドコア３３１
の磁気抵抗効果素子３５０のフリー層３８０として共有
される領域およびその周囲が、磁気ヘッドコア３３１の
その他の部分よりも膜厚が薄くなっている。このため、
磁気ヘッドコア３３１内を流れる磁束がフリー層３８０
において収束され、磁束密度が高くなることにより、磁
気抵抗効果素子３５０の再生感度を向上させることがで
きる。
【０１０２】（実施の形態４）図４に、本発明の実施の
形態４における磁気ヘッド５００を示す。図４は、磁気
ヘッド５００の斜視図である。
【０１０３】磁気ヘッド５００は、垂直記録媒体の記録
用として用いられる単磁極型ヘッド構造である。磁気ヘ
ッド５００は、基板２０１上に設けられた磁気ヘッドコ
ア４３０と、磁気ヘッドコア４３０に磁場を発生し、記
録媒体１１６に信号を書き込むために設けられた巻き線
４４０とを備える。磁気ヘッドコア４３０の記録媒体１
１６と対向する領域４１０の膜厚方向４０２は、記録媒
体１１６のトラック幅方向１１２（図５）と同一となる
ように基板２０１上に成膜されている。また、好ましく
は、領域４１０の膜厚は記録媒体１１６のトラック幅と
同一である。
【０１０４】また、磁気ヘッド５００の記録効率を向上
させるために、磁気ヘッド５００は、リターンヨーク部
４１１を更に備えても良い。この場合、リターンヨーク
部４１１は、磁気ヘッドコア４３０の構成要素の一部と
して、磁気ヘッドコア４３０と磁気的に接続されること
が好ましい。
【０１０５】（実施の形態５）図５に、本発明の実施の
形態５における記録再生装置６００を示す。図５（ａ）
は、記録再生装置６００の側面図であり、図５（ｂ）
は、記録媒体１１６に設けられた磁性層１１７の断面図
である。
【０１０６】図５（ａ）に示す記録再生装置６００は、
実施の形態１において示された磁気ヘッド１００と、記
録媒体１１６と、記録媒体１１６の磁気ヘッドギャップ
１２０近傍の領域を加熱するために磁気ヘッド１００と
一体化して設けられたレーザー光集光部５０７と、磁気
ヘッド１００を支持するスライダ５１３とを備える。
【０１０７】図５（ａ）に示す記録再生装置６００で
は、磁気ヘッドとして、実施の形態１において示された
磁気ヘッド１００が用いられているが、実施の形態２〜
４に示された磁気ヘッド２００、３００、４００および
５００が用いられても良い。記録媒体１１６は、好まし
くはディスクまたはテープである。
【０１０８】レーザー光集光部５０７は、磁気ヘッド１
００に半球形状のＳＩＬレンズまたは回折光学素子（マ
イクロフレネルレンズ）等を貼り付けた構成であっても
良い。
【０１０９】図５（ａ）に示すレーザー光集光部５０７
は、磁気ヘッド１００の基板１０１と兼用され、レーザ
ー光源５１５からのレーザー光５１４に対して透明な材
料が用いられている。ミラ−５１１で反射したレーザー
光５１４は、レーザー光集光部５０７に設けられた回折
光学素子５１２（例えばマイクロフレネルレンズ）によ
り、磁気ギャップ１２０近傍に集光される。このよう
に、レーザー光集光部５０７と磁気ヘッド１００の基板
１０１構成とを兼用すれば、磁気ヘッド１００とレーザ
ー光集光部５０７との一体化が容易となる。
【０１１０】より具体的には、基板１０１として光学ガ
ラスを用い、光学ガラスにマイクロフレネルレンズ加工
した後、その表面にＡｇ等の金属反射膜を設けること
で、レーザー光集光部５０７が形成される。
【０１１１】上記のような方法で磁気ヘッド１００とレ
ーザー光集光部５０７が一体となった構成が可能なの
は、本発明の磁気ヘッド１００が膜厚方向１０２をトラ
ック幅方向１１２と同一としているためである。そのこ
とにより、基板１０１を上記のようにレーザー光集光部
５０７と兼用することが可能となる。また、半球形状の
ＳＩＬレンズまたは回折光学素子等を磁気ヘッド１００
に貼り付けたりすることが可能となる。このような構成
は、従来の磁気ヘッドの膜厚方向がトラック幅方向と垂
直な構成では幾何学的に不可能であり、図１３や図１４
のように磁気ヘッドを２つ使用するか、レーザー光と磁
気ヘッドを記録媒体の上下に配置しなければならなかっ
た。
【０１１２】なお、図５（ａ）に示す記録再生装置６０
０は、スライダ５１３を備えているが、基板１０１をス
ライダーとして兼用しても良い。
【０１１３】また、レーザー光５１４は光ファイバを用
いてレーザー光集光部５０７に導びかれても良い。
【０１１４】また、記録再生装置６００において光磁気
記録を行わなわず、磁気記録のみを行う場合は、レーザ
ー光集光部５０７は備えていなくてもよい。
【０１１５】記録媒体１１６に設けられる磁性層１１７
として、補償温度とキュリー温度を有する材料が用いら
れる。例えば、希土類金属と遷移金属より成る非晶質膜
が磁性層１１７として用いられる。ただし一般的な光磁
気記録とは異なり、磁性層１１７がカ−（Ｋｅｒｒ）効
果を示す必要は全くない。
【０１１６】磁性層１１７は、単層膜である場合、レー
ザー光５１４が照射されない室温では保磁力が大きく、
レーザー光５１４の照射により温度が上昇すると保磁力
が低下する特性を有することが必要である。再生時にも
必要であればレーザー光５１４を照射して磁気抵抗効果
素子による読み取りを行うが、この場合は、レーザー光
５１４の照射により温度が上昇すると、磁性層１１７の
磁化が増加して記録媒体１１６からの漏れ磁界が大きく
なる磁性層１１７を用いることが望ましい。
【０１１７】また、図５（ｂ）に示すように、磁性層１
１７を２層として、室温で保磁力が大きい記録用磁性層
１１９と、これと磁気的に結合させた室温で磁化の大き
な再生用磁性層１１８が設けられても良い。
【０１１８】以上の条件を満足するには、磁性層１１７
が単層膜であれば、記録時に重要な補償温度が室温もし
くは室温以上１００℃以下にあり、かつ再生時に重要な
キュリー温度が２００〜３００℃にある記録媒体用磁性
膜を用いることが望ましい。
【０１１９】磁性層１１７を２層とする場合は、記録用
磁性層１１９の補償点が室温以上１００℃以下で、再生
用磁性層１１８はレーザー照射時の温度で大きな磁化を
示す比較的キュリ−温度の高いものが望ましい。しか
し、あまり再生用磁性層１１８のキュリ−温度を高くし
ても、記録用磁性層１１９のキュリ−温度が低いと意味
がないので、両者の特性をバランス良く設定することが
必要である。
【０１２０】具体的には、記録用磁性層１１９には室温
での保磁力が大きく、補償点を室温以上１００℃以下に
設定可能なＴｂＦｅ膜か、ＴｂＦｅ膜よりキュリ−温度
が高いＴｂＦｅＣｏ膜等が望ましい。再生用磁性層１１
８にはキュリ−温度が高く、レーザー照射時に大きな磁
化を示すＧｄＦｅＣｏ膜等を用いることが望ましい。
【０１２１】また、磁性層１１７には、従来のＦｅ、Ｃ
ｏ等の遷移金属を主成分とする磁性層、例えばＣｏＣ
ｒ、ＣｏＰｔ、ＣｏＣｒＰｔ、ＣｏＣｒＴａ、ＣｏＴａ
ＣｒＰｔ、ＦｅＰｔ等を主成分とする磁性層を用いても
良い。
【０１２２】また、記録媒体１１６として、室温で記録
可能な垂直記録媒体を用いれば、レーザー光５１４等の
アシストが必要でなく、実施の形態１〜４に示された磁
気ヘッド１００、２００および５００のみで、情報の書
き込みが可能である。
【０１２３】記録媒体１１６として、室温では容易に記
録できない記録媒体を用いる場合は、レーザー光５１４
等を照射して、記録媒体１１６の温度を上昇させ、その
保磁力を低下させて記録を行う。上述の希土類非晶質材
料と異なり、Ｆｅ、Ｃｏ等の遷移金属を主成分とする磁
性層は、室温でも、また、温度が上昇しても飽和磁化は
ある程度大きい。従って、室温でも、また、レーザー光
照射時でも磁気抵抗効果素子により信号の再生が可能で
ある。
【０１２４】本発明の磁気ヘッド１００、２００および
５００を用いてこれらの記録媒体に記録する際は、面内
記録媒体よりも垂直記録媒体を用いる方が記録パターン
のトラック幅方向のフリンジング（にじみ）が少なくよ
り好ましい。
【０１２５】更に記録媒体として、図６に示すような、
非磁性マトリックス６０１の中に設けられ、互いに磁気
的に分離された均一な磁性膜微細ドット６０２より構成
される記録媒体６１６を用いれば、よりフリンジングが
少なく好ましいものとなる。
【０１２６】また、本発明に用いられる記録媒体として
は、ランダムアクセスを可能とするにはディスク形状で
あることが望ましいが、ハードディスク等のバックアッ
プ用のストリーマーには記録媒体にテープを用いること
が望ましい。
【０１２７】本発明の記録再生装置に用いられる記録媒
体としてテープを用いる場合にも、本発明の磁気ヘッド
は極めて有効である。この場合、テープのトラック幅は
ディスク記録媒体よりも比較的大きいので、本発明の磁
気ヘッド１００、２００、３００、４００および５００
に用いられる軟磁性膜の膜厚もそれに対応して厚くすれ
ば良い。
【０１２８】従来のＮｉＦｅやＧＭＲ膜を用いたヨーク
型ＭＲヘッドでは、磁気抵抗効果素子をテープ媒体に近
接して配置しないと再生効率が低下するが、磁気抵抗効
果素子をテープに接触させると摩擦が大きく、磁気抵抗
効果素子が摩耗してしまう課題があった。しかし、本発
明の磁気ヘッドは再生効率が高いので、磁気抵抗効果素
子を比較的テープ媒体から離して設けることが可能で、
なおかつ磁気ヘッドの再生効率がほとんど低下しない磁
気ヘッドを実現することができる。
【０１２９】（実施の形態６）図７に、本発明の実施の
形態６における記録再生装置７００を示す。図７（ａ）
は、記録再生装置７００の斜視図であり、図７（ｂ）
は、記録再生装置７００が備える副駆動手段７５０の斜
視図である。
【０１３０】記録再生装置７００は、磁気ヘッド７１０
が備えられた副駆動手段７５０と、副駆動手段７５０を
支持するスライダ７１３と、スライダ７１３を支持する
アーム７６０と、アーム７６０を駆動する主駆動装置７
７０と、記録媒体１１６と、信号処理装置７８０とを備
える。
【０１３１】磁気ヘッド７１０として、実施の形態１〜
４に示された磁気ヘッド１００、２００、３００、４０
０および５００の何れかが用いられる。
【０１３２】また、磁気ヘッド７１０をトラッキングす
る主駆動装置７７０として、例えばリニア駆動機構が用
いられる。
【０１３３】記録媒体１１６はディスク形状であり、矢
印７１４の方向に回転する。
【０１３４】図７（ｂ）に示すように、副駆動手段７５
０は、駆動体７３０および７４０と、駆動体７３０およ
び７４０により駆動される可動体７２０とを備え、磁気
ヘッド７１０は、可動体７２０上に設けられている。
【０１３５】記録再生装置７００においては、磁気ヘッ
ド７１０と同一方向の構成面に、これを微動させる副駆
動手段７５０を設けた構成としているため、磁気ヘッド
７１０の製作プロセスと副駆動手段７５０の製作プロセ
スとを同一の基板面で行うことが可能となり、その製作
は容易である。また、この場合は、磁気ヘッド７１０の
基板と可動体７２０とが共有されることが好ましい。同
様に、図５に示すようなレーザー光集光部５０７と可動
体７２０とが共有されても良い。
【０１３６】記録再生装置７００においては、駆動体７
３０および７４０、可動体７２０は薄膜で構成されてお
り、薄膜の厚み方向のたわみを利用して磁気ヘッド７１
０を容易にそのトラッキング方向に駆動することができ
る。
【０１３７】さらに、図７（ｂ）に示すように、駆動体
７３０および７４０を複数設けることにより磁気ヘッド
７１０を記録媒体１１６のトラック幅方向と垂直な方向
７１２にも微動させることができ、磁気ヘッド７１０と
記録媒体１１６との間隔を制御することもできる。駆動
体７３０および７４０は、圧電方式、静電方式または電
磁方式のいずれかで構成される。とくに、駆動体７３０
および７４０として、薄膜よりなる圧電体を用いた場合
は、低電圧駆動でかつ高い分解能で磁気ヘッド７１０の
トラッキングを行うことができる。
【０１３８】記録再生装置７００においては、磁気ヘッ
ド７１０をそれぞれ備えた複数のスライダ７１３が、ほ
ぼ等間隔に配置されている。主駆動装置７７０により駆
動すべき範囲は、この配置間隔の距離となる。複数の磁
気ヘッド７１０を備えることにより、主駆動装置７７０
と副駆動手段７５０との駆動距離のダイナミックレンジ
を下げることができ、ｎｍオーダを要求されるトラッキ
ング精度を確保することが容易となる。また、複数の磁
気ヘッド７１０を連携して記録再生させることにより、
記録再生の高速化や高信頼化を実現することができる。
【０１３９】（実施の形態７）本発明の実施の形態７と
して、実施の形態１で示した磁気ヘッド１００の作製方
法を示す。
【０１４０】図１を参照して、基板１０１として光学ガ
ラス基板を用い、基板１０１上にスパッタリングでＣｏ
ＮｂＺｒ／ＮｉＦｅ／ＣｏＦｅの積層膜を成膜し、パタ
−ニングして磁気ヘッドコア１３０の下部と磁気ギャッ
プ１２０を作製した。この時磁気ヘッドコア１３０の膜
厚を０．０８μｍ、磁気ギャップ１２０の長さを０．０
８μｍとした。
【０１４１】次にＡｌを、磁気ヘッドコア１３０上にス
パッタリングで成膜し、これをプラズマ酸化してＡｌ2
Ｏ3膜とし、更にこの上にスパッタリングによりＣｏＦ
ｅ／ＩｒＭｎ積層膜を成膜した。これらをパタ−ニング
してＡｌ2Ｏ3より成る絶縁層１８５とＣｏＦｅ／ＩｒＭ
ｎより成るピン層１９０を形成した。
【０１４２】次にＡｕ膜を、磁気ヘッドコア１３０上お
よびピン層１９０上にスパッタリングで成膜した後、パ
タ−ニングしてリ−ド部１６０および１６１を作製し
た。磁気ヘッドコア１３０上をＡｌ2Ｏ3絶縁膜でコ−テ
ィングした後、Ａｕ膜を成膜し、パタ−ニングして巻き
線１４０を作製し、更にこの上にＡｌ2Ｏ3絶縁膜を設け
た。このＡｌ2Ｏ3絶縁膜にスル−ホ−ルを開けた後、Ｃ
ｏＮｂＺｒをスパッタして磁気ヘッドコア１３０上部を
形成し、上記の作製したＣｏＮｂＺｒ／ＮｉＦｅ／Ｃｏ
Ｆｅより成る磁気ヘッドコア１３０下部と磁気ヘッドコ
ア１３０上部とが接合されることにより、磁気ヘッドコ
ア１３０全体が形成される。
【０１４３】更に、磁気ヘッド１００の構成要素表面全
体をＡｌ2Ｏ3絶縁膜でコ−ティングした後、機械加工で
平坦化した。
【０１４４】次に、図５に示したレーザー光集光部５０
７を、光学ガラス基板である基板１０１上に作製した。
【０１４５】レーザー光集光部５０７は、基板１０１裏
面にレジストを付け、ステッパを用いたホトリソグラフ
ィによる加工を施し、基板１０１に回折光学素子５１２
としてマイクロフレネルレンズを形成し、その後その表
面にＡｇ膜の金属反射膜を設けて作製した。
【０１４６】次に、図５に示した記録媒体１１６の作製
方法を示す。
【０１４７】ディスク基板上に補償点が約６０℃のＴｂ
ＦｅＣｏと、キュリ−温度が約２８０℃のＧｄＦｅＣｏ
の積層膜より成るＴｂＦｅＣｏ／ＧｄＦｅＣｏを順次ス
パッタリングで成膜し、記録媒体１１６の磁性層１１７
を形成した。
【０１４８】以上のようなプロセスで作製した磁気ヘッ
ド１００および記録媒体１１６を備えた記録再生装置の
動作試験を行った。
【０１４９】レーザー光源には波長６８０ｎｍの市販品
を用い、記録媒体１１６にレーザー光５１４を照射しな
がら、磁気ヘッド１００により記録媒体１１６に信号の
記録を行った。
【０１５０】次に、ＭＦＭにより記録媒体１１６の記録
パタ−ンを観察し、最高でトラック幅約０．０８μｍ、
ビット長約０．０５μｍの記録が出来るのを確認した。
【０１５１】次に、レーザー光５１４を記録媒体１１６
に照射しながら磁気抵抗効果素子１５０により読み出し
を行い、上記記録された信号の読み出しが可能なことを
確認した。
【０１５２】上記で示した記録再生装置の記録密度は、
従来のトラック幅約０．８μｍ、ビット長０．１μｍの
記録密度を大幅に上回り、１００Ｇｂ／ｉｎｃｈ2以上
の超高密度記録を可能とするものである。
【０１５３】（実施の形態８）本発明の実施の形態８と
して、実施の形態２で示した磁気ヘッド２００および３
００の作製方法を示す。
【０１５４】図２を参照して、基板２０１としてシリコ
ン基板を用い、基板２０１上の磁気ヘッド２００の磁気
ヘッドコア２３０が形成される位置に、スパッタリング
でＡｕ膜をパタ−ニングした。更にＡｕ膜上にＡｌ2Ｏ3
絶縁膜を成膜して、磁気ヘッド２００の巻き線２４０の
下部を形成した。
【０１５５】磁気ヘッド２００の磁気ヘッドコア２３０
にはＦｅＴａＮ膜を、磁気ヘッド３００の磁気ヘッドコ
ア２３１にはＣｏＮｂＺｒ／ＮｉＦｅ／ＣｏＦｅの積層
膜を成膜し、パタ−ニングして磁気ヘッドコア２３０、
２３１および磁気ギャップ２２０、２２１を作製した。
この時、トラック幅となる磁気ヘッドコア２３０および
２３１の領域（２１０、２１１、２１３および２１４）
の膜厚を０．１μｍ、磁気ギャップ２２０の長さを０．
１０μｍ、磁気ギャップ２２１の長さをを０．０８μｍ
とした。また、磁気ヘッドコア２３０の巻線２４０周辺
領域の最大の膜厚を１μｍとした。
【０１５６】次に、磁気ヘッドコア２３１上にＡｌをス
パッタリングで成膜し、これをプラズマ酸化してＡｌ2
Ｏ3膜とし、絶縁層２８５を形成した。更に、この上に
スパッタリングによりＣｏＦｅ／ＰｔＭｎ積層膜を成膜
し、これらをパタ−ニングしてピン層２９０を形成し、
磁気抵抗効果素子２５０を作製した。
【０１５７】次に、スパッタリングで磁気ヘッドコア２
３１上およびピン層２９０上にＰｔ膜を成膜した後パタ
−ニングして、磁気抵抗効果素子２５０に接続されるリ
−ド部２６０と磁気ヘッドコア２３１に接続されるリ−
ド部２６１を形成した。更に磁気ヘッド３００の構成要
素全体をＡｌ2Ｏ3絶縁膜でコーティングした後、機械加
工で平坦化することにより、磁気ヘッド３００が作製さ
れた。
【０１５８】一方、磁気ヘッド２００は、磁気ヘッドコ
ア２３０全体をＡｌ2Ｏ3絶縁膜でコ−ティングした後、
その上にＡｕ膜を成膜しこれをパタ−ニングして、前も
って作製しておいた上述の巻き線２４０下部と接合して
巻き線２４０を完成させた。
【０１５９】更に、磁気ヘッド３００の構成要素全体を
Ａｌ2Ｏ3絶縁膜でコ−ティングした後、機械加工で平坦
化することにより、磁気ヘッド３００が作製された。
【０１６０】ここで述べた巻き線２４０の形成法は色々
あるが、図８にその一例を示す。
【０１６１】図８（ａ）に示すように、基板（図示せ
ず）上にＡｕ等の導電膜を成膜後、パタ−ニングして巻
き線下部２４１を形成する。
【０１６２】次に、図８（ｂ）に示すように、この上に
Ａｌ2Ｏ3等の絶縁膜（図示せず）を成膜した後、磁気ヘ
ッドコア部２３０（点線部分）を成膜する。更に、Ａｌ
2Ｏ3等の絶縁膜で磁気ヘッドコア部２３０を絶縁コ−テ
ィングし、絶縁膜２３５で覆われた２３０を形成する。
【０１６３】次に、図８（ｃ）に示すように、絶縁膜２
３５上にＡｕ等の導電膜を成膜してパタ−ニングし、巻
き線上部２４２を形成し、巻き線下部２４１と巻き線上
部２４２とが接合されることにより巻き線２４０が形成
される。
【０１６４】図９に示すような、上記のようにして作製
した磁気ヘッド２００および３００を支持するスライダ
８１３と、ＣｏＣｒＰｔの磁性層１１７を有するディス
ク形状の記録媒体１１６と、サ−ボ部８７０と、信号処
理部８８０とを備えた記録再生装置８００を作製し、動
作試験を行った。
【０１６５】磁気ヘッド２００により、記録媒体１１６
にトラック幅約０．１μｍ、ビット長約０．０５μｍの
記録を行ない、ＭＦＭにより所望の記録パタ−ンが記録
されているのを確認した。
【０１６６】その後、磁気ヘッド３００により記録され
た信号の読み出しを行い、記録ビット長０．０５μｍに
対応する明確な再生波形が観測された。これにより１０
０Ｇｂ／ｉｎｃｈ2級の超高密度記録が可能となること
がわかった。
【０１６７】また、磁気ヘッド２００および３００は同
時に作製される必要は無く、それぞれ別々の基板に単独
で作製されても良い。
【０１６８】また、上記の方法で作製された磁気ヘッド
３００をストリーマーに搭載してテープ記録媒体からの
信号再生試験を１０００時間行ったが、全く再生機能の
劣化が無いことが分かった。
【０１６９】（実施の形態９）本発明の実施の形態９と
して、実施の形態４で示した磁気ヘッド５００の作製方
法を示す。
【０１７０】以下に述べる磁気ヘッド５００の作製ステ
ップにおいては、磁気ヘッド３００が同時に作製される
ことが好ましいが、ここでは、磁気ヘッド５００の作製
方法を明確に示すために、同時に作製される磁気ヘッド
３００の作製ステップの記述を省略した。なお、磁気ヘ
ッド３００は、上記の実施の形態８に示した作製ステッ
プと同様のステップで作製され得る。
【０１７１】以下に磁気ヘッド５００の作製ステップを
示す。
【０１７２】図４を参照して、基板２０１として光学ガ
ラス基板を用い、基板２０１上の磁気ヘッドコア４３０
が設けられる位置にスパッタリングでＡｕをパターニン
グし、更にその上にＡｌ2Ｏ3絶縁膜を成膜し、巻き線４
４０の下部を形成した。
【０１７３】次に、ＦｅＴａＮ膜を磁気ヘッドコア４３
０およびリターンヨーク部４１１として成膜し、パター
ニングして磁気ヘッドコア４３０を形成した。
【０１７４】次に、磁気ヘッドコア４３０全体をＡｌ2
Ｏ3絶縁膜でコーティングした後、その上にＡｕ膜を成
膜し、これをパターニングして巻き線４４０の上部を形
成した。この巻き線４４０の上部と巻き線４４０の下部
とが接合されることにより巻き線４４０が形成される。
【０１７５】更に全体をＡｌ2Ｏ3絶縁膜でコーティング
した後機械加工で平坦化し、磁気ヘッド５００が作製さ
れた。巻き線４４０の作製ステップの詳細は実施の形態
８と同様である。
【０１７６】また、磁気ヘッドコア４３０のトラック幅
となる領域４１０の膜厚を０．０８μｍとし、磁気ヘッ
ドコア４３０の巻き線４４０周囲の膜厚を最大１μｍと
した。
【０１７７】また、磁気ヘッド５００と同時に製作され
る磁気ヘッド３００のトラック幅、即ち軟磁性膜２１３
および２１４の膜厚を０．０７μｍとした。
【０１７８】実施の形態８と同様に、上記のようにして
作製した磁気ヘッド５００および３００を備えた記録再
生装置８００（図９）を作製し、動作試験を行った。本
実施の形態では記録媒体１１６として、Ｃを主成分とす
る非磁性マトリックス内にドットサイズが約５ｎｍのＦ
ｅＰｔ膜を分散させた図６に示すような構造のディスク
形状の記録媒体を用いた。
【０１７９】磁気ヘッド５００により、トラック幅約
０．０８μｍ、ビット長約０．０５μｍの記録を行な
い、ＭＦＭにより所望の記録パターンが記録されている
ことを確認した。
【０１８０】次に、磁気ヘッド５００により記録された
信号の読み出しを試みたところ、ビット長０．０５μｍ
に対応する明確な再生波形が観測された。これにより１
００Ｇｂ／ｉｎｃｈ2級の超高密度記録が可能となるこ
とがわかった。
【０１８１】（実施の形態１０）本発明の実施の形態１
０として、実施の形態６で示した副駆動手段７５０の作
製方法を示す。
【０１８２】図７を参照して、スライダ７１３としてシ
リコン基板を用い、プラズマＣＶＤにてスライダ７１３
上に犠牲層となる２μｍの厚さの非晶質シリコン膜を形
成し、その上に副駆動手段７５０の可動部７２０となる
２．５μｍの厚さの結晶質シリコン膜を形成した。
【０１８３】次に、駆動体７３０および７４０となる
２．５μｍの厚さのＰＺＴ圧電膜および０．１μｍの厚
さの上下電極膜Ｐｔをスパッタリングおよび蒸着で形成
し、パターニングを行い副駆動部７５０を作製した。
【０１８４】その後、磁気ヘッド７１０を、上述した作
製方法で作製した。
【０１８５】最後に、上記犠牲層をエッチング除去する
ことにより可動体７２０を可動な構造とした。
【０１８６】このように、磁気ヘッド７１０の基板と同
一の面方向の構成面に、磁気ヘッド７１０を微動させる
副駆動手段７５０を設けた構成としているため、磁気ヘ
ッド７１０の作製プロセスと副駆動手段７５０の作製プ
ロセスとを連続して行うことができる。また、上述のよ
うに磁気ヘッド７１０の基板と可動体７２０と共有する
構成とすると、作製プロセスは、更に簡単になる。
【０１８７】本実施の形態では、駆動体７３０および７
４０として圧電材料が用いられている。この場合、圧電
膜である駆動体７３０および７４０の膜厚方向のたわみ
により磁気ヘッド７１０をトラッキング方向に駆動させ
ることができる。駆動試験においては、駆動体７３０お
よび７４０に±５Ｖの電圧を印加することで、トラッキ
ングに必要とされる約１μｍの変位が得られた。また、
ｎｍオーダーの変位も印加電圧の制御により可能なこと
がわかった。
【０１８８】（実施の形態１１）図１０に、本発明の実
施の形態１１における磁気ヘッド９００を示す。図１０
は、磁気ヘッド９００の斜視図である。
【０１８９】磁気ヘッド９００は、基板９０１上に設け
られ磁気ギャップ９２０を有する磁気ヘッドコア９３０
と、磁気ヘッドコア９３０上に設けられた磁気抵抗効果
素子９５０および９５１と、巻線９４０とを備える。磁
気ヘッド９００が再生専用に用いられる場合は、巻線９
４０は備えていなくても良い。磁気抵抗効果素子９５０
および９５１の構造の詳細な説明は、本実施の形態の説
明の簡便化のために省略するが、垂直電流型磁気抵抗素
子構造のＴＭＲ素子あるいはＧＭＲ素子であり、好まし
くは実施の形態１で示した磁気抵抗効果素子１５０と同
一の構造である。
【０１９０】本実施の形態では、磁気ヘッド９００に磁
気抵抗効果素子が２つ備えられている。
【０１９１】本実施の形態では、少なくとも２つの磁気
抵抗効果素子９５０および９５１が、１つの磁気ヘッド
コア９３０上に配置されている。図１０に示されるよう
に、２つの磁気抵抗効果素子９５０および９５１が磁気
ギャップ９２０に対して対称の位置に配置されることに
より、外部から導入された信号磁界を大きさが同じで方
向が逆の信号磁界として、２つの磁気抵抗効果素子９５
０および９５１にそれぞれ感知させることができる。こ
の場合、これら２つの磁気抵抗効果素子９５０および９
５１の出力は同じで、その位相が反対となる。従って、
磁気抵抗効果素子９５０および９５１の出力の差を全体
の出力とすれば、出力される信号の大きさは１つの磁気
抵抗効果素子のときの２倍になる。また、感知されるノ
イズ成分は、位相が反対であるのでキャンセルされ、良
好なＳ／Ｎ比を得ることができる。
【０１９２】このように、２つ以上の磁気抵抗効果素子
が信号磁場を感知することにより、熱ノイズや非対称課
題などを緩和することができる。
【０１９３】
【発明の効果】上述のように、本発明によれば、信号の
記録再生に用いられる磁気ヘッドにおいて、磁気ヘッド
コアを構成する軟磁性膜の膜厚方向を記録媒体のトラッ
ク幅方向と同じにすることにより、従来では困難であっ
た磁気ヘッドにおける０．１μｍ以下のトラック幅加工
も容易に実現することができる。
【０１９４】また、本発明によれば、信号の記録再生に
用いられる磁気ヘッドにおいて、磁気ヘッドコアを構成
する軟磁性膜を、磁気ヘッドコアおよび磁気抵抗効果素
子のフリー層として共有することにより、磁気抵抗効果
素子のフリ−層へ効率よく信号磁束を導くことが可能と
なる。
【０１９５】本発明によれば、従来のＨＤＤや光磁気デ
ィスクでは不可能である１００Ｇｂ／ｉｎｃｈ2級の超
高密度記録を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明の実施の形態１における磁気ヘ
ッドの斜視図、（ｂ）はその上面図
【図２】本発明の実施の形態２における磁気ヘッドの斜
視図
【図３】本発明の実施の形態３における磁気ヘッドの斜
視図
【図４】本発明の実施の形態４における磁気ヘッドの斜
視図
【図５】（ａ）は本発明の実施の形態５における記録再
生装置の断面図、（ｂ）は記録媒体の一例の断面図
【図６】本発明の実施の形態５の一例である記録媒体の
斜視図
【図７】（ａ）は、本発明の実施の形態６における記録
再生装置の斜視図、（ｂ）は副駆動手段の斜視図
【図８】本発明の実施の形態８における磁気ヘッド作製
プロセスの一例を示す上面図
【図９】本発明の実施の形態８および９における記録再
生装置の斜視図
【図１０】本発明の実施の形態１１における磁気ヘッド
の斜視図
【図１１】従来のＨＤＤを示す断面図
【図１２】従来の光磁気ディスク装置を示す断面図
【図１３】従来の記録再生装置の断面図
【図１４】従来の記録再生装置の断面図
【符号の説明】
１００ 磁気ヘッド １０２ 膜厚方向 １１０、１１１ 軟磁性膜 １１２ トラック幅方向 １１６ 記録媒体 １１７ 磁性層 １２０ 磁気ギャップ １３０ 磁気ヘッドコア １４０ 巻き線 １５０ 磁気抵抗効果素子 １６０、１６１ リ−ド部 １８０ フリ−層 １８５ 絶縁層 １９０ ピン層 ５０７ レーザー光集光部 ５１１ ミラ−部 ５１２ 回折光学素子 ５１３ スライダ ５１４ レーザー光
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ１１Ｂ 5/66 Ｇ１１Ｂ 5/66 11/10 ５０２ 11/10 ５０２Ｚ 11/105 ５５１ 11/105 ５５１Ａ (72)発明者 横山 和夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 平本 雅祥 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 5D006 BB01 BB02 BB05 EA03 FA09 5D033 AA01 AA02 BA12 BB43 5D034 AA02 BA05 BA18 BB12 CA08 5D075 AA03 CD17 CD18

Claims (63)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 記録媒体に記録された信号を再生する磁
    気ヘッドであって、 基板と、 該基板上に設けられた、磁気ギャップを有する磁気ヘッ
    ドコアと、 該磁気ヘッドコア上に設けられた第１の磁気抵抗効果素
    子と、を備え、 該磁気ヘッドコアは、該磁気ヘッドコアの該磁気ギャッ
    プ周囲の膜厚方向と、該記録媒体のトラック幅方向とが
    同じ方向となるように設けられる、磁気ヘッド。
  2. 【請求項２】 前記磁気ヘッドコア上に設けられた第２
    の磁気抵抗効果素子を更に備える、請求項１に記載の磁
    気ヘッド。
  3. 【請求項３】 前記第２の磁気抵抗効果素子は、前記磁
    気ギャップに対して、前記第１の磁気抵抗効果素子と対
    称の位置に設けられる、請求項２に記載の磁気ヘッド。
  4. 【請求項４】 前記磁気ヘッドコアの少なくとも一部を
    囲むように設けられた巻き線を更に備え、該巻き線が磁
    場を発生することにより前記記録媒体に信号を記録す
    る、請求項１に記載の磁気ヘッド。
  5. 【請求項５】 前記第１の磁気抵抗効果素子が、 前記磁気ヘッドコア上に設けられた第１の絶縁層と、 該第１の絶縁層に対して該磁気ヘッドコアの反対側に設
    けられた、容易に磁化回転しない第１のピン層と、を備
    え、 該磁気ヘッドコアは、少なくとも該第１の絶縁層と対応
    する位置に第１の軟磁性層を備え、該第１の軟磁性層
    は、該第１の磁気抵抗効果素子の容易に磁化回転する第
    １のフリー層として用いられる、請求項１に記載の磁気
    ヘッド。
  6. 【請求項６】 前記第２の磁気抵抗効果素子が、 前記磁気ヘッドコア上に設けられた第２の絶縁層と、 該第２の絶縁層に対して該磁気ヘッドコアの反対側に設
    けられた、容易に磁化回転しない第２のピン層と、を備
    え、 該磁気ヘッドコアは、少なくとも該第２の絶縁層と対応
    する位置に第２の軟磁性層を備え、該第２の軟磁性層
    は、該第２の磁気抵抗効果素子の容易に磁化回転する第
    ２のフリー層として用いられる、請求項２に記載の磁気
    ヘッド。
  7. 【請求項７】 前記第１の軟磁性層と前記第２の軟磁性
    層とが同一の軟磁性層である、請求項６に記載の磁気ヘ
    ッド。
  8. 【請求項８】 前記磁気ヘッドギャップ近傍の前記記録
    媒体の領域を加熱するレーザー光集光部を更に備えた、
    請求項１または２に記載の磁気ヘッド。
  9. 【請求項９】 前記基板が前記レーザー光集光部である
    請求項８に記載の磁気ヘッド。
  10. 【請求項１０】 前記レーザー光集光部が回折光学素子
    を備える請求項８に記載の磁気ヘッド。
  11. 【請求項１１】 前記回折光学素子がフレネルレンズで
    ある請求項１０に記載の磁気ヘッド。
  12. 【請求項１２】 前記磁気ヘッドコアは、少なくともＮ
    ｉＦｅ（−Ｃｏ）、ＣｏＦｅ、ＣｏＦｅＢおよびＣｏＮ
    ｂＺｒの何れかからなる、請求項１に記載の磁気ヘッ
    ド。
  13. 【請求項１３】 前記第１のピン層は、ＰｔＭｎ、Ｉｒ
    ＭｎまたはＮｉＭｎによりピンニングされたＣｏまたは
    ＣｏＦｅからなる、請求項５に記載の磁気ヘッド。
  14. 【請求項１４】 前記第２のピン層は、ＰｔＭｎ、Ｉｒ
    ＭｎまたはＮｉＭｎによりピンニングされたＣｏまたは
    ＣｏＦｅからなる、請求項６に記載の磁気ヘッド。
  15. 【請求項１５】 請求項１または２に記載の磁気ヘッド
    と、 第１の磁性層が設けられた前記記録媒体と、を備えた、
    記録再生装置。
  16. 【請求項１６】 前記第１の磁性層が補償温度とキュリ
    ー温度とを有する、請求項１５に記載の記録再生装置。
  17. 【請求項１７】 前記補償温度が室温から約１００℃の
    間であり、前記キュリー温度が約２００℃から約３００
    ℃の間である請求項１６に記載の記録再生装置。
  18. 【請求項１８】 前記第１の磁性層が、記録用の第２の
    磁性層と再生用の第３の磁性層とを有する請求項１５に
    記載の記録再生装置。
  19. 【請求項１９】 前記記録媒体が、磁気的に互いに隔離
    された微細磁性膜ドットを備える、請求項１５に記載の
    記録再生装置。
  20. 【請求項２０】 前記記録媒体が垂直磁気記憶媒体であ
    る、請求項１５に記載の記録再生装置。
  21. 【請求項２１】 前記記録媒体がディスクである、請求
    項１５に記載の記録再生装置。
  22. 【請求項２２】 前記記録媒体がテープである、請求項
    １５に記載の記録再生装置。
  23. 【請求項２３】 前記基板を支持する支持手段を駆動す
    る第１の駆動手段と、 該基板上に設けられ、該磁気ヘッドを微駆動する第２の
    駆動手段と、を備える、請求項１５に記載の記録再生装
    置。
  24. 【請求項２４】 前記第２の駆動手段が薄膜で構成さ
    れ、該薄膜の厚み方向の変位により前記磁気ヘッドを微
    駆動する、請求項２３に記載の記録再生装置。
  25. 【請求項２５】 前記第２の駆動手段が、圧電方式、静
    電方式または電磁方式の何れかにより駆動される、請求
    項２３に記載の記録再生装置。
  26. 【請求項２６】 複数の前記磁気ヘッドを備え、 複数の該磁気ヘッドを前記第１の駆動手段により同時に
    駆動する、請求項２３に記載の記録再生装置。
  27. 【請求項２７】 前記第１の磁性層は、少なくともＣｏ
    Ｃｒ、ＣｏＰｔ、ＣｏＣｒＰｔ、ＣｏＣｒＴａ、ＣｏＴ
    ａＣｒＰｔ、ＦｅＰｔ、ＴｂＦｅ、ＴｂＦｅＣｏおよび
    ＧｄＦｅＣｏの何れかからなる、請求項１５に記載の記
    録再生装置。
  28. 【請求項２８】 前記第２の磁性層は、ＴｂＦｅまたは
    ＴｂＦｅＣｏからなり、前記第３の磁性層は、ＧｄＦｅ
    Ｃｏからなる、請求項１８に記載の記録再生装置。
  29. 【請求項２９】 記録媒体に記録された信号を再生する
    磁気ヘッドであって、 基板と、 該基板上に設けられた、磁気ギャップを有する磁気ヘッ
    ドコアと、 該磁気ヘッドコア上に設けられた第１の磁気抵抗効果素
    子と、を備え、 該第１の磁気抵抗効果素子が、 前記磁気ヘッドコア上に設けられた第１の絶縁層と、 該第１の絶縁層に対して該磁気ヘッドコアの反対側に設
    けられた、容易に磁化回転しない第１のピン層と、を備
    え、 該磁気ヘッドコアは、少なくとも該第１の絶縁層と対応
    する位置に第１の軟磁性層を備え、該第１の軟磁性層
    は、該第１の磁気抵抗効果素子の容易に磁化回転する第
    １のフリー層として用いられる、磁気ヘッド。
  30. 【請求項３０】 前記磁気ヘッドコア上に設けられた第
    ２の磁気抵抗効果素子を更に備え、 該第２の磁気抵抗効果素子が、 前記磁気ヘッドコア上に設けられた第２の絶縁層と、 該第２の絶縁層に対して該磁気ヘッドコアの反対側に設
    けられた、容易に磁化回転しない第２のピン層と、を備
    え、 該磁気ヘッドコアは、少なくとも該第２の絶縁層と対応
    する位置に第２の軟磁性層を備え、該第２の軟磁性層
    は、該第２の磁気抵抗効果素子の容易に磁化回転する第
    ２のフリー層として用いられる、請求項２９に記載の磁
    気ヘッド。
  31. 【請求項３１】 前記第２の磁気抵抗効果素子は、前記
    磁気ギャップに対して、前記第１の磁気抵抗効果素子と
    対称の位置に設けられる、請求項３０に記載の磁気ヘッ
    ド。
  32. 【請求項３２】 前記第１の軟磁性層と前記第２の軟磁
    性層とが同一の軟磁性層である、請求項３０に記載の磁
    気ヘッド。
  33. 【請求項３３】 前記磁気ヘッドコアの少なくとも一部
    を囲むように設けられた巻き線を更に備え、該巻き線が
    磁場を発生することにより前記記録媒体に信号を記録す
    る、請求項２９に記載の磁気ヘッド。
  34. 【請求項３４】 前記磁気ヘッドギャップ近傍の前記記
    録媒体の領域を加熱するレーザー光集光部を更に備え
    た、請求項２９または３０に記載の磁気ヘッド。
  35. 【請求項３５】 前記基板が前記レーザー光集光部であ
    る請求項３４に記載の磁気ヘッド。
  36. 【請求項３６】 前記レーザー光集光部が回折光学素子
    を備える請求項３４に記載の磁気ヘッド。
  37. 【請求項３７】 前記回折光学素子がフレネルレンズで
    ある請求項３６に記載の磁気ヘッド。
  38. 【請求項３８】 前記磁気ヘッドコアは、少なくともＮ
    ｉＦｅ（−Ｃｏ）、ＣｏＦｅ、ＣｏＦｅＢおよびＣｏＮ
    ｂＺｒの何れかからなる、請求項２９に記載の磁気ヘッ
    ド。
  39. 【請求項３９】 前記第１のピン層は、ＰｔＭｎ、Ｉｒ
    ＭｎまたはＮｉＭｎによりピンニングされたＣｏまたは
    ＣｏＦｅからなる、請求項２９に記載の磁気ヘッド。
  40. 【請求項４０】 前記第２のピン層は、ＰｔＭｎ、Ｉｒ
    ＭｎまたはＮｉＭｎによりピンニングされたＣｏまたは
    ＣｏＦｅからなる、請求項３０に記載の磁気ヘッド。
  41. 【請求項４１】 請求項２９または３０に記載の磁気ヘ
    ッドと、 第１の磁性層が設けられた前記記録媒体と、を備えた、
    記録再生装置。
  42. 【請求項４２】 前記第１の磁性層が補償温度とキュリ
    ー温度とを有する、請求項４１に記載の記録再生装置。
  43. 【請求項４３】 前記補償温度が室温から約１００℃の
    間であり、前記キュリー温度が約２００℃から約３００
    ℃の間である請求項４２に記載の記録再生装置。
  44. 【請求項４４】 前記第１の磁性層が、記録用の第２の
    磁性層と再生用の第３の磁性層とを有する請求項４１に
    記載の記録再生装置。
  45. 【請求項４５】 前記記録媒体が、磁気的に互いに隔離
    された微細磁性膜ドットを備える、請求項４１に記載の
    記録再生装置。
  46. 【請求項４６】 前記記録媒体が垂直磁気記憶媒体であ
    る、請求項４１に記載の記録再生装置。
  47. 【請求項４７】 前記記録媒体がディスクである、請求
    項４１に記載の記録再生装置。
  48. 【請求項４８】 前記記録媒体がテープである、請求項
    ４１に記載の記録再生装置。
  49. 【請求項４９】 前記基板を支持する支持手段を駆動す
    る第１の駆動手段と、 該基板上に設けられ、該磁気ヘッドを微駆動する第２の
    駆動手段と、を備える、請求項４１に記載の記録再生装
    置。
  50. 【請求項５０】 前記第２の駆動手段が薄膜で構成さ
    れ、該薄膜の厚み方向の変位により前記磁気ヘッドを微
    駆動する、請求項４９に記載の記録再生装置。
  51. 【請求項５１】 前記第２の駆動手段が、圧電方式、静
    電方式または電磁方式の何れかにより駆動される、請求
    項４９に記載の記録再生装置。
  52. 【請求項５２】 複数の前記磁気ヘッドを備え、複数の
    該磁気ヘッドを前記第１の駆動手段により同時に駆動す
    る、請求項４９に記載の記録再生装置。
  53. 【請求項５３】 前記第１の磁性層は、少なくともＣｏ
    Ｃｒ、ＣｏＰｔ、ＣｏＣｒＰｔ、ＣｏＣｒＴａ、ＣｏＴ
    ａＣｒＰｔ、ＦｅＰｔ、ＴｂＦｅ、ＴｂＦｅＣｏおよび
    ＧｄＦｅＣｏの何れかからなる、請求項４１に記載の記
    録再生装置。
  54. 【請求項５４】 前記第２の磁性層は、ＴｂＦｅまたは
    ＴｂＦｅＣｏからなり、前記第３の磁性層は、ＧｄＦｅ
    Ｃｏからなる、請求項４４に記載の記録再生装置。
  55. 【請求項５５】 記録媒体に信号を記録する磁気ヘッド
    であって、 基板と、 該基板上に設けられた、磁気ギャップを有する磁気ヘッ
    ドコアと、 該磁気ヘッドコアの少なくとも一部を囲むように設けら
    れた巻き線と、を備え、 該巻き線が磁場を発生することにより該記録媒体に信号
    を記録する磁気ヘッドであって、 該磁気ヘッドコアは、該磁気ヘッドコアの該磁気ギャッ
    プ周囲の膜厚方向と、該記録媒体のトラック幅方向とが
    同じ方向となるように設けられる、磁気ヘッド。
  56. 【請求項５６】 記録媒体に信号を記録する第１の磁気
    ヘッドと、該記録媒体に記録された信号を再生する第２
    の磁気ヘッドと、を備えた記録再生装置であって、 該第１の磁気ヘッドが、 第１の基板と、 該第１の基板上に設けられた、第１の磁気ギャップを有
    する第１の磁気ヘッドコアと、 該第１の磁気ヘッドコアの少なくとも一部を囲むように
    設けられた巻き線と、を備え、 該第１の磁気ヘッドコアは、該第１の磁気ヘッドコアの
    該第１の磁気ギャップ周囲の膜厚方向と、該記録媒体の
    トラック幅方向とが同じ方向となるように設けられ、 該第２の磁気ヘッドが、 第２の基板と、 該第２の基板上に設けられた、第２の磁気ギャップを有
    する第２の磁気ヘッドコアと、 該第２の磁気ヘッドコア上に設けられた第１の磁気抵抗
    効果素子と、を備え、 該第２の磁気ヘッドコアは、該第２の磁気ヘッドコアの
    該第２の磁気ギャップ周囲の膜厚方向と、該記録媒体の
    トラック幅方向とが同じ方向となるように設けられる、
    記録再生装置。
  57. 【請求項５７】 前記第１の基板と前記第２の基板とが
    同一の基板である、請求項５６に記載の記録再生装置。
  58. 【請求項５８】 前記第２の磁気ヘッドコア上に設けら
    れた第２の磁気抵抗効果素子を更に備える、請求項５６
    に記載の記録再生装置。
  59. 【請求項５９】 前記第２の磁気抵抗効果素子は、前記
    第２の磁気ギャップに対して、前記第１の磁気抵抗効果
    素子と対称の位置に設けられる、請求項５８に記載の記
    録再生装置。
  60. 【請求項６０】 記録媒体に信号を記録する第１の磁気
    ヘッドと、該記録媒体に記録された信号を再生する第２
    の磁気ヘッドと、を備えた記録再生装置であって、 該第１の磁気ヘッドが、 第１の基板と、 該第１の基板上に設けられた、第１の磁気ギャップを有
    する第１の磁気ヘッドコアと、 該第１の磁気ヘッドコアの少なくとも一部を囲むように
    設けられた巻き線と、を備え、 該第１の磁気ヘッドコアは、該第１の磁気ヘッドコアの
    該第１の磁気ギャップ周囲の膜厚方向と、該記録媒体の
    トラック幅方向とが同じ方向となるように設けられ、 該第２の磁気ヘッドが、 第２の基板と、 該第２の基板上に設けられた、第２の磁気ギャップを有
    する第２の磁気ヘッドコアと、 該第２の磁気ヘッドコア上に設けられた第１の磁気抵抗
    効果素子と、を備え、 該第１の磁気抵抗効果素子が、 該第２の磁気ヘッドコア上に設けられた絶縁層と、 該絶縁層に対して該第２の磁気ヘッドコアの反対側に設
    けられた、容易に磁化回転しないピン層と、を備え、 該第２の磁気ヘッドコアは、少なくとも該絶縁層と対応
    する位置に軟磁性層を備え、該軟磁性層は、該第１の磁
    気抵抗効果素子の容易に磁化回転するフリー層として用
    いられる、記録再生装置。
  61. 【請求項６１】 前記第１の基板と前記第２の基板とが
    同一の基板である、請求項６０に記載の記録再生装置。
  62. 【請求項６２】 前記第２の磁気ヘッドコア上に設けら
    れた第２の磁気抵抗効果素子を更に備える、請求項６０
    に記載の記録再生装置。
  63. 【請求項６３】 前記第２の磁気抵抗効果素子は、前記
    第２の磁気ギャップに対して、前記第１の磁気抵抗効果
    素子と対称の位置に設けられる、請求項６２に記載の記
    録再生装置。
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