JP2001146409A - 炭素ナノチューブのチップオープン方法及び精製方法 - Google Patents
炭素ナノチューブのチップオープン方法及び精製方法Info
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- H01J2201/30446—Field emission cathodes characterised by the emitter material
- H01J2201/30453—Carbon types
- H01J2201/30469—Carbon nanotubes (CNTs)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 物理的エネルギーを用いた炭素ナノチューブ
のチップオープン方法及び精製方法を提供する。 【解決手段】 基板10上に未精製の炭素ナノチューブ
12を垂直に立てて整列する。次いで、整列されている
未精製の炭素ナノチューブ12の所定の高さレベルで、
基板10の主面に対して平行した方向に未精製の炭素ナ
ノチューブ12に物理的エネルギーを印加し、未精製の
炭素ナノチューブ12のチップ部分を除去し、未精製の
炭素ナノチューブ12のチップ部分及び外壁に存在する
不要な物質を除去する。
のチップオープン方法及び精製方法を提供する。 【解決手段】 基板10上に未精製の炭素ナノチューブ
12を垂直に立てて整列する。次いで、整列されている
未精製の炭素ナノチューブ12の所定の高さレベルで、
基板10の主面に対して平行した方向に未精製の炭素ナ
ノチューブ12に物理的エネルギーを印加し、未精製の
炭素ナノチューブ12のチップ部分を除去し、未精製の
炭素ナノチューブ12のチップ部分及び外壁に存在する
不要な物質を除去する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は炭素ナノチューブ
(carbon nanotubes)の製造方法に係り、特に炭素ナ
ノチューブのチップ(tip)オープン方法及び精製方法
に関する。
(carbon nanotubes)の製造方法に係り、特に炭素ナ
ノチューブのチップ(tip)オープン方法及び精製方法
に関する。
【0002】
【従来の技術】通常、炭素ナノチューブはその直径が数
nmほどと極小で、横縦比(aspect ratio)が10〜10
00ほどと極細な円筒形の材料である。炭素ナノチュー
ブにおいて1つの炭素原子は3つの他の炭素原子と結合
しており、六角形の蜂の巣紋をなしている。炭素ナノチ
ューブはその構造に応じて金属的な導電性または半導体
的な導電性を有する材料であって、多様な技術分野に幅
広く応用できると期待される物質である。
nmほどと極小で、横縦比(aspect ratio)が10〜10
00ほどと極細な円筒形の材料である。炭素ナノチュー
ブにおいて1つの炭素原子は3つの他の炭素原子と結合
しており、六角形の蜂の巣紋をなしている。炭素ナノチ
ューブはその構造に応じて金属的な導電性または半導体
的な導電性を有する材料であって、多様な技術分野に幅
広く応用できると期待される物質である。
【0003】炭素ナノチューブは非常に大きな強度を有
し、優れた電子放出能力を有するものと知られている。
炭素ナノチューブのこのような性質によって平板ディス
プレーなど多様な素子の製造に応用できる限り最も理想
的な材料として評価されている。
し、優れた電子放出能力を有するものと知られている。
炭素ナノチューブのこのような性質によって平板ディス
プレーなど多様な素子の製造に応用できる限り最も理想
的な材料として評価されている。
【0004】電子(electron)は炭素ナノチューブの側
面でない端部から主に放出される。従って、炭素ナノチ
ューブが電子素子に応用されるためには炭素ナノチュー
ブにおける電子放出特性を向上させるために炭素ナノチ
ューブはこれらが成長される基板上に垂直に整列される
べきである。
面でない端部から主に放出される。従って、炭素ナノチ
ューブが電子素子に応用されるためには炭素ナノチュー
ブにおける電子放出特性を向上させるために炭素ナノチ
ューブはこれらが成長される基板上に垂直に整列される
べきである。
【0005】最近、炭素ナノチューブを垂直に整列させ
て成長させるための大量合成方法が多様に提案された。
そのうち、触媒を用いるCVD(Chemical Vapor Depositi
on)技術によって成長される炭素ナノチューブはチップ
部分で配向角度と長さが多様に形成されてこれを調節す
る必要がある。また、炭素ナノチューブのチップ部分で
は炭素ナノチューブの内部の空間に触媒金属粒子が入る
と合成後にそのまま残留してしまうのでこれを除去する
必要がある。
て成長させるための大量合成方法が多様に提案された。
そのうち、触媒を用いるCVD(Chemical Vapor Depositi
on)技術によって成長される炭素ナノチューブはチップ
部分で配向角度と長さが多様に形成されてこれを調節す
る必要がある。また、炭素ナノチューブのチップ部分で
は炭素ナノチューブの内部の空間に触媒金属粒子が入る
と合成後にそのまま残留してしまうのでこれを除去する
必要がある。
【0006】また、炭素ナノチューブの外壁のうち側壁
は六角形(hexagons)のグラファイト(graphite)のみ
で構成されているが、炭素ナノチューブの外壁のうちチ
ップ部分は単純な円筒形を始めとして円錐形または多面
体に至るまで多様に変形された閉管(closed tube)形
態よりなる。その結果、炭素ナノチューブのチップ部分
では原子レベルにおけるトポロジー欠陥(topological
defects)が発生されて歪曲が生じる。
は六角形(hexagons)のグラファイト(graphite)のみ
で構成されているが、炭素ナノチューブの外壁のうちチ
ップ部分は単純な円筒形を始めとして円錐形または多面
体に至るまで多様に変形された閉管(closed tube)形
態よりなる。その結果、炭素ナノチューブのチップ部分
では原子レベルにおけるトポロジー欠陥(topological
defects)が発生されて歪曲が生じる。
【0007】また、いままで開発された炭素ナノチュー
ブの合成方法では炭素ナノチューブの成長と共に炭素ナ
ノ粒子または非晶質炭素粒子のような炭素質材料が副産
物として常に生成され、これら副産物は炭素ナノチュー
ブの外壁に多く存在する。
ブの合成方法では炭素ナノチューブの成長と共に炭素ナ
ノ粒子または非晶質炭素粒子のような炭素質材料が副産
物として常に生成され、これら副産物は炭素ナノチュー
ブの外壁に多く存在する。
【0008】従って、炭素ナノチューブの電子放出特性
を用いて炭素ナノチューブを電子素子に適用するために
は炭素ナノチューブの合成後に炭素ナノチューブの長さ
調節及びチップ形態調節と共に粗生成物の精製過程を経
るべきである。
を用いて炭素ナノチューブを電子素子に適用するために
は炭素ナノチューブの合成後に炭素ナノチューブの長さ
調節及びチップ形態調節と共に粗生成物の精製過程を経
るべきである。
【0009】従来の技術では前述したような問題を解決
するために、大気、酸素雰囲気またはアンモニア雰囲気
下で熱処理を行ったり、プラズマ雰囲気で表面処理を行
う方法を用いた。これら方法は炭素ナノチューブの表面
に付いている炭素粒子の除去には比較的効率的である
が、炭素ナノチューブの長さは調節しにくく、また炭素
ナノチューブのチップ部分にある触媒金属粒子の除去に
は別に効率的でない。
するために、大気、酸素雰囲気またはアンモニア雰囲気
下で熱処理を行ったり、プラズマ雰囲気で表面処理を行
う方法を用いた。これら方法は炭素ナノチューブの表面
に付いている炭素粒子の除去には比較的効率的である
が、炭素ナノチューブの長さは調節しにくく、また炭素
ナノチューブのチップ部分にある触媒金属粒子の除去に
は別に効率的でない。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、単純
な工程によって炭素ナノチューブの長さ調節及びチップ
形態調節が可能な炭素ナノチューブのチップオープン方
法を提供することである。本発明の他の目的は、単純な
工程によって炭素ナノチューブのチップ部分にある触媒
金属粒子及び炭素ナノチューブの外壁に存在する炭素粒
子のような副産物を効率よく除去しうる精製方法を提供
することである。
な工程によって炭素ナノチューブの長さ調節及びチップ
形態調節が可能な炭素ナノチューブのチップオープン方
法を提供することである。本発明の他の目的は、単純な
工程によって炭素ナノチューブのチップ部分にある触媒
金属粒子及び炭素ナノチューブの外壁に存在する炭素粒
子のような副産物を効率よく除去しうる精製方法を提供
することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明に係る炭素ナノチューブのチップオープン方法
では、基板上に未精製の炭素ナノチューブを垂直に立て
て整列する。次いで、整列されている未精製の炭素ナノ
チューブの所定の高さレベルで、基板の主面に対して平
行した方向に未精製の炭素ナノチューブに物理的エネル
ギーを印加し、未精製の炭素ナノチューブのチップ部分
を除去する。
に本発明に係る炭素ナノチューブのチップオープン方法
では、基板上に未精製の炭素ナノチューブを垂直に立て
て整列する。次いで、整列されている未精製の炭素ナノ
チューブの所定の高さレベルで、基板の主面に対して平
行した方向に未精製の炭素ナノチューブに物理的エネル
ギーを印加し、未精製の炭素ナノチューブのチップ部分
を除去する。
【0012】望ましくは、物理的エネルギーを印加する
とき、電流が流れる熱線を使用しうる。このために、さ
きに熱線の高さを微細調整することによって熱線の高さ
を所定の高さレベルに合せた後、所定の高さレベルで未
精製の炭素ナノチューブと熱線とを接触させる。
とき、電流が流れる熱線を使用しうる。このために、さ
きに熱線の高さを微細調整することによって熱線の高さ
を所定の高さレベルに合せた後、所定の高さレベルで未
精製の炭素ナノチューブと熱線とを接触させる。
【0013】未精製の炭素ナノチューブと熱線とを接触
させるために、物理的エネルギーを印加するとき、熱線
を基板の主面に対して平行に移動させたり、または基板
を移動させる。熱線はクロム、タングステン、または耐
熱合金よりなる。
させるために、物理的エネルギーを印加するとき、熱線
を基板の主面に対して平行に移動させたり、または基板
を移動させる。熱線はクロム、タングステン、または耐
熱合金よりなる。
【0014】物理的エネルギーを印加するとき、レーザ
ービームを使用しうる。このために、まずレーザービー
ムが照射される高さを微細調整して所定の高さレベルに
合せた後、所定の高さレベルでレーザービームを未精製
の炭素ナノチューブに照射する。レーザービームの光源
として、例えばKrFレーザー、ArFレーザー、ルビ
ーレーザー、アルゴンレーザー、He−Neレーザーま
たはCO2レーザーを使用しうる。
ービームを使用しうる。このために、まずレーザービー
ムが照射される高さを微細調整して所定の高さレベルに
合せた後、所定の高さレベルでレーザービームを未精製
の炭素ナノチューブに照射する。レーザービームの光源
として、例えばKrFレーザー、ArFレーザー、ルビ
ーレーザー、アルゴンレーザー、He−Neレーザーま
たはCO2レーザーを使用しうる。
【0015】本発明に係る炭素ナノチューブの精製方法
では基板上に未精製の炭素ナノチューブを垂直に立てて
整列する。その後、整列されている未精製の炭素ナノチ
ューブの所定の高さレベルで、基板の主面に対して平行
した方向に未精製の炭素ナノチューブに物理的エネルギ
ーを印加し、未精製の炭素ナノチューブのチップ部分及
び外壁に存在する不要な物質を除去する。物理的エネル
ギーを印加するとき、電流が流れる熱線を未精製の炭素
ナノチューブに接触させたり、レーザービームを未精製
の炭素ナノチューブに照射する。
では基板上に未精製の炭素ナノチューブを垂直に立てて
整列する。その後、整列されている未精製の炭素ナノチ
ューブの所定の高さレベルで、基板の主面に対して平行
した方向に未精製の炭素ナノチューブに物理的エネルギ
ーを印加し、未精製の炭素ナノチューブのチップ部分及
び外壁に存在する不要な物質を除去する。物理的エネル
ギーを印加するとき、電流が流れる熱線を未精製の炭素
ナノチューブに接触させたり、レーザービームを未精製
の炭素ナノチューブに照射する。
【0016】本発明に係る炭素ナノチューブのチップオ
ープン方法及び精製方法では比較的簡単で単純な方法に
よって炭素ナノチューブのチップ形態及び長さを精度よ
く、効率よく調節でき、未精製の炭素ナノチューブのチ
ップ部分に残っていた触媒金属粒子とその外壁に付いて
いた炭素ナノ粒子または非晶質炭素のような副産物が効
率よく除去される。
ープン方法及び精製方法では比較的簡単で単純な方法に
よって炭素ナノチューブのチップ形態及び長さを精度よ
く、効率よく調節でき、未精製の炭素ナノチューブのチ
ップ部分に残っていた触媒金属粒子とその外壁に付いて
いた炭素ナノ粒子または非晶質炭素のような副産物が効
率よく除去される。
【0017】
【発明の実施の形態】次いで、本発明の望ましい実施例
について添付した図面に基づいて詳しく説明する。しか
し、次に例示する本発明の実施例は多様な形態に変形で
き、本発明の範囲が後述する実施例に限定されることで
はない。本発明の実施例は当業者に本発明をさらに完全
に説明するために提供されるものである。
について添付した図面に基づいて詳しく説明する。しか
し、次に例示する本発明の実施例は多様な形態に変形で
き、本発明の範囲が後述する実施例に限定されることで
はない。本発明の実施例は当業者に本発明をさらに完全
に説明するために提供されるものである。
【0018】図1から図3は本発明の望ましい実施例に
係る炭素ナノチューブのチップオープン方法及び精製方
法を説明するために工程順序通り示した断面図である。
まず、図1に示すように、水平方向に延びている大面積
基板10上に未精製の炭素ナノチューブ12を垂直に立
てて整列させる。
係る炭素ナノチューブのチップオープン方法及び精製方
法を説明するために工程順序通り示した断面図である。
まず、図1に示すように、水平方向に延びている大面積
基板10上に未精製の炭素ナノチューブ12を垂直に立
てて整列させる。
【0019】基板10上に垂直に整列された未精製の炭
素ナノチューブ12は通常の炭素ナノチューブ合成方法
を用いて基板10上に炭素ナノチューブを直接成長させ
る方法で得られる。さらに他の方法として、伝導性高分
子または微細孔を用いる通常の方法などを用いて、既に
合成された炭素ナノチューブを基板10上に垂直に立て
る方法で未精製の炭素ナノチューブ12を整列させう
る。
素ナノチューブ12は通常の炭素ナノチューブ合成方法
を用いて基板10上に炭素ナノチューブを直接成長させ
る方法で得られる。さらに他の方法として、伝導性高分
子または微細孔を用いる通常の方法などを用いて、既に
合成された炭素ナノチューブを基板10上に垂直に立て
る方法で未精製の炭素ナノチューブ12を整列させう
る。
【0020】図2を参照すれば、整列されている未精製
の炭素ナノチューブ12の所定の高さレベルで、未精製
の炭素ナノチューブ12の長手方向に垂直に、即ち基板
10の主面に対して平行した方向に物理的エネルギー2
0を印加し、未精製の炭素ナノチューブ12から物理的
エネルギー20が印加された部分を燃焼させる。
の炭素ナノチューブ12の所定の高さレベルで、未精製
の炭素ナノチューブ12の長手方向に垂直に、即ち基板
10の主面に対して平行した方向に物理的エネルギー2
0を印加し、未精製の炭素ナノチューブ12から物理的
エネルギー20が印加された部分を燃焼させる。
【0021】その結果、図3に示すように、未精製の炭
素ナノチューブ12のチップ部分が除去され、各炭素ナ
ノチューブ12の長さが一定になることによって、所望
の長さを有する炭素ナノチューブ12aが得られる。ま
た、物理的エネルギー20の印加によって、未精製の炭
素ナノチューブ12のチップ部分に残っていた触媒金属
粒子も除去され、その外壁に付いていた炭素ナノ粒子ま
たは非晶質炭素のような副産物も共に除去される。従っ
て、物理的エネルギー20の印加後にはチップ部分がよ
く精製された炭素ナノチューブ12aが得られる。
素ナノチューブ12のチップ部分が除去され、各炭素ナ
ノチューブ12の長さが一定になることによって、所望
の長さを有する炭素ナノチューブ12aが得られる。ま
た、物理的エネルギー20の印加によって、未精製の炭
素ナノチューブ12のチップ部分に残っていた触媒金属
粒子も除去され、その外壁に付いていた炭素ナノ粒子ま
たは非晶質炭素のような副産物も共に除去される。従っ
て、物理的エネルギー20の印加後にはチップ部分がよ
く精製された炭素ナノチューブ12aが得られる。
【0022】図4及び図5は各々未精製の炭素ナノチュ
ーブ12に物理的エネルギー20を印加する方法を例示
したものである。以下、これらについてさらに具体的に
説明する。図4は物理的エネルギー20の印加手段とし
て電流の流れる熱線30を使用する場合を示す図面であ
る。両端部が電極32に連結されている熱線30が基板
10の主面に対して平行に延長された状態、即ち水平を
保った状態で、電極高さ調節装置34を用いた微細調整
によって熱線30を上下方向に微細に移動させ、熱線3
0の高さを未精製の炭素ナノチューブ12の所望の高さ
に合せる。その後、熱線30に電流が流れる状態で、熱
線30が所望の高さで前記整列されている未精製の炭素
ナノチューブ12と接触されるように熱線30を基板1
0の主面に対して平行に移動させる。これにより、未精
製の炭素ナノチューブ12の熱線30に接触されている
部分が燃焼される。
ーブ12に物理的エネルギー20を印加する方法を例示
したものである。以下、これらについてさらに具体的に
説明する。図4は物理的エネルギー20の印加手段とし
て電流の流れる熱線30を使用する場合を示す図面であ
る。両端部が電極32に連結されている熱線30が基板
10の主面に対して平行に延長された状態、即ち水平を
保った状態で、電極高さ調節装置34を用いた微細調整
によって熱線30を上下方向に微細に移動させ、熱線3
0の高さを未精製の炭素ナノチューブ12の所望の高さ
に合せる。その後、熱線30に電流が流れる状態で、熱
線30が所望の高さで前記整列されている未精製の炭素
ナノチューブ12と接触されるように熱線30を基板1
0の主面に対して平行に移動させる。これにより、未精
製の炭素ナノチューブ12の熱線30に接触されている
部分が燃焼される。
【0023】本実施例では、熱線30を移動させて熱線
30と未精製の炭素ナノチューブ12とを接触させる場
合について説明したが、逆に熱線30の位置を固定させ
た状態で上面に未精製の炭素ナノチューブ12が整列さ
れている基板10を移動させることによって、熱線30
と未精製の炭素ナノチューブ12とを接触させることも
できる。
30と未精製の炭素ナノチューブ12とを接触させる場
合について説明したが、逆に熱線30の位置を固定させ
た状態で上面に未精製の炭素ナノチューブ12が整列さ
れている基板10を移動させることによって、熱線30
と未精製の炭素ナノチューブ12とを接触させることも
できる。
【0024】熱線30は微細な直径を有する金属、例え
ばクロム、タングステン、または耐熱合金よりなる。熱
線30には必要に応じて多様に調節された電流量を印加
しうる。図2において、回路には電流計36、電圧計3
8が配設されている。
ばクロム、タングステン、または耐熱合金よりなる。熱
線30には必要に応じて多様に調節された電流量を印加
しうる。図2において、回路には電流計36、電圧計3
8が配設されている。
【0025】図3は、物理的エネルギー20の印加手段
として高エネルギーを有するレーザービーム40を使用
する場合を示す図である。支持台46に固定されている
レーザー発振器44に連結されたレーザー銃42からレ
ーザービーム40を基板10の主面に対して平行した経
路、即ち水平方向の経路に沿って照射する。この際、例
えば、微細調整が可能なレバーのような高さ調節装置
(図示せず)を微細に調整することによって、支持台4
6上のレーザー発振器44を上下方向に微細に移動さ
せ、レーザービーム40を未精製の炭素ナノチューブ1
2の所望の高さに照射することができる。レーザービー
ム40が未精製の炭素ナノチューブ12を貫通して照射
されることによって、未精製の炭素ナノチューブ12の
チップ部分がレーザービーム40によって再び除去され
る。
として高エネルギーを有するレーザービーム40を使用
する場合を示す図である。支持台46に固定されている
レーザー発振器44に連結されたレーザー銃42からレ
ーザービーム40を基板10の主面に対して平行した経
路、即ち水平方向の経路に沿って照射する。この際、例
えば、微細調整が可能なレバーのような高さ調節装置
(図示せず)を微細に調整することによって、支持台4
6上のレーザー発振器44を上下方向に微細に移動さ
せ、レーザービーム40を未精製の炭素ナノチューブ1
2の所望の高さに照射することができる。レーザービー
ム40が未精製の炭素ナノチューブ12を貫通して照射
されることによって、未精製の炭素ナノチューブ12の
チップ部分がレーザービーム40によって再び除去され
る。
【0026】レーザービーム40の照射に用いられるレ
ーザー光源として、例えばKrF(248nm)レーザ
ー、ArF(193nm)レーザー、ルビーレーザー、
アルゴンレーザー、He−NeレーザーまたはCO2レ
ーザーを使用することができる。
ーザー光源として、例えばKrF(248nm)レーザ
ー、ArF(193nm)レーザー、ルビーレーザー、
アルゴンレーザー、He−NeレーザーまたはCO2レ
ーザーを使用することができる。
【0027】本明細書及び添付図面には最適の実施例を
開示した。ここには特定の用語が使われたが、これは単
に本発明を説明するために使われたものであって、意味
の限定や発明の範囲を制限するために使われたものでは
ない。
開示した。ここには特定の用語が使われたが、これは単
に本発明を説明するために使われたものであって、意味
の限定や発明の範囲を制限するために使われたものでは
ない。
【0028】本発明に係る炭素ナノチューブのチップオ
ープン方法及び精製方法では、大面積基板上に垂直方向
に立てて整列した未精製の炭素ナノチューブに対して所
望の高さ部分に物理的エネルギーを前記未精製の炭素ナ
ノチューブが整列された基板と平行した方向に印加して
前記未精製の炭素ナノチューブのチップ部分を燃焼して
オープンさせると同時にその長さを調節する。
ープン方法及び精製方法では、大面積基板上に垂直方向
に立てて整列した未精製の炭素ナノチューブに対して所
望の高さ部分に物理的エネルギーを前記未精製の炭素ナ
ノチューブが整列された基板と平行した方向に印加して
前記未精製の炭素ナノチューブのチップ部分を燃焼して
オープンさせると同時にその長さを調節する。
【0029】
【発明の効果】本発明に係る炭素ナノチューブのチップ
オープン方法及び精製方法によれば、比較的に簡単で単
純な方法によって炭素ナノチューブのチップ形態及び長
さを精密で効率よく調節でき、同時に未精製の炭素ナノ
チューブのチップ部分に残っていた触媒金属粒子とその
外壁に付いていた炭素ナノ粒子または非晶質炭素のよう
な副産物も共に除去されて効率的な精製効果が得られ
る。
オープン方法及び精製方法によれば、比較的に簡単で単
純な方法によって炭素ナノチューブのチップ形態及び長
さを精密で効率よく調節でき、同時に未精製の炭素ナノ
チューブのチップ部分に残っていた触媒金属粒子とその
外壁に付いていた炭素ナノ粒子または非晶質炭素のよう
な副産物も共に除去されて効率的な精製効果が得られ
る。
【0030】以上、本発明を望ましい実施例に基づいて
詳しく説明したが、本発明は前記実施例に限定されず、
本発明の技術的な思想の範囲内で当業者によって多様に
変形されうる。
詳しく説明したが、本発明は前記実施例に限定されず、
本発明の技術的な思想の範囲内で当業者によって多様に
変形されうる。
【図1】本発明の一実施例による炭素ナノチューブのチ
ップオープン方法を説明するためにその工程を示す模式
図である。
ップオープン方法を説明するためにその工程を示す模式
図である。
【図2】本発明の一実施例による炭素ナノチューブのチ
ップオープン方法を説明するためにその工程を示す模式
図である。
ップオープン方法を説明するためにその工程を示す模式
図である。
【図3】本発明の一実施例による炭素ナノチューブのチ
ップオープン方法を説明するためにその工程を示す模式
図である。
ップオープン方法を説明するためにその工程を示す模式
図である。
【図4】本発明の一実施例による炭素ナノチューブのチ
ップオープン方法及び精製方法に用いられる物理的エネ
ルギーの印加手段として熱線を使用する場合を示す模式
図である。
ップオープン方法及び精製方法に用いられる物理的エネ
ルギーの印加手段として熱線を使用する場合を示す模式
図である。
【図5】本発明の一実施例による炭素ナノチューブのチ
ップオープン方法及び精製方法に用いられる物理的エネ
ルギーの印加手段としてレーザービームを使用する場合
を示す模式図である。
ップオープン方法及び精製方法に用いられる物理的エネ
ルギーの印加手段としてレーザービームを使用する場合
を示す模式図である。
10 基板 12 炭素ナノチューブ 20 熱線 40 レーザービーム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 柳 在銀 大韓民国ソウル特別市城北区貞陵1洞1015 番地慶南アパート106棟1001号
Claims (16)
- 【請求項1】 基板上に未精製の炭素ナノチューブを垂
直に立てて整列する段階と、 前記整列されている未精製の炭素ナノチューブの所定の
高さレベルで、前記基板の主面に対して平行な方向に前
記未精製の炭素ナノチューブに物理的エネルギーを印加
し、前記未精製の炭素ナノチューブのチップ部分を除去
する段階と、 を含むことを特徴とする炭素ナノチューブのチップオー
プン方法。 - 【請求項2】 前記物理的エネルギーを印加するとき、
電流が流れる熱線を使用することを特徴とする請求項1
に記載の炭素ナノチューブのチップオープン方法。 - 【請求項3】 前記物理的エネルギーを印加する前に、
前記熱線の高さを微細に調整することによって前記熱線
の高さを前記所定の高さレベルに合せる段階をさらに含
むことを特徴とする請求項2に記載の炭素ナノチューブ
のチップオープン方法。 - 【請求項4】 前記物理的エネルギーを印加するとき、
前記所定の高さレベルで前記未精製の炭素ナノチューブ
と前記熱線とを接触させることを特徴とする請求項2ま
たは3に記載の炭素ナノチューブのチップオープン方
法。 - 【請求項5】 前記物理的エネルギーを印加するとき、
前記熱線を前記基板の主面に対して平行に移動させるこ
とによって、前記未精製の炭素ナノチューブと前記熱線
とを接触させることを特徴とする請求項4に記載の炭素
ナノチューブのチップオープン方法。 - 【請求項6】 前記物理的エネルギーを印加するとき、
前記基板を移動させることによって、前記未精製の炭素
ナノチューブと前記熱線とを接触させることを特徴とす
る請求項4に記載の炭素ナノチューブのチップオープン
方法。 - 【請求項7】 前記熱線は、クロム、タングステン、ま
たは耐熱合金よりなることを特徴とする請求項2に記載
の炭素ナノチューブのチップオープン方法。 - 【請求項8】 前記物理的エネルギーを印加するとき、
レーザービームを使用することを特徴とする請求項1に
記載の炭素ナノチューブのチップオープン方法。 - 【請求項9】 前記物理的エネルギーを印加する前に、
前記レーザービームが照射される高さを微細に調整し、
前記所定の高さレベルに合せる段階をさらに含むことを
特徴とする請求項8に記載の炭素ナノチューブのチップ
オープン方法。 - 【請求項10】 前記物理的エネルギーを印加すると
き、前記所定の高さレベルで前記レーザービームを前記
未精製の炭素ナノチューブに照射することを特徴とする
請求項8または9に記載の炭素ナノチューブのチップオ
ープン方法。 - 【請求項11】 前記レーザービームの光源は、KrF
レーザー、ArFレーザー、ルビーレーザー、アルゴン
レーザー、He−NeレーザーまたはCO2レーザーの
いずれかを使用することを特徴とする請求項8に記載の
炭素ナノチューブのチップオープン方法。 - 【請求項12】 基板上に未精製の炭素ナノチューブを
垂直に立てて整列する段階と、 前記整列されている未精製の炭素ナノチューブの所定の
高さレベルで、前記基板の主面に対して平行な方向に前
記未精製の炭素ナノチューブに物理的エネルギーを印加
し、前記未精製の炭素ナノチューブのチップ部分及び外
壁に存在する不要な物質を除去する段階と、 を含むことを特徴とする炭素ナノチューブの精製方法。 - 【請求項13】 前記物理的エネルギーを印加すると
き、電流が流れる熱線を前記未精製の炭素ナノチューブ
に接触させることを特徴とする請求項12に記載の炭素
ナノチューブの精製方法。 - 【請求項14】 前記熱線は、クロム、タングステン、
または耐熱合金よりなることを特徴とする請求項13に
記載の炭素ナノチューブの精製方法。 - 【請求項15】 前記物理的エネルギーを印加すると
き、レーザービームを前記未精製の炭素ナノチューブに
照射することを特徴とする請求項12に記載の炭素ナノ
チューブの精製方法。 - 【請求項16】 前記レーザービームの光源は、KrF
レーザー、ArFレーザー、ルビーレーザー、アルゴン
レーザー、He−NeレーザーまたはCO2レーザーの
いずれかを使用することを特徴とする請求項15に記載
の炭素ナノチューブの精製方法。
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WO2016002715A1 (ja) * | 2014-07-01 | 2016-01-07 | 国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構 | カーボンナノチューブの表面処理方法 |
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US6787122B2 (en) | 2001-06-18 | 2004-09-07 | The University Of North Carolina At Chapel Hill | Method of making nanotube-based material with enhanced electron field emission properties |
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CN100478270C (zh) * | 2004-04-27 | 2009-04-15 | 北京大学 | 解理纳米线的方法及应用 |
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- 2000-10-02 JP JP2000301893A patent/JP2001146409A/ja active Pending
- 2000-10-03 EP EP00308700A patent/EP1092680A1/en not_active Withdrawn
- 2000-10-11 CN CN001299115A patent/CN1292354A/zh active Pending
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